KR20030042455A

KR20030042455A - 좌표검출장치

Info

Publication number: KR20030042455A
Application number: KR10-2003-7002517A
Authority: KR
Inventors: 가토히로시
Original assignee: 올림파스 고가꾸 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2001-06-29
Filing date: 2002-06-28
Publication date: 2003-05-28
Also published as: WO2003002934A1; KR100908520B1; TWI221190B; CN1314940C; CN1464969A; WO2003002934B1; JP4222934B2; JPWO2003002934A1

Abstract

본 발명은 예를 들면 액정디스플레이에 이용되는 유리기판의 표면결함검사시에 이용되고, 유리기판면상의 결함부분 등의 특정부위의 좌표를 검출하는 좌표검출장치에 관한 것으로서,

복수의 발광소자(71)를 일렬로, 등간격으로 나열한 좌표표시판(72)을 복수개, 예를 들면 4개를 복수의 발광소자(71)의 나열방향과 동일방향으로 직렬접속하여 발광체(70)를 구성하고, 이 발광체(70)를 유리기판(3)의 위쪽에서 이동시키는 것을 특징으로 한다.

Description

좌표검출장치{COORDINATE DETECTOR}

액정디스플레이에 이용되는 유리기판의 기판검사장치가 있다. 이 기판검사장치는 유리기판표면에 조명광을 조사하고, 그 반사광의 광학적 변화를 관찰하여 유리기판표면의 흠이나 더러움, 먼지의 부착 등의 결함부분을 검출하는 매크로관찰과, 이 매크로관찰에 의해 검출된 결함부분을 확대하여 관찰하는 마이크로관찰을 실시한다.

이 기판검사장치에는 매크로관찰에 의해 검출된 결함부분 등의 특정부위의 좌표를 검출하기 위해 좌표검출장치가 이용된다.

도 15는 일본국 특허 공개공보2002-82067호(본원 발명의 출원시에 미공개)에 기재된 좌표검출장치의 구성도이다. 홀딩부재(1)상에는 홀더(2)가 설치되어 있다. 이 홀더(2)상에는 액정디스플레이에 이용되는 유리기판(3)이 홀딩되어 있다. 이 홀더(2)의 양가장자리측에는 각각 각 가이드레일(4, 5)이 설치되어 있다. 이들 가이드레일(4, 5)상에는 각각 각 가이드이동부(6, 7)가 이동 가능하게 설치되어 있다.

또 홀더(2)의 양가장자리측의 각 수직면(8)에는 각 풀리(9, 10 및 11, 12)가 설치되어 있다. 한쪽의 각 풀리(9, 10)간에는 벨트(13)가 걸어져 있는 동시에, 다른쪽의 각 풀리(11, 12)간에는 벨트(14)가 걸어져 있다. 풀리(9)에는 모터(15)의 회전축(16)이 연결되어 있다. 서로 대향하는 각 풀리(10과 12)의 사이는 연결축(17)에 의하여 연결되어 있다.

각 가이드이동부(6, 7)는 각각 벨트(13, 14)에 대하여 걸음고정되어 있다. 이들 가이드이동부(6, 7)에는 각각 지주(18, 19)를 통하여 지표투광판(20)이 설치되어 있다.

홀더(2)의 X축방향의 가장자리측에는 가이드레일(21)이 설치되어 있다. 이 가이드레일(21)상에는 가이드이동부(22)가 이동 가능하게 설치되어 있다. 또 동 홀더(2)의 가장자리측에는 각 풀리(23, 24)가 설치되어 있다. 이들 풀리(23, 24)간에는 벨트(25)가 걸어져 있다. 풀리(24)에는 모터(26)의 회전축이 연결되어 있다.

가이드이동부(22)는 벨트(25)에 대하여 걸음고정되어 있다. 이 가이드이동부(22)상에는 미러(27)가 설치되어 있다. 홀더(2)의 코너부에는 레이저광원(28)이 설치되어 있다. 이 레이저광원(28)으로부터 출력되는 레이저광(29)은 미러(27)에서 반사하여 지표투광판(20)상에 조사된다.

이와 같은 구성이면, 모터(15)가 회전구동하면 이 회전구동은 벨트(13)를 통하여 가이드이동부(6)에 전달되고, 이와 함께 벨트(13), 연결축(17), 벨트(14)를통하여 다른쪽의 가이드이동부(7)에도 전달된다. 이에 따라 2개의 가이드이동부(6, 7)는 동기하여 Y축방향으로 이동하고, 지표투광판(20)이 유리기판(3)의 결함부분의 위쪽에 위치결정된다.

한편 레이저광원(28)으로부터 출력된 레이저광(29)은 미러(27)에서 반사하여 지표투광판(20)상에 조사된다. 모터(26)가 회전구동하면 이 회전구동이 벨트(25)를 통하여 미러(27)를 설치한 가이드이동부(22)에 전달되기 때문에 미러(27)는 X축방향으로 이동한다. 이에 따라 미러(27)에서 반사한 레이저광(29)은 지표투광판(20)상을 따라서 주사된다. 그리고 레이저광(29)의 조사위치는 유리기판(3)의 결함부분의 위쪽에 위치결정된다.

이 결과 지표투광판(20)의 Y축방향으로의 이동량과 레이저광(29)의 지표투광판(20)상으로의 이동량으로부터 유리기판(3)의 결함부분의 좌표(Q(X, Y))가 검출된다.

그러나 상기 장치의 구성에서는 레이저광원(28) 및 미러(27)를 X축방향으로 이동시키기 위한 구동계, 즉 가이드레일(21), 가이드이동부(22), 각 풀리(23, 24), 벨트(25) 및 모터(26)를 설치할 필요가 있으며, 그 설치스페이스가 필요해진다. 또한 레이저광원(28) 및 구동계를 설치하기 위해 비용이 든다.

또 레이저광(29)을 지표투광판(20)상에 조사하기 위한 광학계의 조정, 예를 들면 미러(27)의 설치각도 및 그 높이위치의 조정, 레이저광(29)의 출사각도(광축)의 조정 및 레이저광(29)의 조리개의 조정 등이 필요하다.

본 발명은 스페이스절약화를 꾀하고, 또한 광학계의 조정을 불필요하게 한좌표검출장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 예를 들면 액정디스플레이에 이용되는 유리기판의 표면결함검사시에 이용되고, 유리기판면상의 결함부분 등의 특정부위의 좌표를 검출하는 좌표검출장치에 관한 것이다.

도 1은 본 발명의 한 실시형태인 좌표검출장치를 적용한 기판검사장치의 사시도.

도 2는 기판검사장치의 측면도.

도 3은 본 발명의 한 실시형태인 좌표검출장치의 구성도.

도 4는 좌표표시판의 구성도.

도 5는 복수의 좌표표시판을 직렬접속한 경우의 위치인식작용을 설명하기 위한 도면.

도 6은 좌표표시판의 실장면을 나타내는 측면도.

도 7A는 좌표표시판의 다른 실장면을 나타내는 측면도.

도 7B는 좌표표시판의 다른 실장면을 나타내는 측면도.

도 8은 발광체의 제어구동계를 나타내는 구성도.

도 9는 발광체에 있어서의 발광소자의 발광범위의 리미트설정을 나타내는 도면.

도 10은 발광체의 퇴피홈내의 퇴피를 나타내는 도면.

도 11은 발광소자열의 점등작용을 나타내는 도면.

도 12는 발광소자열의 2열배치를 나타내는 도면.

도 13은 발광소자열의 점등제어방법의 다른 예를 나타내는 도면.

도 14는 발광소자의 발광색의 변형예를 나타내는 도면.

도 15는 좌표검출장치의 구성도이다.

본 발명의 주요한 관점에 따르면, 복수의 발광소자를 규칙적으로, 직선상으로 배열한 발광체와, 발광체상에 있어서의 특정한 발광소자를 발광시키는 발광구동수단을 구비한 좌표검출장치가 제공된다.

본 발명의 주요한 관점에 따르면, 복수의 발광소자를 규칙적으로, 직선상으로 배열한 발광체와, 발광체상에 있어서의 특정한 발광소자를 발광시키는 발광구동수단과, 발광체를 발광소자의 배열방향에 대하여 직교하는 방향으로 이동시키는 이동기구를 구비한 좌표검출장치가 제공된다.

이하 본 발명의 한 실시형태에 대하여 도면을 참조해서 설명한다. 또한 도 15와 동일부분에는 동일부호를 붙이고, 그 상세한 설명은 생략한다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 좌표검출장치를 적용한 기판검사장치의 전체구성도이며, 도 1은 사시도, 도 2는 측면도이다. 장치본체(40)상에는 유리기판(3)을 홀딩하는 홀더(2)가 설치되어 있다. 이 홀더(2)는 도 2에 나타내는 바와 같이 기단부가 지지축(41)에 의해 장치본체(40)에 대하여 회전운동 자유롭게 지지되어 있다. 지지축(41)의 주위에는 풀리(42)가 설치되어 있다.

장치본체(40)에는 모터(43)가 구비되어 있다. 이 모터(43)의 회전축(44)과 풀리(42)의 사이에는 바퀴상의 벨트(45)가 걸어져 있다. 이 모터(43)의 회전구동력은 회전축(44)으로부터 벨트(45)를 통하여 풀리(42)에 전달된다. 홀더(2)는 지지축(41)을 축으로 하여 수평인 상태로부터 예를 들면 이점쇄선으로 나타내어지는 소정 각도(θ)까지 일으켜 세워져서 경사한다.

홀더(2)는 테두리상으로 형성되고, 그 둘레가장자리부에서 대형의 유리기판(3)을 재치홀딩한다. 이 홀더(2)의 둘레가장자리부에 둘러싸여진 공간부는 사각형상을 이루고 있다. 이 공간부의 면적은 유리기판(3)의 면적보다 약간 작게 형성되어 있다.

홀더(2)에는 둘레가장자리부를 따라서 X축방향과 Y축방향에 복수의 기판위치결정부재(기준핀)(46a) 및 압박부재(압박핀)(46b)가 설치되어 있다. 이들 기준핀(46a) 및 압박핀(46b)은 홀더(2)표면으로부터 약간 돌출해 있다. 기준핀(46a)은 유리기판(3)을 홀더(2)상의 기준위치에 위치결정한다. 압박핀(46b)은 유리기판(3)을 기준핀(46a)을 향하여 압박한다. 따라서 유리기판(3)은 그 2변을 각 기준핀(46a)의 측부에 접촉시키는 것으로 홀더(2)상에서 위치결정이 이루어진다.

또한 홀더(2)의 둘레가장자리부에는 전체둘레를 따라서 도시하지 않는 복수의 구멍(흡착패드)이 설치되어 있다. 유리기판(3)은 복수의 흡착패드에서의 흡인작용에 의해 흡착되고, 홀더(2)상으로부터 탈락하지 않도록 홀딩된다.

장치본체(1)상에는 홀더(2)의 양측가장자리를 따라서 Y축방향으로 한쌍의 가이드레일(47, 48)이 평행하게 배치되어 있다. 이들 가이드레일(47, 48)상에는 문형의 관찰유닛지지부(49)가 홀더(2)를 걸치도록 배치되어 있다. 이 관찰유닛지지부(49)는 가이드레일(47, 48)을 따라서 유리기판(3)의 위쪽, 즉 홀더(2)위쪽을 Y축방향으로 이동 가능하게 되어 있다.

이 관찰유닛지지부(49)에는 관찰유닛(50)이 X축방향으로 도시하지 않는 가이드레일을 따라서 이동 가능하게 지지되어 있다. 또한 관찰유닛지지부(49)에는 관찰유닛(50)의 대물렌즈(56)의 이동라인에 대향하도록 투과라인조명광원(51)이 설치되어 있다.

이 투과라인조명광원(51)은 수평상태로 홀딩된 홀더(2)의 아래쪽을 통과하는 지지부(49)의 뒷판(52)상에 X축방향을 따라서 배치되어 있다. 이 투과라인조명광원(51)은 유리기판(3)의 아래쪽으로부터 라인상의 투과조명을 실시하는 것으로, 관찰유닛지지부(49)와 함께 Y축방향으로 이동 가능하다.

관찰유닛(50)은 매크로관찰용의 부분매크로조명광원(53)과 결함위치를 지정하는 지표용 조명을 투영 가능한 극저배(예를 들면 0. 5∼2배 정도)의 대물렌즈(54)를 구비한 매크로관찰유닛(55)을 갖고 있다.

마이크로관찰유닛(55)은 대물렌즈(56)와 접안렌즈(57)와 도시하지 않는 낙사조명광원을 갖는 현미경기능을 구비하고 있다. 검사자는 유리기판(3)의 표면의 상을 대물렌즈(56)를 통하여 접안렌즈(57)에 의해 관찰할 수 있다. 또 대물렌즈(54)와 마이크로용 대물렌즈(56)의 광로를 전환함으로써 대물렌즈(54)에서 받아들여진 유리기판(3)의 표면의 매크로상을 접안렌즈(57)에 의해 관찰할 수 있다.

TV카메라(58)는 대물렌즈(56)에 의해 얻어지는 유리기판(3)의 표면의 관찰상을 촬상하고, 제어부(59)에 보낸다. 이 제어부(59)는 TV카메라(58)에서 촬상된 관찰상을 TV모니터(60)에 표시한다. 제어부(59)에는 검사자가 동작지시나 데이터입력을 실시하기 위한 입력부(61)가 접속되어 있다.

장치본체(1)위쪽에는 홀더(2)상의 유리기판(3) 전체면을 조사하는 전체면매크로조명광원(비도시)이 설치되어 있다.

도 3은 상기 기판검사장치에 부착되어 있는 좌표검출장치의 구성도이다. 홀더(2)의 상하측에 있어서의 각 가이드이동부(6, 7)의 각 지주(18, 19)에는 발광체(70)가 설치되어 있다. 이 발광체(70)는 도 4에 나타내는 복수의 발광소자(71), 예를 들면 128개의 발광소자(71)를 일렬로, 등간격으로 실장한 발광체유닛(이하 좌표표시판이라 부른다)(72)을 복수개, 예를 들면 4개를 복수의 발광소자(71)의 나열방향과 동일방향으로 직렬접속하고 있다. 발광체유닛(72)에 설치되는 발광소자(71)의 갯수는 128개에 한정되지 않고, 임의의 갯수이어도 좋고, 이 갯수에 의해 각종 사이즈의 발광체유닛(72)이 작성된다.

복수의 발광소자(71)는 예를 들면 발광다이오드(LED)가 이용되고 있다. 이들 발광다이오드의 발광색은 매크로조명광의 색(예를 들면 녹색, 오렌지색)에 대하여 시인성(視認性)이 좋은 적색의 것이 바람직한데, 매크로조명이라고 식별할 수 있는 색이면 다른 색의 것을 이용할 수 있다. 또한 발광다이오드의 발광색은 복수색, 예를 들면 적색과 청색을 이용하고, 이들 발광색의 각 발광다이오드를 번갈아 배열해도 좋으며, 소정 간격(예를 들면 10mm)마다 다른 색을 배열해도 좋다.

이 좌표표시판(72)에는 복수의 발광소자(71) 중 적어도 1개의 발광소자(71)를 점등시키기 위한 구동회로(73)가 실장되어 있다. 이 구동회로(73)는 입력되는 점등제어신호(펄스신호)를 토대로 후술하는 제어기판(84)에 의해 임의의 1군데의발광소자(71)를 점등시키고, 펄스신호의 입력과 함께 점등위치를 X축방향으로 이동제어한다. 예를 들면 구동회로(73)는 1펄스의 점등제어신호가 입력하면 도 4에 나타내는 복수의 발광소자(71) 중 좌단으로부터 1번째의 발광소자(71)를 점등하고, 2펄스의 점등제어신호가 입력하면 좌단으로부터 2번째의 발광소자(71)를 점등하며, 3펄스의 점등제어신호가 입력하면 좌단으로부터 3번째의 발광소자(71)를 점등한다.

또 구동회로(73)는 좌표표시판(72)을 복수개 직렬접속한 경우 해당 좌표표시판(72)에 할당된 발광소자(71)의 위치정보를 인식하고, 이 위치정보에 해당하는 펄스수의 점등제어신호가 입력했을 때에 해당 배치위치의 발광소자(71)의 점등을 허가하는 기능을 갖는다.

구체적으로 설명하면, 도 5에 나타내는 바와 같이 복수의 좌표표시판(72)이 직렬접속되어 있다. 각 좌표표시판(72)에 있어서의 각 발광소자(71)의 갯수를 예를 들면 128개로 한다. 여기에서 도 5 중의 가장 좌측의 좌표표시판(72)을 제 1 좌표표시판(72)으로 하고, 이어서 직렬접속되는 순서로 제 2, 제 3, 제 n 좌표표시판(72)으로 한다. 제 1 좌표표시판(72)은 1∼128펄스의 점등제어신호가 입력했을 때에 자신에게 배치되어 있는 발광소자(71)를 점등하는 것인 것을 인식하고, 그 펄스수에 따른 배치위치의 발광소자(71)를 점등한다.

따라서 제 1 좌표표시판(72)의 구동회로(73)는 1∼128펄스를 ID번호로서 인식하고, 이 ID번호의 펄스의 점등제어신호가 입력했을 때에 해당 배치위치의 발광소자(71)의 점등을 허가하며, 이 이외의 펄스수의 점등제어신호가 입력했을 때에는 발광소자(71)의 점등을 허가하지 않는다.

마찬가지로 제 2 좌표표시판(72)은 129∼256펄스의 점등제어신호가 입력했을 때에 자신에게 배치되어 있는 발광소자(71)를 점등하는 것인 것을 인식하고, 그 펄스수에 따른 배치위치의 발광소자(71)를 점등한다.

따라서 제 2 좌표표시판(72)의 구동회로(73)는 129∼256펄스를 ID번호로서 인식하고, 이 ID번호의 펄스의 점등제어신호가 입력했을 때에 해당 배치위치의 발광소자(71)의 점등을 허가하며, 이 이외의 펄스수의 점등제어신호가 입력했을 때에는 발광소자(71)의 점등을 허가하지 않는다.

이하 마찬가지로 제 n 좌표표시판(72)의 구동회로(73)는 128×n펄스를 ID번호로서 인식하고, 이 ID번호의 펄스의 점등제어신호가 입력했을 때에 해당 배치위치의 발광소자(71)의 점등을 허가하며, 이 이외의 펄스수의 점등제어신호가 입력했을 때에는 발광소자(71)의 점등을 허가하지 않는다.

제 1∼제 n 좌표표시판(72)의 각 구동회로(73)는 각 발광소자(71)를 점등제어하여 발광소자(71)의 점등체크를 실시하는 기능(점등체크수단)을 갖는다.

점등체크의 방법은 예를 들면 각 발광소자(71)에 대한 통전체크를 실시하고, 통전의 유무로 각 발광소자(71)의 점등체크를 자동적으로 실시한다.

또 점등체크의 방법은 예를 들면 발광체(70)의 좌단 또는 우단의 발광소자(71)로부터 짝수 또는 홀수번째의 발광소자(71)를 점등하고, 시각(視覺)에 의해 점등체크를 실시한다. 점등체크의 방법은 예를 들면 발광체(70)의 좌단 또는 우단의 발광소자(71)로부터 차례로 점등시키고(점등주사), 또한 전체의 발광소자(71)를 동시에 점등시키며, 시각에 의해 점등체크를 실시하는 등이다.

또한 각 구동회로(73)는 자동적으로 점등체크를 실시한 결과, 점등하지 않는 발광소자(71)가 있으면 해당 발광소자(71)를 갖는 좌표지표판(72)의 ID번호와 해당 좌표지표판(72)에 있어서의 발광소자(71)의 위치(예를 들면 좌단으로부터 몇 번째)를 나타내는 에러정보(e)를 제어기판(84)을 통하여 상위퍼스널컴퓨터(80)에 송신하는 기능을 갖는다.

좌표표시판(72)의 접속매수는 유리기판(3) 또는 홀더(2)의 사이즈에 따라서 변경 가능하다.

좌표표시판(72)은 복수의 발광소자(71)를 배열한 실장면(72a)이 도 6에 나타내는 바와 같이 유리기판(3)의 표면에 대하여 소정의 경사각, 예를 들면 대략 45°가 되도록 삼각기둥의 커버(K)에 설치되어 있다. 또한 발광소자(71)는 도 7A 또는 도 7B에 나타내는 바와 같이 좌표표시판(72)의 단면을 대략 45°로 컷한 챔퍼링부분, 또는 좌표표시판(72)의 단면을 소정의 각도로 밴딩한 밴딩부에 실장할 수 있다. 이 실장면을 유리기판(3)의 표면에 대하여 소정의 경사각(예를 들면 대략 45°)이 되도록 한다.

좌표표시판(72)은 매크로관찰시의 매크로조명하에 있어서, 조명광이 반사하여 결함부분의 추출에 지장이 없도록 반사방지커버에 부착되어 있다. 이 반사방지커버는 삼각기둥상으로 형성되어 기계적인 강도가 높아지고, 자중으로 휘지 않도록 되어 있다.

도 8은 발광체(70)의 제어구동계를 나타내는 구성도이다. 상위퍼스널컴퓨터(80)에는 구동펄스발생기(81)가 접속되어 있다. 이 구동펄스발생기(81)에는 조작부컨트롤러(82)를 통하여 조이스틱 등의 조작부(83)가 접속되어 있다. 이 조작부(83)는 조이스틱에 한정되지 않고, 유리기판(3)의 표면상에서의 발광소자(71)가 점등시키는 좌표(X, Y)의 지시를 주는 것이면 예를 들면 트랙볼, 크로스 등의 2차원좌표지정스위치이면 좋다.

또 조작부(83)에는 유리기판(3)의 표면상에 있어서의 발광체(70)의 X축방향의 정지위치와 발광체(70)에 있어서의 예를 들면 1개의 발광소자(71)의 Y축방향의 점등위치를 등록하기 위한 등록스위치로서의 풋스위치(86)가 구비되어 있다. 등록스위치로서는 조이스틱의 조작레버의 상단부에 푸쉬스위치를 설치한 것이어도 좋다.

조작부컨트롤러(82)는 검사자에 의해 조작부(83)의 2차원좌표지정스위치가 조작되었을 때에 발생하는 이차원좌표정보를 지정하는 전기신호를 입력하고, 이 전기신호로부터 조작부(83)에 대한 X축방향과 Y축방향의 조작방향을 분리하며, 이들 X축방향의 구동펄스출력지시와 Y축방향의 구동펄스출력지시를 출력하는 기능을 갖는다.

구동펄스발생기(81)는 조작부컨트롤러(82)로부터 출력되는 X축방향의 구동펄스출력지시와 Y축방향의 구동펄스출력지시를 받으며, X축방향의 구동펄스출력지시에 의해 X축방향구동펄스를 모터드라이버(85)에 송출하고, Y축방향의 구동펄스출력지시에 의해 Y축방향구동펄스를 제어기판(84)에 송출하는 기능을 갖는다.

모터드라이버(85)는 구동펄스발생기(81)로부터의 X축방향구동펄스를 받고, 이 펄스수에 따른 거리만큼 각 가이드이동부(6, 7)를 X축방향으로 이동시키도록 모터(15)를 회전구동하는 기능을 갖는다.

제어기판(84)은 구동펄스발생기(81)로부터의 Y축방향구동펄스를 받고, 이 펄스를 소정의 분주비로 분주하며, 그 분주신호를 점등제어신호로서 좌표표시판(72)의 구동회로(73)에 송출하는 기능을 갖는다.

상위퍼스널컴퓨터(80)는 좌표검출수단(87), 리미트설정수단(88), 원점가변수단(89)의 각 기능을 갖는다. 좌표검출수단(87)은 조작부(83)에 구비되어 있는 풋스위치(86)가 조작되고, 그 스위치신호가 입력하면, 이 때의 조작부의 컨트롤러(82)로부터의 X축방향의 구동펄스출력지시와 Y축방향의 구동펄스출력지시로부터 발광소자(71)가 점등하고 있는 좌표(X, Y)를 산출한다.

리미트설정수단(88)은 발광체(70)의 전체 또는 이 발광체(70)를 구성하는 1개의 좌표지표판(72)에 있어서, 복수의 발광소자(71)의 발광범위를 규제하는 리미트(발광소자(71)의 점등위치의 시점과 종점)를 설정한다. 예를 들면 도 9에 나타내는 바와 같이 발광체(70)의 전체길이(L)는 유리기판(3)의 폭 1보다도 길기 때문에 발광체(70)에는 발광체(70)의 전체길이방향에 대하여 발광소자(71)의 발광범위의 리미트(Re)가 설정된다.

따라서 리미트설정수단(88)은 구동펄스발생기(81)에 대하여 리미트(Re)의 범위내의 Y축방향구동펄스만을 제어기판(84)에 송출하고, 리미트(Re)의 범위 밖의 Y축방향구동펄스의 출력을 정지시킨다. 이 리미트(Re)는 예를 들면 4챔퍼링이나 6챔퍼링 등의 유리기판(3)의 사이즈(폭 1)에 따라서 가변설정 가능하다.

원점가변수단(89)은 유리기판(3)의 Y좌표기준위치에 발광체(70)의 좌표원점을 맞추는 기능을 갖는다. 예를 들면 유리기판(3)의 Y좌표기준위치가 유리기판(3)의 좌단 또는 우단이면 발광체(70)의 좌표원점은 해당 발광체(70)의 좌단 또는 우단에 설정된다. 발광체(70)에 있어서의 발광소자(71)를 점등할 때는 좌표원점을 Y좌표의 0점으로 하고, 이 좌표원점으로부터 펄스수를 카운트한다. 이 좌표원점은 발광체(70)의 좌단 또는 우단에 한정되지 않고, 임의의 위치이어도 좋다.

상위퍼스널컴퓨터(80)는 모터(15)의 회전구동에 의하여 발광체(70)를 X축방향으로 이동시켰을 때 발광체(70)의 이동에 의하여 센서(30 또는 31)가 발광체(70)를 검출하고, 그 센서출력신호를 입력했을 때 구동펄스발생기(81)에 대하여 X축방향구동펄스의 출력을 정지시켜서 발광체(70)의 이동을 정지시키는 기능을 갖는다.

도 3에 나타내는 바와 같이 홀더(2)의 가장자리측의 홀딩부재(1)상에는 퇴피홈(90)이 형성되어 있다. 이 퇴피홈(90)은 홀딩부재(1)를 바닥면으로 하여 홀더(2)의 가장자리면과 지지부재(91)의 가장자리면으로 형성된다. 이 퇴피홈(90)은 마이크로관찰유닛(55)을 이용하여 유리기판(3)의 마이크로관찰을 실시할 때 도 10의 개략도에 나타내는 바와 같이 발광체(70)를 퇴피홈(90)내에 퇴피시키는 것이다.

다음으로 상기와 같이 구성된 장치의 작용에 대하여 설명한다.

매크로관찰을 실시하는 경우 모터(43)가 검사자에 의하여 회전구동된다. 이 모터(33)의 구동은 회전축(44) 및 벨트(45)를 통하여 풀리(42)의 지지축(41)에 전달된다. 홀더(2)는 지지축(41)을 중심으로 소정의 각도(θ), 바람직하게는 30∼45°로 경사지고, 그 후 정지된다.

다음으로 홀더(2)상의 유리기판(3)의 전체면 또는 일부가 매크로조명되고, 검사자에 의하여 매크로관찰이 실시된다. 이 매크로관찰에서는 홀더(2)를 소정 각도로 경사시키는 것만이 아니고, 모터(43)의 회전방향을 주기적으로 바꾸어서 홀더(2)를 소정 범위의 각도내에서 요동시켜도 좋다.

매크로관찰에 의해 유리기판(3)의 표면상에 결함부분이 검출되면 2차원좌표지정스위치를 조작하고, 이 결함부분의 위쪽에 발광체(71)의 단부를 이동시키는 동시에, 발광소자(71)를 점등이동하여 결함위치에 맞춘다. 즉 검사자에 의하여 조이스틱 등의 조작부(83)가 조작되면 조작부(83)는 조이스틱 등의 조작방향 및 그 조작량에 따라서 발광체(70)를 유리기판(3)의 표면상에서 X축방향으로 이동시키는 동시에, 발광체(70)상에서 점등시키는 발광소자(71)를 Y축방향으로 이동시키는 이차원좌표정보를 나타내는 전기신호를 출력한다.

조작부컨트롤러(82)는 조작부(83)로부터의 이차원좌표정보를 지정하는 전기신호를 입력하고, 이 전기신호로부터 조작부(83)에 대한 X축방향과 Y축방향의 조작방향을 분리하고, 이들 X축방향의 구동펄스출력지시와 Y축방향의 구동펄스출력지시를 출력한다.

구동펄스발생기(81)는 조작부컨트롤러(82)로부터 출력되는 X축방향의 구동펄스출력지시와 Y축방향의 구동펄스출력지시를 받으며, X축방향의 구동펄스출력지시에 의해 X축방향구동펄스를 모터드라이버(85)에 송출하고, Y축방향의 구동펄스출력지시에 의해 Y축방향구동펄스를 제어기판(84)에 송출한다.

모터드라이버(85)는 구동펄스발생기(81)로부터의 X축방향구동펄스를 받고,이 펄스수에 따른 거리만큼 각 가이드이동부(6, 7)를 X축방향으로 이동시키도록 모터(15)를 회전구동한다.

이 모터(15)의 회전구동은 회전축(16)으로부터 풀리(9)를 통하여 벨트(13)에 전달되고, 이 벨트(13)가 각 풀리(8, 9)간에서 이동한다. 이 벨트(13)의 이동에 의하여 가이드이동부(6)는 가이드레일(4)을 따라서 X축방향으로 이동한다.

이와 함께 모터(15)의 회전구동은 회전축(16)으로부터 풀리(9), 벨트(13), 풀리(10), 나아가서는 연결축(17)으로부터 풀리(12)를 통하여 벨트(14)에 전달된다. 이에 따라 벨트(14)는 각 풀리(11, 12)간에서 이동하고, 이에 따라서 가이드이동부(7)는 가이드레일(5)을 따라서 가이드이동부(6)에 동기하여 X축방향으로 이동한다.

이들 가이드이동부(6, 7)의 X축방향으로의 이동에 의하여 발광체(70)는 유리기판(3)의 위쪽을 X축방향으로 이동한다. 그리고 발광체(70)는 검사자에 의한 조작부(83)로의 조작의 조정에 의하여 유리기판(3)의 표면에 있어서의 결함부분의 위쪽으로 이동배치된다.

한편 제어기판(84)은 구동펄스발생기(81)로부터의 Y축방향구동펄스를 받고, 이 펄스를 소정의 분주비로 분주하며, 그 분주신호를 점등제어신호로 하여 발광체(70)에 있어서의 가장 좌측에 설치된 좌표표시판(72)의 구동회로(73)에 송출한다.

이 발광체(70)에서는 도 5에 나타내는 바와 같이 복수의 좌표표시판(72)을 직렬접속한 경우에 가장 좌측의 좌표표시판(72)을 제 1 좌표표시판(72)으로 하고,이어서 제 2, 제 3 제 n 좌표표시판(72)으로 하면 제 1 좌표표시판(72)의 구동회로(73)는 1∼128펄스를 ID번호로서 인식하고, 이 ID번호의 펄스의 점등제어신호가 입력했을 때에 해당 배치위치의 발광소자(71)의 점등을 허가한다.

이와 함께 제 2 좌표표시판(72)의 구동회로(73)는 129∼256펄스를 ID번호로서 인식하고, 이 ID번호의 펄스의 점등제어신호가 입력했을 때에 해당 배치위치의 발광소자(71)의 점등을 허가하고, 이하 마찬가지로 제 n 좌표표시판(72)의 구동회로(73)는 128×n펄스를 ID번호로서 인식하며, 이 ID번호의 펄스의 점등제어신호가 입력했을 때에 해당 배치위치의 발광소자(71)의 점등을 허가한다.

검사자에 의한 조작부(83)로의 조작에 의해 제어기판(84)으로부터는 예를 들면 1, 2, 3, ㆍㆍㆍ, n펄스와 같이 차츰 펄스수가 커지는 점등제어신호가 출력된다.

제 1 좌표표시판(72)의 구동회로(73)는 1∼128펄스의 점등제어신호를 차례로 입력함에 따라서 예를 들면 도 11에 나타내는 바와 같이 우선은 제 1 좌표표시판(72)에 배치되어 있는 가장 좌측의 발광소자(71-1)로부터 점등하고, 다음으로 발광소자(71-1)를 소등하여 그 우측에 인접하는 발광소자(71-2)를 점등하며, 다음으로 발광소자(71-2)를 소등하여 그 우측에 인접하는 발광소자(71-3)를 점등한다. 그렇게 하여 제어기판(84)으로부터 129펄스의 점등제어신호가 출력되면 제 1 좌표표시판(72)의 구동회로(73)는 제 1 좌표표시판(72)의 ID번호가 아니라고 판단하고, 발광소자(71-1∼71-128)의 점등을 허가하지 않게 된다.

제 2 좌표표시판(72)의 구동회로(73)는 129∼256펄스의 점등제어신호가 차례로 입력함에 따라서 제 1 좌표표시판(72)과 마찬가지로 가장 좌측의 발광소자(71-129)로부터 각 발광소자(71-130, 71-131)의 차례로 점등해 간다. 제어기판(84)으로부터 예를 들면 150펄스의 점등제어신호가 출력되면 제 2 좌표표시판(72)의 발광소자(71-1∼71-150)의 위치에서 점등이 정지한다.

또한 검사자가 조작부(83)를 역방향으로 조작하면 각 발광소자(71)의 점등위치는 발광체(70)의 우측으로부터 좌측으로 이동한다.

검사자는 조작부(83)를 조작하여 발광체(70)상의 발광소자(7)의 점등위치가 유리기판(3)표면상의 결함부분의 위쪽에 도달했을 때 조작부(83)로의 조작을 정지하는 것으로 차례로 점등이동하는 발광소자를 점등개시위치로부터 150번째의 발광소자(71-150)에서 점등이동을 중지시킬 수 있다.

이 때 각 좌표표시판(72)은 도 6에 나타내는 바와 같이 각 발광소자(71)의 면이 유리기판(3)의 표면에 대하여 소정의 경사각, 예를 들면 대략 45°로 형성되어 있기 때문에 홀더(2)에 의하여 유리기판(3)이 소정의 각도(θ)(＝100∼60°)로 경사지어져 있어도 발광소자(71)의 점등을 명확하게 확인할 수 있다.

또 검사자에 의하여 풋스위치(86)가 조작되면 상위퍼스널컴퓨터(80)는 풋스위치(86)로부터의 스위치신호를 입력하고, 이 때의 조작부컨트롤러(82)로부터의 X축방향의 구동펄스출력지시와 Y축방향의 구동펄스출력지시를 입력하며, 이들 구동펄스출력지시로부터 발광소자(71)가 점등하고 있는 결함부분위쪽의 좌표(Q(X, Y))를 산출하여 등록(기억)한다.

이 좌표(Q(X, Y))의 산출은 유리기판(3)의 표면상의 각 결함부분마다 실시된다. 이들 결함부분의 각 좌표(Q(X, Y))는 상위퍼스널컴퓨터(80)에 기억된다.

매크로관찰이 종료되면 검사자에 의하여 모터(43)가 역회전되고, 홀더(2)는 원래의 수평인 상태로 되돌아간다.

다음으로 검사자에 의한 조작부(83)로의 조작에 의해 발광체(70)를 퇴피홈(90)내로 이동시킨다. 이 조작에 의해 구동펄스발생기(81)는 X축방향의 구동펄스출력지시에 의해 X축방향구동펄스를 모터드라이버(85)에 송출하기 때문에 발광체(70)는 도 10에 나타내는 바와 같이 퇴피홈(90)을 향하여 이동한다.

발광체(70)가 퇴피홈(90)의 소정 거리만큼 바로 앞까지 도달하면 발광체(70)를 지지하는 각 지주(18, 19)는 도시하지 않는 돌기부에 맞닿아서 정지하는 동시에 회전운동하고, 발광체(70)를 퇴피홈(90)내에 퇴피시킨다.

또한 조작부(83)에 있어서, 마이크로검사모드를 지정함으로써 홀더(2)를 자동적으로 수평상태로 복귀시키고, 이 후에 발광체(70)를 자동적으로 퇴피홈(90)에 퇴피시키는 것도 가능하다.

마이크로관찰에서는 상위퍼스널컴퓨터(80)에 의하여 매크로관찰에 의해 지정된 각 결함부분의 좌표(Q(X, Y))가 판독된다. 이 좌표(Q(X, Y))에 의거하여 관찰유닛지지부(49)는 각 가이드레일(47, 48)상을 Y축방향으로 이동하고, 이와 함께 관찰유닛(50)은 상기 도시하지 않는 가이드레일을 따라서 X축방향으로 이동한다. 이에 따라 마이크로관찰유닛(55)에 있어서의 대물렌즈(56)의 관찰축은 좌표(Q(X, Y))상에 배치된다.

이 때 발광체(70)는 퇴피홈(90)내에 퇴피해 있기 때문에 관찰유닛(50)은 발광체(70)에 충돌하는 일은 없다.

검사자는 마이크로관찰유닛(55)의 접안렌즈(57)를 들여다보는 것으로 대물렌즈(56)를 통하여 얻어지는 유리기판(3)상의 결함부분을 현미경에 의하여 마이크로관찰할 수 있다.

또 TV카메라(58)는 대물렌즈(56)로부터 얻어지는 유리기판(3)표면의 결함부분을 촬상한다. 이 상은 TV모니터(60)에 표시된다. 검사자는 그 모니터상을 보는 것으로 마이크로관찰을 실시한다.

이와 같이 상기 한 실시형태에 있어서는, 복수의 발광소자(71)를 일렬로, 등간격으로 나열한 좌표표시판(72)을 복수개, 예를 들면 4개를 복수의 발광소자(71)의 나열방향과 동일방향으로 직렬접속하여 발광체(70)를 구성하고, 이 발광체(70)를 유리기판(3)의 위쪽에서 이동시키기 때문에 종래와 비교하면 레이저광원(28) 및 미러(27)를 X축방향으로 이동시키기 위한 구동계, 즉 가이드레일(21), 가이드이동부(22), 각 풀리(23, 24), 벨트(25) 및 모터(26)를 설치할 필요가 없어지고, 이들 레이저광원(28) 및 그 구동계를 설치하기 위한 스페이스분만큼 스페이스절약화를 꾀할 수 있다. 또한 이들 레이저광원(28) 및 그 구동계를 설치하기 위해 필요했던 비용을 저감할 수 있다.

또 종래라면 레이저광원(28)으로부터 출력되는 레이저광(29)을 정확히 지표투광판(20)상에 조사하기 위해 광학계의 조정이 필요했는데, 이 광학계의 조정도 필요 없다.

따라서 본 발명장치라면 발광체(70)를 간단히 부착할 수 있으며, 그 조정도간단하고, 또한 모터의 갯수를 줄일 수 있어서 스페이스절약화를 꾀할 수 있는 동시에, 비용저감을 꾀할 수 있다.

유리기판(3)면상의 결함부분의 좌표(Q(X, Y))의 결정은 조이스틱 등의 조작부(83)를 조작하여 발광체(70)를 X축방향으로 이동시키는 동시에, 발광소자(71)의 발광위치를 Y축방향으로 이동시키고, 등록스위치(풋스위치(86))를 밀음조작할 뿐의 간단한 조작으로 실시할 수 있다.

발광체(70)는 복수의 좌표표시판(72)을 직렬접속하면 좋기 때문에 예를 들면 4챔퍼링이나 6챔퍼링 등의 유리기판(3)의 사이즈에 따라서 좌표표시판(72)의 접속수를 가변할 수 있다. 이 경우 1개의 좌표표시판(72)을 이용하여 발광체(70)를 구성하거나, 또는 복수의 좌표표시판(72)을 이용하여 발광체(70)를 구성해도 각각의 좌표표시판(72)에 있어서 펄스수에 따른 ID번호를 인식하고 있기 때문에 ID번호를 인식한 1개의 발광체(70)에 있어서 1개의 발광소자(71)만이 점등하고, 각 좌표표시판(72)이 동시에 점등하는 일이 없어져서 오인의 염려가 없다.

좌표표시판(72)은 각 발광소자(71)의 면이 유리기판(3)의 표면에 대하여 소정의 경사각, 예를 들면 45°로 형성되어 있기 때문에 홀더(2)의 기울기에 의하여 유리기판(3)이 소정의 각도(θ)(＝30∼45°)로 경사하거나 요동해도 발광소자(71)의 점등을 명확히 확인할 수 있고, 이 점등위치를 유리기판(3)의 면상의 결함부분에 일치시킬 수 있다.

발광체(70)는 홀더(2)의 상하단의 방향에 설치되어 있기 때문에 매크로관찰시에 매크로조명이 발광체(70)에 의해 차단되어 그림자가 되는 일이 없고, 또한 홀더(2)가 경사해도 각 발광소자(71)는 항상 검사자측을 향하게 되어 발광소자(71)의 점등위치를 명확히 확인할 수 있다.

또한 발광소자(71)의 발광색은 유리기판(3)면상에 있어서 매크로조명이라고 식별할 수 있는, 예를 들면 적색 또는 청색 등을 이용하기 때문에 발광소자(71)의 점등위치를 명료하게 인식할 수 있다.

또한 좌표표시판(72)의 발광소자(71)의 발광제어는 전기적인 점등제어이기 때문에 결함부분의 검출시의 기계적인 뒤떨어짐은 발생하지 않는다.

또 발광체(70)에 있어서 발광소자(71)의 발광범위를 규제하는 리미트(Re)를 설정하기 때문에 유리기판(3)의 사이즈에 따라서 리미트(Re)를 가변설정할 수 있는 동시에, 이 리미트(Re)의 발광범위내에서 발광소자(71)의 발광위치를 왕복이동할 수 있고, 쓸 데 없는 발광위치의 주사를 하지 않고 조작성을 향상할 수 있다.

발광체(70)의 X축방향에 대한 이동범위도 각 센서(30, 31)에 의하여 규제할 수 있고, 발광체(70)를 X축방향으로 쓸 데 없이 이동시키는 일이 없다.

또 마이크로관찰시에는 발광체(70)를 퇴피홈(90)내에 퇴피시키기 때문에 발광체(70)가 관찰유닛(50)에 충돌하는 일이 없다.

제 1∼제 n 좌표표시판(72)의 각 구동회로(73)는 각 발광소자(71)를 점등제어하여 발광소자(71)의 점등체크를 실시하기 때문에 제 1∼제 n 좌표표시판(72)에 있어서 불량의 발광소자(71)를 검출할 수 있다. 자동적으로 점등체크를 실시한 결과는 에러정보(e)로서 상위퍼스널컴퓨터(80)에 알리기 때문에 불량의 발광소자(71)를 갖는 좌표지표판(72)의 ID번호와 해당 좌표지표판(72)에 있어서의 발광소자(71)의 위치에 의해 제 1∼제 n 좌표표시판(72)의 점등관리 등을 할 수 있다.

구동펄스발생기(81)로부터 송출되는 모터드라이버(85)로의 X축방향구동펄스와 제어기판(84)으로의 Y축방향구동펄스는 서로 동일한 펄스신호이기 때문에 제어기판(84)으로의 Y축방향구동펄스를 모터구동에 이용할 수도 있다. 따라서 종래 모터구동이었던 Y축방향을 제어기판(84) 및 좌표지표판(72)으로 교환할 뿐의 간단한 작업으로 좌표지표판(72)을 이용한 Y축방향의 표시에 대신된다.

또한 본 발명은 상기 한 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 실시단계에서는 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변형하는 것이 가능하다.

예를 들면 상기 한 실시형태에 있어서는, 복수의 발광소자(71)는 일렬로 배열했는데, 도 12에 나타내는 바와 같이 복수의 발광소자(71)를 2열로 배열하고, 또한 이들 각 열의 발광소자(71)의 배치위치를 서로 발광소자(71)의 절반씩 어긋나게 하여 배치해도 좋다. 이 발광소자(71)의 배치위치에 의해 유리기판(3)면상의 결함부분의 좌표를 발광소자(71)의 2분의 1의 분해능으로 향상할 수 있다.

발광소자(71)의 점등제어방법은 1개의 발광소자(71)의 점등과 도 13에 나타내는 바와 같이 서로 인접하는 2개의 발광소자(71)의 점등을 조합하여 실시함으로써 유리기판(3)면상의 결함부분의 좌표를 발광소자(71)의 2분의 1의 분해능으로 실시해도 좋다.

발광소자(71)의 발광색은 도 14에 나타내는 바와 같이 적색과 청색의 발광다이오드를 번갈아 배열하고, 발광소자(71)의 발광위치를 알기 쉽게 해도 좋다. 또 복수 배열된 발광소자(71) 중 예를 들면 소정 갯수, 예를 들면 10개마다 적색의 발광소자(71)를 설치해도 좋다. 이에 따라 발광소자(71)의 발광위치를 시각에 의해 인식할 수 있다.

또 복수의 발광소자(71)를 이용하는 것에 한정되지 않고, 액정표시기를 막대상으로 형성하여 이용해도 좋고, 발광소자(71)의 배치는 X축방향이어도, Y축방향의 어느 쪽의 방향이어도 좋다.

본 발명은 예를 들면 액정디스플레이나 유기EL디스플레이 등의 플랫패널디스플레이(FPD)에 이용되는 유리기판 등의 반도체유리기판의 표면결함검사시에 이용된다.

Claims

복수의 발광소자를 규칙적으로, 직선상으로 배열한 발광체와,

상기 발광체상에 있어서의 특정한 상기 발광소자를 발광시키는 발광구동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.
복수의 발광소자를 규칙적으로, 직선상으로 배열한 발광체와,

상기 발광체상에 있어서의 특정한 상기 발광소자를 발광시키는 발광구동수단과,

상기 발광체를 상기 발광소자의 배열방향에 대하여 직교하는 방향으로 이동시키는 이동기구를 구비한 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.
복수의 발광소자를 규칙적으로, 직선상으로 배열한 발광체와,

상기 발광체를 상기 발광소자의 배열방향에 대하여 직교하는 방향으로 이동시키는 이동기구와,

상기 발광소자의 발광위치정보를 지령하는 지령발생수단과,

상기 지령발생수단으로부터의 지령에 의거하여 상기 발광체상에 있어서의 특정한 상기 발광소자의 발광위치를 지시하는 제어신호를 송출하는 발광제어수단과,

상기 발광제어수단으로부터 송출되는 상기 제어신호를 받고, 상기 제어신호에 의해 지시되는 발광위치에 해당하는 상기 발광소자를 발광구동하는 구동수단을구비한 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.
복수의 발광소자를 규칙적으로, 직선상으로 배열한 발광체와,

상기 발광체를 상기 발광소자의 배열방향에 대하여 직교하는 방향으로 이동시키는 이동기구와,

상기 이동기구를 이동시키는 이동정보와 상기 발광소자의 발광위치정보를 지령하는 좌표지정조작수단과,

상기 좌표지정조작수단으로부터의 지령 중 상기 이동정보에 의거하여 상기 이동기구를 구동하는 제어신호를 송출하는 이동제어수단과,

상기 이동제어수단으로부터 송출되는 상기 제어신호를 받고, 상기 이동기구를 구동하는 발광체이동구동수단과,

상기 좌표지정조작수단으로부터의 지령 중 상기 위치정보에 의거하여 상기 발광체상에 있어서의 특정한 상기 발광소자의 발광위치를 지시하는 제어신호를 송출하는 발광제어수단과,

상기 발광제어수단으로부터 송출되는 상기 제어신호를 받고, 상기 제어신호에 의해 지시되는 발광위치에 해당하는 상기 발광소자를 발생시키는 발광구동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.
제 4 항에 있어서,

상기 이동제어수단으로부터 송출되는 상기 제어신호와 상기 발광제어수단으로부터 송출되는 상기 제어신호는 서로 동일한 펄스신호인 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.
제 1 항에서 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 발광체는 직선상으로, 규칙적으로 배열된 복수의 상기 발광소자를 갖고, 또한 서로 접속 가능한 발광체유닛으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.
제 6 항에 있어서,

상기 발광체유닛을 복수 접속하여 직선상으로 배치한 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.
제 6 항에 있어서,

상기 발광체유닛은 해당 발광체유닛에 배열되어 있는 상기 발광소자의 위치정보를 인식하고, 이 위치정보에 해당하는 발광위치의 제어신호를 입력했을 때에 상기 발광소자의 발광구동을 허가하는 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.
제 6 항에 있어서,

상기 발광체유닛은 ID번호가 설정되고, 해당 ID번호를 인식했을 때에 해당발광체유닛내에 배치되어 있는 상기 발광소자의 발광구동을 허가하는 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.
제 1 항에서 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 발광체는 복수의 발광소자간을 서로 근접하여 일렬로 배열한 제 1 발광소자열과,

상기 제 1 발광소자열의 상기 각 발광소자간에 대응하는 위치에 각각 복수의 발광소자를 배치하고, 또한 이들 발광소자간을 서로 근접하여 일렬로 배열한 제 2 발광소자열을 갖고,

또한 상기 제 1 발광소자열과 상기 제 2 발광소자열을 2열병렬로 배치하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.
제 4 항에 있어서,

상기 좌표지정조작수단으로부터의 상기 이동정보와 상기 발광위치정보를 받아서 상기 발광체에 있어서 발광하는 상기 발광소자의 좌표를 산출하는 좌표검출수단을 갖는 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.
제 1 항에서 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 발광체에 있어서 직선상으로 배열된 복수의 상기 발광소자의 발광범위를 규제하는 리미트를 설정하는 리미트설정수단을 갖는 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.
제 1 항에서 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 발광체에 있어서의 복수의 상기 발광소자 중 지정된 좌표의 상기 발광소자를 발광할 때의 원점위치를 가변설정하는 원점가변수단을 갖는 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.
제 1 항에서 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 발광체는 복수의 상기 발광소자를 배열하는 실장면을 좌표검출대상면에 대하여 소정의 경사각으로 형성한 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.
제 1 항에서 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 발광소자는 발광다이오드인 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.
제 1 항에서 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 발광소자는 시인성이 좋은 발광색을 갖는 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.
제 1 항에서 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 발광소자는 적색 또는 청색의 발광색을 갖는 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.
제 1 항에서 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 발광체는 적색과 청색의 각 발광색을 갖는 각 발광소자를 임의의 위치에 배치하는 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.
제 1 항에서 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 발광체에 있어서의 복수의 상기 발광소자를 점등제어하여 상기 발광소자의 점등체크를 실시하는 점등체크수단을 갖는 것을 특징으로 하는 좌표검출장치.