KR910016050A - 알루미늄막의 힐럭억제 방법 - Google Patents
알루미늄막의 힐럭억제 방법 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2(A)~(F)는 본 발명에 의한 알루미늄막의 힐럭 억제 공정순서도.
Claims (1)
- 필드산화막(1) 및 게이트(5)의 전면에 인터 레이어(2)을 접촉 마스크에 의하여 접촉 형성하는 공정과, 알루미늄막(3)을 증착하는 공정과, 산화막(4)을 증착하는 공정과, 알루미늄막(3)의 라인을 포토/식각 공정에 의하여 형성하는 산화막 패터닝 공정과, 알루미늄막(3) 상단부의 산화막(4)을 접촉 마스크에 의하여 형성하는 알루미늄막 패터닝 공정과, 표면 안정화막(6)을 전면에 증착하는 공정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 알루미늄막의 힐럭 억제 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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1990
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| KR0144140B1 (ko) | 1998-08-17 |
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