KR910008789A - 금속층위의 감광제 제거방법 - Google Patents

금속층위의 감광제 제거방법 Download PDF

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KR910008789A KR1019890015373A KR890015373A KR910008789A KR 910008789 A KR910008789 A KR 910008789A KR 1019890015373 A KR1019890015373 A KR 1019890015373A KR 890015373 A KR890015373 A KR 890015373A KR 910008789 A KR910008789 A KR 910008789A
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Abstract

내용 없음

Description

금속층위의 감광제 제거방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 3 도는 본 발명의 P/R제거공정을 나타낸 도면.

Claims (1)

  1. 메탈 필름에서 원하는 패턴을 P/R을 이용하여 만든 후 불필요하게 된 P/R을 제거시키는 방법에 있어서, 베이크 공정과 자외선 커팅 및 메탈 에치후 P/R을 산소 플라즈마로 제거하기 전에 탈이온화된 물을 이용하여 P/R을 세척하고 스핀 드라이 공정을 거쳐 P/R 표면에 수분을 흡수시키므로 P/R을 제거시킬 수 있도록 함을 특징으로 하는 금속층 위의 감광제 제거방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890015373A 1989-10-25 1989-10-25 금속층위의 감광제 제거방법 KR920007337B1 (ko)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100839147B1 (ko) * 2002-04-15 2008-06-19 삼성전자주식회사 감광막 제거 방법 및 이를 위한 감광막 제거 시스템
KR101646961B1 (ko) 2015-10-28 2016-08-09 (주)동일기계 식품 이송기

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