JP3049467B2 - 遠心式基板乾燥装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体基板（ウエハ）
等の基板の液切り乾燥を行う、遠心式基板乾燥装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】このような遠心基板乾燥装置としては、
実開平５−２３５３０号公報に記載されているものが知
られている。この遠心式基板乾燥装置の概略は、複数枚
のウエハを一対の基板保持部材と可動基板保持杆によっ
てキャリアレスで、回転軸を水平（横）としたロータに
保持し、このロータを高速回転して遠心力によって水滴
をウエハより分離させ乾燥させるものである。そしてこ
のキャリアレスの遠心式基板乾燥装置において、図８に
示すような一部に位置決めのためのオリエンテーション
・フラット（以下オリフラという）２５の面を有するウ
エハ２２を使用するためには、ウエハ搬入時にウエハ２
２を傾きを矯正するための整列部材２４が設けられてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】さらにこのようなキャ
リアレスの遠心式基板乾燥装置では、基板保持部材２３
と可動基板保持部材２１のそれぞれに溝を設けることで
直接ウエハを整列保持しているが、ウエハを保持すると
きにウエハにストレスを与えないため若干の余裕をもっ
て保持しているので、ロータを回転させると図５に示す
ようにウエハ２２がこの回転に連れ回りロータ内で回転
し、ウエハのオリフラ２５が整列部材２４に接触し、そ
の反動でウエハ２２が可動基板保持部材２１（図中左
側）および整列部材２４の溝に食い込んでしまい、ウエ
ハ２２の破損や、最悪はその食い込みによって可動基板
保持部材２１が開かないようになっていた。

【０００４】本発明の目的とするところは、以上の問題
を鑑み、ウエハ２２の整列部材２４や可動基板保持部材
２１への食い込みや、ウエハ２２の破損を防ぐことので
きる遠心式基板乾燥装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の遠心式基板乾燥
装置は、円周の一部にオリエンテーション・フラットの
部分を有したウエハを複数枚保持する複数の基板保持部
材と、この基板保持部材に対向して基板保持部材と共に
ウエハを保持すると共に自体は移動自在に架せられ、基
板保持部材とは非対向位置に移動させたときにウエハ搬
入搬出の開口部を形成する可動基板保持部材と、この可
動基板保持部材による開口部と対向した位置にウエハの
オリエンテーション・フラットの傾きを矯正するウエハ
の整列部材とを備えたロータを高速回転させウエハの乾
燥をおこなう遠心式基板乾燥装置であって、前記基板保
持部材と可動保持部材のそれぞれに備えられた溝によ
り、ロータ内にウエハを整列かつ若干の遊嵌状態で保持
する遠心式基板乾燥装置において、前記可動基板保持部
材を移動させウエハをロータ内に保持させた状態で、可
動基板保持部材の溝の底部よりウエハに近い位置でウエ
ハの円周上に軽く接する弾性部材を可動基板保持部材の
長手方向に沿って設けたことを特徴とし、さらにその弾
性部材は可動基盤保持部材の溝と同じ間隔で複数個の溝
を設けたくし歯状に形成されており、その溝によって分
割された複数の先端部がそれぞれウエハの円周上に接す
るように可動保持部材に設けられていることが望まし
い。

【０００６】

【実施例】図１は遠心式基板乾燥装置のロータ部の正面
図で、図２は遠心式基板乾燥装置の側断面図で、図３は
ロータ内に保持されたウエハの状態図で、図４はウエハ
と弾性部材との状態を示す図である。

【０００７】遠心式基板乾燥装置１のチャンバ２内には
モータ４によって回転軸５に動力を受け回転するロータ
３が設けられている。このロータ３は、一対の側板６
と、複数のシャフト７によって概略が構成され、更に、
ウエハ８を前記ロータ３内に保持するために、一対の可
動基板保持部材９と一対の基板保持部材１０と整列部材
１１と一対の弾性部材１９を有している。

【０００８】 前記可動基板保持部材９は、複数枚のウ
エハ８を整列して保持できるように一定の間隔で溝１２
が設けられ、ロータ３に対して揺動自在に設けられた二
対の揺動板９０２にそれぞれ架せられている。また、こ
の揺動板９１を上方に向け回動させると、ロータ３の上
方部が開口されウエハ８を挿入できるようになってお
り、この揺動板９０２を閉じてフック１７をフックピン
１８に掛けると、揺動板９０２がロータ回転中に開かな
いようになっている。

【０００９】基板保持部材１０は、図示しないロボット
ハンドによって搬送されてくるウエハ８を最初に受けて
保持し、ウエハ８のロータ３内での位置決めを行うため
のものであり、可動基板保持部材９と同じ間隔で溝１３
を設けることで、複数枚のウエハ８を整列して保持でき
るようになっている。

【００１０】整列部材１１は、図示しないロボットハン
ドによってウエハ８のオリフラ１４の面が傾いた状態で
搬送されても、その傾いたオリフラ１４の面と接触して
この傾きを矯正し、ウエハ８をスムーズにロータ３内に
挿入させるためのものであり、可動基盤保持部材９や基
板保持部材１０と同様に溝１１１を設けてウエハ８を整
列して保持でき、図３に示すようにオリフラ１４が水平
にして可動基盤保持部材９と基盤保持部材１０とにより
保持されているなら、その底部１１２とオリフラ１４と
は接しないようになっている。

【００１１】弾性部材１９は、弾性を有し、かつ、ウエ
ハ８を傷付けない柔らかな材質が好ましく本実施例では
ゴムによって構成されており、図４に示すように可動基
板保持部材９の底部９０１よりウエハに近い位置で、こ
のウエハ８と軽く接するように可動基板保持部材９の長
手方向に沿って備えられており、この弾性部材１９が接
することでウエハ８がロータ３の回転に連れ回らないよ
うにしている。

【００１２】チャンバ２の下方部には排水口１５が開け
られており、ロータ３の回転によりウエハ８から分離さ
れた水滴はこの穴を通り外部に排出される。また開閉蓋
１６はチャンバ２の外周に沿って摺動するように設けら
れており、ウエハ８の装着および取りはずしのときは開
閉蓋１６を開き、ロータ３の回転時はこれを閉じるよう
にしてある。

【００１３】 次に、本実施例の作動について説明す
る。まず図示しないロボットハンドによってウエハ８は
オリフラ１４を下方にしてロータ内３に搬送される。ロ
ータ３にウエハ８が設置されたら、可動基板保持部材９
を閉じ、フック１７をフックピン１８に掛けてウエハ８
をロータ３内に保持する。このとき弾性部材１９がウエ
ハ８の円周上に接すると共に、弾性部材１９が弾性変形
することでウエハ８にストレスを与えないようにしてい
る。

【００１４】次に、開閉蓋１６を閉じ、モータ４を起動
させロータ３を回転させる。この回転によってウエハ８
に付着する水滴がウエハ８から分離される。ここでロー
タ３の回転にともなうウエハ８の連れ回りは、弾性部材
１９がウエハ８に接することで生じる抵抗によって防止
される。

【００１５】このように本実施例では、ロータ３を回転
させたときにウエハ８が連れ回ることがないので、オリ
フラ１４が整列部材１１に接触し、この反動による可動
基板保持部材９および整列部材１１の溝１２、１１１へ
の食い込みを防止することができる。

【００１６】図５から図７は、本発明の第２の実施例を
示すものであり、図５はロータ内に保持されたウエハの
状態図で、図６はウエハと弾性部材との状態を示す側断
面図で、図７はウエハと弾性部材との状態を正面から見
た拡大図である。

【００１７】本実施例の弾性部材２０は、その先端部２
０１がウエハ８に対して斜め方向に可動基板保持部材９
の底部９０１より先に接触するよう可動基板保持部材９
に固設されており、その先端部２０１はウエハ８と接す
ると倒れるように変形して弾性を示すもので、例えばプ
ラスチック等によって構成されている。

【００１８】また、この弾性部材２０は図７に示すよう
に、可動基板保持部材９の溝１２と同じ間隔で複数個の
溝２０２を設けたくし歯状の形状をしており、その溝２
０２によって分割された複数の先端部２０１がウエハ一
枚、一枚に対して確実に接するようになっている。

【００１９】なお、前記二つの実施例での弾性部材は可
動基板保持部材に設けられているので、この可動基板保
持部材の移動によってウエハに対して弾性部材を接触お
よび非接触とすることができ、弾性部材の移動のための
別途の構成を設ける必要がないといった効果が得られ
る。

【００２０】 しかしながらこの弾性部材を可動基板保
持部材とは別の位置に設けても良く、例えば基板保持部
材側に設けたり、可動基板保持部材及び基板保持部材と
は別の位置に設けても良い、ただし前者の場合は、ウエ
ハのオリフラの傾きの矯正作用の邪魔にならないようウ
エハのロータ内への搬入時にはウエハとは接触しない位
置に移動させる構成に、後者の場合はウエハのロータ内
への搬入搬出の邪魔にならないように移動させる構成と
しなければならない。

【００２１】なお、前記二つの実施例では弾性部材を二
つの可動基板保持部材のそれぞれに設けているが、どち
らか一方の可動基板保持部材だけに設けてもよい。また
可動基板保持部材が一つの構成であるならその可動基板
保持部材に設ければよい。

【００２２】

【発明の効果】基板保持部材と可動基板保持部材のそれ
ぞれに溝を設け、若干の余裕をもって直接ウエハを保持
するキャリアレスの遠心式基板乾燥装置において、可動
基板保持部材の溝の底部よりウエハに近い位置でウエハ
の円周上に軽く接する弾性部材を可動基板保持部材の長
手方向に沿って設けることで、ウエハにストレスを与え
ることなくロータ回転中のウエハ連れ回りを防止するこ
とができ、ウエハの可動基板保持部材や整列部材の溝へ
の食い込みや、ウエハの破損を防ぐことができる。さら
にこの弾性部材をくし歯状に形成することで、複数に分
割された先端部がウエハ１枚、１枚の円周上に確実に接
触させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】遠心式基板乾燥装置のロータ部の正面図

【図２】遠心式基板乾燥装置の側断面図

【図３】ロータ内に保持されたウエハの状態図

【図４】ウエハと弾性部材との状態を示す図である。

【図５】第２の実施例におけるロータ内に保持されたウ
エハの状態図

【図６】第２の実施例におけるウエハと弾性部材との状
態を示す側断面図

【図７】第２の実施例におけるウエハと弾性部材との状
態を正面から見た拡大図

【図８】従来の遠心式基板乾燥装置でのロータ内に保持
されたウエハの状態図

【符合の説明】

１ 遠心式基板乾燥装置 ３ ロータ ８ ウエハ ９ 可動基板保持部材 １０ 基板保持部材 １１ 整列部材 １４ オリエンテーション・フラット（オリフラ） １９ 弾性部材 ２０ 弾性部材 ２０１ 先端部 ２０２ 溝

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円周の一部にオリエンテーション・フラ
   ットの部分を有したウエハを複数枚保持する複数の基板
   保持部材と、この基板保持部材に対向して基板保持部材
   と共にウエハを保持すると共に自体は移動自在に架せら
   れ、基板保持部材とは非対向位置に移動させたときにウ
   エハ搬入搬出の開口部を形成する可動基板保持部材と、
   この可動基板保持部材による開口部と対向した位置にウ
   エハのオリエンテーション・フラットの傾きを矯正する
   ウエハの整列部材とを備えたロータを高速回転させウエ
   ハの乾燥をおこなう遠心式基板乾燥装置であって、前記
   基板保持部材と可動保持部材のそれぞれに備えられた溝
   により、ロータ内にウエハを整列かつ若干の遊嵌状態で
   保持する遠心式基板乾燥装置において、 前記可動基板保持部材を移動させウエハをロータ内に保
   持させた状態で、可動基板保持部材の溝の底部よりウエ
   ハに近い位置でウエハの円周上に軽く接する弾性部材を
   可動基板保持部材の長手方向に沿って設けたことを特徴
   とする遠心式基板乾燥装置。
2. 【請求項２】 弾性部材は可動基盤保持部材の溝と同じ
   間隔で複数個の溝を設けたくし歯状に形成されており、
   その溝によって分割された複数の先端部がそれぞれウエ
   ハの円周上に接するように可動保持部材に設けられてい
   ることを特徴とする請求項１に記載の遠心式基板乾燥装
   置。