WO2023171142A1 - 蛍光検査装置 - Google Patents

蛍光検査装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2023171142A1
WO2023171142A1 PCT/JP2023/001403 JP2023001403W WO2023171142A1 WO 2023171142 A1 WO2023171142 A1 WO 2023171142A1 JP 2023001403 W JP2023001403 W JP 2023001403W WO 2023171142 A1 WO2023171142 A1 WO 2023171142A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
light
wavelength
imaging
unit
fluorescence
Prior art date
Application number
PCT/JP2023/001403
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
浩之 村田
Original Assignee
東レエンジニアリング株式会社
東レエンジニアリング先端半導体Ｍｉテクノロジー株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 東レエンジニアリング株式会社, 東レエンジニアリング先端半導体Ｍｉテクノロジー株式会社 filed Critical 東レエンジニアリング株式会社
Publication of WO2023171142A1 publication Critical patent/WO2023171142A1/ja

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles

Definitions

  • the present invention relates to a fluorescence inspection device that irradiates an LED element with excitation light and performs an inspection based on the fluorescent light emitted from the LED element.
  • the present invention relates to a fluorescence inspection device that inspects the quality of LED elements of different colors arranged on a substrate at a predetermined pitch in the vertical and horizontal directions.
  • Patent Documents 1 and 2 it is necessary to measure and inspect each light emitting body. Therefore, when a large number of light emitters are arranged on one substrate, it takes time for measurement and inspection, resulting in low throughput.
  • an object of the present invention is to provide an apparatus that can perform inspection with high throughput even when a large number of LED elements of different colors are arranged on one substrate.
  • a fluorescence inspection device that tests an LED element arranged on a substrate by emitting fluorescence, a substrate holding part that holds the substrate; an excitation light irradiation unit that irradiates excitation light toward the LED element; an imaging unit that captures an inspection image including light at a fluorescence wavelength emitted from an LED element irradiated with excitation light; a relative moving unit that moves the substrate holding unit relative to the excitation light irradiation unit and the imaging unit; an inspection section that inspects the LED elements based on the inspection image; A control unit that controls an excitation light irradiation unit, an imaging unit, and a relative movement unit, The excitation light irradiation section is a first light source that emits light of a first wavelength as excitation light; and a second light source that emits light with a second wavelength longer than the first wavelength as excitation light, The imaging unit is a first imaging camera that captures an inspection image including light at
  • excitation light of different wavelengths is alternately irradiated to cause the LED elements to emit fluorescence, and two types of inspection images with different wavelength bands are alternately captured. can do.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing the overall configuration of an example of a form embodying the present invention.
  • FIG. 2 is a conceptual diagram showing how an external image is captured in an example of a form embodying the present invention.
  • FIG. 2 is a conceptual diagram showing imaging timing in an example of a form embodying the present invention.
  • the three axes of the orthogonal coordinate system are X, Y, and Z
  • the horizontal direction is expressed as the X direction and the Y direction
  • the direction perpendicular to the XY plane that is, the direction of gravity
  • the Z direction is expressed as up
  • the direction in which gravity acts is expressed as down.
  • the direction of rotation with the Z direction as the central axis is defined as the ⁇ direction.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing the overall configuration of an example of a form embodying the present invention.
  • FIG. 1 schematically shows each part constituting a fluorescence inspection apparatus 1 according to the present invention.
  • FIG. 2 is a conceptual diagram showing how an external image is captured in an example of a form embodying the present invention.
  • the first imaging camera 3A and the second imaging camera 3B of the imaging unit 3 are formed on the substrate W at a predetermined pitch in the X and Y directions while moving relative to the substrate W in the direction indicated by the arrow V. It shows how the light emitted from the LED element C is sequentially imaged.
  • each LED element C is imaged sequentially over the entire surface of the board W to be inspected. More specifically, as the LED elements C to be inspected, an LED element Cb that emits blue light, an LED element Cg that emits green light, and an LED element Cr that emits red light are exemplified.
  • the fluorescence inspection apparatus 1 is for inspecting an LED element C arranged on a substrate W by causing it to emit fluorescence.
  • the fluorescence inspection apparatus 1 includes an excitation light irradiation section 2, an imaging section 3, an inspection section 4, and a control section 9. More specifically, the fluorescence inspection apparatus 1 includes a substrate holding section H, a relative moving section M, a computer CP, and the like.
  • the excitation light irradiation unit 2 irradiates the LED elements C with excitation lights L1 and L2. Specifically, the excitation light irradiation unit 2 irradiates excitation light L1 and L2 toward a plurality of LED elements C arranged within a predetermined section on the substrate W. This predetermined section on the substrate W is also called an excitation light irradiation area, and is set to include an imaging region F of the imaging section 3, which will be described in detail later, but is slightly wider than that. More specifically, the excitation light irradiation section 2 includes a first light source 2A, a second light source 2B, a light guide 21, a light emitting section 22, and the like.
  • the first light source 2A emits light of a first wavelength as excitation light L1. Specifically, the first light source 2A emits excitation light L1 that causes the LED elements Cb and Cg that emit blue or green light to emit fluorescence. More specifically, the first light source 2A is a lamp light source, an LED light source, or a laser diode that emits, for example, ultraviolet light or violet light (wavelength 365 to 405 nm) as the first wavelength light included in the excitation light L1. etc.
  • the second light source 2B emits light having a second wavelength longer than the first wavelength as excitation light L2. Specifically, it is assumed that the second light source 2B emits excitation light L2 having a longer wavelength than the excitation light L1, such that the LED element Cr that emits red light emits fluorescence. More specifically, the second light source 2B includes a lamp light source, an LED light source, a laser diode, etc. that emits, for example, green light (wavelength 500 to 560 nm) as the second wavelength light included in the excitation light L2. ing.
  • the light guide 21 guides the light emitted from the first light source 2A and the second light source 2B.
  • the light guide 21 is an example of a bundle of thin linear transparent resin or glass materials called optical fibers, which guides light by internal reflection.
  • the light emitting unit 22 mixes and emits two types of light guided by the light guide 21 from the first light source 2A and the second light source 2B.
  • the image capturing unit 3 captures inspection images P1 and P2 that include light at the fluorescence wavelength emitted from the LED elements C irradiated with the excitation lights L1 and L2. More specifically, the imaging unit 3 includes a first imaging camera 3A and a second imaging camera 3B. Further, the imaging section 3 includes a lens barrel 30, a beam branching section 32, objective lenses 33a and 33b, a revolver mechanism 34, and the like.
  • the first imaging camera 3A captures an inspection image P1 including light L3 having a fluorescence wavelength emitted from the LED element C irradiated with light having a first wavelength. Specifically, the first imaging camera 3A captures an image within an imaging area (also referred to as field of view) FA set on the substrate W and outputs it as an inspection image P1. More specifically, the first imaging camera 3A includes an image sensor 36A that is an area image sensor in which light receiving elements sensitive to visible light are arranged in a two-dimensional array.
  • the second imaging camera 3B captures an inspection image P2 that includes light L4 having a fluorescence wavelength emitted from the LED element C irradiated with light having a second wavelength. Specifically, the second imaging camera 3B captures an image within an imaging field of view (also referred to as a field of view) FB set on the substrate W and outputs it as an inspection image P2. More specifically, the second imaging camera 3B includes an imaging device 36B configured as an area image sensor in which light receiving elements sensitive to visible light are two-dimensionally arranged.
  • the lens barrel 30 fixes each part of the first imaging camera 3A, the second imaging camera 3B, and the imaging section 3 in a predetermined positional relationship.
  • the lens barrel 30 is arranged at approximately T so as to guide the observation lights LA and LB incident from the objective lenses 33a and 33b to the first imaging camera 3A and the second imaging unit camera 3B while blocking external light. It has a cylindrical shape with a hollow interior (also called hollow).
  • a revolver 34 is attached to one end side (lower side in the figure) of the lens barrel 30, and a first imaging camera 3A and a second image pickup camera 3B are attached to the other end side (upper and right side in the figure).
  • a light beam branching section 32 is attached inside the lens barrel 30. Further, the lens barrel 30 is attached to the device frame 1f via a connecting fitting or the like (not shown).
  • the light beam branching unit 32 branches and guides the light beams L3 and L4 containing light of the fluorescence wavelength emitted from the LED element C to the first imaging camera 3A and the second imaging camera 3B. Specifically, the light beam branching unit 32 introduces a light beam whose main component is light on the shorter wavelength side than a predetermined wavelength into the first imaging camera 3A, and introduces a light beam whose main component is light on the longer wavelength side than the predetermined wavelength into the first imaging camera 3A.
  • a wavelength band branching section is provided that introduces the component light beam into the second imaging camera 3B.
  • a dichroic mirror can be used as an example of the wavelength band branching section.
  • Dichroic mirrors have a thin film coated on the surface of a mirror placed obliquely to the optical path.
  • the thin film uses light interference to transmit light in a specific wavelength band while transmitting the remaining wavelength bands. It is reflective. More specifically, the dichroic mirror of the beam branching unit 32 transmits light with a wavelength shorter than 590 nm (blue or green) and guides it to the first imaging camera 3A, while transmitting light with a wavelength shorter than 590 nm. It is set so that light on the long wavelength side (orange or red) is reflected and guided to the second imaging camera 3B.
  • the objective lens 33 forms images of the imaging areas FA and FB on the substrate W onto the imaging element 36A of the first imaging camera 3A and the imaging element 36B of the second imaging camera 3B.
  • the objective lens 33 includes objective lenses 32a and 32b having different magnifications.
  • the revolver mechanism 34 switches the magnification of the objective lens 33 to be used. Specifically, objective lenses 33a and 33b with different magnifications are attached to the revolver 34, and the lens magnification can be switched by rotating and standing still by a predetermined angle manually or based on signal control from the outside. I can do it.
  • the inspection unit 4 inspects the LED element C based on the inspection images PA and PB. Specifically, the inspection unit 4 inspects the LED elements C based on the inspection image PA acquired from the first imaging camera 3A and the inspection image PB acquired from the second imaging camera 3B. More specifically, the inspection unit 4 is configured as a part of the computer CP, and operates as follows. For example, the inspection unit 4 may check the position information of the relative moving unit M, etc. when acquiring the inspection images PA, PB, the brightness value of each pixel included in the inspection images PA, PB, the arrangement of each LED element C on the substrate W, etc. Based on the information, etc., it is determined whether each LED element C emits fluorescence at a predetermined brightness, and the determination result is output. At this time, the determination result is output in association with the arrangement coordinates and address information of each LED element C to be inspected. Therefore, the inspection unit 4 can determine which LED element C on the substrate W is a good product or a defective product.
  • the substrate holding section H holds the substrate W.
  • the base holding part H supports the base W from the lower surface side while maintaining a horizontal state.
  • the base holding part H includes a mounting table H1 whose upper surface is horizontal.
  • the mounting table H1 is provided with grooves and holes in the portion that contacts the substrate W, and these grooves and holes are connected to a negative pressure generating means such as a vacuum pump via a switching valve or the like.
  • the substrate holding unit H can hold or release the substrate W by switching the grooves and holes of the mounting table H1 to a negative pressure state or an atmosphere release state.
  • the relative movement section M moves the substrate holding section H relative to the excitation light irradiation section 2 and the imaging section 3.
  • the relative movement section M includes an X-axis slider M1, a Y-axis slider M2, and a rotation mechanism M3.
  • the X-axis slider M1 is mounted on the device frame 1f, and is used to move the Y-axis slider M2 in the X direction at an arbitrary speed and stop it at an arbitrary position.
  • the X-axis slider includes a pair of rails extending in the X direction, a slider section that moves on the rails, and a slider drive section that moves and stops the slider section.
  • the Y-axis slider M2 moves the rotating mechanism M3 in the Y direction at an arbitrary speed and stops it at an arbitrary position based on a control signal output from the control unit 9.
  • the Y-axis slider includes a pair of rails extending in the Y direction, a slider section that moves on the rails, and a slider drive section that moves and stops the slider section.
  • the slider drive units of the X-axis slider M1 and the Y-axis slider M2 may be configured with a combination of a servo motor or a pulse motor that rotates and stops under signal control from the control unit 9, a ball screw mechanism, or a linear motor mechanism. can.
  • the rotation mechanism M3 rotates the mounting table H1 in the ⁇ direction at an arbitrary speed and makes it stand still at an arbitrary angle.
  • the rotation mechanism M3 can be exemplified by a direct drive motor or the like that rotates/stands still at an arbitrary angle under signal control from an external device.
  • a mounting table H1 of the substrate holding section H is attached on the rotating side member of the rotation mechanism M3.
  • the relative moving unit M Since the relative moving unit M has such a configuration, while holding the substrate W to be inspected, it moves the substrate W to the imaging unit 3 in a predetermined direction in the XY ⁇ directions independently or in combination. It can be moved relative to others at different speeds and angles, and can be stopped at any desired position or angle.
  • the computer CP receives signals and data from the outside, performs predetermined arithmetic processing and image processing, and outputs the signals and data to the outside.
  • the computer CP has the following functions. ⁇ Registering the pixel pitch and imaging magnification of the imaging camera ⁇ Registering the inspection recipe (imaging position, imaging order, imaging interval (pitch, interval), moving speed, etc.), switching the inspection recipe to be used, etc. ⁇ The first imaging camera 3A Input the inspection images PA and PB output from the second imaging camera 3B; Image processing for the obtained inspection images PA and PB; Inspection of the light-emitting body of the LED element; Output of the inspection result and position information of the LED element.
  • the computer CP consists of an input section, an output section, a storage section (called a register or memory), a control section and an arithmetic section (called a CPU or MPU), an image processing device (called a GPU), and an auxiliary storage device (HDD). , SSD, etc.) (in other words, hardware) and its execution program, etc. (in other words, software).
  • the control section 9 controls the excitation light irradiation section 2, the imaging section 3, and the relative movement section M. Specifically, the control unit 9 inputs and outputs signals and data to and from external devices (excitation light irradiation unit 2, imaging unit 3, substrate holding unit H, relative movement unit M, etc., computer CP, etc.). , which performs predetermined control processing, for example, the following functions.
  • the control unit 9 outputs and controls the driving signal while monitoring the current position of the mechanism M3. In other words, the control unit 9 drives and controls the relative moving unit M, and also controls the imaging areas FA and FB set on the substrate W.
  • An imaging trigger is output to the imaging unit 3 while changing the location.
  • control unit 9 includes a part of the computer CP, a dedicated programmable logic controller, etc. (that is, hardware), and its execution program, etc. (that is, software).
  • FIG. 3 is a conceptual diagram showing imaging timing in an example of a form embodying the present invention.
  • FIG. 3 shows trigger signals output from the control section 9 to each section and processes executed at each section in chronological order.
  • the control unit 9 synchronizes the imaging by the first imaging camera 3A and the light emission of the first light source 2A, and synchronizes the imaging by the second imaging camera 3B and the light emission of the second light source 2B, while moving the relative moving unit M in one direction. While relatively moving in the X direction or the Y direction, the first imaging camera 3A and the second imaging camera 3B alternately take pictures by shifting their imaging timings. More specifically, while outputting the trigger signal SC1 to the first imaging camera 3A, the trigger signal SL1 for light emission is outputted to the first light source 2A after the light emission delay time td. This is repeated every interval time T.
  • a trigger signal SC2 is output to the second imaging camera 3B, and after a light emission delay time td, the trigger signal SC2 is output to the second light source 2B. and outputs a light emission trigger signal SL2.
  • excitation light L1 and L2 are irradiated toward the imaging areas FA and FB set on the substrate W, the following occurs.
  • excitation light L1 When ultraviolet light or violet light is irradiated as excitation light L1, light L3 that emits blue or green fluorescence is emitted from the LED elements Cb and Cg that emit light in blue or green, and observation light LA including this light L3 is the first The light is guided to the imaging camera 3A side and imaged.
  • the LED element Cr that emits red light does not emit fluorescence due to the excitation light L1.
  • the fluorescence inspection apparatus 1 irradiates the excitation lights L1 and L2 of different wavelengths during relative movement of one row to cause the LED elements C to emit fluorescence, while simultaneously transmitting two types of excitation lights with different wavelength bands.
  • the inspection images PA and PB can be taken alternately. Therefore, even if a large number of LED elements C of different colors are arranged on one substrate W, inspection can be performed with high throughput.
  • the fluorescence inspection apparatus 1 according to the present invention is not limited to the above-described configuration, and various modifications can be applied.
  • the light beam branching section 32 is exemplified to include a dichroic mirror as a wavelength band branching section.
  • a dichroic mirror as a wavelength band branching section.
  • the imaging unit 3 transmits the light having a longer wavelength than the first wavelength light among the light L3 having the fluorescence wavelength emitted from the LED element C irradiated with the light having the first wavelength.
  • a filter 37A that attenuates light of one wavelength and light of a shorter wavelength; Of the light L4 of the fluorescent wavelength emitted from the LED element irradiated with the light of the second wavelength, the light of the second wavelength and the light longer than the second wavelength are transmitted.
  • the configuration includes a filter 37B that attenuates light with a short wavelength. Specifically, the imaging unit 3 arranges a filter 37A in front of the first imaging camera 3A, and arranges a filter 37B in front of the second imaging camera 3B.
  • the filter 37A passes light with wavelengths longer than 410 nm (for example, blue and green) and attenuates light with wavelengths shorter than 410 nm (for example, ultraviolet light or violet light).
  • the filter 37B passes light with wavelengths longer than 590 nm (for example, orange and red) and attenuates light with wavelengths shorter than 590 nm (blue and green).
  • the LED elements Cb and Cg that emit blue or green light are irradiated with ultraviolet light as excitation light L1
  • the LED element Cr that emits red light is irradiated with green light as excitation light L2.
  • the configuration is illustrated.
  • the above-mentioned dominant wavelengths of the excitation lights L1 and L2 are only specific examples, and can be appropriately selected depending on the fluorescence characteristics of each LED element C to be inspected.
  • Fluorescence inspection device 2 Excitation light irradiation section 2A First light source 2B Second light source 3 Imaging section 3A First imaging camera 3B Second imaging camera 4 Inspection section 9 Control section H Substrate holding section M Relative movement section CP Computer 1f Device frame H1 Mounting table 30 Lens barrel 32 Luminous flux splitter 33a, 33b Objective lens 34 Revolver mechanism 36A, 36B Image sensor 37A, 37B Filter M1 X-axis slider M2 Y-axis slider M3 Rotation mechanism W Substrate C LED element Cb LED element that emits blue light Cg LED element that emits green light Cr LED element that emits red light FA, FB Imaging area (field of view) PA, PB Inspection image L1 Excitation light (first wavelength) L2 excitation light (second wavelength) L3 Light of fluorescence wavelength incident from the substrate side L4 Light of fluorescence wavelength incident from the substrate side LA, LB Observation light T Time (imaging interval) SC1, SC2 Trigger signal SL1, SL2 Trigger signal t

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

１枚の基板上に異なる発色のＬＥＤ素子が多数配列されていても、高スループットで検査すること。　具体的には、基板上に配置されたＬＥＤ素子を蛍光発光させて検査する蛍光検査装置であって、　基板保持部、励起光照射部、撮像部、相対移動部、検査部、制御部を備え、　励起光照射部は、第１光源と第２光源とを備え、　撮像部は、　第１波長の光が照射されたＬＥＤ素子から放射される蛍光波長の光を含む検査画像を撮像する第１撮像カメラと、　第２波長の光が照射されたＬＥＤ素子から放射される蛍光波長の光を含む検査画像を撮像する第２撮像カメラとを備え、　制御部は、　第１撮像カメラによる撮像と第１光源の発光を同期させると共に、　第２撮像カメラによる撮像と第２光源の発光を同期させつつ、　相対移動部を一方向に相対移動させながら、第１撮像カメラと第２撮像カメラとの撮像タイミングをずらして交互に撮影を行う。

Description

蛍光検査装置
　本発明は、ＬＥＤ素子に励起光を照射して、当該ＬＥＤ素子から放射された蛍光発光された光に基づいて検査を行う蛍光検査装置に関する。例えば、基板上に縦横方向に所定ピッチで配置された異なる発色のＬＥＤ素子の良否検査を行う蛍光検査装置に関する。
　蛍光灯，プラズマディスプレの背面板，ＬＥＤチップなどの蛍光（ルミネッセンス）特性を有する材料（つまり、蛍光発光体）や、ＬＥＤ照明や有機ＥＬなどの発光体など（つまり、狭義の発光体），白色バックライトと組合せ配置された液晶用カラーフィルタなど（つまり、広義の発光体）の発光波長は、それら製品の品質・性能に関わるものであり、分光型の二次元輝度計などを用いて、波長測定が行われている（例えば、特許文献１）。
　また、発光色の異なる複数のＬＥＤ（例えば、赤色ＬＥＤと緑色ＬＥＤ）について、それぞれの発光色のＬＥＤの異常を検知する手法として、２系統のフィルタとセンサを用い、検出した輝度値の比率を先ず算出し、後に当該比率を判定用閾値と比較するといった検査が行われている（例えば、特許文献２）。
特開２００６－１７７８１２号公報 特開２００２－１９５８８２号公報
　しかし、特許文献１や２のような手法では、発光体1つずつに対して計測や検査を行う必要がある。そのため、１枚の基板上に発光体が多数配列されている場合に、計測や検査に費やす時間がかかり、スループットが低くなってしまう。
　そこで本発明は、１枚の基板上に異なる発色のＬＥＤ素子が多数配列されていても、高スループットで検査することができる装置を提供することを目的とする。
　以上の課題を解決するために、本発明に係る一態様は、
　基板上に配置されたＬＥＤ素子を蛍光発光させて検査する蛍光検査装置であって、
　基板を保持する基板保持部と、
　ＬＥＤ素子に向けて励起光を照射する励起光照射部と、
　励起光が照射されたＬＥＤ素子から放射される蛍光波長の光を含む検査画像を撮像する撮像部と、
　励起光照射部および撮像部に対して基板保持部を相対的に移動させる相対移動部と、
　検査画像に基づいてＬＥＤ素子の検査を行う検査部と、
　励起光照射部、撮像部および相対移動部を制御する制御部とを備え、
　　励起光照射部は、
　励起光として第１波長の光を放出する第１光源と、
　励起光として第１波長よりも波長の長い第２波長の光を放出する第２光源とを備え、
　　撮像部は、
　第１波長の光が照射されたＬＥＤ素子から放射される蛍光波長の光を含む検査画像を撮像する第１撮像カメラと、
　第２波長の光が照射されたＬＥＤ素子から放射される蛍光波長の光を含む検査画像を撮像する第２撮像カメラとを備え、
　　制御部は、
　第１撮像カメラによる撮像と第１光源の発光を同期させると共に、
　第２撮像カメラによる撮像と第２光源の発光を同期させつつ、
　相対移動部を一方向に相対移動させながら、第１撮像カメラと第２撮像カメラとの撮像タイミングをずらして交互に撮影を行う。
　このような態様によれば、１列の相対移動をする間に、異なる波長の励起光を交互に照射してＬＥＤ素子を蛍光発光させつつ、波長帯域の異なる２種類の検査画像を交互に撮像することができる。
　１枚の基板上に異なる発色のＬＥＤ素子が多数配列されていても、高スループットで検査することができる。
本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す概略図である。 本発明を具現化する形態の一例における外観画像を撮像する様子を示す概念図である。 本発明を具現化する形態の一例における撮像タイミングを示す概念図である。
　以下に、本発明を実施するための形態について、図を用いながら説明する。なお、以下の説明では、直交座標系の３軸をＸ、Ｙ、Ｚとし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向と表現し、ＸＹ平面に垂直な方向（つまり、重力方向）をＺ方向と表現する。また、Ｚ方向は、重力に逆らう方向を上、重力がはたらく方向を下と表現する。また、Ｚ方向を中心軸として回転する方向をθ方向とする。
　図１は、本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す概略図である。図１には、本発明に係る蛍光検査装置１を構成する各部が概略的に示されている。
　図２は、本発明を具現化する形態の一例における外観画像を撮像する様子を示す概念図である。図２には、撮像部３の第１撮像カメラ３Ａと第２撮像カメラ３Ｂが、基板Ｗに対して矢印Ｖで示す方向に相対移動しながら、基板Ｗ上にＸＹ方向に所定ピッチで形成されているＬＥＤ素子Ｃから放出される光を逐次撮像する様子が示されている。
　なお以下の説明では、基板Ｗ上にＸＹ方向に所定ピッチで形成された多数のＬＥＤ素子Ｃに対して、複数のＬＥＤ素子Ｃが含まれる様なサイズに設定された撮像領域Ｆ（視野とも言う）を設定して、基板Ｗの全面に亘り各ＬＥＤ素子Ｃを逐次撮像して検査を行う例を示す。より具体的には、検査対象のＬＥＤ素子Ｃとして、青色に発光するＬＥＤ素子Ｃｂ、緑色に発光するＬＥＤ素子Ｃｇ、赤色に発光するＬＥＤ素子Ｃｒを例示する。
　蛍光検査装置１は、基板Ｗ上に配置されたＬＥＤ素子Ｃを蛍光発光させて検査するものである。具体的には、蛍光検査装置１は、励起光照射部２、撮像部３、検査部４、制御部９を備えている。より具体的には、蛍光検査装置１は、基板保持部Ｈ、相対移動部Ｍ、コンピュータＣＰ等を備えている。
　励起光照射部２は、ＬＥＤ素子Ｃに向けて励起光Ｌ１，Ｌ２を照射するものである。
具体的には、励起光照射部２は、基板Ｗ上の所定区画内に配置された複数のＬＥＤ素子Ｃに向けて励起光Ｌ１，Ｌ２を照射する。この基板Ｗ上の所定区画内は、励起光照射エリアとも呼ばれ、詳細を後述する撮像部３の撮像領域Ｆを含みつつ、それより少し広い範囲に設定されている。
より具体的には、励起光照射部２は、第１光源２Ａと第２光源２Ｂ、ライトガイド２１、光出射部２２等を備えている。
　第１光源２Ａは、励起光Ｌ１として第１波長の光を放出するものである。
具体的には、第１光源２Ａは、青色ないし緑色で発光するＬＥＤ素子Ｃｂ，Ｃｇが蛍光発光するような、励起光Ｌ１を放出するものとする。
より具体的には、第１光源２Ａは、励起光Ｌ１に含まれる第１波長の光として、例えば紫外光ないし紫色の光（波長３６５～４０５ｎｍ）を放出する、ランプ光源やＬＥＤ光源、レーザダイオード等を備えている。
　第２光源２Ｂは、励起光Ｌ２として第１波長よりも波長の長い第２波長の光を放出するものである。
具体的には、第２光源２Ｂは、赤色で発光するＬＥＤ素子Ｃｒが蛍光発光するような、励起光Ｌ１よりも波長の長い励起光Ｌ２を放出するものとする。
より具体的には、第２光源２Ｂは、励起光Ｌ２に含まれる第２波長の光として、例えば緑色（波長５００～５６０ｎｍ）の光を放出する、ランプ光源やＬＥＤ光源、レーザダイオード等を備えている。
　ライトガイド２１は、第１光源２Ａと第２光源２Ｂから放出された光を導光するものである。
具体的には、ライトガイド２１は、光ファイバーと呼ばれる細い線状の透明樹脂やガラス材を多数束ねたもので、内面反射により光を導光するものが例示できる。
光出射部２２は、第１光源２Ａと第２光源２Ｂからライトガイド２１で導光された２種類の光を混合して出射するものである。
　撮像部３は、励起光Ｌ１，Ｌ２が照射されたＬＥＤ素子Ｃから放射される蛍光波長の光を含む検査画像Ｐ１，Ｐ２を撮像するものである。
より具体的には、撮像部３は、第１撮像カメラ３Ａと第２撮像カメラ３Ｂとを備えている。さらに、撮像部３は、鏡筒３０、光束分岐部３２、対物レンズ３３ａ，３３ｂ、レボルバー機構３４等を備えている。
　第１撮像カメラ３Ａは、第１波長の光が照射されたＬＥＤ素子Ｃから放射される蛍光波長の光Ｌ３を含む検査画像Ｐ１を撮像するものである。
具体的には、第１撮像カメラ３Ａは、基板Ｗ上に設定された撮像領域（視野とも言う）ＦＡ内の像を撮像して、検査画像Ｐ１として出力するものである。
より具体的には、第１撮像カメラ３Ａは、可視光に感度を有する受光素子が２次元配列されたエリアイメージセンサーで構成された撮像素子３６Ａを備えている。
　第２撮像カメラ３Ｂは、第２波長の光が照射されたＬＥＤ素子Ｃから放射される蛍光波長の光Ｌ４を含む検査画像Ｐ２を撮像するものである。
具体的には、第２撮像カメラ３Ｂは、基板Ｗ上に設定された撮像視野（視野とも言う）ＦＢ内の像を撮像して、検査画像Ｐ２として出力するものである。
より具体的には、第２撮像カメラ３Ｂは、可視光に感度を有する受光素子が２次元配列されたエリアイメージセンサーで構成された撮像素子３６Ｂを備えている。
　鏡筒３０は、第１撮像カメラ３Ａ、第２撮像カメラ３Ｂおよび撮像部３の各部を所定の位置関係で固定するものである。
具体的には、鏡筒３０は、外部の光を遮蔽しつつ、対物レンズ３３ａ，３３ｂから入射した観察光ＬＡ，ＬＢを第１撮像カメラ３Ａと第２撮像部カメラ３Ｂへ導くよう、略Ｔ字型で内部が空洞（中空とも言う）の筒状をしている。そして、鏡筒３０の一端側（図では下方）にレボルバー３４が取り付けられており、他端側（図では上方と右方）に第１撮像カメラ３Ａと第２撮像カメラ３Ｂが取り付けられており、鏡筒３０の内部には、光束分岐部３２が取り付けられている。さらに、鏡筒３０は、連結金具等（不図示）を介して装置フレーム１ｆに取り付けられている。
　光束分岐部３２は、ＬＥＤ素子Ｃから放射される蛍光波長の光を含む光束Ｌ３，Ｌ４を、第１撮像カメラ３Ａと第２撮像カメラ３Ｂに分岐して導光するものである、
具体的には、光束分岐部３２は、所定の波長よりも短波長側の光を主成分とする光束を第１撮像カメラ３Ａに導入しつつ、所定の波長よりも長波長側の光を主成分とする光束を第２撮像カメラ３Ｂに導入する、波長帯域分岐部を備えている。
波長帯域分岐部としては、ダイクロイックミラーが例示できる。
ダイクロイックミラーは、光路に対して斜めに配置されたミラーの表面に薄膜がコーティングされており、薄膜による光の干渉を利用して、特定の波長帯域の光を透過させつつ、残りの波長帯域を反射するものである。
より具体的には、光束分岐部３２のダイクロイックミラーは、概ね波長５９０ｎｍよりも短波長側（青色や緑色）の光を透過させて第１撮像カメラ３Ａに導光しつつ、概ね波長５９０ｎｍよりも長波長側（橙色や赤色）の光を反射させて第２撮像カメラ３Ｂに導光するように設定しておく。
　対物レンズ３３は、基板Ｗ上の撮像領域ＦＡ，ＦＢの像を、第１撮像カメラ３Ａの撮像素子３６Ａや、第２撮像カメラ３Ｂの撮像素子３６Ｂに結像させるものである。
具体的には、対物レンズ３３は、倍率の異なる対物レンズ３２ａ，３２ｂを含んで構成されている。
　レボルバー機構３４は、使用する対物レンズ３３の倍率を切り替えるものである。具体的には、レボルバー３４には、倍率の異なる対物レンズ３３ａ，３３ｂが取り付けられており、手動または外部からの信号制御に基づいて、所定の角度ずつ回転および静止することで、レンズ倍率の切り替えができる。
　検査部４は、検査画像ＰＡ，ＰＢに基づいてＬＥＤ素子Ｃの検査を行うものである。
具体的には、検査部４は、第１撮像カメラ３Ａから取得した検査画像ＰＡと第２撮像カメラ３Ｂから取得した検査画像ＰＢに基づいて、それぞれＬＥＤ素子Ｃの検査を行う。
より具体的には、検査部４は、コンピュータＣＰの一部で構成されており、次のような動作をする。例えば、検査部４は、検査画像ＰＡ，ＰＢを取得した時の相対移動部Ｍ等の位置情報、検査画像ＰＡ，ＰＢに含まれる各画素の輝度値、基板Ｗ上の各ＬＥＤ素子Ｃの配置情報等に基づいて、各ＬＥＤ素子Ｃが所定の明るさで蛍光発光しているかを判定し、判定結果を出力する。このとき、検査対象の各ＬＥＤ素子Ｃの配置座標やアドレス情報と紐付けて、判定結果を出力する。そのため、検査部４は、基板Ｗ上のどのＬＥＤ素子Ｃが良品か不良品かを判別することができる。
　基板保持部Ｈは、基板Ｗを保持するものである。
具体的には、基保持部Ｈは、基Ｗを下面側から水平状態を保ちつつ支えるものである。
より具体的には、基保持部Ｈは、上面が水平な載置台Ｈ１を備えている。
載置台Ｈ１は、基板Ｗと接触する部分に溝部や孔部が設けられており、これら溝部や孔部は、切替バルブなどを介して真空ポンプなどの負圧発生手段と接続されている。
そして、基板保持部Ｈは、載置台Ｈ１の溝部や孔部を負圧状態若しくは大気解放状態に切り替えることで、基板Ｗを保持したり保持解除したりすることができる。
　相対移動部Ｍは、励起光照射部２および撮像部３に対して基板保持部Ｈを相対的に移動させるものである。
具体的には、相対移動部Ｍは、Ｘ軸スライダーＭ１と、Ｙ軸スライダーＭ２と、回転機構Ｍ３とを備えて構成されている。
　Ｘ軸スライダーＭ１は、装置フレーム１ｆ上に取り付けられており、Ｙ軸スライダーＭ２をＸ方向に任意の速度で移動させ、任意の位置で静止させるものである。具体的には、Ｘ軸スライダーは、Ｘ方向に延びる１対のレールと、そのレール上を移動するスライダー部と、スライダー部を移動および静止させるスライダー駆動部とで構成されている。
　Ｙ軸スライダーＭ２は、制御部９から出力される制御信号に基づいて、回転機構Ｍ３をＹ方向に任意の速度で移動させ、任意の位置で静止させるものである。具体的には、Ｙ軸スライダーは、Ｙ方向に延びる１対のレールと、そのレール上を移動するスライダー部と、スライダー部を移動および静止させるスライダー駆動部とで構成されている。
　Ｘ軸スライダーＭ１とＹ軸スライダーＭ２のスライダー駆動部は、制御部９からの信号制御により回転し静止するサーボモータやパルスモータとボールネジ機構を組み合わせたものや、リニアモータ機構などで構成することができる。
　回転機構Ｍ３は、載置台Ｈ１をθ方向に任意の速度で回転させ、任意の角度で静止させるものである。具体的には、回転機構Ｍ３は、ダイレクトドライブモータなどの、外部機器からの信号制御により任意の角度に回転／静止させるものが例示できる。回転機構Ｍ３の回転する側の部材の上には、基板保持部Ｈの載置台Ｈ１が取り付けられている。
　相対移動部Ｍは、この様な構成をしているため、検査対象となる基板Ｗを保持したまま、基板Ｗを撮像部３に対してＸＹθ方向にそれぞれ独立させて又は複合的に、所定の速度や角度で相対移動させたり、任意の位置・角度で静止させたりすることができる。
　コンピュータＣＰは、外部から信号やデータを入力し、所定の演算処理や画像処理を行い、外部に信号やデータを出力するものである。
具体的には、コンピュータＣＰは、以下の機能を有している。
・撮像カメラの画素ピッチや撮像倍率の登録
・検査レシピ（撮像位置や撮像順序、撮像間隔（ピッチ、インターバル）、移動速度等）の登録、使用する検査レシピの切替等
・第１撮像カメラ３Ａと第２撮像カメラ３Ｂから出力された検査画像ＰＡ，ＰＢを入力
・取得した検査画像ＰＡ，ＰＢに対する画像処理
・ＬＥＤ素子の発光状体の検査、ＬＥＤ素子の検査結果および位置情報の出力
より具体的には、コンピュータＣＰは、入力部と出力部、記憶部（レジスタやメモリーと呼ばれる）、制御部と演算部（ＣＰＵやＭＰＵと呼ばれる）、画像処理装置（ＧＰＵと呼ばれる）、補助記憶装置（ＨＤＤやＳＳＤなど）等（つまり、ハードウェア）と、その実行プログラム等（つまり、ソフトウェア）で構成されている。
　制御部９は、励起光照射部２、撮像部３および相対移動部Ｍを制御するものである。
具体的には、制御部９は、外部機器（励起光照射部２、撮像部３、基板保持部Ｈ、相対移動部Ｍ等の各機器や、コンピュータＣＰ等）と信号やデータを入出力し、所定の制御処理を行うもので、例えば、以下の機能を実行するものである。
・励起光照明部２に対して、励起光Ｌ１，Ｌ２を発光させるトリガ信号を出力
・基板保持部Ｈに対して、基板Ｗの保持／解除の信号を出力
・レボルバー３４を制御して、使用する対物レンズ３３（撮像倍率）を切り替える
・第１撮像カメラ３Ａと第２撮像カメラ３Ｂに対して、撮像トリガを出力
・相対移動部Ｍの駆動制御：Ｘ軸スライダーＭ１、Ｙ軸スライダーＭ２、回転機構Ｍ３の現在位置をモニタリングしつつ、駆動用信号を出力し、制御する機能
つまり、制御部９は、相対移動部Ｍを駆動制御すると共に、基板Ｗ上に設定された撮像領域ＦＡ，ＦＢの場所を変更しながら撮像部３に対して撮像トリガを出力する。
さらに、検査品種に応じて、撮像倍率や視野サイズを切り替え、撮像する間隔を変えながら撮像トリガを出力して、所望の検査画像ＰＡ，ＰＢを取得することができる。
より具体的には、制御部９は、コンピュータＣＰの一部や専用のプログラマブルロジックコントローラ等（つまり、ハードウェア）と、その実行プログラム等（つまり、ソフトウェア）で構成されている。
　図３は、本発明を具現化する形態の一例における撮像タイミングを示す概念図である。
図３には、制御部９から各部に出力されるトリガ信号や、各部で実行される処理の様子が時系列的に示されている。
　制御部９は、第１撮像カメラ３Ａによる撮像と第１光源２Ａの発光を同期させると共に、第２撮像カメラ３Ｂによる撮像と第２光源２Ｂの発光を同期させつつ、相対移動部Ｍを一方向（例えば、Ｘ方向やＹ方向）に相対移動させながら、第１撮像カメラ３Ａと第２撮像カメラ３Ｂとの撮像タイミングをずらして交互に撮影を行う。
より具体的には、第１撮像カメラ３Ａに対してトリガ信号ＳＣ１を出力しつつ、発光ディレイ時間ｔｄ後に第１光源２Ａに対して発光用トリガ信号ＳＬ１を出力する。これを、インターバル時間Ｔ毎に繰り返す。
一方、撮像カメラ３Ａに対するトリガ信号ＳＣ１に対してディレイ時間（ずらし時間とも言う）Ｔｐ後に、第２撮像カメラ３Ｂに対してトリガ信号ＳＣ２を出力しつつ、発光ディレイ時間ｔｄ後に第２光源２Ｂに対して発光用トリガ信号ＳＬ２を出力する。
　そのため、基板Ｗ上に設定された撮像領域ＦＡ，ＦＢに向けて励起光Ｌ１，Ｌ２を照射すると、次のようになる。
励起光Ｌ１として紫外光ないし紫色の光を照射すると、青色ないし緑色で発光するＬＥＤ素子Ｃｂ，Ｃｇから青色ないし緑色に蛍光発光する光Ｌ３が放出され、この光Ｌ３を含む観察光ＬＡは第１撮像カメラ３Ａ側に導光されて撮像される。一方、赤色で発光するＬＥＤ素子Ｃｒからは、励起光Ｌ１による蛍光発光が生じない。
また、励起光Ｌ２として緑色の光を照射すると、赤色で発光するＬＥＤ素子Ｃｒから橙色ないし赤色に蛍光発光する光Ｌ４が放出され、この光Ｌ４を含む観察光ＬＢは第２撮像カメラ３Ｂに導光されて撮像される。一方、青色ないし緑色で発光するＬＥＤ素子Ｃｂ，Ｃｇからは、励起光Ｌ２による蛍光発光が生じない。なお、励起光Ｌ２に含まれる緑色の光が、基板ＷやＬＥＤ素子Ｃの表面で反射・散乱した光として放出されるが、この緑色の光は第１撮像カメラ３Ａ側に導光されるため、第２撮像カメラ３Ｂでは撮像されない。
　この様な構成をしているため、蛍光検査装置１は、１列の相対移動中に異なる波長の励起光Ｌ１，Ｌ２を照射してＬＥＤ素子Ｃを蛍光発光させつつ、波長帯域の異なる２種類の検査画像ＰＡ，ＰＢを交互に撮像することができる。そのため、１枚の基板Ｗ上に異なる発色のＬＥＤ素子Ｃが多数配列されていても、高スループットで検査することができる。
　［変形例］
　本発明に係る蛍光検査装置１は、上述の構成に限らず、種々の変形例を適用できる。
　上述では、光束分岐部３２は、波長帯域分岐部としてダイクロイックミラーを備えた構成を例示した。このような構成であれば、観察光ＬＡ，ＬＢが、ある波長を基準に短波長側と長波長側に分岐されるため、それぞれの光量ロスが少ない。
しかし、観察光ＬＡ，ＬＢの光量が十分であれば、ハーフミラーで可視光帯域（青色から赤色）に亘って均等に分岐しつつ、所望の波長帯域の光を透過または減衰させる、フィルタを備えた構成であっても良い。
　つまり、撮像部３は、第１波長の光が照射されたＬＥＤ素子Ｃから放射される蛍光波長の光Ｌ３のうち、当該第１波長の光よりも波長の長い光を透過させつつ、当該第１波長の光およびそれよりも波長の短い光を減衰させるフィルタ３７Ａと、
第２波長の光が照射されたＬＥＤ素子から放射される蛍光波長の光Ｌ４のうち、当該第２波長の光よりも波長の長い光を透過させつつ、当該第２波長の光およびそれよりも波長の短い光を減衰させるフィルタ３７Ｂとを備えた構成とする。
具体的には、撮像部３は、第１撮像カメラ３Ａの手前にフィルタ３７Ａを配置し、第２撮像カメラ３Ｂの手前にフィルタ３７Ｂを配置する。
より具体的には、フィルタ３７Ａは、波長４１０ｎｍよりも長波長側（例えば、青色や緑色）の光を通過させ、波長４１０ｎｍより短波長側の光（例えば、紫外光ないし紫色の光）を減衰させる。一方、フィルタ３７Ｂは、波長５９０ｎｍよりも長波長側（例えば、橙色や赤色）の光を通過させ、波長５９０ｎｍより短い光（青色や緑色）を減衰させる。
　この様な構成であれば、励起光Ｌ１として紫外光を照射すると、青色ないし緑色で発光するＬＥＤ素子Ｃｂ，Ｃｇから紫色ないし緑色に蛍光発光する光Ｌ３が放出され、この光Ｌ３を含む観察光ＬＡは第１撮像カメラ３Ａ側に導光されて撮像される。また、励起光Ｌ２として緑色の光を照射すると、赤色で発光するＬＥＤ素子Ｃｒから黄色ないし橙色に蛍光発光する光Ｌ４が放出され、この光Ｌ４を含む観察光ＬＢは第２撮像カメラ３Ｂに導光されて撮像される。
　なお上述では、青色ないし緑色で発光するＬＥＤ素子Ｃｂ，Ｃｇに対して、励起光Ｌ１として紫外光を照射し、赤色で発光するＬＥＤ素子Ｃｒに対して、励起光Ｌ２として緑色の光を照射する構成を例示した。
しかし、上述の励起光Ｌ１，Ｌ２の主波長は具体例であり、検査対象とする各ＬＥＤ素子Ｃの蛍光特性に応じて適宜選択し得る。
　　１　　蛍光検査装置
　　２　　励起光照射部
　　２Ａ　第１光源
　　２Ｂ　第２光源
　　３　　撮像部
　　３Ａ　第１撮像カメラ
　　３Ｂ　第２撮像カメラ
　　４　　検査部
　　９　　制御部
　　Ｈ　　基板保持部
　　Ｍ　　相対移動部
　　ＣＰ　コンピュータ
　　１ｆ　装置フレーム
　　Ｈ１　載置台
　　３０　鏡筒
　　３２　光束分岐部
　　３３ａ，３３ｂ　対物レンズ
　　３４　レボルバー機構
　　３６Ａ，３６Ｂ　撮像素子
　　３７Ａ，３７Ｂ　フィルタ　
　　Ｍ１　Ｘ軸スライダー
　　Ｍ２　Ｙ軸スライダー
　　Ｍ３　回転機構
　　Ｗ　　基板
　　Ｃ　　ＬＥＤ素子
　　Ｃｂ　青色で発光するＬＥＤ素子
　　Ｃｇ　緑色で発光するＬＥＤ素子
　　Ｃｒ　赤色で発光するＬＥＤ素子
　　ＦＡ，ＦＢ　撮像領域（視野）
　　ＰＡ，ＰＢ　検査画像
　　Ｌ１　励起光（第１波長）
　　Ｌ２　励起光（第２波長）
　　Ｌ３　基板側から入射した蛍光波長の光
　　Ｌ４　基板側から入射した蛍光波長の光
　　ＬＡ，ＬＢ　観察光
　　Ｔ　　時間（撮像インターバル）
　　ＳＣ１，ＳＣ２　トリガ信号
　　ＳＬ１，ＳＬ２　トリガ信号
　　ｔｄ　発光ディレイ時間
　　ｔｐ　ディレイ時間（ずらし時間）

Claims (3)

  1. 　基板上に配置されたＬＥＤ素子を蛍光発光させて検査する蛍光検査装置であって、
    　前記基板を保持する基板保持部と、
    　前記ＬＥＤ素子に向けて励起光を照射する励起光照射部と、
    　前記励起光が照射された前記ＬＥＤ素子から放射される蛍光波長の光を含む検査画像を撮像する撮像部と、
    　前記励起光照射部および前記撮像部に対して基板保持部を相対的に移動させる相対移動部と、
    　前記検査画像に基づいて前記ＬＥＤ素子の検査を行う検査部と、
    　前記励起光照射部、前記撮像部および前記相対移動部を制御する制御部とを備え、
    　　前記励起光照射部は、
    　前記励起光として第１波長の光を放出する第１光源と、
    　前記励起光として前記第１波長よりも波長の長い第２波長の光を放出する第２光源とを備え、
    　　前記撮像部は、
    　前記第１波長の光が照射された前記ＬＥＤ素子から放射される蛍光波長の光を含む前記検査画像を撮像する第１撮像カメラと、
    　前記第２波長の光が照射された前記ＬＥＤ素子から放射される蛍光波長の光を含む前記検査画像を撮像する第２撮像カメラとを備え、
    　　制御部は、
    　前記第１撮像カメラによる撮像と前記第１光源の発光を同期させると共に、
    　前記第２撮像カメラによる撮像と前記第２光源の発光を同期させつつ、
    　前記相対移動部を一方向に相対移動させながら、前記第１撮像カメラと前記第２撮像カメラとの撮像タイミングをずらして交互に撮影を行う
    ことを特徴とする、蛍光検査装置。
  2. 　　前記撮像部は、
    　前記第１波長の光が照射された前記ＬＥＤ素子から放射される蛍光波長の光のうち、当該第１波長の光よりも波長の長い光を透過させつつ、当該第１波長の光およびそれよりも波長の短い光を減衰させるフィルタを備え、
    　前記第２波長の光が照射された前記ＬＥＤ素子から放射される蛍光波長の光のうち、当該第２波長の光よりも波長の長い光を透過させつつ、当該第２波長の光およびそれよりも波長の短い光を減衰させるフィルタを備えた
    ことを特徴とする、請求項１に記載の蛍光検査装置。
  3. 　前記撮像部は、
    前記ＬＥＤ素子から放射される蛍光波長の光を含む光束を、前記第１撮像カメラと前記第２撮像カメラに分岐して導光する光束分岐部を備え、
    　前記光束分岐部は、
    所定の波長よりも短波長側の光を主成分とする光束を前記第１撮像カメラに導入しつつ、所定の波長よりも長波長側の光を主成分とする光束を前記第２撮像カメラに導入する、波長帯域分岐部を備えた
    ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の蛍光検査装置。
PCT/JP2023/001403 2022-03-07 2023-01-18 蛍光検査装置 WO2023171142A1 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022034775A JP2023130226A (ja) 2022-03-07 2022-03-07 蛍光検査装置
JP2022-034775 2022-03-07

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2023171142A1 true WO2023171142A1 (ja) 2023-09-14

Family

ID=87936552

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2023/001403 WO2023171142A1 (ja) 2022-03-07 2023-01-18 蛍光検査装置

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2023130226A (ja)
TW (1) TW202338306A (ja)
WO (1) WO2023171142A1 (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000346612A (ja) * 1999-06-04 2000-12-15 Sony Corp 干渉計および干渉測定方法
JP2002081908A (ja) * 2000-09-11 2002-03-22 Fuji Photo Film Co Ltd 情報獲得方法、画像撮像装置及び、画像処理装置
JP2014222221A (ja) * 2013-05-14 2014-11-27 東レエンジニアリング株式会社 発光体の検査装置
JP2020085622A (ja) * 2018-11-22 2020-06-04 アンリツ株式会社 物品検査装置
JP2021048464A (ja) * 2019-09-18 2021-03-25 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 撮像デバイス、撮像システム及び撮像方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000346612A (ja) * 1999-06-04 2000-12-15 Sony Corp 干渉計および干渉測定方法
JP2002081908A (ja) * 2000-09-11 2002-03-22 Fuji Photo Film Co Ltd 情報獲得方法、画像撮像装置及び、画像処理装置
JP2014222221A (ja) * 2013-05-14 2014-11-27 東レエンジニアリング株式会社 発光体の検査装置
JP2020085622A (ja) * 2018-11-22 2020-06-04 アンリツ株式会社 物品検査装置
JP2021048464A (ja) * 2019-09-18 2021-03-25 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 撮像デバイス、撮像システム及び撮像方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2023130226A (ja) 2023-09-20
TW202338306A (zh) 2023-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7564544B2 (en) Method and system for inspecting surfaces with improved light efficiency
TWI289719B (en) Inspection system imager method for inspecting surfaces for defect and method for fabricating electrical circuit
JP2008235892A (ja) ウエハの縁部領域の欠陥の評価のための装置及び方法
WO2017206966A1 (zh) 一种自动光学检测装置及方法
US8363214B2 (en) Surface inspection apparatus
JP2008520984A (ja) 検査装置
JP2010151479A (ja) 配線パターン検査装置
JP2007256106A (ja) 表示パネル検査装置及びそれを用いた表示パネル検査方法
JP6076133B2 (ja) 蛍光発光体の検査装置
KR101650138B1 (ko) 다중 표면 검사 시스템 및 방법
KR20030015207A (ko) 결상 시스템
KR20000007250A (ko) 인쇄회로기판의 크림솔더 검사장치 및 검사방법
CN210269638U (zh) 检测模块及检测机台
JP2019117104A (ja) 検査装置
WO2015174114A1 (ja) 基板検査装置
KR20130130567A (ko) Ｌｅｄ 검사장치 및 이를 이용한 ｌｅｄ 검사방법
WO2023171142A1 (ja) 蛍光検査装置
JP2006105816A (ja) 物品検査装置、及び物品検査方法
JP2006220578A (ja) 表面検査装置
JP5854370B2 (ja) 蛍光体含有ガラス部材の検査装置及び検査方法
JP2011149814A (ja) 塗装検査装置及び塗装検査方法
KR101124567B1 (ko) 하이브리드 조명부를 포함하는 웨이퍼 검사 장치
JP2014098676A (ja) 両端面撮像装置及び両端面撮像方法
JP2008175818A (ja) 表面検査装置及び方法
JP2008051892A (ja) 顕微鏡装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 23766322

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1