JP6076133B2 - 蛍光発光体の検査装置 - Google Patents

Description

蛍光発光体の蛍光発光強度及び蛍光発光波長の良否を検査する装置に関する。

蛍光（ルミネッセンス）特性を有する材料（つまり、蛍光発光体）、例えば、ＬＥＤチップの良否検査をする手法として、電気的プローブ検査や、レーザ光を照射するフォトルミネッセンス測定による検査が行われている（例えば、特許文献１）。

しかし、この手法によると、ＬＥＤチップ１つずつに対して逐次検査を行う必要がある。そのため、１枚の基板上に多数のＬＥＤチップを配列した状態で検査したい場合、この手法では短時間に検査をすることができず、非常に長い時間を費やす必要があった。

また、発光色の異なる複数のＬＥＤ（例えば、赤色ＬＥＤと緑色ＬＥＤ）について、それぞれの発光色のＬＥＤの異常を検知する手法として、２系統のフィルタとセンサを用い、検出した輝度値の比率を先ず算出し、後に当該比率を判定用閾値と比較するといった検査が行われている（例えば、特許文献２）。

特許第３０７７７８１号公報 特開２００２−１９５８８２号公報

例えば、白色のＬＥＤ照明器具に着目すれば、白色ＬＥＤを構成する青色ＬＥＤの主波長が２０ｎｍずれただけで、青みがかって見えたり、黄色みがかって見えたりしてしまう。これは、ＬＥＤチップの主波長が僅かにずれると、人の目には異なる色に感じるためである。このため、発光強度はもちろん、発光波長の管理も品質管理上重要となる。

そこで、基板上に配列されたＬＥＤチップを短時間で検査すべく、カラーカメラによる検査を試みた。このとき、ＬＥＤチップが多数配列された基板に向けて、ＵＶ照明を照射し、個々のＬＥＤチップから蛍光発光する光をカラーカメラを用いて観察した。これによれば、短時間で画像取得することはできるが、個々のＬＥＤチップの発光波長の良否を判別することは困難である。

概して、カラーカメラはＲ，Ｇ，Ｂのカラーフィルタや、補色フィルタを通して撮像するため、Ｒ，Ｇ，Ｂの複数の色の濃淡差により色味が変わる場合であれば、検査することが可能である。しかし、Ｒ，Ｇ，Ｂのいずれか単色の範囲中で、僅かな発光波長のずれに起因する良否を判定することは困難である。さらに、カラーカメラで撮像した画像に濃淡差があった場合に、発光波長のずれによる濃淡差なのか、発光強度の違いによる濃淡差なのか判別することがが困難である。

また、特許文献２に開示された検査手法では、単色発光するＬＥＤチップの発光強度不良や発光波長不良の検知には適用できない。また、異なる発光色のＬＥＤチップの検査をする場合であっても、異なる発光色のＬＥＤが共に暗い場合、或いは共に明るすぎる場合、先に輝度値の比率を算出してしまうため、発光強度不良の判定ができず、良品としての適否を判定することが不可能である。また、この方法ではそれぞれの発光色のＬＥＤチップの発光波長不良を検知する事も不可能である。

そこで本発明は、蛍光発光する蛍光発光体の発光状態を高精度かつ短時間に検査できる、蛍光発光体の検査装置を提供することを目的とする。

以上の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、
検査対象となる蛍光発光体に向けて照明光を照射する照明部と、
前記蛍光発光体から蛍光発光した光を観察する蛍光観察部を備え、
前記蛍光観察部には、第１観察部と、第２観察部と、第１フィルタ部と、第２フィルタ部とを備え、
前記第１観察部では前記第１フィルタ部を通過した光を観察し、
前記第２観察部では前記第２フィルタ部を通過した光を観察し、
前記第１フィルタ部は、前記蛍光発光した光のうち、正常発光の判定基準となる第１の波長よりも長い波長の光を透過させ、
前記第２フィルタ部は、前記蛍光発光した光のうち、正常発光の判定基準となる第２の波長よりも短い波長の光を透過させ、
前記第１の波長は、前記第２の波長よりも短く設定されており、
当該検査対象となる蛍光発光体の良否を判定する良否判定部をさらに備え、
前記良否判定部は、
第１観察部で観察された画像に基づいて当該検査対象となる蛍光発光体の蛍光発光強度を基に良否候補を判定する第１判定部と、
第２観察部で観察された画像に基づいて当該検査対象となる蛍光発光体の蛍光発光強度を基に良否候補を判定する第２判定部と、
前記第１判定部と前記第２判定部の結果に基づいて当該検査対象となる蛍光発光体の良否を判定する第３判定部とを備えた
ことを特徴とする蛍光発光体の検査装置である。

この発明によれば、検査対象となる蛍光発光体の正常な蛍光発光波長をオーバーラップしつつ、長波長側の光を第１観察部で、短波長側の光を第２観察部で観察でき、第１観察部と第２観察部で観察した画像を比較することで、検査対象となる蛍光発光体が正常発光か、発光強度不良か、長波長側にシフトして発光しているか、短波長側にシフトして発光しているか、発光状態を直ぐに判定でき、判定精度も高められる。

請求項２に記載の発明は、
前記蛍光観察部には、前記蛍光発光した光の光束を分岐する分岐手段を備え、
前記第１観察部と前記第２観察部とが、前記検査対象となる蛍光発光体を同時に観察することを特徴とする、請求項１に記載の蛍光発光体の検査装置である。

請求項３に記載の発明は、
前記検査対象となる蛍光発光体は、１枚の基板上に複数配置されており、
前記蛍光観察部は、検査対象となる複数の蛍光発光体を一度に観察できる視野サイズが同じに設定されている
ことを特徴とする、請求項２に記載の蛍光発光体の検査装置である。

請求項４に記載の発明は、
前記検査対象となる蛍光発光体が、フォトルミネッセンス特性を有するＬＥＤチップであることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載のＬＥＤチップの検査装置である。

本発明によれば、蛍光発光する蛍光発光体の発光状態を、高精度かつ短時間に検査できる。

本発明を具現化する形態の一例を示す側面図である。 本発明を具現化する形態で得られた判定結果の一例を示す概略図である。 本発明を具現化する形態の別の一例を示す側面図である。 本発明を具現化する形態のさらに別の一例を示すブロック図である。

以下、検査対象となる蛍光発光体として、ＬＥＤ照明の発光素子として用いられるＬＥＤチップを例示し、本発明に係る蛍光発光体の検査装置として、当該ＬＥＤチップの検査装置を例示し、図を用いながら説明をする。ここでは、ＬＥＤチップは、波長４５０〜４６０ｎｍで正常に発光するものを良品とし、それ以外の波長で発光若しくは、発光強度不良ものを不良品として判定する例について説明する。

図１は、本発明を具現化する形態の一例を示す側面図である。
図１は、ＬＥＤチップ検査装置１を用いて、検査対象となるＬＥＤチップＣがパターニングされたウエハーＷの表面を観察し、ＬＥＤチップＣを検査をする様子を示している。さらに、このＬＥＤチップＣは、最終製品に組み込むために個片化される前の状態、つまり製造工程中の半完成状態ではあるが、フォトルミネッセンス特性を有する状態にある。
なお、図１において、ウエハーＷの表面をＸ，Ｙ方向とし、それに直交する厚み方向をＺ方向とし、Ｚ方向の矢印側を上方と表現する（以下、各図について同じ）。

本発明にかかるＬＥＤチップ検査装置１は、照明部２と、蛍光観察部３を備えて構成されている。
照明部２は、検査対象となるＬＥＤチップＣに向けて照明光２１を照射するものである。具体的には、照明部２として、ＬＤ（レーザダイオード）や、ＬＥＤ照明、白色照明とバンドパスフィルタを組み合わせたものが例示できる。また、照明部２は、蛍光観察部３に備える撮像素子がエリアセンサであれば面状の照明を、蛍光観察部３に備える撮像素子がラインセンサであればライトシート状の照明を選択する。このとき、照明光２１の照射方向としては、ウエハーＷの表面に対して垂直方向から照射する形態が例示できる。

蛍光観察部３は、照明光２１がＬＥＤチップＣに照射されることで蛍光発光した光を観察するものである。蛍光観察部３は、第１観察部３１と、第２観察部３２と、第１フィルタ部３１ｆと、第２フィルタ部３２ｆとを備えている。

