JP2001264268A

JP2001264268A - 基板検査装置

Info

Publication number: JP2001264268A
Application number: JP2000074699A
Authority: JP
Inventors: Takaaki Onishi; 孝明大西
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2000-03-16
Filing date: 2000-03-16
Publication date: 2001-09-26

Abstract

(57)【要約】【課題】照明系と観察系とからなる反射光学系を省スペ
ースで構成すること。【解決手段】照明装置３から出射される照明光の光路上
及び画像読取装置４により取り込む反射光の光路上にそ
れぞれ光路偏向素子１８、１９を配置し、照明光の光路
上の光路偏向素子１８により液晶基板１の面に対して鉛
直方向に出射される照明光を液晶基板１の面に対して所
定の角度、例えば４５度で反射して液晶基板１の面に対
して斜めの角度で照射し、画像読取側の光路偏向素子１
９により液晶基板１からの反射光のうち液晶基板１の面
からの正反射光を液晶基板１の面に対して鉛直方向に折
り曲げて画像読取装置４に入射させるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばフラットパ
ネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板やカラーフィ
ルタ、半導体ウエハなどの検査対象に付着したごみ、
傷、むらやパターンの欠陥などを検査したり、パターン
などの形状を測定する基板検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５は液晶基板検査装置における照明系
と観察系との構成図である。検査対象である大型の液晶
基板１は、図示しないステージ上に載置され、このステ
ージの駆動により例えば矢印イ方向に移動可能となって
いる。この液晶基板１の上方には、装置本体のベースに
対して門型フレーム２が設けられている。このフレーム
２には、照明装置３と観察系としての画像読取装置４と
が設けられている。照明装置３は、例えば液晶基板１の
幅方向をカバーする長さのライン状の照明光を液晶基板
１の面上に照射するもので、光出射端５まで照明光を光
ファイバー６により伝送している。画像読取装置４は、
例えば液晶基板１の幅方向をカバーする長さのラインセ
ンサからなっている。そして、これら照明装置３と画像
読取装置４とは、それぞれ液晶基板１の面の鉛直方向に
対して例えば角度４５度の平面上に配置され、正反射光
学系を形成している。

【０００３】このような構成であれば、照明装置３から
照明光が出力され、かつ液晶基板１が矢印イ方向に所定
の速度で移動すると、照明光は液晶基板１の面上に角度
４５度で照射されると共に、画像読取装置４は、移動し
ている液晶基板１の面上に照射された照明光の角度と同
じ角度４５度で反射（正反射）する反射光による液晶基
板１の面上の画像を逐次取り込み、その画像信号を図示
しない画像処理ユニットに送る。この画像処理ユニット
は、画像読取装置４からの画像信号を取り込んで画像処
理し、液晶基板１上のごみ、傷、しみ、むら、配線の短
絡や断線などの欠陥検出やはパターンの線幅を測定す
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、検査対象と
なるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基
板サイズの大型化に伴い、検査対象と照明光源及び撮像
部との距離が大きくなる傾向にある。

【０００５】このような大型の液晶基板１に対応しよう
とすると、照明装置３側の入射光路長と画像読取装置４
側の出射光路長が液晶基板１の幅に比例して長くなり、
かつ入射光路と出射光路が液晶基板１の面に対して例え
ば角度４５度の平面上に配置されて正反射光学系を形成
しているために、液晶基板１の移動方向に広いスペース
を必要とする。このため、液晶基板１の移動領域から照
明装置３又は画像読取装置４がはみ出して装置全体が大
型化したり、基板搬送装置による液晶基板１の受け渡し
の際に、照明装置３又は画像読取装置４と干渉しないよ
うにステージの移動量を大きくしなければならない。さ
らに、液晶基板１に対してその上方から照明光（マクロ
照明）を照射し、検査員の目視により液晶基板１上のご
みや傷、しみ、むらなどを検査するマクロ検査がミクロ
検査と共に行われることがあるが、このマクロ照明ユニ
ットを取り付ける際には、照明装置３又は画像読取装置
４がマクロ照明による影にならないようにマクロ照明ユ
ニットを離して設ける必要があり、この場合にも広いス
ペースが必要になる。

【０００６】が取付けずらいものとなる。

【０００７】そこで本発明は、照明系と観察系とからな
る反射光学系を省スペースに構成できる基板検査装置を
提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載による本発
明は、検査対象を載置するステージと、このステージと
相対的に移動可能に設けられ、前記検査対象の相対移動
方向と直交する方向にライン照明光を、前記検査対象面
に対して所定の入射角度で照射させるライン照明手段
と、このライン照明手段のライン照明光の照射領域から
の反射光を所定の反射角度で取り込む撮像手段と、前記
ライン照明光の入射光路又は前記反射光路のうち少なく
とも一方の光路上に配置されて鉛直方向に光路を偏向す
る光路偏向素子とを備え、前記光路偏向素子の鉛直光路
上に前記ライン照明手段又は前記撮像手段を配置したこ
とを特徴とする基板検査装置である。

【０００９】請求項２記載による本発明は、請求項１記
載の基板検査装置において、前記光路偏向素子は、プリ
ズム又はミラーであることを特徴とする。

【００１０】請求項３記載による本発明は、請求項１記
載の基板検査装置において、前記ライン照明光の入射光
路の長手方向に沿ってそれぞれ前記光路偏向素子を配置
し、前記光路偏向素子の鉛直光路上に前記ライン照明手
段と前記撮像手段が干渉しない程度に離間して配置した
ことを特徴とする。

【００１１】

【発明の実施の形態】(1) 以下、本発明の第１の実施の
形態について図面を参照して説明する。なお、図５と同
一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略す
る。

【００１２】図１は本発明を適用したフラットパネルデ
ィスプレイ（ＦＰＤ）の一種である液晶ディスプレイの
液晶基板を検査する基板検査装置の構成図である。検査
対象である大型の液晶基板１は、ステージ１０上に載置
されている。このステージ１０は、ステージ駆動部１１
の駆動によって矢印イ方向に所定の速度で移動するもの
となっている。

【００１３】本装置本体のベースに取り付けられた門型
フレーム２には、ライン状の照明装置３及びラインセン
サからなる画像読取装置４が干渉しない程度に位置して
設けられている。照明装置３は、その光出射端５の照明
光軸が液晶基板１の面に対して鉛直方向になるようにフ
レーム２に対して設けられている。この照明装置３は、
光ファイバー６の一端にライン状の光出射端５を取付け
たもので、光ファイバー６の他端には照明光源１２が設
けられている。この照明光源１２は、光源制御部１３に
よって明るさが制御されるようになっている。

【００１４】画像読取装置４は、その観察光軸が液晶基
板１の面に対して鉛直方向となるようにフレーム２に対
して設けられている。なお、画像読取装置４の画像取込
口にはレンズ４ａが取付けられている。この画像読取装
置４は、取付け部材４ｂを介してフレーム２に設けられ
ており、この取付け部材４ｂにより上下方向（矢印ロ方
向）に調整可能となっている。この画像読取装置４から
出力される画像信号は、Ａ／Ｄ変換器１４によりディジ
タル画像データに変換されて画像処理ユニット１５に送
られている。

【００１５】この画像読取装置４の具体例を図２に示
す。画像読取装置４は、複数のラインセンサカメラ１７
をライン状に配列したものとなっている。これらライン
センサカメラ１７の画像取込口にはそれぞれレンズ１８
が取付けられている。これらラインセンサカメラ１７
は、例えば液晶基板１の幅方向の長さ又は走査幅をカバ
ーするだけの台数だけ配置されている。

【００１６】照明装置３の光出射端５から出射されるラ
イン照明光の照明光軸（入射光路）上及び画像読取装置
４の観察光軸（反射光路）上には、それぞれ光路偏向素
子１９、２０が配置されている。照明光軸上の光路偏向
素子１９は、液晶基板１の面に対して鉛直方向に出射さ
れる照明光を液晶基板１の面に対して所定の角度、例え
ば４５度で入射させるたるに照明光軸を折り曲げるもの
である。

【００１７】画像読取側の光路偏向素子２０は、液晶基
板１からの反射光のうち液晶基板１の面上に照射された
照明光の入射角度と同じ反射角度４５度で反射（正反
射）する反射光を液晶基板１の面に対して鉛直方向に折
り曲げて画像読取装置４に入射させるものである。この
光路偏向素子２０は、照明光の入射角に対するｎ次反射
光を液晶基板１の面に対して鉛直方向に折り曲げて画像
読取装置４に入射させることも可能である。

【００１８】これら光路偏向素子１９、２０は、入射光
軸を所定の角度に偏向可能な、例えばプリズム又はミラ
ーが使用可能で、本実施の形態では、上記の如く液晶基
板１の幅方向の長さをカバーする長さの三角柱状に形成
されたプリズムを使用している。又ミラーとしては、表
面を鏡面仕上げした板状ミラーの他に、底面で全反射さ
せる三角状のプリズムを使用可能である。この光路偏向
素子１９、２０は、複数に分割して配置することも可能
である。

【００１９】上記画像処理ユニット１５は、画像読取装
置４から出力された画像信号を取り込んで画像処理し、
液晶基板１上のごみ、傷、しみ、むら、配線の短絡や断
線などの欠陥を検査したり、又は液晶基板１の面に形成
された各種パターンの形状を測定する機能を有してい
る。

【００２０】メインパーソナルコンピュータ２１は、液
晶基板１に対する検査の一連の動作を制御するもので、
光源制御部１３に対して明るさ制御指令を発すると共
に、ステージ駆動部１１に対して駆動指令を発し、かつ
画像処理ユニット１５に対して画像処理指令を発する機
能を有している。

【００２１】次に、上記の如く構成された装置の作用に
ついて説明する。

【００２２】メインパーソナルコンピュータ２１は、液
晶基板１の全面に対する検査の一連の動作を制御するた
めに、光源制御部１３に対して明るさ制御指令を発する
と共に、ステージ駆動部１１に対して駆動指令を発し、
かつ画像処理ユニット１５に対して画像処理指令を発す
る。これにより、ステージ１０上に載置されている液晶
基板１は、ステージ駆動部１１の駆動により矢印イ方向
に所定の速度で移動する。

【００２３】この状態に、光源１２から発せられた照明
光は、光ファイバー６内を伝播して光出射端５に到達
し、この光出射端５からライン状の照明光が液晶基板１
の面に対して鉛直方向に出射される。この照明光は、光
路偏向素子１９に入射し、液晶基板１の面に対して所定
の角度、例えば４５度に偏向されて液晶基板１の面に対
して斜めの角度から照射される。

【００２４】この液晶基板１からの反射光のうち液晶基
板１の面上に照射された照明光の角度と同じ角度４５度
で反射（正反射）する反射光が光路偏向素子２０に入射
すると、液晶基板１の面で反射した反射光は、光路偏向
素子２０により液晶基板１の面に対して鉛直方向に折り
曲げられて画像読取装置４に入射する。

【００２５】この画像読取装置４は、移動している液晶
基板１の面上からの正反射光による液晶基板１の面上に
形成されている繰り返しパターンの画像を逐次取り込
み、その画像信号を画像処理ユニット１５に送る。

【００２６】この画像処理ユニット１５は、画像読取装
置４から出力された画像信号を取り込んで画像処理し、
液晶基板１の全面上のごみ、傷、しみ、むら、配線の短
絡や断線などの欠陥を検査する。又、この画像処理ユニ
ット１５は、ごみ、傷、しみ、むら、配線の短絡や断線
などの欠陥の位置やサイズの情報を得、この情報を基に
欠陥の数が規定値を超えたり、大きな欠陥が検出される
と、その液晶基板１をＮＧ（ノーグッド）判定する。

【００２７】このように上記第１の実施の形態において
は、照明装置３から出射される照明光の光路上及び画像
読取装置４により取り込む反射光の光路上にそれぞれ光
路偏向素子１９、２０を配置し、照明光の光路上の光路
偏向素子１９により液晶基板１の面に対して鉛直方向に
出射される照明光を液晶基板１の面に対して所定の角度
で照射し、画像読取側の光路偏向素子２０により液晶基
板１からの反射光の正反射光を液晶基板１の面に対して
鉛直方向に折り曲げて画像読取装置４に入射させるＵ字
形光路に構成したので、門型フレーム２の周辺を省スペ
ース化できる。これにより、装置全体を小型化でき、搬
送系の設計自由度が増し、基板搬送装置による液晶基板
１の搬送を容易に行える、さらに、液晶基板１に対して
上方からマクロ照明を照射し、検査員の目視により液晶
基板１上のごみや傷、しみ、むらなどを検査するための
マクロ照明ユニットを取付け易くなる。

【００２８】又、照明装置３、光路偏向素子１９、画像
読取装置４及び光路偏向素子２０をユニット化してフレ
ーム２に後付けできるように構成し、ユニットの組み立
て時に光軸調整をしておけば、納品時にユニットを組み
込む際には高さ調整するだけで簡単な作業でよい。

【００２９】(2) 次に、本発明の第２の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。なお、図１と同一部分に
は同一符号を付してその詳しい説明は省略する。

【００３０】図３は本発明を液晶基板を検査する基板検
査装置に適用した照明系と観察系とを示す構成図であ
る。照明装置３は、その光出射端５の照明光軸が液晶基
板１の面に対して所定の確度、例えば角度４５の方向に
照明光を出射するようにフレーム２に対して設けられて
いる。

【００３１】一方、画像読取装置４は、その観察光軸が
液晶基板１の面に対して鉛直方向となるようにフレーム
２に対して設けられている。画像読取装置４の観察光軸
上には、光路偏向素子２０が配置されている。この光路
偏向素子２０は、上記第１の実施の形態と同様に、液晶
基板１からの反射光のうち液晶基板１の面上に照射され
た照明光の入射角度と同じ反射角度４５度で反射（正反
射）する反射光を液晶基板１の面に対して鉛直方向に折
り曲げて画像読取装置４に入射させるものである。本実
施の形態では、光路偏向素子２０は三角柱状のプリズム
である。

【００３２】次に、上記の如く構成された装置の作用に
ついて説明する。

【００３３】上記メインパーソナルコンピュータ２１
は、液晶基板１に対する検査の一連の動作を制御するた
めに、光源制御部１３に対して明るさ制御指令を発する
と共に、ステージ駆動部１１に対して駆動指令を発し、
かつ画像処理ユニット１５に対して画像処理指令を発す
る。これにより、ステージ１０上に載置されている液晶
基板１は、ステージ駆動部１１の駆動により矢印イ方向
に所定の速度で移動する。

【００３４】この状態に、光源１２から発せられた照明
光は、光ファイバー６内を伝播して光出射端５に到達
し、この光出射端５から液晶基板１の面に対して例えば
角度４５度の方向に出射され、そのまま液晶基板１の面
に対して斜めの角度で照射される。

【００３５】この液晶基板１からの反射光のうち液晶基
板１の面上に照射された照明光の角度と同じ角度４５度
で反射（正反射）する反射光が光路偏向素子２０に入射
すると、液晶基板１の面で反射した反射光は、光路偏向
素子２０により液晶基板１の面に対して鉛直方向に折り
曲げられて画像読取装置４に入射する。

【００３６】この画像読取装置４は、移動している液晶
基板１の面上からの正反射光による液晶基板１の面上に
形成されている繰り返しパターンの画像を逐次取り込
み、その画像信号を画像処理ユニット１５に送る。

【００３７】この画像処理ユニット１５は、画像読取装
置４から出力された画像信号を取り込んで画像処理し、
液晶基板１の全面上のごみ、傷、しみ、むら、配線の短
絡や断線などの欠陥を検査する。又、この画像処理ユニ
ット１５は、ごみ、傷、しみ、むら、配線の短絡や断線
などの欠陥の位置やサイズの情報を得、この情報を基に
欠陥の数が規定値を超えたり、大きな欠陥が検出される
と、その液晶基板１をＮＧ判定する。

【００３８】このように上記第２の実施の形態において
は、画像読取装置４により取り込む反射光の光路上に光
路偏向素子２０を配置し、観察系を液晶基板１の面に対
して鉛直方向に折り曲げる構成としたので、門型アーム
２の観察系側を省スペース化できる。これにより、装置
全体を小型化でき、搬送系の設計自由度が増し、基板搬
送装置による液晶基板１の搬送を容易に行える。さら
に、液晶基板１に対して上方からマクロ照明光を照射
し、検査員の目視により液晶基板１上のごみや傷、し
み、むらなどを検査するためのマクロ照明ユニットを取
付け易くなる。

【００３９】又、照明装置３、画像読取装置４及び光路
偏向素子２０をユニット化してフレーム２に取付けるよ
うに構成すれば、納品時には高さ調整するだけで簡単な
作業でよい。

【００４０】(3) 次に、本発明の第３の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。なお、図１と同一部分に
は同一符号を付してその詳しい説明は省略する。

【００４１】図４は本発明を液晶基板を検査する基板検
査装置に適用した照明系と観察系とを示す構成図であ
る。照明装置３は、その光出射端５の照明光軸が液晶基
板１の面に対して鉛直方向になるように門型フレーム２
に対して設けられている。この照明装置３の光出射端５
から出射されるライン照明光の照明光軸上には、光路偏
向素子１９が配置されている。この光路偏向素子１９
は、液晶基板１の面に対して鉛直方向に出射される照明
光を液晶基板１の面に対して所定の角度、例えば４５度
で照射させるために照明光軸を折り曲げるものである。

【００４２】一方、画像読取装置４は、液晶基板１から
の反射光のうち照明光を入射したときの入射角度と同じ
反射角度４５度で反射（正反射）する正反射光軸面上に
取付け部材２２を介して門型フレーム２に設けられてい
る。この取付け部材２２は、液晶基板１からの正反射光
を取り込む角度に画像読取装置４を取付けると共に、画
像読取装置４を正反射光の光軸方向（矢印ハ方向）に移
動自在に設けると共に、画像読取装置４の光軸を中心に
回転（矢印ニ方向）自在に調整可能に設けられている。
又、取付け部材２２は、画像読取装置４を、正反射光を
取り込む角度の方向（矢印ハ方向）に対してそれぞれ直
角でかつ互いに直角な２つの方向（矢印ホ、ヘ方向）に
移動自在に調整可能に設けるものとなっている。

【００４３】次に、上記の如く構成された装置の作用に
ついて説明する。

【００４４】上記メインパーソナルコンピュータ２１
は、液晶基板１に対する検査の一連の動作を制御するた
めに、光源制御部１３に対して明るさ制御指令を発する
と共に、ステージ駆動部１１に対して駆動指令を発し、
かつ画像処理ユニット１５に対して画像処理指令を発す
る。これにより、ステージ１０上に載置されている液晶
基板１は、ステージ駆動部１１の駆動により矢印イ方向
に所定の速度で移動する。

【００４５】この状態に、光源１２から発せられた照明
光は、光ファイバー６内を伝播して光出射端５に到達
し、この光出射端５からライン状の照明光が液晶基板１
の面に対して鉛直方向に出射される。この照明光は、光
路偏向素子１９に入射し、液晶基板１の面に対して所定
の角度、例えば４５度に偏向されて液晶基板１の面に対
して斜めの角度から照射される。

【００４６】画像読取装置４は、移動している液晶基板
１の面上からの反射光のうち正反射光による液晶基板１
の面上に形成されている繰り返しパターンの画像を逐次
取り込み、その画像信号を画像処理ユニット１５に送
る。

【００４７】この画像処理ユニット１５は、画像読取装
置４から出力された画像信号を取り込んで画像処理し、
液晶基板１の全面上のごみ、傷、しみ、むら、配線の短
絡や断線などの欠陥を検査する。又、この画像処理ユニ
ット１５は、ごみ、傷、しみ、むら、配線の短絡や断線
などの欠陥の位置やサイズの情報を得、この情報を基に
欠陥の数が規定値を超えたり、大きな欠陥が検出される
と、その液晶基板１をＮＧ判定する。

【００４８】このように上記第３の実施の形態において
は、照明装置３から出射される照明光の光路上に光路偏
向素子１９を配置し、照明系を液晶基板１の面に対して
鉛直方向に折り曲げる構造としたので、門型フレーム２
の照明系側を省スペース化できる。これにより、上記第
２の実施の形態と同様の降下を得ることが出来る。

【００４９】さらに、画像読取装置４は、取付け部材２
２により正反射光を取り込む角度の方向に移動自在に設
けると共に、この方向を軸に回転自在に設けられ、かつ
正反射光を取り込む角度の方向に対してそれぞれ直角で
かつ互いに直角な２つの方向に移動自在に設けられてい
るので、液晶基板１からの正反射光の光路に正確に調整
して画像が鮮明となるところに画像読取装置４を調整で
きると共に、画像の取り込み角度を所望の角度に調整で
きる。

【００５０】なお、本発明は、上記第１乃至第３の実施
の形態に限定されるものでなく次の通りに変形してもよ
い。

【００５１】例えば、上記第１乃至第３の実施の形態で
は、液晶表示装置の液晶基板に対する検査に適用した例
について説明したが、これに限らずカラーフィルタ、素
ガラス、半導体ウエハなどの検査対象に付着したごみ、
傷、むらなどを検査するのにも適用できる。

【００５２】又、光路偏向素子は、プリズム又はミラー
に限らず、他の光学素子を用いて光路を入射光軸に対し
て出射光軸を所望の角度に偏向できるように光学系を形
成してもよい。

【００５３】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、照
明系と観察系とからなる反射光学系を省スペースに構成
できる基板検査装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる基板検査装置の第１の実施の形
態を示す構成図。

【図２】本発明に係わる基板検査装置の第１の実施の形
態における画像読取装置の具体的な構成図。

【図３】本発明に係わる基板検査装置の第２の実施の形
態における照明系と観察系との具体的な構成図。

【図４】本発明に係わる基板検査装置の第３の実施の形
態における照明系と観察系との具体的な構成図。

【図５】従来の液晶基板検査装置における照明系と観察
系との構成図。

【符号の説明】

１：液晶基板２：門型フレーム３：照明装置４：画像取込装置５：光出射端６：光ファイバー１０：ステージ１１：ステージ駆動部１２：照明光源１３：光源制御部１４：Ａ／Ｄ変換器１５：画像処理ユニット１６：ツインランプ１７：ラインセンサカメラ１８：マクロレンズ１９，２０：光路偏向素子２１：メインパーソナルコンピュータ２２：取付け部材

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０９Ｆ 9/00 ３５２Ｇ０９Ｆ 9/00 ３５２５Ｂ０４７Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｊ５Ｇ４３５Ｆターム(参考） 2F065 AA49 AA56 BB02 CC19 CC25 DD02 FF01 FF04 HH05 HH12 JJ02 JJ05 JJ08 JJ25 LL02 LL12 MM03 NN02 PP12 QQ03 QQ31 2G051 AA51 AA90 AB01 AB02 BB01 BB17 BB20 BC01 CA06 CB01 CC20 DA06 EA11 2H088 FA12 FA13 FA30 2H090 JC18 4M106 AA01 AA20 BA04 CA39 CA41 CA43 DB04 DB07 DB12 DB13 DB14 DB16 DB19 DH01 DH07 DH12 DH31 DH38 DH39 DH40 DJ04 DJ20 DJ27 DJ38 5B047 AA12 BA01 BB03 BC09 BC11 BC14 BC30 5G435 AA11 AA17 BB12 KK05 KK07 KK10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】検査対象を載置するステージと、このステージと相対的に移動可能に設けられ、前記検査
対象の相対移動方向と直交する方向にライン照明光を、
前記検査対象面に対して所定の入射角度で照射させるラ
イン照明手段と、このライン照明手段のライン照明光の照射領域からの反
射光を所定の反射角度で取り込む撮像手段と、前記ライン照明光の入射光路又は前記反射光路のうち少
なくとも一方の光路上に配置されて鉛直方向に光路を偏
向する光路偏向素子とを備え、前記光路偏向素子の鉛直光路上に前記ライン照明手段又
は前記撮像手段を配置したことを特徴とする基板検査装
置。
【請求項２】前記光路偏向素子は、プリズム又はミラ
ーであることを特徴とする請求項１記載の基板検査装
置。
【請求項３】前記ライン照明光の入射光路の長手方向
に沿ってそれぞれ前記光路偏向素子を配置し、前記光路
偏向素子の鉛直光路上に前記ライン照明手段と前記撮像
手段が干渉しない程度に離間して配置したことを特徴と
する請求項１記載の基板検査装置。