JP2003527750A - ロックダウンロータを備える加工処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 半導体ウエハを処理するための装置（３０）において、ロータ６０は、２対のコーム（comb）（９０、１１０）を備える。ロックダウンメカニズム（７０）は、ロックバー（１７０、１８８）を備える。ロックバー（１７０、１８８）は、ローディング／アンローディングロボット（４０）によって一時的に嵌合し移動させる。また、ウエハ側面に対してリテイナ（retainer）（１３０、１６０）を動かし、処理の間、ウエハを正しい位置により良く保持する。粒子が発生することによる汚染は減少する。ロータ（６０）のコーム（comb）（９０，１１０）は、弾力性部材を備える。ロックダウンメカニズム（７０）によって正しい位置に動かされる時、ウエハ側面の低い部分は、弾力性部材（１０６）をわずかに圧縮し歪める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】

本発明は、一般的にウエハもしくは他の半導体小型電子製品などの半導体製品
を保持するように適合させたロータを備える遠心力処理システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】

小型電子製品及び半導体製品などのフラット媒体を製造する際、様々な製造工
程に、加工処理される製品に対して、加工用の液体や気体を塗布する工程が含ま
れる。試料や製品の露出表面へのこれら加工用流体の塗布、及び除去は、処理チ
ャンバ内の製品を回転運動させることによって促進できる。遠心力の作用によっ
て、処理表面への流体塗布が促進される。

【０００３】 ある例では、半導体ウエハなどのフラット媒体製品を洗浄した後、乾燥させな
ければならない。水滴や、他の洗浄液体が残留すると、少なくとも、その後の操
作を妨害したり、最終的に完成した電気製品の欠陥の原因となる残留物もしくは
粒子が残る可能性が出てくる。半導体デバイスや小型電子デバイスと関連するほ
とんどの製造工程がそうであるように、実質的に粒子及び残留物などがない、極
めて優れたクリーン環境を持つことは、重要な要素である。製品を回転させるこ
とは、水や他の加工処理液体を取り除き、そのような残留物や粒子がほとんど残
らないようにするのに役に立つ。水滴は遠心力によって物理的に取り除かれるの
で、回転させることにより、処理の時間も減少する。

【０００４】 米国特許第５,７８４,７９７号に記載されている遠心力加工処理装置において
、製品もしくはウエハはロータの中に保持される。ロータは、製品キャリアを使
わずに、製品を整列させて保持するロータフレームを備える。ロータは、製品と
接触し、それらを正しい位置に保持するリテイナ（retainer）を備える。このタ
イプの設計では、様々な程度の成功が得られたが、いくつかの欠点も残った。特
に、製品の側面と、製品を支持するロータ表面との相互作用によって、汚染粒子
が生成され得る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】

上記のような装置で処理された製品（半導体ウエハ）を処理後に分析すると、
炭素、フッ素、ある場合は、塩素が残留しているという結果を示す。残留物は、
ウエハ側面近くの、欠陥密度が最も高い部分にも存在する。ウエハとロータ間の
相対的なクロッキング（clocking）運動によって、このような残留物が発生する
。この運動によって、接触界面で運動摩擦が生じ、ウエハ側面がすり減って、熱
可塑性のロータコーム（comb）の上に付着する原因となる。

【０００６】 そのため、残留物及び粒子の生成、堆積、及び、再分配を減らすか改善するこ
とのできる装置が必要とされている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

第一の発明では、ロックダウンメカニズムのコンタクトバーは、ウエハ側面に
対しておよそ垂直な軌跡をたどって、ロータ内の製品やウエハに近づく。これに
よって、製品の側面でのスライディング接触を減少させ、もしくは、抑制し粒子
の発生を減少させる。

