CN1993608A - 滤色片检验方法及滤色片检验装置 - Google Patents

Abstract

滤色片检验方法包括第一步骤、第二步骤及第三步骤，在该第一步骤中，设置所述滤色片，使所述滤色片与光源相对；在该第二步骤中，从所述光源射出颜色与所述滤色片中的所述彩色层所具有的颜色中的一种颜色相同的单色光，再使所述单色光射入到所述多个彩色层中；在该第三步骤中，利用已透过所述彩色层的光检验所述各彩色层中是否存在显示不均匀的地方。

Description

滤色片检验方法及滤色片检验装置

技术领域

本发明涉及滤色片检验方法及滤色片检验装置，特别涉及滤色片的彩色层中的显示不均匀(unevenness)的地方的检验。

背景技术

近年来，人们对彩色液晶显示装置等薄型显示装置的需求在急剧上升。随着需求的上升，人们强烈要求更高的显示质量。这种显示装置包括滤色片，在该滤色片中，三原色即红(R)、绿(G)及蓝(B)色的彩色层排列成规定的图案(pattern)。因此，若要提高显示质量，就必须以很高的精度制造滤色片。

一般来讲，作为所述滤色片的制造方法，染色法、喷墨法、印刷法及光刻法等方法已经被人们知道。在这些已知的滤色片制造方法中，因为光刻法能够实现较少的工序数和很高的控制性及清晰度，所以光刻法至今成为主流。

在光刻法中，将彩色抗蚀剂(color resist)涂在衬底上，以形成彩色层，然后经由光罩用光对该彩色层进行曝光。之后，对被曝光了的彩色抗蚀剂进行显像，以形成各有规定图案的彩色层。这样来制造滤色片。

若异物混进所述滤色片中，该异物本身会遮住显示光，或者该异物会突出到液晶层等显示媒体中，对显示质量造成不良影响。因此，滤色片制造工序是在非常清洁的环境下付出很大的注意力进行的，以防异物混进彩色层中。然而，完全防止异物混进彩色层中是不可能的。

而且，也有可能发生下述情况，即：该彩色层的一部分在制造工序的过程中剥掉，产生了缺陷部分。在这种情况下，透过该缺陷部分后的光不是被着色的，而是仍然保持从光源发出时的原样。因此，透过该缺陷部分后的光，被观察为漏光。

为了对付这个问题，下述办法已经被人们知道，即：进行检验制造出的滤色片中是否存在异物和缺陷部分的检验工序。例如，如图5所示，下述方法已经被人们知道，即：将白光射入到滤色片中，检验人员为了检验而观察透过后的光。

就是说，在所述检验方法中，将滤色片103设置为它位于检验人员101与用以射出白光的光源102之间。在滤色片103中，形成有R的彩色层103r、G的彩色层103g及B的彩色层103b。所述彩色层103r，只让所射入的白光中的在规定波长范围内的红光透过，再向检验人员一侧射出该红光。按照同样的方式，彩色层103g只让绿光透过；彩色层103b只让蓝光透过。若发现在所述彩色层103r、103g及103b的任一个彩色层中存在混进的异物或缺陷部分等，该存在的异物或缺陷部分等就被检验人员101观察为异常射出光。

然而，在上述检验方法中，光从多个彩色层103r、103g及103b的各个彩色层中同时射出来。因此，比如说，即使缺陷部分产生在R的彩色层103r中，来自该彩色层103r的射出光变化，也难以正确、迅速地辨别出从该特定的彩色层射出来的光的变化。因此，为了可靠的检验而需要极长的时间，其结果是制造成本增高。

如图6所示，下述办法已经被人们知道，即：在上述检验方法中，将检验用滤光片105设置在滤色片103与检验人员101之间(例如，参照专利文献1)。检验用滤光片105，构成为让在规定波长范围内的光透过，并且以很大的程度遮住透过了所述红、绿及蓝色彩色层中的正常部分的光。透过了缺陷部分的光的波长范围与整个可见光波长范围一样宽，能够减少该光中被检验用滤光片105遮住的部分的比率。因此，透过了正常部分的光与透过了缺陷部分106的光之间的对比增加，因而能以简单的办法进行缺陷部分106的检验。

(专利文献1)日本公开专利公报特开平5-99787号公报

—本发明要解决的问题—

作为光刻法，除了将液体彩色抗蚀剂涂在衬底上，以在衬底上设置彩色抗蚀层的方法以外，还有将彩色抗蚀膜贴在衬底上的方法(干膜层压(dry film lamination)法。也称该方法为“DFL”)。根据DFL，与涂上彩色抗蚀剂的方法不同，不需要烘烤工序，能够有利地减少工序数。

然而，在采用DFL的状态下，有可能发生下述情况，即：由于抗蚀膜自身的起伏和当贴上抗蚀膜时施加在抗蚀膜上的应力等，在彩色层中产生有显示不均匀的地方。该显示不均匀的地方是由于彩色层相互间的微量的厚度差距或彩色层相互间的开口率差距而产生的。

而且，彩色层中的显示不均匀的地方不仅在采用上述DFL形成该彩色层时会产生，在利用涂上液体彩色抗蚀剂的方法形成该彩色层时也会产生。作为在上述两种方法中同样会产生的、显示不均匀的地方，有：由于显像处理中的显像不良而产生的，由于彩色层的图案中的被蚀刻部分的变形而产生的，以及彩色层中的图案间距和图案宽度的不均匀而产生的。

为了改善显示质量，确实地检验是否存在由于上述显示的不均匀而产生的不良显示是必不可少的。然而，因为与由于异物的混进和缺陷而产生的不良显示相比，由于上述显示的不均匀而产生的显示不良更为轻微，所以难以检验是否存在这种显示不均匀的地方。

为了对付所述问题，如在专利文献1中所示，可以在检验人员与滤色片之间设置检验用滤光片。然而，与缺陷部分不同，因为射入的白光不保持着原样透过，所以不能增大在彩色层中产生的显示不均匀的部分与彩色层中的通常部分之间的对比。因此，难以确实地检验是否存在显示不均匀的地方。

发明内容

本发明，正是为解决所述问题而研究开发出来的。其目的在于：提供能以可靠且简单的方式检验在滤色片的彩色层中是否存在显示不均匀的地方，来提高显示质量的滤色片检验方法及滤色片检验装置。

—所述问题的解决方案—

根据本发明，为了实现上述滤色片检验方法及滤色片检验装置，使单色光射入到滤色片的彩色层中，以检验彩色层中是否存在显示不均匀的地方。

具体而言，本发明所涉及的滤色片检验方法，是包括多个为多种颜色中的各种颜色而设置在透明衬底上的彩色层的滤色片的检验方法。该方法包括：设置所述滤色片，使所述滤色片与光源相对的第一步骤，从所述光源射出颜色与所述滤色片中的所述多个彩色层所具有的多种颜色中的一种颜色相同的单色光，再使所述单色光射入到所述多个彩色层中的第二步骤，以及利用已透过所述彩色层的光检验所述彩色层中是否存在显示不均匀的地方的第三步骤。

最好是这样的，通过依次改变所述要射入到所述多个彩色层中的单色光，来使所述单色光的颜色与所述彩色层的各种颜色相同。

本发明所涉及的滤色片检验方法，是包括多个为多种颜色中的各种颜色而设置在透明衬底上的彩色层的滤色片的检验方法。所述方法包括：设置所述滤色片，使所述滤色片与包括用来产生白光的发光部和单色滤光片的光源相对，该单色滤光片仅使在所述发光部产生的白光中的单色光透过该单色滤光片的第一步骤，从所述光源的所述单色滤光片射出颜色与所述滤色片中的所述彩色层所具有的多种颜色中的一种颜色相同的单色光，再使所述单色光射入到所述多个彩色层中的第二步骤，以及利用已透过所述彩色层的光检验所述彩色层中是否存在显示不均匀的地方的第三步骤。

最好是这样的，通过更换所述光源的所述单色滤光片来依次改变所述要射入到所述多个彩色层中的单色光，以使所述单色光的颜色与所述彩色层所具有的各种颜色相同。

最好是这样的，从所述光源射出并透过了所述彩色层中的检验对象层的光中被从所述光源射出并透过了所述彩色层中的检验对象层以外的层的光干扰的部分相对透过了所述检验对象层的光的比率，为大于或等于0％、且小于30％。

也可以是这样的，透过了所述彩色层中的所述检验对象层的光的波长范围，为590nm以上且780nm以下。此外，也可以是这样的，透过了所述彩色层中的所述检验对象层的光的波长范围，为515nm以上且585nm以下。

最好是这样的，从所述光源射出的所述单色光，是波长在使所述彩色层中的检验对象层的透过率为10％以上的范围内的光。

也可以是这样的，透过了所述彩色层中的所述检验对象层的光的波长范围，为580nm以上且685nm以下。此外，也可以是这样的，透过了所述彩色层中的所述检验对象层的光的波长范围，为475nm以上且605nm以下。此外，也可以是这样的，透过了所述彩色层中的所述检验对象层的光的波长范围，为385nm以上且535nm以下。

此外，滤色片检验装置，包括：用来支撑包括多个为多种颜色中的各种颜色而设置在透明衬底上的彩色层的滤色片的支撑部，和为所述多种颜色中的各种颜色而射出单色光，使所述单色光的颜色与所述多个彩色层中的各种颜色相同的光源。在所述滤色片检验装置中，使从所述光源射出的所述单色光射入到所述彩色层中，以检验所述彩色层中是否存在显示不均匀的地方。

—作用—

根据本发明所涉及的滤色片检验方法，在检验是否存在显示不均匀的地方时，首先在第一步骤中，设置滤色片，使该滤色片与光源相对。接着，在第二步骤中，从所述光源射出单色光，使所述单色光射入到所述滤色片的多个彩色层中。所述彩色层，是为各种颜色(例如，红、绿及蓝色)而设置在透明衬底上的。然后，使从所述光源射出的所述单色光的颜色，与所述彩色层所具有的颜色中的一种颜色相同。

之后，在第三步骤中，射入到所述多个彩色层中的单色光，透过彩色层中颜色与所述单色光所具有的颜色相同的彩色层。其结果是，能利用所述已透过的光，检验所述彩色层中颜色与所述单色光的颜色相同的彩色层中是否存在显示不均匀的地方。在该情况下，因为透过滤色片的光是单色光，所以能以简单的方式确实地检验与异物的混进和缺陷相比更难检测到的、彩色层中的显示不均匀的地方。

通过将所述单色光的颜色依次改变为所述彩色层所具有的颜色中的另一种颜色，能为所述彩色层所具有的颜色中的各种颜色而检验所述滤色片的所有彩色层。

在所述光源包括用以产生白光的发光部和单色滤光片时，在第二步骤中，只有在所述发光部产生的白光中的在规定波长范围内的单色光透过所述单色滤光片，从整体来看，该单色光从所述光源射出来。从所述光源射出来的单色光，透过具有所述多种颜色中的一种颜色的彩色层，因而能够检验所述单色光所透过的所述彩色层中是否存在显示不均匀的地方。

对从所述光源射出并透过了所述彩色层中的检验对象层的光来说，若所述光中被从所述光源射出并透过了所述彩色层中的检验对象层以外的层的光干扰的部分相对所述透过了所述检验对象层的光的比率为30％以上，被干扰的部分就过多，因而难以靠视觉辨别所述透过后的光。因此，通过使所述被干扰部分的比率为大于或等于0％、且小于30％，能以简单的方式靠视觉辨别透过了所述彩色层中的检验对象层的光。因此，能确实地检验是否存在显示不均匀的地方。

特别是，在透过了所述彩色层中的所述检验对象层的光是波长范围为590nm以上且780nm以下的红光、或者波长范围为515nm以上且585nm以下的绿光时，能使所述被干扰部分的比率为大于或等于0％、且小于30％。

若从所述光源向所述彩色层中的所述检验对象层射出的所述单色光的透过率小于10％，就很难以足够高的水平靠视觉辨别透过了所述彩色层中的检验对象层的光。因此，通过规定从所述光源射出的单色光的波长范围，使所述彩色层中的检验对象层的透过率为10％以上，能够进行可靠的检验。

特别是，在透过所述彩色层中的检验对象层的光是波长范围为580nm以上且685nm以下的红光、波长范围为475nm以上且605nm以下的绿光、或者波长范围为385nm以上且535nm以下的蓝光时，能使所述被干扰部分的比率为10％以下。

在使用本发明所涉及的滤色片检验装置的状态下，在检验是否存在显示不均匀的地方时，将滤色片设置在支撑部上，使所述支撑部支撑所述滤色片。之后，为各种颜色从所述光源射出的单色光，射入到所述滤色片的所述彩色层中。这样，能为所述彩色层的各种颜色而检验所述彩色层中是否存在显示不均匀的地方。

在所述光源包括用以产生白光的发光部和单色滤光片时，只有在所述发光部产生的白光中的在规定波长范围内的单色光透过所述单色滤光片，从整体来看，该单色光从所述光源射出来。从所述光源射出的所述单色光，透过所述彩色层中的、具有多种颜色中的一种颜色的彩色层，因而能够检验具有所述单色光所透过的颜色的彩色层中是否存在显示不均匀的地方。

—发明的效果—

根据本发明，通过使单色光射入到滤色片的彩色层中，就能对颜色与检验对象层所具有的颜色不同的光进行控制，使为检验所使用的光成为单色光。因此，能以简单的方式确实地检验与异物的混进和缺陷相比更难检测到的、彩色层中的显示不均匀的地方，能够提高显示质量。

附图说明

图1，是示意性地表示本发明的第一实施例所涉及的检验方法及检验装置的立体图。

图2，是表示具有笔记本色的彩色层的光谱透过率特性的曲线图。

图3，是表示具有显示器色的彩色层的光谱透过率特性的曲线图。

图4，是示意性地表示本发明的第二实施例所涉及的检验方法及检验装置的立体图。

图5，是示意性地表示用来检验异物混进部分或缺陷部分的、已知的检验方法的说明图。

图6，是示意性地表示用来检验缺陷部分的、已知的检验方法的说明图。

具体实施方式

下面，参照附图，说明本发明的实施例。请注意，本发明并不限于下述实施例。

(第一实施例)

图1、图2及图3，是用以表示本发明的第一实施例所涉及的滤色片检验方法及滤色片检验装置的图。图1，是示意性地表示第一实施例的检验装置的立体图。

如图1所示，检验装置1包括用以支撑滤色片10的支撑部20、和为了检验而将光射入到滤色片10中的光源30。

所述滤色片10，是例如用于液晶显示装置的。就是说，液晶显示装置包括在其上设置有多个薄膜晶体管(TFT：thin film transistor)的TFT(薄膜晶体管)衬底、和设置为在与所述TFT衬底之间夹着液晶层与所述TFT衬底相对的相对衬底，省略图示。所述滤色片10，设置在所述相对衬底上。所述液晶层，由TFT衬底上的TFT驱动，用透过滤色片10的射入光进行彩色显示。

滤色片10包括多个彩色层11、12及13，所述多个彩色层11、12及13为多种颜色中的各种颜色而设置在玻璃衬底等透明衬底15上。具体而言，彩色层11是用来显示红色(R)的；彩色层12是用来显示绿色(G)的；彩色层13是用来显示蓝色(B)的。所述彩色层11、12及13依次有规则地排列着。彩色层11、12及13中的各个彩色层，通过利用光刻法的图案形成，由透明衬底15上的彩色抗蚀剂构成。

彩色层11、12及13是利用DFL(干膜层压法)形成的。就是说，例如，将呈红色薄膜状的彩色抗蚀剂施加着均一的张力贴在透明衬底15上。接着，经由光罩(未示)对透明衬底15进行曝光，使规定的图案留在该透明衬底15上，之后对该图案进行显像，从而形成多个彩色层11。之后，为了绿色彩色层12和蓝色彩色层13，以同样的方式进行图案形成。这样，就能得到通过图案形成形成了具有三种颜色的彩色层11、12及13的滤色片10。

本实施例的彩色层11、12及13具有如图2和图3所示的光谱透过率特性。在此，在图2和图3中，实线表示红色(R)彩色层11的透过率；虚线表示绿色(G)彩色层12的透过率；长短交替虚线表示蓝色(B)彩色层13的透过率。

图2是表示用于笔记本电脑等的显示面板中的彩色层(以下，称为“笔记本色”)的特性的曲线图。笔记本色具有能在维持显示质量的状态下使功耗减低的特性。另一方面，图3是表示用于台式电脑等的显示面板中的彩色层(以下，称为“显示器色”)的特性的曲线图。显示器色具有与笔记本色相比更多地重视再生显示颜色的再现性(reproducibility)的特性。

支撑部20，由在中央部分具有开口部(未示)的板状部件构成。滤色片10设置在支撑部20上，使得滤色片10的彩色层11、12及13对应于支撑部20的开口部，并且滤色片10的边缘部位(框区域)，与支撑部20接触着放置在支撑部20的支撑面中位于该开口部周围的部分上。

