KR910020845A - 반도체 소자 접속창의 메탈 패턴 제조 방법 - Google Patents
반도체 소자 접속창의 메탈 패턴 제조 방법 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 이 발명에 따른 메탈 패턴 제조시 접속창 부분의 평면도이다.
Claims (1)
- 반도체 기판상의 여러가지 반도체 소자들을 형성시키는 공정과, 상기 반도체 소자의 형성시 접속창을 형성시키는 공정과, 각각의 반도체 소자들을 연결시키기 위하여 포토 마스킹 공정으로 패턴을 형성시킨후 메탈층을 도포시키는 메탈 도포 공정으로 되는 반도체 소자의 제조방법에 있어서, 상기 메탈 도포 공정층에 연결되는 넓은 메탈층에서 접속창 주위의 메탈이 부분적으로 제거되는 포토마스킹 공정이 포함되어 메탈층내에 부분공간층이 형성되게 한 반도체 소자 접속창의 메탈 패턴 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Applications Claiming Priority (1)
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| KR1019900006787A KR930001557B1 (ko) | 1990-05-12 | 1990-05-12 | 반도체 소자 접촉창의 메탈패턴 제조방법 |
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| KR930001557B1 KR930001557B1 (ko) | 1993-03-04 |
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ID=19298974
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| KR (1) | KR930001557B1 (ko) |
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1990
- 1990-05-12 KR KR1019900006787A patent/KR930001557B1/ko not_active IP Right Cessation
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|---|---|
| KR930001557B1 (ko) | 1993-03-04 |
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