【０００８】 他の発明では、改良したコーム（comb）が、複数の突起物と、弾力性のある材
料からできているロッドもしくは小片とを備える。コーム（comb）の歯が、製品
をガイドし保持する。一方、ダメージの危険なく、弾力性のあるロッドによって
、ロータ内に製品を保持させる。 従って、本発明の目的は、半導体製品を処理する時に使う改良ロータを提供す
ることである。 本発明は、ここに記載のサブコンビネーションの構成のいくつかの構成は、あ
る実施の形態で示し記載されているが、それらは、もちろん他の実施の形態でも
同様に利用できる。

【０００９】

【発明の実施の形態】

図１に示された図について、詳細に説明する。フラット媒体（即ち、半導体ウ
エハ、フラットパネルディスプレイ、データディスク、フォトマスク、及び他の
半導体、又は小型電子製品等であり、ここで集合的にウエハと称する。）を処理
するための装置３０は、筐体３２を備えており、筐体３２は、一時的にウエハを
保管するための第一セクション３５と、ウエハを加工処理するための第二セクシ
ョン３７を備える。第一セクション３５は、ウエハを筐体３２へ、もしくは、筐
体３２から移動させるためのロード／アンロードユニット３４を備える。また、
第一セクション３５は、好ましくは、処理される製品４４を一時的に保管してお
くための棚、もしくは、他の保管領域３６を備える。 第二セクション、即ち処理セクション３７は、１以上の処理チャンバ３８を備
える。チャンバ３８内のウエハ４４を回転させるためのロータ６０が、処理チャ
ンバ３８それぞれに備えられている。 例えば、米国特許第５,５４４,４２１号、米国特許第５,６６０,５１７号、米
国特許第５,６７８,３２０号、及び、米国特許第５,７８４,７９７号に記載され
ているように、移送デバイス、もしくは、ロボット４０は、第一セクション、即
ち保管セクション３５と、処理セクション３７との間を動くことができ、処理さ
れるウエハを保管領域３６から処理チャンバ３８へ移動させ、また、処理された
ウエハをチャンバ３８から保管領域３６に戻して、装置３０内において、ウエハ
を循環させることができる。

【００１０】 図１及び２について言及する。ロボット、もしくは、移送デバイス４０は、フ
レーム５０を含むハンドもしくはエンドエフェクタ４２を備える。溝、もしくは
スロット５６を備える一対のアーム５２が、フレーム５０の前面に取り付けられ
ている。フレーム５０の上部コーナー部から、ドライブ開口部５４が延びている
。米国特許第５,７８４,７９７号に記載のように、ドライブ開口部５４は、もう
一方のドライブ開口部と対称であり、鏡像の関係にある。

【００１１】 図１及び図３について説明する。処理チャンバ３８内のロータ６０は、フロン
トリング６２、及び、バックプレートもしくはリング６４を備える。コネクティ
ングバー６８によって、フロントリング６２とバックプレートもしくはリング６
４とは互いに接続されている。バックプレート６４に接続されたドライブシャフ
ト８０は、処理チャンバ３８の後部にあるスピンモータ８１と連結している。ス
ピンモータ８１は、処理の間、ロータを回転させる。コネクティングバー６８は
、ドライブシャフト８０と平行に延び、フロントリング６２及びバックプレート
６４の面に対して垂直に延びている。ロータ６０は、一対のベースコーム（base
comb）９０、及び一対のサイドコーム（side comb）１１０を備える。ベースコ
ーム（base comb）９０、及びサイドコーム（side comb）１１０は、ロックダウ
ンアセンブリ７０の逆サイドにある。ロックダウンアセンブリ７０は、処理の間
ウエハ４４を正しい位置に保持する。

【００１２】 図４について説明する。図４は、真上、即ち０度の位置を向いたロータ６０を
示している。ベースコーム（base comb）９０は、およそ、５時と７時の位置に
ある。一方、サイドコーム（side comb）１１０は、およそ、４時と８時の位置
にある。ロックダウンアセンブリ７０は、およそ１２時の位置、即ち、ロータ６
０の鉛直センターラインに中心がある。