光源30，构成为射出颜色与彩色层11、12及13的各种颜色相同的单色光，再将该单色光射入到滤色片10的彩色层11、12及13中。就是说，光源30包括作为单色光源起到作用的发光二极管(LED：lightemitting diode)，即多个红色LED、多个绿色LED及多个蓝色LED。在LED中，通过只使红色LED导通，来射出具有红色的单色光。同样，通过只使绿色LED导通，来射出具有绿色的单色光；通过只使蓝色LED导通，来射出具有蓝色的单色光。通过改变要射入到多个彩色层11、12及13中的单色光的颜色，来依次使该单色光的颜色与彩色层11、12及13的各种颜色相同。在本实施例中，因为光源30包括三种颜色的LED，所以能使从光源30射出的单色光的颜色以简单的方式变化。

检验人员40，隔着滤色片10，为每种颜色而从光源30的相反一侧靠视觉对透过了滤色片10的光进行辨别，以检验各彩色层11、12及13中是否存在显示不均匀的地方。

在该情况下，例如，最好是这样的，红色LED的发光特性是发光峰值在638nm处，并且半值宽为18nm；绿色LED的发光特性是发光峰值在560nm处，并且半值宽为15nm。此外，最好是这样的，蓝色LED的发光特性是发光峰值在385nm以上且465nm以下的范围内。然而，对现在的通用光源来讲，妥当的是发光峰值为468nm、半值宽为26nm。

此外，对从光源30射出并透过了彩色层11、12及13中的要检验的彩色层的光来讲，该光中被从光源30射出来并透过了彩色层11、12及13中的检验对象之外的彩色层的光干扰的部分相对整个透过了该检验对象的光的比率最好为大于或等于0％、且小于30％。若该光中被干扰的部分占整个透过了该检验对象的光的30％以上，透过了该检验对象的光中被透过了彩色层11、12及13中的检验对象之外的彩色层的光干扰的部分就太多，因此难以靠视觉辨别显示的不均匀。

就是说，最好是这样的，如图表1所示，向具有如图2和图3所示的特性(笔记本色和显示器色)的彩色层11、12及13射出，并透过了作为检验对象的红色(R)彩色层11的光的波长范围，为590nm以上且780nm以下；透过了作为检验对象的绿色(G)彩色层12的光的波长范围，为515nm以上且585nm以下；透过了作为检验对象的蓝色(B)彩色层13的光的波长范围，为380nm以上且480nm以下。这样，就能使透过了检验对象层的光中被透过了所述彩色层中的不被检验的彩色层的光干扰的部分的比率保持为大于或等于0％、且小于30％。

(图表1)

其他颜色的透过率	R(nm)	G(nm)	B(nm)
				小于5％	640-670	555-570	445-465
小于10％	620-635	545-575	385-465
				小于30％	590-780	515-585	380-480

再加上，如图表1所示，最好是这样的，被干扰部分相对整个光的比率为大于或等于0％、且小于10％。就是说，最好是这样的，在射入到具有如图2和图3所示的特性的彩色层11、12及13中的光中，透过了作为检验对象的红色(R)彩色层11的光的波长范围为620nm以上且635nm以下；透过了作为检验对象的绿色(G)彩色层12的光的波长范围为545nm以上且575nm以下；透过了作为检验对象的蓝色(B)彩色层13的光的波长范围为385nm以上且465nm以下。

再加上，如图表1所示，被干扰部分的比率最好为大于或等于0％、且小于5％。就是说，最好是这样的，在射入到具有如图2和图3所示的特性的彩色层11、12及13中的光中，透过了作为检验对象的红色(R)彩色层11的光的波长范围为640nm以上且670nm以下；透过了作为检验对象的绿色(G)彩色层12的光的波长范围为555nm以上且570nm以下；透过了作为检验对象的蓝色(B)彩色层13的光的波长范围为445nm以上且465nm以下。这样，就能使透过了检验对象的光中被透过了所述彩色层中的检验对象之外的彩色层的光干扰的部分的比率保持为大于或等于0％、且小于5％。

此外，最好是这样的，从光源30射出的单色光是波长在使彩色层11、12及13中的检验对象层的透过率为10％以上的范围内的光。若从光源30射出来的单色光透过彩色层11、12及13中的检验对象层的透过率小于10％，就很难以足够高的水平靠视觉辨别透过了所述彩色层11、12及13中的检验对象层的光。

就是说，如图表2所示，最好是这样的，在向具有如图2和图3所示的特性(笔记本色和显示器色)的彩色层11、12及13射出的光中，透过了作为检验对象的红色(R)彩色层11的光的波长范围，为580nm以上且685nm以下；透过了作为检验对象的绿色(G)彩色层12的光的波长范围，为475nm以上且605nm以下；透过了作为检验对象的蓝色(B)彩色层13的光的波长范围，为385nm以上且535nm以下。

(图表2)

透过率	R(nm)	G(nm)	B(nm)
				10％以上	580-685	475-605	385-535

—检验方法—

下面，说明本发明所涉及的滤色片检验方法。

本实施例所涉及的检验方法包括第一步骤、第二步骤及第三步骤。首先，在第一步骤中，如图1所示，将滤色片10设置在支撑部20上，使滤色片10与光源30相对。这时，将滤色片10设置为让彩色层11、12及13对应于支撑部20的开口部。

之后，在第二步骤中，从光源30射出颜色与彩色层11、12及13所具有的颜色(R、G及B)中的一种颜色相同的单色光，并使该单色光射入到多个彩色层11、12及13中。例如，首先，通过只使光源30的红色LED导通，来从光源30射出具有红色(R)的单色光。该从光源30射出来的、具有红色的单色光，射入到具有各种颜色的彩色层11、12及13中的各个彩色层中，再从红色(R)彩色层11射出去。

接着，在第三步骤中，检验人员40利用已透过彩色层11的光检验彩色层11中是否存在显示不均匀的地方。就是说，在彩色层11中的任意部分产生有显示不均匀的地方的情况下，该显示不均匀的地方被靠视觉辨别为红色透过光中的、不规则的明暗。

下面，说明在彩色层11、12及13中会产生的、显示的不均匀。

本实施例所述的显示的不均匀，即不是彩色层的中央部分已剥落的缺陷部分，又不是混进彩色层中的异物。就是说，显示的不均匀，是由于彩色抗蚀剂厚度的微量的不均匀或彩色抗蚀剂的图案面积偏差而产生的、开口率的不均匀。

由于抗蚀剂厚度的不均匀而产生的、显示的不均匀，是下述原因会造成的，即：抗蚀膜自身起伏、在贴上抗蚀膜时施加在该抗蚀膜上的张力不均匀、或者由于错误而将该膜设置为双层等。由于开口率不均匀而产生的、显示的不均匀，是下述原因会造成的，即：显像不良、彩色层图案中的边缘部分变形、或者彩色层的图案间距或图案宽度不均匀。

在检验了红色彩色层11后，这样再次进行第二步骤，即：例如只使光源的绿色LED导通，射出绿色(G)的单色光。接着，在第三步骤中，检验人员40靠视觉辨别透过了绿色(G)彩色层12的透过光，以检验是否存在显示不均匀的地方。之后，以与对红色彩色层11及绿色彩色层12进行的检验一样的方式，检验蓝色(B)彩色层13。通过所述方法，为各种颜色而检验彩色层11、12及13。

—第一实施例的效果—

根据第一实施例，通过使单色光射入到滤色片10的彩色层11、12及13中，能够消除具有透过了检验对象层的光所具有的颜色之外的颜色的透过光，从而能用单色光进行检验。因此，能以简单的方式确实地检验与异物的混进和缺陷相比更难检测到的、彩色层11、12及13中的显示不均匀的地方。其结果是，能够提高显示质量。

而且，根据第一实施例，使从光源30射出并透过了彩色层11、12及13中的检验对象层的光中被从光源30射出并透过了彩色层11、12及13中的检验对象之外的彩色层的光干扰的部分相对透过了检验对象层的光的比率为大于或等于0％、且小于30％。因此，能靠视觉很准确地辨别透过了彩色层11、12及13中的检验对象层的光。因此，能以高精度进行检验。

而且，根据第一实施例，从光源30射出波长在使各彩色层11、12及13的透过率为10％以上的范围内的单色光。这样，就能以高亮度靠视觉辨别具有所希望的颜色的光。因此，能够提高检验精度。

(第二实施例)

图4，是表示本发明的第二实施例所涉及的滤色片检验方法及检验装置的立体图。在以下的各实施例中，用相同的参照符号表示已经在第一实施例中所示的的各结构部分，从而省略该部分的说明。

如图4所示，在本实施例中，光源30包括用以产生白光的发光部31和单色滤光片32，该单色滤光片32只使在发光部31产生的光中的在规定波长范围内的单色光透过。从整体来看，光源30射出单色光。

发光部31，例如由荣光灯等构成。作为单色滤光片32，红色(R)单色滤光片由TS-R-62或TS-R-64(由常盘光学株式会社(TOKIWAOPTICAL CORPORATION)制造)构成；绿色(G)单色滤光片由TS-G-545(由常盘光学株式会社制造)构成；蓝色(B)单色滤光片由TS-B-390或TS-B-440(由常盘光学公司制造)构成。光源30包括具有三种与彩色层11、12及13的各种颜色相同的颜色的单色滤光片32。通过更换单色滤光片32，改变该单色滤光片32的颜色，来每次射出具有红色(R)、绿色(G)或蓝色(B)的单色光。

这样，如在第一实施例中说明的那样进行第一步骤、第二步骤及第三步骤，以检验彩色层11中是否存在显示不均匀的地方。

—第二实施例的效果—

根据第二实施例，能够得到与第一实施例一样的效果。而且，因为单色滤光片32设置在检验装置中，所以检验人员不需要反复更换单色滤光片。因此，能以简单的方式进行检验。

(其他实施例)

在第一实施例中，设置了多个具有三种颜色即R、G及B的LED作为光源30。然而，本发明并不限于此。例如，也可以是这样的，对用作荧光灯等的三波长灯管进行改良而使用它，来代替LED。就是说，该改良后的三波长灯管包括一对放电用电极、对在放电用电极相互间产生的放电发生反应而产生紫外线的气体、以及在受到紫外线照射时发光的发光体，省略图示。通常的三波长灯管射出白光，但是若改变发光体的特性，使该发光体仅射出在规定波长范围内的光，就能够构成射出具有R、G及B中的一种颜色的光的发光灯。这样，通过设置多个R、G及B颜色的发光灯，代替第一实施例中的为各种颜色而设置的LED，就能够得到为R、G及B中的各种颜色而射出单色光的光源。

—工业实用性—

综上所述，本发明对于为了检验在滤色片的彩色层中是否存在显示不均匀的地方而采用的滤色片检验方法及滤色片检验装置很有用，本发明特别是在以简单的方式确实地检验显示不均匀的地方来提高显示质量的情况下，很适用。

Claims (24)

1.一种滤色片检验方法，该滤色片包括多个为多种颜色中的各种颜色而设置在透明衬底上的彩色层，其特征在于：包括：

第一步骤，设置所述滤色片，使所述滤色片与光源相对，

第二步骤，从所述光源射出颜色与所述滤色片中的所述多个彩色层所具有的多种颜色中的一种颜色相同的单色光，再使所述单色光射入到所述多个彩色层中，以及

第三步骤，利用已透过所述彩色层的光检验所述彩色层中是否存在显示不均匀的地方。

2.根据权利要求1所述的滤色片检验方法，其特征在于：

通过依次改变所述要射入到所述多个彩色层中的单色光，来使所述单色光的颜色与所述彩色层的各种颜色相同。

3.根据权利要求1所述的滤色片检验方法，其特征在于：

从所述光源射出并透过了所述彩色层中的检验对象层的光中被从所述光源射出并透过了所述彩色层中的检验对象层以外的层的光干扰的部分相对透过了所述检验对象层的光的比率，为大于或等于0％、且小于30％。

