JP2876458B2 - 遠心式基板乾燥装置 - Google Patents
遠心式基板乾燥装置Info
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- JP2876458B2 JP2876458B2 JP19384294A JP19384294A JP2876458B2 JP 2876458 B2 JP2876458 B2 JP 2876458B2 JP 19384294 A JP19384294 A JP 19384294A JP 19384294 A JP19384294 A JP 19384294A JP 2876458 B2 JP2876458 B2 JP 2876458B2
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- Japan
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ等の被処
理基板を収容するキャリアをロータに収容保持し、この
ロータを回転して遠心力により被処理基板の液切り乾燥
を行う遠心式基板乾燥装置に関し、特に回転軸を横軸と
した遠心式基板乾燥装置に関するものである。
理基板を収容するキャリアをロータに収容保持し、この
ロータを回転して遠心力により被処理基板の液切り乾燥
を行う遠心式基板乾燥装置に関し、特に回転軸を横軸と
した遠心式基板乾燥装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】このような遠心式基板乾燥装置として図
４に示すものが知られている。図４は遠心式基板乾燥装
置に具えられたロータの側断面図を示しており、ロータ
２６は半導体ウエハ等の被処理基板２７を複数枚収容す
るキャリア２８を載置するキャリア載置部２９と、この
キャリア載置部２９と対となりキャリア２８およびキャ
リア２８内の被処理基板２７を保持する可動基板保持部
材３０、３１を具えており、遠心式基板乾燥装置はこの
ロータ２６を高速回転し、回転による遠心力によって被
処理基板２７の付着する水滴を分離させ乾燥させるもの
である。
４に示すものが知られている。図４は遠心式基板乾燥装
置に具えられたロータの側断面図を示しており、ロータ
２６は半導体ウエハ等の被処理基板２７を複数枚収容す
るキャリア２８を載置するキャリア載置部２９と、この
キャリア載置部２９と対となりキャリア２８およびキャ
リア２８内の被処理基板２７を保持する可動基板保持部
材３０、３１を具えており、遠心式基板乾燥装置はこの
ロータ２６を高速回転し、回転による遠心力によって被
処理基板２７の付着する水滴を分離させ乾燥させるもの
である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな遠心式基板乾燥装置では、ロータの回転中にキャリ
アと被処理基板が擦れて少量の粉塵が発生したり、さら
に回転中の遠心力により被処理基板がキャリアに食い込
みキャリアが変形しまうといった問題が発生していた。
本発明の目的とするところは以上の問題を鑑み、被処理
基板とキャリアの摩擦による発塵を無くし、さらにキャ
リアの変形を押さえることの出来る遠心式基板乾燥装置
を提供することにある。
うな遠心式基板乾燥装置では、ロータの回転中にキャリ
アと被処理基板が擦れて少量の粉塵が発生したり、さら
に回転中の遠心力により被処理基板がキャリアに食い込
みキャリアが変形しまうといった問題が発生していた。
本発明の目的とするところは以上の問題を鑑み、被処理
基板とキャリアの摩擦による発塵を無くし、さらにキャ
リアの変形を押さえることの出来る遠心式基板乾燥装置
を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の遠心式基板乾燥
装置は、一対の側板と、この一対の側板間に架せられ被
処理基板を複数枚収容するキャリアを載置するキャリア
載置部と、前記一対の側板間に可動自在に架せられ、こ
れを閉じたときに前記キャリア載置部と対になりキャリ
アを保持するキャリア保持部とキャリアに収容された被
処理基板と当接する基板保持部を具えた可動基板保持部
材とを有するロータをその回転軸が水平方向となるよう
に設け、このロータを高速回転させて被処理基板の乾燥
をおこなう遠心式基板乾燥装置において、可動基板保持
部材の基板保持部と対になり被処理基板を挟持し被処理
基板をキャリアから離れた位置に保持する基板保持部材
を有することを特徴としている。
装置は、一対の側板と、この一対の側板間に架せられ被
処理基板を複数枚収容するキャリアを載置するキャリア
載置部と、前記一対の側板間に可動自在に架せられ、こ
れを閉じたときに前記キャリア載置部と対になりキャリ
アを保持するキャリア保持部とキャリアに収容された被
処理基板と当接する基板保持部を具えた可動基板保持部
材とを有するロータをその回転軸が水平方向となるよう
に設け、このロータを高速回転させて被処理基板の乾燥
をおこなう遠心式基板乾燥装置において、可動基板保持
部材の基板保持部と対になり被処理基板を挟持し被処理
基板をキャリアから離れた位置に保持する基板保持部材
を有することを特徴としている。
【０００５】
【作用】本発明の遠心式基板乾燥装置は、可動基板保持
部材を閉じたときに、キャリアをキャリア載置部と可動
基板保持部材のキャリア保持部とで保持し、被処理基板
を基板保持部材と可動基板保持部材の基板保持部とでキ
ャリアから離れた位置に保持する。これにより、ロータ
の回転中にキャリアと被処理基板が接触しないように出
来る。
部材を閉じたときに、キャリアをキャリア載置部と可動
基板保持部材のキャリア保持部とで保持し、被処理基板
を基板保持部材と可動基板保持部材の基板保持部とでキ
ャリアから離れた位置に保持する。これにより、ロータ
の回転中にキャリアと被処理基板が接触しないように出
来る。
【０００６】
【実施例】本発明の実施例を図より説明する。図１は本
発明の遠心式基板乾燥装置の正面断面図で、図２は第１
図のＡ−Ａ’断面図で、図３はキャリア装着時での遠心
式基板乾燥装置の側断面図である。
発明の遠心式基板乾燥装置の正面断面図で、図２は第１
図のＡ−Ａ’断面図で、図３はキャリア装着時での遠心
式基板乾燥装置の側断面図である。
【０００７】遠心式基板乾燥装置１は、内部にチャンバ
２を具えており、このチャンバ２上部には開閉自在のフ
タ３が、下部には排水口４が、内部には横軸受式のロー
タ５が設けられている。
２を具えており、このチャンバ２上部には開閉自在のフ
タ３が、下部には排水口４が、内部には横軸受式のロー
タ５が設けられている。
【０００８】ロータ５は複数枚の被処理基板６を平行に
並べて収容するキャリア７を収容保持するもので、一対
の側板８、９と、この側板８、９を連結するキャリア載
置部１０と複数のシャフト１１と、側板８、９間に回動
自在に架せられた回動軸１２、１３、１４と、回動軸１
２に固設された可動基板保持部材１５と、回動軸１３に
固設された可動基板保持部材１６と、回動軸１４に固設
され前記可動基板保持部材１５、１６を閉じた状態で固
定するのロック部材１７と、側板８、９の内側に位置し
シャフト１１に固設され、キャリア７の横方向の位置決
めをする内側板１８、１９とによってその概要を構成さ
れている。
並べて収容するキャリア７を収容保持するもので、一対
の側板８、９と、この側板８、９を連結するキャリア載
置部１０と複数のシャフト１１と、側板８、９間に回動
自在に架せられた回動軸１２、１３、１４と、回動軸１
２に固設された可動基板保持部材１５と、回動軸１３に
固設された可動基板保持部材１６と、回動軸１４に固設
され前記可動基板保持部材１５、１６を閉じた状態で固
定するのロック部材１７と、側板８、９の内側に位置し
シャフト１１に固設され、キャリア７の横方向の位置決
めをする内側板１８、１９とによってその概要を構成さ
れている。
【０００９】ロック部材１７と可動基板保持部材１５と
はテンションバー２０により連結され、可動基板保持部
材１５と可動基板保持部材１６とは連動杆２１で連結さ
れており、ロック部材１７を図３に示す状態から矢印Ａ
方向に回動すると、可動保持部材１５および可動保持部
材１６がこれに連動して、それぞれ矢印Ｂ、Ｃ方向に回
動し、図２に示すように可動基板保持部材１５の係合ピ
ン１５１が可動基板保持部材１６の係合面１６１と係合
するようになっている。
はテンションバー２０により連結され、可動基板保持部
材１５と可動基板保持部材１６とは連動杆２１で連結さ
れており、ロック部材１７を図３に示す状態から矢印Ａ
方向に回動すると、可動保持部材１５および可動保持部
材１６がこれに連動して、それぞれ矢印Ｂ、Ｃ方向に回
動し、図２に示すように可動基板保持部材１５の係合ピ
ン１５１が可動基板保持部材１６の係合面１６１と係合
するようになっている。
【００１０】さらにロック部材１７をテンションバー２
０の抵抗に抗して矢印Ａ方向に回動させ、ロック部材１
７の係合凹部１７１を可動基板保持部材１５の係合部１
５１に係合させると可動基板保持部材１５、１６が閉じ
た状態に維持されるようになっている。
０の抵抗に抗して矢印Ａ方向に回動させ、ロック部材１
７の係合凹部１７１を可動基板保持部材１５の係合部１
５１に係合させると可動基板保持部材１５、１６が閉じ
た状態に維持されるようになっている。
【００１１】また、可動基板保持部材１５、１６には、
これを閉じたときにキャリア７の上部に接するキャリア
保持部１５２、１６２と、被処理基板６の上部に接する
基板保持部１５３、１６３とが備えられている。
これを閉じたときにキャリア７の上部に接するキャリア
保持部１５２、１６２と、被処理基板６の上部に接する
基板保持部１５３、１６３とが備えられている。
【００１２】内側板１８、１９間には基板保持部材２
２、２３、２４、２５が架せられており、この基板保持
部材２２、２３、２４、２５は、キャリア載置板１０に
載置された状態のキャリア７に収容される被処理基板６
と接触し、図２に示すように可動基板保持部材１５、１
６を閉じたときに基板保持部１５３、１６３と合わせて
被処理基板６をキャリア７から離れた位置に保持してい
る。なお、この時のキャリア７は可動基板保持部材１
５、１６のキャリア保持部１５２、１６２と、キャリア
載置部１０と内側板１８、１９によって固定されてい
る。
２、２３、２４、２５が架せられており、この基板保持
部材２２、２３、２４、２５は、キャリア載置板１０に
載置された状態のキャリア７に収容される被処理基板６
と接触し、図２に示すように可動基板保持部材１５、１
６を閉じたときに基板保持部１５３、１６３と合わせて
被処理基板６をキャリア７から離れた位置に保持してい
る。なお、この時のキャリア７は可動基板保持部材１
５、１６のキャリア保持部１５２、１６２と、キャリア
載置部１０と内側板１８、１９によって固定されてい
る。
【００１３】この基板保持部材２２、２３、２４、２５
および可動基板保持部材１５、１６の基板保持部１５
３、１６３の材質としては、耐薬品性および摩耗による
発塵を抑えるため耐摩耗性を考慮すべきであり、さらに
簡単な形状でよいので加工性をあまり考慮する必要がな
いので、フッ素樹脂が適しており、さらにより固い材質
のものが適している。本実施例でもこれを使用してい
る。
および可動基板保持部材１５、１６の基板保持部１５
３、１６３の材質としては、耐薬品性および摩耗による
発塵を抑えるため耐摩耗性を考慮すべきであり、さらに
簡単な形状でよいので加工性をあまり考慮する必要がな
いので、フッ素樹脂が適しており、さらにより固い材質
のものが適している。本実施例でもこれを使用してい
る。
【００１４】次に、本実施例の作動について説明する。
まずキャリア７のロータ５への装着は、例えばロボット
アームによって行われ、このとき図３に示すようにフタ
３は開けられており、可動基板保持部材１５、１６は開
けられ、ロック部材１７は係合ピン１５１への係合を解
除した状態となっている。
まずキャリア７のロータ５への装着は、例えばロボット
アームによって行われ、このとき図３に示すようにフタ
３は開けられており、可動基板保持部材１５、１６は開
けられ、ロック部材１７は係合ピン１５１への係合を解
除した状態となっている。
【００１５】キャリア載置板１０にキャリア７が載置さ
れたら、ロック部材１７を回動させる。これに連動して
可動基板保持部材１５、１６も回動し、図２に示すよう
に可動基板保持部材１５、１６が閉じ、図示しないがロ
ック部材１７の係合凹部１７１が係合ピン１５１と係合
し、可動基板保持部材１５、１６のロックが行なわれ
る。
れたら、ロック部材１７を回動させる。これに連動して
可動基板保持部材１５、１６も回動し、図２に示すよう
に可動基板保持部材１５、１６が閉じ、図示しないがロ
ック部材１７の係合凹部１７１が係合ピン１５１と係合
し、可動基板保持部材１５、１６のロックが行なわれ
る。
【００１６】キャリア７がロータ５内に固定され、フタ
３が閉じられたら、ロータ５を高速回転させ被処理基板
２０の乾燥処理がされる。このとき図２に示すようにキ
ャリア７はキャリア載置板１０と可動基板保持部材１
５、１６のキャリア保持部１５２、１６２とによって、
被処理基板６は基板保持部材２２、２３、２４、２５と
可動基板保持部材１５、１６の基板保持部１５３、１６
３とによってそれぞれロータ５内に保持されいるので、
ロータ回転中に被処理基板６とキャリア７とが接触する
ことがなくなっている。
３が閉じられたら、ロータ５を高速回転させ被処理基板
２０の乾燥処理がされる。このとき図２に示すようにキ
ャリア７はキャリア載置板１０と可動基板保持部材１
５、１６のキャリア保持部１５２、１６２とによって、
被処理基板６は基板保持部材２２、２３、２４、２５と
可動基板保持部材１５、１６の基板保持部１５３、１６
３とによってそれぞれロータ５内に保持されいるので、
ロータ回転中に被処理基板６とキャリア７とが接触する
ことがなくなっている。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、簡単な構成で被処理基
板とキャリアとを離した位置に保持することができ、こ
れによってロータ回転中に被処理基板とキャリアとが接
触することがなくなり、被処理基板とキャリアの摩擦に
よる発塵を無くし、さらに回転中に被処理基板がキャリ
アに食い込むことがない遠心式基板乾燥装置を提供する
ことができる。
板とキャリアとを離した位置に保持することができ、こ
れによってロータ回転中に被処理基板とキャリアとが接
触することがなくなり、被処理基板とキャリアの摩擦に
よる発塵を無くし、さらに回転中に被処理基板がキャリ
アに食い込むことがない遠心式基板乾燥装置を提供する
ことができる。
【図１】本実施例の遠心式基板乾燥装置の正面断面図
【図２】図１のＡ−Ａ’断面図
【図３】キャリア装着時での遠心式基板乾燥装置の側断
面図
面図
【図４】従来の遠心式基板乾燥装置のロータの側断面図
１ 遠心式基板乾燥装置 ２ チャンバ ５ ロータ ６ 被処理基板 ７ キャリア １０ キャリア載置部 １５、１６ 可動基板保持部材 １５２、１６２ キャリア保持部 １５３、１６３ 基板保持部 ２２、２３、２４、２５ 基板保持部材
Claims (1)
- 【請求項１】 一対の側板と、この一対の側板間に架せ
られ被処理基板を複数枚収容するキャリアを載置するキ
ャリア載置部と、前記一対の側板間に可動自在に架せら
れ、これを閉じたときに前記キャリア載置部と対になり
キャリアを保持するキャリア保持部とキャリアに収容さ
れた被処理基板と当接する基板保持部を具えた可動基板
保持部材とを有するロータをその回転軸が水平方向とな
るように設け、このロータを高速回転させて被処理基板
の乾燥をおこなう遠心式基板乾燥装置において、可動基
板保持部材の基板保持部と対になり被処理基板を挟持し
被処理基板をキャリアから離れた位置に保持する基板保
持部材を有することを特徴とする遠心式基板乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19384294A JP2876458B2 (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | 遠心式基板乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19384294A JP2876458B2 (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | 遠心式基板乾燥装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0845895A JPH0845895A (ja) | 1996-02-16 |
| JP2876458B2 true JP2876458B2 (ja) | 1999-03-31 |
Family
ID=16314653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19384294A Expired - Fee Related JP2876458B2 (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | 遠心式基板乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2876458B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6370791B1 (en) * | 2000-03-10 | 2002-04-16 | Semitool, Inc. | Processing machine with lockdown rotor |
-
1994
- 1994-07-27 JP JP19384294A patent/JP2876458B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0845895A (ja) | 1996-02-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19981117 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |