JPH11160035A - 外観検査装置および外観検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 部品の装着方向に影響されることなく、精度
の高い検査を可能とする。 【解決手段】 平板状の検査対象物３を該検査対象物３
の配される平面内の一方向Ａに沿って移動させる移動手
段４と、検査対象物３の移動平面に対して平行に間隔を
あけかつ検査対象物３の移動方向Ａに交差する方向に沿
って配置された直線状の照明手段６と、その照明手段６
から出射される光を、検査対象物３の移動方向Ａに向か
って斜め前方または斜め後方またはその両方向から入射
させる入射方向設定手段７と、検査対象物３で反射され
た光を撮像するラインセンサカメラ５とを具備する構成
の外観検査装置１を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、外観検査装置に
関し、特に、電子部品を実装したプリント基板やクリー
ム半田を配置したプリント基板のような検査対象物の外
観を検査するための装置および方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント基板のような検査対象物を一方
向に送りながら、ラインセンサカメラを用いた検査対象
物の外観の撮像を繰り返すことにより、検査対象物全体
の２次元的な画像を取得し、これに基づいて、プリント
基板における実装状態などを検査する外観検査装置は公
知である。

【０００３】このような従来の外観検査装置としては、
例えば、特開平９−５２５３号公報に示されたものがあ
る。この外観検査装置では、搬送ベルト上に水平に載置
した検査対象物を水平方向の搬送しながら、その上方か
ら照明をあて、搬送ベルトの上方に固定配置したライン
センサカメラにより１次元的な画像を複数撮像してこれ
を合成することにより２次元的な画像を取得している。
このような装置においては、照明として、検査対象物の
上方に平行間隔をあけ、かつ、該検査対象物の移動方向
に対して直交する方向に配される、直管状の蛍光灯が使
用されるのが一般的である。

【０００４】すなわち、ラインセンサカメラは、鉛直下
方に向けて配置され、真下を通過する検査対象物の移動
方向に直交する１次元画像を順次撮像していくものであ
るため、照明としては、該ラインセンサカメラの光路を
遮らないように避けて、移動方向の前後に平行間隔をあ
けて配置された一対の蛍光灯を使用している。したがっ
て、各蛍光灯から照射された光のうち、検査対象物の移
動方向に沿って斜め下方の撮像箇所に向けて出射されか
つ撮像箇所においてラインセンサカメラの光軸に沿う方
向に反射された光がラインセンサカメラにより撮像され
ることになる。すなわち、このように検査対象物の移動
方向に対して前後に配置された照明を用いた場合には、
ラインセンサカメラによって撮像される画像は、検査対
象物の移動方向に特定の角度で傾斜した部分が最も高い
輝度を有する画像となる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、プリン
ト基板のような現実の検査対象物においては、検査しよ
うとする半田のフィレットは、検査対象物の移動方向に
傾斜するもののみではなく、移動方向に直交する方向に
傾斜するものもある。したがって、上記照明を使用した
外観検査装置では、同等の輝度を有する部分として撮像
されるべきフィレットでありながら、検査対象物の移動
方向に傾斜するフィレットと、移動方向に直交する方向
に傾斜するフィレットとでは、得られる画像中における
輝度が異なるという不都合がある。

【０００６】このような不都合を回避するためには、検
査対象物をその移動方向に直交する方向から照射する別
の照明を配置する必要があるが、その場合には、以下の
不都合が考えられる。第１に、上記照明と同様の直管状
の蛍光灯を検査対象物の移動方向に沿って配置すれば、
検査対象物の移動方向に対して側方から光を照射するこ
とができるが、ラインセンサカメラの光路が遮られるこ
とを防止するためには、蛍光灯は、検査対象物の側方に
配置しなければならない。このため、検査対象物の幅が
大きくなると、蛍光灯に近い検査対象物の側部と、蛍光
灯から離れた検査対象物の中央部とでは、光路長の差に
よって、照度が不均一になってしまう不都合がある。第
２に、ラインセンサカメラの光路を取り囲むように配置
するリング状の照明を用いることも可能であるが、幅の
広い検査対象物の検査に適したラインセンサカメラを使
用する外観検査装置においては、ラインセンサカメラの
光路を遮らないようにするためにリング状の照明が大型
化してしまい、装置全体が大型化してしまう不都合があ
る。第３に、複数方向から検査対象物を照射する複数の
照明を配置することも考えられるが、検査対象物の全域
にわたって均一な照度を達成するように調節することは
困難であり、しかも、装置が複雑化してしまう不都合が
ある。

【０００７】本発明は上述した事情に鑑みてなされたも
のであって、きわめて簡易な構成で、種々の方向に配さ
れる検査対象箇所を均一に照射することができ、検査精
度の高い外観検査装置および外観検査方法を提供するこ
とを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、平板状の検査対象物を該検査対象物の配
される平面内の一方向に沿って移動させる移動手段と、
前記検査対象物の移動平面に対して平行に間隔をあけか
つ前記検査対象物の移動方向に交差する方向に沿って配
置された直線状の照明手段と、該照明手段から出射され
る光を、前記検査対象物の移動方向に向かって斜め前後
方向から入射させる入射方向設定手段と、前記検査対象
物で反射された光を撮像するラインセンサカメラとを具
備する外観検査装置を提案している。

【０００９】上記外観検査装置において、前記照明手段
が、複数の光ファイバを並列に配列してなり、前記移動
平面の垂線に対して移動方向に傾斜させた光ファイバ列
を具備することとしてもよく、該照明手段が、前記移動
平面の垂線に対して移動方向に向かって前後にそれぞれ
傾斜させた一対の光ファイバ列を具備してもよい。

【００１０】また、前記入射方向設定手段が、前記照明
手段から出射された光を前記検査対象物にその移動方向
に向かって斜め前後方向から入射させるように偏向させ
る偏向手段であれば効果的であり、その場合、該偏向手
段が、前記光ファイバの先端に配置され、各光ファイバ
の先端から出射された光を平行に屈折させるフレネルレ
ンズから構成すればさらに効果的である。

【００１１】また、前記入射方向設定手段を、前記光を
出射する前記光ファイバの先端面を傾斜配置することに
より構成してもよく、前記入射方向設定手段を、前記照
明手段を前記移動平面の垂線回りに所定角度回転させた
状態に保持することにより構成してもよい。

【００１２】さらに、本発明は、平板状の検査対象物を
該検査対象物の配される平面内の一方向に沿って移動さ
せ、前記検査対象物の移動平面に対して平行に間隔をあ
けかつ前記検査対象物の移動方向に交差する方向に沿っ
て配置された直線状の照明手段から出射される光を前記
検査対象物の移動方向に向かって斜め前方または斜め後
方またはその両方向に屈折させて入射させ、前記検査対
象物で反射された光をラインセンサカメラにより撮像
し、撮像された画像に基づいて、検査対象物の良否を判
定する外観検査方法を提案している。

【００１３】

【作用】本発明に係る外観検査装置によれば、照明手段
が検査対象物の移動方向に交差する方向に配置された直
線状に形成されているので、ラインセンサカメラの光路
を遮ることなく配置することが可能である。そして、そ
の直線状の照明手段から出射された光は、入射方向設定
手段によって検査対象物の移動方向に向かって斜め前後
方向から検査対象物に入射される。その結果、検査対象
物の移動方向の前後方向に配される検査対象箇所のみな
らず移動方向の側方に配される検査対象箇所に対して
も、均一な照射が行われ、同一の条件の検査対象箇所に
ついて、同一の輝度を有する画像がラインセンサカメラ
によって撮像されることになる。

【００１４】また、照明手段を光ファイバを具備する構
成とすることにより、コンパクトな構造の外観検査装置
を提供することが可能となる。また、光ファイバ列を採
用することにより、蛍光灯からなる照明手段と比較し
て、十分に長い寿命の光源を使用することが可能である
とともに、交換作業に際して、光ファイバ列の基端側に
配した光源のみを交換すればよいので、面倒な調節が不
要となり、保守作業性が向上されることになる。さら
に、照明手段を移動平面の垂線に対して移動方向に向か
って前後にそれぞれ傾斜させた一対の光ファイバ列を具
備する構成とすることにより、移動方向の前後方向に対
しても均一な照射を行うことが可能となる。

【００１５】また、入射方向設定手段を偏向手段により
構成すれば、照明手段を検査対象物の移動方向に対して
直交する方向に配置したままで検査対象物への光の入射
方向を検査対象物の移動方向に向かって斜め前後方向か
ら入射するように設定することが可能となる。この偏向
手段としては、例えば、照明手段からの光を平行に屈折
するフレネルレンズとすればきわめて簡易な構成により
達成することができる。

【００１６】さらに、入射方向設定手段を、光ファイバ
の先端面を傾斜配置することにより構成すれば、より簡
易な構成で上記作用と同様の作用を達成することができ
る。光ファイバの先端面を傾斜配置する方法としては、
光ファイバ自体を傾斜させてその先端面を傾斜させる方
法の他、光ファイバの先端面を斜めに切断して傾斜させ
ることも含まれる。

【００１７】また、照明手段を前記移動平面の垂線回り
に所定角度回転させることによっても、照明手段からの
光を検査対象物の移動方向に対して斜め側方から検査対
象物に入射させることが可能となる。

【００１８】さらに、本発明に係る外観検査方法によれ
ば、平板状の検査対象物を一方向に沿って移動させなが
らラインセンサカメラによる撮像を実施することによ
り、検査対象物の全体にわたる画像が取得される。この
画像は、検査対象物の移動平面に対して平行に間隔をあ
けかつ検査対象物の移動方向に交差する方向に沿って配
置された直線状の照明手段から出射される光を検査対象
物の移動方向に向かって斜め前方または斜め後方または
その両方向に屈折させて入射させ、検査対象物で反射さ
れた光を撮像したものであるから、検査対象箇所の移動
方向に対する方法に関わらず、同等の外観形状を有する
部分については、同等の輝度を有する画像が取得され、
その後の撮像された画像に基づく検査対象物の良否判定
が複雑な画像処理を行うことなく精度よく実施されるこ
とになる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の第１の実施形態
に係る外観検査装置について、図１を参照して説明す
る。本実施形態に係る外観検査装置１は、検査対象物、
例えば、電子部品２を実装したプリント基板３の半田付
けの状態を検査するための装置であって、プリント基板
３を水平に搭載して一次元方向Ａに水平移動させること
が可能な移動手段４と、この移動手段４に搭載されたプ
リント基板３の上方に固定配置されたラインセンサカメ
ラ５および照明手段６と、この照明手段６の光のプリン
ト基板３への入射方向を設定する入射方向設定手段７と
から構成されている。

【００２０】前記移動手段４は、例えば、図示しないサ
ーボモータを含む直線駆動機構により駆動され、プリン
ト基板３を固定して一定速度で移動させることができる
移動テーブルである。前記ラインセンサカメラ５は、前
記移動テーブル４の上方に鉛直下方を向けて固定配置さ
れることにより鉛直方向に光軸Ｌ１を配し、前記移動テ
ーブル４の移動方向Ａに直交する光路Ｌを配している。
すなわち、ラインセンサカメラ５は、移動テーブル４に
よって一水平方向Ａに一定速度で移動されるプリント基
板３を一定のサンプリング時間で複数回撮像するのであ
るが、各撮像時に撮像する範囲は、それぞれ、ラインセ
ンサカメラ５の鉛直下方に配されかつ移動テーブル４の
移動方向Ａに直交する非常に幅の狭い一次元的な範囲Ｚ
である（以下、これを被撮像範囲という。）。

【００２１】前記照明手段６は、例えば、図２および図
３に示されるように、複数の光ファイバ８を直線状に配
列してなる一対の光ファイバ列を具備している。光ファ
イバ８の基端側には、例えば、白色光源のような光源
（図示略）が配置されている。これら光ファイバ列は、
前記ラインセンサカメラ５の光軸Ｌ１に対して、前記移
動テーブル４の移動方向Ａの前後にそれぞれ一定の角度
θで傾斜させられており、全ての光ファイバ８から出射
される光の光軸Ｌ２が前記被撮像範囲Ｚに向かうように
配置されている。

【００２２】前記入射方向設定手段７は、図３に示され
るように、各光ファイバ８から出射される全ての光の光
軸Ｌ２を同一角度αで屈折させるフレネルレンズ７ａ
（以下、平行屈折フレネルレンズという。）により構成
されている。この平行屈折フレネルレンズ７ａは、同一
傾斜角度を有する複数の微細な三角プリズム状のレンズ
７ｂから構成されており、本実施形態では、光ファイバ
８から出射される光を該光ファイバ列の配される平面内
で屈折させるように、全ての光ファイバ８の先端に一列
に配列されている。

【００２３】また、図２のように、前記移動テーブル４
の移動方向Ａに対して前方に傾斜された光ファイバ列の
光ファイバ８の先端に配置された平行屈折フレネルレン
ズ７ａは、後方に傾斜された光ファイバ列の光ファイバ
８の先端に配置された平行屈折フレネルレンズ７ａと
は、逆方向に光を屈折させるように設けられている。す
なわち、前方に傾斜された光ファイバ列から出射された
光は、被撮像範囲Ｚに対して左斜め前方の斜め上方から
光を入射させるように屈折させられ、後方に傾斜された
光ファイバ列から出射された光は、被撮像範囲Ｚに対し
て右斜め後方の斜め上方から光を入射させるように屈折
させられるようになっている。

【００２４】このように構成された本実施形態に係る外
観検査装置１の作用について、以下に説明する。図示し
ない光源から光ファイバ８の基端側に入射された光は、
図３に示すように、光ファイバ８を伝送されて該光ファ
イバ８の先端８ａから出射される。光ファイバ８は、プ
リント基板３の移動方向Ａの前後方向に、ラインセンサ
カメラ５の光軸Ｌ１に対して一定の角度θで傾斜する一
対の光ファイバ列として、前記被撮像範囲Ｚに向けられ
ているので、光は、一旦前記被撮像範囲Ｚに向けて前後
方向から出射される。しかし、本実施形態に係る外観検
査装置１では、各光ファイバ８の先端８ａに、平行屈折
フレネルレンズ７ａよりなる偏向手段（入射方向設定手
段）７が配置されているので、光の方向は、図３に示さ
れるように、光ファイバ列を含む平面内において、所定
角度αだけ屈折させられる。

【００２５】すなわち、移動テーブル４の移動方向Ａに
対して直交配置された光ファイバ８が、前記移動方向Ａ
に対して前後に傾斜され、かつ、平行屈折フレネルレン
ズ７ａによって光ファイバ列が含まれる平面内において
屈折させられる結果、被撮像範囲Ｚに向けて斜め前後方
向から、つまり、移動テーブル４の移動方向Ａに向かっ
て左斜め前方と右斜め後方から被撮像範囲Ｚに光が入射
させられる。これにより、図４に示すように、移動テー
ブル４の移動方向Ａに対して前後方向に配される電子部
品２のリード２ａをプリント基板４に接続する半田のフ
ィレットのみならず、左右方向に配されるリード２ｂを
プリント基板４に接続する半田のフィレットに対して
も、均一な照度の光を付与することができる。そして、
得られる画像においては、同等の傾斜角度を有するフィ
レットは、その傾斜方向に関わらず、同等の輝度を有す
る領域として表されることになる。

【００２６】したがって、採取された画像に基づく半田
付け状態の良否判定を行う際には、半田の傾斜方向に関
わらず、同一の基準により判定することができるので、
画像処理を簡易なものとすることができるとともに、判
定精度を向上することができるという効果がある。しか
も、移動テーブル４の移動方向Ａに直交配置される照明
手段６の各光ファイバ８の先端８ａに平行屈折フレネル
レンズ７ａを配置するだけのきわめて簡易な構造によっ
て、上記効果を達成するので、装置をコンパクトなもの
とすることができる。

【００２７】なお、上述においては、図３に示されるよ
うに、平行屈折フレネルレンズ７ａを構成したが、これ
に代えて、図５に示されるように配置してもよく、ま
た、図６および図７に示されるように、同一の光ファイ
バ８からの光を複数方向に出射するように設定してもよ
い。なお、平行屈折フレネルレンズ７ａによる光の屈折
方向は、任意に設定してよい。

【００２８】次に、本発明の第２の実施形態に係る外観
検査装置について、図８を参照して説明する。本実施形
態に係る外観検査装置１０は、入射方向設定手段１１の
構造において、上述した第１の実施形態と相違してい
る。本実施形態に係る外観検査装置１０の入射方向設定
手段１１は、平行屈折フレネルレンズ７ａを有しておら
ず、これに代えて、図８に示されるように、直線状に配
列された光ファイバ８の先端部８ａを斜めに切断した形
状に加工することにより構成されている。各光ファイバ
８の先端面８ａは、同一の方向に光を出射することがで
きるように、同一方向に向けて平行に配置されている。

【００２９】このように構成された本実施形態に係る外
観検査装置１０によれば、光ファイバ８を伝送されてき
た光は、傾斜配置された光ファイバ８の先端面８ａにお
いて屈折され該先端面８ａに垂直な方向に配される光軸
に沿って出射される。その結果、上記平行屈折フレネル
レンズ７ａのような偏向手段７を用いることなく、第１
の実施形態に係る外観検査装置１と同様の効果を奏する
ことができる。

【００３０】なお、本実施形態においては、全ての光フ
ァイバ８の先端面８ａを斜めに切断した形状に加工する
こととして、先端面８ａを傾斜配置したが、これに代え
て、図９に示されるように、全ての光ファイバ８の先端
面８ａを、その軸線に直交する平面で切断した形状に加
工するとともに、光ファイバ８を、光ファイバ列の含ま
れる平面内で所定角度だけ傾けることとしてもよい。こ
れにより、光ファイバ８の先端面８ａは、上記のような
斜めに切断した場合と同様の姿勢に配されることになる
ので、上記と同様に光をプリント基板３に対して斜め側
方から、すなわち、プリント基板３の移動方向Ａに向か
って左または右斜め前方または左または右斜め後方から
照射することが可能となる。

【００３１】さらに、本発明の第３の実施形態に係る外
観検査装置２０について、図１０を参照して説明する。
本実施形態に係る外観検査装置２０も、入射方向設定手
段２１において上述した第１および第２の実施形態に係
る外観検査装置１，１０と相違している。すなわち、本
実施形態に係る外観検査装置２０の入射方向設定手段２
１は、平行屈折フレネルレンズ７ａも光ファイバ先端面
８ａの傾斜加工をも不要としている点において、上記第
１および第２の実施形態に係る外観検査装置１，１０と
相違している。

【００３２】本実施形態に係る外観検査装置２０では、
図１０に示されるように、プリント基板３の移動方向Ａ
に対して直交する方向に被撮像範囲Ｚを配するのではな
く、前後方向に所定角度βだけ傾斜させている。すなわ
ち、ラインセンサカメラ５の光路Ｌを鉛直な光軸Ｌ１回
りに角度βだけ回転させた位置に固定し、それに伴っ
て、照明装置６における光ファイバ８の配列方向をも、
同じ角度βだけ、光軸Ｌ１回りに回転させて固定してい
る。これにより入射方向設定手段２１が構成されてい
る。

【００３３】その結果、光ファイバ８の先端面８ａは、
上記第２の実施形態に係る外観検査装置１０と同様に傾
斜配置されることとなり、プリント基板３に対して斜め
側方から光を照射することが可能となる。この場合にお
いて、被撮像範囲Ｚが傾斜配置されてしまうために、採
取される画像は、第１および第２の実施形態に係る外観
検査装置１，１０と異なり、若干複雑になるが、サンプ
リング周期を十分に短く確保して、得られた画像に適当
な画像処理を施すことにより、上記第１および第２の実
施形態に係る外観検査装置１，１０と同等の画像を得る
ことができる。したがって、上記第１および第２の実施
形態と同様の効果を達成することができる。

【００３４】次に、本発明の第４の実施形態に係る外観
検査装置３０について、図１１を参照して説明する。本
実施形態に係る外観検査装置３０は、一のプリント基板
３に対する照明手段３１からの光の落射方向を異ならせ
る場合についてのものである。

【００３５】本実施形態に係る外観検査装置３０は、図
１１に示すように、プリント基板３の移動方向Ａに対し
て直交配置された直管状の蛍光灯のような照明手段３１
と、該照明手段３１とプリント基板３との間に配置され
る移動スリット部材３２と、この移動スリット部材３２
の下方に配置される偏向手段（入射方向設定手段）３３
と、該偏向手段３３の下方に配置されるミラー３４とを
具備している。また、プリント基板３において反射され
た光は照明手段３１の下方に配置されたハーフミラー３
５によって反射され、例えば、プリント基板３の移動方
向に対して後方に配置されたラインセンサカメラ５によ
って撮像されるようになっている。

【００３６】前記移動スリット部材３２は、前記プリン
ト基板３の移動方向Ａに沿ってスライド可能に設けられ
た平板状の部材であって、前記移動方向に直交する２つ
のスリット３２ａを形成してなる。この移動スリット部
材３２は、図１１に実線で示す位置と鎖線で示す位置と
の間で往復移動することができるようになっている。こ
の移動スリット部材３２が鎖線で示す位置に移動された
ときには、照明手段３１の真下に配置されたスリット３
２ａを通して、光を、真上から直接、プリント基板３に
照射するようになっている。

【００３７】前記偏向手段３３は、前記移動スリット部
材３２が図１１中の実線の位置に配されたときに、当該
移動スリット部材３２の両スリット３２ａに一致させら
れることになる位置に固定されている。これらの偏向手
段３３は、例えば、図３に示されるような、平行屈折フ
レネルレンズからなり、スリット３２ａを通ってきた光
を一定の方向に偏向させるように機能する。前記ミラー
３４は、前記偏向手段３３によって屈折された光を反射
して、被撮像範囲Ｚに向けて一定角度で入射させるよう
に配置されている。

【００３８】このように構成された本実施形態の外観検
査装置３０によっても、スリット３２ａが図９の実線の
位置に配されたときには、偏向手段３３によって、光の
方向がプリント基板３の移動方向Ａに向かって斜め前後
方向に屈折させられるので、上記第１から第３の実施形
態に係る外観検査装置１，１０，２０と同様に、各方向
に配される電子部品２の半田付け箇所を均一な照度で照
明することができることになる。

【００３９】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明に係る外観
検査装置および外観検査方法によれば、ラインセンサカ
メラにより撮像される被撮像範囲に対して、検査対象物
の移動方向に向かって斜め前後方向から光を入射させる
ことができ、かつ、被撮像範囲の各位置における照度を
均一なものとすることができる。その結果、取得される
画像においては、検査対象物の移動方向に配される検査
対象箇所と、移動方向に直交する方向に配される検査対
象箇所とについて、同一の条件を満たす箇所を同一の輝
度を有する画像として取得することができるので、複雑
な画像処理によることなく、精度の高い外観検査を実施
することができるという効果を奏する。

【００４０】また、光の方向を設定する入射方向設定手
段を、フレネルレンズ、光ファイバの先端面を傾斜させ
ること、光ファイバ列を傾斜配置させること等により構
成すれば、装置を大型化させることなく、きわめて簡易
な構成によって上記効果を達成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の第１の実施形態に係る外観検査装
置の概略構成を示す模式図である。

【図２】 図１の装置の平面図である。

【図３】 図１の装置の入射方向設定手段としての偏向
手段を示す模式図である。

【図４】 図１の装置による光の入射方向を説明するた
めの基板上の電子部品を示す平面図である。

【図５】 偏向手段の他の例を示す模式図である。

【図６】 偏向手段のさらに他の例を示す模式図であ
る。

【図７】 偏向手段のさらに他の例を示す模式図であ
る。

【図８】 この発明の第２の実施形態に係る外観検査装
置の入射方向設定手段を示す模式図である。

【図９】 入射方向設定手段のさらに他の例を示す模式
図である。

【図１０】 この発明の第３の実施形態に係る外観検査
装置を示す平面図である。

【図１１】 この発明の第４の実施形態に係る外観検査
装置を示す模式図である。

【符号の説明】

１，１０，２０，３０ 外観検査装置 ３ プリント基板（検査対象物） ４ 移動テーブル（移動手段） ５ ラインセンサカメラ ６ 照明手段 ７，３３ 偏向手段（入射方向設定手段） ７ａ フレネルレンズ １１，２１ 入射方向設定手段 ８ 光ファイバ ８ａ 先端面

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平板状の検査対象物を該検査対象物の配
   される平面である移動平面内の一方向に沿って移動させ
   る移動手段と、 前記検査対象物の前記移動平面に対して平行に間隔をあ
   けかつ前記検査対象物の移動方向に交差する方向に沿っ
   て配置された直線状の照明手段と、 該照明手段から出射される光を、前記検査対象物の移動
   方向に向かって斜め前方または斜め後方またはその両方
   向から入射させる入射方向設定手段と、 前記検査対象物で反射された光を撮像するラインセンサ
   カメラとを具備することを特徴とする外観検査装置。
2. 【請求項２】 前記照明手段が、複数の光ファイバを並
   列に配列してなり、前記移動平面の垂線に対して移動方
   向に傾斜させた光ファイバ列を具備することを特徴とす
   る請求項１記載の外観検査装置。
3. 【請求項３】 前記照明手段が、前記移動平面の垂線に
   対して移動方向に向かって前後にそれぞれ傾斜させた一
   対の光ファイバ列を具備することを特徴とする請求項２
   記載の外観検査装置。
4. 【請求項４】 前記入射方向設定手段が、前記照明手段
   から出射された光を前記検査対象物にその移動方向に向
   かって斜め前後方向から入射させるように偏向させる偏
   向手段であることを特徴とする請求項２または請求項３
   に記載の外観検査装置。
5. 【請求項５】 前記偏向手段が、前記光ファイバの先端
   に配置され、各光ファイバの先端から出射された光を平
   行に屈折させるフレネルレンズからなることを特徴とす
   る請求項５記載の外観検査装置。
6. 【請求項６】 前記入射方向設定手段が、前記光を出射
   する前記光ファイバの先端面を傾斜配置することにより
   構成されていることを特徴とする請求項２または請求項
   ３記載の外観検査装置。
7. 【請求項７】 前記入射方向設定手段が、前記照明手段
   を前記移動平面の垂線回りに所定角度回転させた状態に
   保持することにより構成されていることを特徴とする請
   求項２または請求項３記載の外観検査装置。
8. 【請求項８】 平板状の検査対象物を該検査対象物の配
   される平面内の一方向に沿って移動させ、 前記検査対象物の移動平面に対して平行に間隔をあけか
   つ前記検査対象物の移動方向に交差する方向に沿って配
   置された直線状の照明手段から出射される光を前記検査
   対象物の移動方向に向かって斜め前方または斜め後方ま
   たはその両方向に屈折させて入射させ、 前記検査対象物で反射された光をラインセンサカメラに
   より撮像し、 撮像された画像に基づいて、検査対象物の良否を判定す
   ることを特徴とする外観検査方法。