JPH09121U

JPH09121U - 枚葉式スピン乾燥装置

Info

Publication number: JPH09121U
Application number: JP009473U
Authority: JP
Inventors: 一郎矢沢
Original assignee: 沖電気工業株式会社
Priority date: 1996-09-19
Filing date: 1996-09-19
Publication date: 1997-03-11

Abstract

(57)【要約】【課題】簡便な構成で、しかも確実なスピン乾燥を行
い得る枚葉式スピン乾燥装置を提供する。【解決手段】周囲ガイド１３は同心状に４箇所に等間
隔になるように取り付けられている。また、その各周囲
ガイド１３にはワーククランプ爪１５が設けられ、その
ワーククランプ爪１５は、スピン乾燥時には、このワー
ククランプ爪１５の重心が受ける遠心力により、垂下部
１５ｂがデーブル１２の外方向へと開き、自立し、その
押さえ部１５ａにより板状体ワーク１６は押さえつけら
れ、自動的にチャックが行われる。また、静止時には、
ワーククランプ爪１５は、重心の作用により、ワークク
ランプ爪１５の押さえ部１５ａは板状体ワーク１６から
離脱して、その脱着が可能となる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案は、板状体ワークの枚葉式スピン乾燥装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、このような分野の技術としては、例えば以下に示すようなものがあった。図４はかかる従来の枚葉式スピン乾燥装置の円板状のワークチャック機構の平面図、図５はそのＡ−Ａ線断面図である。

【０００３】これらの図に示すように、１は主軸であり、この主軸１は駆動モータ（図示なし）に回転自在に接続されており、主軸１の先端部にフランジ形テーブル２が取り付けられ、このテーブル２上にワークガイド３が取り付けられている。このワークガイド３上に円板状の被乾燥物（ワーク）４が載置される。このワーク４は、回転による遠心力で表面の水分が飛ばされ、乾燥される。本装置は、回転時に、バキューム力によってワーク４を吸着固定するか、又はワークガイド３に固定用の爪等を設けることにより、ワーク４の飛び出しを防止するように構成されている。

【０００４】この種のスピン乾燥装置は、主にＩＣ組立工程の中でダイシング後のウエハの乾燥に用いられるものであり、回転中にノズル（図示なし）により純水、Ｎ₂等がワーク４の表面に吹きつけられ、後に３０００ｒｐｍ以上の高速回転にて、表面に付着した水分を除去、乾燥させる。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記した乾燥方法においては、下記に示すような問題点がある。（１）ワークの固定・保持にバキューム力を用いる場合には、ワークの傷、変形等によってその吸着力に差異が生じ、回転時、保持部からワークが飛び出してワーク及び周囲を破損することがある。また、ワークの裏面が保持部に接触するため、裏面の乾燥が十分に行われない。（２）ワークを機構的に爪等で固定する場合には、ワークは完全に固定されるが、ワークセットの際に余分な工数及び時間を費やすことになるため、スループットの低減、コストアップにつながり、更に、自動化を阻害する。

【０００６】本考案は、以上述べたワークのスピン乾燥時における（１）ワークの変形等による飛び出し、（２）ワーク接触による乾燥不良、（３）ワーク保持機構の複雑化等の問題点を除去し、簡便な構成で、しかも確実なスピン乾燥を行い得る枚葉式スピン乾燥装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

本考案は、上記目的を達成するために、（１）ワークのスピン乾燥方法において、テーブルを回転することにより、このテーブルの周辺部に設けられた複数の周囲ガイドの周囲部に載置したワークを乾燥させるワークのスピン乾燥方法において、前記周囲ガイドは、前記テーブルの中心に向かうその周囲ガイドの中心線と直交する方向に配置された枢支軸に揺動自在に枢支され、上部にワーク押さえ部と、下部にそのテーブルの停止時に垂下し、そのテーブルの回転時に、そのテーブルの外方向へと開く垂下部とを有するワーククランプ爪を有するとともに、前記周囲ガイドは前記枢支軸及び前記ワーククランプ爪との位置関係を維持した状態で前記中心方向に調整可能であって、前記テーブルの停止時に、ワークのサイズに応じて、そのワークが前記周囲ガイドの周囲部に載置するように前記周囲ガイドの位置を調整し、そのワークを載置する工程と、前記テーブルを回転し、前記周囲ガイドに載置された前記ワークの周辺上面を、前記ワーククランプ爪の前記ワーク押さえ部で押さえた状態でそのワークをスピン乾燥させる工程と、前記テーブルの回転を停止し、前記ワーク押さえ部を前記周囲ガイドに載置されたワークの周辺上面から離脱し、そのワークをその周囲ガイドから離脱可能にする工程とからなる。

【０００８】本考案によれば、図１乃至図３に示すように、枚葉式スピン乾燥装置において、周囲ガイド（１３）は同心状に４箇所に等間隔になるように取り付けられている。また、その各周囲ガイド（１３）にはワーククランプ爪（１５）が設けられ、そのワーククランプ爪（１５）は、スピン乾燥時には、このワーククランプ爪（１５）の重心が受ける遠心力により、第２図に示すように、垂下部（１５ｂ）がテーブル（１２）の外方向へと開き、自立し、その押さえ部（１５ａ）により板状体ワーク（１６）は押さえつけられ、自動的にチャックが行われる。また、静止時には、ワーククランプ爪（１５）は、重心の作用により、第３図に示すように、ワーククランプ爪（１５）の押さえ部（１５ａ）は板状体ワーク（１６）から離脱して、その脱着が可能となる。

【０００９】

【考案の実施の形態】

以下、本考案の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本考案の実施例を示すスピン乾燥時の枚葉式スピン乾燥装置の平面図、図２は図１のＢ−Ｂ線断面図、図３はその枚葉式スピン乾燥装置の停止時の断面図である。

【００１０】これらの図において、１１は主軸であり、下部に位置する駆動モータ（図示なし）に回転自在に接続されている。この主軸１１の先端部にはフランジ形テーブル１２が取り付けられている。このテーブル１２の上面に、周囲ガイド１３が同心状に４箇所に等間隔になるように取り付けられ、その上に板状体ワーク１６が載置される。周囲ガイド１３は、図示のように、回転中心に向かって、底辺が若干傾斜しており、板状体ワーク１６の周囲のみが周囲ガイド１３に接触するような形状になっている。

【００１１】また、周囲ガイド１３にはワーククランプ爪１５が枢支軸１４を中心に回転自在に取り付けられ、ワーククランプ爪１５は下部に重心を持ち、上部に鉤状の押さえ部１５ａと、下部に前記テーブル１２の停止時に垂下し、このテーブル１２の回転時にこのテーブル１２の外方向へと開く垂下部１５ｂとを具備している。更に、周囲ガイド１３には、フランジ形テーブル１２の半径方向に調整可能なように切り溝１７が形成され、そこにフランジ形テーブル１２を貫通する調整部材１８が設けられる。このように構成することにより、板状体ワーク１６の大きさに適合するように、周囲ガイド１３の位置を調整することにより、各種寸法の板状体ワークをセットすることが可能である。

【００１２】そこで、ワーククランプ爪１５は、スピン乾燥時は、その下部に位置するワーククランプ爪の重心が受ける遠心力により、図２に示すように自立し、鉤状の押さえ部１５ａにより板状体ワーク１６は押さえつけられ、自動的にチャックが行われる。また、静止時には、ワーククランプ爪１５は、重心の作用により、第３図に示すように、ワーククランプ爪１５の鉤状の押さえ部１５ａは板状体ワーク１６から離脱して、板状体ワーク１６の脱着が可能となる。

【００１３】なお、上記実施例においては、周囲ガイドを４箇所に設けるようにしたが、３箇所以上であれば、その個数を任意に選定することができる。また、本考案は上記実施例に限定されるものではなく、本考案の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本考案の範囲から排除するものではない。

【００１４】

【考案の効果】

以上、詳細に説明したように、本考案によれば、次のような効果を奏することができる。（１）枚葉式スピン乾燥装置のワークチャック機構として、遠心力による自立式のワーククランプ爪、及び裏面非接触式のワークステージを設けるようにしたので、回転時のワークの飛び出しがなく、しかも完全な乾燥処理を行うことができる。

【００１５】（２）また、ワークの着脱が容易であり、工数及び手間を省くことができ、スループットの向上を図ることができる。（３）更に、ワーククランプ爪は、ワーク押さえ部と垂下部からなる簡単な構造でありながら、確実にワークのチャックを行うことができる。（４）また、テーブルの回転時に、周囲ガイド及びワーククランプ爪によるガイド及びクランプがバランス良く行われるので、ワークが遠心力を受けるバランスが均等化し、ワークにかかる負担が均等化するので、ワークの損傷を防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示すスピン乾燥時の枚葉式ス
ピン乾燥装置の平面図である。

【図２】図１のＢ−Ｂ線断面図である。

【図３】本考案の枚葉式スピン乾燥装置の停止時の断面
図である。

【図４】従来の枚葉式スピン乾燥装置の円板状のワーク
チャック機構の平面図である。

【図５】図４のＡ−Ａ線断面図である。

【符号の説明】

１１主軸１２フランジ形テーブル１３周囲ガイド１４枢支軸１５ワーククランプ爪１５ａ押さえ部１５ｂ垂下部１６板状体ワーク１７切り溝１８調整部材

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】テーブルを回転することにより、該テー
ブルの周辺部に設けられた複数の周囲ガイドの周囲部に
載置したワークを乾燥させるワークのスピン乾燥方法に
おいて、前記周囲ガイドは、前記テーブルの中心に向かう該周囲
ガイドの中心線と直交する方向に配置された枢支軸に揺
動自在に枢支され、上部にワーク押さえ部と、下部に該
テーブルの停止時に垂下し、該テーブルの回転時に、該
テーブルの外方向へと開く垂下部とを有するワーククラ
ンプ爪を有するとともに、前記周囲ガイドは前記枢支軸
及び前記ワーククランプ爪との位置関係を維持した状態
で前記中心方向に調整可能であって、前記テーブルの停止時に、ワークのサイズに応じて、該
ワークが前記周囲ガイドの周囲部に載置するように前記
周囲ガイドの位置を調整し、該ワークを載置する工程
と、前記テーブルを回転し、前記周囲ガイドに載置された前
記ワークの周辺上面を、前記ワーククランプ爪の前記ワ
ーク押さえ部で押さえた状態で該ワークをスピン乾燥さ
せる工程と、前記テーブルの回転を停止し、前記ワーク押さえ部を前
記周囲ガイドに載置されたワークの周辺上面から離脱
し、該ワークを該周囲ガイドから離脱可能にする工程
と、からなるワークのスピン乾燥方法。