JP2004325963A - 液晶パネルの検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】効率的な液晶パネルの検査を実現する。
【解決手段】検査位置に配置された透過型液晶パネル１３に対して赤色シャッター８、緑色シャッター９及び青色シャッター１０によって透過型液晶パネルに照射される検査光を選択し、検査に用いたい色の光のみを透過型液晶パネルに照射する。
【選択図】 図１
【解決手段】検査位置に配置された透過型液晶パネル１３に対して赤色シャッター８、緑色シャッター９及び青色シャッター１０によって透過型液晶パネルに照射される検査光を選択し、検査に用いたい色の光のみを透過型液晶パネルに照射する。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶パネルの検査装置に関する。詳しくは、光源から出射された検査光を液晶パネルを通してスクリーンに投影する液晶パネルの検査装置に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
各画素を選択するスイッチング素子としてＴＦＴ素子を各画素に配置した液晶パネルの製造に際して、スイッチング素子であるＴＦＴ素子の不良や液晶層に異物が混入すること等によって、点欠陥と称される製造欠陥が生じ得る。従って、液晶パネルが組み込まれた液晶装置を最終的な製品とする前に、この点欠陥の発生状況の検査を行う必要があり、様々な液晶パネルの検査方法が提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照。）。
【０００３】
以下、図面を用いて従来の液晶パネルの検査装置について説明する。
図５は従来の液晶パネルの検査装置を説明するための模式的な図であり、ここで示す液晶パネルの検査装置は、光源１０１から出射されフライアイレンズ１０２によって均一な光に変換された検査光のうち、赤色光を反射する赤色ダイクロイックミラー１０３、緑色光を反射する緑色ダイクロイックミラー１０４、青色光を反射する青色ダイクロイックミラー１０５を備えると共に、赤色ダイクロイックミラーで反射された検査光が入射する赤色液晶パネルホルダー１０６、緑色ダイクロイックミラーで反射された検査光が入射する緑色液晶パネルホルダー１０７及び青色ダイクロイックミラーで反射された検査光が入射する青色液晶パネルホルダー１０８を有する。
【０００４】
上記の様に構成された液晶パネルの検査装置を用いて液晶パネルの検査を行う場合、例えば、緑色光で検査を行う場合には、緑色液晶パネルホルダーに液晶パネルを配置すると共に、赤色液晶パネルホルダー及び青色液晶パネルホルダーには遮光板を配置した状態で光源より検査光を出射する。
光源から出射された検査光のうち緑色ダイクロイックミラーで反射された検査光は液晶パネルを透過し、ダイクロイックプリズム１０９を透過し、投影レンズ１１０によって拡大されスクリーンに投影される。この様にしてスクリーンに投影された画像を目視により検査を行っている。なお、赤色ダイクロイックミラー及び青色ダイクロイックミラーで反射された検査光は遮光板によって遮光されているためにスクリーンに投影されることは無い。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−１７４３９８号公報 （第２−９頁、第１図）
【０００６】
【特許文献２】
特開平９−１４９３４９号公報 （第２−３頁、第１図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した液晶パネルの検査装置は、検査光の色を換える際に液晶パネルを検査に用いたい色の光が入射する液晶パネルホルダーに入れ換える必要があり、液晶の検査に多くの時間と手間を要するという不具合があった。
【０００８】
本発明は以上の点に鑑みて創案されたものであって、効率的な液晶パネルの検査を行うことが可能である液晶パネルの検査装置を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明に係る液晶パネルの検査装置は、検査位置に配置された液晶パネルに対して第１の色光と第２の色光を選択的に照射する選択手段を設けた。
【００１０】
