KR920010823A - 필드산화막 형성방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 공정단면도.
Claims (1)
- 기판위에 통상의 방법으로 초기산화막과 질화막을 각각 일정두께로 차례로 형성하는 단계, 질화막위에 감광제를 이용하여 필드 영역을 한정하고 필드영역의 질화막을 제거하는 단계, 질화막이 제거된 필드영역의 초기산화막위에 감광제를 이용하여 필드영역의 양 테두리의 일정부분만이 드러나도록 감광제 패턴을 형성한 후 질소이온을 주입하는 단계, 양 테두리에 질소이온이 주입된 필드영역에 산화를 행하여 필드산화막을 형성하는 단계가 차례로 포함됨을 특징으로 하는 필드산화막 형성방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900018274A KR930010728B1 (ko) | 1990-11-12 | 1990-11-12 | 필드산화막 형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900018274A KR930010728B1 (ko) | 1990-11-12 | 1990-11-12 | 필드산화막 형성방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920010823A true KR920010823A (ko) | 1992-06-27 |
| KR930010728B1 KR930010728B1 (ko) | 1993-11-08 |
Family
ID=19305910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019900018274A KR930010728B1 (ko) | 1990-11-12 | 1990-11-12 | 필드산화막 형성방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR930010728B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100226743B1 (ko) * | 1996-07-31 | 1999-10-15 | 구본준 | 소자 격리층 형성 방법 |
-
1990
- 1990-11-12 KR KR1019900018274A patent/KR930010728B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR930010728B1 (ko) | 1993-11-08 |
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