具体的には、第１観察部３１は、レンズ（不図示）などが組み込まれた鏡筒３３ａに取り付けられており、第１観察部３１の観察光路中には第１フィルタ部３１ｆが取り付けられている。また、第２観察部３２は、レンズ（不図示）などが組み込まれた鏡筒３３ｂに取り付けられており、第２観察部３２の観察光路中には第２フィルタ部３２ｆが取り付けられている。なお、第１観察部３１及び第２観察部３２としては、エリアセンサカメラや、ラインセンサカメラなどが例示できる。

そのため、第１観察部３１では、蛍光発光した光３５ａが第１フィルタ部３１ｆを通過した光３７ａとして観察される。また、第２観察部３２では、蛍光発光した光３５ｂが第２フィルタ部３２ｆを通過した光３７ｂとして観察される。

第１フィルタ部３１ｆは、蛍光発光した光３５ａのうち、正常発光の判定基準となる第１の波長よりも長い波長の光を透過させるもの（いわゆる、ロングパスフィルタ）である。

第２フィルタ部３２ｆは、蛍光発光した光３５ｂのうち、正常発光の判定基準となる第２の波長よりも短い波長の光を透過させるもの（いわゆる、ショートパスフィルタ）である。

この場合、第１フィルタ部３１ｆは、正常発光の判定基準となる第１の波長を４５０ｎｍとし、それよりも長い波長の光を透過させるように構成する。より具体的には、第１フィルタ部３１ｆは、透明ガラスや石英基板の表面に、波長４５０ｎｍよりも長い波長の光が透過するような、多層膜コーティングを施しておく。

一方、第２フィルタ部３２ｆは、正常発光の判定基準となる第２の波長を４６０ｎｍとし、それよりも短い波長の光を透過させるように構成する。より具体的には、第２フィルタ部３２ｆは、透明ガラスや石英基板の表面に、波長４６０ｎｍよりも短い波長の光が透過するような、多層膜コーティングを施しておく。

図２は、本発明を具現化する形態で得られた判定結果の一例を示す概略図である。
図２（ａ）には、ウエハーＷ上に、検査対象となるＬＥＤチップが複数配置された様子が示されいる。ウエハーＷに配置されている各ＬＥＤチップは、外見上は良品／不良品の見分けが付かないが、説明のために、不良モード毎にハッチングをして示す。ここでは、検査対象となるＬＥＤチップＣのうち、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，Ｂ５，Ｂ６に示す部分は不良品であり、それ以外の部分は良品であることを示している。
なお、Ｂ１，Ｂ２に示す部分は、発光強度不良の不良品である。Ｂ３，Ｂ４に示す部分は、波長４４０〜４５０ｎｍで（つまり、短波長側に波長ずれして）発光する不良品である。Ｂ５，Ｂ６に示す部分は、波長４６０〜４７０ｎｍで（つまり、長波長側に波長ずれして発光する不良品である。

図２（ｂ）には、第１観察部３１で観察されたウエハーＷの画像が示されいる。
ウエハーＷ上に配列された複数のＬＥＤチップＣを第１観察部３１で観察した場合、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４で示す部分は暗画像として写り、それ以外は明画像として写る。このとき、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４で示す部分は、ＬＥＤチップＣから蛍光発光した光が、第１観察部３１の第１フィルタ４１を通過していないことを意味する。つまり、ＬＥＤチップＣが、短波長側にずれて発光しているか、発光強度不良であると判断できる。

図２（ｃ）には、第２観察部３２で観察されたウエハーＷの画像が示されいる。
ウエハーＷ上に配列された複数のＬＥＤチップＣを第２観察部３２で観察した場合、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ５，Ｂ６で示す部分は暗画像として写り、それ以外は明画像として写る。このとき、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ５，Ｂ６で示す部分は、ＬＥＤチップＣから蛍光発光した光が、第２観察部３２の第１フィルタ４２を通過していないことを意味する。つまり、ＬＥＤチップＣが、長波長側にずれて発光しているか、発光強度不良であると判断できる。

つまり、第１観察部３１と第２観察部３２で観察されたウエハーＷの画像を見れば、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，Ｂ５，Ｂ６に示す部分が、不良品であると判断でき、さらに両画像を見比べることにより、より具体的な不良モードを判断できる。なお、不良モードとは、例えば、発光強度不良、短波長側に波長ずれして発光、長波長側に波長ずれして発光のいずれかである。