【００１３】 図５から図８について説明する。ベースコーム（base comb）９０は、複数の
歯９２を備える。歯９２は、ギャップ９８だけ間があけられている。歯９２は、
通常は、４つの面に囲まれたピラミッド型をしている。それぞれの歯９２は、平
坦な背表面９１、平坦な前表面９３、平坦な側表面９５及び９７を備える。それ
ぞれの歯９２の先端、即ち頂上付近において、表面９１、９３、９５、及び９７
は、先が細くなるように形成され、矩形の平坦面９６に向かって、上方向に収束
する。隣接する歯９２間のギャップ９８は、平坦な側壁９９、及び平坦な底面１
０１を備える。歯９２間のピッチ、即ち間隔は、ハンド４２の溝もしくはスロッ
ト５６のピッチと一致している。

【００１４】 サイドフック１０２は、それぞれの歯９２の前表面９３のより低い部分に取り
つけられる。各々のサイドフック１０２は、鳩尾形をしたＯ−リング溝１０４を
備える。弾力的な部材を含むＯ−リング片、もしくはロッド１０６は、サイドフ
ック１０２の鳩尾形をしたＯ−リング溝１０４に保持されている。好ましくは、
Ｏ−リング片は、パーフルオロ系エラストマである。コーム（comb）９０及び１
１０は、好ましくは、より強固な熱可塑性の物質である。Ｏ−リング片１０６は
、歯９２に沿って、実質的には、ベースコーム（base comb）９０の全長と同程
度延びる。図３に図示したように、ベースコーム（base comb）９０をコネクテ
ィングバー６８上に取りつけるために、ベースコーム（base comb）９０の最下
部には、鳩尾形をした取り付け溝１０８を備える。

【００１５】 さらに詳細には、コネクティングバー６８の最上部、もしくは内側の端面は、
図４に示したようにオスの鳩尾形をした固定部材を備える。一方の端からベース
コーム（base comb）９０をスライドさせ、正しい場所に固定して、１以上のベ
ースコーム（base comb）９０をコネクティングバー６８上に取りつける。図３
に示したある実施形態では、二つ別々のベースコーム（base comb）９０は、５
時と７時の位置にあるコネクティングバー６８上に設置されている。しかし、ベ
ースコーム（base comb）９０の具体的な長さ、及び／または、数は、ロータ６
０の長さ（及び、ウエハの容量）とともに変化する。ベースコーム（base comb
）９０及びコネクティンバー６８を貫通するピン１０９によって、前もってセッ
トした経線上の位置（前後位置）にベースコーム（base comb）を固定する。こ
れは、ベースコーム（base comb）９０を設置した後に、ベースコーム（base co
mb）９０が動くのを防止し、２つのベースコーム（base comb）９０の歯同士の
配列を保つ。サイドコーム（side comb）１１０の歯も同様である。

【００１６】 図９から図１２について説明する。サイドコーム（side comb）１１０が、お
よそ４時と８時の場所に位置することを除いて、サイドコーム（side comb）１
１０は、ベースコーム（base comb）９０と同様である。それに加えて、サイド
コーム（side comb）１１０の歯１１２は、側表面１１４および１１５が丸く、
平坦な背表面１２０がより広く、平坦な前表面１１８がより短くより垂直となっ
ている。丸まった側表面１１４及び１１５、平坦な前表面１１８及び平坦な後表
面１２０は、小さな矩形の平坦部もしくは頂部１１６で合わさっている。図９か
ら図１２に示したように、サイドコーム（side comb）の残りの特長は、図５か
ら図８に関して記載した特長と同様である。

【００１７】 図３、および図１７について簡単に説明する。ロックダウンアセンブリ７０は
、一対のロックバー及びリテイナ（retainer）を備える。それらは、フロントリ
ング６２とバックプレイト６４に回動自在に取りつけられる。処理中、ロックバ
ーは、カムのような方式でリテイナ（retainer）に向かって移動し、ウエハ４４
を安全にロータ６０内の正しい位置に固定する。図３に記載のように、リテイナ
（retainer）１３０及び１６０、ロックバー１７０及び１８８は、フロントリン
グ６２とバックプレイト６４に取りつけられ、フロントリング６２とバックプレ
イト６４の間に、コネクティングバー６８とドライブシャフト８０に平行な方向
に延びている。図は、右と左の両リテイナ（retainer）１３０及び１６０、左と
右のロックバー１７０及び１８８を備える実施形態を示しているが、本発明の原
理は、単一のリテイナ（retainer）及びロックバーを備える実施の形態、もしく
は、それぞれを２つ以上備える実施の形態にも同様に適用できる。

【００１８】 図１３について説明する。左のリテイナ（retainer）１３０は、回動軸バー１
３２を備える。回動軸バー１３２は、軸受筒１３４を用いて、フロントリング６
２とバックプレイト６４に回動自在に取りつけられる。図１３、１５、及び１６
に記載のように、１以上のカムアーム１３６（示された図では、３つ）は、回動
軸バー１３２に取りつけられたバックウォール１５２、及び、コンタクトバー１
３８に取りつけられたフロントノッチ１５４を備える。コンタクトバー１３８は
、ウエハを正しい位置に保持するように、ウエハの周辺端面と実際に接触する面
となるため、弾力性のあるエラストマ非反応性カバー１４０で被覆されている。
エラストマ非反応性カバー１４０は、プラスティックのピン１４２、もしくは、
同様の留め具を用いて、コンタクトバー１３８の上に正しく保持されている。カ
バー１４０は、好ましくは、パーフルオロ系のエラストマである。

【００１９】 カバー１４０及びＯ−リング片１０６にエラストマ材料を使うことにより、そ
の弾力的な性質に基いて、ロータ及びウエハの直径を可変としながら、ウエハ側
面の接触及び支持を強固にすることができる。ウエハは、強固に、もしくは、確
実に支持されるので、処理中のクロッキング、もしくは、偶発的なウエハの動き
、それに関連した汚染粒子の発生を減らすことができる。

【００２０】 特に図１５及び図１６について説明する。カムアーム１３６は、直線的なアウ
ターセクション１４６を備える。アウターセクションは、第一カーブセクション
１４８につながっており、第一カーブセクション１４８は、第二カーブセクショ
ン１５０につながっている。これらの面１４６、１４８及び１５０は、以下に記
載のように、ロックバーによってリテイナ（retainer）１３０を動かし作用させ
る時に、リテイナ（retainer）１３０の旋回運動を制御するためのカム表面を構
成する。

【００２１】 図１３は、左のリテイナ（retainer）１３０を示している。図４に示すように
、それは、１２時の位置、即ちロータ６０の鉛直軸のすぐ左側にある軸を中心と
して回動する。図３、４、及び１７に示した右リテイナ（retainer）１６０は、
好ましくは、左リテイナ（retainer）１３０と鏡像の関係にあり、１２時の位置
、即ちロータ６０の鉛直軸の右側において回動する。

【００２２】 図１８について説明する。左のロックバー１７０は、外側、即ち低部側の端面
１８２を有するカムバー１７２を備える。ドライブ軸１７８は、カムバー１７２
に取りつけられたステムアーム１７６から外側に伸びている。ステムキャップ、
もしくは、カバー１８０は、ドライブステム１７８上に固定されている。図３及
び図１７について説明する。ロックバー１７０は、軸受筒１７４を用いて、フロ
ントリング６２とバックプレイト６４に回動自在に取り付ける。カムバー１７２
の端面１８２は、リテイナ（retainer）１３０のカムアーム１３６のカム表面上
部と滑動自在に係合する。カムバー１７２の端面１８２は、非金属の材料で被覆
し、カムアームと接触している間に粒子が発生するのを減らしたり防止したりす
ることが好ましい。

【００２３】 右のロックバー１８８は、左のロックバー１７０と鏡像関係であるか同一であ
っても良い。

【００２４】 図４について説明する。図４は、ロックしたポジション、即ちクローズドポジ
ションでのロータ６０を示している。即ち、それぞれのリテイナ（retainer）の
コンタクトバー１３８が、外側に、即ちロータ６０の中心スピン軸から離れる方
向に移動するように、バックプレイト６４上のリテイナ（retainer）スプリング
１９０は、リテイナ（retainer）１３０と１６０の両方とに係合しており、リテ
イナ（retainer）１３０と１６０を外側もしくは、上方に（反対方向であって、
ロータの中心から離れる方向に）押しやって、傾かせる。左のロックバースプリ
ング１９２は、内側エンド１９３、コイル部１９５、外側エンド１９７を備える
。内側エンド１９３は、バックプレイト６４に回動自在に取り付けられており、
外側エンド１９７は、左のロックバー１７０に回動自在に取り付けられている。
コイル部１９５は、内側エンド１９３、及び外側エンド１９７が離れるように押
し広げる。図１９のように、ロータ６０が、ウエハの導入又は取り出しのために
オープンポジションにある場合、スプリング１９４は、内側エンド１９３のまわ
りをロックバー１７０とともに回転し、ロックバーを反時計回りに押して、ロッ
クバーを上部に、即ちオープンポジションに保持する。ロータが回転している間
、カウンターウェイト１９６は、ロックバーがクローズドポジションの方向に回
るよう作用する遠心力によって、保持力を高める。カウンターウェイト１６６の
切り欠き２０１は、バックプレイト６４上のハードストップ２１１と接触し、ロ
ックバーの動きを制限する。

【００２５】 同様に、右のロックバースプリング１９４は、内側エンド２０３、コイル部２
０５、外側エンド２０７を備える。それらは、左サイドと鏡像の関係のように動
作する。スプリング１９２及び１９４は、ロータ６０がオープンポジションにあ
る時ロックバーを上部に保持するように動き、ロック６０がクローズドポジショ
ン、即ちロックポジションにある時ロックバーを下部もしくはクローズドの状態
に保持するように動く。

【００２６】 図１９では、ロックアセンブリ７０（ここでは左側に関してのみ図示し、記載
している）は、上部のポジション、即ちオープンポジションに示されており、ウ
エハ４４を挿入したり、もしくは、取り出したりすることができる。ロックバー
１７０とリテイナ（retainer）１３０の外面形態（レバーアームの長さ）のため
、もしくは、スプリング１９０及び１９２のばね定数のため、ロックダウンアセ
ンブリ７０は、図１９に示されたオープンポジションに存在する。それは、スプ
リング１９２によって、左のロックバー１７０に作用する回転モーメントは、リ
テイナ（retainer）スプリング１９０の力に対抗してリテイナ（retainer）１３
０を動かす程大きくないからである。従って、ロックダウンアセンブリ７０は、
上部のポジション、収縮したポジション、即ち解放されたポジションに存在し、
ウエハを自由に挿入することができる。

【００２７】 図１に示したロボット４０の図２に図示したハンド４２が、処理されるウエハ
４４のバッチとともに処理チャンバ３８に移動する際、ドライブ開口部５４の低
部領域５７は、ドライブステム１７８にかぶさるように移動する。ハンド４２が
、適切な位置にくると、即ち、ウエハ４４がコーム（comb）９０と１１０のギャ
ップ９８に対応する位置にくると、ロボット４０は、ハンド４２を下方向に移動
させる。これによって、ウエハ４４の低部側面は、歯９２及び１１２の表面によ
って導かれて、コーム（comb）のギャップ９８に位置するようになる。同時に、
ハンド４２が下方向に動くことによって、ドライブステム１７８が外側に動く。
なぜならば、ドライブステム１７８は、ハンド４２のドライブ開口部５４の内側
の部分５７から、ドライブ開口部の外側の部分５５に移動するからである。