4.根据权利要求3所述的滤色片检验方法，其特征在于：

透过了所述彩色层中的所述检验对象层的光的波长范围，为590nm以上且780nm以下。

5.根据权利要求3所述的滤色片检验方法，其特征在于：

透过了所述彩色层中的所述检验对象层的光的波长范围，为515nm以上且585nm以下。

6.根据权利要求1所述的滤色片检验方法，其特征在于：

从所述光源射出的所述单色光，是波长在使所述彩色层中的检验对象层的透过率为10％以上的范围内的光。

7.根据权利要求6所述的滤色片检验方法，其特征在于：

透过了所述彩色层中的所述检验对象层的光的波长范围，为580nm以上且685nm以下。

8.根据权利要求6所述的滤色片检验方法，其特征在于：

透过了所述彩色层中的所述检验对象层的光的波长范围，为475nm以上且605nm以下。

9.根据权利要求6所述的滤色片检验方法，其特征在于：

透过了所述彩色层中的所述检验对象层的光的波长范围，为385nm以上且535nm以下。

10.一种滤色片检验方法，该滤色片包括多个为多种颜色中的各种颜色而设置在透明衬底上的彩色层，其特征在于：包括：

第一步骤，设置所述滤色片，使所述滤色片与包括用来产生白光的发光部和单色滤光片的光源相对，该单色滤光片仅使在所述发光部产生的白光中的单色光透过该单色滤光片，

第二步骤，从所述光源的所述单色滤光片射出颜色与所述滤色片中的所述彩色层所具有的多种颜色中的一种颜色相同的单色光，再使所述单色光射入到所述多个彩色层中，以及

第三步骤，利用已透过所述彩色层的光检验所述彩色层中是否存在显示不均匀的地方。

11.根据权利要求10所述的滤色片检验方法，其特征在于：

通过更换所述光源的所述单色滤光片来依次改变所述要射入到所述多个彩色层中的单色光，以使所述单色光的颜色与所述彩色层所具有的各种颜色相同。

12.根据权利要求10所述的滤色片检验方法，其特征在于：

从所述光源射出并透过了所述彩色层中的检验对象层的光中被从所述光源射出并透过了所述彩色层中的检验对象层以外的层的光干扰的部分相对透过了所述检验对象层的光的比率，为大于或等于0％、且小于30％。

13.根据权利要求12所述的滤色片检验方法，其特征在于：

透过了所述彩色层中的所述检验对象层的光的波长范围，为590nm以上且780nm以下。

14.根据权利要求12所述的滤色片检验方法，其特征在于：

透过了所述彩色层中的所述检验对象层的光的波长范围，为515nm以上且585nm以下。

15.根据权利要求10所述的滤色片检验方法，其特征在于：

从所述光源射出的所述单色光，是波长在使所述彩色层中的检验对象层的透过率为10％以上的范围内的光。

16.根据权利要求15所述的滤色片检验方法，其特征在于：

透过了所述彩色层中的所述检验对象层的光的波长范围，为580nm以上且685nm以下。

17.根据权利要求15所述的滤色片检验方法，其特征在于：

透过了所述彩色层中的所述检验对象层的光的波长范围，为475nm以上且605nm以下。

18.根据权利要求15所述的滤色片检验方法，其特征在于：

透过了所述彩色层中的所述检验对象层的光的波长范围，为385nm以上且535nm以下。

19.一种滤色片检验装置，其特征在于：包括：

支撑部，用来支撑包括多个为多种颜色中的各种颜色而设置在透明衬底上的彩色层的滤色片，和

光源，为所述多种颜色中的各种颜色而射出单色光，使所述单色光的颜色与所述多个彩色层中的各种颜色相同；

使从所述光源射出的所述单色光射入到所述彩色层中，以检验所述彩色层中是否存在显示不均匀的地方。

20.根据权利要求19所述的滤色片检验装置，其特征在于：

从所述光源射出并透过了所述彩色层中的检验对象层的光中被从所述光源射出并透过了所述彩色层中的检验对象层以外的层的光干扰的部分相对透过了所述检验对象层的光的比率，为大于或等于0％、且小于10％。

21.根据权利要求19所述的滤色片检验装置，其特征在于：

从所述光源射出的所述单色光，是波长在使所述彩色层中的检验对象层的透过率为10％以上的范围内的光。

22.一种滤色片检验装置，其特征在于：包括：

支撑部，用来支撑包括多个为多种颜色中的各种颜色而设置在透明衬底上的彩色层的滤色片，和

光源，包括用来产生白光的发光部和单色滤光片，该单色滤光片仅使在所述发光部产生的白光中的单色光透过该单色滤光片；

使从所述光源射出的光射入到所述彩色层中，以检验所述彩色层中是否存在显示不均匀的地方。

23.根据权利要求22所述的滤色片检验装置，其特征在于：

从所述光源射出并透过了所述彩色层中的检验对象层的光中被从所述光源射出并透过了所述彩色层中的检验对象层以外的层的光干扰的部分相对透过了所述检验对象层的光的比率，为大于或等于0％、且小于10％。

24.根据权利要求22所述的滤色片检验装置，其特征在于：

从所述光源射出的所述单色光，是波长在使所述彩色层中的检验对象层的透过率为10％以上的范围内的光。

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