上述の様に、青色ＬＥＤの良否判定を行う場合、上記構成のＬＥＤチップ検査装置１を用いれば、検査対象となるＬＥＤチップＣの発光波長が４５０ｎｍ〜４６０ｎｍであれば良品とし、それ以外の波長で発光若しくは発光強度不良による不良品と判断することができる。つまり、検査対象となる蛍光発光体の正常な蛍光発光波長をオーバーラップしつつ、長波長側の光を第１観察部で、短波長側の光を第２観察部で観察でき、第１観察部と第２観察部で観察した画像を比較することで、検査対象となる蛍光発光体が正常発光か、発光強度不良か、長波長側にシフトして発光しているか、短波長側にシフトして発光しているか、発光状態を直ぐに判定でき、判定精度も高められる。よって、本発明にかかるＬＥＤチップ検査装置は、検査対象となるＬＥＤチップの発光状態を、高精度かつ短時間に検査できる。

なお、上述で設定した波長は、説明のために例示したものであり、他の色のＬＥＤの良否判定であれば、適宜他の波長に設定すれば良い。また、良品とする波長の範囲も、適宜設定すれば良い。また、ＬＥＤチップ検査装置１には、適宜、ウエハーＷを載置する載置台Ｓと、載置台ＳをＸＹ方向の任意の位置に移動させ静止させるＸＹテーブル機構（不図示）を備え、検査をさらに迅速に行える構成としても良い。

［別の形態］
図３は、本発明を具現化する形態の別の一例を示す側面図である。
図３は、図１を用いて上述したＬＥＤチップ検査装置１の別の形態である、ＬＥＤチップ検査装置１ｂについて示したものである。

本発明にかかるＬＥＤチップ検査装置１ｂは、ＬＥＤチップ検査装置１とは一部構成が異なり、照明部２ｂと、蛍光観察部３ｂを備えて構成されている。以下、相異点について説明を行う。

照明部２ｂは、ウエハーＷの表面にパターニングされたＬＥＤチップＣに対して、斜め方向から照明光２１ｂが照射するものである。ＬＥＤチップＣは、照明光２１ｂが照射されることにより、蛍光発光した光３５ｃを発する。

蛍光観察部３ｂは、蛍光発光した光３５ｃを観察するためのものである。
蛍光観察部３ｂには、蛍光発光した光３５ｃの光束を分岐する分岐手段３４が備えられている。分岐手段３４は、蛍光発光した光３５ｃの一部を、分岐した光３６ａとして透過させつつ、残りの光を分岐した光３６ｂとし反射させるものである。分岐手段３４としては、ハーフミラーや、ビームスプリッタ等と呼ばれる光学素子を例示することができる。

具体的には、蛍光観察部３ｂの第１観察部３１と第２観察部３２とは、レンズ（不図示）などが組み込まれた鏡筒３３に取り付けられている。さらに、鏡筒３３には、分岐手段３４が取り付けられており、第１観察部３１と第２観察部３２とによって、ＬＥＤチップＣから発せられる蛍光発光した光３５ｃを同時に観察できるように構成されている。

また、第１観察部３１の観察光路中には第１フィルタ部３１ｆが取り付けられており、第２観察部３２の観察光路中には第２フィルタ部３２ｆが取り付けられている。第１フィルタ部３１ｆは、分岐した光３６ａを通過させて、第１フィルタ部３１ｆを通過した光３７ａとして第１観察部３１で観察するためのものである。同様に、第２フィルタ部３２ｆは、分岐した光３６ｂを通過させて、第２フィルタ部３２ｆを通過した光３７ｂとして第２観察部３２で観察するためのものである。

なお、図３では、蛍光発光した光３５ｃが垂直上方に発せられた状態について例示したが、これに限定されず、斜め方向に発せられた状態であっても良く、観察対象とする蛍光発光した光３５ｃの方向に合わせて、鏡筒３３を配置すれば良い。

ＬＥＤチップ検査装置１ｂは、このような構成をしているため、検査対象となるＬＥＤチップＣを検査する際に、第１観察部３１と第２観察部３２を用いて、蛍光発光した光３５ｃを分岐させて同時に観察することができる。そして、双方の画像を見比べることで、上述した不良モードを迅速に判断できるようになるため、より好ましい。

［別の形態］
検査対象となるＬＥＤチップＣが１枚の基板上に複数配置されていれば、蛍光観察部３の第１観察部３１と、第２観察部３２とは、検査対象となる複数のＬＥＤチップを一度に観察できる視野サイズが同じに設定されている形態とすることが好ましい。具体的には、分岐手段３４は、鏡筒３３に、ハーフミラーや、ビームスプリッタ等と呼ばれる光学素子を備えて構成する。そして、分岐手段３４から第１観察部３１，第２観察部３２までの光路長は同じにし、その間にレンズ等が配置されていれば、観察倍率が同じになるようにしておく。

このような形態とすれば、検査対象となるＬＥＤチップＣを検査する際に、第１観察部３１と第２観察部３２とで、一度に観察する視野サイズが同じであり、双方の画像を見比べて不良モードを判断することが、より迅速にできるようになるため、より好ましい。

［別の形態］
図４は、本発明を具現化する形態の別の一例を示すブロック図である。
図４は、上述したＬＥＤチップ検査装置１，１ｂのさらに別の形態である、ＬＥＤチップ検査装置１ｃについて示したものである。
ＬＥＤチップ検査装置１ｃは、ＬＥＤチップ検査装置１の構成に加えて、検査対象となるＬＥＤチップの良否を判定する良否判定部７をさらに備えており、このような形態とすることがより好ましい。

良否判定部７は、第１判定部７１と、第２判定部７２と、第３判定部７３を備えている。第１判定部７１は、第１観察部３１で観察された画像に基づいて、検査対象となるＬＥＤチップＣの蛍光発光強度を基に良否候補を判定するものである。
第２判定部７２は、第２観察部３２で観察された画像に基づいて、検査対象となるＬＥＤチップＣの蛍光発光強度を基に良否候補を判定するものである。
第３判定部７３は、第１判定部７１で判定された結果と、第２判定部７２で判定された結果に基づいて、検査対象となるＬＥＤチップＣの良否を判定するものである。

具体的には、第１判定部７１と、第２判定部７２と、第３判定部７３とは、画像処理ユニットとその実行プログラムによって構成することができる。

この場合、第１判定部７１は、第１観察部３１から出力されて画像処理ユニットに入力された画像データに対して、実行プログラムに基づく処理を行い、検査対象となるＬＥＤチップＣ部分の明るさ情報を取得する。そして、当該明るさ情報と、予め設定された第１閾値情報に基づいて、検査対象となるＬＥＤチップＣ部分の蛍光発光の良否候補を判定する。つまり、当該明るさ情報が、予め設定された第１閾値情報よりも明るい（明画像）と判断されれば、当該部分を良品と判定し、逆に暗い（暗画像）と判断されれば、当該部分を不良と判定する。

さらに、第２判定部７２は、第２観察部３２から出力されて画像処理ユニットに入力された画像データに対して、実行プログラムに基づく処理を行い、検査対象となるＬＥＤチップＣ部分の明るさ情報を取得する。そして、当該明るさ情報と、予め設定された第２閾値情報に基づいて、検査対象となるＬＥＤチップＣ部分の蛍光発光の良否候補を判定する。つまり、当該明るさ情報が、予め設定された第２閾値情報よりも明るい（明画像）と判断されれば、当該部分を良品候補と判定し、逆に暗い（暗画像）と判断されれば、当該部分を不良候補と判定する。

さらに、第３判定部７３は、第１判定部７１と第２判定部７２から出力された判定結果
を取得し、それらの判定結果に対して論理演算して判定結果を出力する。つまり、検査対象となるＬＥＤチップＣ部分について、第１判定部７１と第２判定部７２との判定結果が双方とも良品候補判定であれば、第３判定部７３は、論理演算により良品として判定結果を出力する。一方、第１判定部７１と第２判定部７２との判定結果のいずれかが不良品候補判定であれば、第３判定部７３は、論理演算により不良品として判定結果を出力する。この不良品判定はより具体的な不良モードを判断することができる。不良モードとは、例えば、発光強度不良、短波長側に波長ずれして発光、長波長側に波長ずれして発光のいずれかである。

ＬＥＤチップ検査装置１ｃは、このような構成をしているため、検査対象となるＬＥＤチップＣの良否判定を自動的に行うことができる。

なお、上述の中で、発光強度不良とは、発光強度が不足している状態を前提に説明した。しかし、本発明を適用して検査を行う場合、発行強度量不足に限らず、第１閾値及び第２閾値に上限を設け、いずれかの上限値以上で発光している場合も発光強度不良とする様にしても良い。

上述の説明では、蛍光発光体の一類型として、半完成品状態ではあるがフォトルミネッセンス特性を有するＬＥＤチップを例示し、当該ＬＥＤチップの蛍光発光波長及び蛍光発光強度に基づいた良否判定を行うことで、検査を行うことについて詳細を説明した。そのため、本発明を適用させることで、蛍光発光する半完成品状態のＬＥＤチップの検査においても、当該ＬＥＤチップに対して、高精度かつ短時間に検査できる。また、本発明は、当該フォトルミネッセンス特性を有するＬＥＤチップがウエハーなどの１枚の基板上に複数配置されていれば、一度に複数のＬＥＤチップを検査対象としてＬＥＤチップの製造工程中の半完成品状態でより短時間に検査できるので、より好ましいと言える。

なお、本発明の検査対象となる蛍光発光体は、上述の半完成状態のＬＥＤチップに限らず、有機ＥＬ・無機ＥＬに用いられる蛍光発光材料や、他の蛍光発光素子を含めることができ、それらの蛍光発光波長及び蛍光発光強度を検査するために本発明を適用することができる。

１ ＬＥＤチップ検査装置
１ｂ ＬＥＤチップ検査装置
１ｃ ＬＥＤチップ検査装置
２ 照明部
２ｂ 照明部
３ 蛍光観察部
３ｂ 蛍光観察部
７ 良否判定部
２１ 照明光
２１ｂ 照明光
３１ 第１観察部
３２ 第２観察部
３１ｆ 第１フィルタ部
３２ｆ 第２フィルタ部
３３ 鏡筒
３４ 分岐手段
３５ａ 蛍光発光した光
３５ｂ 蛍光発光した光
３５ｃ 蛍光発光した光
３６ａ 分岐した光
３６ｂ 分岐した光
３７ａ 第１フィルタ部を通過した光
３７ｂ 第２フィルタ部を通過した光
７１ 第１判定部
７２ 第２判定部
７３ 第３判定部
Ｃ ＬＥＤチップ
Ｓ 載置台
Ｗ ウエハー

Claims (4)

1. 検査対象となる蛍光発光体に向けて照明光を照射する照明部と、
   前記蛍光発光体から蛍光発光した光を観察する蛍光観察部を備え、
   前記蛍光観察部には、第１観察部と、第２観察部と、第１フィルタ部と、第２フィルタ部とを備え、
   前記第１観察部では前記第１フィルタ部を通過した光を観察し、
   前記第２観察部では前記第２フィルタ部を通過した光を観察し、
   前記第１フィルタ部は、前記蛍光発光した光のうち、正常発光の判定基準となる第１の波長よりも長い波長の光を透過させ、
   前記第２フィルタ部は、前記蛍光発光した光のうち、正常発光の判定基準となる第２の波長よりも短い波長の光を透過させ、
   前記第１の波長は、前記第２の波長よりも短く設定されており、
   当該検査対象となる蛍光発光体の良否を判定する良否判定部をさらに備え、
   前記良否判定部は、
   第１観察部で観察された画像に基づいて当該検査対象となる蛍光発光体の蛍光発光強度を基に良否候補を判定する第１判定部と、
   第２観察部で観察された画像に基づいて当該検査対象となる蛍光発光体の蛍光発光強度を基に良否候補を判定する第２判定部と、
   前記第１判定部と前記第２判定部の結果に基づいて当該検査対象となる蛍光発光体の良否を判定する第３判定部とを備えた
   ことを特徴とする蛍光発光体の検査装置。
2. 前記蛍光観察部には、前記蛍光発光した光の光束を分岐する分岐手段を備え、
   前記第１観察部と前記第２観察部とが、前記検査対象となる蛍光発光体を同時に観察することを特徴とする、請求項１に記載の蛍光発光体の検査装置。
3. 前記検査対象となる蛍光発光体は、１枚の基板上に複数配置されており、
   前記蛍光観察部は、検査対象となる複数の蛍光発光体を一度に観察できる視野サイズが同じに設定されている
   ことを特徴とする、請求項２に記載の蛍光発光体の検査装置。
4. 前記検査対象となる蛍光発光体が、フォトルミネッセンス特性を有するＬＥＤチップであることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載のＬＥＤチップの検査装置。

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