JP2876444B2 - 遠心式基板乾燥装置 - Google Patents
遠心式基板乾燥装置Info
- Publication number
- JP2876444B2 JP2876444B2 JP34357292A JP34357292A JP2876444B2 JP 2876444 B2 JP2876444 B2 JP 2876444B2 JP 34357292 A JP34357292 A JP 34357292A JP 34357292 A JP34357292 A JP 34357292A JP 2876444 B2 JP2876444 B2 JP 2876444B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate holding
- movable
- movable substrate
- holding member
- rotor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体基板等の被処理
基板の液切り乾燥を行う、遠心式基板乾燥装置に関する
ものである。
基板の液切り乾燥を行う、遠心式基板乾燥装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の遠心式基板乾燥装置として、特開
平６０−５９７４０号公報が知られている。この遠心式
基板乾燥装置は、縦軸心で高速回転するロ−タに複数枚
の基板を収容したキャリアを複数個収容しロ−タの回転
による遠心力で洗浄液を分離させるものである。
平６０−５９７４０号公報が知られている。この遠心式
基板乾燥装置は、縦軸心で高速回転するロ−タに複数枚
の基板を収容したキャリアを複数個収容しロ−タの回転
による遠心力で洗浄液を分離させるものである。
【０００３】又、この縦軸心のロ−タに替わるものとし
て図５、図６に示す横軸心のロ−タによる遠心式基板乾
燥装置が提案されている。
て図５、図６に示す横軸心のロ−タによる遠心式基板乾
燥装置が提案されている。
【０００４】この基板乾燥装置４６は、チャンバ４７内
のロ−タ４８をその軸の一端に設けられたモ−タ４９に
よって高速回転させ、このロ−タ４８内に備えられるキ
ャリア５０、５１に複数枚収容する被処理基板５２の水
滴を分離させるものである。
のロ−タ４８をその軸の一端に設けられたモ−タ４９に
よって高速回転させ、このロ−タ４８内に備えられるキ
ャリア５０、５１に複数枚収容する被処理基板５２の水
滴を分離させるものである。
【０００５】ロ−タ４８には一対の可動基板保持部材５
３、５４がシャフト５５、５６に揺動自在に設けられて
おり、この可動基板保持部材５３、５４を連動杆５７で
連結し、ロック部材５８と可動基板保持部材５３の係合
ピン５９に係合することで、可動基板保持部材５３、５
４を閉じた状態に維持し、キャリア５０、５１をロータ
４８内に保持している。
３、５４がシャフト５５、５６に揺動自在に設けられて
おり、この可動基板保持部材５３、５４を連動杆５７で
連結し、ロック部材５８と可動基板保持部材５３の係合
ピン５９に係合することで、可動基板保持部材５３、５
４を閉じた状態に維持し、キャリア５０、５１をロータ
４８内に保持している。
【０００６】このロック部材５８は軸６０に固定され、
軸６０はロータ４８に対して回転するように設けられて
おり、ロック部材５８と可動基板保持部材５４とをテン
ションバー６１によって連結することで、軸６０を回動
すればロック部材５８が回動し、これに連動して可動基
板保持部材５３、５４が揺動し開閉するようにしてあ
る。
軸６０はロータ４８に対して回転するように設けられて
おり、ロック部材５８と可動基板保持部材５４とをテン
ションバー６１によって連結することで、軸６０を回動
すればロック部材５８が回動し、これに連動して可動基
板保持部材５３、５４が揺動し開閉するようにしてあ
る。
【０００７】なお、本装置はテンションバー６１の弾性
を利用して、可動基板保持部材５３、５４を閉じロック
部材５８を係合ピン５９に係合させた状態を保つように
している。
を利用して、可動基板保持部材５３、５４を閉じロック
部材５８を係合ピン５９に係合させた状態を保つように
している。
