KR910020833A - 옥사이드 마스크에 의한 드라이 에칭 방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도 (A)∼(D)는 본 발명에 따른 드라이 에칭 공정 순서도.
Claims (1)
- 에치해야할 막(2)위에 옥사이드막(3)을 디포지션한후 포토레지스트(1)로 패턴 디파이닝 하는 공정과, 상기 공정후 포토레지스트(1)를 마스크로 사용하여 옥사이드막(3)을 에칭한후 포토레지스트(1)를 제거하는 공정과, 상기 공정후 옥사이드막(3)을 마스크로 사용하여 에칭해야할막(2)을 드라이 에칭하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 옥사이드 마스크에 의한 드라이 에칭 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900006664A KR910020833A (ko) | 1990-05-10 | 1990-05-10 | 옥사이드 마스크에 의한 드라이 에칭 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900006664A KR910020833A (ko) | 1990-05-10 | 1990-05-10 | 옥사이드 마스크에 의한 드라이 에칭 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR910020833A true KR910020833A (ko) | 1991-12-20 |
Family
ID=67482454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019900006664A KR910020833A (ko) | 1990-05-10 | 1990-05-10 | 옥사이드 마스크에 의한 드라이 에칭 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR910020833A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100433462B1 (ko) * | 2001-03-02 | 2004-05-31 | 엔이씨 엘씨디 테크놀로지스, 엘티디. | 패턴형성방법 및 이 패턴형성방법을 이용한액정표시장치의 제조방법 |
-
1990
- 1990-05-10 KR KR1019900006664A patent/KR910020833A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100433462B1 (ko) * | 2001-03-02 | 2004-05-31 | 엔이씨 엘씨디 테크놀로지스, 엘티디. | 패턴형성방법 및 이 패턴형성방법을 이용한액정표시장치의 제조방법 |
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