JP5158468B2 - 被検査基板の検査システム及び被検査基板の検査方法 - Google Patents

被検査基板の検査システム及び被検査基板の検査方法

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Description

本発明は、位相差層を有する被検査基板の検査システム及び被検査基板の検査方法に係り、とりわけ、位相差層に発生する位相差ムラを効率よく検出することができる被検査基板の検査システム及び被検査基板の検査方法に関する。
近年、さまざまな液晶ディスプレイが実用化されている。このような液晶ディスプレイには、ブラウン管搭載ディスプレイに比べていう視野角度が狭いという問題点がある。液晶ディスプレイの視野角度を狭くする原因は、主として、斜め方向から液晶ディスプレイを観察した場合、元来、黒を表示すべき画素から光が漏れてしまい、コントラストが反転するため、正しい表示が出来なくなることにある。この点、液晶セルの表面に屈折率異方性を有する透明フィルム（以下、「位相差フィルム」という）を設けることによって、斜め方向から観察した場合でも光漏れの生じない、広視野角度可能な液晶ディスプレイを得ることができる（例えば、特許文献１）。
しかしながら、このような位相差フィルムは、粘着剤を用いて液晶セルの基板へ貼り付けて用いられているので、特に複数の位相差フィルムを積層して使用する場合には、液晶ディスプレイの厚みが厚くなってしまう問題があった。また、位相差フィルムは耐熱性が低いので、経時的に収縮してしまって、その光学特性が変化する等の問題もあった。
このような問題に鑑み、近年では、液晶セル内の任意の層上に、液晶性高分子を３次元架橋させることによって形成される位相差層を用いることが提案されている（例えば、特許文献２）。このような位相差層を用いれば、粘着材を用いずに基板に直接積層することができるため、液晶ディスプレイの厚みを薄くするとともに、信頼性を向上させることができる。特に、カラー液晶ディスプレイのカラーフィルタ内に位相差層を組み込み、一体化させた場合には、マイクロパターンニングをすることもでき、特に有益である。
特開平１０−１５３８０２ 特開２００５−００３７５０
しかしながら、このようにカラーフィルタ内に組み込まれた位相差層では、様々な原因、例えば、重合性液晶材料からなる位相差層を用いた場合には、液晶分子の配向が周辺の液晶分子の配向と異なること等によって、位相差ムラ（欠陥）が発生する。
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、位相差層に発生する位相差ムラを効率よく検出することができる被検査基板の検査システム及び被検査基板の検査方法を提供することを目的とする。
本発明は、位相差層を有する被検査基板の検査システムにおいて、偏光光を照射する偏光光源と、観察側に配置された観察側偏光板とを備え、偏光光源と観察側偏光板との間に、偏光光源からの偏光光が照射されるよう被検査基板を配置し、観察側偏光板又は被検査基板のうち、少なくとも一方は、偏光光源に対して、その配置位置が可変となることを特徴とする被検査基板の検査システムである。
このような構成により、被検査基板の位相差層に発生する位相差ムラを効率よく検出することができる。
本発明は、観察側偏光板又は被検査基板が、偏光光源に対して、水平方向に移動自在であることを特徴とする被検査基板の検査システムである。
本発明は、観察側偏光板又は被検査基板が、偏光光源に対して、垂直方向に移動自在であることを特徴とする被検査基板の検査システムである。
本発明は、観察側偏光板又は被検査基板が、偏光光源に対して、回転自在であることを特徴とする被検査基板の検査システムである。
本発明は、偏光光源が、観察側偏光板又は被検査基板に対して、水平方向に移動自在であることを特徴とする被検査基板の検査システムである。
本発明は、偏光光源が、観察側偏光板又は被検査基板に対して、垂直方向に移動自在であることを特徴とする被検査基板の検査システムである。
本発明は、偏光光源が、観察側偏光板又は被検査基板に対して、偏光光源から観察側に向かう方向の軸、偏光光源から観察側に向かう方向に直交しかつ水平な方向の軸、及び／又は偏光光源から観察側に向かう方向に直交しかつ垂直な方向の軸の回りに回転自在となっていることを特徴とする被検査基板の検査システムである。
本発明は、被検査基板が、位相差層を有するカラーフィルタからなることを特徴とする被検査基板の検査システムである。
本発明は、偏光光源が、光源と、光源に対して被検査基板側に配置された光源側偏光板とを有することを特徴とする被検査基板の検査システムである。
本発明は、偏光光源の光源側偏光板が、光源側偏光板の法線を回転軸として回転自在となっていることを特徴とする被検査基板の検査システムである。
このような構成により、偏光光源から照射される偏光光の偏光軸を被検査基板に対して自在に回転させることができ、位相差層に発生する位相差ムラを効率よく検出することができる。
本発明は、偏光光源が、照射する光の強度が調整自在であることを特徴とする被検査基板の検査システムである。
本発明は、観察側に配置された観察側偏光板が、観察者の頭部に取付可能であることを特徴とする被検査基板の検査システムである。
このような構成により、観察者は、位相差ムラを観察しながら、カラーフィルタに対して自由に移動することができるので、位相差ムラを効率よく検出することができる。
本発明は、観察側偏光板に、観察側偏光板を観察者の頭部に対して保持する頭部保持フレームが連結されていることを特徴とする被検査基板の検査システムである。
本発明は、観察側偏光板が、前記頭部保持フレームに設けられた螺子機構によって、観察側偏光板の法線を回転軸として回転自在となることを特徴とする被検査基板の検査システムである。
このような構成により、観察側偏光板を、観察側偏光板の法線を回転軸として回転させることができるので、効率よく位相差ムラを検出することができる。
本発明は、観察側偏光板を差し替え自在に保持する観察側偏光板保持部をさらに備え、当該観察側偏光板保持部で、所望の透過軸を有する観察側偏光板を差し替えることができることを特徴とする被検査基板の検査システムである。
このような構成により、観察側偏光板の透過軸方向と、光源側偏光板の透過軸方向との関係を自在に変化させることができるので、被検査基板の位相差層に発生する位相差ムラを効率よく検出することができる。
本発明は、光源側偏光板を差し替え自在に保持する光源側偏光板保持部をさらに備え、当該光源側偏光板保持部で、所望の透過軸を有する光源側偏光板を差し替えることができることを特徴とする被検査基板の検査システムである。
このような構成により、観察側偏光板の透過軸方向と、光源側偏光板の透過軸方向との関係を自在に変化させることができるので、被検査基板の位相差層に発生する位相差ムラを効率よく検出することができる。
本発明は、被検査基板を保持する被検査基板マウントをさらに備え、当該被検査基板マウントが、偏光光源に対する被検査基板の配置位置を変化させることを特徴とする被検査基板の検査システムである。
このような構成により、位相差ムラを明瞭に観察できる配置位置に被検査基板を位置づけることができ、効率よく位相差ムラを検出することができる。
本発明は、被検査基板マウントが、ベースに対して水平方向に移動自在の水平移動部と、水平移動部上に配置されるとともに、被検査基板を保持して回転させる回転部とを有することを特徴とする被検査基板の検査システムである。
本発明は、回転部が、被検査基板を偏光光源から観察側に向かう方向の軸の回りに回転させるＹ軸回転部と、被検査基板を偏光光源から観察側に向かう方向に直交し、かつ水平な方向の軸の回りに回転させるＸ軸回転部と、被検査基板を偏光光源から観察側に向かう方向に直交し、かつ垂直な方向の軸の回りに回転させるＺ軸回転部とを有していることを特徴とする被検査基板の検査システムである。
本発明は、被検査基板マウントが、水平移動部と回転部との間に配置され、上下方向に伸縮自在となっている上下移動部をさらに有することを特徴とする被検査基板の検査システムである。
本発明は、偏光光源が、ＲＧＢ３色のいずれかに着色された偏光光を照射することを特徴とする被検査基板の検査システムである。
このような構成により、カラーフィルタのどの色で位相差ムラが発生しているかを効率よく検出することができる。
本発明は、偏光光源が、白色光源と、白色光源に対して被検査基板側に配置されるとともに、ＲＧＢ３色のいずれかに着色された偏光光源カラーフィルタとを有し、偏光光源が、白色光源からの白色光を偏光光源カラーフィルタでＲＧＢ３色のいずれかに着色して照射することを特徴とする被検査基板の検査システムである。
本発明は、被検査基板が、複数の赤色画素、緑色画素及び青色画素を有するカラーフィルタであり、偏光光源の偏光光源カラーフィルタで赤色に着色された赤色着色光の主波長が、被検査基板であるカラーフィルタの赤色画素が有する赤色の主波長と実質的に一致し、偏光光源の偏光光源カラーフィルタで緑色に着色された緑色着色光の主波長が、被検査基板であるカラーフィルタの緑色画素が有する緑色の主波長と実質的に一致し、偏光光源の偏光光源カラーフィルタで青色に着色された青色着色光の主波長が、被検査基板であるカラーフィルタの青色画素が有する青色の主波長と実質的に一致することを特徴とする被検査基板の検査システムである。
このような構成により、カラーフィルタのどの色画素で位相差ムラが発生しているのか、より効率よく検出することができる。
本発明は、偏光光源が、赤色を照射する赤色光源と、緑色を照射する緑色光源と、青色を照射する青色光源とを有し、各光源が、それぞれ独立に点灯及び消灯することを特徴とする被検査基板の検査システムである。
このような構成により、カラーフィルタのどの色で位相差ムラが発生しているかを効率よく検出することができる。
本発明は、偏光光源の各光源は、冷陰極管又はＬＥＤからなることを特徴とする被検査基板の検査システムである。
本発明は、位相差層を有する被検査基板の検査システムであって、偏光光を照射する偏光光源と、観察側に配置された観察側偏光板とを備えた検査システムを用いた被検査基板の検査方法において、偏光光源と観察側偏光板との間に、偏光光源からの偏光光が照射されるよう被検査基板を配置する配置工程と、偏光板又は被検査基板のうち、少なくとも一方の位置を、偏光光源に対して変化させながら、観察側偏光板を介して被検査基板を観察して、被検査基板を検査する検査工程と、を備えたことを特徴とする被検査基板の検査方法である。
このような構成により、被検査基板の位相差層に発生する位相差ムラを効率よく検出することができる。
本発明は、検査工程が、被検査基板の配置位置を偏光光源に対して水平方向に移動させる水平移動工程、被検査基板の配置位置を偏光光源に対して垂直方向に移動させる垂直移動工程、被検査基板を偏光光源から観察側に向かう方向の軸の回りに回転させるＹ軸回転工程、被検査基板を偏光光源から観察側に向かう方向に直交し、かつ水平な方向の軸の回りに回転させるＸ軸回転工程、及び被検査基板を偏光光源から観察側に向かう方向に直交し、かつ垂直な方向の軸の回りに回転させるＺ軸回転工程のうち、少なくともいずれか一つの工程を有することを特徴とする被検査基板の検査方法である。
本発明は、カラーフィルタが、少なくとも赤色画素、緑色画素及び青色画素の少なくとも一つを含み、偏光光源が、前記色画素を透過する透過光の透過率が最大となる波長に実質的に一致する波長を有する偏光光を照射することを特徴とする検査システムである。
このような構成により、偏光光源から照射される偏光光がカラーフィルタの色画素を効率的に透過するので、より効率よく、カラーフィルタの位相差ムラを検出することができる。
本発明は、カラーフィルタが、赤色画素、緑色画素及び青色画素を含み、偏光光源が、前記赤色画素、緑色画素及び青色画素を透過する透過光の透過率が最大となる波長に実質的に一致する波長を有する偏光光を照射することを特徴とする検査システムである。
本発明は、偏光光源が、前記赤色画素、緑色画素及び青色画素を透過する透過光の透過率が最大となる波長に実質的に一致する波長を有する光を照射するＬＥＤ又はＣＣＦＬを有することを特徴とする検査システムである。
本発明は、位相差層を有し、少なくとも赤色画素、緑色画素及び青色画素の少なくとも一つを含むカラーフィルタからなる被検査基板の検査システムであって、偏光光を照射する偏光光源と、観察側に配置された観察側偏光板とを備えた検査システムを用いた被検査基板の検査方法において、偏光光源と観察側偏光板との間に、偏光光源からの偏光光が照射されるよう被検査基板を配置する配置工程と、偏光板又は被検査基板のうち、少なくとも一方の位置を、偏光光源に対して変化させながら、観察側偏光板を介して被検査基板を観察して、被検査基板を検査する検査工程とを備え、偏光光源から照射される偏光光が、前記色画素を透過する透過光の透過率が最大となる波長に実質的に一致する波長を有することを特徴とする被検査基板の検査方法である。
このような構成により、カラーフィルタの色画素を効率的に透過する偏光光によってカラーフィルタを検査することができる。このため、より効率よく、カラーフィルタの位相差ムラを検出することができる。
本発明によれば、観察側偏光板又は被検査基板のうち、少なくとも一方を、偏光光源に対して、その配置位置を変化させることによって、被検査基板の位相差層に発生する位相差ムラを効率よく検出することができる。
第１の実施の形態
以下、本発明に係る被検査基板の検査システムの第１の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図１乃至図４は本発明の第１の実施の形態を示す図である。
はじめに、本発明に係る被検査基板の検査システムで検査される被検査基板について述べる。
検査対象となるカラーフィルタ（被検査基板）１０の基板としては、透明無機材料からなる板、シート又はフィルムや、透明有機材料からなる板、シート又はフィルムを用いることができる。このうち透明無機材料は、熱膨張性が小さく寸法安定性に優れており、また高温加熱処理における作業性が優れているため好ましい。このような透明無機材料としては、ガラス、シリコン、石英等を挙げることができる。本願では図１（ａ）（ｂ）に示すように、カラーフィルタ１０の基板としてガラス基板１を用いた態様により、以下説明する。なお、カラーフィルタ１０は、液晶ディスプレイのカラー化に必須な部材である。
検査対象となるカラーフィルタ１０は、図１（ａ）に示すように、ガラス基板１と、ガラス基板１上に配置された着色層２と、着色層２上に配置された位相差層３とを有している。この着色層２は、格子状又はストライプ状の複数のブラックマトリクス９と、このブラックマトリックス９間に配置された複数の赤色画素２ａ、緑色画素２ｂ及び青色画素２ｃとからなっている。なお、このようなカラーフィルタ１０のガラス基板１としては、ガラス中にアルカリ成分を含まない無アルカリガラスを用いることが好ましい。
なお、このカラーフィルタ１０は、図１（ｂ）に示すように、ＴＦＴ基板７とある一定のギャップＧを設けて貼り合わされ、当該ギャップＧには駆動用の液晶６が注入される。さらにカラーフィルタ基板１０の外面側に出射側偏光板５ｂが貼合され、ＴＦＴ基板７の外側面に入射側偏光板５aが貼合されて、最終的な液晶パネルを構成する。
ここで、位相差層３を構成する液晶性高分子は、電離放射線照射により液晶状態が固定化される性質を有している。具体的には、この液晶性高分子は、分子構造中に不飽和結合基を有する液晶性のモノマーを、液晶状態で３次元架橋させ、その液晶構造の配向特性を保持したまま、固定化したものである。このような３次元架橋できる液晶性モノマーとしては、例えば、特開平７−２５８６３８号公報や、特表平１０−５０８８８２号公報で開示されているような、液晶性モノマーを挙げることができる。
次に、図２により、本発明による検査システムについて説明する。
図２に示すように、カラーフィルタ１０の検査システムは、偏光光を照射する偏光光源５０と、観察側（観察者側）に配置された観察側偏光板２０とを備えている。また、偏光光源５０と観察側偏光板２０との間には、偏光光源５０からの偏光光が照射されるようカラーフィルタ１０を保持する被検査基板マウント８０が配置されている。なお、図２において、偏光光源５０から観察側に向かう方向をＹ方向とする。また、偏光光源５０から観察側に向かう方向に直交し、かつ水平な方向をＸ方向とし、偏光光源５０から観察側に向かう方向に直交し、かつ垂直な方向をＺ方向とする。
この被検査基板マウント８０は、図２に示すように、床面（ベース）８１ａに対して水平方向（ＸＹ方向）に移動自在の水平移動部８１と、水平移動部８１上に配置されるとともに、カラーフィルタ１０を保持して回転させる回転部８５と、水平移動部８１と回転部８５との間に配置され、上下方向（Ｚ）方向に伸縮自在な上下移動部８２とからなっている。そして、この回転部８５は、カラーフィルタ１０をＹ方向の軸に対して回転させるＹ軸回転部８３と、カラーフィルタ１０をＸ方向の軸に対して回転させるＸ軸回転部８７と、カラーフィルタ１０をＺ方向の軸に対して回転させるＺ軸回転部８６とを有している。なお、この被検査基板マウント８０は、遠隔操作によって駆動される。
また、図２に示すように、観察側に配置された観察側偏光板２０は、観察側偏光板２０を観察者の頭部に対して保持する頭部保持フレーム（たとえば、メガネ、ゴーグルのフレーム）２１に連結され、観察者の頭部に取付可能となっている。また、観察側偏光板２０は、当該頭部保持フレーム２１に設けられた螺子機構（図示せず）によって、観察側偏光板２０の法線を回転軸として回転自在となっている。
また、図２に示すように、偏光光源５０は、光源５３と、光源５３に対してカラーフィルタ１０側に配置された光源側偏光板５５とを有している。このうち、偏光光源５０の光源側偏光板５５は、光源側偏光板５５の法線を回転軸Ｌとして回転自在となっている。なお、偏光光源５０の光源５３は、照射する光の強度が調整自在となっている。
また、図２に示すように、偏光光源５０の光源５３は、白色光源５１と、白色光源５１に対してカラーフィルタ１０側に配置された偏光光源カラーフィルタ５２とを有している。ここで、偏光光源カラーフィルタ５２は、ＲＧＢ３色のいずれかに着色されており、適宜差し替え可能となっている。このため、偏光光源カラーフィルタ５２の色をＲＧＢ３色から適宜選択することによって、偏光光源５０は、白色光源５１からの白色光を、偏光光源カラーフィルタ５２でＲＧＢ３色のうち好ましい色に着色して照射することができる。
なお、偏光光源５０の偏光光源カラーフィルタ５２で赤色に着色された赤色着色光の主波長は、カラーフィルタ１０の赤色画素２ａの赤色の主波長と実質的に一致し、偏光光源５０の偏光光源カラーフィルタ５２で緑色に着色された緑色着色光の主波長は、カラーフィルタ１０の緑色画素２ｂの緑色の主波長と実質的に一致し、偏光光源５０の偏光光源カラーフィルタ５２で青色に着色された青色着色光の主波長は、カラーフィルタ１０の青色画素２ｃの青色の主波長と実質的に一致している（図１（ａ）及び図２参照）。ここで、例えば偏光光源カラーフィルタ５２で赤色に着色されるとは、白色光源５１からの白色光のうち赤色の波長成分以外の波長を吸収又は反射することによって、赤色波長の光のみを透過して赤色に着色することを言う。また、赤色画素２ａの赤色の主波長とは、赤色画素２ａに光が照射された際、赤色画素を透過する赤色の光が有する主波長のことを言う。
上記では、白色光源５１と、白色光源５１に対してカラーフィルタ１０側に配置された偏光光源カラーフィルタ５２とを有している偏光光源５０を用いて説明したが、これに限ることはない。例えば、赤色を照射する赤色光源（図示せず）と、緑色を照射する緑色光源（図示せず）と、青色を照射する青色光源（図示せず）とを有する偏光光源（図示せず）を用いることもできる。このような偏光光源を用いる場合には、各光源が、それぞれ独立に点灯及び消灯することが好ましい。
例えば、このような光源としては、赤色の蛍光体を有する冷陰極管、緑色の蛍光体を有する冷陰極管及び青色の蛍光体を有する冷陰極管を用いること好ましい。この場合、点燈する蛍光管を切り替えることにより、容易に偏光光の色を変更することができる。また、光源としては、所望の色を発光できればよく、赤色のＬＥＤ（図示せず）、緑色のＬＥＤ（図示せず）及び青色のＬＥＤ（図示せず）を用いることも好ましい。
なお、偏光光源５０は、観察側偏光板２０及びカラーフィルタ１０に対して、水平方向（ＸＹ方向）及びに垂直方向（Ｚ方向）に移動自在となっていてもよい。また、偏光光源５０は、観察側偏光板２０及びカラーフィルタ１０に対して、偏光光源５０から観察側に向かう方向（Ｙ方向）の軸、偏光光源５０から観察側に向かう方向に直交しかつ水平な方向（Ｘ方向）の軸、及び／又は偏光光源５０から観察側に向かう方向に直交しかつ垂直な方向（Ｚ方向）の軸の回りに回転自在となっていてもよい。
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について述べる。
位相差層３を有さないカラーフィルタ１０は光学的に等方性であるため、分光濃度の測定や、欠陥の検出には偏光性を有さない無偏光の光源を用いることができる。他方、位相差層３を有するカラーフィルタ１０は光学異方性（位相差）を有するため、欠陥を検出するには、等方性の光ではなく偏光光を用いる必要がある。このため、図２に示すように、偏光光を照射する偏光光源５０と、観察側に配置された観察側偏光板２０とを用いることによって始めて、カラーフィルタ１０が有する欠陥を検出することができる。
特に、重合性液晶材料からなる位相差層３を有するカラーフィルタ１０は、位相差層３の液晶分子４ｂの配向が周辺の液晶分子４ａ，４ｃと異なることによる位相差ムラ（欠陥）が発生することがある（図４参照：後で詳述する）。また、膜厚分布によって位相差量が異なることや、「うねり」などの表面状態により、この位相差ムラが発生することもある。
具体的な位相差層３としては、図３（ａ）（ｂ）に示すように、位相差層３の法線方向にｚ’軸をとり、位相差層３の面内にｘ’軸と、ｘ’軸に直交するｙ’軸をとり、ｘ’軸方向、ｙ’軸方向、ｚ’軸方向の屈折率をそれぞれｎｘ’、ｎｙ’、ｎｚ’とした際に、ｎｘ’＞ｎｙ’＝ｎｚ’の関係にあるものが、面内に光学軸を有し、正の複屈折異方性を持つ位相差層（正のＡプレート）であり、ｎｙ’＝ｎｚ’＞ ｎｘ’の関係にあるものが、面内に光学軸を有し、負の複屈折異方性を持つ位相差層（負のＡプレート）であり、ｎｚ’＞ｎｘ’＝ｎｙ’の関係にあるものが、法線方向に光学軸を有し、正の複屈折異方性を持つ位相差層（正のＣプレート）であり、ｎｘ’＝ｎｙ’＞ｎｚ’の関係にあるものが、法線方向に光学軸を有し、負の複屈折異方性を持つ位相差層（負のＣプレート）等がある。
例えば、位相差層３が正のＡプレート３ａである（屈折率楕円体の光学軸が位相差層３のｘ’軸方向に延びている）カラーフィルタ１０ａの位相差ムラを検出する際には、偏光光源５０の光源側偏光板５５を、観察側偏光板２０に対してクロスニコルの状態（光源側偏光板５５の透過軸と、観察側偏光板２０の透過軸とが直交する状態）にすることによって、位相差ムラを効率よく検出することができる（図３（ａ）参照）。
しかしながら、位相差層３が正のＣプレート３ｂである（屈折率楕円体が位相差層３のｚ’軸方向に延びている）カラーフィルタ１０ｂを用いた場合には、正のＣプレート３ｂを通過した偏光光にほとんど位相差が発生しない。このため、偏光光源５０の光源側偏光板５５を、観察側偏光板２０に対してクロスニコルの状態にしても、効率良く位相差ムラを検出することはできず、カラーフィルタ１０ｂをＸ軸回転部８７又はＺ軸回転部８６によって回転させることによって始めて、位相差ムラを検出することができる（図２及び図３（ｂ）参照）。
このため、図２に示すように、偏光光源５０の光源側偏光板５５を、光源側偏光板５５の法線を回転軸Ｌとして回転自在とし、かつカラーフィルタ１０ｂをＸ軸回転部８７又はＺ軸回転部８６によって回転自在とすることによって、観察側偏光板２０に対する光源側偏光板５５の透過軸方向を自在に変化させることができ、位相差ムラを効率よく検出することができる。
また、図２に示すように、観察側に配置された観察側偏光板２０は、観察側偏光板２０を観察者の頭部に対して保持する頭部保持フレーム２１に連結されているため、観察者は、その頭部に観察側偏光板２０を取付けることができる。このため、観察者は位相差ムラを観察しながら、カラーフィルタ１０に対して自由に移動することができるので、位相差ムラを効率よく検出することができる。
さらに、観察側偏光板２０は、当該頭部保持フレーム２１に設けられた螺子機構によって、観察側偏光板２０の法線を回転軸として回転自在となっているので、偏光光源５０の光源側偏光板５５を回転させなくても、効率よく位相差ムラを検出することができる。
また、図２に示すように、カラーフィルタ１０は、上述のＸ軸回転部８７及びＺ軸回転部８６と、Ｙ軸回転部８５とを有する被検査基板マウント８０の回転部８５に保持されている。また、この回転部８５は床面８１ａ上を水平方向に移動自在な水平移動部８１上に配置されている。さらに、水平移動部８１と、回転部８５との間には上下方向に移動自在な上下移動部８２が設けられている。
このため、カラーフィルタ１０をＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を中心に回転させ、かつＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に自由に移動させることができ、カラーフィルタ１０の配置位置を偏光光源５０から照射される偏光光に対して自由に変化させることができる。この結果、カラーフィルタ１０が有する位相差ムラを明瞭に観察できる配置位置にカラーフィルタ１０を位置づけることができ、効率よく位相差ムラを検出することができる。
ところで、着色層２に直接、重合性液晶材料からなる位相差層３を積層するカラーフィルタ１０を用いた場合には、各色画素による影響を受けやすいため、位相差ムラも各色の色画素２ａ，２ｂ，２ｃに応じて発生しやすい。例えば、緑色画素２ｂの状態が悪く、緑色画素２ｂと位相差層３の相性が悪い場合には、図４に示すように、赤色画素２ａ及び青色画素２ｃ上に配置された位相差層３の液晶分子４ａ，４ｃは位相差層３の法線方向にまっすぐ延びているのに対して、緑色画素２ｂ上に配置された位相差層３の液晶分子４ｂは位相差層３の法線方向から傾いてしまう。このため、緑色画素２ｂ上に配置された位相差層３でのみ位相差ムラが発生する。
このようなカラーフィルタ１０に対して、偏光光源カラーフィルタ５２の色をＲＧＢ３色から適宜選択し、ＲＧＢ３色のいずれかに着色された偏光光を照射することによって、どの色の色画素２ａ，２ｂ，２ｃに位相差ムラが発生しているかを効率よく検出することができる。例えば、上記のように緑色画素２ｂでのみ位相差ムラが発生しているカラーフィルタ１０に赤色及び青色に着色された偏光光を照射しても、赤色及び青色に着色された偏光光は位相差ムラの発生している緑色画素２ｂを透過せず、観察者は何ら異常を認知しない。これに対して、緑色に着色された偏光光を照射すると、緑色に着色された偏光光は位相差ムラの発生している緑色画素２ｂを透過することができるので、観察者は緑色画素２ｂの位相差ムラを検出することができる。このため、緑色画素２ｂで位相差ムラが発生していることを、効率よく検出することができる。