【０００８】開閉蓋６２はチャンバ４７の開閉を行うも
ので、キャリア５０、５１の取り付け取り外しのときは
これを開き、ロ−タ４８の回転時はこれを閉じる。又、
排水口６３は、ロ−タ４８の回転によって分離された水
滴を外部に排出するためのものである。
ので、キャリア５０、５１の取り付け取り外しのときは
これを開き、ロ−タ４８の回転時はこれを閉じる。又、
排水口６３は、ロ−タ４８の回転によって分離された水
滴を外部に排出するためのものである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な従来の遠心式基板乾燥装置では、一方の可動基板保持
部材５３は係合ピン５９をロック部材５８に係合させ閉
じた状態を維持しているが、他方の可動基板保持部材５
４は、連動杆５７およびテンションバー５７を介して閉
じた状態を維持しているので、若干のがたが発生してし
まった。
な従来の遠心式基板乾燥装置では、一方の可動基板保持
部材５３は係合ピン５９をロック部材５８に係合させ閉
じた状態を維持しているが、他方の可動基板保持部材５
４は、連動杆５７およびテンションバー５７を介して閉
じた状態を維持しているので、若干のがたが発生してし
まった。
【００１０】またロ−タ４８の回転による遠心力や振動
の影響により、このがたが大きくなると、基板が回転中
にロータ内で振動して粉砕したり、ロック部材が外れる
原因となっていた。
の影響により、このがたが大きくなると、基板が回転中
にロータ内で振動して粉砕したり、ロック部材が外れる
原因となっていた。
【００１１】このような遠心式基板乾燥装置で上記問題
を解決するためには、両方の基板保持部材をそれぞれ別
のロック部材での止めたりすることでも行えるが構成が
複雑になる欠点があった。
を解決するためには、両方の基板保持部材をそれぞれ別
のロック部材での止めたりすることでも行えるが構成が
複雑になる欠点があった。
【００１２】本発明の目的は、簡単な構成でロータの回
転時に被処理基板のロータ内への保持状態が解除される
ことのない遠心式基板乾燥装置を提供することにある。
転時に被処理基板のロータ内への保持状態が解除される
ことのない遠心式基板乾燥装置を提供することにある。
【００１３】 本発明の特徴とするところは、第１に複
数の被処理基板を並列に収容するキャリアを載置し、か
つ二つの可動基板保持部材を揺動自在に備え、この二個
の可動保持部材を閉じることでキャリアと被処理基板を
自体に保持するロータを有し、このロータを回転し被処
理基板の乾燥を行う遠心式基板乾燥装置において、二個
の可動基板保持部材の揺動を連動させる連動手段と、一
方の可動基板保持部材と係合して可動基板保持部材を閉
じた状態に固定するロック部材とを有し、二個の可動基
板保持部材を閉じたとき、この二個の可動基板保持部材
を係合状態とする係合部材を、夫々の可動基板保持部材
に対となるべく設けたことにある。
数の被処理基板を並列に収容するキャリアを載置し、か
つ二つの可動基板保持部材を揺動自在に備え、この二個
の可動保持部材を閉じることでキャリアと被処理基板を
自体に保持するロータを有し、このロータを回転し被処
理基板の乾燥を行う遠心式基板乾燥装置において、二個
の可動基板保持部材の揺動を連動させる連動手段と、一
方の可動基板保持部材と係合して可動基板保持部材を閉
じた状態に固定するロック部材とを有し、二個の可動基
板保持部材を閉じたとき、この二個の可動基板保持部材
を係合状態とする係合部材を、夫々の可動基板保持部材
に対となるべく設けたことにある。
【００１４】 第２に、複数の被処理基板を並列に収容
し、かつ二個の可動基板保持部材を揺動自在に備え、こ
の二個の可動保持部材を閉じることで被処理基板を自体
に保持するロータを有し、このロータを回転し被処理基
板の乾燥を行う遠心式基板乾燥装置において、二個の可
動基板保持部材の揺動を連動させる連動手段と、一方の
可動基板保持部材と係合して可動基板保持部材を閉じた
状態に固定するロック部材とを有し、二個の可動基板保
持部材を閉じたとき、この二個の可動基板保持部材を係
合状態とする係合部材を、夫々の可動基板保持部材に対
となるべく設けたことにある。さらに第１と第２の遠心
