JPS62295431A - ワ−クピツクアツプ装置 - Google Patents
ワ−クピツクアツプ装置Info
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- JPS62295431A JPS62295431A JP13892786A JP13892786A JPS62295431A JP S62295431 A JPS62295431 A JP S62295431A JP 13892786 A JP13892786 A JP 13892786A JP 13892786 A JP13892786 A JP 13892786A JP S62295431 A JPS62295431 A JP S62295431A
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- Japan
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- workpiece
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- 239000008188 pellet Substances 0.000 abstract description 55
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
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- 238000012840 feeding operation Methods 0.000 description 1
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- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
り目
本発明はワークピックアップ装置、更に詳しく１）
くはリングホルダ上に載置された半導体ウェーへの一区
画からペレットを吸着し、リードフレーム上にマウント
する半導体装置のアセンブリ装置に関する。
画からペレットを吸着し、リードフレーム上にマウント
する半導体装置のアセンブリ装置に関する。
従米匁丑血
半導体装置製造においては、個々のベレット区画に区分
して素子形成を行った状態のウェーハから、ベレットを
捕獲してリードフレームのマウント位置へと移送するピ
ックアップ作業は、概路次のように行っていた。
して素子形成を行った状態のウェーハから、ベレットを
捕獲してリードフレームのマウント位置へと移送するピ
ックアップ作業は、概路次のように行っていた。
すなわちウェーハのペレット区画は、Ｘ行Ｙ列のマトリ
クス状に設定されているので、端部から蛇行状にシーケ
ンシャルに捕獲、例えば、第１列目を上から下へと順次
捕獲して行き、次に第２列目の下から上へと捕獲し続け
、以下同様に繰り返す手法が一般的である。
クス状に設定されているので、端部から蛇行状にシーケ
ンシャルに捕獲、例えば、第１列目を上から下へと順次
捕獲して行き、次に第２列目の下から上へと捕獲し続け
、以下同様に繰り返す手法が一般的である。
そのため従来よりのベレソトビソクアソブ装置には、次
に述べる課題があった。すなわち、ピックアンプ位ＩＩ
（ウェーへ側）とマウント位置（リードフレーム側）と
の距離は、ウェーハ径又はそれ以上が必要である。その
ために、ペレットを吸着捕獲して搬送するストロークが
ウェーハ径に左右され、しかもウェーハが大径化する傾
向にあるために大きくなり、作業の高速化がますます困
難となっていた。また搬送機構となるＸＹテーブル等の
ストロークも当然長くなり、装置の専有空間が増大して
大型化は避けられず、装置のマウント位置付近のメンテ
ナンスに難があった。
に述べる課題があった。すなわち、ピックアンプ位ＩＩ
（ウェーへ側）とマウント位置（リードフレーム側）と
の距離は、ウェーハ径又はそれ以上が必要である。その
ために、ペレットを吸着捕獲して搬送するストロークが
ウェーハ径に左右され、しかもウェーハが大径化する傾
向にあるために大きくなり、作業の高速化がますます困
難となっていた。また搬送機構となるＸＹテーブル等の
ストロークも当然長くなり、装置の専有空間が増大して
大型化は避けられず、装置のマウント位置付近のメンテ
ナンスに難があった。
（°シよ と る
即ち、ウェーハ径が６インチから８インチというように
増大するにつれて、ペレット位置決め用テーブルの移動
ストロークおよび該テーブル上に固着されたウェーハ固
定治具の移動範囲が増大し、装置の大型化に起因する剛
性の低下、ペレット位置決め精度の低下、あるいは保守
管理作業の困難化等の問題を引き起こしている。
増大するにつれて、ペレット位置決め用テーブルの移動
ストロークおよび該テーブル上に固着されたウェーハ固
定治具の移動範囲が増大し、装置の大型化に起因する剛
性の低下、ペレット位置決め精度の低下、あるいは保守
管理作業の困難化等の問題を引き起こしている。
更に、アセンブリ工程の高速化を図るためには、ウェー
ハ径が増大しても、ペレット吸着ノズルによるペレット
のピックアップポイントとリードフレーム上のベレット
マウント位置の間の距離をできる限り短縮することが必
要であり、またワークピックアップ装置の小型化を図る
ためにはペレット位置決め用テーブルの専有スペースを
減少させることが必要である。
ハ径が増大しても、ペレット吸着ノズルによるペレット
のピックアップポイントとリードフレーム上のベレット
マウント位置の間の距離をできる限り短縮することが必
要であり、またワークピックアップ装置の小型化を図る
ためにはペレット位置決め用テーブルの専有スペースを
減少させることが必要である。
しかるに在来のペレットピックアップ装置は、直交方向
に移動するテーブル上に固定式のリングホルダを配設し
、これに対応して該リングホルダの上方にペレットの整
列方向に対して相対作動位置が変化しないペレット吸着
ノズルを配設していたため、ウェーハの直径の増大がそ
のまま装置の大型化に帰結してしまうという本質的な問
題点を内在せしめていた。即ち、在来のベレットピック
アップ装置に於いては第３図に示すように、ペレット吸
着装置（Ｐ）を中心としてその前後左右に少なくともリ
ングホルダ（１）の直ｐＩ！（Ｄ）相当分だけの移動ス
ペースを確保する必要があり、ウェーハ（２）の直径の
増加がそのままピックアップ装置の大型化に帰結してい
た。
に移動するテーブル上に固定式のリングホルダを配設し
、これに対応して該リングホルダの上方にペレットの整
列方向に対して相対作動位置が変化しないペレット吸着
ノズルを配設していたため、ウェーハの直径の増大がそ
のまま装置の大型化に帰結してしまうという本質的な問
題点を内在せしめていた。即ち、在来のベレットピック
アップ装置に於いては第３図に示すように、ペレット吸
着装置（Ｐ）を中心としてその前後左右に少なくともリ
ングホルダ（１）の直ｐＩ！（Ｄ）相当分だけの移動ス
ペースを確保する必要があり、ウェーハ（２）の直径の
増加がそのままピックアップ装置の大型化に帰結してい
た。
本発明の主要な目的は、在来のワークピックアップ装置
に認められた上記問題点の解決手段を提供することにあ
る。
に認められた上記問題点の解決手段を提供することにあ
る。
′ る、めの 。
斯かる目的に鑑みて本発明は、ワーク載置平面上で、直
交方向に移動可能なテーブル上に配設されたリングホル
ダと、該リングホルダの上方に配設されたワーク吸着ノ
ズルからなるワークピックアップ装置に於いて、前記リ
ングホルダに第１の回転駆動装置を付設し、前記テーブ
ル上で該リングホルダを所定角度ずつ間歇回転させると
共に、前記ワーク吸着ノズルに第２の回転駆動装置を付
設し、リングホルダの回転角の変化に対応してワーク吸
着ノズルのワークピックアップ方向を変化せしめるよう
にしたワークピンクアップ装置を要旨とする。
交方向に移動可能なテーブル上に配設されたリングホル
ダと、該リングホルダの上方に配設されたワーク吸着ノ
ズルからなるワークピックアップ装置に於いて、前記リ
ングホルダに第１の回転駆動装置を付設し、前記テーブ
ル上で該リングホルダを所定角度ずつ間歇回転させると
共に、前記ワーク吸着ノズルに第２の回転駆動装置を付
設し、リングホルダの回転角の変化に対応してワーク吸
着ノズルのワークピックアップ方向を変化せしめるよう
にしたワークピンクアップ装置を要旨とする。
作■
直交方向に移動可能なテーブル上でワーク、例えば多数
のペレットを整列配置してなるウェーハを積載したリン
グホルダを所定角度ずつ間歇回転させると共に、該リン
グホルダの回転角の変化に対応してリングホルダの上方
に配設されているペレット吸着ノズルのペレットピック
アップ方向を変化させることによって、ウェーハの移動
範囲を該ウェーへの直径の１／２以下に減少させたコン
パクトなワークピックアップ装置を形成する。
のペレットを整列配置してなるウェーハを積載したリン
グホルダを所定角度ずつ間歇回転させると共に、該リン
グホルダの回転角の変化に対応してリングホルダの上方
に配設されているペレット吸着ノズルのペレットピック
アップ方向を変化させることによって、ウェーハの移動
範囲を該ウェーへの直径の１／２以下に減少させたコン
パクトなワークピックアップ装置を形成する。
皇ｌ桝
第１図は本発明装置の全体構造を例示する一部分を断面
にした正面図であり、第２図ＡＢはリングホルダの回転
移動順序を説明するための平面図である。
にした正面図であり、第２図ＡＢはリングホルダの回転
移動順序を説明するための平面図である。
第１図に示すように本発明装置は、Ｘ軸方向に沿って水
平移動するリングホルダの支持テーブル（１０）と、該
支持テーブル上に回転自在に支承されたリングホルダ（
１１）と、該リングホルダの上方に配設された支持アー
ム（１２）に回転自在に支承されたペレット吸着ノズル
（１３）から構成されている。即ち、支持テーブル（１
ｏ）には、第１のステンピンクモータ（１４）と側胴部
を４個のガイドローラ（１５） （１５Ｌ−によって
支持されたリングホルダ（１１）が回転自在に取付けら
れており、該リングホルダ（１１）は第１のステッピン
グモータ（１４）の回転駆動力をタイミングプーリ （
１６） （１７）に巻回されたタイミングベルト（１
８）を介して伝達することによって、９０°単位で時計
方向もしくは反時計方向に間歇回転し得るように構成さ
れている。
平移動するリングホルダの支持テーブル（１０）と、該
支持テーブル上に回転自在に支承されたリングホルダ（
１１）と、該リングホルダの上方に配設された支持アー
ム（１２）に回転自在に支承されたペレット吸着ノズル
（１３）から構成されている。即ち、支持テーブル（１
ｏ）には、第１のステンピンクモータ（１４）と側胴部
を４個のガイドローラ（１５） （１５Ｌ−によって
支持されたリングホルダ（１１）が回転自在に取付けら
れており、該リングホルダ（１１）は第１のステッピン
グモータ（１４）の回転駆動力をタイミングプーリ （
１６） （１７）に巻回されたタイミングベルト（１
８）を介して伝達することによって、９０°単位で時計
方向もしくは反時計方向に間歇回転し得るように構成さ
れている。
一方、リングホルダ（１１）の上面には円板状の粘着シ
ー） （１９）を介して所定個数のペレット（２０）
（２ＯＬ−−−を整列配置したウェーハ（２１）が載
置され、また前記支持アーム（１２）には、第２のステ
ッピングモータ（２２） 、駆動歯車（２３）、従動歯
車（２４） 、ベアリング（２５）およびノズル押圧用
スプリング（２６）よりなるペレット吸着ノズル（１３
）の回転駆動および上下動装置が装着されている。
ー） （１９）を介して所定個数のペレット（２０）
（２ＯＬ−−−を整列配置したウェーハ（２１）が載
置され、また前記支持アーム（１２）には、第２のステ
ッピングモータ（２２） 、駆動歯車（２３）、従動歯
車（２４） 、ベアリング（２５）およびノズル押圧用
スプリング（２６）よりなるペレット吸着ノズル（１３
）の回転駆動および上下動装置が装着されている。
以下、第２図に基づいて本発明装置の作動要領を説明す
る。まず第２図Ａに示すようにウェーハ（２１）をペレ
ット吸着ノズル（１３）のベレット吸着点（Ｐｌ）を中
心として９０°間隔の口→ （ＩＩ） （ＩＩＩ）お
よび（ＩＶ）の４つのエリアに分割し、ウェーハのエリ
ア（１）に載置されているペレット（２０＞ （２０
）−・−からリードフレーム（２７）への移し替え動作
を開始する。即ち、ペレット吸着ノズル（１３）の上下
動ストロークと、ペレット吸着点（Ｐりとリードフレー
ム（２７）ノベレフト受入れ点（Ｐ２）の間の水平移動
ストロークならびにＸ軸およびＹ軸方向に沿う支持テー
ブル（１０）のピッチ送りを利用して、ウェーハのエリ
ア（１）に載置されているペレット（２０） （２０
）・−を二点鎖線の矢印で示す順序に従って順次ピック
アップしリードフレーム （２７）上に移し替える。エ
リア（Ｉ）に載置されているすべてのペレット（２０）
（２０）−・−の移し替えが終了した時点で、前記
第１のステッピングモータ（１４）を起動し、その回転
駆動動力をタイミングプーリ（１６） （１７）に巻
回されたタイミングベルト（１８）を介してリングホル
ダ（１１）に伝達し第２図Ｂに示す様に該りングホルダ
を時計方向に９０”だけ回転させる。
る。まず第２図Ａに示すようにウェーハ（２１）をペレ
ット吸着ノズル（１３）のベレット吸着点（Ｐｌ）を中
心として９０°間隔の口→ （ＩＩ） （ＩＩＩ）お
よび（ＩＶ）の４つのエリアに分割し、ウェーハのエリ
ア（１）に載置されているペレット（２０＞ （２０
）−・−からリードフレーム（２７）への移し替え動作
を開始する。即ち、ペレット吸着ノズル（１３）の上下
動ストロークと、ペレット吸着点（Ｐりとリードフレー
ム（２７）ノベレフト受入れ点（Ｐ２）の間の水平移動
ストロークならびにＸ軸およびＹ軸方向に沿う支持テー
ブル（１０）のピッチ送りを利用して、ウェーハのエリ
ア（１）に載置されているペレット（２０） （２０
）・−を二点鎖線の矢印で示す順序に従って順次ピック
アップしリードフレーム （２７）上に移し替える。エ
リア（Ｉ）に載置されているすべてのペレット（２０）
（２０）−・−の移し替えが終了した時点で、前記
第１のステッピングモータ（１４）を起動し、その回転
駆動動力をタイミングプーリ（１６） （１７）に巻
回されたタイミングベルト（１８）を介してリングホル
ダ（１１）に伝達し第２図Ｂに示す様に該りングホルダ
を時計方向に９０”だけ回転させる。
この状態でウェーハのエリア（ＩＩ）に載置されている
ペレット（２０） （２０）−の整列方向にペレット
吸着ノズル（１３）の作動方向を一致させるため第２の
ステッピングモータ（２２〉を起動し、その回転駆動力
を駆動歯車（２３） 、従動歯車を介してペレット吸着
ノズル（１３）に伝達し、該ペレット吸着ノズルを反時
計方向に９０’だけ回転させる。同時に支持テーブル（
１ｏ）にＸ軸およびＹ軸方向に沿うピッチ送り動作を生
起させ、ウェーハのエリア（ＩＩ）に載置されているす
べてのペレット（２０） （２０）−に対して前記同
様の移し替え動作を実行する。以下、同様の要領に従っ
てリングホルダの回転駆動装置ならびにペレット吸着ノ
ズルの回転駆動装置の起動を介してリングホルダ（１１
）ならびにペレット吸着ノズル（１３）を９０°単位で
時計方向あるいは反時計方向に間歇回転し、ウェーハ（
２１）のエリア（１）およびエリア（ＩＶ）に載置され
ているすべてのペレットに対してリードフレーム（２７
）上への移し替え動作を繰り返す。斯（してウェーハ（
２１）上に載置されているすべてのペレット（２０）
（２０）が所定の方向性を維持した状態でリードフレ
ーム（２７）上に移し替えられる。
ペレット（２０） （２０）−の整列方向にペレット
吸着ノズル（１３）の作動方向を一致させるため第２の
ステッピングモータ（２２〉を起動し、その回転駆動力
を駆動歯車（２３） 、従動歯車を介してペレット吸着
ノズル（１３）に伝達し、該ペレット吸着ノズルを反時
計方向に９０’だけ回転させる。同時に支持テーブル（
１ｏ）にＸ軸およびＹ軸方向に沿うピッチ送り動作を生
起させ、ウェーハのエリア（ＩＩ）に載置されているす
べてのペレット（２０） （２０）−に対して前記同
様の移し替え動作を実行する。以下、同様の要領に従っ
てリングホルダの回転駆動装置ならびにペレット吸着ノ
ズルの回転駆動装置の起動を介してリングホルダ（１１
）ならびにペレット吸着ノズル（１３）を９０°単位で
時計方向あるいは反時計方向に間歇回転し、ウェーハ（
２１）のエリア（１）およびエリア（ＩＶ）に載置され
ているすべてのペレットに対してリードフレーム（２７
）上への移し替え動作を繰り返す。斯（してウェーハ（
２１）上に載置されているすべてのペレット（２０）
（２０）が所定の方向性を維持した状態でリードフレ
ーム（２７）上に移し替えられる。
以上、本発明の詳細な説明したが、本発明の権利範囲は
斯かる実施例の記載に基づいて限定的に解釈されるべき
ものではなく、数多くの改造例を包含することができる
。例えば、上記実施例に於いてはリングホルダ（１１）
を９０”単位で間歇回転させた状態でペレット吸着ノズ
ル（１３）の作動方向を新たにピックアップ域に導入さ
れたベレッｌ−（２０） （２０） −＝の整列方向
に一致させ、該ペレット吸着ノズル（１３）に方向性の
変化しないペレットピックアップ姿勢を確保させている
が、別法として、ペレット（２ｏ）をピックアップした
吸着ノズル（１３）がベレット吸着点（Ｐｌ）からリー
ドフレーム （２７）のベレット受は入れ点（Ｐ２）へ
移動する途中で前記ペレット吸着ノズルの回転駆動装置
を起動じ、移送途上にあるペレッＩ−（２０） １個毎
ニペレット吸着ノズル（１３）とリードフレーム（２７
）の相対作動位置を変化させ、ペレット受は入れ点（Ｐ
２）に一定の方向性を持ったペレット（２０）が供給さ
れるように構成することも可能である。また、吸着ノズ
ル（１３）の回転駆動方向はインデックスの向上を図る
ため最短の回動ストロークが確保されるように時計方向
あるいは反時針方向に±９０°乃至±１８０°の範囲で
随時変更することができる。
斯かる実施例の記載に基づいて限定的に解釈されるべき
ものではなく、数多くの改造例を包含することができる
。例えば、上記実施例に於いてはリングホルダ（１１）
を９０”単位で間歇回転させた状態でペレット吸着ノズ
ル（１３）の作動方向を新たにピックアップ域に導入さ
れたベレッｌ−（２０） （２０） −＝の整列方向
に一致させ、該ペレット吸着ノズル（１３）に方向性の
変化しないペレットピックアップ姿勢を確保させている
が、別法として、ペレット（２ｏ）をピックアップした
吸着ノズル（１３）がベレット吸着点（Ｐｌ）からリー
ドフレーム （２７）のベレット受は入れ点（Ｐ２）へ
移動する途中で前記ペレット吸着ノズルの回転駆動装置
を起動じ、移送途上にあるペレッＩ−（２０） １個毎
ニペレット吸着ノズル（１３）とリードフレーム（２７
）の相対作動位置を変化させ、ペレット受は入れ点（Ｐ
２）に一定の方向性を持ったペレット（２０）が供給さ
れるように構成することも可能である。また、吸着ノズ
ル（１３）の回転駆動方向はインデックスの向上を図る
ため最短の回動ストロークが確保されるように時計方向
あるいは反時針方向に±９０°乃至±１８０°の範囲で
随時変更することができる。
発奥■須来
ワーク載置平面上で、直交方向に移動可能なテーブル上
でワーク、例えば多数のペレットを整列配置してなるウ
ェーハを積載したリングホルダを所定角度ずつ間歇回転
させると共に、該リングホルダの回転角の変化に対応し
てリングホルダの上方に配設されているペレット吸着ノ
ズルのベレフトビンクアンプ方向を変化させることによ
って、ウェーハ径の移動範囲を該ウェーハの直径の１７
２以下に減少せしめたコンパクトなワークピックアップ
装置を形成することができる。従って本発明によればワ
ーク、例えばペレットをＭＷしたウェーハの径が増大し
た場合にも、ウェーハを支持するリングホルダの移動ス
トロークがウェーハ直径の１／２以下に抑制されたコン
パクトなワークピックアップ装置が提供される。斯くし
て装置の大型化に起因する剛性の低下やワーク位置決め
精度の低下が回避され、またリングホルダおよびリング
ホルダ支持テーブルの専有スペースの節減に対しても在
来装置の水準を大幅に上進る効果が発揮される。
でワーク、例えば多数のペレットを整列配置してなるウ
ェーハを積載したリングホルダを所定角度ずつ間歇回転
させると共に、該リングホルダの回転角の変化に対応し
てリングホルダの上方に配設されているペレット吸着ノ
ズルのベレフトビンクアンプ方向を変化させることによ
って、ウェーハ径の移動範囲を該ウェーハの直径の１７
２以下に減少せしめたコンパクトなワークピックアップ
装置を形成することができる。従って本発明によればワ
ーク、例えばペレットをＭＷしたウェーハの径が増大し
た場合にも、ウェーハを支持するリングホルダの移動ス
トロークがウェーハ直径の１／２以下に抑制されたコン
パクトなワークピックアップ装置が提供される。斯くし
て装置の大型化に起因する剛性の低下やワーク位置決め
精度の低下が回避され、またリングホルダおよびリング
ホルダ支持テーブルの専有スペースの節減に対しても在
来装置の水準を大幅に上進る効果が発揮される。
第１図は本発明装置の全体構造を例示する一部分を断面
にした正面図であり、第２図はリングホルダの回転移動
順序を説明するための平面図である。また第３図は固定
式のリングホルダを備えた在来のワークピックアップ装
置の平面図である。 （１０）−支持テーブル、（１１）・・・リングホルダ
、（１２） −支持アーム、 （１３）−・−ワーク吸着ノズル（ペレット吸着ノズル
）、（１４） −第１のステンピングモータ、（２０）
−ペレット、（２１） −ウェーハ、（２２）・−・
−第２のステンピングモータ。 第１図 第３図 第２図Ａ 第２図β
にした正面図であり、第２図はリングホルダの回転移動
順序を説明するための平面図である。また第３図は固定
式のリングホルダを備えた在来のワークピックアップ装
置の平面図である。 （１０）−支持テーブル、（１１）・・・リングホルダ
、（１２） −支持アーム、 （１３）−・−ワーク吸着ノズル（ペレット吸着ノズル
）、（１４） −第１のステンピングモータ、（２０）
−ペレット、（２１） −ウェーハ、（２２）・−・
−第２のステンピングモータ。 第１図 第３図 第２図Ａ 第２図β
Claims (1)
- （１）ワーク載置平面上で、直交方向に移動可能なテー
ブル上に配設されたリングホルダと、該リングホルダの
上方に配設されたワーク吸着ノズルからなるワークピッ
クアップ装置に於いて、 前記リングホルダに第１の回転駆動装置を付設し、前記
テーブル上で該リングホルダを所定角度ずつ間歇回転さ
せると共に、前記ワーク吸着ノズルに第２の回転駆動装
置を付設し、リングホルダの回転角の変化に対応してワ
ーク吸着ノズルのワークピックアップ方向を変化せしめ
るようにしたことを特徴とするワークピックアップ装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13892786A JPS62295431A (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | ワ−クピツクアツプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13892786A JPS62295431A (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | ワ−クピツクアツプ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62295431A true JPS62295431A (ja) | 1987-12-22 |
Family
ID=15233390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13892786A Pending JPS62295431A (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | ワ−クピツクアツプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62295431A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1209723A1 (en) * | 2000-11-27 | 2002-05-29 | ASM Assembly Automation Limited | A wafer table for die bonding apparatus |
| JP2006135013A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Renesas Technology Corp | 実装装置及び実装方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6047431A (ja) * | 1983-08-26 | 1985-03-14 | Tokyo Sokuhan Kk | 部品マウント装置 |
| JPS6057942A (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-03 | Toshiba Corp | ペレツトマウント装置 |
| JPS6153933B2 (ja) * | 1980-07-31 | 1986-11-20 | Mitsui Petrochemical Ind |
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1986
- 1986-06-13 JP JP13892786A patent/JPS62295431A/ja active Pending
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