なお、偏光光源５０の偏光光源カラーフィルタ５２で赤色に着色された赤色着色光の主波長が、カラーフィルタ１０の赤色画素２ａが有する赤色の主波長と実質的に一致し、偏光光源５０の偏光光源カラーフィルタ５２で緑色に着色された緑色着色光の主波長が、カラーフィルタ１０の緑色画素２ｂが有する緑色の主波長と実質的に一致し、偏光光源５０の偏光光源カラーフィルタ５２で青色に着色された青色着色光の主波長が、カラーフィルタ１０の青色画素２ｃが有する青色の主波長と実質的に一致しているので、偏光光は、目的となっている色画素（例えば、緑色画素２ｂ）を効率的に透過し、かつ目的となっていない色画素（例えば、赤色画素２ａ及び青色画素２ｃ）で有効に遮光されるので、より効率よく、位相差ムラを検出することができる。
第２の実施の形態
次に図５乃至図７により本発明の第２の実施の形態について説明する。図５に示す第２の実施の形態において、観察側偏光板２０及び光源側偏光板５５は、保持部６０により差し替え自在に保持されている。なお、保持部６０は、観察側偏光板保持部と光源側偏光板保持部とが一体となっているものである。
また図６（ａ）（ｂ）に示すように、保持部６０の内部側側壁には、観察側偏光板２０を案内する第一案内レール７１と、光源側偏光板５５を案内する第二案内レール７２が設けられている。なお、第一案内レール７１と第二案内レール７２との間には、カラーフィルタ１０を案内して保持する第三案内レール７３が設けられている。また、第二案内レール７２に対して、第三案内レール７３の反対側には、光を照射する光源５３が設けられている。その他の構成は、図１乃至図４に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図６（ａ）は、観察側偏光板２０、カラーフィルタ１０及び光源側偏光板５５を保持した保持部６０の側方断面図であり、図６（ｂ）は、観察側偏光板２０、カラーフィルタ１０及び光源側偏光板５５を保持した保持部６０の平面図である。
図５乃至図７に示す第２の実施の形態において、図１乃至図４に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
図６（ａ）（ｂ）に示すように、観察側偏光板２０及び光源側偏光板５５の各々は、取外自在となっている。このため、様々な透過軸を有する観察側偏光板２０及び光源側偏光板５５を予め準備しておくことで、所望の透過軸を有する観察側偏光板２０及び光源側偏光板５５に差し替えることができる。
このため、観察側偏光板２０の透過軸方向と、光源側偏光板５５の透過軸方向との関係を自在に変化させることができるので、位相差ムラを効率よく検出することができる。
なお、このような保持部６０は、第１の実施の形態で示した被検査基板マウント８０上に配置することもできる（図２参照）。このように、被検査基板マウント８０上に保持部６０を配置することによって、カラーフィルタ１０を、位相差ムラが明瞭に観察できる配置位置に位置づけることができ、カラーフィルタ１０の位相差ムラを効率よく検出することができる。
また、図６（ａ）（ｂ）において、観察側偏光板２０と、カラーフィルタ１０とが別体になっている例を示したが、これに限らず、図７（ａ）（ｂ）に示すように、観察側偏光板２０とカラーフィルタ１０とを、一体に構成してもよい。この場合には、図７（ａ）（ｂ）に示すように、保持部６０は、観察側偏光板２０及びカラーフィルタ１０を差し替え自在に案内し、保持する第四案内レール７４と、光源側偏光板５５を差し替え自在に案内し、保持する第二案内レール７２とを有している。ここで、図７（ａ）は、一体となった観察側偏光板２０及びカラーフィルタ１０と、光源側偏光板５５とを保持した保持部６０ａを示す側方断面図であり、図７（ｂ）は、一体となった観察側偏光板２０及びカラーフィルタ１０と、光源側偏光板５５とを保持した保持部６０ａを示す平面図である。
カラーフィルタの検査方法
次に、図８及び図９によって、上述のような被検査基板マウント８０や、保持部６０を用いずに、カラーフィルタ１０の位相差ムラを検査する検査方法について説明する。なお、図８及び図９において、図１乃至図４に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
まず、観察者が、その頭部に観察側偏光板２０を取付ける（取付工程９１）（図８及び図９参照）。
次に、偏光光源５０の電源を入れ、偏光光源５０から偏光光を照射させる（偏光光照射工程９２）（図８及び図９参照）。
次に、観察者が、偏光光源５０と観察側偏光板２０との間に、偏光光源５０からの偏光光が照射されるよう、手でカラーフィルタ１０を保持して配置する（配置工程９３）（図８及び図９参照）。
次に、観察者は手を動かすことによって、カラーフィルタ１０の位置を、偏光光源５０に対して変化させながら、観察側偏光板２０を介してカラーフィルタ１０を観察して、カラーフィルタ１０を検査する（検査工程９５）。この際、偏光光源５０の光源側偏光板５５を回転軸Ｌを中心に回転させる（偏光回転工程９４）（図８及び図９参照）。
このように、光源側偏光板５５を回転させることによって、偏光光源５０から照射される偏光光の偏光軸を、カラーフィルタ１０に対して変化させることができる。また、カラーフィルタ１０の位置を、偏光光源５０に対して変化させることによって、カラーフィルタ１０の位相差ムラを明瞭に観察できる位置に、カラーフィルタ１０を位置決めすることができる。これらのことより、カラーフィルタ１０の位相差ムラを効率よく検出することができる。
なお、カラーフィルタ１０の位置を偏光光源５０に対して変化させて、カラーフィルタ１０を検査する方法（検査工程９５）としては、カラーフィルタ１０の配置位置を偏光光源５０から観察側に向かう方向に対して水平方向に移動させたり（水平移動工程９６）、カラーフィルタ１０の配置位置を偏光光源５０から観察側に向かう方向に対して垂直方向に移動させたり（垂直移動工程９７）、カラーフィルタ１０を偏光光源５０から観察側に向かう方向の軸の回りに回転させたり（Ｙ軸回転工程９８ａ）、カラーフィルタ１０を偏光光源５０から観察側に向かう方向に直交し、かつ水平な方向の軸の回りに回転させたり（Ｘ軸回転工程９８ｂ）、カラーフィルタ１０を偏光光源５０から観察側に向かう方向に直交し、かつ垂直な方向の軸の回りに回転させたり（Ｚ軸回転工程９８ｃ）することができる（図８及び図９参照）。
また、上記の各実施の形態及びカラーフィルタの検査方法において、各光学部材（例えば、白色光源５１、偏光光源カラーフィルタ５２、光源側偏光板５５、カラーフィルタ１０、観察側偏光板２０等）の間隙には、屈折率のマッチングを取るための液体、例えば、グリセリン、水、マッチングオイル等を満たすことができる。この屈折率のマッチングにより、各界面で発生する界面反射がキャンセルでき、より高精度に検出可能となるためである。
第３の実施の形態
次に、図１０及び図１１により本発明の第３の実施の形態について説明する。図１０及び図１１に示す第３の実施の形態は、白色光源５１と、白色光源５１に対してカラーフィルタ１０側に配置された偏光光源カラーフィルタ５２とを有する光源５３の代わりに、カラーフィルタ１０が含む赤色画素２ａ、緑色画素２ｂ及び青色画素２ｃを透過する透過光の透過率が最大となる波長に実質的に一致する波長を有する光を照射するバックライト５１ａを有する光源５３ａを用いたものであり、他は図１乃至図４に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、このようなバックライト５１ａはＲＧＢのＬＥＤ（発光ダイオード）やＣＣＦＬ（冷陰極蛍光ランプ）などからなっている。また、図１１は、バックライト５１ａから照射される光の波長と強度との関係、及びカラーフィルタ１０の各色画素２ａ，２ｂ，２ｃを透過する透過光の波長と透過率との関係を示したグラフ図である。
図１０及び図１１に示す第２の実施の形態において、図１乃至図４に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
図１０において、本実施の形態の偏光光源５０の光源５３ａは、カラーフィルタ１０が含む赤色画素２ａ、緑色画素２ｂ及び青色画素２ｃを透過する透過光の透過率が最大となる波長に実質的に一致する波長を有する光を照射するバックライト５１ａを有している（図１参照）。このため、偏光光源５０から照射される偏光光は、カラーフィルタ１０の各色画素２ａ，２ｂ，２ｃを効率的に透過するので、観察者は、より効率よく、カラーフィルタ１０の位相差ムラを検出することができる。ところで、光源５３ａは、バックライト５１ａを保持する保持枠体５９を有している。
なお、ここで、「色画素２ａ，２ｂ，２ｃを透過する透過光の透過率が最大となる波長に実質的に一致する波長を有する」光とは、色画素２ａ，２ｂ，２ｃを透過する透過光の透過率の最大値（但し、赤色画素２ａについては通常６５０ｎｍ近傍で観察される透過率のピーク値）から、６０％までの透過率を有する波長範囲に、強度ピークを有する光のことを意味する。
例えば、図１１において、「色画素２ａ，２ｂ，２ｃを透過する透過光の透過率が最大となる波長に実質的に一致する波長を有する」光とは、青色画素２ｃに対しては約４０５ｎｍ〜約５２０ｎｍの範囲に強度ピークを有する光のことを意味し、緑色画素２ｂに対しては約４８５ｎｍ〜約５８５ｎｍの範囲に強度ピークを有する光のことを意味し、赤色画素２ａに対しては約５８５ｎｍ〜可視光領域の長波長側の端である約７００ｎｍの範囲に強度ピークを有する光のことを意味する。
なお、図１１において、ＢＬ１はＣＣＦＬ（冷陰極蛍光ランプ）から照射される光の波長と強度との関係を示し、ＢＬ２はＲＧＢのＬＥＤ（発光ダイオード）から照射される光の波長と強度との関係を示している。また、図１１において、ＣＦ−Ｒは赤色画素２ａを透過する透過光の波長と透過率との関係を示し、ＣＦ−Ｇは緑色画素２ｂを透過する透過光の波長と透過率の関係を示し、ＣＦ−Ｂは青色画素２ａを透過する透過光の波長と透過率の関係を示している。ところで、図１１において、ＦＬは一般的な蛍光灯から照射される光の波長と強度の関係を示している。
また、図１０において、バックライト５１ａから照射される光の色温度は、７０００ケルビン以上からなることが好ましく、１００００ケルビン以上からなることがさらに好ましい。
このように、バックライト５１ａから照射される光の色温度を７０００ケルビン以上にすることによって、偏光光源５０に用いられる保持枠体５９などの周りの部材（黄色く色づいた部材）から偏光光に加わる影響を相殺することができる。このため、当該偏光光は、一般的な蛍光灯から照射される光と比較して、カラーフィルタ１０の青色画素の透過光量を十分に確保することができる。このため、観察者は、カラーフィルタ１０の位相差ムラをより効率よく検出することができる。
他方、色温度が高くなりすぎると、青色画素を透過してきた光量が緑色画素、赤色画素からの透過光量に比較して大きくなり過ぎ、相対的に緑色、及び赤色画素で発生したムラが視認しづらくなるため、バックライト５１ａの色温度は、３００００ケルビン以下からなることが好ましい。
ところで、一般的な蛍光灯から照射される光の色温度は、６７００ケルビンからなっている。
本発明による被検査基板の検査システムの第１の実施の形態のカラーフィルタの態様を示す概略断面図。 本発明による被検査基板の検査システムの第１の実施の形態を示す概略図。 本発明による被検査基板の検査システムの第１の実施の形態の位相差ムラを検出する方法を説明する概略図。 本発明による被検査基板の検査システムの第１の実施の形態の位相差ムラが発生する原因の一例を示す概略断面図。 本発明による被検査基板の検査システムの第２の実施の形態を示す概略図。 本発明による被検査基板の検査システムの第２の実施の形態の保持部を示す概略断面図。 本発明による被検査基板の検査システムの第２の実施の形態の保持部の変形例を示す概略断面図。 本発明による被検査基板の検査方法を説明するための概略図。 本発明による被検査基板の検査方法の工程を示すフロー図。 本発明による被検査基板の検査システムの第３の実施の形態を示す概略図。 本発明による被検査基板の検査システムの第３の実施の形態において、バックライトから照射される光の波長と強度との関係、及びカラーフィルタの各色画素を透過する透過光の波長と透過率との関係を示したグラフ図。
符号の説明
１ ガラス基板
２ 着色層
２ａ カラーフィルタの赤色画素
２ｂ カラーフィルタの緑色画素
２ｃ カラーフィルタの青色画素
３ 位相差層
１０ カラーフィルタ（被検査基板）
２０ 観察側偏光板
２１ 頭部保持フレーム
５０ 偏光光源
５１ 白色光源
５１ａ バックライト
５２ 偏光光源カラーフィルタ
５３，５３ａ 光源
５５ 光源側偏光板
５９ 保持枠体
６０，６０ａ 保持部（観察側偏光板保持部，光源側偏光板保持部）
８０ 被検査基板マウント
８１ 水平移動部
８２ 上下移動部
８３ Ｙ軸回転部
８５ 回転部
８６ Ｚ軸回転部
８７ Ｘ軸回転部
９３ 配置工程
９５ 検査工程
９６ 水平移動工程
９７ 垂直移動工程
９８ａ Ｙ軸回転工程
９８ｂ Ｘ軸回転工程
９８ｃ Ｚ軸回転工程

Claims (30)

  1. 位相差層を有する被検査基板の検査システムにおいて、
    偏光光を照射する偏光光源と、
    観察側に配置された観察側偏光板とを備え、
    偏光光源と観察側偏光板との間に、偏光光源からの偏光光が照射されるよう被検査基板を配置し、
    観察側偏光板又は被検査基板のうち、少なくとも一方は、偏光光源に対して、その配置位置が可変となり、
    被検査基板は、位相差層を有するカラーフィルタからなることを特徴とする被検査基板の検査システム。
  2. 観察側偏光板又は被検査基板は、偏光光源に対して、水平方向に移動自在であることを特徴とする請求項１記載の被検査基板の検査システム。
  3. 観察側偏光板又は被検査基板は、偏光光源に対して、垂直方向に移動自在であることを特徴とする請求項１記載の被検査基板の検査システム。
  4. 観察側偏光板又は被検査基板は、偏光光源に対して、回転自在であることを特徴とする請求項１記載の被検査基板の検査システム。
  5. 偏光光源は、観察側偏光板又は被検査基板に対して、水平方向に移動自在であることを特徴とする請求項１記載の被検査基板の検査システム。
  6. 偏光光源は、観察側偏光板又は被検査基板に対して、垂直方向に移動自在であることを特徴とする請求項１記載の被検査基板の検査システム。
  7. 偏光光源は、観察側偏光板又は被検査基板に対して、偏光光源から観察側に向かう方向の軸、偏光光源から観察側に向かう方向に直交しかつ水平な方向の軸、及び／又は偏光光源から観察側に向かう方向に直交しかつ垂直な方向の軸の回りに回転自在となっていることを特徴とする請求項１記載の被検査基板の検査システム。
  8. 偏光光源は、光源と、光源に対して被検査基板側に配置された光源側偏光板とを有することを特徴とする請求項１記載の被検査基板の検査システム。
  9. 偏光光源の光源側偏光板は、光源側偏光板の法線を回転軸として回転自在となっていることを特徴とする請求項８記載の被検査基板の検査システム。
  10. 偏光光源は、照射する光の強度が調整自在であることを特徴とする請求項１記載の被検査基板の検査システム。
  11. 観察側に配置された観察側偏光板は、観察者の頭部に取付可能であることを特徴とする請求項１記載の被検査基板の検査システム。
  12. 観察側偏光板に、観察側偏光板を観察者の頭部に対して保持する頭部保持フレームが連結されていることを特徴とする請求項１１記載の被検査基板の検査システム。
  13. 観察側偏光板は、前記頭部保持フレームに設けられた螺子機構によって、観察側偏光板の法線を回転軸として回転自在となることを特徴とする請求項１２記載の被検査基板の検査システム。
  14. 観察側偏光板を差し替え自在に保持する観察側偏光板保持部をさらに備え、
    当該観察側偏光板保持部で、所望の透過軸を有する観察側偏光板を差し替えることができることを特徴とする請求項１記載の被検査基板の検査システム。
  15. 光源側偏光板を差し替え自在に保持する光源側偏光板保持部をさらに備え、
    当該光源側偏光板保持部で、所望の透過軸を有する光源側偏光板を差し替えることができることを特徴とする請求項８記載の被検査基板の検査システム。
  16. 被検査基板を保持する被検査基板マウントをさらに備え、
    当該被検査基板マウントは、偏光光源に対する被検査基板の配置位置を変化させることを特徴とする請求項１記載の被検査基板の検査システム。
  17. 被検査基板マウントは、ベースに対して水平方向に移動自在の水平移動部と、水平移動部上に配置されるとともに、被検査基板を保持して回転させる回転部とを有することを特徴とする請求項１６記載の被検査基板の検査システム。
  18. 回転部は、被検査基板を偏光光源から観察側に向かう方向の軸の回りに回転させるＹ軸回転部と、被検査基板を偏光光源から観察側に向かう方向に直交し、かつ水平な方向の軸の回りに回転させるＸ軸回転部と、被検査基板を偏光光源から観察側に向かう方向に直交し、かつ垂直な方向の軸の回りに回転させるＺ軸回転部とを有していることを特徴とする請求項１７記載の被検査基板の検査システム。
  19. 被検査基板マウントは、水平移動部と回転部との間に配置され、上下方向に伸縮自在となっている上下移動部をさらに有することを特徴とする請求項１７記載の被検査基板の検査システム。
  20. 偏光光源は、ＲＧＢ３色のいずれかに着色された偏光光を照射することを特徴とする請求項１記載の被検査基板の検査システム。
  21. 偏光光源は、白色光源と、白色光源に対して被検査基板側に配置されるとともに、ＲＧＢ３色のいずれかに着色された偏光光源カラーフィルタとを有し、
    偏光光源は、白色光源からの白色光を偏光光源カラーフィルタでＲＧＢ３色のいずれかに着色して照射することを特徴とする請求項２０記載の被検査基板の検査システム。
  22. 被検査基板は、複数の赤色画素、緑色画素及び青色画素を有するカラーフィルタであり、
    偏光光源の偏光光源カラーフィルタで赤色に着色された赤色着色光の主波長は、被検査基板であるカラーフィルタの赤色画素が有する赤色の主波長と実質的に一致し、
    偏光光源の偏光光源カラーフィルタで緑色に着色された緑色着色光の主波長は、被検査基板であるカラーフィルタの緑色画素が有する緑色の主波長と実質的に一致し、
    偏光光源の偏光光源カラーフィルタで青色に着色された青色着色光の主波長は、被検査基板であるカラーフィルタの青色画素が有する青色の主波長と実質的に一致することを特徴とする請求項２１記載の被検査基板の検査システム。
  23. 偏光光源は、赤色を照射する赤色光源と、緑色を照射する緑色光源と、青色を照射する青色光源とを有し、
    各光源は、それぞれ独立に点灯及び消灯することを特徴とする請求項１記載の被検査基板の検査システム。
  24. 偏光光源の各光源は、冷陰極管又はＬＥＤからなることを特徴とする請求項２３記載の被検査基板の検査システム。
  25. 位相差層を有する被検査基板の検査システムであって、偏光光を照射する偏光光源と、観察側に配置された観察側偏光板とを備えた検査システムを用いた被検査基板の検査方法において、
    偏光光源と観察側偏光板との間に、偏光光源からの偏光光が照射されるよう位相差層を有するカラーフィルタからなる被検査基板を配置する配置工程と、
    観察側偏光板又は被検査基板のうち、少なくとも一方の位置を、偏光光源に対して変化させながら、観察側偏光板を介して被検査基板を観察して、被検査基板を検査する検査工程と、を備えたことを特徴とする被検査基板の検査方法。
  26. 検査工程は、被検査基板の配置位置を偏光光源から観察側に向かう方向に対して水平方向に移動させる水平移動工程、被検査基板の配置位置を偏光光源から観察側に向かう方向に対して垂直方向に移動させる垂直移動工程、被検査基板を偏光光源から観察側に向かう方向の軸の回りに回転させるＹ軸回転工程、被検査基板を偏光光源から観察側に向かう方向に直交し、かつ水平な方向の軸の回りに回転させるＸ軸回転工程、及び被検査基板を偏光光源から観察側に向かう方向に直交し、かつ垂直な方向の軸の回りに回転させるＺ軸回転工程のうち、少なくともいずれか一つの工程を有することを特徴とする請求項２５記載の被検査基板の検査方法。
  27. カラーフィルタは、少なくとも赤色画素、緑色画素及び青色画素の少なくとも一つを含み、
    偏光光源は、前記色画素を透過する透過光の透過率が最大となる波長に実質的に一致する波長を有する偏光光を照射することを特徴とする請求項１記載の検査システム。
