TWI231861B - Color filter inspection apparatus - Google Patents

Description

!231861 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種彩色濾光片檢查裝置，用於檢查顯示 器用之彩色濾光片之彩色上之不均勻。 【先前技術】 在顯示器諸如液晶顯示器所代表之平板顯示器用之彩 色濾光片予以單片檢查時，通常以一種鈉蒸氣燈之橙色 光，或一種來自一名爲綠燈之燈之綠光照射彩色濾光片。 然後，目視檢驗光之透射及反射，藉以檢查彩色濾光片之 彩色上之不均勻（mura)。 然而，很難藉目視檢驗檢查作成圖案之彩色濾光片之彩 色上之不均勻，並且在有些情形，直到實際製造顯示板後 進行照明檢驗，還檢測不出不均勻。 【發明內容】 本發明針對一種彩色濾光片檢查裝置，供檢查顯示器用 &彩色濾光片之彩色上之不均勻，並且本發明之一項目的 胃藉透射照明高度精確檢查彩色濾光片之彩色上之不均 勻。 根據本發明，該彩色濾光片檢查裝置包含一用於支承一 彩色濾光片之支座，其中在一特定波長帶之一彩色組份濾 光片之透射比，高於在該特定波長帶之其他彩色組份濾光 片之透射比之和，一光源用於發出一光至彩色濾光片之一 主表面，及一影像拾取部份位於相對於該彩色濾光片之另 一*主表面，用於自彩色濾光片接收一在該特定波長帶之 5 312/發明說明書(補件)/92-06/92106015 1231861 光，而藉以獲得彩色濾光片之平面影像。 使用一特定波長帶，本發明可高度精確檢查彩色濾光片 之彩色上之不均勻。 較佳爲，在該特定波長帶之一彩色組份濾光片之透射比 爲高如或高於在該特定波長帶之其他彩色組份濾光片之透 射比之和之四倍。 根據本發明之一種較佳具體例’該彩色濾光片檢查裝置 更包含一提供在光源與影像拾取部份間之光學濾光片，用 於實際除去在該特定波長帶以外其他波長帶之光，並且光 源爲一放電燈。這允許容易高度精確檢查。 根據本發明之另一較佳具體例’光源有複數個LED (發光 二極管），並因此可簡化該裝置及延長光源之使用期限。 更佳爲，影像拾取部份之影像拾取方向傾斜於支座所支 承之彩色濾光片之主表面之法線。 自下列詳細說明，配合附圖，將會更明白本發明之此等 及其他諸多目的、特色、方面及優點。 【實施方式】 圖1爲正視圖，示一根據第一較佳具體例之彩色濾光片 檢查裝置1之構成’而圖2爲其平面圖。在圖1中，爲供 淸楚例示，由虛線指示該構成之一部份。彩色濾光片檢查 裝置1用以檢查一在一顯示器諸如液晶顯示器所使用之彩 色濾光片9之彩色上之不均勻，其爲在製造過程中由所施 加之彩色抗蝕劑之量上之變化或有些噴嘴之異常所導致。 在彩色濾光片檢查裝置〗，在一基座Π上提供一有一開 6 312/發明說明書(補件)/92-06/¾ 106015 1231861 口】2 1之台1 2，可在X方向移動，並將彩色濾光片9支承 在台1 2 Z開口〗2 1。將一有一線感測器]3 0之影像拾取部 份1 3配置在台1 2上面（亦即位於相對於彩色濾光片9之上 表面），及將一螢光燈1 4配置在台1 2下面（亦即位於相對 於彩色濾光片9之下表面）。影像拾取部份〗3沿γ方向（垂 直於紙頁之方向），通過一內部光學系統，進行一長區域之 影像拾取。將螢光燈1 4配置爲面向Y方向，對應於一影 像拾取區’以向彩色濾光片9之下主表面發出照明光。 在基座11上，如圖2中所示，配置一連接至一馬達21 之滾珠螺桿機構22，及用以導引台12之行進之導軌23， 並且驅動馬達2 1，藉以使台1 2沿導軌2 3在X方向轉移。 彩色濾光片9藉以沿主表面轉移。在影像拾取部份1 3之尖 端’如圖1中所示，提供一光學濾光片1 3 1，其爲一波長 選擇濾光片。 將影像拾取部份1 3及馬達2 1連接至一控制部份3 1 (圖1 中所示）。控制部份3 1使影像拾取部份1 3之影像拾取與 台1 2之行進同步，以控制影像拾取部份1 3所將進行之彩 色濾光片之平面影像之獲得。將影像拾取部份1 3之輸出傳 輸至一計算部份3 2，在此處進行檢查是否有彩色上之不均 勻 。 在彩色濾光片9之R(紅），G (綠）及B (藍）三彩色組份濾 光片（亦即彩色抗蝕劑）各進行影像拾取及計算’並在此時 間，將對應於此等彩色之光學濾光片1 3 1順序附著至影像 拾取部份】3。 312/發明說明書(補件)/92-00/92106015 1231861 學 之 部 成 8 1 透 光 射 波 有 8 5 方 電 局 查 光 4 不 之 白 8 如圖1中所示，影像拾取部份1 3之影像拾取方向（光 系統之光軸之方向）傾斜於台i 2所支承之彩色濾光片9 主表面之法線。傾斜角例如約爲〗〇度。這防止影像拾取 份13(特別是光學系統之尖端）在彩色濾光片9之反射及 像’以允δ午獲得適當影像。 其次’將討論光學濾光片1 3 1之特徵。圖3之曲線 指示R之彩色組份濾光片（亦即R之彩色抗蝕劑）之光譜 射比，以及曲線82及83分別指示G及b之彩色組份濾 片之光譜透射比。如圖3中所示，r，G及B之光譜透 比’相對於波長不完全分開。因此，在使用一種具有寬 長帶之光時，無法達成高精度檢查。 圖4爲曲線圖，示一自具有與液晶顯示器之光源所具 相同光譜特徵之螢光燈1 4所發出之光之光譜強度（曲線 所指示），並且在此圖也示圖3之三條曲線8 1至8 3，爲 便解釋而不管在垂直軸線之比例。如圖4中所示，自放 燈諸如螢光燈1 4所發出之光有一發射線光譜，並且具有 強度之波長帶受到限制。然後，在彩色濾光片檢查裝置] 在彩色濾光片9之R組份（R之彩色組份濾光片）進行檢 時，使用一透射一有波長 6 0 0毫微米或更大之光之濾 片，作爲光學濾光片1 3 1，並且僅使用在波長帶具有圖 中之尖峰8 5 1之光以供檢查。從而可適當檢查R組份之 均勻，而無彩色濾光片之G組份及B組份之效應。 在G組份進行檢查時，僅使用在波長帶接近尖峰8 5 2 光以供檢查。特別是，使用一透射一光在波長帶範圍 312/發明說明書(補件)/92-06/92106015 1231861 5 Ο Ο - 5 3 0毫微米至5 5 Ο - 5 7 0毫微米之濾光片，作爲光學濾 光片】3 1。在Β組份進行檢查時，僅使用在波長帶接近尖 峰8 5 3之光以供檢查，並且特別是，使用一透射一光在波 長帶範圍自4 4 0· 4 8 0毫微米或更小之濾光片，作爲光學濾 光片1 3 1。 如以上所討論，在彩色濾光片檢查裝置1 ’影像拾取部 份I 3接收在一彩色組份濾光片之透射比爲高而任何其他 彩色組份濾光片之透射比爲低之波長帶之光’以獲得一平 面影像，其對應於彩色濾光片9之一特定彩色組份濾光片 之透射比分布。因此，可高度精確檢查每一彩色濾光片之 不均勻，並獲得供製造過程之有用資訊。 而且，使用放電燈諸如螢光燈1 4 (在其他實例當中有氙 弧燈及金屬鹵化物燈）作爲光源，彩色濾光片檢查裝置1 允許利用來自放電燈之光之發射線光譜而容易高度精確檢 查，即使光學濾光片1 3 1不精確僅透射在特定波長帶之 光。特別是，在R組份或Β組份之濾光片進行檢查時，僅 提供光學濾光片1 3 1 (例如著色玻璃濾光片），其由於發射 線光譜之波長帶僅透射一有一波長長於或短於一預定波 長，便藉以可達成高度精確檢查。 利用具有線感測器1 3 0之影像拾取部份1 3，可在影像拾 取部份]3抑制光學系統之膨脹，並達成容易之檢查，即使 檢查大型私色灑、光片9。 如圖3中所示，通常並無二彩色組份濾光片之光譜透射 比均爲零之情形。因此，即使使用一在任何波長帶之光， 9 312/發明說明書(補件)/92·〇6/921〇6〇15 1231861 片9之間，以供產生均勻之線性照明至彩色濾光片9。 使用L E D作爲光源時，由於照明光具有一種單發射線光 譜，故無需光學濾光片1 3 1，並藉以簡化裝置構成。