JP3077339B2 - 赤外顕微鏡 - Google Patents
赤外顕微鏡Info
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- JP3077339B2 JP3077339B2 JP03330442A JP33044291A JP3077339B2 JP 3077339 B2 JP3077339 B2 JP 3077339B2 JP 03330442 A JP03330442 A JP 03330442A JP 33044291 A JP33044291 A JP 33044291A JP 3077339 B2 JP3077339 B2 JP 3077339B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料を可視光によって
観察する光学系と試料の赤外スペクトルを測定する光学
系を備えた赤外顕微鏡に関し、特に、プリズムと試料と
を密着させて、試料界面における全反射スペクトルを測
定する赤外顕微鏡に関する。
観察する光学系と試料の赤外スペクトルを測定する光学
系を備えた赤外顕微鏡に関し、特に、プリズムと試料と
を密着させて、試料界面における全反射スペクトルを測
定する赤外顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、可視光観察及び赤外測定が可能な
赤外顕微鏡には、透過測定モードと反射測定モードがあ
り、光学系切り換え手段により選択することができる。
赤外顕微鏡には、透過測定モードと反射測定モードがあ
り、光学系切り換え手段により選択することができる。
【０００３】図５に、透過測定モードで可視光により試
料を観察する場合に使用する光学系を示す。タングステ
ンランプ等の光源２１からの照明光は、絞り２３を通っ
てカセグレン鏡等の透過集光鏡２５に入り、試料ステー
ジ２６の上の試料に集められる。試料を透過した光は、
カセグレン鏡等の反射対物鏡２７により集光され視野絞
り１の位置に結像される。観察する視野の範囲は、原則
として視野絞り１のアパーチャーの大きさで決定され
る。結像した光は、後のリレーレンズ２９、３２やハー
フミラー３０、ミラー３３又は接眼レンズ３４等を通っ
て、観察者の肉眼に到達する。
料を観察する場合に使用する光学系を示す。タングステ
ンランプ等の光源２１からの照明光は、絞り２３を通っ
てカセグレン鏡等の透過集光鏡２５に入り、試料ステー
ジ２６の上の試料に集められる。試料を透過した光は、
カセグレン鏡等の反射対物鏡２７により集光され視野絞
り１の位置に結像される。観察する視野の範囲は、原則
として視野絞り１のアパーチャーの大きさで決定され
る。結像した光は、後のリレーレンズ２９、３２やハー
フミラー３０、ミラー３３又は接眼レンズ３４等を通っ
て、観察者の肉眼に到達する。
【０００４】図６に、透過測定モードで赤外光により試
料の赤外スペクトルを測定する場合に使用する光学系を
示す。赤外光導入口４１を介して外部光源からの赤外光
を導入し、平面ミラー４２、集光ミラー４３によって絞
り２３に至り、ミラー２４を通って透過集光鏡２５に入
り、試料ステージ２６の上の試料に集められる。試料を
透過した光は、反射対物鏡２７により集光され視野絞り
１の位置に結像される。測定する領域は、原則として視
野絞り１のアパーチャーの大きさで決定される。結像し
た赤外光は、平面ミラー４４、４５、集光ミラー４６に
よってＭＣＴ検出器等の光電変換器４７で受光され、透
過光量に応じた電気信号を得る。
料の赤外スペクトルを測定する場合に使用する光学系を
示す。赤外光導入口４１を介して外部光源からの赤外光
を導入し、平面ミラー４２、集光ミラー４３によって絞
り２３に至り、ミラー２４を通って透過集光鏡２５に入
り、試料ステージ２６の上の試料に集められる。試料を
透過した光は、反射対物鏡２７により集光され視野絞り
１の位置に結像される。測定する領域は、原則として視
野絞り１のアパーチャーの大きさで決定される。結像し
た赤外光は、平面ミラー４４、４５、集光ミラー４６に
よってＭＣＴ検出器等の光電変換器４７で受光され、透
過光量に応じた電気信号を得る。
【０００５】図７に、反射測定モードで可視光により試
料を観察する場合に使用する光学系を示す。タングステ
ンランプ等の光源５１からの照明光は、コンデンサーレ
ンズ５２、リレーレンズ５３、５４等を通ってハーフミ
ラー３１に入り、ミラー３０、レンズ２９を通って反射
対物鏡２７に入り、試料ステージ２６の上の試料に集め
られる。試料を反射した光は反射対物鏡２７により集光
され視野絞り１の位置に結像される。観察する視野の範
囲は、図５の場合と同様に、原則として視野絞り１のア
パーチャーの大きさで決定される。結像した光は、後の
リレーレンズ２９、３２、ハーフミラー３０、ミラー３
３又は接眼レンズ３４等を通って、観察者の肉眼に到達
する。
料を観察する場合に使用する光学系を示す。タングステ
ンランプ等の光源５１からの照明光は、コンデンサーレ
ンズ５２、リレーレンズ５３、５４等を通ってハーフミ
ラー３１に入り、ミラー３０、レンズ２９を通って反射
対物鏡２７に入り、試料ステージ２６の上の試料に集め
られる。試料を反射した光は反射対物鏡２７により集光
され視野絞り１の位置に結像される。観察する視野の範
囲は、図５の場合と同様に、原則として視野絞り１のア
パーチャーの大きさで決定される。結像した光は、後の
リレーレンズ２９、３２、ハーフミラー３０、ミラー３
３又は接眼レンズ３４等を通って、観察者の肉眼に到達
する。
【０００６】図８に、反射測定モードで赤外光により試
料の赤外スペクトルを測定する場合に使用する光学系を
示す。赤外光導入口４１を介して外部光源からの赤外光
を導入し、平面ミラー６１、集光ミラー６２によって集
光され、ハーフミラー２８を通って反射対物鏡２７に入
り、試料ステージ２６の上の試料に集められる。試料を
反射した光は反射対物鏡２７により集光され視野絞り１
の位置に結像される。測定する領域は、図６の場合と同
様に、原則として視野絞り１のアパーチャーの大きさで
決定される。結像した赤外光は、平面ミラー４４、４
５、集光ミラー４６によってＭＣＴ検出器等の光電変換
器４７で受光され、反射光量に応じた電気信号を得る。
料の赤外スペクトルを測定する場合に使用する光学系を
示す。赤外光導入口４１を介して外部光源からの赤外光
を導入し、平面ミラー６１、集光ミラー６２によって集
光され、ハーフミラー２８を通って反射対物鏡２７に入
り、試料ステージ２６の上の試料に集められる。試料を
反射した光は反射対物鏡２７により集光され視野絞り１
の位置に結像される。測定する領域は、図６の場合と同
様に、原則として視野絞り１のアパーチャーの大きさで
決定される。結像した赤外光は、平面ミラー４４、４
５、集光ミラー４６によってＭＣＴ検出器等の光電変換
器４７で受光され、反射光量に応じた電気信号を得る。
【０００７】次に、このような赤外顕微鏡を用いて、試
料の全反射測定を行う場合を説明する。図４は、従来の
赤外顕微鏡の試料周辺の部分断面図であって、図４ａは
可視観察モードの場合であり、図４ｂは、赤外測定モー
ドの場合である。
料の全反射測定を行う場合を説明する。図４は、従来の
赤外顕微鏡の試料周辺の部分断面図であって、図４ａは
可視観察モードの場合であり、図４ｂは、赤外測定モー
ドの場合である。
【０００８】赤外測定モードにおいて、試料ステージ２
６を光軸方向に移動させることにより、試料ステージ２
６に載置された試料１３と、反射対物鏡２７の内部に位
置するプリズム３の底面部とを密着させて試料界面を形
成する。なお、プリズム３は、球を半分に分割した半球
状に形成されており、半球状の底面部と試料との接触面
積を多くするために、底面部は若干凸状に形成されてい
る。
６を光軸方向に移動させることにより、試料ステージ２
６に載置された試料１３と、反射対物鏡２７の内部に位
置するプリズム３の底面部とを密着させて試料界面を形
成する。なお、プリズム３は、球を半分に分割した半球
状に形成されており、半球状の底面部と試料との接触面
積を多くするために、底面部は若干凸状に形成されてい
る。
【０００９】次に、赤外光導入口４１を介して外部光源
からの赤外光を導入し、所定の光学系を通り、部分ミラ
ー１８及び反射対物鏡２７を介して、赤外光束がプリズ
ム３に入射する。プリズム３に入射した赤外光束は、試
料界面での全反射の際に試料による吸収の影響を受け、
再びプリズム３から出射し、部分ミラー１８及び反射対
物鏡２７を介して、視野絞り１等を通過してＭＣＴ検出
器等の光電変換器４７で受光され、反射光量に応じた電
気信号を得る。このようにして、試料の全反射測定を行
い、所定の演算処理により、試料の全反射スペクトルを
得ることができる。
からの赤外光を導入し、所定の光学系を通り、部分ミラ
ー１８及び反射対物鏡２７を介して、赤外光束がプリズ
ム３に入射する。プリズム３に入射した赤外光束は、試
料界面での全反射の際に試料による吸収の影響を受け、
再びプリズム３から出射し、部分ミラー１８及び反射対
物鏡２７を介して、視野絞り１等を通過してＭＣＴ検出
器等の光電変換器４７で受光され、反射光量に応じた電
気信号を得る。このようにして、試料の全反射測定を行
い、所定の演算処理により、試料の全反射スペクトルを
得ることができる。
【００１０】一方、可視観察モードにおいて、光源５１
から前述の光学系を通った照明光束が、可視レンズ１７
により試料ステージ２６の上の試料１３に集光される。
このとき、赤外測定モードの焦点位置と可視観察モード
の焦点位置が異なるため、試料ステージ２６を光軸方向
に移動させることによりピント調整を行う。試料１３で
反射した光は、再び可視レンズ１７及び前述の光学系を
通って、観察者の肉眼に到達する。
から前述の光学系を通った照明光束が、可視レンズ１７
により試料ステージ２６の上の試料１３に集光される。
このとき、赤外測定モードの焦点位置と可視観察モード
の焦点位置が異なるため、試料ステージ２６を光軸方向
に移動させることによりピント調整を行う。試料１３で
反射した光は、再び可視レンズ１７及び前述の光学系を
通って、観察者の肉眼に到達する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
赤外顕微鏡において、全反射測定に使用するプリズムが
反射対物鏡の鏡枠に固定されており、黒色試料の全反射
測定の際にプリズム材料として赤外光の透過率が良好な
Ｇｅを用いた場合、Ｇｅは可視光を透過しないために、
可視観察モードの際に照明光束及び試料結像光が通過で
きず、可視観察が不可能であるという課題があった。従
って、赤外測定モード及び可視観察モードのどちらのモ
ードにも適用可能なプリズムの材料は、ＺｎＳｅ等の高
価なものに限定されてしまうという課題があった。
赤外顕微鏡において、全反射測定に使用するプリズムが
反射対物鏡の鏡枠に固定されており、黒色試料の全反射
測定の際にプリズム材料として赤外光の透過率が良好な
Ｇｅを用いた場合、Ｇｅは可視光を透過しないために、
可視観察モードの際に照明光束及び試料結像光が通過で
きず、可視観察が不可能であるという課題があった。従
って、赤外測定モード及び可視観察モードのどちらのモ
ードにも適用可能なプリズムの材料は、ＺｎＳｅ等の高
価なものに限定されてしまうという課題があった。
【００１２】また、プリズム材料としてＺｎＳｅやＫＲ
Ｓ−５を用いた場合は、可視領域における屈折率が比較
的高いために、試料結像光がプリズムを通過すると可視
像が不明瞭となるという課題があった。また、プリズム
の底面部は、試料との接触を繰り返すにつれて、表面が
磨耗して凹凸になるため、光の散乱が増加して可視像が
次第に不明瞭となるという課題があった。そのため、作
業者はかなり不明瞭な可視像のままで試料位置決めを行
わなければならず、試料の位置決め精度の低下や作業の
非能率性を招いていた。
Ｓ−５を用いた場合は、可視領域における屈折率が比較
的高いために、試料結像光がプリズムを通過すると可視
像が不明瞭となるという課題があった。また、プリズム
の底面部は、試料との接触を繰り返すにつれて、表面が
磨耗して凹凸になるため、光の散乱が増加して可視像が
次第に不明瞭となるという課題があった。そのため、作
業者はかなり不明瞭な可視像のままで試料位置決めを行
わなければならず、試料の位置決め精度の低下や作業の
非能率性を招いていた。
【００１３】本発明は、前記課題を解決するため、赤外
測定モードと可視観察モードとでプリズムの位置を切り
換えるようにした赤外顕微鏡を提供することを目的とす
る。
測定モードと可視観察モードとでプリズムの位置を切り
換えるようにした赤外顕微鏡を提供することを目的とす
る。
【００１４】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の赤外顕微鏡は、少なくとも光軸方向に移動
可能な試料ステージに載置された試料に、可視光を照射
して反射像を観察する可視観察用光学系と、前記試料と
反射対物鏡の内部に位置するプリズムの底面部とを密着
させて試料界面を形成し、前記試料界面における全反射
スペクトルを測定する赤外全反射測定用光学系を備えた
赤外顕微鏡において、前記プリズムの固定枠をレバーと
接続し、前記レバーを前記反射対物鏡のフレームに固定
された軸の回りに動かすことにより前記プリズムを移動
させる移動手段を設けることを特徴とする。
め、本発明の赤外顕微鏡は、少なくとも光軸方向に移動
可能な試料ステージに載置された試料に、可視光を照射
して反射像を観察する可視観察用光学系と、前記試料と
反射対物鏡の内部に位置するプリズムの底面部とを密着
させて試料界面を形成し、前記試料界面における全反射
スペクトルを測定する赤外全反射測定用光学系を備えた
赤外顕微鏡において、前記プリズムの固定枠をレバーと
接続し、前記レバーを前記反射対物鏡のフレームに固定
された軸の回りに動かすことにより前記プリズムを移動
させる移動手段を設けることを特徴とする。
【００１５】
【作用】前記構成によれば、赤外顕微鏡において、カセ
グレン鏡等の反射対物鏡の内部にあるプリズムを移動さ
せるためのプリズム移動手段が設けられたことにより、
可視観察モードの際にはプリズムが上方へ移動するた
め、可視光がプリズムを通らずに試料観察を行うことが
できる。従って、プリズムに使用できる材料の選択範囲
が拡がる。
グレン鏡等の反射対物鏡の内部にあるプリズムを移動さ
せるためのプリズム移動手段が設けられたことにより、
可視観察モードの際にはプリズムが上方へ移動するた
め、可視光がプリズムを通らずに試料観察を行うことが
できる。従って、プリズムに使用できる材料の選択範囲
が拡がる。
【００１６】また、プリズム材料の屈折率を考慮して、
所定の形状や寸法にプリズムを設計することにより、可
視光の焦点と赤外光の焦点が同軸上に位置することにな
り、試料ステージを光軸方向に移動するだけで赤外測定
モードと可視観察モードの切り換えを簡単に行うことが
できる。
所定の形状や寸法にプリズムを設計することにより、可
視光の焦点と赤外光の焦点が同軸上に位置することにな
り、試料ステージを光軸方向に移動するだけで赤外測定
モードと可視観察モードの切り換えを簡単に行うことが
できる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。図１は、本発明に係る赤外顕微鏡の一
実施例の試料周辺の概略的な部分断面図である。
ながら説明する。図１は、本発明に係る赤外顕微鏡の一
実施例の試料周辺の概略的な部分断面図である。
【００１８】まず、赤外測定モードの場合を説明する。
プリズム３を下方に移動すると共に試料ステージ２６を
上方に移動して、試料ステージ２６に載置された試料１
３と半球状のプリズム３の底面部とを密着させて試料界
面を形成する。赤外光の入射光１５がミラー２及びカセ
グレン鏡等の反射対物鏡２７で反射して、プリズム３に
入射し、試料界面で全反射する。その際に、試料による
吸収の影響を受ける。そして、再びプリズム３から出射
し、反射対物鏡２７及びミラー２で反射して、出射光１
６として取り出され、所定の光学系を通って光電変換器
４７で受光され、反射光量に応じた電気信号を得る。
プリズム３を下方に移動すると共に試料ステージ２６を
上方に移動して、試料ステージ２６に載置された試料１
３と半球状のプリズム３の底面部とを密着させて試料界
面を形成する。赤外光の入射光１５がミラー２及びカセ
グレン鏡等の反射対物鏡２７で反射して、プリズム３に
入射し、試料界面で全反射する。その際に、試料による
吸収の影響を受ける。そして、再びプリズム３から出射
し、反射対物鏡２７及びミラー２で反射して、出射光１
６として取り出され、所定の光学系を通って光電変換器
４７で受光され、反射光量に応じた電気信号を得る。
【００１９】次に、可視観察モードの場合を説明する。
プリズム３を上方に移動すると共に試料ステージ２６を
下方に移動して、試料１３とプリズム３を離す。可視光
の入射光１５がミラー２及びカセグレン鏡等の反射対物
鏡２７で反射して、試料１３に直接入射し、試料１３の
表面で反射する。試料１３で反射した光は、反射対物鏡
２７及びミラー２で反射して、出射光１６として取り出
され、所定の光学系を通って観察者の肉眼に到達する。
プリズム３を上方に移動すると共に試料ステージ２６を
下方に移動して、試料１３とプリズム３を離す。可視光
の入射光１５がミラー２及びカセグレン鏡等の反射対物
鏡２７で反射して、試料１３に直接入射し、試料１３の
表面で反射する。試料１３で反射した光は、反射対物鏡
２７及びミラー２で反射して、出射光１６として取り出
され、所定の光学系を通って観察者の肉眼に到達する。
【００２０】なお、プリズム３は、赤外通過性を有する
もので足り、可視光を通過しなくても構わないため、そ
の材質として、ＺｎＳｅ、Ｇｅ、ＫＲＳ−５、Ｓｉ等の
赤外材料を用いることができる。
もので足り、可視光を通過しなくても構わないため、そ
の材質として、ＺｎＳｅ、Ｇｅ、ＫＲＳ−５、Ｓｉ等の
赤外材料を用いることができる。
【００２１】図２は、本発明に係る赤外顕微鏡の一実施
例に用いられるプリズム移動手段の一例の概略図であっ
て、図２ａは部分側面図であり、図２ｂは部分平面図で
ある。
例に用いられるプリズム移動手段の一例の概略図であっ
て、図２ａは部分側面図であり、図２ｂは部分平面図で
ある。
【００２２】プリズム３は、プリズム固定具８によって
プリズム枠７に固定される。レバー４を反射対物鏡２７
のフレーム１０に固定された軸５の回りに動かすことに
より、蝶番６を介して、プリズム３がガイド棒９に沿っ
て上下方向に移動する。
プリズム枠７に固定される。レバー４を反射対物鏡２７
のフレーム１０に固定された軸５の回りに動かすことに
より、蝶番６を介して、プリズム３がガイド棒９に沿っ
て上下方向に移動する。
【００２３】図３は、本発明に係る赤外顕微鏡の一実施
例に用いられるプリズム移動手段の他の例の概略的な部
分側面図である。プリズム３は、プリズム固定具８によ
ってプリズム枠７に固定される。支持棒１２をフレーム
１０に対して上下方向に動かすことにより、支持枠１１
を介して、プリズム３がガイド棒９に沿って上下方向に
移動する。
例に用いられるプリズム移動手段の他の例の概略的な部
分側面図である。プリズム３は、プリズム固定具８によ
ってプリズム枠７に固定される。支持棒１２をフレーム
１０に対して上下方向に動かすことにより、支持枠１１
を介して、プリズム３がガイド棒９に沿って上下方向に
移動する。
【００２４】
【発明の効果】以上詳説したように、本発明の赤外顕微
鏡は、カセグレン鏡等の反射対物鏡の内部にあるプリズ
ムを移動させるためのプリズム移動手段が設けられたこ
とにより、可視観察モードの際にはプリズムが上方へ移
動するため、プリズムに使用できる材料の選択範囲が拡
がり、従来プリズム材料に依存していた全反射測定の内
容が多様化して、例えばＧｅのプリズムを用いることに
より黒色試料の赤外スペクトル測定を精度良く行うこと
ができる。また、プリズム移動と試料ステージ移動だけ
で、赤外測定モードと可視観察モードの切り換えを簡単
に行うことができる。
鏡は、カセグレン鏡等の反射対物鏡の内部にあるプリズ
ムを移動させるためのプリズム移動手段が設けられたこ
とにより、可視観察モードの際にはプリズムが上方へ移
動するため、プリズムに使用できる材料の選択範囲が拡
がり、従来プリズム材料に依存していた全反射測定の内
容が多様化して、例えばＧｅのプリズムを用いることに
より黒色試料の赤外スペクトル測定を精度良く行うこと
ができる。また、プリズム移動と試料ステージ移動だけ
で、赤外測定モードと可視観察モードの切り換えを簡単
に行うことができる。
【図１】本発明に係る赤外顕微鏡の一実施例の試料周辺
の概略的な部分断面図である。
の概略的な部分断面図である。
【図２】本発明に係る赤外顕微鏡の一実施例に用いられ
るプリズム移動手段の一例の概略図であって、図２ａは
部分側面図であり、図２ｂは部分平面図である。
るプリズム移動手段の一例の概略図であって、図２ａは
部分側面図であり、図２ｂは部分平面図である。
【図３】本発明に係る赤外顕微鏡の一実施例に用いられ
るプリズム移動手段の他の例の概略的な部分側面図であ
る。
るプリズム移動手段の他の例の概略的な部分側面図であ
る。
【図４】従来の赤外顕微鏡の試料周辺の部分断面図であ
って、図４ａは可視観察モードの場合であり、図４ｂ
は、赤外測定モードの場合である。
って、図４ａは可視観察モードの場合であり、図４ｂ
は、赤外測定モードの場合である。
【図５】透過測定モードで可視光により試料を観察する
場合に使用する光学系の概略図である。
場合に使用する光学系の概略図である。
【図６】透過測定モードで赤外光により試料の赤外スペ
クトルを測定する場合に使用する光学系の概略図であ
る。
クトルを測定する場合に使用する光学系の概略図であ
る。
【図７】反射測定モードで可視光により試料を観察する
場合に使用する光学系の概略図である。
場合に使用する光学系の概略図である。
【図８】反射測定モードで赤外光により試料の赤外スペ
クトルを測定する場合に使用する光学系の概略図であ
る。
クトルを測定する場合に使用する光学系の概略図であ
る。
１ 視野絞り ２ ミラー ３ プリズム ４ レバー ５ 軸 ６ 蝶番 ７ プリズム枠 ８ プリズム固定具 ９ ガイド棒 １０ フレーム １１ 支持枠 １２ 支持棒 １３ 試料 １５ 入射光 １６ 出射光 １７ 可視レンズ １８ 部分ミラー ２１、５１ 光源 ２２、２８、３０、３１ ハーフミラー ２３ 絞り ２４、３３ ミラー ２５ 透過集光鏡 ２６ 試料ステージ ２７ 反射対物鏡 ２９、３２、５３、５４ リレーレンズ ３４ 接眼レンズ ４１ 赤外光導入口 ４２、４４、４５、６１ 平面ミラー ４３、４６、６２ 集光ミラー ４７ 光電変換器 ５２ コンデンサーレンズ
Claims (1)
- 【請求項１】 少なくとも光軸方向に移動可能な試料ス
テージに載置された試料に、可視光を照射して反射像を
観察する可視観察用光学系と、前記試料と反射対物鏡の
内部に位置するプリズムの底面部とを密着させて試料界
面を形成し、前記試料界面における全反射スペクトルを
測定する赤外全反射測定用光学系を備えた赤外顕微鏡に
おいて、前記プリズムの固定枠をレバーと接続し、前記
レバーを前記反射対物鏡のフレームに固定された軸の回
りに動かすことにより前記プリズムを移動させる移動手
段を設けることを特徴とする赤外顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03330442A JP3077339B2 (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | 赤外顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03330442A JP3077339B2 (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | 赤外顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05164972A JPH05164972A (ja) | 1993-06-29 |
| JP3077339B2 true JP3077339B2 (ja) | 2000-08-14 |
Family
ID=18232669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03330442A Expired - Fee Related JP3077339B2 (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | 赤外顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3077339B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5581085A (en) * | 1995-03-06 | 1996-12-03 | Spectra-Tech, Inc. | Infrared microspectrometer accessory |
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1991
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