JPS6138537A - カラ−フイルタ−検査方法 - Google Patents
カラ−フイルタ−検査方法Info
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- JPS6138537A JPS6138537A JP16127484A JP16127484A JPS6138537A JP S6138537 A JPS6138537 A JP S6138537A JP 16127484 A JP16127484 A JP 16127484A JP 16127484 A JP16127484 A JP 16127484A JP S6138537 A JPS6138537 A JP S6138537A
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- Japan
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- color
- filter
- color filter
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、固体撮像素子やＴＦＴ （薄膜トランジスタ
）を用いたアクティブマトリクス方式の液晶カラーディ
スプレイ素子等に貼付けて使用されるカラーフィルター
の色特性、ゴミ、欠、傷、汚れ等微少欠陥を自動的に検
出する自動微少欠陥検出方法に関する。
）を用いたアクティブマトリクス方式の液晶カラーディ
スプレイ素子等に貼付けて使用されるカラーフィルター
の色特性、ゴミ、欠、傷、汚れ等微少欠陥を自動的に検
出する自動微少欠陥検出方法に関する。
このような被検物の欠陥検出は、数ミクロンさらにはす
７１ミクロンの微細な欠陥まで検出する必要があるため
、欠陥を自動的に検出するのが難しく、従来は光学顕微
鏡による肉眼観察の方法が採られていた。そのため、作
業者の目の疲労による作業能率の低下とか、単位時間当
シの処理数が少ないとか、さらには検査に熟練者を必要
とする等の問題があった。
７１ミクロンの微細な欠陥まで検出する必要があるため
、欠陥を自動的に検出するのが難しく、従来は光学顕微
鏡による肉眼観察の方法が採られていた。そのため、作
業者の目の疲労による作業能率の低下とか、単位時間当
シの処理数が少ないとか、さらには検査に熟練者を必要
とする等の問題があった。
微少欠陥のみを自動検査する装置の開発は、各社で行な
われているものの固体撮像素子で要求されている許容欠
陥３μｍを検出する為には顕微鏡は高倍率のものが、又
欠陥を判定する為には大容量のコンピューター装置及び
ソフトウェア−が必要となる。
われているものの固体撮像素子で要求されている許容欠
陥３μｍを検出する為には顕微鏡は高倍率のものが、又
欠陥を判定する為には大容量のコンピューター装置及び
ソフトウェア−が必要となる。
しかし、これらの装置及びソフトウェア−は非常に大が
かシなものとなる上、検査に必要な時間も、欠陥検出能
力が高くなるほど長いものとなるであろう。
かシなものとなる上、検査に必要な時間も、欠陥検出能
力が高くなるほど長いものとなるであろう。
本発明の目的は、光学顕微鏡検査による目の疲労、又疲
労からくるミス、個人差、見落し、を無くす事を可能と
するカラーフィルター検査方法を提供することである。
労からくるミス、個人差、見落し、を無くす事を可能と
するカラーフィルター検査方法を提供することである。
又、本発明の他の目的は、カラーフィルターの色特性、
微少欠陥を同時に自動的に能率よく検出できるカラーフ
ィルター検査方法を提供することである。
微少欠陥を同時に自動的に能率よく検出できるカラーフ
ィルター検査方法を提供することである。
本発明によるカラーフィルター検査方法は微細な色要素
が配列された固体撮像素子用カラーフィルター素子を特
性の既知の固体撮像素子の上に微少な間隔で配置した状
態で光照射を行うことにより、固体撮像素子から生ずる
信号によって該カラーフィルターの欠陥部を検出するこ
とを特徴とするものである。
が配列された固体撮像素子用カラーフィルター素子を特
性の既知の固体撮像素子の上に微少な間隔で配置した状
態で光照射を行うことにより、固体撮像素子から生ずる
信号によって該カラーフィルターの欠陥部を検出するこ
とを特徴とするものである。
以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する
。
。
図示の検査用フローチャートは、基本的に、検査すべき
固体撮像素子用カラーフィルター素子（以下、被検物と
いう）を平行光で照射し、被検物を透過した光を光セン
サーで検出し、この操作を被検物の検査を望まれる全表
面にわたって行ない、光セシサーからの検出信号を、あ
らかじめ記憶されている信号と比較し、その出力差よシ
ネ良品として検出する手順を示している。
固体撮像素子用カラーフィルター素子（以下、被検物と
いう）を平行光で照射し、被検物を透過した光を光セン
サーで検出し、この操作を被検物の検査を望まれる全表
面にわたって行ない、光セシサーからの検出信号を、あ
らかじめ記憶されている信号と比較し、その出力差よシ
ネ良品として検出する手順を示している。
図面において、１は被検物、すなわち微細な色要素が配
列された固体撮像素子用カラーフィルター素子、２は固
体撮像素子である。検査装置は光学系Ａ１駆動系Ｂ１制
御系Ｃ１画像信号処理系りより成る。
列された固体撮像素子用カラーフィルター素子、２は固
体撮像素子である。検査装置は光学系Ａ１駆動系Ｂ１制
御系Ｃ１画像信号処理系りより成る。
光学系Ａは、被検フィルター１に順次に赤色。
緑色、青色の平行光を照射する照明装置と、フィルター
と固体撮像素子（ＣＣＤ ）との位置を検出する光学系
とで構成される。
と固体撮像素子（ＣＣＤ ）との位置を検出する光学系
とで構成される。
図において、３ａ 、３ｂ 、３ｃは光源、４＆。
４ ｂ ｅ ４ ｃはそれぞれ、赤色フィルター、緑色
フィルター、青色フィルター、５ａ、５ｂ、５ｃはシャ
ッター、６ａｐ６ｂｐ６ｃはシャッター駆動回路、７ａ
、７ｂ、７ｃ、７ｄはミラー、８は位置合わせ顕微鏡モ
ニターを示す。
フィルター、青色フィルター、５ａ、５ｂ、５ｃはシャ
ッター、６ａｐ６ｂｐ６ｃはシャッター駆動回路、７ａ
、７ｂ、７ｃ、７ｄはミラー、８は位置合わせ顕微鏡モ
ニターを示す。
駆動系Ｂは被検フィルターを載置するステージと、該ス
テージをＸ軸方向に移動させるＸ輸送フサーゴモーター
と、該ステージをＹ軸方向に移動させるＹ輸送シサーボ
モーターと、オートフォーカス装置で焦点合わせの為に
該ステージを２軸方向に移動させる２軸送フサーゼモー
ターとで構成されている、。図において、９ａはＸ軸テ
ーブル、９ｂはＹ軸テーブル、９Ｃは２軸スライダー、
１０ ａ ｔ １０ ｂ 、 １０ ｃは、それぞれＸ
サー？、Ｙサーボ、２サーボを示し、ｌｌａ、ｆｌｂ。
テージをＸ軸方向に移動させるＸ輸送フサーゴモーター
と、該ステージをＹ軸方向に移動させるＹ輸送シサーボ
モーターと、オートフォーカス装置で焦点合わせの為に
該ステージを２軸方向に移動させる２軸送フサーゼモー
ターとで構成されている、。図において、９ａはＸ軸テ
ーブル、９ｂはＹ軸テーブル、９Ｃは２軸スライダー、
１０ ａ ｔ １０ ｂ 、 １０ ｃは、それぞれＸ
サー？、Ｙサーボ、２サーボを示し、ｌｌａ、ｆｌｂ。
１１ｃはリニアスケールを示す。
画像信号処理系は、図示の画像処理部によシ構成されて
いる。
いる。
制御系は被検物とセンサーの位置を制御するもので、位
置決め用マークを読み取る為の顕微鏡観察と容易にする
為のＴＶモニター、被検物とセンサーの微少間隔を制御
する為の自動焦点機構付顕微鏡等によシ構成される。又
、間隔が一定距離よシ狭くならない為にある間隔になっ
たら駆動系を停止させる信号を出す機能が付いている。
置決め用マークを読み取る為の顕微鏡観察と容易にする
為のＴＶモニター、被検物とセンサーの微少間隔を制御
する為の自動焦点機構付顕微鏡等によシ構成される。又
、間隔が一定距離よシ狭くならない為にある間隔になっ
たら駆動系を停止させる信号を出す機能が付いている。
カラーフィルターの検査は次のように行われる。
フィルターを載置したステージはＸ軸送りモーター、Ｙ
輸送シモーターとで１番目に検査すべきフィルターが所
定の位置近くまでの移動がなされ、位置合わせ顕微鏡モ
ニター８の画面で再び移動がなされ、フィルターが所定
の位置に置かれる。
輸送シモーターとで１番目に検査すべきフィルターが所
定の位置近くまでの移動がなされ、位置合わせ顕微鏡モ
ニター８の画面で再び移動がなされ、フィルターが所定
の位置に置かれる。
次に２軸送シモーターでフィルターと固体撮像素子との
間隔が調整される。間隔の調整は、１ず自動焦点機構付
顕微鏡で被検物の２軸方向の位置が検出される。
間隔が調整される。間隔の調整は、１ず自動焦点機構付
顕微鏡で被検物の２軸方向の位置が検出される。
次に被検物位置情報にもとづいて、センサーの移動を一
２輸送シモーターで行う。
２輸送シモーターで行う。
被検物とセンサーの位置調整が終了すると測定が開始さ
れる。測定は、光学系から被検物に照射された光がセン
サーに当シ、そこからの検出信号を、信号処理とするこ
とにより行われる。
れる。測定は、光学系から被検物に照射された光がセン
サーに当シ、そこからの検出信号を、信号処理とするこ
とにより行われる。
上述のようにして、本発明によれば、微細な色要素が配
列された固体撮像素子用カラーフィルター素子を特性の
既知の固体撮像素子上に微少な間隔で配置した状態で赤
色、緑色、青色と３色の光を順々に照射することで、固
体撮像素子から生ずる信号によって該カラーフィルター
の欠陥部を検出する。
列された固体撮像素子用カラーフィルター素子を特性の
既知の固体撮像素子上に微少な間隔で配置した状態で赤
色、緑色、青色と３色の光を順々に照射することで、固
体撮像素子から生ずる信号によって該カラーフィルター
の欠陥部を検出する。
信号処理は次のようにして行なわれる。良品時、Ｂ、Ｇ
、Ｒ３光源よシ得られるセンサーの照度分布は （ａ） 冬作のＭＡＸ照度とＭＥＮハ＜ｉ度に１対し
て（ｂ） 隣接絵素間の均一性０く１０チ以下（Ｃ）
３波長での強度比 ０〜５チ以下のａ、ｂ、ｃの各条件
を満足することとし、その良品のｒ−ターと被検物との
ガーターをリアルタイムに測定比較を行い各ビットに対
応するフィルター位置での欠陥情報を検出し出力する。
、Ｒ３光源よシ得られるセンサーの照度分布は （ａ） 冬作のＭＡＸ照度とＭＥＮハ＜ｉ度に１対し
て（ｂ） 隣接絵素間の均一性０く１０チ以下（Ｃ）
３波長での強度比 ０〜５チ以下のａ、ｂ、ｃの各条件
を満足することとし、その良品のｒ−ターと被検物との
ガーターをリアルタイムに測定比較を行い各ビットに対
応するフィルター位置での欠陥情報を検出し出力する。
上述の本発明の方法によれば、カラーフィルターの検査
が容易にかつ正確に行なわれ、かつ高速化およびローコ
スト化が容易に可能である。
が容易にかつ正確に行なわれ、かつ高速化およびローコ
スト化が容易に可能である。
図面は本発明を実施する装置のブロック図である。
１・・・被検フィルタ
２・・・固体撮像素子
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 微細な色要素が配列された固体撮像素子用カラーフ
ィルター素子を特性の既知の固体撮像素子の上に微少な
間隔で配置した状態で光照射を行うことにより、固体撮
像素子から生ずる信号によって該カラーフィルターの欠
陥部を検出することを特徴とするカラーフィルター検査
方法。 ２ 微細な色要素が配列された固体撮像素子用カラーフ
ィルター素子を固体撮像素子上に微少な間隔で配置した
状態で赤色、緑色、青色と３色を順々に照射することで
、固体撮像素子から生ずる信号によって該カラーフィル
ターの欠陥部を検出することを特徴とする特許請求の範
囲第１項に記載のカラーフィルター検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16127484A JPS6138537A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | カラ−フイルタ−検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16127484A JPS6138537A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | カラ−フイルタ−検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6138537A true JPS6138537A (ja) | 1986-02-24 |
Family
ID=15731985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16127484A Pending JPS6138537A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | カラ−フイルタ−検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6138537A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01313745A (ja) * | 1988-06-13 | 1989-12-19 | Dainippon Printing Co Ltd | 着色周期性パターンの検査方法 |
| JP2004279891A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Chi Mei Electronics Corp | 液晶セルの検査装置および検査方法 |
| WO2006011586A1 (en) * | 2004-07-30 | 2006-02-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for inspecting color filter |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP16127484A patent/JPS6138537A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01313745A (ja) * | 1988-06-13 | 1989-12-19 | Dainippon Printing Co Ltd | 着色周期性パターンの検査方法 |
| JP2004279891A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Chi Mei Electronics Corp | 液晶セルの検査装置および検査方法 |
| JP4556068B2 (ja) * | 2003-03-18 | 2010-10-06 | 奇美電子股▲ふん▼有限公司 | 液晶セルの検査装置および検査方法 |
| WO2006011586A1 (en) * | 2004-07-30 | 2006-02-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for inspecting color filter |
| US7643141B2 (en) | 2004-07-30 | 2010-01-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for inspecting color filter |
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