而且， 可延長光源之使用期限。根據彩色組份濾光片之各別特徵 製備三種LED陣列〗4a以供發光，並順序改變。 雖然以上業已討論本發明之較佳具體例，但本發明不受 限於以上所討論之較佳具體例’而允許各種變化。 例如，因爲一用於發出線性照明之光源垂直於線感測器 1 3 0之掃描方向（圖1及2之X方向），故可使用一光纖陣 列或一石英棒及一光源之組合。 如果彩色濾光片9大，並且難以在其邊緣支撐，則可在 圖2中所示台12之開口 121，或在圖6中所示二支撐導承 1 2 a之間提供一橫桿，以供支撐彩色濾光片9之中心部份。 使用具有線感測器1 3 0之影像拾取部份1 3時，雖然重 複檢查彩色上之不均勻，同時在以上較佳具體例作業員更 換光學濾光片1 3 1，但可提供三組具有線感測器1 3 0，螢光 燈14(光源）及光學濾光片131之影像拾取部份13(或影像 拾取部份1 3及LED陣列1 4a之三組合）分別供三彩色組 份。從而可利用僅一次掃描彩色濾光片9 ’檢查三彩色組 份濾光片。 唯有相對於具有線感測器1 3 0之影像拾取部份1 3達成 彩色濾光片9之行進，才可使影像拾取部份1 3相對於彩色 濾光片9轉移。 雖然本發明業經詳細圖示及說明，但上述說明在所有方 12 312/發明說明書(補件)/92·〇6/92106015 1231861 面 均 爲 例 證性而 非 限 制 性 〇 因 此 請 予 瞭 解 可 設 計 很 多 修 改 及 變 化 ，而不 偏 離 本 發 明 之 範 圍 〇 [ 圖 式 簡 單說明 ] 圖 1 爲 正視圖 5 示 — 根 據 第 一 較 佳 具 體 例 之 彩 色 濾 光 片 檢 查 裝 置 之構成 圖 2 爲 平面圖 ， 示 彩 色 濾 光 片 檢 查 裝 置 之 構 成 > 圖 3 爲 曲線圖 ? 示 彩 色 組 份 濾 光 片 之 光 譜 透 射 比 J 圖 4 爲 曲線圖 1 示 白 — 螢 光 燈 所 發 出 之 光 之 光 譜 強 度 1 圖 5 爲 正視圖 1 示 — 根 據 第 二 較 佳 具 體 例 之 彩 色 濾 光 片 檢 查 裝 置 之構成 Ϊ 圖 6 爲 彩色濾 光 片 檢 查 裝 置 之 左 側 視 圖 > 圖 7 爲 視圖， 示 另 一 彩 色 濾 光 片 檢 查 裝 置 之 構 成 之 一 部 份 y 以 及 圖 8 爲 視圖， 示 又 — 彩 色 濾 光 片 檢 查 裝 置 之 構 成 之 —. 部 份 0 (元件 :符號說明） 1 彩色濾 光 片 檢 查 裝 置 9 彩色濾 光 片 11 基座 12 台 12 a 支撐導 承 13 影像拾 取 部 份 13 a 影像拾 取 部 份 14 螢光燈 312/發明說明書(補件)/92-06/92106015 1231861 14a LED 2 1 馬達 22 滾珠 23 導軌 3 1 控制 32 計算 4 1 光箱 42 光擴 43 切換 12 1 開口 13 0 線感 13 0a 平面 13 1 光學 13 1a 光學 14 1 光擴 43 1 馬達 43 2 碟片 陣歹y 螺桿機構 部份 部份 散板 機構 測器 影像拾取裝置 濾光片 濾光片 散板

3 ] 2/發明說明書(補件)/92-06/92106015 14

Claims (1)

1231861 該光學濾光片僅透射一有波長長於或短於一預定波長 之光。 6 .如申請專利範圍第1項之彩色濾光片檢查裝置，其中 該光源具有複數個LED。 7 .如申請專利範圍第1項之彩色濾光片檢查裝置，其中 該影像拾取部份之影像拾取方向傾斜於該支座 所支撐之該彩色濾光片之主表面之法線。 8 .如申請專利範圍第1項之彩色濾光片檢查裝置，更包 含： 一轉移機構，用於使該支座沿該彩色濾光片之主表面相 對轉移， 其中該影像拾取部份有一線感測器，用於與該支座之行 進同步以進行影像拾取。 16 3 ] 2/發明說明書(補件)/92-06/92106015