JP3421968B2 - コレット及びそれを用いたマウント装置 - Google Patents
コレット及びそれを用いたマウント装置Info
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- H01L24/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コレット及びそれ
を用いたマウント装置に関し、特に電子部品の製造で使
用される微小ワーク片のピックアンドプレースに使用さ
れるコレット及びそれを用いたマウント装置に関する。
を用いたマウント装置に関し、特に電子部品の製造で使
用される微小ワーク片のピックアンドプレースに使用さ
れるコレット及びそれを用いたマウント装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体の製造工程であるマウン
ト工程では、半導体ウェーハから分割された多数のペレ
ットをリードフレーム上にマウントしている。この際、
ワーク片であるペレット９が置かれるピックアップ面７
と、リードフレーム上のプレース面８両者が必ずしも０
°（水平；マウント装置の基準面に対して）ではなく、
一定角度傾斜している場合がある。例えば、ピックアッ
プ面７は０°であるが、リードフレーム上のプレース面
８は１５°の傾斜角度を有する場合があり、この場合は
コレット１先端の吸着面の角度を変える必要があり、そ
の手段として次の方法が採られていた。
ト工程では、半導体ウェーハから分割された多数のペレ
ットをリードフレーム上にマウントしている。この際、
ワーク片であるペレット９が置かれるピックアップ面７
と、リードフレーム上のプレース面８両者が必ずしも０
°（水平；マウント装置の基準面に対して）ではなく、
一定角度傾斜している場合がある。例えば、ピックアッ
プ面７は０°であるが、リードフレーム上のプレース面
８は１５°の傾斜角度を有する場合があり、この場合は
コレット１先端の吸着面の角度を変える必要があり、そ
の手段として次の方法が採られていた。
【０００３】よく知られたコレット１は、吸着面と上下
動軸１７が直交する。通常、図４乃至図６に示すよう
に、コレット１を含む移送ユニット先端部１５は、軸４
を中心に回転自在として、その回転角度をマウント装置
全体の一部分に組み込まれたモーター５に取り付けられ
たカム２により決定する。なお、回転自在となる移送ユ
ニット先端部１５は、その振動の発生を防止するため
に、一方向にばね３で引っ張られている。
動軸１７が直交する。通常、図４乃至図６に示すよう
に、コレット１を含む移送ユニット先端部１５は、軸４
を中心に回転自在として、その回転角度をマウント装置
全体の一部分に組み込まれたモーター５に取り付けられ
たカム２により決定する。なお、回転自在となる移送ユ
ニット先端部１５は、その振動の発生を防止するため
に、一方向にばね３で引っ張られている。
【０００４】また、リードフレーム上のプレース面８が
傾斜角度を持つだけではなく、リードフレームが多少ね
じれている場合は、リードフレーム上にペレットをプレ
ースする際に、ペレットを回転させたい場合があり、そ
のためには、前述した構造に加えて、コレットの吸着面
の鉛直軸６を中心に吸着面を回転させるためのモータ
ー、及びベルト等を付加するものとなる。
傾斜角度を持つだけではなく、リードフレームが多少ね
じれている場合は、リードフレーム上にペレットをプレ
ースする際に、ペレットを回転させたい場合があり、そ
のためには、前述した構造に加えて、コレットの吸着面
の鉛直軸６を中心に吸着面を回転させるためのモータ
ー、及びベルト等を付加するものとなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ペレットが置かれるピ
ックアップ面と、リードフレーム上にプレースする面と
が同一角度ではない場合、コレットを含む移送ユニット
先端部は、ある軸を中心に回転自在であって、その回転
角度はマウント装置全体の一部分に組み込まれたモータ
ーに取り付けられたカムの回転により、上下動軸に対し
て吸着面の鉛直軸を傾斜させる必要が生じる。なお、回
転自在となる移送ユニット先端部は、その振動の発生を
防止するために、一方向にばねで引っ張られる構造を有
することで複雑になる。この場合、ばねによる調整には
限界があり、振動を迅速に抑制することは困難であっ
た。振動が止まらないままピックアップ及びプレースを
行なうと、ペレットの中心を把持できない、またリード
フレーム上のランド部に正確にプレースできないという
問題があるため、振動が収まるまで搬送動作を停止しな
ければならず、このため装置の高速化が図れなかった。
同時に、傾斜角度を決めるカムの微調整作業も時間を要
した。
ックアップ面と、リードフレーム上にプレースする面と
が同一角度ではない場合、コレットを含む移送ユニット
先端部は、ある軸を中心に回転自在であって、その回転
角度はマウント装置全体の一部分に組み込まれたモータ
ーに取り付けられたカムの回転により、上下動軸に対し
て吸着面の鉛直軸を傾斜させる必要が生じる。なお、回
転自在となる移送ユニット先端部は、その振動の発生を
防止するために、一方向にばねで引っ張られる構造を有
することで複雑になる。この場合、ばねによる調整には
限界があり、振動を迅速に抑制することは困難であっ
た。振動が止まらないままピックアップ及びプレースを
行なうと、ペレットの中心を把持できない、またリード
フレーム上のランド部に正確にプレースできないという
問題があるため、振動が収まるまで搬送動作を停止しな
ければならず、このため装置の高速化が図れなかった。
同時に、傾斜角度を決めるカムの微調整作業も時間を要
した。
【０００６】また、リードフレーム上へのプレース面が
傾斜角度を持つだけではなく、リードフレームが多少ね
じれている等の理由で、リードフレーム上にペレットを
プレースする際に、ペレットを回転させなければならな
い場合は、コレットの吸着面の鉛直軸を中心に吸着面を
回転させる構造となり、新たにモーター、及びベルト等
を具備せざるを得なかった。そのために移送ユニット先
端部は一層大型かつ複雑化し、装置が高価になるだけで
はなく、前述した移送時の振動抑制が一層困難となって
いた。
傾斜角度を持つだけではなく、リードフレームが多少ね
じれている等の理由で、リードフレーム上にペレットを
プレースする際に、ペレットを回転させなければならな
い場合は、コレットの吸着面の鉛直軸を中心に吸着面を
回転させる構造となり、新たにモーター、及びベルト等
を具備せざるを得なかった。そのために移送ユニット先
端部は一層大型かつ複雑化し、装置が高価になるだけで
はなく、前述した移送時の振動抑制が一層困難となって
いた。
【０００７】この発明は、構造が簡単かつ小型であって
も、ピックアップ時とプレース時にそれら角度が異なる
ペレットの移送ができるため、安価で高速化が可能とな
るコレット及びそれを用いたマウント装置を提供するこ
とにある。
も、ピックアップ時とプレース時にそれら角度が異なる
ペレットの移送ができるため、安価で高速化が可能とな
るコレット及びそれを用いたマウント装置を提供するこ
とにある。
【課題を解決するための手段】本発明は、上下動軸に対
して一定角度傾いた軸を中心に回転し、先端部分の吸着
面が前記回転軸と直交する面に対して一定角度傾いたコ
レットであることを特徴とする。
して一定角度傾いた軸を中心に回転し、先端部分の吸着
面が前記回転軸と直交する面に対して一定角度傾いたコ
レットであることを特徴とする。
【０００８】なお本発明のコレットは、先端部分の吸着
面でペレットを移送する場合、ピックアップ面とプレー
ス面を異なる角度で移送ができることを特徴とするコレ
ットである。
面でペレットを移送する場合、ピックアップ面とプレー
ス面を異なる角度で移送ができることを特徴とするコレ
ットである。
【０００９】また本発明のコレットを用いたマウント装
置は、外部情報手段を具備し、その情報手段に基づき回
転角度を設定することができ、ピックアップ時とプレー
ス時に異なる所定の角度でペレットを移送できる。
置は、外部情報手段を具備し、その情報手段に基づき回
転角度を設定することができ、ピックアップ時とプレー
ス時に異なる所定の角度でペレットを移送できる。
【００１０】更に本発明のコレットを用いたマウント装
置は、外部に設定されたカメラから取り込まれた画像情
報に基づいて、ペレットのピックアップ時もしくはプレ
ース時の回転角度を設定し、ワークの移送を行なうこと
ができる。
置は、外部に設定されたカメラから取り込まれた画像情
報に基づいて、ペレットのピックアップ時もしくはプレ
ース時の回転角度を設定し、ワークの移送を行なうこと
ができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下図面を使って、本発明の実施
の形態を説明する。なお、従来と同じ構成部品ならびに
構成部分については、従来の説明図と同一符号を用い
る。図１は、本発明に係るコレット２０を表わし、図２
は、当コレット２０を有するマウント装置の移送ユニッ
ト部を表わす。回転可能なコレット２０の回転軸２１
が、移送ユニット部の上下動軸２２に対して７．５°傾
いて取り付けられ、かつコレット２０の吸着面２４は回
転軸２１と直交する面２３に対して７．５°傾いてい
る。なお、コレット２０の内部には、吸着面２４からそ
の他端面にかけてバキューム用の貫通孔２５が設けられ
ており、コレット２０は支持回転部２６に取り付けら
れ、その支持回転部２６も内部にバキューム用の貫通孔
を有し、コレット取り付け他端側にバキューム用のエア
ーチューブ２７が取り付けられることにより、エアーチ
ューブ２７からコレット２０の吸着面２４までのバキュ
ーム回路が形成される。
の形態を説明する。なお、従来と同じ構成部品ならびに
構成部分については、従来の説明図と同一符号を用い
る。図１は、本発明に係るコレット２０を表わし、図２
は、当コレット２０を有するマウント装置の移送ユニッ
ト部を表わす。回転可能なコレット２０の回転軸２１
が、移送ユニット部の上下動軸２２に対して７．５°傾
いて取り付けられ、かつコレット２０の吸着面２４は回
転軸２１と直交する面２３に対して７．５°傾いてい
る。なお、コレット２０の内部には、吸着面２４からそ
の他端面にかけてバキューム用の貫通孔２５が設けられ
ており、コレット２０は支持回転部２６に取り付けら
れ、その支持回転部２６も内部にバキューム用の貫通孔
を有し、コレット取り付け他端側にバキューム用のエア
ーチューブ２７が取り付けられることにより、エアーチ
ューブ２７からコレット２０の吸着面２４までのバキュ
ーム回路が形成される。
【００１２】ペレット９をピックアップ・プレースする
際、ピックアップ面７は０°であるが、プレース面８が
１５°の傾斜角度を有する場合、ピックアップ時にコレ
ット２０の吸着面２４を０°に合わせて、移送ユニット
部が下降後、ペレット９をコレット２０の吸着面２４で
吸着し上昇する。リードフレーム１０の上に移動後、プ
レース時にはコレット２０を１８０°回転し下降すれ
ば、吸着面２４が１５°傾斜し、プレース面８に合わせ
てプレースすることができる。
際、ピックアップ面７は０°であるが、プレース面８が
１５°の傾斜角度を有する場合、ピックアップ時にコレ
ット２０の吸着面２４を０°に合わせて、移送ユニット
部が下降後、ペレット９をコレット２０の吸着面２４で
吸着し上昇する。リードフレーム１０の上に移動後、プ
レース時にはコレット２０を１８０°回転し下降すれ
ば、吸着面２４が１５°傾斜し、プレース面８に合わせ
てプレースすることができる。
【００１３】また、上記コレット２０の回転は、モータ
ー２８とベルト２９を介して、行なわれるが、その回転
角度は外部情報に基づいて設定することができる。
ー２８とベルト２９を介して、行なわれるが、その回転
角度は外部情報に基づいて設定することができる。
【００１４】更に、これまでの説明では、ピックアップ
面７は０°であって、リードフレーム１０上のプレース
面８が１５°の傾斜角度を有する場合であったが、ボー
ルフィーダーがピックアップ面となる場合は、一般的に
ピックアップ面が傾斜面となることが多く、この場合で
も上下動軸２２に対する、回転軸２１の取付け角度、も
しくは回転軸２１と直交する面２３に対するコレット２
０の吸着面２４の角度を変更することにより対応ができ
る。
面７は０°であって、リードフレーム１０上のプレース
面８が１５°の傾斜角度を有する場合であったが、ボー
ルフィーダーがピックアップ面となる場合は、一般的に
ピックアップ面が傾斜面となることが多く、この場合で
も上下動軸２２に対する、回転軸２１の取付け角度、も
しくは回転軸２１と直交する面２３に対するコレット２
０の吸着面２４の角度を変更することにより対応ができ
る。
【００１５】
【実施例】図２及び図３により、本発明のコレット２０
を用い、外部に設定されたカメラ３０の情報に基づいて
その回転角度を設定するマウント装置の具体例を示す。
リードフレーム１０は定ピッチ送りされ、停止後ペレッ
ト９がプレースされるが、そのプレースされるランド部
１１は事前に上方に設置されたカメラ３０で観測され、
図示はしないが、画像処理装置で処理されたランド部１
１の画像情報が取得される。ランド部１１がランド面の
上方から見て回転ずれがあれば、前記画像情報をもと
に、モーター２８の回転角度を設定すれば、コレット２
０のずれの角度が補正され、ペレット９をランド部１１
上にずれの角度分補正してプレースすることができる。
を用い、外部に設定されたカメラ３０の情報に基づいて
その回転角度を設定するマウント装置の具体例を示す。
リードフレーム１０は定ピッチ送りされ、停止後ペレッ
ト９がプレースされるが、そのプレースされるランド部
１１は事前に上方に設置されたカメラ３０で観測され、
図示はしないが、画像処理装置で処理されたランド部１
１の画像情報が取得される。ランド部１１がランド面の
上方から見て回転ずれがあれば、前記画像情報をもと
に、モーター２８の回転角度を設定すれば、コレット２
０のずれの角度が補正され、ペレット９をランド部１１
上にずれの角度分補正してプレースすることができる。
【００１６】なお、本例では、ペレットのピックアンド
プレースをバキューム吸着にて行なう方法を示したが、
これに限らず電磁吸着による把持機構をもってしても、
当コレットの機能は発揮できる。その場合、コレット先
端部分の吸着面の内部に電磁石を配し、電磁石からコレ
ット他端面に向かって電磁石駆動用ケーブルが配線され
る形態が一般的であり、エアーチューブは必要なくな
る。
プレースをバキューム吸着にて行なう方法を示したが、
これに限らず電磁吸着による把持機構をもってしても、
当コレットの機能は発揮できる。その場合、コレット先
端部分の吸着面の内部に電磁石を配し、電磁石からコレ
ット他端面に向かって電磁石駆動用ケーブルが配線され
る形態が一般的であり、エアーチューブは必要なくな
る。
【００１７】また、本例では、半導体ウェーハから分割
されたペレットをもとに説明したが、コンデンサチップ
や磁気ヘッドチップ等、他の微小ワーク片の移送におい
ても、もちろん機能を発揮する。
されたペレットをもとに説明したが、コンデンサチップ
や磁気ヘッドチップ等、他の微小ワーク片の移送におい
ても、もちろん機能を発揮する。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のコレット
は以下に記載されるような効果を発揮する。マウント装
置の移送ユニット部上下動軸に対して、回転機構を有す
るコレットが一定角度傾けて取り付けられ、その傾いた
軸を中心にコレットが回転し、その先端部分の吸着面は
回転軸に直交する面に対して一定角度傾いたコレットで
あり、つまり構造が簡単かつ小型であっても、ペレット
が置かれた面つまりピックアップ面と、リードフレーム
上にプレースする面とが同一角度ではない場合もコレッ
トを回転することでこれに対応できる。
は以下に記載されるような効果を発揮する。マウント装
置の移送ユニット部上下動軸に対して、回転機構を有す
るコレットが一定角度傾けて取り付けられ、その傾いた
軸を中心にコレットが回転し、その先端部分の吸着面は
回転軸に直交する面に対して一定角度傾いたコレットで
あり、つまり構造が簡単かつ小型であっても、ペレット
が置かれた面つまりピックアップ面と、リードフレーム
上にプレースする面とが同一角度ではない場合もコレッ
トを回転することでこれに対応できる。
【００１９】なお、その構造は簡単かつ小型であるた
め、安価なばかりでなく、ペレット移送時に発生する振
動が抑制できるために、装置の高速化が可能になる。
め、安価なばかりでなく、ペレット移送時に発生する振
動が抑制できるために、装置の高速化が可能になる。
【００２０】また、ペレットをプレースするランド部が
ランド面の上方から見て回転ずれがあっても、コレット
先端の回転角度を、モーターで設定することにより、ペ
レットをその角度分容易に補正してプレースすることが
できる。
ランド面の上方から見て回転ずれがあっても、コレット
先端の回転角度を、モーターで設定することにより、ペ
レットをその角度分容易に補正してプレースすることが
できる。
【００２１】同時に、上記のずれ分はペレットをピック
アップ・プレースする前に、外部に設定されたカメラか
ら取り込まれた画像情報に基づいて、ペレットをその角
度分容易に補正してプレースすることができる。
アップ・プレースする前に、外部に設定されたカメラか
ら取り込まれた画像情報に基づいて、ペレットをその角
度分容易に補正してプレースすることができる。
【図１】 本発明のコレットの実施例
（ａ）傾斜面にペレットをプレースする時の側面図
（ｂ）ペレットをピックアップする時の側面図
【図２】 図１のコレットを用いたマウント装置の移送
ユニット部 （ａ）傾斜面にペレットをプレースする時の側面図 （ｂ）ペレットをピックアップする時の側面図
ユニット部 （ａ）傾斜面にペレットをプレースする時の側面図 （ｂ）ペレットをピックアップする時の側面図
【図３】 図２のマウント装置により、回転ずれのある
ランド部に合わせてプレースされたペレットの平面図
ランド部に合わせてプレースされたペレットの平面図
【図４】 従来のコレットを用いたマウント装置の側面
図
図
【図５】 図４のマウント装置の正面図
【図６】 図４のマウント装置を用いて、傾斜面にプレ
ースする際の側面図
ースする際の側面図
７ ピックアップ面
８ プレース面
９ ペレット（ワーク）
２０ コレット
２１ 回転軸
２２ 上下動軸
２３ 回転軸と直交する面
２４ 吸着面
３０ カメラ
Claims (6)
- 【請求項１】微小ワーク片のピックアップアンドプレー
スに使用されるコレットであって、上下動軸に対して一
定角度傾いた回転軸を中心に回転させ、先端部分の吸着
面が前記回転軸と直交する面に対して一定角度傾けたコ
レット。 - 【請求項２】請求項１に記載したコレットにおいて、先
端部分の吸着面でワークを移送するに際し、ピックアッ
プ面とプレース面を異なる角度で移送できるコレット。 - 【請求項３】請求項１に記載したコレットにおいて、吸
着面が電磁的吸着であることを特徴とするコレット。 - 【請求項４】微小ワーク片のピックアップアンドプレー
スに使用され、上下動軸に対して一定角度傾いた回転軸
を中心に回転し、先端部分の吸着面が前記回転軸と直交
する面に対して一定角度傾いたコレットであって、この
回転角度を設定する外部情報手段、及び上記コレットの
上下動と回転動を付与する駆動手段に基づき回転角度を
設定するコレットを具備するマウント装置。 - 【請求項５】請求項４に記載したコレットにおいて、外
部情報手段がカメラを含み、このカメラから取り込まれ
た画像情報に基づいて、ワークのピックアップ時もしく
はプレース時の回転角度を設定し、ワークの移送を行な
うことを特徴とするマウント装置。 - 【請求項６】請求項４に記載したコレットを有し、それ
によりワークを異なる角度のピックアップ面とプレース
面間で移送できることを特徴とするマウント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04459399A JP3421968B2 (ja) | 1999-02-23 | 1999-02-23 | コレット及びそれを用いたマウント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04459399A JP3421968B2 (ja) | 1999-02-23 | 1999-02-23 | コレット及びそれを用いたマウント装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000243764A JP2000243764A (ja) | 2000-09-08 |
| JP3421968B2 true JP3421968B2 (ja) | 2003-06-30 |
Family
ID=12695778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04459399A Expired - Fee Related JP3421968B2 (ja) | 1999-02-23 | 1999-02-23 | コレット及びそれを用いたマウント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3421968B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102012014558B4 (de) | 2012-07-24 | 2014-02-20 | Datacon Technology Gmbh | Kinematisches Haltesystem für einen Bestückkopf einer Bestückvorrichtung |
| KR20230037584A (ko) * | 2020-08-24 | 2023-03-16 | 엘지전자 주식회사 | 마이크로 엘이디 디스플레이의 리페어 공정을 위한 칩 제거장치 |
-
1999
- 1999-02-23 JP JP04459399A patent/JP3421968B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000243764A (ja) | 2000-09-08 |
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