JP2908408B2 - ワークのスピン乾燥方法 - Google Patents
ワークのスピン乾燥方法Info
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- JP2908408B2 JP2908408B2 JP3651298A JP3651298A JP2908408B2 JP 2908408 B2 JP2908408 B2 JP 2908408B2 JP 3651298 A JP3651298 A JP 3651298A JP 3651298 A JP3651298 A JP 3651298A JP 2908408 B2 JP2908408 B2 JP 2908408B2
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- Japan
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- work
- peripheral
- peripheral guide
- guide
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワークのスピン乾
燥方法に係り、特に、板状体ワークの枚葉式スピン乾燥
方法に関するものである。
燥方法に係り、特に、板状体ワークの枚葉式スピン乾燥
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、このような分野の技術としては、
例えば以下に示すようなものがあった。図４はかかる従
来の枚葉式スピン乾燥装置の円板状のワークチャック機
構の平面図、図５はそのＡ−Ａ線断面図である。
例えば以下に示すようなものがあった。図４はかかる従
来の枚葉式スピン乾燥装置の円板状のワークチャック機
構の平面図、図５はそのＡ−Ａ線断面図である。
【０００３】これらの図に示すように、１は主軸であ
り、この主軸１は駆動モータ（図示なし）に回転自在に
接続されており、主軸１の先端部にフランジ形テーブル
２が取り付けられ、このテーブル２上にワークガイド３
が取り付けられている。このワークガイド３上に円板状
の被乾燥物（ワーク）４が載置される。このワーク４
は、回転による遠心力で表面の水分が飛ばされ、乾燥さ
れる。本装置は、回転時に、バキューム力によってワー
ク４を吸着固定するか、又はワークガイド３に固定用の
爪等を設けることにより、ワーク４の飛び出しを防止す
るように構成されている。
り、この主軸１は駆動モータ（図示なし）に回転自在に
接続されており、主軸１の先端部にフランジ形テーブル
２が取り付けられ、このテーブル２上にワークガイド３
が取り付けられている。このワークガイド３上に円板状
の被乾燥物（ワーク）４が載置される。このワーク４
は、回転による遠心力で表面の水分が飛ばされ、乾燥さ
れる。本装置は、回転時に、バキューム力によってワー
ク４を吸着固定するか、又はワークガイド３に固定用の
爪等を設けることにより、ワーク４の飛び出しを防止す
るように構成されている。
【０００４】この種のスピン乾燥装置は、主にＩＣ組立
工程の中でダイシング後のウエハの乾燥に用いられるも
のであり、回転中にノズル（図示なし）により純水、Ｎ
2 等がワーク４の表面に吹きつけられ、後に３０００ｒ
ｐｍ以上の高速回転にて、表面に付着した水分を除去、
乾燥させる。
工程の中でダイシング後のウエハの乾燥に用いられるも
のであり、回転中にノズル（図示なし）により純水、Ｎ
2 等がワーク４の表面に吹きつけられ、後に３０００ｒ
ｐｍ以上の高速回転にて、表面に付着した水分を除去、
乾燥させる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の乾燥方法においては、下記に示すような問題点
がある。 （Ａ）ワークの固定・保持にバキューム力を用いる場合
には、ワークの傷、変形等によってその吸着力に差異が
生じ、回転時、保持部からワークが飛び出してワーク及
び周囲を破損することがある。また、ワークの裏面が保
持部に接触するため、裏面の乾燥が十分に行われない。 （Ｂ）ワークを機構的に爪等で固定する場合には、ワー
クは完全に固定されるが、ワークセットの際に余分な工
数及び時間を費やすことになるため、スループットの低
減、コストアップにつながり、更に、自動化を阻害す
る。
た従来の乾燥方法においては、下記に示すような問題点
がある。 （Ａ）ワークの固定・保持にバキューム力を用いる場合
には、ワークの傷、変形等によってその吸着力に差異が
生じ、回転時、保持部からワークが飛び出してワーク及
び周囲を破損することがある。また、ワークの裏面が保
持部に接触するため、裏面の乾燥が十分に行われない。 （Ｂ）ワークを機構的に爪等で固定する場合には、ワー
クは完全に固定されるが、ワークセットの際に余分な工
数及び時間を費やすことになるため、スループットの低
減、コストアップにつながり、更に、自動化を阻害す
る。
【０００６】本発明は、以上述べたワークのスピン乾燥
時における（１）ワークの変形等による飛び出し、
（２）ワーク接触による乾燥不良、（３）ワーク保持機
構の複雑化等の問題点を除去し、簡便な構成で、しかも
確実なスピン乾燥を行い得るワークのスピン乾燥方法を
提供することを目的とする。
時における（１）ワークの変形等による飛び出し、
（２）ワーク接触による乾燥不良、（３）ワーク保持機
構の複雑化等の問題点を除去し、簡便な構成で、しかも
確実なスピン乾燥を行い得るワークのスピン乾燥方法を
提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、（１）テーブルを回転することにより、
このテーブルの周辺部に設けられた複数の周囲ガイドの
周囲部に載置したワークを乾燥させるワークのスピン乾
燥方法において、前記周囲ガイドは、前記テーブルの中
心に向かうその周囲ガイドの中心線と直交する方向に配
置された枢支軸に揺動自在に枢支され、上部にワーク押
さえ部と、下部にそのテーブルの停止時に垂下し、その
テーブルの回転時に、そのテーブルの外方向へと開く垂
下部とを有するワーククランプ爪を有するとともに、前
記周囲ガイドは前記枢支軸及び前記ワーククランプ爪と
の位置関係を維持した状態で前記中心方向に調整可能で
あって、前記テーブルの停止時に、ワークのサイズに応
じて、そのワークが前記周囲ガイドの周囲部に載置する
ように前記周囲ガイドの位置を調整し、そのワークを載
置する工程と、前記テーブルを回転し、前記周囲ガイド
に載置された前記ワークの周辺上面を、前記ワーククラ
ンプ爪の前記ワーク押さえ部で押さえた状態でそのワー
クをスピン乾燥させる工程と、前記テーブルの回転を停
止し、前記ワーク押さえ部を前記周囲ガイドに載置され
たワークの周辺上面から離脱し、そのワークをその周囲
ガイドから離脱可能にする工程とからなる。
成するために、（１）テーブルを回転することにより、
このテーブルの周辺部に設けられた複数の周囲ガイドの
周囲部に載置したワークを乾燥させるワークのスピン乾
燥方法において、前記周囲ガイドは、前記テーブルの中
心に向かうその周囲ガイドの中心線と直交する方向に配
置された枢支軸に揺動自在に枢支され、上部にワーク押
さえ部と、下部にそのテーブルの停止時に垂下し、その
テーブルの回転時に、そのテーブルの外方向へと開く垂
下部とを有するワーククランプ爪を有するとともに、前
記周囲ガイドは前記枢支軸及び前記ワーククランプ爪と
の位置関係を維持した状態で前記中心方向に調整可能で
あって、前記テーブルの停止時に、ワークのサイズに応
じて、そのワークが前記周囲ガイドの周囲部に載置する
ように前記周囲ガイドの位置を調整し、そのワークを載
置する工程と、前記テーブルを回転し、前記周囲ガイド
に載置された前記ワークの周辺上面を、前記ワーククラ
ンプ爪の前記ワーク押さえ部で押さえた状態でそのワー
クをスピン乾燥させる工程と、前記テーブルの回転を停
止し、前記ワーク押さえ部を前記周囲ガイドに載置され
たワークの周辺上面から離脱し、そのワークをその周囲
ガイドから離脱可能にする工程とからなる。
【０００８】本発明によれば、図１乃至図３に示すよう
に、枚葉式スピン乾燥装置において、周囲ガイド（１
３）は同心状に４箇所に等間隔になるように取り付けら
れている。また、その各周囲ガイド（１３）にはワーク
クランプ爪（１５）が設けられ、そのワーククランプ爪
（１５）は、スピン乾燥時には、このワーククランプ爪
（１５）の重心が受ける遠心力により、図２に示すよう
に、垂下部（１５ｂ）がテーブル（１２）の外方向へと
開き、自立し、そのワーク押さえ部（１５ａ）により板
状体ワーク（１６）は押さえつけられ、自動的にチャッ
クが行われる。また、静止時には、重心の作用により、
図３に示すように、ワーククランプ爪（１５）のワーク
押さえ部（１５ａ）は板状体ワーク（１６）から離脱し
て、その脱着が可能となる。
に、枚葉式スピン乾燥装置において、周囲ガイド（１
３）は同心状に４箇所に等間隔になるように取り付けら
れている。また、その各周囲ガイド（１３）にはワーク
クランプ爪（１５）が設けられ、そのワーククランプ爪
（１５）は、スピン乾燥時には、このワーククランプ爪
（１５）の重心が受ける遠心力により、図２に示すよう
に、垂下部（１５ｂ）がテーブル（１２）の外方向へと
開き、自立し、そのワーク押さえ部（１５ａ）により板
状体ワーク（１６）は押さえつけられ、自動的にチャッ
クが行われる。また、静止時には、重心の作用により、
図３に示すように、ワーククランプ爪（１５）のワーク
押さえ部（１５ａ）は板状体ワーク（１６）から離脱し
て、その脱着が可能となる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の
実施例を示すスピン乾燥時の枚葉式スピン乾燥装置の平
面図、図２は図１のＢ−Ｂ線断面図、図３はその枚葉式
スピン乾燥装置の停止時の断面図である。
て図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の
実施例を示すスピン乾燥時の枚葉式スピン乾燥装置の平
面図、図２は図１のＢ−Ｂ線断面図、図３はその枚葉式
スピン乾燥装置の停止時の断面図である。
【００１０】これらの図において、１１は主軸であり、
下部に位置する駆動モータ（図示なし）に回転自在に接
続されている。この主軸１１の先端部にはフランジ形テ
ーブル１２が取り付けられている。このテーブル１２の
上面に、周囲ガイド１３が同心状に４箇所に等間隔にな
るように取り付けられ、その上に板状体ワーク１６が載
置される。周囲ガイド１３は、図示のように、回転中心
に向かって、底辺が若干傾斜しており、板状体ワーク１
６の周囲のみが周囲ガイド１３に接触するような形状に
なっている。
下部に位置する駆動モータ（図示なし）に回転自在に接
続されている。この主軸１１の先端部にはフランジ形テ
ーブル１２が取り付けられている。このテーブル１２の
上面に、周囲ガイド１３が同心状に４箇所に等間隔にな
るように取り付けられ、その上に板状体ワーク１６が載
置される。周囲ガイド１３は、図示のように、回転中心
に向かって、底辺が若干傾斜しており、板状体ワーク１
６の周囲のみが周囲ガイド１３に接触するような形状に
なっている。
【００１１】また、周囲ガイド１３にはワーククランプ
爪１５が枢支軸１４を中心に回転自在に取り付けられ、
ワーククランプ爪１５は下部に重心を持ち、上部に鉤状
のワーク押さえ部１５ａと、下部に前記テーブル１２の
停止時に垂下し、このテーブル１２の回転時にこのテー
ブル１２の外方向へと開く垂下部１５ｂとを具備してい
る。 更に、周囲ガイド１３には、フランジ形テーブル
１２の半径方向に調整可能なように切り溝１７が形成さ
れ、そこにフランジ形テーブル１２を貫通する調整部材
１８が設けられる。このように構成することにより、板
状体ワーク１６の大きさに適合するように、周囲ガイド
１３の位置を調整することにより、各種寸法の板状体ワ
ーク１６をセットすることが可能である。
爪１５が枢支軸１４を中心に回転自在に取り付けられ、
ワーククランプ爪１５は下部に重心を持ち、上部に鉤状
のワーク押さえ部１５ａと、下部に前記テーブル１２の
停止時に垂下し、このテーブル１２の回転時にこのテー
ブル１２の外方向へと開く垂下部１５ｂとを具備してい
る。 更に、周囲ガイド１３には、フランジ形テーブル
１２の半径方向に調整可能なように切り溝１７が形成さ
れ、そこにフランジ形テーブル１２を貫通する調整部材
１８が設けられる。このように構成することにより、板
状体ワーク１６の大きさに適合するように、周囲ガイド
１３の位置を調整することにより、各種寸法の板状体ワ
ーク１６をセットすることが可能である。
【００１２】そこで、ワーククランプ爪１５は、スピン
乾燥時は、その下部に位置するワーククランプ爪１５の
重心が受ける遠心力により、図２に示すように自立し、
鉤状のワーク押さえ部１５ａにより板状体ワーク１６は
押さえつけられ、自動的にチャックが行われる。また、
静止時には、重心の作用により、図３に示すように、ワ
ーククランプ爪１５の鉤状のワーク押さえ部１５ａは板
状体ワーク１６から離脱して、板状体ワーク１６の着脱
が可能となる。
乾燥時は、その下部に位置するワーククランプ爪１５の
重心が受ける遠心力により、図２に示すように自立し、
鉤状のワーク押さえ部１５ａにより板状体ワーク１６は
押さえつけられ、自動的にチャックが行われる。また、
静止時には、重心の作用により、図３に示すように、ワ
ーククランプ爪１５の鉤状のワーク押さえ部１５ａは板
状体ワーク１６から離脱して、板状体ワーク１６の着脱
が可能となる。
【００１３】なお、上記実施例においては、周囲ガイド
を４箇所に設けるようにしたが、３箇所以上であれば、
その個数を任意に選定することができる。また、本発明
は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨
に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の
範囲から排除するものではない。
を４箇所に設けるようにしたが、３箇所以上であれば、
その個数を任意に選定することができる。また、本発明
は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨
に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の
範囲から排除するものではない。
【００１４】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、次のような効果を奏することができる。 （１）枚葉式スピン乾燥装置のワークチャック機構とし
て、遠心力による自立式のワーククランプ爪、及び裏面
非接触式のワークステージを設けるようにしたので、回
転時のワークの飛び出しがなく、しかも完全な乾燥処理
を行うことができる。
よれば、次のような効果を奏することができる。 （１）枚葉式スピン乾燥装置のワークチャック機構とし
て、遠心力による自立式のワーククランプ爪、及び裏面
非接触式のワークステージを設けるようにしたので、回
転時のワークの飛び出しがなく、しかも完全な乾燥処理
を行うことができる。
【００１５】（２）また、ワークの着脱が容易であり、
工数及び手間を省くことができ、スループットの向上を
図ることができる。 （３）更に、ワーククランプ爪は、ワーク押さえ部と垂
下部からなる簡単な構造でありながら、確実にワークの
チャックを行うことができる。 （４）また、テーブルの回転時に、周囲ガイド及びワー
ククランプ爪によるガイド及びクランプがバランス良く
行われるので、ワークの遠心力を受けるバランスが均等
化し、ワークにかかる負担が均等化するので、ワークの
損傷を防ぐことができる。
工数及び手間を省くことができ、スループットの向上を
図ることができる。 （３）更に、ワーククランプ爪は、ワーク押さえ部と垂
下部からなる簡単な構造でありながら、確実にワークの
チャックを行うことができる。 （４）また、テーブルの回転時に、周囲ガイド及びワー
ククランプ爪によるガイド及びクランプがバランス良く
行われるので、ワークの遠心力を受けるバランスが均等
化し、ワークにかかる負担が均等化するので、ワークの
損傷を防ぐことができる。
【図１】本発明の実施例を示すスピン乾燥時の枚葉式ス
ピン乾燥装置の平面図である。
ピン乾燥装置の平面図である。
【図２】図１のＢ−Ｂ線断面図である。
【図３】本発明の枚葉式スピン乾燥装置の停止時の断面
図である。
図である。
【図４】従来の枚葉式スピン乾燥装置の円板状のワーク
チャック機構の平面図である。
チャック機構の平面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ線断面図である。
１１ 主軸 １２ フランジ形テーブル １３ 周囲ガイド １４ 枢支軸 １５ ワーククランプ爪 １５ａ ワーク押さえ部 １５ｂ 垂下部 １６ 板状体ワーク １７ 切り溝 １８ 調整部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/304 F26B 5/08
Claims (1)
- 【請求項１】 テーブルを回転することにより、該テー
ブルの周辺部に設けられた複数の周囲ガイドの周囲部に
載置したワークを乾燥させるワークのスピン乾燥方法に
おいて、 前記周囲ガイドは、前記テーブルの中心に向かう該周囲
ガイドの中心線と直交する方向に配置された枢支軸に揺
動自在に枢支され、上部にワーク押さえ部と、下部に該
テーブルの停止時に垂下し、該テーブルの回転時に、該
テーブルの外方向へと開く垂下部とを有するワーククラ
ンプ爪を有するとともに、前記周囲ガイドは前記枢支軸
及び前記ワーククランプ爪との位置関係を維持した状態
で前記中心方向に調整可能であって、 前記テーブルの停止時に、ワークのサイズに応じて、該
ワークが前記周囲ガイドの周囲部に載置するように前記
周囲ガイドの位置を調整し、該ワークを載置する工程
と、 前記テーブルを回転し、前記周囲ガイドに載置された前
記ワークの周辺上面を、前記ワーククランプ爪の前記ワ
ーク押さえ部で押さえた状態で該ワークをスピン乾燥さ
せる工程と、 前記テーブルの回転を停止し、前記ワーク押さえ部を前
記周囲ガイドに載置されたワークの周辺上面から離脱
し、該ワークを該周囲ガイドから離脱可能にする工程
と、 からなるワークのスピン乾燥方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3651298A JP2908408B2 (ja) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | ワークのスピン乾燥方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3651298A JP2908408B2 (ja) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | ワークのスピン乾燥方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10229069A JPH10229069A (ja) | 1998-08-25 |
| JP2908408B2 true JP2908408B2 (ja) | 1999-06-21 |
Family
ID=12471893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3651298A Expired - Fee Related JP2908408B2 (ja) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | ワークのスピン乾燥方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2908408B2 (ja) |
-
1998
- 1998-02-19 JP JP3651298A patent/JP2908408B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10229069A (ja) | 1998-08-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990323 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |