JP2008175818A - 表面検査装置及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】カラーマッチングが不十分又は不可能であることによる検出エラーを、特に暗視野画像においても実質的に減少できる装置及び方法を提供すること。
【解決手段】第１及び第２の照明モード、特に明視野及び暗視野照明でウエハ６の表面の一領域８を照明するための１以上の落射光照明装置２、２’、照明された領域８の画像を検出するための１以上の検出装置４、各落射光照明モードでの最適化された強度及び色の数値を記憶するための装置を備える検査装置及びその検査方法である。
【選択図】図１

Description

本発明は、少なくとも１つの照明手段（装置）及び画像検出手段（装置）を備え、測定対象の表面の一領域が少なくとも第１及び第２の照明モードで照明される、表面（特にウエハ表面）の検査方法に関する。

本発明はまた、特に上記検査方法に適した表面（特にウエハ表面）の検査装置に関する。

定められた表面構造を製造するには、しばしば複数の方法や処理ステップを順次行う必要がある。完成したそれぞれの中間製品の品質は、最終製品に重大な影響を与える。これが中間製品の表面をしばしば検査しなければならない理由である。例えば半導体の製造においては、膨大な処理ステップの中の製造プロセスにおいてウエハが順序立てて処理される。集積密度が上がるにつれて、ウエハ表面に形成される構造の品質がますます厳しく要求される。そのため、リソグラフ処理のような、製造プロセスの中で下流の処理ステップに進む前の個々の処理ステップの品質が、高信頼性で評価できることが好ましい。即ち、もしも１つの処理ステップの完了後、製造プロセスの完了前に、ウエハ又はウエハ表面上の構造に欠陥があると判断されれば、そのウエハはさらに処理すべき下流側の処理ステップに送ることなく、すぐに廃棄できる。欠陥が発見されたウエハは、必要な品質が得られるまで別途後処理されうる。こうして半導体製造における効率と歩留まりが改善される。

このような（物体の）表面、特にウエハ表面の検査には、光学的装置が特に適している。光学的装置は、画像検出手段によりウエハ表面の種々の構造を同定することができる装置として知られている。このようなウエハ検査装置は種々の照明モードで使用されうる。例えば、明視野照明はいわゆる明視野配置によって可能であり、そこではウエハ表面が照明され、表面からの反射光はカメラで検知される。暗視野照明は、いわゆる暗視野配置によって可能であり、そこではウエハ表面が照明され、欠陥、粒子等により分散ないし散乱された光（gestreutes Licht）がカメラによって検知される。改良された暗視野照明は、いわゆる改良暗視野配置（Advanced Dundelfeld-Anordnung）によって行われる。

以下の分析は本発明により、与えられる。
明視野及び暗視野配置での画像の記録は、その重要性は同じではない。最適なウエハ検査のためには、明視野配置及び暗視野配置のいずれもウエハ検査装置を用いて画像記録することが望ましい。暗視野配置において、ウエハ表面の欠陥を高い精度で検出するためには、強い強度のフラッシュ光を表面の照明に用いることが望ましい。この目的のためには、明視野及び暗視野配置に用いられる落射光照明手段（装置）はストロボ状で用いられる。それらはウエハ表面に投影される比較的短い照明フラッシュを放射する。

よく知られているように、このようなシステムの精度はカラーマッチングを行うことによって高められる。明視野配置でこれを行うには、録画カメラのカメラ利得（ゲイン Vestaerkung）を例えば赤及び青チャンネルのような規定された色チャンネルにおいて調整することにより、検出装置は参照（比較のための基準ないし対照）ウエハフィールド（アレイないし配列）又は参照ウエハに対する明視野照明が所定の色にマッチされる。しかし暗視野モードではカラーマッチングはできない。これが、暗視野画像において色の偏り（abweichungen）に基づく検出エラー（誤差）を避けることができない理由である。

従って、本発明の課題は、カラーマッチングが不十分又は不可能であることによる検出エラーを、特に暗視野画像においても実質的に減少できる装置及び方法を提供することである。

本発明によれば、この目的は以下の各工程を含む、測定対象の表面、特にウエハ表面、の検査方法により解決される。即ち、この方法は第１及び第２の照明モードによる照明手段の色エラーを検出する工程、第１及び第２の照明モードの調整を最適化する工程、第１及び第２の照明モードでの検査すべき表面の強度と色を別々に記憶する工程、最適化された第１及び第２の照明モードの調整（Einstellung）を用いて照明手段の色エラーを考慮しつつさらなる表面を走査する工程、を含む。

装置に関しては、この目的は、第１及び第２の照明モード、特に暗視野及び明視野照明で測定対象（特にウエハ）の表面の一領域を照明する１以上の落射光照明装置と、照明領域の画像を検出する１以上の画像検出装置と、各落射光照明モードでの最適化された照明の強度及び色の数値を記憶する手段とを含む、測定対象（特にウエハ）の表面検査装置によって達成される。

本発明によれば、異なる照明モードを用いる照明手段（装置）によって一の表面領域が照明される表面検査方法及び装置が提案される。一つの画像検出手段により、各照明モードで照明された領域の一つの画像が検出され、各照明モードにおいて（ついて）照明は別々に最適化される。最適化の結果得られた色及び強度のデータは、各照明モードごとに記憶（記録保存）される。記憶されたこれらのデータは、次いで検査すべき表面、例えば検査すべき一つのロット全体のウエハの表面（複数）を検査する基礎データとして供される。そのため、被検査表面は適用する照明モードごとに記憶された色及び強度のデータを用いて走査される。

異なる照明モード（種類ないし仕方）は、落射光照明手段（装置）及び画像検出手段（装置）を配置し及び（それらを用いて）実施することにより得られる。

このアプローチにより、各照明モードごとに改良された照明によって、被検査表面を検査することが確保される。同時にこの方法に要する時間は少なくて済む。なぜなら、分離（してデータを取得すること）は準備（学習 Einlernen）段階でのみ行われ、その際色に関しては既知の装置エラーを考慮に入れることができるからである。

被検査表面が多い場合、この方法は２次エラーも考慮して用いることができる。特に不均一な開口照明を考慮に入れることができる。各成分（Anteile）はそれぞれ各別に（分離して）本来の（オリジナル）表面と比較できる。

本発明の１つの実施形態として、各照明モード用に記憶された強度及び色のデータは、用いる検査手段の既知の強度値及び色値(Farbwert=color value)により補正することができる。かくて、検査手段（装置）に基づく色及び強度エラーが考慮される。

照明の強度が支配的（最も強い、dominieren）であれば、この照明モードでカラーマッチング（Farbabgleich）を行うのに十分である。なぜなら、強度及び色のデータはすでに存在するので、カラーマッチングは簡単な方法で実施できるからである。

強度及び色の記憶されたデータは、被検査ウエハと比較するための一つの参照（対照）を作るためにも用いられうる。このため、ウエハの代表的な部分が各照明モードで各別に走査され、この走査から一つの参照が得られる。これは照明成分を抽出するか、又は（照明）成分を各別に比較して行われる。いずれの場合にも、検査装置の色及び強度のデータによって補正された色及び強度数値が用いられうる。かくてこの比較から、ロットの残りのウエハと比較するために用いる一つの参照画像を、作ることができる。

本発明において特に有利な点は、記憶された各照明モードでの色及び強度のデータは、他の検査装置（複数）に伝送できることである。こうしてこれらのデータから他の検査装置の色及び強度データを正確に計算（ないし外挿・推定）する、即ち補正することができる。結果として、他の検査装置に適合した参照画像もまた作ることができる。こうして、ウエハのロットを検査するための他の検査装置（複数）を直接使用することができ、この場合ウエハを走査し次いで推計参照画像と比較される。即ち、第１の検査装置についての強度及び色に関する記憶データ、及び任意的に表面の代表部分の走査データが、第２の検査装置に伝送され、伝送された強度及び色に関するデータが第２の検査装置の中で第１の検査装置の既知の強度値及び色値を用いて補正され、そして任意的に、これらのデータから第２の検査装置に適合した参照が作られる。この校正を行うことにより、複数の検査装置を用いた場合でも、いずれも同一の測定結果が得られるようになる。

用いる照明装置はしばしば照明強度及び／又は色の変動を有する。本発明の１つの実施形態においては、これらの変動は、１つの参照検出器を用いてさまざまな強度及び／又は色の照明装置で検出し、特に各ウエハごとに個別の画像又は各ピクセルの、補正を行うことにより考慮することができる。このため、参照検出器が照明装置の光線路内の適切な位置に配設される。

各照明モードでの最適化された強度及び色データを各別に記憶することにより、複数の画像データの撮像（記録）の場合に、明視野照明、暗視野照明又は改良（Advanced）暗視野照明のような用いられる各照明モードのための照明が被検査ウエハにあわせて最適に調整され、当該ウエハの照明モードごとに最適化された画像を得ることが可能となる。下流側（後置）の画像処理装置において、これらの画像は特別に有利な方法で処理されることができる。

本発明に係るその他の利点及び有利な実施形態を、以下の図面及びそれに関連する解説によって説明する。

図１は考えられる１実施形態における表面検査装置の概略側面図である。ここに示す表面は、ウエハ検査装置１によって検査されうるウエハ６の表面である。ウエハ検査装置１は、２つの落射光照明装置２、２’を含み、それぞれウエハ６の表面３２の一領域８を照明するための落射光照明光線３７を放射する。ウエハ検査装置１は、画像検出装置（手段）として作動し、ウエハ６の表面３２の照明された領域８を検出するカメラ４をさらに含む。カメラ４は、単色（モノクローム）及び／又はカラー（ポリクローム）画像を検出する、好ましくはＲ、Ｇ及びＢの色成分を持つ、マトリックス−又はラインカメラとして構成しうる。図面参照符号３０はカラー画像データを読み取るのに適したカメラ４のカラーチャンネルの全体を概略的に示すものである。カメラ４で規定される撮像光軸１０は、ウエハ６の表面３２に垂直である。カメラ４に前置されたレンズ５は、カメラ４の撮像面上に照明領域８の画像を結像させる。カメラ４で検出された画像データは、記憶及び／又はその後の処理のため、データライン１３を通じてデータ読み取り装置として作動するコンピュータ１４によって読み取られる。画像データは、モニタ又はディスプレイ１５のような表示装置上に表示されうる。好ましくは１台のカメラ４が配置されるが、基本的に複数のカメラ４もまた配置可能である。

落射光照明装置２は、それに結合された光源１１を有し、その光は光ガイド又は光ファイバ束１２によって落射光照明装置２に供給される。レンズ又は対物レンズ３は、ウエハ６の表面３２上に落射光照明光線３７を結像させるが、必ずしもなくても良い。落射光照明装置２は、ウエハの表面３２の法線ないし撮像光軸１０に対して角度αだけ傾斜した照明光軸９を規定する。

第２の落射光照明装置２’は、それに結合された光源１１’を持ち、その光は光ガイド又は光ファイバ束１２’のような手段により適切に連結され、落射光照明装置２’に入る。落射光照明装置２’により放射された光線は、光線分割ミラー５０の前表面で反射され、落射光照明装置２’の照明軸がカメラ４の撮像光軸１０と同軸となってウエハ６の表面３２に至る。

落射光照明装置２’は明視野配置（被検査表面に直交する入射光軸をもって）で配置されているので、照明されたウエハ６の表面３２の領域８からの反射光は光線分割ミラー（ビームスプリッタ）５０を透過してカメラ４内で結像する。落射光照明装置２は暗視野配置で配置されているので、照明光線３７はウエハ６の表面３２から直接反射してカメラ４に入るわけではない。そうではなく落射光照明光線３７は、例えば照明された領域８内の欠陥又は粒子によるような散乱光（Streulicht）又は、回折光（gebeugtes Licht）のみをカメラ４内に結像する。

ウエハ６は、真空チャック（保持器）又は静電チャックのようなウエハ支持装置（テーブル）７の上に保持されている。ウエハ支持装置７はその位置を可動に構成されている。これによって、ウエハ６は落射光照明光線に対して相対的に連続的又は段階的に（ないし断続的に所定タイミングで getaktet）移動可能となっている。これは、例えばウエハ６の表面３２の入射点３５を通る法線回りにウエハ６を回転させることで達成できる。また、ウエハ６の面内で空間的に互いに直交する方向に並進させてウエハ６を移動させることも可能である。

図２は、図１に係るウエハ検査装置の平面図である。ここでは、２つの落射光照明装置２、２’が、互いに直角となる丸付き数字１及び２で示す２つの位置に配置されている。ウエハ６は、ウエハ支持装置７の上であらかじめ決められた方向に保持されている。ウエハ６の方向決めには、ウエハ６表面上の（位置決め用）ノッチ３４（あるいは図示しないフラット又はマーク）が用いられる。ウエハ６の方向決めには、ウエハの配向調節装置が用いられうるか、又は所定の方向に調節したウエハ６を掴みアーム等を用いて所定の方向を変えないでウエハ支持装置に搬送することができる。

図２に示すように、複数のダイ１７がウエハ６表面に形成され、そして好ましくは互いに直交する、例えばストリートと呼ばれる、直線状の構造３３がウエハ６表面上に形成される。照明光軸９、９’を持つ投射が、ウエハ６表面上の直線構造３３に平行又は直交してウエハ６表面上に延在する。

図２の破線に示すように、さらなる複数の落射光照明装置がウエハ６の周囲に配置され、例えば丸付き符号１で示す落射光照明装置２に対して、好ましくは４５°又は９０°の整数倍に対応する角度間隔で配置されうる。このような可能性のある配置が図２では３から８の丸付き数字で示されている。

カメラ４は、丸付き符号１から８までの落射光照明装置の１つからの照明によるウエハ６表面からの散乱光を検出するために、ウエハ６の法線上に配置される。

他の落射光照明装置は、ウエハ６表面に実質的に平行な光線を放射するために、丸付き符号９で示される位置に配置される。この光線は、図１に示すようにウエハ６表面に垂直な方向に光線分割ミラー５０の前表面で反射される。丸付き符号１から８までに示す位置に配置された落射光照明装置２は暗視野配置で配置される。丸付き符号９に示す位置に配置された落射光照明装置２は明視野配置で配置される。

図１及び２に係るウエハ検査装置１を用いて本発明に係る方法を実施するための概略処理ステップを図３に示す。

ウエハ検査装置１を用いて多数の同様なウエハ６の表面を走査する前に、明視野照明及び暗視野照明のための照明が最適化ステップ４０により最適化される。そのため、明視野及び暗視野照明のために用いられる照明は、最適な画像が得られるようにその強度が変更される。これらの数値（複数）は、上記構造３３及びダイ１７の構造、即ちウエハ６の形態に依存する。このため、参照ウエハのような、参照（対照）構造体好ましくは表面配列の参照又は表面の参照が用いられる。参照構造体を照明することにより、各照明モードにおける取得すべき照明装置の色エラーが各別に得られる。

必要であればこれらの数値は補正され、こうして得られた強度及び色に関する数値は、記憶ステップ４２により、ウエハ検査装置１の各照明モードのために記憶される。これらの数値はウエハが常に単一の照明装置により照明されるとの前提により得られ、当該照明での輝度値及び色値が、処方（手順 Recipe）の中に記憶される。通常、明視野照明及び暗視野照明のために用いられる落射光照明装置の光源は多色光（ポリクロマチック）であり、そのため複数の色チャンネルが備えられている。しかし、明視野照明２’及び暗視野照明２のために異なる色の単色光フラッシュも用いられる。例えば、青色のフラッシュを明視野照明２’に使用し、多色光フラッシュ又は青以外の単色光フラッシュを暗視野照明２に用いることができる。さらにまた、単色照明光フラッシュは、異なった色を用いての明視野配置での撮像及び暗視野配置での撮像に対して、色分離のために使用することができる。またこれらの場合には、上述したように、各モードでの強度値及び色値が各別に記憶されうる。

かくて、ウエハ検査装置１は参照に対比して（基づいて）測定されかつ調整されたことになる。照明のための改良されたデータがすでに記憶（保存）されている。今や多数のウエハの表面がウエハ検査装置１を用いて走査できる。各別に保存されたデータは各照明のために用いられる。

ステップ４２で色及び強度データを保存した後、用いたウエハ検査装置１により得られた色及び強度値は、装置データステップ４４で最適（optimal）なものに変更・修正でき、必要であれば記憶（保存）できる。これにより、それぞれの装置ごとの（各別）データを考慮に入れることが可能となる。

ウエハ検査装置１の作動即ちウエハ６表面の検出操作にあたっては、色及び強度に関する当該保存データが当該（即ち、当該保存データ取得に用いたのと同じ）落射光照明装置２、２’において用いられ、ウエハ６の表面３２が走査ステップ４６で走査される。落射光照明装置２、２’は、例えば約１５マイクロ秒のフラッシュ時間のような短い（時間の）光フラッシュを放射するために、ウエハ６の表面に向かって、記憶された色及び強度値でストロボ的に作動される。光フラッシュの合間に、連続的に、あるいは代替的実施形態においては所定のクロックタイミングをもって（ステップ的ないし断続的）かつ同期的方法で、ウエハ６が照明装置に対して移動され、ウエハ表面の検出すべき画像領域が同期的に互いに相対的に位置（領域）を移動して、最終的にはウエハ表面全体が順次画像採取される。続いて新たな照射サイクルが開始される。カメラ４で検出されたウエハ６の表面３２の照明領域８の画像は、例えばフレームグラバー（画像保存）カードを用いて照明光フラッシュと同期して読み取り、画像データがコンピュータに送られ、そこで一時的に保存及び／又はさらに処理される。評価された画像はモニタ１５に表示される。

カラーマッチングがカラーマッチングステップ４８で最適に行われ、その際当該照明モードで輝度が支配的（最も強い、dominieren）であるかどうかがチェックされる。もし支配的であれば、カラーマッチングは当該照明モードでのみ行われる。このため、撮像に用いるカメラ４のカメラゲイン（Verstaerkung）は、ウエハ検査装置１が、対応する照明モードでウエハ６の参照フィールド（ないしアレイ Referenzfeld）又は参照ウエハに対し、予設定（所与）の色にマッチするように、関連する（色）チャンネル３０において調整される。

本発明における方法による最適化から得られる色及び強度データを記憶（保存）することにより、各照明モードにとって更なる利点が得られる。保存された色及び強度データは、別の表面検査装置特に別のウエハ表面検査装置に伝送されうる。これにより、各照明モードの個別の照明成分（Anteile）が、この装置の（保存された）既知の色及び強度データを用いて（外挿）補正（hochrechnen,精密に計算）できる。かくて、他の装置に適合した関連参照画像を簡単に提供できるのである。ウエハ６を走査するとき、走査結果は（外挿）補正された参照画像と比較できる。参照画像を作るには、それぞれの各成分が互いに（それに合うように）計算されなければならない。もしもカメラが非線形の特性を持っていれば、（用いた）カメラ（タイプ）４の平均強度曲線を用いても（データ）処理できる。より正確な評価のためには、カメラ４の強度曲線を測定し、参照画像は同様に事前保存されたこの強度曲線を考慮して取得できる。

本発明によるさらなる実施形態において、各照明モードについて得られた色及び強度データは、改良された参照を作るためのウエハ６の走査の際にも用いることができる。このためには、１つのロットの最初のウエハの走査の前又は後に、ウエハ６の代表的な部分が各（jeder）照明モードで各別（separat）に走査される。この走査で、照明モードの各成分は各別に装置データ（Maschinendaten）により補正され、改良された参照画像が作られ、当該ロットの残り全てのウエハとの比較に用いられる。さらに、１つ又はそれ以上の照明成分が抽出され、残りの照明成分のみが処方（手順 Recipe）中の参照データと比較される。

本発明に係る方法及び装置の正確さは、落射光照明装置２、２’の強度及び色の場合により生じうる変動を補償することでさらに高められる。そのためには、例えば落射光照明装置２、２’の光線路内に参照検出器４９、４９’を設けて、照明手段のさまざまな強度及び色の変動を検出する。こうして各照明手段のそれぞれの光フラッシュの各強度及び色が検出され、個別の画像が既知の結合係数を用いて適切に対応補正される。

各照明モードの色及び強度の数値を保存し、保存した数値を再利用することによって達成される上記の補正は、ウエハ６、個別の画像又は各ピクセルの色分析にも専ら用いることができる。

本発明に係る方法及び装置を、図面を参照しつつウエハ表面に関し典型例として説明してきたが、本発明は、このような半導体表面に限るわけではない。これらは他の製品の表面検査にも用いられる。この方法は、同様な製品のロットの検査が行われるような製品に特に有利に利用できる。

本発明に係るウエハ検査装置の１実施例の概略側面図である。 本発明に係るウエハ検査装置の１実施例の概略平面図である。 本発明に係るウエハ検査方法の１実施例の概略手順である。