  28. カラーフィルタは、赤色画素、緑色画素及び青色画素を含み、
    偏光光源は、前記赤色画素、緑色画素及び青色画素を透過する透過光の透過率が最大となる波長に実質的に一致する波長を有する偏光光を照射することを特徴とする請求項２７記載の検査システム。
  29. 偏光光源は、前記赤色画素、緑色画素及び青色画素を透過する透過光の透過率が最大となる波長に実質的に一致する波長を有する光を照射するＬＥＤ又はＣＣＦＬを有することを特徴とする請求項２８記載の検査システム。
  30. 位相差層を有し、少なくとも赤色画素、緑色画素及び青色画素の一つを含むカラーフィルタからなる被検査基板の検査システムであって、偏光光を照射する偏光光源と、観察側に配置された観察側偏光板とを備えた検査システムを用いた被検査基板の検査方法において、
    偏光光源と観察側偏光板との間に、偏光光源からの偏光光が照射されるよう被検査基板を配置する配置工程と、
    偏光板又は被検査基板のうち、少なくとも一方の位置を、偏光光源に対して変化させながら、観察側偏光板を介して被検査基板を観察して、被検査基板を検査する検査工程とを備え、
    偏光光源から照射される偏光光は、前記色画素を透過する透過光の透過率が最大となる波長に実質的に一致する波長を有することを特徴とする被検査基板の検査方法。
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5446232B2 (ja) * 2008-04-10 2014-03-19 凸版印刷株式会社 カラーフィルタ基板の欠陥検査装置および欠陥検査方法
JP5428441B2 (ja) * 2009-03-26 2014-02-26 凸版印刷株式会社 カラーフィルタ基板の検査装置及び欠陥検査方法
JP5525336B2 (ja) * 2010-06-08 2014-06-18 株式会社日立ハイテクノロジーズ 欠陥検査方法および欠陥検査装置
JP5645142B2 (ja) * 2011-04-28 2014-12-24 エルジー・ケム・リミテッド 色差分析を用いた偏光板のムラ自動検査装置及び検査方法
JP6041087B2 (ja) * 2012-03-22 2016-12-07 株式会社Ｊｏｌｅｄ 表示パネルの製造方法、その検査装置及び検査方法
KR101344959B1 (ko) * 2012-08-16 2013-12-24 김대환 편광필름 오토 체인지 시스템
CN104019961B (zh) * 2014-05-29 2017-03-08 京东方光科技有限公司 一种背光源检测设备
JP7185913B2 (ja) * 2018-12-19 2022-12-08 シンクロア株式会社 光学ユニット
CN110127374A (zh) * 2019-04-15 2019-08-16 伯恩光学(惠州)有限公司 一种用于检测玻璃产品的自动翻转装置

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2924938B2 (ja) * 1993-05-08 1999-07-26 王子製紙株式会社 複合フィルムのレターデーション測定方法
DE19504224A1 (de) 1994-02-23 1995-08-24 Merck Patent Gmbh Flüssigkristallines Material
US5521705A (en) * 1994-05-12 1996-05-28 Oldenbourg; Rudolf Polarized light microscopy
DE4441651A1 (de) 1994-11-23 1996-04-25 Basf Ag Verfahren zur oberflächlichen Beschichtung von Substraten
JPH08292406A (ja) * 1995-04-24 1996-11-05 Advantest Corp Ｌｃｄパネル検査装置
JPH10153802A (ja) 1996-09-30 1998-06-09 Fujitsu Ltd 液晶表示装置
JP3803999B2 (ja) * 1999-08-25 2006-08-02 富士写真フイルム株式会社 欠陥検査装置
JP4516648B2 (ja) * 1999-12-01 2010-08-04 住友化学株式会社 複合偏光板の検査方法
US6798511B1 (en) * 2000-10-18 2004-09-28 Regents Of The University Of Minnesota Imaging ellipsometry
JP2002148142A (ja) * 2000-11-08 2002-05-22 Sumitomo Chem Co Ltd 液晶用視野角拡大フィルムの検査方法
JP2003294578A (ja) * 2002-03-29 2003-10-15 Dainippon Screen Mfg Co Ltd カラーフィルタ検査装置
JP2004184095A (ja) * 2002-11-29 2004-07-02 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 検査支援装置
JP2005003750A (ja) 2003-06-10 2005-01-06 Dainippon Printing Co Ltd 柱状体を有する位相差制御板
JP2005009919A (ja) * 2003-06-17 2005-01-13 Taiyo Denki Kk 保護膜付き偏光板の検査装置および検査方法
JP2005024920A (ja) 2003-07-02 2005-01-27 Dainippon Printing Co Ltd 位相差制御層を有するカラーフィルタ基板およびその製造方法
JP2005234204A (ja) * 2004-02-19 2005-09-02 Citizen Watch Co Ltd 液晶表示装置
JP2005291878A (ja) * 2004-03-31 2005-10-20 Shin Nisseki Ekisho Film Kk 光学フィルムの検査方法
JP2005321217A (ja) * 2004-05-06 2005-11-17 Optimax Technology Corp 偏光板検査装置及び方法
JP4411139B2 (ja) * 2004-05-25 2010-02-10 新日本石油株式会社 光学フィルムの検査方法
JP4869053B2 (ja) * 2006-01-11 2012-02-01 日東電工株式会社 積層フィルムの製造方法、積層フィルムの欠陥検出方法、積層フィルムの欠陥検出装置、積層フィルム、及び画像表示装置

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