KR920022422A - 패턴 형성 방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도∼제3도는 제1실시예의 공정을 도시한 단면도.
Claims (1)
- 기체(基體)상에 레지스트패턴을 형성한 후, 전체면에 소정의 막을 형성하고, 상기 레지스트패턴을 가열처리에 의해 팽창시키고, 그 후 상기 레지스트패턴을 제거하여 상기 소정의 막을 패터닝하는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3100805A JPH04330727A (ja) | 1991-05-02 | 1991-05-02 | パターン形成方法 |
| JP91-100805 | 1991-05-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920022422A true KR920022422A (ko) | 1992-12-19 |
Family
ID=14283602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019920007014A KR920022422A (ko) | 1991-05-02 | 1992-04-25 | 패턴 형성 방법 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04330727A (ko) |
| KR (1) | KR920022422A (ko) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7067241B2 (en) * | 2002-05-08 | 2006-06-27 | Unaxis Balzers Aktiengesellschaft | Method for producing a unit having a three-dimensional surface patterning, and use of this method |
| KR100919636B1 (ko) * | 2005-06-30 | 2009-09-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | 리프트 오프를 이용한 패턴 형성 방법과 이를 이용한액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법 |
| CA2763142A1 (en) * | 2010-09-03 | 2012-03-03 | Tetrasun, Inc. | Fine line metallization of photovoltaic devices by partial lift-off of optical coatings |
-
1991
- 1991-05-02 JP JP3100805A patent/JPH04330727A/ja active Pending
-
1992
- 1992-04-25 KR KR1019920007014A patent/KR920022422A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04330727A (ja) | 1992-11-18 |
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