KR960026627A - 다층막 폴리머 소자 제작방법 - Google Patents

다층막 폴리머 소자 제작방법 Download PDF

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이명현
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원용협
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양승택
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Abstract

본 발명은 폴리머를 입히는 단계; 상기 폴리머를 열처리하는 단계; 및 상기 폴리머의 표면을 이온식각하는 단계를 포하하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층 박막 폴리머 소자의 제작방법에 관한 것으로, 폴리머의 열처리 후 폴리머에 잔류하는 응력을 없애 균열핵을 제거할수 있어 양질의 다층 박막 폴리머 소자를 얻을 수 있는 효과가 된다.

Description

다층막 폴리머 소자 제작방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 폴리머 광소자 제작공정도, 제3도는 본 발명에 의해 제작된 폴리머 광소자의 사진.

Claims (3)

  1. 다층 박막 폴리머 소자의 제작방법에 있어서, 폴리머를 입히는 단계; 상기 폴리머를 열처리하는 단계; 및 상기 폴리머의 표면을 이온식각 하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층 박막 폴리머 소자의 제작방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 이온식각 가스 CHF3, CHF4, O2, He중 적어도 하나 이상 가스로 구성되는 것을 특징으로 하는 다층 박막 폴리머 소자의 제작방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 이온식각 가스는 CHF3, CHF4, O2, Ar중 적어도 하나 이상 가스로 구성되는 것을 특징으로 하는 다층 박막 폴리머 소자의 제작방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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