ここで、検査位置に配置された液晶パネルに対して第１の色光と第２の色光を選択的に照射する選択手段を設けたことによって、液晶パネルの入れ換えを行うことなく所望の色の光で液晶パネルの検査を行うことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１は本発明を適用した液晶パネルの検査装置の一例を説明するための模式的な図であり、ここで示す液晶パネルの検査装置１は、光源２から出射されフライアイレンズ３によって均一な光に変換された検査光のうち、赤色光を反射する赤色ダイクロイックミラー４、緑色光を反射する緑色ダイクロイックミラー５、青色光を反射する青色ダイクロイックミラー６を備えると共に、赤色ダイクロイックミラーとダイクロイックプリズム７の間であり赤色ダイクロイックミラーによって反射された赤色光の光路上に配置されると共に赤色光の光量の調整が可能である赤色シャッター８、緑色ダイクロイックミラーとダイクロイックプリズムの間であり緑色ダイクロイックミラーによって反射された緑色光の光路上に配置されると共に緑色光の光量の調整が可能である緑色シャッター９、青色ダイクロイックミラーとダイクロイックプリズムの間であり青色ダイクロイックミラーによって反射された青色光の光路上に配置されると共に青色光の光量の調整が可能である青色シャッター１０を有する。なお、赤色光は赤色反射板１１によって反射されダイクロイックプリズムに導かれ、青色光は青色反射板１２によって反射されダイクロイックプリズムに導かれる様に構成されている。
【００１２】
上記の様に構成された液晶パネルの検査装置を用いて透過型液晶パネルの検査を行う場合、例えば、緑色光で検査を行う場合には、赤色シャッター及び青色シャッターを閉じると共に緑色シャッターを所定の光量が透過する様に調整した状態で光源より検査光を出射する。
光源から出射された検査光のうち緑色ダイクロイックミラーで反射された検査光（緑色光）は緑色シャッター及びダイクロイックプリズムを透過し、ダイクロイックプリズムと検査光を投影するスクリーンの間に配置された検査対象である透過型液晶パネル１３を透過し、投影レンズ１４によって拡大されスクリーンに投影される。この様にしてスクリーンに投影された画像を目視によって検査を行う。
【００１３】
ここで、赤色シャッター、緑色シャッター及び青色シャッターは検査光の色を換えるべくシャッターの開閉ができれば充分であり、必ずしも所定の光量が透過できる様に調整可能である構成を採る必要は無いが、液晶パネルは使用する光量によって求められる特性が異なり得るために、実際の使用における光量での特性を検査できる様に、所定の光量が透過できる様に調整可能である構成を採る方が好ましい。
【００１４】
本発明を適用した液晶パネルの検査装置の一例では、単にシャッターの開閉を行うのみで検査光の色を換えることができ、効率的に液晶パネルの検査を行うことができる。即ち、例えば、緑色光で検査を行った後に赤色光で検査を行う場合には、緑色シャッターを閉じると共に赤色シャッターを所定の光量が透過する様に調整するのみで良く、容易に検査光の色を換えることができる。
【００１５】
図２は本発明を適用した液晶パネルの検査装置の他の一例を説明するための模式的な図であり、ここで示す液晶パネルの検査装置１は、光源２から出射され赤色シャッター８及びフライアイレンズ３を透過した検査光のうち赤色光を反射する赤色ダイクロイックミラー４、光源２から出射され緑色シャッター９及びフライアイレンズ３を透過した検査光のうち緑色光を反射する緑色ダイクロイックミラー５、光源２から出射され青色シャッター１０及びフライアイレンズ３を透過した検査光のうち青色光を反射する青色ダイクロイックミラー６を備えると共に、赤色ダイクロイックミラーで反射された赤色光、緑色ダイクロイックミラーで反射された緑色光及び青色ダイクロイックミラーで反射された青色光を反射して液晶パネルに導く反射板１５を有する。
【００１６】
上記の様に構成された液晶パネルの検査装置を用いて透過型液晶パネルの検査を行う場合、例えば、青色光で検査を行う場合には、赤色シャッター及び緑色シャッターを閉じると共に青色シャッターを所定の光量が透過する様に調整した状態で光源より検査光を出射する。
光源から出射された検査光のうち青色ダイクロイックミラーで反射された検査光（青色光）は反射板によって透過型液晶パネルに導かれ、透過型液晶パネル１３を透過し、投影レンズ１４によって拡大されスクリーンに投影される。この様にしてスクリーンに投影された画像を目視によって検査を行う。
【００１７】
本発明を適用した液晶パネルの検査装置の他の一例においても、上記した本発明を適用した液晶パネルの検査装置の一例と同様に効率的に液晶パネルの検査を行うことができる。
【００１８】
図３は本発明を適用した液晶パネルの検査装置の更に他の一例を説明するための模式的な図であり、ここで示す液晶パネルの検査装置１は、光源２から出射され赤色シャッター８及びフライアイレンズ３を透過した検査光のうち赤色光を反射する赤色ダイクロイックミラー４、光源２から出射され緑色シャッター９及びフライアイレンズ３を透過した検査光のうち緑色光を反射する緑色ダイクロイックミラー５、光源２から出射され青色シャッター１０及びフライアイレンズ３を透過した検査光のうち青色光を反射する青色ダイクロイックミラー６を備えると共に、赤色ダイクロイックミラーで反射された赤色光、緑色ダイクロイックミラーで反射された緑色光及び青色ダイクロイックミラーで反射された青色光を反射して液晶パネルに導く偏光プリズム１６を有する。
【００１９】
上記の様に構成された液晶パネルの検査装置を用いて反射型液晶パネルの検査を行う場合、例えば、赤色光で検査を行う場合には、緑色シャッター及び青色シャッターを閉じると共に赤色シャッターを所定の光量が透過する様に調整した状態で光源より検査光を出射する。
光源から出射された検査光のうち赤色ダイクロイックミラーで反射された検査光（赤色光）は偏光プリズムによって反射型液晶パネルに導かれ、反射型液晶パネル１７で反射し、投影レンズ１４によって拡大されスクリーンに投影される。この様にしてスクリーンに投影された画像を目視によって検査を行う。
【００２０】
本発明を適用した液晶パネルの検査装置の更に他の一例においても、上記した本発明を適用した液晶パネルの検査装置の一例及び本発明を適用した液晶パネルの検査装置の他の一例と同様に効率的に液晶パネルの検査を行うことができる。
【００２１】
図４は本発明を適用した液晶パネルの検査装置のまた更に他の一例を説明するための模式的な図であり、ここで示す液晶パネルの検査装置１は、光源２から出射されシャッター１８及びフライアイレンズ３を透過した検査光のうち、赤色光を透過する赤色カラーフィルター１９、緑色光を透過する緑色カラーフィルター２０、青色光を透過する青色カラーフィルター２１を備えると共に、カラーフィルターは図４中符号ａで示す水平方向に移動することができ所望のカラーフィルターを検査光の光路に配置できる様に構成されている。
【００２２】
上記の様に構成された液晶パネルの検査装置を用いて透過型液晶パネルの検査を行う場合、例えば、緑色光で検査を行う場合には、検査光の光路に緑色カラーフィルターを配置すると共にシャッターを所定の光量が透過する様に調整した状態で光源より検査光を出射する。
光源から出射された検査光のうち緑色カラーフィルターを透過した検査光（緑色光）は透過型液晶パネル１３を透過し、投影レンズ１４によって拡大されスクリーンに投影される。この様にしてスクリーンに投影された画像を目視によって検査を行う。
【００２３】
本発明を適用した液晶パネルの検査装置のまた更に他の一例においても、上記した本発明を適用した液晶パネルの検査装置の一例、本発明を適用した液晶パネルの検査装置の他の一例及び本発明を適用した液晶パネルの検査装置の更に他の一例と同様に効率的に液晶パネルの検査を行うことができる。
【００２４】
【発明の効果】
以上述べてきた如く、本発明の液晶パネルの検査装置では、効率的な液晶パネルの検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した液晶パネルの検査装置の一例を説明するための模式的な図である。
【図２】本発明を適用した液晶パネルの検査装置の他の一例を説明するための模式的な図である。
【図３】本発明を適用した液晶パネルの検査装置の更に他の一例を説明するための模式的な図である。
【図４】本発明を適用した液晶パネルの検査装置のまた更に他の一例を説明するための模式的な図である。
【図５】従来の液晶パネルの検査装置を説明するための模式的な図である。
【符号の説明】
１ 液晶パネルの検査装置
２ 光源
３ フライアイレンズ
４ 赤色ダイクロイックミラー
５ 緑色ダイクロイックミラー
６ 青色ダイクロイックミラー
７ ダイクロイックプリズム
８ 赤色シャッター
９ 緑色シャッター
１０ 青色シャッター
１１ 赤色反射板
１２ 青色反射板
１３ 透過型液晶パネル
１４ 投影レンズ
１５ 反射板
１６ 偏光プリズム
１７ 反射型液晶パネル
１８ シャッター
１９ 赤色カラーフィルター
２０ 緑色カラーフィルター
２１ 青色カラーフィルター
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶パネルの検査装置に関する。詳しくは、光源から出射された検査光を液晶パネルを通してスクリーンに投影する液晶パネルの検査装置に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
各画素を選択するスイッチング素子としてＴＦＴ素子を各画素に配置した液晶パネルの製造に際して、スイッチング素子であるＴＦＴ素子の不良や液晶層に異物が混入すること等によって、点欠陥と称される製造欠陥が生じ得る。従って、液晶パネルが組み込まれた液晶装置を最終的な製品とする前に、この点欠陥の発生状況の検査を行う必要があり、様々な液晶パネルの検査方法が提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照。）。
【０００３】
以下、図面を用いて従来の液晶パネルの検査装置について説明する。
図５は従来の液晶パネルの検査装置を説明するための模式的な図であり、ここで示す液晶パネルの検査装置は、光源１０１から出射されフライアイレンズ１０２によって均一な光に変換された検査光のうち、赤色光を反射する赤色ダイクロイックミラー１０３、緑色光を反射する緑色ダイクロイックミラー１０４、青色光を反射する青色ダイクロイックミラー１０５を備えると共に、赤色ダイクロイックミラーで反射された検査光が入射する赤色液晶パネルホルダー１０６、緑色ダイクロイックミラーで反射された検査光が入射する緑色液晶パネルホルダー１０７及び青色ダイクロイックミラーで反射された検査光が入射する青色液晶パネルホルダー１０８を有する。
【０００４】
上記の様に構成された液晶パネルの検査装置を用いて液晶パネルの検査を行う場合、例えば、緑色光で検査を行う場合には、緑色液晶パネルホルダーに液晶パネルを配置すると共に、赤色液晶パネルホルダー及び青色液晶パネルホルダーには遮光板を配置した状態で光源より検査光を出射する。
光源から出射された検査光のうち緑色ダイクロイックミラーで反射された検査光は液晶パネルを透過し、ダイクロイックプリズム１０９を透過し、投影レンズ１１０によって拡大されスクリーンに投影される。この様にしてスクリーンに投影された画像を目視により検査を行っている。なお、赤色ダイクロイックミラー及び青色ダイクロイックミラーで反射された検査光は遮光板によって遮光されているためにスクリーンに投影されることは無い。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−１７４３９８号公報 （第２−９頁、第１図）
【０００６】
【特許文献２】
特開平９−１４９３４９号公報 （第２−３頁、第１図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した液晶パネルの検査装置は、検査光の色を換える際に液晶パネルを検査に用いたい色の光が入射する液晶パネルホルダーに入れ換える必要があり、液晶の検査に多くの時間と手間を要するという不具合があった。
【０００８】
本発明は以上の点に鑑みて創案されたものであって、効率的な液晶パネルの検査を行うことが可能である液晶パネルの検査装置を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明に係る液晶パネルの検査装置は、検査位置に配置された液晶パネルに対して第１の色光と第２の色光を選択的に照射する選択手段を設けた。
【００１０】
ここで、検査位置に配置された液晶パネルに対して第１の色光と第２の色光を選択的に照射する選択手段を設けたことによって、液晶パネルの入れ換えを行うことなく所望の色の光で液晶パネルの検査を行うことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１は本発明を適用した液晶パネルの検査装置の一例を説明するための模式的な図であり、ここで示す液晶パネルの検査装置１は、光源２から出射されフライアイレンズ３によって均一な光に変換された検査光のうち、赤色光を反射する赤色ダイクロイックミラー４、緑色光を反射する緑色ダイクロイックミラー５、青色光を反射する青色ダイクロイックミラー６を備えると共に、赤色ダイクロイックミラーとダイクロイックプリズム７の間であり赤色ダイクロイックミラーによって反射された赤色光の光路上に配置されると共に赤色光の光量の調整が可能である赤色シャッター８、緑色ダイクロイックミラーとダイクロイックプリズムの間であり緑色ダイクロイックミラーによって反射された緑色光の光路上に配置されると共に緑色光の光量の調整が可能である緑色シャッター９、青色ダイクロイックミラーとダイクロイックプリズムの間であり青色ダイクロイックミラーによって反射された青色光の光路上に配置されると共に青色光の光量の調整が可能である青色シャッター１０を有する。なお、赤色光は赤色反射板１１によって反射されダイクロイックプリズムに導かれ、青色光は青色反射板１２によって反射されダイクロイックプリズムに導かれる様に構成されている。
【００１２】
上記の様に構成された液晶パネルの検査装置を用いて透過型液晶パネルの検査を行う場合、例えば、緑色光で検査を行う場合には、赤色シャッター及び青色シャッターを閉じると共に緑色シャッターを所定の光量が透過する様に調整した状態で光源より検査光を出射する。
光源から出射された検査光のうち緑色ダイクロイックミラーで反射された検査光（緑色光）は緑色シャッター及びダイクロイックプリズムを透過し、ダイクロイックプリズムと検査光を投影するスクリーンの間に配置された検査対象である透過型液晶パネル１３を透過し、投影レンズ１４によって拡大されスクリーンに投影される。この様にしてスクリーンに投影された画像を目視によって検査を行う。
【００１３】
ここで、赤色シャッター、緑色シャッター及び青色シャッターは検査光の色を換えるべくシャッターの開閉ができれば充分であり、必ずしも所定の光量が透過できる様に調整可能である構成を採る必要は無いが、液晶パネルは使用する光量によって求められる特性が異なり得るために、実際の使用における光量での特性を検査できる様に、所定の光量が透過できる様に調整可能である構成を採る方が好ましい。
【００１４】
本発明を適用した液晶パネルの検査装置の一例では、単にシャッターの開閉を行うのみで検査光の色を換えることができ、効率的に液晶パネルの検査を行うことができる。即ち、例えば、緑色光で検査を行った後に赤色光で検査を行う場合には、緑色シャッターを閉じると共に赤色シャッターを所定の光量が透過する様に調整するのみで良く、容易に検査光の色を換えることができる。
【００１５】
図２は本発明を適用した液晶パネルの検査装置の他の一例を説明するための模式的な図であり、ここで示す液晶パネルの検査装置１は、光源２から出射され赤色シャッター８及びフライアイレンズ３を透過した検査光のうち赤色光を反射する赤色ダイクロイックミラー４、光源２から出射され緑色シャッター９及びフライアイレンズ３を透過した検査光のうち緑色光を反射する緑色ダイクロイックミラー５、光源２から出射され青色シャッター１０及びフライアイレンズ３を透過した検査光のうち青色光を反射する青色ダイクロイックミラー６を備えると共に、赤色ダイクロイックミラーで反射された赤色光、緑色ダイクロイックミラーで反射された緑色光及び青色ダイクロイックミラーで反射された青色光を反射して液晶パネルに導く反射板１５を有する。
【００１６】
上記の様に構成された液晶パネルの検査装置を用いて透過型液晶パネルの検査を行う場合、例えば、青色光で検査を行う場合には、赤色シャッター及び緑色シャッターを閉じると共に青色シャッターを所定の光量が透過する様に調整した状態で光源より検査光を出射する。
光源から出射された検査光のうち青色ダイクロイックミラーで反射された検査光（青色光）は反射板によって透過型液晶パネルに導かれ、透過型液晶パネル１３を透過し、投影レンズ１４によって拡大されスクリーンに投影される。この様にしてスクリーンに投影された画像を目視によって検査を行う。
【００１７】
本発明を適用した液晶パネルの検査装置の他の一例においても、上記した本発明を適用した液晶パネルの検査装置の一例と同様に効率的に液晶パネルの検査を行うことができる。
【００１８】
図３は本発明を適用した液晶パネルの検査装置の更に他の一例を説明するための模式的な図であり、ここで示す液晶パネルの検査装置１は、光源２から出射され赤色シャッター８及びフライアイレンズ３を透過した検査光のうち赤色光を反射する赤色ダイクロイックミラー４、光源２から出射され緑色シャッター９及びフライアイレンズ３を透過した検査光のうち緑色光を反射する緑色ダイクロイックミラー５、光源２から出射され青色シャッター１０及びフライアイレンズ３を透過した検査光のうち青色光を反射する青色ダイクロイックミラー６を備えると共に、赤色ダイクロイックミラーで反射された赤色光、緑色ダイクロイックミラーで反射された緑色光及び青色ダイクロイックミラーで反射された青色光を反射して液晶パネルに導く偏光プリズム１６を有する。
【００１９】
上記の様に構成された液晶パネルの検査装置を用いて反射型液晶パネルの検査を行う場合、例えば、赤色光で検査を行う場合には、緑色シャッター及び青色シャッターを閉じると共に赤色シャッターを所定の光量が透過する様に調整した状態で光源より検査光を出射する。
光源から出射された検査光のうち赤色ダイクロイックミラーで反射された検査光（赤色光）は偏光プリズムによって反射型液晶パネルに導かれ、反射型液晶パネル１７で反射し、投影レンズ１４によって拡大されスクリーンに投影される。この様にしてスクリーンに投影された画像を目視によって検査を行う。
【００２０】
本発明を適用した液晶パネルの検査装置の更に他の一例においても、上記した本発明を適用した液晶パネルの検査装置の一例及び本発明を適用した液晶パネルの検査装置の他の一例と同様に効率的に液晶パネルの検査を行うことができる。
【００２１】
図４は本発明を適用した液晶パネルの検査装置のまた更に他の一例を説明するための模式的な図であり、ここで示す液晶パネルの検査装置１は、光源２から出射されシャッター１８及びフライアイレンズ３を透過した検査光のうち、赤色光を透過する赤色カラーフィルター１９、緑色光を透過する緑色カラーフィルター２０、青色光を透過する青色カラーフィルター２１を備えると共に、カラーフィルターは図４中符号ａで示す水平方向に移動することができ所望のカラーフィルターを検査光の光路に配置できる様に構成されている。
【００２２】
上記の様に構成された液晶パネルの検査装置を用いて透過型液晶パネルの検査を行う場合、例えば、緑色光で検査を行う場合には、検査光の光路に緑色カラーフィルターを配置すると共にシャッターを所定の光量が透過する様に調整した状態で光源より検査光を出射する。
光源から出射された検査光のうち緑色カラーフィルターを透過した検査光（緑色光）は透過型液晶パネル１３を透過し、投影レンズ１４によって拡大されスクリーンに投影される。この様にしてスクリーンに投影された画像を目視によって検査を行う。
【００２３】
本発明を適用した液晶パネルの検査装置のまた更に他の一例においても、上記した本発明を適用した液晶パネルの検査装置の一例、本発明を適用した液晶パネルの検査装置の他の一例及び本発明を適用した液晶パネルの検査装置の更に他の一例と同様に効率的に液晶パネルの検査を行うことができる。
【００２４】
【発明の効果】
以上述べてきた如く、本発明の液晶パネルの検査装置では、効率的な液晶パネルの検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した液晶パネルの検査装置の一例を説明するための模式的な図である。
【図２】本発明を適用した液晶パネルの検査装置の他の一例を説明するための模式的な図である。
【図３】本発明を適用した液晶パネルの検査装置の更に他の一例を説明するための模式的な図である。
【図４】本発明を適用した液晶パネルの検査装置のまた更に他の一例を説明するための模式的な図である。
【図５】従来の液晶パネルの検査装置を説明するための模式的な図である。
【符号の説明】
１ 液晶パネルの検査装置
２ 光源
３ フライアイレンズ
４ 赤色ダイクロイックミラー
５ 緑色ダイクロイックミラー
６ 青色ダイクロイックミラー
７ ダイクロイックプリズム
８ 赤色シャッター
９ 緑色シャッター
１０ 青色シャッター
１１ 赤色反射板
１２ 青色反射板
１３ 透過型液晶パネル
１４ 投影レンズ
１５ 反射板
１６ 偏光プリズム
１７ 反射型液晶パネル
１８ シャッター
１９ 赤色カラーフィルター
２０ 緑色カラーフィルター
２１ 青色カラーフィルター
Claims (3)
- 検査位置に配置された液晶パネルに対して第１の色光と第２の色光を選択的に照射する選択手段を設けた
ことを特徴とする液晶パネルの検査装置。 - 前記液晶パネルはダイクロイックプリズムと検査光を投影するスクリーンの間に配置された
ことを特徴とする請求項１に記載の液晶パネルの検査装置。 - 前記選択手段は、光源から出射される検査光の光量を調節することができる
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液晶パネルの検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003122733A JP2004325963A (ja) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | 液晶パネルの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003122733A JP2004325963A (ja) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | 液晶パネルの検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004325963A true JP2004325963A (ja) | 2004-11-18 |
Family
ID=33500862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003122733A Pending JP2004325963A (ja) | 2003-04-25 | 2003-04-25 | 液晶パネルの検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2004325963A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006011586A1 (en) * | 2004-07-30 | 2006-02-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for inspecting color filter |
| JP2007322348A (ja) * | 2006-06-05 | 2007-12-13 | Olympus Corp | 照明装置、及び顕微鏡システム |
| WO2011043064A1 (ja) * | 2009-10-09 | 2011-04-14 | シャープ株式会社 | 表示パネルの表示欠陥検査装置および表示欠陥検査方法 |
| JPWO2011043065A1 (ja) * | 2009-10-09 | 2013-03-04 | シャープ株式会社 | 表示パネルの表示欠陥検査装置および表示欠陥検査方法 |
-
2003
- 2003-04-25 JP JP2003122733A patent/JP2004325963A/ja active Pending
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