JPS607487Y2 - ペレツト剥離装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は半導体装置の製造に使用されるペレット剥離装
置に関するものである。

トランジスタ等の半導体装置の製造は複数の半導体素子
と形成した半導体ウェーハ（以下単にウェーハと称す）
を伸縮性ねあるシート上に接着しておいて、ウェーハを
スクライブしてからローラでブレーキングして複数のペ
レットに分割したり、或はシートに接着させたウェーハ
を直接ダイシングして複数のペレットに分割しその後シ
ートからペレットを１個ずつ剥して次工程に供給するよ
うにしている。

このシートから１個ずつペレットを取出すために真空吸
着が用いられている。

ところで、スクライブやダイシングによってシート上で
ウェーハがずれないように、ウェーハをシートに強固に
接着しているため、分割されたペレットもシートに強固
に接着され、そのため真空吸着だけでペレットをシート
から引き剥すことは困難であった。

そこで従来のシートからペレットを強制的に剥すために
次にようなことを行っていた。

即ち、第１図及び第２図に示すようにシート１上に複数
のペレット２を整列したシートを張設し、シート１の下
方の定位置で上下動する１本の針３を配置し、この針３
とシート１を介して対向する真空吸着用のコレット４を
配置し、針３を上昇させて、所定位置のペレット２の下
面中央部を突き上げ、シート１から剥すようにしていた
。

このようにしてシート１から剥されたペレット２はコレ
ット４で吸着されて次工程に供給される。

その後、シート１を送り次のペレット２を針３の上方で
停止し、上記動作を繰返す。

ところが、ペレット２を針３で突き上げることによって
シート１から剥離したペレット２の方向が定まらず、た
めにペレット２が所定位置よりずれやすかった。

そのため吸着がうまくゆかなかったり、ペレットを位置
ずれしたまま次工程に供給することがあった。

本考案は上記従来の問題点に鑑み、提案されたものでこ
れを改良・除去したペレット剥離装置を提供する。

以下、本考案の一実施例を図面より説明する。

第３図及び第４図に於て、５は筒状体の周面一部を軸方
向に開口させた回転ドラム、６は回転ドラム５を支持し
、回転させる回筒軸、７は回転軸６の軸受、８は回転軸
６を介して回転ドラム５を間歇回転させるパルスモータ
、９は軸受７とパルスモータ−８を固定するスライド台
１０はスライド台９を回転軸６の軸方向にスライド自在
に支持する固定台、１１は固定台に固定され、スライド
台９を適宜間歇的にスライドさせるパルスモータ−であ
る。

前記回転ドラム５は周面の開口部ｍを覆うように、複数
のペレット２を接着したシート１をペレット２の横列方
向と回転軸６の軸方向とを一致させて、シート１の一端
を直接的に、他端をスプリング１４を介して装着してい
る。

又１２はこの開口部分ｍの中の定位置に上下調節自在に
配置された回転軸６の軸方向に長尺シート曲げ体である
。

つまり、回転ドラム５はシート１を保持する保持装置で
、シート１は回転ドラム５の開口部分ｍにシート曲げ体
１２で屈曲された状態で張設される。

上記シート曲げ体１２の先端部１３は回転ドラム５の中
心軸６と平行に配置され、この先端部１３はほぼシート
１の幅に相当する長さを有する。

そしてこの先端部１３の上面はペレット２の幅より若干
大きな幅の水平面１３ａと、水平面１３ａと所定の角度
をなすテーパ面１３ｂとで形成され、このテーパ面１３
ｂから水平面１３ａに沿ってシート１を移動させる。

またシート曲げ体１２上にはシート１を介して吸着用コ
レット４が配置されている。

次にこの動作を説明する。

まず第３図及び第４図に示すように、ペレット２から十
分に離れた位置のシート１をシート曲げ体１２で押圧す
るように、回転ドラム５の位置を決めておく。

而して、パルスモータ−８を作動させて回転ドラム５を
第４図に示すぬつに反時計方向に回転させる。

するとシート１はシート曲げ体１２の先端部１３上で曲
げられながら移動し、そして最前列のペレット２′が先
端部１３のテーパ面１３ｂ上から水平面１３ａ上に移る
時に、第３図に示すようにペレット２′の先の部分がシ
ート１から離れてシート１だけが曲げられる。

そして更にシート１を移動すると第６図に示すようにペ
レット２′は水並面１３ａ上のシート１上に再び載り、
この時ペレット２′はシート１からほとんど剥離された
状態となる。

これは横方向に並んだペレット全てが同時に剥離され、
水平面１３ａ上に載る。

モしてペレット２′が水平面１３ａ上にくると回転ドラ
ム５の回転を停止させ、次にパルスモータ−１１を作動
させて回転ドラム５を回転軸６の方向に適宜間歇移動さ
せ、水平面１３ａ上にあるペレット２′をコレット４で
順次取出す。

そして、この横列のペレット２′を全て取出すと、再び
回転ドラム５を反時計方向に定ピツチ回転させ、次の列
のペレット２′をシート１から一括して剥し、上記動作
ご繰り返す。

尚、本考案は上記実施例にのみ限定されることなく、例
えばシート１を固定した保持装置に保持し、シート曲げ
体１２を移動させるようにしてもよい。

またシート１が移動すると、シート１のペレット２の接
着されている面とシート曲げ体１２のあす角度が変化す
るが、この角度が一定となるようにシート１の移動と共
に保持装置又はシート曲げ体１２を傾斜させるようにし
てもよい。

またウェーハをスクライブしてブレーキングし個々のペ
レットに分割する場合は分割面がペレットの表面に対し
て傾斜しているため、第７図に示すように後列のペレッ
ト２″の分割面が前列のペレット２′の分割面に当らな
いようにペレットの向きを決めてシート１を回転ドラム
５を固定すればよい。

又、シート曲げ体１２の先端部１３の水平面１３ａでペ
レット２を安定に支持させてコレット４で取出すように
したが、例えば第８図及び第９図に示すように、シート
曲げ体１２の先端部１３′を鋭角状に設け、この先端部
１３′でシート１を曲げてペレット２を剥すと共に、剥
れたペレット２をシート１の曲げ部分の近傍に配置した
本行なステージ１５上に移行させるようにしてもよい。

またシート１のシート曲げ体１２による屈曲はペレット
２の寸法により適宜変えることができる。

以上説明したように、本考案によればシート上のペレッ
トはシート曲げ体によって屈曲され一列毎に一括してシ
ートから剥されるため、ペレットの剥離が確実で、且つ
剥離時に位置ズレを起す心配がなく、従って剥離された
ペレットを吸着コレットで吸着して取出す時に吸着ミス
がなくペレットの位置ずれを補正する必要がなく、作業
性が向上しインデックスの向上が図れる。

【図面の簡単な説明】

第１図はペレットを接着したシートの平面図、第２図は
従来のペレットの剥離を説明する要部断面図、第３図は
本考案によるペレット剥離装置の一例を示す斜視図、第
４図は第３凶夢部の拡大側断面図、第５図及び第６図は
本考案によるペレット剥離装置の動作を説明する要部拡
大断面図、第７図はシートの取付は例を説明する要部断
面図、第８図及び第９図はシート曲げ体の変形例を説明
する要部断面図である。 １・・・・・・シート、２．２’、２″・・・・・・ペ
レット、５・・・・・・保持装置、１２・・・・・・シ
ート曲げ体。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 複数のペレットを縦横に整列させて接着したシートの、
   ペレットの横列方向と平行する両端縁を保持する保持装
   置と、保持装置に保持されたシートの下方に位置したペ
   レットの横列方向と平行して配置した長尺のシート曲げ
   体とを具備し、上記保持体に保持されたシートをシート
   曲げ体で屈曲せ、その屈曲状態ご保って保持装置とシー
   ト曲げ体とをシート上のペレットの縦列方向に相対的に
   移動させ、ペレットを一列毎にシートから剥離するよう
   にしたことを特徴とするペレット剥離装置。