式基板乾燥装置において、一方の可動基板保持部材の係
合部材を凸ピンとし、他方の可動基板保持部材の係合部
材を凹形状とし、さらにロック部材を一方の可動基板保
持部材の凸ピンと係合させることが望ましい。
し、かつ二個の可動基板保持部材を揺動自在に備え、こ
の二個の可動保持部材を閉じることで被処理基板を自体
に保持するロータを有し、このロータを回転し被処理基
板の乾燥を行う遠心式基板乾燥装置において、二個の可
動基板保持部材の揺動を連動させる連動手段と、一方の
可動基板保持部材と係合して可動基板保持部材を閉じた
状態に固定するロック部材とを有し、二個の可動基板保
持部材を閉じたとき、この二個の可動基板保持部材を係
合状態とする係合部材を、夫々の可動基板保持部材に対
となるべく設けたことにある。さらに第１と第２の遠心
式基板乾燥装置において、一方の可動基板保持部材の係
合部材を凸ピンとし、他方の可動基板保持部材の係合部
材を凹形状とし、さらにロック部材を一方の可動基板保
持部材の凸ピンと係合させることが望ましい。
【００１５】
【実施例】本発明の実施例を図をもとに説明する。図１
は遠心式基板乾燥装置の正面断面図で、図２は図１にお
ける同装置を右方向から見た側部断面図で、図３は図２
の一部拡大図である。
は遠心式基板乾燥装置の正面断面図で、図２は図１にお
ける同装置を右方向から見た側部断面図で、図３は図２
の一部拡大図である。
【００１６】遠心式基板乾燥装置１は、チャンバ２上部
に開閉自在のフタ３を設け、下部に排水口４を設け、内
部に横軸受式のロータ５を設けている。
に開閉自在のフタ３を設け、下部に排水口４を設け、内
部に横軸受式のロータ５を設けている。
【００１７】 このロータ５は一対の側板６、７をキャ
リア載置板８と複数のシャフト９、１０、１１、１２、
１３、１４とで連結し、軸１５を回動自在に設け、側板
６、７の内側に内側板１６、１７を設け、側板６と内側
板１６との間に軸１８を側板７と内側板１７との間に軸
１９を架せたもので、さらに複数枚の被処理基板２０を
平行に並べて収容するキャリア２１、２２をキャリア載
置板８に載置するようになっている。
リア載置板８と複数のシャフト９、１０、１１、１２、
１３、１４とで連結し、軸１５を回動自在に設け、側板
６、７の内側に内側板１６、１７を設け、側板６と内側
板１６との間に軸１８を側板７と内側板１７との間に軸
１９を架せたもので、さらに複数枚の被処理基板２０を
平行に並べて収容するキャリア２１、２２をキャリア載
置板８に載置するようになっている。
【００１８】可動基板保持部材２３、２４はそれぞれシ
ャフト１３、１４に揺動自在に設けられており、この可
動基板保持部材２３と２４とを連動杆２５で連結するこ
とで、両者を連動させ開閉可能としている。そして可動
基板保持部材２３、２４にはこれを閉じたときにキャリ
ア２１、２２の上部を保持するキャリア保持杆２６、２
７と、被処理基板２０を保持する基板保持杆２８、２９
とが備えられている。
ャフト１３、１４に揺動自在に設けられており、この可
動基板保持部材２３と２４とを連動杆２５で連結するこ
とで、両者を連動させ開閉可能としている。そして可動
基板保持部材２３、２４にはこれを閉じたときにキャリ
ア２１、２２の上部を保持するキャリア保持杆２６、２
７と、被処理基板２０を保持する基板保持杆２８、２９
とが備えられている。
【００１９】 また可動基板保持部材２４には後述する
ロック部材３３と係合する係合ピン３０が設けられ、可
動基板保持部材２３にはこの係合ピン３０と係合させる
ため一部を切欠いた係合部３１が設けられており、この
係合ピン３０の位置は、シャフト１３、１４の中間点に
ある。
ロック部材３３と係合する係合ピン３０が設けられ、可
動基板保持部材２３にはこの係合ピン３０と係合させる
ため一部を切欠いた係合部３１が設けられており、この
係合ピン３０の位置は、シャフト１３、１４の中間点に
ある。
【００２０】ロック部材３３は軸１９に揺動自在に設け
られ、可動基板保持部材２４の係合ピン３０と係合させ
るため一部を切欠いた係合部３４が設けられている。こ
のロック部材３３はその軸１９を、ロータの回転軸中心
と、係合部３４を係合ピン３０に係合したときの接点と
を結ぶ直線の延長線上に位置させている。