符号の説明

１ ウエハ検査装置
２、２’ 落射光照明手段（装置）
３ （対物）レンズ
４ カメラ
５ 対物レンズ
６ ウエハ
７ ウエハ支持手段
８ （ウエハ表面の）照明領域
９、９’ 照明光軸
１０ 撮像光軸
１１、１１’ 光源
１２、１２’ 光ファイバ束
１３ データライン
１４ コンピュータ
１５ ディスプレイ
１７ ダイ
３０ カラーチャンネル
３２ （ウエハの）表面
３３ 直線構造
３４ ノッチ
３７ 落射光照明光線
４０ （照明の）最適化ステップ
４２ 記憶（保存）ステップ（色及び強度のデータ）
４４ 装置データの考慮ステップ
４６ 走査ステップ（ウエハの表面の）
４８ カラーマッチングステップ
４９、４９’ 参照検出器
５０ 光線分割ミラー
α 入射角（照明光線の）

Claims (15)

1. 少なくとも１つの（第１）照明装置及び画像検出装置を用い、測定対象の表面の一領域を照明する、測定対象表面を検査するための方法であって、少なくとも第１及び第２の照明モードにより、
   該第１及び第２の照明モードにおける該照明装置の色エラーを検出する工程、
   該第１及び第２の照明モードの調整を最適化する工程、
   検査すべき該表面の該第１及び第２の照明モードのための強度及び色を別々に記憶する工程、
   該照明装置の該色エラーを考慮しつつ、該第１及び第２の照明モードのための該最適な調整を用いてさらなる表面を走査する工程、
   を含む方法。
2. １以上の前記照明装置のためのカラーマッチングが行われることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
3. 前記第１の照明モードは明視野照明であり、前記第２の照明モードは暗視野照明であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の方法。
4. 前記第２の、又はさらなる照明モードは改良暗視野照明であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
5. 各前記照明モードのための前記強度及び色のデータは用いる検査装置の既知の強度値及び色値により補正されることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の方法。
6. 強度において最も強い照明モードのためのカラーマッチングが行われることを特徴とする、請求項５に記載の方法。
7. 前記表面の代表的部分が各照明モードで別々に走査され、さらなる他の測定対象のための参照が該走査から作られることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
8. 抽出した照明成分で照明された前記表面が参照と比較され、及び／又は各照明成分で別々に照明された前記表面が参照と比較され、該比較から参照画像が作られることを特徴とする、請求項１〜７のいずれかに記載の方法。
9. 第１の検査装置についての前記強度及び色に関する前記記憶データ、及び任意的に該表面の前記代表部分の走査データが、第２の検査装置に伝送され、該伝送された強度及び色に関するデータが該第２の検査装置の中で該第１の検査装置の既知の強度値及び色値を用いて補正され、そして任意的に、これらのデータから該第２の検査装置に適合した参照が作られることを特徴とする、請求項１〜８のいずれかに記載の方法。
10. 前記第１及び／又は第２の照明装置の変動する強度及び／又は色が参照検出器を用いて検出され、各個別の画像又は各ピクセルが補正されることを特徴とする、請求項１〜９のいずれかに記載の方法。
11. 前記照明装置の色エラーを検出する前記工程が参照、特に内蔵する参照フィールド（ないしアレイ）又は参照表面を用いて行われることを特徴とする、請求項１〜１０のいずれかに記載の方法。
12. 第１及び第２の照明モード、特に明視野及び暗視野照明で測定対象の表面の一領域を照明するための１以上の落射光照明装置と、
    該照明された領域の画像を検出するための１以上の画像検出装置と、
    各落射光照明モードにおける最適化された照明の強度及び色に関する数値を記憶するための装置と、
    を含む測定対象表面の検査装置。
13. 第１の落射光照明装置は、照明された領域の画像が明視野配置で検出可能なように配置され、第２の落射光照明装置は、照明された領域の画像が暗視野配置で検出可能なように配置されていることを特徴とする、請求項１２に記載の装置。
14. 前記照明装置の変動する強度及び色を検出するための参照検出器を、前記照明装置の光線路内に備えていることを特徴とする、請求項１２又は１３に記載の装置。
15. 前記照明装置の光線路内に色フィルタを備えていることを特徴とする、請求項１２〜１４のいずれかに記載の装置。

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