JPH0248202Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、平面研削盤で加工された薄板状の被
加工物を真空チヤツクから受出すための治具に係
り、特に、略鉛直な状態で真空チヤツクに保持さ
れた被加工物を損傷することなく受出すのに好適
な受出し治具に関する。

〔考案の背景〕

たとえば、シリコンウエハにように、硬脆材料
で形成された被加工物（以下、ウエハとして説明
する）を平面研削し取出す場合、第２図に示すよ
うに、吸着面が水平に配置された真空チヤツク１
上に載置され吸着穴２から噴出する水３によつて
浮上したウエハ４を、真空吸着部５を備えたアー
ム６で吸着保持し、真空チヤツク１から取出し
て、所定の位置へ移送している。

このような装置においては、多数の吸着穴２か
ら噴出する水３の圧力が不均一であつたり、吸着
穴２から水３を噴出させるタイミングと、アーム
６の動作タイミングが合わないと、ウエハ４に不
均一な力が作用して、ウエハ４を割ることがあ
る。またウエハ４の直径が大きくなると、ウエハ
４を真空チヤツク１から引き離す際に作用する水
３の表面張力によりウエハ４が割れることがあ
る。

さらに、ウエハ４の研削面の汚染を防止するた
め、真空チヤツク１の吸着面を鉛直に配置し、ウ
エハ４を鉛直に保持させた場合には、真空チヤツ
ク１やアーム６の動作タイミングを確実にあわせ
ておかないと、ウエハ４が落下してしまうなど、
ウエハ４を水平に保持した場合に比べ、さらに厳
しい条件が要求されるなどの欠点がある。

〔考案の目的〕

本考案の目的は、上記した従来技術の欠点をな
くし、吸着面が鉛直な真空チヤツクからウエハを
損傷することなく、確実に受出すことができるよ
うにした受出し治具を提供するにある。

〔考案の概要〕

上記の目的を達成するため、本考案において
は、一端に被加工物の一端を収容するコの字形の
溝が形成された受板と、この受板を固定し、真空
チヤツクの端面の下方に回転可能に配置され、受
板を、真空チヤツクに支持された被加工物と接す
る第１の位置と、真空チヤツクから被加工物を受
け取る第２の位置と、被加工物を水平にする第３
の位置に順次位置決めするように回転する回転軸
を設けたことを特徴とする。

〔実施例〕

以下本考案の一実施例を第１図に基づいて説明
する。

同図において、第２図と同じものは同じ符号を
付けて示してある。真空チヤツク１は水平軸を中
心として回転する回転テーブル７に固定され、回
転テーブル７の軸心部に形成された穴８を通して
真空圧あるいは水が供給される。受出し治具９
は、一端にコの字形の溝１０が形成された受板１
１と、この受板１１を支持する回転軸１２によつ
て構成される。この回転軸１２は、受板１１を、
真空チヤツク１に保持されたウエハ４に接する第
１の位置Ａと、受板１１が真空チヤツク１からウ
エハ４を受け取る第２の位置Ｃと、受け取つたウ
エハ４を水平にする第３の位置Ｂに順次位置決め
するように回転する。

上記の構成において、ウエハ４の研削が終了
し、回転テーブル７が停止すると、回転軸１２が
回転して、受板１１を位置Ａに移動させ、受板１
１をウエハ４に接触させる。すると、真空チヤツ
ク１に供給されていた真空圧が遮断され、真空チ
ヤツク１に水が供給される。すると、真空チヤツ
ク１の吸着穴２から水が噴出して、ウエハ４を受
板１１に押しつける。この状態で、回転軸１２が
回転して、受板１１を位置Ｃへ移動させる。この
時、ウエハ４は吸着穴２から噴出する水の圧力
で、受板１１に密着した状態で位置Ｃへ移動す
る。すると、真空チヤツク１とウエハ４の間隔が
広がるため、吸着穴２から噴出しウエハ４を押す
水の圧力が弱くなるため、ウエハ４が受板１１上
を滑つて一端が溝１０に収容される。また、水は
ウエハ４を洗うようにながれる。この状態で、回
転軸１２が回転して、受板１１を位置Ｂへ移動さ
せる。すると、ウエハ４も位置Ｂへ移動して、受
板１１に水平に保持される。

このようにして、ウエハ４を真空チヤツク１か
ら受けだすことができる。

上記の動作において、各動作のタイミングは、
１ステツプごとに順次設定すれば良いので、タイ
ミング設定が容易になる。

また、真空チヤツク１からウエハ４を引き離す
際には、ウエハ４の全面を受板１１で受けている
ので、吸着穴から噴出する水の圧力にばらつきが
あつても、ウエハ４を割ることはない。また、ウ
エハ４を斜めにして引き離すため、水の表面張力
の影響も少なくすることができ、大径のウエハ４
でも損傷させることなく受出すことができる。

なお、受板１１のウエハ４との接触面に、スポ
ンジなどの緩衝材を張付ければ、ウエハ４の損傷
を防止する効果を高めることができる。

〔考案の効果〕

以上述べた如く、本考案によれば、真空チヤツ
クに鉛直に保持された被加工物を損傷させること
なく、確実に受け渡すことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の一実施例を示す受出し治具
の側面断面図、第２図は、従来の受出し方法を示
す側面断面図である。 １……真空チヤツク、４……ウエハ、９……受
出し治具、１０……溝、１１……受板、１２……
回転軸。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空チヤツクに略鉛直に支持された薄板状の被
   加工物を真空チヤツクから受出すための治具であ
   つて、一端に被加工物の一端を収容するコの字形
   の溝が形成された受板と、この受板を固定し、真
   空チヤツクの端面の下方に回転可能に配置され、
   受板を、真空チヤツクに支持された被加工物と接
   する第１の位置と、真空チヤツクから被加工物を
   受け取る第２の位置と、被加工物を水平にする第
   ３の位置に順次位置決めするように回転する回転
   軸を設けたことを特徴とする被加工物の受出し治
   具。