られ、可動基板保持部材２４の係合ピン３０と係合させ
るため一部を切欠いた係合部３４が設けられている。こ
のロック部材３３はその軸１９を、ロータの回転軸中心
と、係合部３４を係合ピン３０に係合したときの接点と
を結ぶ直線の延長線上に位置させている。
【００２１】軸１５は側板６、７および内側板１６、１
７に対し回動するように備えられており、この軸１５に
は揺動杆３５、３６と、この軸１５を回動させるための
操作杆３７が固定されている。
７に対し回動するように備えられており、この軸１５に
は揺動杆３５、３６と、この軸１５を回動させるための
操作杆３７が固定されている。
【００２２】この揺動杆３６には可動基板保持部材２４
と連結するテンションバー３８とロック部材３３と連結
する連動杆３９を設けており、前記操作杆３７を操作す
ることで、揺動杆３６が回転し、可動基板保持部材２
３、２４の開閉と、ロック部材３３の係合ピン３０への
係合とその解除が行える。
と連結するテンションバー３８とロック部材３３と連結
する連動杆３９を設けており、前記操作杆３７を操作す
ることで、揺動杆３６が回転し、可動基板保持部材２
３、２４の開閉と、ロック部材３３の係合ピン３０への
係合とその解除が行える。
【００２３】図２は可動基板保持部材２３、２４を閉
じ、ロック部材３３の係合部３４を係合ピン３０に係合
させた状態である。この状態はテンションバー３８の弾
性を利用して拘束されている。なおモータ４０はロータ
５を回転させる駆動源である。
じ、ロック部材３３の係合部３４を係合ピン３０に係合
させた状態である。この状態はテンションバー３８の弾
性を利用して拘束されている。なおモータ４０はロータ
５を回転させる駆動源である。
【００２４】次に本実施例の動作について説明する。ま
ずキャリア２１、２２のロ−タ５への装着は、例えばロ
ボットアームによって行われ、このときフタ３は開けら
れており、図３に示すように可動基板保持部材２３、２
４は開けられ、ロック部材３３は係合ピン３０への係合
を解除した状態としてある。
ずキャリア２１、２２のロ−タ５への装着は、例えばロ
ボットアームによって行われ、このときフタ３は開けら
れており、図３に示すように可動基板保持部材２３、２
４は開けられ、ロック部材３３は係合ピン３０への係合
を解除した状態としてある。
【００２５】キャリア載置板８にキャリア２１、２２が
載置されたら、操作杆３７を回動させる。これにより揺
動杆３６が図３において左回転し、その回転に従ってロ
ック部材３３はいったん右回転した後、左回転し、可動
基板保持部材２４は左回転し、連動杆２５を介して可動
基板保持部材２３は右回転する。
載置されたら、操作杆３７を回動させる。これにより揺
動杆３６が図３において左回転し、その回転に従ってロ
ック部材３３はいったん右回転した後、左回転し、可動
基板保持部材２４は左回転し、連動杆２５を介して可動
基板保持部材２３は右回転する。
【００２６】この動きは、まず可動基板保持部材２３、
２４のキャリア保持杆２６、２７がキャリア２１、２２
と接し、可動基板保持部材２３、２４が停止する。この
とき係合ピン３０と係合部３１とは係合している。
２４のキャリア保持杆２６、２７がキャリア２１、２２
と接し、可動基板保持部材２３、２４が停止する。この
とき係合ピン３０と係合部３１とは係合している。
【００２７】この可動基板保持部材２３、２４の停止は
揺動杆３６の回転を停止させようとするが、テンション
バー３８が弾性変形することで、揺動杆３６は停止する
ことなく回転する。このテンションバー３８の弾性変形
は揺動杆３６のデッドポイントを越えるまで揺動杆３６
の回転の抵抗となるが、これを越えると一気にロック部
材３３が係合ピン３０と係合するまで揺動杆３６は回転
する。
揺動杆３６の回転を停止させようとするが、テンション
バー３８が弾性変形することで、揺動杆３６は停止する
ことなく回転する。このテンションバー３８の弾性変形
は揺動杆３６のデッドポイントを越えるまで揺動杆３６
の回転の抵抗となるが、これを越えると一気にロック部
材３３が係合ピン３０と係合するまで揺動杆３６は回転
する。
【００２８】このようにしてキャリア２１、２２のロー
タ５への保持と、可動基板保持部材２３、２４のロック
が行えたら、フタ３を閉じ、ロータ５を高速回転させ被
処理基板２０の乾燥処理がされる。
タ５への保持と、可動基板保持部材２３、２４のロック
が行えたら、フタ３を閉じ、ロータ５を高速回転させ被
処理基板２０の乾燥処理がされる。
【００２９】この回転によって生じる遠心力により可動
揺動基板２３、２４は開こうとするが、可動基板保持部
材２４に設けられた係合ピン３０に、可動基板保持部材
２３の係合部３１と、ロック部材３３の係合部３４を係
合することで、二個の可動基板保持部材２３、２４を一
つのロック部材３３で確実に固定維持することができる
とともに、ロータ５の回転中にロック部材３３は二個の
可動基板保持部材２３、２４の遠心力による力を受ける
ので、係合ピン３０と係合部３４の接点での摩擦力が大
きくなり、ロック部材３３が外れにくくなる。
揺動基板２３、２４は開こうとするが、可動基板保持部
材２４に設けられた係合ピン３０に、可動基板保持部材
２３の係合部３１と、ロック部材３３の係合部３４を係
合することで、二個の可動基板保持部材２３、２４を一
つのロック部材３３で確実に固定維持することができる
とともに、ロータ５の回転中にロック部材３３は二個の
可動基板保持部材２３、２４の遠心力による力を受ける
ので、係合ピン３０と係合部３４の接点での摩擦力が大
きくなり、ロック部材３３が外れにくくなる。
【００３０】またロータ５の回転による遠心力および振
動によりテンションバー３８が振動しても揺動杆３６と
連動杆３９とを介することで直接ロック部材３３に伝わ
ることがなく、ロック部材３３が外れないようにしてあ
る。
動によりテンションバー３８が振動しても揺動杆３６と
連動杆３９とを介することで直接ロック部材３３に伝わ
ることがなく、ロック部材３３が外れないようにしてあ
る。
【００３１】なお、本実施例において可動基板保持部材
をロックする機構を、図１を右方向より見た側面図をも
とに説明しているが、ロータ３の左部にもロック部材３
２および図示しない同様の機構を設けており、両方設け
ることで可動基板保持部材２３、２４の両端部をロック
することができ、可動基板保持部材２３、２４がねじれ
ないので、キャリア２１、２２および被処理基板２０を
確実に保持することができる。
をロックする機構を、図１を右方向より見た側面図をも
とに説明しているが、ロータ３の左部にもロック部材３
２および図示しない同様の機構を設けており、両方設け
ることで可動基板保持部材２３、２４の両端部をロック
することができ、可動基板保持部材２３、２４がねじれ
ないので、キャリア２１、２２および被処理基板２０を
確実に保持することができる。
【００３２】図４は本発明の他の実施例を示すもので、
被処理基板２０を直接ロータ５内に保持するものであ
る。被処理基板２０は、被処理基板２０の収容枚数分の
保持用の溝が切られた基板保持部材４１、４２、４３に
直接載置し、可動基板保持部材４４、４５を閉じ保持す
るものである。
被処理基板２０を直接ロータ５内に保持するものであ
る。被処理基板２０は、被処理基板２０の収容枚数分の
保持用の溝が切られた基板保持部材４１、４２、４３に
直接載置し、可動基板保持部材４４、４５を閉じ保持す
るものである。
【００３３】なお、この二つの実施例では、図２および
図４の左側の可動基板保持部材の係合凸部である係合ピ
ンに右側の可動基板保持部材の係合部を係合している
が、逆に左側の可動基板保持部材に係合ピンを設け右側
の可動基板保持部材をこれに係合しても良い。
図４の左側の可動基板保持部材の係合凸部である係合ピ
ンに右側の可動基板保持部材の係合部を係合している
が、逆に左側の可動基板保持部材に係合ピンを設け右側
の可動基板保持部材をこれに係合しても良い。
【００３４】また二つの実施例では、二個の可動基板保
持部材を係合するための係合ピンにロック部材の係合部
を直接係合しその構成を簡単にしているが、どちらか一
方の可動基板保持部材にロック部材と係合する係合凸部
を別に設けても良い。
持部材を係合するための係合ピンにロック部材の係合部
を直接係合しその構成を簡単にしているが、どちらか一
方の可動基板保持部材にロック部材と係合する係合凸部
を別に設けても良い。
【００３５】
【発明の効果】 本発明によれば、二個の可動基板保持
部材を閉じ、ロック部材で一方の可動基板保持部を閉じ
た状態にロックしたときに、二個の可動基板保持部材の
夫々に対となり設けられた係合部材によって、二個の可
動基板保持部材が係合するので、ロータが高速回転中で
あってロック部材でロックしない他方の可動基板保持部
材も確実に閉じた状態に保持することができ、さらにこ
の他方の可動基板保持部材を閉じた状態に保持できるこ
とのによって、二個の可動基板保持部材の連動手段に回
転中の振動や負荷を伝えないようにすることができ、こ
の連動手段の変形やがたを低減させ長期間良好な開閉作
動が行える遠心式基板乾燥装置を提供できる。
部材を閉じ、ロック部材で一方の可動基板保持部を閉じ
た状態にロックしたときに、二個の可動基板保持部材の
夫々に対となり設けられた係合部材によって、二個の可
動基板保持部材が係合するので、ロータが高速回転中で
あってロック部材でロックしない他方の可動基板保持部
材も確実に閉じた状態に保持することができ、さらにこ
の他方の可動基板保持部材を閉じた状態に保持できるこ
とのによって、二個の可動基板保持部材の連動手段に回
転中の振動や負荷を伝えないようにすることができ、こ
の連動手段の変形やがたを低減させ長期間良好な開閉作
動が行える遠心式基板乾燥装置を提供できる。
【図１】第１の実施例における遠心式基板乾燥装置の正
面断面図
面断面図
【図２】図１の遠心式基板乾燥装置の右方向から見た側
部断面図
部断面図
【図３】図２の一部拡大図
【図４】第２の実施例における遠心式基板乾燥装置の側
部断面図
部断面図
【図５】従来の遠心式基板乾燥装置の正面断面図
【図６】従来の遠心式基板乾燥装置の側部断面図
１ 遠心式基板乾燥装置 ２ チャンバ ５ ロータ １９ 被処理基板 ２１、２２キャリア ２３、２４、４４、４５ 可動基板保持部材 ２５ 連動杆 ３０ 係合ピン ３１ 係合部 ３３ ロック部材 ３４ 係合部 ３６ 揺動杆 ３８ テンションバー ３９ 連動杆
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/304 F26B 11/04
Claims (3)
- 【請求項１】 複数の被処理基板を並列に収容するキャ
リアを載置し、かつ二つの可動基板保持部材を揺動自在
に備え、この二個の可動保持部材を閉じることでキャリ
アと被処理基板を自体に保持するロータを有し、このロ
ータを回転し被処理基板の乾燥を行う遠心式基板乾燥装
置において、 二個の可動基板保持部材の揺動を連動させる連動手段
と、 一方の可動基板保持部材と係合して可動基板保持部材を
閉じた状態に固定するロック部材とを有し、 二個の可動基板保持部材を閉じたとき、この二個の可動
基板保持部材を係合状態とする係合部材を、夫々の可動
基板保持部材に対となるべく 設けたことを特徴とする遠
心式基板乾燥装置 - 【請求項２】 複数の被処理基板を並列に収容し、かつ
二個の可動基板保持部材を揺動自在に備え、この二個の
可動保持部材を閉じることで被処理基板を自体に保持す
るロータを有し、このロータを回転し被処理基板の乾燥
を行う遠心式基板乾燥装置において、 二個の可動基板保持部材の揺動を連動させる連動手段
と、 一方の可動基板保持部材と係合して可動基板保持部材を
閉じた状態に固定するロック部材とを有し、 二個の可動基板保持部材を閉じたとき、この二個の可動
基板保持部材を係合状態とする係合部材を、夫々の可動
基板保持部材に対となるべく 設けたことを特徴とする遠
心式基板乾燥装置 - 【請求項３】 一方の可動基板保持部材の係合部材を凸
ピンとし、他方の可動基板保持部材の係合部材を凹形状
とし、さらにロック部材を一方の可動基板保持部材の凸
ピンと係合させることを特徴とする請求項１および請求
項２に記載の遠心式基板乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34357292A JP2876444B2 (ja) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | 遠心式基板乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34357292A JP2876444B2 (ja) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | 遠心式基板乾燥装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06177112A JPH06177112A (ja) | 1994-06-24 |
| JP2876444B2 true JP2876444B2 (ja) | 1999-03-31 |
Family
ID=18362564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34357292A Expired - Fee Related JP2876444B2 (ja) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | 遠心式基板乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2876444B2 (ja) |
-
1992
- 1992-12-01 JP JP34357292A patent/JP2876444B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06177112A (ja) | 1994-06-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH05175321A (ja) | 板状物収納容器およびその蓋開口装置 | |
| JPH08181098A (ja) | 基板ホルダ | |
| US4987687A (en) | Rotary wafer drier | |
| JP2876444B2 (ja) | 遠心式基板乾燥装置 | |
| JP2876443B2 (ja) | 遠心式基板乾燥装置 | |
| JP2663492B2 (ja) | 基板の回転式表面処理装置 | |
| JP2876445B2 (ja) | 遠心式基板乾燥装置 | |
| JP3550385B2 (ja) | 回転乾燥装置におけるウエハ保持機構 | |
| JPH0845895A (ja) | 遠心式基板乾燥装置 | |
| JPH10101108A (ja) | 蓋のロック機構 | |
| JP2003014529A (ja) | ホッパ及びそれを備えた計量装置 | |
| KR20210092444A (ko) | 스피드 게이트 구동장치 및 링크들의 힌지결합구조 | |
| KR950009781B1 (ko) | 광 디스크 플레이어의 열림방지구조를 갖는 도어(Door)장치 | |
| JPH08334809A (ja) | フィルター出入れ機構及び該フィルター出入れ機構を有する光学機器 | |
| KR100211667B1 (ko) | 반도체 제조용 공정챔버의 도어 개폐장치 | |
| JPH0817784A (ja) | 回転式ワーク乾燥機におけるワークのクランプ装置 | |
| KR920003449Y1 (ko) | 팩시밀리의 스켄어박스 개폐용 링크에 의한 리미트 스위치 구동장치 | |
| JP3653860B2 (ja) | 蓋ロック装置 | |
| EP0668600B1 (en) | Operating device for circuit breakers | |
| KR920003068Y1 (ko) | 콤팩트 디스크 8㎝/12㎝겸용 사용장치 | |
| JP2561727Y2 (ja) | ウエハ回転乾燥装置 | |
| JPH10202559A (ja) | ハンド装置 | |
| KR200370328Y1 (ko) | 스탠더드 메커니컬 인터페이스 파드 | |
| JP3049467B2 (ja) | 遠心式基板乾燥装置 | |
| KR970007079Y1 (ko) | 웨이퍼 고정용 사이드 아암이 부착된 크래들 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19981117 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |