KR880001039A - 웨이퍼의 원심건조방법 및 장치 - Google Patents

웨이퍼의 원심건조방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

웨이퍼의 원심건조방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1A도는 웨이퍼 원심건조장치를 부분 절단하여 그 일반적 구성을 도시하는 사시도. 제1B도는 웨이퍼를 수용하는 크레이들을 도시하는 사시도. 제4도는 본 발명의 실시예를 도시하는 측면도.

Claims (13)

  1. 하나의 용기(4)를 구비하고, 용기(4)내에 회전가능하게 위치하여 회전중심축을 중심으로하여 회전할수 있는 로터(6)를 구비하며 로터(6)에 설치된 크레이들(5)을 구비하여, 크레이들(5)내에 설치되고, 웨이퍼(1)를 수납할 수 있게 되어 있는 캐리어(2)를 구비하며, 최소한 로터(6)가 회전하는 동안 상기 캐리어(2)는 로터(6)의 회전축에 대해 경사지게 웨이퍼(1)를 잡아주게 끔 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 원심건조 장치.
  2. 제1항에 있어서 상기 경사각(θ)은 2.5°내지 30°의 범위에 드는 것을 특징으로하는 웨이퍼의 원심건조 장치.
  3. 제1항에 있어서 크레이들(5)은 로터(6)의 회전축에 대해 직각으로된 회동축을 중심으로하여 회동가능하며, 상기 크레이들(5)은 제1위치와 제2위치사이에서 회동가능하며, 제1위치에서는 고정된 크레이들(5)내에 캐리어(2)를 로드하거나, 그로부터 언로드 할 수 있으며, 상기 제2위치에서는 크레이들(5)이 로터의 회전중 잡혀 있는 것을 특징으로하는 웨이퍼의 원심건조장치.
  4. 제3항에 있어서 캐리어(2)는 홈(3)에 웨이퍼(1)를 로드하거나 그로부터 언로드하기 위한 개구를 구비하며, 이 개구는 크레이들(5)이 제2위치에 있을 때 회전축을 향하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 원심건조장치.
  5. 제3항에 있어서 크레이들(5)이 제2위치에 있을 때, 로터(6)의 회전축에서 원심 방향으로 위치하는 웨이퍼(1)의 가장자리 부위를 반 정도 덮을 수 있게끔 홈(3)들이 연장하는 것을 특징으로하는 웨이퍼의 원심건조장치.
  6. 제3항에 있어서 캐리어(2)는 적층식으로 웨이퍼(1)를 수납하고, 웨이퍼(1)의 표면들은 적층방향에 대해 대체로 수직인 방향을 취하며, 적층방향은, 크레이들(5)이 제2위치에 있을 때, 로터(6)의 회전축에 대해 경사져 있는 것을 특징으로하는 웨이퍼의 원심건조장치.
  7. 제1항에 있어서 홈(3)들은 웨이퍼(1)의 두께에 대해 여유 간격을 갖는 것을 특징으로하는 웨이퍼의 원심건조장치.
  8. 제1항에 있어서 캐리어(2)는 개구를 구비하여 홈(3)에 웨이퍼(1)를 로드하거나 언로드 할 수 있게 하며, 이 개구는 로터(6)가 회전할 때 회전축 방향으로 향하는 것을 특징으로하는 웨이퍼의 원심건조장치.
  9. 제1항에 있어서 로터(6)가 회전할 때, 로터(6)의 회전축에서 원심방향에 위치하고 있는 웨어퍼(1)의 가장자리의 반 정도를 덮을 수 있게끔 홈(3)들은 각각 연장하는 것을 특징으로하는 웨이퍼의 원심건조장치.
  10. 제1항에 있어서 캐리어(2)는 적층식으로 웨이퍼(1)를 수납하며, 웨이퍼(1)의 표면들은 적층 방향에 대해 대체로 수직으로 향하며, 적층방향은 로터(6)가 회전할 때, 로터(6)의 회전축 방향에 대해 경사져 있는 것을 특징으로하는 웨이퍼의 원심건조장치.
  11. 대체로 수직인 하나의 축의 둘레로 회전가능한 로터(6)를 구비하며, 로터(6)에 설치되고 웨이퍼(1)를 수납하기 위한 홈(3)들을 갖는 캐리어(2)를 구비하며, 최소한 로터(6)의 회전중, 로터(6)의 회전축에 대해서 수직인 평면으로부터 경사진 각도로 웨이퍼(1)를 캐리어(2)가 잡고 있는 구성을 하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 원심건조장치.
  12. 회전에 의해 웨이퍼(1)에 원심력을 가하며 회전축에 대해 수직인 평면으로 부터 웨이퍼(1)의 표면은 경사져 있도록 웨이퍼(1)를 잡아주는 것을 특징으로하는 반도체 웨이퍼의 원심건조방법.
  13. 제12항에 있어서 경사각(θ)은 약 2.5°내지 30°의 범위내에 드는 것을 특징으로하는 웨이퍼의 원심건조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019870005934A 1986-06-12 1987-06-11 웨이퍼의 원심건조방법 및 장치 KR960000951B1 (ko)

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