JP4222934B2 - 座標検出装置 - Google Patents
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Description
【技術分野】
本発明は、例えば液晶ディスプレイに用いられるガラス基板の表面欠陥検査時に用いられ、ガラス基板面上の欠陥部分などの特定部位の座標を検出する座標検出装置に関する。
【0002】
背景技術
液晶ディスプレイに用いられるガラス基板の基板検査装置がある。この基板検査装置は、ガラス基板表面に照明光を照射し、その反射光の光学的変化を観察してガラス基板表面の傷や汚れ、ダストの付着などの欠陥部分を検出するマクロ観察と、このマクロ観察により検出された欠陥部分を拡大して観察するミクロ観察とを行う。
【0003】
この基板検査装置には、マクロ観察により検出された欠陥部分などの特定部位の座標を検出するために座標検出装置が用いられる。図15は特開2002−82067(本願発明の出願時に未公開)に記載された座標検出装置の構成図である。保持部材1上には、ホルダ2が設けられている。このホルダ2上には、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板3が保持されている。このホルダ2の両縁側には、それぞれ各ガイドレール4,5が設けられている。これらガイドレール4,5上には、それぞれ各ガイド移動部6,7が移動可能に設けられている。
【0004】
又、ホルダ2の両縁側の各垂直面8には、各プーリ9,10及び11,12が設けられている。一方の各プーリ9,10間にはベルト13が掛けられていると共に、他方の各プーリ11,12間にはベルト14が掛けられている。プーリ9には、モータ15の回転軸16が連結されている。互いに対向する各プーリ10と12との間は、連結軸17によって連結されている。
各ガイド移動部6,7は、それぞれベルト13,14に対して係止されている。これらガイド移動部6,7には、それぞれ支柱18,19を介して指標投光板20が設けられている。
【0005】
ホルダ2のX軸方向の縁側には、ガイドレール21が設けられている。このガイドレール21上には、ガイド移動部22が移動可能に設けられている。又、同ホルダ2の縁側には、各プーリ23,24が設けられている。これらプーリ23,24間にはベルト25が掛けられている。プーリ24には、モータ26の回転軸が連結されている。
ガイド移動部22は、ベルト25に対して係止されている。このガイド移動部22上には、ミラー27が設けられている。ホルダ2のコーナ部には、レーザ光源28が設けられている。このレーザ光源28から出力されるレーザ光29は、ミラー27で反射し、指標投光板20上に照射される。
【0006】
このような構成であれば、モータ15が回転駆動すると、この回転駆動は、ベルト13を介してガイド移動部6に伝達され、これと共にベルト13、連結軸17、ベルト14を介して他方のガイド移動部7にも伝達される。これにより、2つのガイド移動部6,7は、同期してY軸方向に移動し、指標投光板20がガラス基板3の欠陥部分の上方に位置決めされる。
【0007】
一方、レーザ光源28から出力されたレーザ光29は、ミラー27で反射し、指標投光板20上に照射される。モータ26が回転駆動すると、この回転駆動がベルト25を介してミラー27を設けたガイド移動部22に伝達されるので、ミラー27はX軸方向に移動する。これによりミラー27で反射したレーザ光29は、指標投光板20上に沿って走査される。そして、レーザ光29の照射位置は、ガラス基板3の欠陥部分の上方に位置決めされる。
この結果、指標投光板20のY軸方向への移動量と、レーザ光29の指標投光板20上への移動量とからガラス基板3の欠陥部分の座標Q(X,Y)が検出される。
【0008】
しかしながら、上記装置の構成では、レーザ光源28及びミラー27をX軸方向に移動させるための駆動系、すなわちガイドレール21、ガイド移動部22、各プーリ23,24、ベルト25及びモータ26を設ける必要があり、その設置スペースが必要になる。さらに、レーザ光源28及び駆動系を設けるためにコストがかかる。
又、レーザ光29を指標投光板20上に照射するための光学系の調整、例えばミラー27の設置角度及びその高さ位置の調整、レーザ光29の出射角度(光軸)の調整、及びレーザ光29の絞りの調整などが必要である。
【0009】
本発明は、省スペース化を図り、かつ光学系の調整を不必要とした座標検出装置を提供することを目的とする。
【0010】
【発明の開示】
本発明の主要な観点によれば、被検体を保持するホルダと、ホルダに保持された被検体の表面に近接し、複数の発光素子を直線状に配列した発光体と、複数の発光素子を配列方向に点灯駆動する点灯駆動回路と、発光体を複数の発光素子の直線状の配列方向に対して直交する方向に移動させる駆動部と、点灯駆動回路に対して点灯位置情報を指定すると共に駆動部に対して移動位置情報を指定する座標指定操作部と、座標指定操作部からの点灯位置情報と移動位置情報とに基づいて点灯駆動回路と駆動部とをそれぞれ制御する各駆動信号を出力する制御部と、被検体面の欠陥部に対応する発光素子の点灯停止位置情報と発光体の移動停止位置情報とから欠陥部の二次元座標を求める座標検出部とを具備した座標検出装置が提供される。発明を実施するための最良の形態
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図15と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
図1及び図2は本発明の座標検出装置を適用した基板検査装置の全体構成図であって、図1は斜視図、図2は側面図である。装置本体40上には、ガラス基板3を保持するホルダ2が設けられている。このホルダ2は、図2に示すように基端部が支持軸41により装置本体40に対し回動自在に支持されている。支持軸41の周囲には、プーリ42が設けられている。
装置本体40にはモータ43が備えられている。このモータ43の回転軸44とプーリ42との間には、輪状のベルト45が掛けられている。このモータ43の回転駆動力は、回転軸44からベルト45を介してプーリ42に伝達される。ホルダ2は、支持軸41を軸として水平な状態から例えば二点鎖線で示される所定角度θまで立ち上げられて傾斜する。
【0011】
ホルダ2は枠状に形成され、その周縁部で大型のガラス基板3を載置保持する。このホルダ2の周縁部に囲まれた空部は四角形状をなしている。この空部の面積は、ガラス基板3の面積よりやや小さく形成されている。
ホルダ2には、周縁部に沿ってX軸方向とY軸方向に複数の基板位置決め部材(基準ピン)46a及び押付け部材(押付けピン)46bが設けられている。これら基準ピン46a及び押付けピン46bは、ホルダ2表面からやや突出している。基準ピン46aは、ガラス基板3をホルダ2上の基準位置に位置決めする。押付けピン46bは、ガラス基板3を基準ピン46aに向って押し付ける。従って、ガラス基板3は、その二辺を各基準ピン46aの側部に接触させることでホルダ2上で位置決めなされる。
なお、ホルダ2の周縁部には、全周に沿って図示しない複数の孔(吸着パッド)が設けられている。ガラス基板3は、複数の吸着パッドでの吸引作用により吸着され、ホルダ2上から脱落しないよう保持される。
【0012】
装置本体1上には、ホルダ2の両側縁に沿ってY軸方向へ一対のガイドレール47,48が平行に配置されている。これらガイドレール47,48上には、門型の観察ユニット支持部49がホルダ2を跨ぐように配置されている。この観察ユニット支持部49は、ガイドレール47,48に沿ってガラス基板3の上方すなわちホルダ2上方をY軸方向へ移動可能になっている。
この観察ユニット支持部49には、観察ユニット50がX軸方向に図示しないガイドレールに沿って移動可能に支持されている。さらに観察ユニット支持部49には、観察ユニット50の対物レンズ56の移動ラインに対向するよう透過ライン照明光源51が設けられている。この透過ライン照明光源51は、水平状態に保持されたホルダ2の下方を通過する支持部49の裏板52上にX軸方向に沿って配置されている。この透過ライン照明光源51は、ガラス基板3の下方からライン状の透過照明を行なうもので、観察ユニット支持部49と共にY軸方向へ移動可能である。
【0013】
観察ユニット50は、マクロ観察用の部分マクロ照明光源53と、欠陥位置を指定する指標用照明を投影可能な極低倍(例えば0.5〜2倍程度)の対物レンズ54を備えたミクロ観察ユニット55とを有している。
ミクロ観察ユニット55は、対物レンズ56と接眼レンズ57と図示しない落射照明光源を有する顕微鏡機能を備えている。検査者は、ガラス基板3の表面の像を対物レンズ56を介して接眼レンズ57により観察することができる。又、対物レンズ54とミクロ用対物レンズ56の光路を切り換えることにより対物レンズ54で取り込まれたガラス基板3の表面のマクロ像を接眼レンズ57により観察することができる。
【0014】
TVカメラ58は、対物レンズ56により得られるガラス基板3の表面の観察像を撮像し、制御部59へ送る。この制御部59は、TVカメラ58で撮像された観察像をTVモニタ60に表示する。制御部59には、検査者が動作指示やデータ入力を行なうための入力部61が接続されている。
装置本体1上方には、ホルダ2上のガラス基板3全面を照射する全面マクロ照明光源(不図示)が設置されている。
【0015】
図3は上記基板検査装置に取り付けられている座標検出装置の構成図である。ホルダ2の上下側における各ガイド移動部6,7の各支柱18,19には、発光体70が設けられている。この発光体70は、図4に示す複数の発光素子71、例えば128個の発光素子71を一列に等間隔に実装した発光体ユニット(以下、座標表示板と称する)72を複数個、例えば4個を複数の発光素子71の羅列方向と同一方向に直列接続している。発光体ユニット72に設けられる発光素子71の個数は、128個に限らず、任意の個数でよく、この個数により各種サイズの発光体ユニット72が作成される。
【0016】
複数の発光素子71は、例えば発光ダイオード(LED)が用いられている。これら発光ダイオードの発光色は、マクロ照明光の色(例えば緑、オレンジ)に対し視認性のよい赤色のものが好ましいが、マクロ照明と識別できる色であれば他の色のものを用いることができる。なお、発光ダイオードの発光色は、複数色例えば赤色と青色とを用い、これら発光色の各発光ダイオードを交互に配列してもよいし、所定間隔(例えば10mm)毎に他の色を配列してもよい。
【0017】
この座標表示板72には、複数の発光素子71のうち少なくとも1個の発光素子71を点灯させるための駆動回路73が実装されている。この駆動回路73は、入力される点灯制御信号(パルス信号)を基に後述する制御基板84により任意の一ヶ所の発光素子71を点灯させ、パルス信号の入力と共に点灯位置をX軸方向に移動制御する。例えば、駆動回路73は、1パルスの点灯制御信号が入力すると図4に示す複数の発光素子71のうち左端から1番目の発光素子71を点灯し、2パルスの点灯制御信号が入力すると左端から2番目の発光素子71を点灯し、3パルスの点灯制御信号が入力すると左端から3番目の発光素子71を点灯する。
又、駆動回路73は、座標表示板72を複数個直列接続した場合、当該座標表示板72に割当てられた発光素子71の位置情報を認識し、この位置情報に該当するパルス数の点灯制御信号が入力したときに、当該配置位置の発光素子71の点灯を許可する機能を有する。
【0018】
具体的に説明すると、図5に示すように複数の座標表示板72が直列接続されている。各座標表示板72における各発光素子71の個数が例えば128個とする。ここで、図5中の最左側の座標表示板72を第1の座標表示板72とし、続いて直列接続される順序に第2、第3、第nの座標表示板72とする。第1の座標表示板72は、1〜128パルスの点灯制御信号が入力したときに自身に配置されている発光素子71を点灯することであることを認識し、そのパルス数に応じた配置位置の発光素子71を点灯する。
従って、第1の座標表示板72の駆動回路73は、1〜128パルスをID番号として認識し、このID番号のパルスの点灯制御信号が入力したときに当該配置位置の発光素子71の点灯を許可し、これ以外のパルス数の点灯制御信号が入力したときには発光素子71の点灯を許可しない。
【0019】
同様に、第2の座標表示板72は、129〜256パルスの点灯制御信号が入力したときに自身に配置されている発光素子71を点灯することであることを認識し、そのパルス数に応じた配置位置の発光素子71を点灯する。
従って、第2の座標表示板72の駆動回路73は、129〜256パルスをID番号として認識し、このID番号のパルスの点灯制御信号が入力したときに当該配置位置の発光素子71の点灯を許可し、これ以外のパルス数の点灯制御信号が入力したときには発光素子71の点灯を許可しない。
以下、同様に、第nの座標表示板72の駆動回路73は、128×nパルスをID番号として認識し、このID番号のパルスの点灯制御信号が入力したときに当該配置位置の発光素子71の点灯を許可し、これ以外のパルス数の点灯制御信号が入力したときには発光素子71の点灯を許可しない。
【0020】
第1〜第nの座標表示板72の各駆動回路73は、各発光素子71を点灯制御して発光素子71の点灯チェックを行う機能(点灯チェック手段)を有する。
【0021】
点灯チェックの方法は、例えば、各発光素子71に対する通電チェックを行い、通電の有無で各発光素子71の点灯チェックを自動的に行う。又、点灯チェックの方法は、例えば発光体70の左端又は右端の発光素子71から偶数又は奇数番目の発光素子71を点灯し、目視により点灯チェックを行う。点灯チェックの方法は、例えば発光体70の左端又は右端の発光素子71から順に点灯させ(点灯走査)、さらに全ての発光素子71を同時に点灯させて、目視により点灯チェックを行うなどである。
なお、各駆動回路73は、自動的に点灯チェックを行った結果、点灯しない発光素子71があれば、当該発光素子71を有する座標指標板72のID番号と、当該座標指標板72における発光素子71の位置(例えば左端から何番目)とを示すエラー情報eを制御基板84を介して上位パーソナルコンピュータ80に送信する機能を有する。
【0022】
座標表示板72の接続枚数は、ガラス基板3又はホルダ2のサイズに応じて変更可能である。座標表示板72は、複数の発光素子71を配列した実装面72aが図6に示すようにガラス基板3の表面に対して所定の傾斜角、例えば略45°になるように三角柱のカバーKに設けられている。なお、発光素子71は、図7A又は図7Bに示すように座標表示板72の端面を略45°にカットした面取り部分、又は座標表示板72の端面を所定の角度に折り曲げた折曲部に実装することができる。この実装面をガラス基板3の表面に対して所定の傾斜角(例えば略45°)になるようにする。
座標表示板72は、マクロ観察時のマクロ照明下において、照明光が反射して欠陥部分の抽出に支障がないように反射防止カバーに取り付けられている。この反射防止カバーは、三角柱状に形成されて機械的な強度が高められ、自重で撓まないようになっている。
【0023】
図8は発光体70の制御駆動系を示す構成図である。上位パーソナルコンピュータ80には、駆動パルス発生器81が接続されている。この駆動パルス発生器81には、操作部コントローラ82を介してジョイステック等の操作部83が接続されている。この操作部83は、ジョイステックに限らず、ガラス基板3の表面上での発光素子71の点灯させる座標(X,Y)の指示を与えるものであれば、例えばトラックボール、クロスなどの2次元座標指定スイッチであればよい。
【0024】
又、操作部83には、ガラス基板3の表面上における発光体70のX軸方向の停止位置と、発光体70における例えば1個の発光素子71のY軸方向の点灯位置とを登録するための登録スイッチとしてのフットスイッチ86が備えられている。登録スイッチとしては、ジョイステックの操作レバーの上端部にプッシュスイッチを設けたものでもよい。
操作部コントローラ82は、検査者により操作部83の2次元座標指定スイッチが操作されたときに発生する二次元座標情報を指定する電気信号を入力し、この電気信号から操作部83に対するX軸方向とY軸方向との操作方向を分離し、これらX軸方向の駆動パルス出力指示とY軸方向の駆動パルス出力指示とを出力する機能を有する。
【0025】
駆動パルス発生器81は、操作部コントローラ82から出力されるX軸方向の駆動パルス出力指示とY軸方向の駆動パルス出力指示とを受け、X軸方向の駆動パルス出力指示によりX軸方向駆動パルスをモータドライバ85に送出し、Y軸方向の駆動パルス出力指示によりY軸方向駆動パルスを制御基板84に送出する機能を有する。
モータドライバ85は、駆動パルス発生器81からのX軸方向駆動パルスを受け、このパルス数に応じた距離だけ各ガイド移動部6,7をX軸方向に移動させるようにモータ15を回転駆動する機能を有する。
【0026】
制御基板84は、駆動パルス発生器81からのY軸方向駆動パルスを受け、このパルスを所定の分周比で分周し、その分周信号を点灯制御信号として座標表示板72の駆動回路73に送出する機能を有する。
【0027】
上位パーソナルコンピュータ80は、座標検出手段87、リミット設定手段88、原点可変手段89の各機能を有する。座標検出手段87は、操作部83に備えられているフットスッチ86が操作されてそのスイッチ信号が入力すると、このときの操作部コントローラ82からのX軸方向の駆動パルス出力指示とY軸方向の駆動パルス出力指示とから発光素子71が点灯している座標(X,Y)を算出する。
【0028】
リミット設定手段88は、発光体70の全体又はこの発光体70を構成する1つの座標指標板72において、複数の発光素子71の発光範囲を規制するリミット(発光素子71の点灯位置の始点と終点)を設定する。例えば、図9に示すように発光体70の全長Lは、ガラス基板3の幅lよりも長いので、発光体70には、発光体70の全長方向に対して発光素子71の発光範囲のリミットReが設定される。
【0029】
従って、リミット設定手段88は、駆動パルス発生器81に対してリミットReの範囲内のY軸方向駆動パルスのみを制御基板84に送出し、リミットReの範囲外のY軸方向駆動パルスの出力を停止させる。このリミットReは、例えば4面取りや6面取りなどのガラス基板3のサイズ(幅l)に応じて可変設定可能である。
【0030】
原点可変手段89は、ガラス基板3のY座標基準位置に発光体70の座標原点を合わせる機能を有する。例えばガラス基板3のY座標基準位置がガラス基板3の左端又は右端であれば、発光体70の座標原点は、当該発光体70の左端又は右端に設定される。発光体70における発光素子71を点灯するときは、座標原点をY座標の0点し、この座標原点からパルス数をカウントする。この座標原点は、発光体70の左端又は右端に限らず、任意の位置でもよい。
【0031】
上位パーソナルコンピュータ80は、モータ15の回転駆動によって発光体70をX軸方向に移動させたとき、発光体70の移動によってセンサ30又は31が発光体70を検出してそのセンサ出力信号を入力したとき、駆動パルス発生器81に対してX軸方向駆動パルスの出力を停止させ、発光体70の移動を停止させる機能を有する。
【0032】
図3に示すようにホルダ2の縁側の保持部材1上には、退避溝90が形成さている。この退避溝90は、保持部材1を底面としてホルダ2の縁面と支持4部材91の縁面とから形成される。この退避溝90は、ミクロ観察ユニット55を用いてガラス基板3のミクロ観察を行なうとき、図10の概略図に示すように発光体70を退避溝90内に退避させるものである。
【0033】
次に上記の如く構成された装置の作用について説明する。
マクロ観察を行なう場合、モータ43が検査者によって回転駆動される。このモータ33の駆動は、回転軸44及びベルト45を介してプーリ42の支持軸41に伝達される。ホルダ2は、支持軸41を中心に所定の角度θ、好ましくは30〜45°に傾斜され、その後、静止される。
次に、ホルダ2上のガラス基板3の全面又は一部がマクロ照明されて、検査者によってマクロ観察が行われる。このマクロ観察では、ホルダ2を所定角度に傾斜させるだけでなく、モータ43の回転方向を周期的に変えてホルダ2を所定範囲の角度内で揺動させてもよい。
【0034】
マクロ観察によりガラス基板3の表面上に欠陥部分が検出されると、2次元座標指定スイッチを操作してこの欠陥部分の上方に発光体71の端部を移動させると共に、発光素子71を点灯移動して欠陥位置に合せる。すなわち、検査者によってジョイステック等の操作部83が操作されると、操作部83は、ジョイステック等の操作方向及びその操作量に応じて発光体70をガラス基板3の表面上でX軸方向に移動させると共に、発光体70上で点灯させる発光素子71をY軸方向に移動させる二次元座標情報を示す電気信号を出力する。
【0035】
操作部コントローラ82は、操作部83からの二次元座標情報を指定する電気信号を入力し、この電気信号から操作部83に対するX軸方向とY軸方向との操作方向を分離し、これらX軸方向の駆動パルス出力指示とY軸方向の駆動パルス出力指示とを出力する。
駆動パルス発生器81は、操作部コントローラ82から出力されるX軸方向の駆動パルス出力指示とY軸方向の駆動パルス出力指示とを受け、X軸方向の駆動パルス出力指示によりX軸方向駆動パルスをモータドライバ85に送出し、Y軸方向の駆動パルス出力指示によりY軸方向駆動パルスを制御基板84に送出する。
【0036】
モータドライバ85は、駆動パルス発生器81からのX軸方向駆動パルスを受け、このパルス数に応じた距離だけ各ガイド移動部6,7をX軸方向に移動させるようにモータ15を回転駆動する。このモータ15の回転駆動は、回転軸16からプーリ9を介してベルト13に伝達され、このベルト13が各プーリ8,9間で移動する。このベルト13の移動によってガイド移動部6は、ガイドレール4に沿ってX軸方向に移動する。
【0037】
これと共にモータ15の回転駆動は、回転軸16からプーリ9、ベルト13、プーリ10、さらには連結軸17からプーリ12を介してベルト14に伝達される。これにより、ベルト14は、各プーリ11,12間で移動し、これによってガイド移動部7は、ガイドレール5に沿ってガイド移動部6に同期してX軸方向に移動する。
これらガイド移動部6,7のX軸方向への移動によって、発光体70はガラス基板3の上方をX軸方向に移動する。そして、発光体70は、検査者による操作部83への操作の調整によってガラス基板3の表面における欠陥部分の上方に移動配置される。
【0038】
一方、制御基板84は、駆動パルス発生器81からのY軸方向駆動パルスを受け、このパルスを所定の分周比で分周し、その分周信号を点灯制御信号として発光体70における最も左側に設けられた座標表示板72の駆動回路73に送出する。
この発光体70では、図5に示すように複数の座標表示板72を直列接続した場合に最も左側の座標表示板72を第1の座標表示板72とし、続いて第2、第3、第nの座標表示板72とすると、第1の座標表示板72の駆動回路73は、1〜128パルスをID番号として認識し、このID番号のパルスの点灯制御信号が入力したときに当該配置位置の発光素子71の点灯を許可する。
【0039】
これと共に第2の座標表示板72の駆動回路73は、129〜256パルスをID番号として認識し、このID番号のパルスの点灯制御信号が入力したときに当該配置位置の発光素子71の点灯を許可し、以下、同様に、第nの座標表示板72の駆動回路73は、128×nパルスをID番号として認識し、このID番号のパルスの点灯制御信号が入力したときに当該配置位置の発光素子71の点灯を許可する。
検査者による操作部83への操作により、制御基板84からは、例えば1、2、3、…、nパルスのように次第にパルス数の大きくなる点灯制御信号が出力される。
【0040】
第1の座標表示板72の駆動回路73は、1〜128パルスの点灯制御信号を順次入力するに従い、例えば図11に示すように、先ずは第1の座標表示板72に配置されている最も左側の発光素子71−1から点灯し、次に発光素子71−1を消灯してその右側に隣接する発光素子71−2を点灯し、次に発光素子71−2を消灯してその右側に隣接する発光素子71−3を点灯する。そうして、制御基板84から129パルスの点灯制御信号が出力されると、第1の座標表示板72の駆動回路73は、第1の座標表示板72のID番号でないと判断し、発光素子71−1〜71−128の点灯を許可しなくなる。
【0041】
第2の座標表示板72の駆動回路73は、129〜256パルスの点灯制御信号が順次入力するに従い、第1の座標表示板72と同様に、最も左側の発光素子71−129から各発光素子71−130、71−131の順に点灯していく。制御基板84から例えば150パルスの点灯制御信号が出力されると、第2の座標表示板72の発光素子71−1〜71−150の位置で点灯が停止する。
なお、検査者が操作部83を逆方向に操作すれば、各発光素子71の点灯位置は、発光体70の右側から左側に移動する。
【0042】
検査者は、操作部83を操作して発光体70上の発光素子7の点灯位置がガラス基板3表面上の欠陥部分の上方に到達したとき、操作部83への操作を停止することで、順次点灯移動する発光素子を点灯開始位置から150番目の発光素子71−150で点灯移動を中止させることができる。
このとき、各座標表示板72は、図6に示すように各発光素子71の面がガラス基板3の表面に対して所定の傾斜角、例えば略45°に形成されているので、ホルダ2によってガラス基板3が所定の角度θ(=100〜60°)に傾斜されていても、発光素子71の点灯が明確に確認できる。
【0043】
又、検査者によってフットスイッチ86が操作されると、上位パーソナルコンピュータ80は、フットスッチ86からのスイッチ信号を入力し、このときの操作部コントローラ82からのX軸方向の駆動パルス出力指示とY軸方向の駆動パルス出力指示とを入力し、これら駆動パルス出力指示から発光素子71が点灯している欠陥部分上方の座標Q(X,Y)を算出し、登録(記憶)する。
この座標Q(X,Y)の算出は、ガラス基板3の表面上の各欠陥部分ごとに行われる。これら欠陥部分の各座標Q(X,Y)は、上位パーソナルコンピュータ80に記憶される。
【0044】
マクロ観察が終了すると、検査者によってモータ43が逆回転され、ホルダ2は元の水平な状態に戻る。
【0045】
次に、検査者による操作部83への操作により発光体70を退避溝90内に移動させる。この操作により駆動パルス発生器81は、X軸方向の駆動パルス出力指示によりX軸方向駆動パルスをモータドライバ85に送出するので、発光体70は、図10に示すように退避溝90に向かって移動する。
発光体70が退避溝90の所定距離だけ手前まで到達すると、発光体70を支持する各支柱18,19は、図示しない突起部に当接して停止すると共に回動し、発光体70を退避溝90内に退避させる。
なお、操作83においてミクロ検査モードを指定することにより、ホルダ2を自動的に水平状態に復帰させ、この後に発光体70を自動的に退避溝90に退避させることも可能である。
【0046】
ミクロ観察では、上位パーソナルコンピュータ80によってマクロ観察により指定された各欠陥部分の座標Q(X,Y)が読み出される。この座標Q(X,Y)に基づいて観察ユニット支持部49は、各ガイドレール47,48上をY軸方向に移動し、これと共に観察ユニット50は、上記図示しないガイドレールに沿ってX軸方向に移動する。これにより、ミクロ観察ユニット55における対物レンズ56の観察軸は、座標Q(X,Y)上に配置される。
【0047】
このとき、発光体70は退避溝90内に退避しているので、観察ユニット50は、発光体70に衝突することはない。
検査者はミクロ観察ユニット55の接眼レンズ57を覗くことで、対物レンズ56を介して得られるガラス基板3上の欠陥部分を顕微鏡によるミクロ観察することができる。
又、TVカメラ58は、対物レンズ56より得られるガラス基板3表面の欠陥部分を撮像する。この像は、TVモニタ60に表示される。検査者は、そのモニタ像を見ることでミクロ観察を行う。
【0048】
このように上記一実施の形態においては、複数の発光素子71を一列に等間隔に羅列した座標表示板72を複数個、例えば4個を複数の発光素子71の羅列方向と同一方向に直列接続して発光体70を構成し、この発光体70をガラス基板3の上方で移動させるので、従来と比較すれば、レーザ光源28及びミラー27をX軸方向に移動させるための駆動系、すなわちガイドレール21、ガイド移動部22、各プーリ23,24、ベルト25及びモータ26を設ける必要がなくなり、これらレーザ光源28及びその駆動系を設けるためのスペース分だけ省スペース化を図ることができる。さらに、これらレーザ光源28及びその駆動系を設けるために必要だったコストを低減できる。
【0049】
又、従来であれば、レーザ光源28から出力されるレーザ光29を正確に指標投光板20上に照射するために光学系の調整が必要であったが、この光学系の調整も必要ない。
従って、本発明装置であれば、発光体70を簡単に取りつけることができ、その調整も簡単であり、さらにモータの個数を減らすことができ、省スペース化を図ることができると共に、コスト低減を図ることができる。
【0050】
ガラス基板3面上の欠陥部分の座標Q(X,Y)の決定は、ジョイステック等の操作部83を操作して発光体70をX軸方向に移動させると共に、発光素子71の発光位置をY軸方向に移動させ、登録スイッチ(フットスイッチ86)を押し操作するだけの簡単な操作で行うことができる。
発光体70は、複数の座標表示板72を直列接続すればよいので、例えば4面取りや6面取りなどのガラス基板3のサイズに応じて座標表示板72の接続数を可変できる。この場合、1つの座標表示板72を用いて発光体70を構成したり、又は複数の座標表示板72を用いて発光体70を構成しても、それぞれの座標表示板72においてパルス数に応じたID番号を認識しているので、ID番号を認識した1本の発光体70において1つの発光素子71のみが点灯し、各座標表示板72が同時に点灯することがなくなり、誤認のおそれがない。
【0051】
座標表示板72は、各発光素子71の面がガラス基板3の表面に対して所定の傾斜角、例えば略45°に形成されているので、ホルダ2の傾きによってガラス基板3が所定の角度θ(=30〜45°)に傾斜したり揺動しても、発光素子71の点灯が明確に確認でき、この点灯位置をガラス基板3の面上の欠陥部分に一致させることができる。
発光体70は、ホルダ2の上下端の方向に設けられているので、マクロ観察時にマクロ照明が発光体70により遮られ影になることがなく、かつホルバ2が傾斜しても、各発光素子71は常に検査者側に向くことになり、発光素子71の点灯位置を明確に確認できる。
【0052】
そのうえ、発光素子71の発光色は、ガラス基板3面上においてマクロ照明と識別できる例えば赤色又は青色などを用いるので、発光素子71の点灯位置が明瞭に認識できる。
そのうえ、座標表示板72の発光素子71の発光制御は、電気的な点灯制御なので、欠陥部分の検出時の機械的な遅れは生じない。
又、発光体70において発光素子71の発光範囲を規制するリミットReを設定するので、ガラス基板3のサイズに応じてリミットReを可変設定できると共に、このリミットReの発光範囲内で発光素子71の発光位置を往復移動でき、無駄な発光位置の走査をせずに、操作性を向上できる。
【0053】
発光体70のX軸方向に対する移動範囲も各センサ30,31によって規制でき、発光体70をX軸方向に無駄に移動させることがない。
又、ミクロ観察時には、発光体70を退避溝90内に退避するので、発光体70が観察ユニット50に衝突することがない。
第1〜第nの座標表示板72の各駆動回路73は、各発光素子71を点灯制御して発光素子71の点灯チェックを行うので、第1〜第nの座標表示板72において不良の発光素子71を検出できる。自動的に点灯チェックを行った結果は、エラー情報eとして上位パーソナルコンピュータ80に知らせるので、不良の発光素子71を有する座標指標板72のID番号と、当該座標指標板72における発光素子71の位置とにより第1〜第nの座標表示板72の点灯管理などができる。
【0054】
駆動パルス発生器81から送出されるモータドライバ85へのX軸方向駆動パルスと制御基板84へのY軸方向駆動パルスとは互いに同一のパルス信号であるので、制御基板84へのY軸方向駆動パルスをモータ駆動に用いることもできる。従って、従来モータ駆動だったY軸方向を、制御基板84及び座標指標板72に交換するだけの簡単な作業で座標指標板72を用いたY軸方向の表示に代えられる。
【0055】
なお、本発明は、上記一実施の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
例えば、上記一実施の形態においては、複数の発光素子71は一列に配列したが、図12に示すように複数の発光素子71を二列に配列し、かつこれら各列の発光素子71の配置位置を互いに発光素子71の半分づつずらして配置してもよい。この発光素子71の配置位置によりガラス基板3面上の欠陥部分の座標を発光素子71の2分の1の分解能に向上できる。
発光素子71の点灯制御方法は、1個の発光素子71の点灯と、図13に示すように互いに隣接する2個の発光素子71の点灯とを組み合わせて行うことにより、ガラス基板3面上の欠陥部分の座標を発光素子71の2分の1の分解能で行ってもよい。
【0056】
発光素子71の発光色は、図14に示すように赤色と青色との発光ダイオードを交互に配列して,発光素子71の発光位置を分かり易くしてもよい。又、複数配列された発光素子71のうち例えば所定個数例えば10個ごとに赤色の発光素子71を設けてもよい。これにより、発光素子71の発光位置が視覚により認識できる。
又、複数の発光素子71を用いるのに限らず、液晶表示器をバー状に形成して用いても良いし、発光素子71の配置はX軸方向でもY軸方向のいずれの方向でもよい。
【0057】
【産業上の利用可能性】
本発明は、例えば液晶ディスプレイや有機ELディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ(FPD)に用いられるガラス基板などの半導体ガラス基板の表面欠陥検査時に用いられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態である座標検出装置を適用した基板検査装置の斜視図。
【図2】基板検査装置の側面図。
【図3】本発明の一実施の形態である座標検出装置の構成図。
【図4】座標表示板の構成図。
【図5】複数の座標表示板を直列接続した場合の位置認識作用を説明するための図。
【図6】座標表示板の実装面を示す側面図。
【図7A】座標表示板の他の実装面を示す側面図。
【図7B】座標表示板の他の実装面を示す側面図。
【図8】発光体の制御駆動系を示す構成図。
【図9】発光体における発光素子の発光範囲のリミット設定を示す図。
【図10】発光体の退避溝内の退避を示す図。
【図11】発光素子列の点灯作用を示す図。
【図12】発光素子列の二列配置を示す図。
【図13】発光素子列の点灯制御方法の他の例を示す図。
【図14】発光素子の発光色の変形例を示す図。
【図15】座標検出装置の構成図。
Claims (13)
- 被検体を保持するホルダと、
前記ホルダに保持された前記被検体の表面に近接し、複数の発光素子を直線状に配列した発光体と、
前記複数の発光素子を配列方向に点灯駆動する点灯駆動回路と、
前記発光体を前記複数の発光素子の直線状の配列方向に対して直交する方向に移動させる駆動部と、
前記点灯駆動回路に対して点灯位置情報を指定すると共に前記駆動部に対して移動位置情報を指定する座標指定操作部と、
前記座標指定操作部からの前記点灯位置情報と前記移動位置情報とに基づいて前記点灯駆動回路と前記駆動部とをそれぞれ制御する各駆動信号を出力する制御部と、
前記被検体面の欠陥部に対応する前記発光素子の点灯停止位置情報と前記発光体の移動停止位置情報とから前記欠陥部の二次元座標を求める座標検出部と、
を具備したことを特徴とする座標検出装置。 - 前記座標指定操作部は、前記点灯駆動回路に対する前記点灯位置情報及び前記駆動部に対する前記移動位置情報を二次元座標情報として出力する二次元座標指定スイッチを有し、
前記制御部は、前記二次元座標指定スイッチから入力された前記二次元座標情報をX軸方向の前記駆動信号とY軸方向の前記駆動信号とに分離してそれぞれ前記点灯駆動回路と前記駆動部とに出力する、
ことを特徴とする請求項1記載の座標検出装置。 - 前記制御部から前記点灯駆動回路と前記駆動部とにそれぞれ出力される前記各駆動信号は、互いに同一のパルス信号であることを特徴とする請求項1又は2記載の座標検出装置。
- 前記座標検出部は、前記ホルダに保持された前記被検体の座標基準位置に前記発光体の座標原点を合わせる座標原点可変手段を有することを特徴とする請求項1記載の座標検出装置。
- 前記座標検出部により求めた前記欠陥部の二次元座標を登録する登録スイッチを有することを特徴とする請求項1記載の座標検出装置。
- 前記発光体は、前記複数の発光素子を直線状に配列した所定サイズの発光体ユニットを複数有し、これら発光体ユニットを接続してなることを特徴とする請求項1記載の座標検出装置。
- 前記複数の発光体ユニットは、当該各発光体ユニットにそれぞれ配列された前記複数の発光素子をそれぞれ点灯制御する複数の駆動制御回路を実装し、
前記複数の駆動制御回路は、それぞれ前記発光体ユニットにおける前記複数の発光素子に対して点灯駆動を許可する機能を有する、
ことを特徴とする請求項6記載の座標検出装置。 - 前記複数の駆動制御回路は、前記各発光体ユニット別にそれぞれ割り当てられた前記複数の発光素子の位置情報をID番号として認識する機能を有することを特徴とする請求項7記載の座標検出装置。
- 前記複数の駆動制御回路は、それぞれ前記各発光素子の点灯を自動的にチェックし、不点灯の前記発光素子を有する前記発光体ユニットに対応する前記ID番号と不点灯の前記発光素子の位置とを有するエラー情報を、送信する機能を有することを特徴とする請求項8記載の座標検出装置。
- 前記発光体は、前記複数の発光素子を二列に配列し、一方の列に配列された前記複数の発光素子の各間にそれぞれ他方の列の前記各発光素子を配列し、座標検出の分解能を前記複数の発光素子を一列に配列した場合と比較して2分の1にすることを特徴とする請求項1又は6記載の座標検出装置。
- 前記発光体は、前記複数の発光素子を一列に配列し、1つの前記発光素子の点灯と、互いに隣接する2つの前記発光素子の点灯との組み合わせにより、座標検出の分解能を1つの前記発光素子を点灯させる場合と比較して2分の1にすることを特徴とする請求項1又は6記載の座標検出装置。
- 前記発光体は、一列に配列された前記複数の発光素子のうち所定間隔毎に配置された前記発光素子の発光色を異ならせることを特徴とする請求項1記載の座標検出装置。
- 前記ホルダは、水平状態から所定の傾斜角度に回動する回動駆動部を有し、前記被検体に対して目視観察のためのマクロ照明光を上方から照射して前記被検体の欠陥部を検査するマクロ検査装置に備えられ、
前記発光体は、前記ホルダ上に前記被検体を挟んで平行に敷設された一対のガイドレール上に移動可能に設けた、
ことを特徴とする請求項1記載の座標検出装置。
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