JP2009500632A - 平面的に配列された光源により放出される収束光線の実現 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平面的に配列された光源により放出される収束光線を実現する装置及び方法を提供する。1つの実施例では、半導体又は他の物体を検査する画像装置を提供する。前記画像装置は、物体から反射された光の像を写す1又は2以上のレンズを含む。前記画像装置は、平面的な回路基板に取り付けられた第1光源と、前記回路基板に取り付けられた第2光源とを含む。前記画像装置は、前記第1光源からの光を第1方向から前記物体に向ける第1フレネルプリズムと、前記第2光源からの光を第2方向から前記物体に向ける第2フレネルプリズムとを含む。1つの実施例では、前記画像装置は、前記光の発散を増加させ又は減少させる1又は2以上の光学素子を含む。
【選択図】図2
Description
112 レンズ
116、314、414 物体
118 第1照明器具
120 第2照明器具
200、300、400 画像装置
210 光源
212 プリント回路基板(PCB)
214 第1フレネルプリズム
216 第2フレネルプリズム
310 第1光学素子
312 第2光学素子
410 第1負レンズ
412 第2負レンズ
Claims (21)
- 半導体を検査する画像装置であって、
物体から反射された光の像を写す1又は2以上のレンズと、
平面的な回路基板と、
該回路基板に取り付けられた第1光源と、
前記回路基板に取り付けられた第2光源と、
前記第1光源からの光を第1方向から前記物体に向ける第1フレネルプリズムと、
前記第2光源からの光を第2方向から前記物体に向ける第2フレネルプリズムとを含む、画像装置。 - 前記レンズから前記物体の像を受けるセンサーを含む、請求項1に記載の画像装置。
- 前記第1フレネルプリズム及び前記第2フレネルプリズムの少なくとも一方により方向付けられた光の発散を増加させる光学素子を含む、請求項1に記載の画像装置。
- 前記光学素子は、拡散器、負レンズ及び負フレネルレンズからなるグループから選択されている、請求項3に記載の画像装置。
- 前記第1フレネルプリズム及び前記第2フレネルプリズムの少なくとも一方により方向付けられた光の発散を減少させる光学素子を含む、請求項1に記載の画像装置。
- 前記光学素子は、正レンズ及び正フレネルレンズからなるグループから選択されている、請求項5に記載の画像装置。
- 前記第1光源及び前記第2光源の少なくとも一方は発光ダイオードを含む、請求項1に記載の画像装置。
- 前記第1光源及び前記第2光源の少なくとも一方は、配列された発光ダイオードを含む、請求項1に記載の画像装置。
- 第1光線を放出する第1光源と、
前記第1光線にほぼ平行な第2光線を放出する第2光源と、
前記第1光線及び前記第2光線が所望の位置に収束するように前記第1光線及び前記第2光線の方向を変える1又は2以上の光学素子とを含む、暗視野ライトリング。 - 前記第1光源及び前記第2光源の少なくとも一方は1又は2以上の発光ダイオードを含む、請求項9に記載の暗視野ライトリング。
- 前記光学素子はフレネルプリズムを含む、請求項9に記載の暗視野ライトリング。
- 前記光学素子は、前記第1光線及び前記第2光線の少なくとも一方の発散を増加させるように構成されている、請求項11に記載の暗視野ライトリング。
- 前記光学素子は、拡散器、負レンズ及び負フレネルレンズからなるグループから選択された素子を含む、請求項12に記載の暗視野ライトリング。
- 前記光学素子は、前記第1光線及び前記第2光線の少なくとも一方の発散を減少させるように構成されている、請求項11に記載の暗視野ライトリング。
- 前記光学素子は、正レンズ及び正フレネルレンズからなるグループから選択された素子を含む、請求項14に記載の暗視野ライトリング。
- 前記光学素子は、互いに組み合わされたフレネルレンズ及び様々な角度の面を有するフレネルプリズムを含む、請求項9に記載の暗視野ライトリング。
- 回路基板を含み、前記第1光源及び前記第2光源は前記回路基板の平面に機械的に結合されている、請求項9に記載の暗視野ライトリング。
- 物体を照明する方法であって、
第1光線を放出すること、
該第1光線にほぼ平行な第2光線を放出すること、
前記第1光線及び前記第2光線が選択された位置に収束するように前記第1光線及び前記第2光線の方向を変えることを含む、物体を照明する方法。 - 前記第1光線及び前記第2光線の少なくとも一方の発散を増加させることを含む、請求項18に記載の物体を照明する方法。
- 前記第1光線及び前記第2光線の少なくとも一方の発散を減少させることを含む、請求項18に記載の物体を照明する方法。
- 製造検査装置のための光源であって、
互いにほぼ平行な2又は3以上の光線を、像を写される物体に向ける手段と、
前記光線の少なくとも1つの発散を変化させる手段とを含む、光源。
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