【００２８】 これが起こることによって、図１９から図２１に示したように、ロックバー１
７０は、下方向に、また、互いに離れるように回転する。カムバー１７２の低部
端面１８２は、カムアーム１３６の上部端面上のカム表面に沿って、下方向に動
く。ハンド４２が下方向に動き続けると、ロックバー１７０とリテイナ（retain
er）１３０は、図１９に図示した位置から図２０に図示した位置へ、最終的に図
２１に図示した位置へ移動する。（右のロックバー１８８と右のリテイナ（reta
iner）１６０の動作は、図１９から図２１に図示した左ロックバー１７０と左リ
テイナ（retainer）１３０の動作と同様であるが、反対（鏡像の関係）である。
）結果的に、コンタクトバー１３８は、リテイナ（retainer）１３０の回転軸を
中心として弧状下方向に移動し、ウエハ４４の周囲端面の上部と接触し、コーム
（comb）と確実に噛み合うようにウエハを下方向に動かす。コーム（comb）内の
オーリング１０６によって、ウエハ側面を弾力的に停止させる。図１９及び図２
０に記載のように、リテイナ（retainer）１３０のコンタクトバー１３８は、そ
れが実質的に垂直にウエハ４４に近づくように配置される。これにより、コンタ
クトバー１３８を、スライディング接触がほとんどないか、全くないように、ウ
エハ側面と接触させる。従って、ウエハを汚染する自由な粒子の形成を減少させ
るか防止することができる。

【００２９】 ロボット４０によって操作されるハンド４２の動きが、ロックバー、及びリテ
イナ（retainer）を上部のポジション、即ちオープンポジションに保持するスプ
リングの力に十分勝るようにする。しかし、ハンド４２を用いて、ロックバーと
リテイナ（retainer）を図２１に図示した位置に移動させた後、ロックダウンア
センブリ７０は、ハンド４２を取り除いた後も、図２１に図示したポジションが
保持される。これは、この時、カムバー１８２がコンタクトバー１３８と直線的
に並んでいるためである。従って、リテイナ（retainer）に作用しているスプリ
ングの力によって、リテイナ（retainer）をウエハ４４から離れる方向に移動さ
せることはできない。カウンターウェイト１９６の遠心力は、スプリング１９２
及び１９４も加えて、ロックダウンされたポジションに、ロックバーを保持する
ように作用する。

【００３０】 ドライブ開口部５４、及び、カムアーム１３６の上部の第一カーブ表面１４８
及び第二カーブ表面１５０の形状により、コンタクトバー１３８が下方向の力を
ウエハに加え始める前に、まず、ウエハをコーム（comb）９０及び１１０上に静
置させる。従って、ウエハ４４は、最初に自重で下がってコーム（comb）９０及
び１１０に入った後、ロックダウンアセンブリ７０により、さらにコーム（comb
）に向かって緩やかに力を受ける。ウエハは、ロータ６０の中で保持されている
ので、処理中の加減速及び／または、ロータの振動によるウエハのクロッキング
モーションは減少するか、又は解消される。その結果、粒子の発生及びその結果
起きるウエハの汚染が減少する。図２２、及び図２３に図示したように、ロック
ダウンアセンブリ７０は、ロータ６０内にウエハ４４を保持する。

【００３１】

【発明の効果】

米国特許第５,７８４,７９７号のような従来の構造と違って、ロータ６０は、
ウエハの側面をＯ−リング片１０６やコンタクトバーカバー１４０などの弾力性
のあるエラストマ材料だけに接触させる。このため、汚染粒子の発生を抑制する
ことができる。それに加えて、遠心力がウエハを正しい位置に保持するのに必要
ではないから、ウエハは正しい位置に取りつける時、ウエハは、ロータの中心か
ら外れて取りつけるのではなく、ロータの中心に取りつけることができる。この
ことによって、従来の構造において問題であった、偏心した回転に関連して発生
する力、それに関連する磨耗、及び、粒子の発生を防止することができる。ロー
タがバランスを欠いた状態は防止され、遠心力はウエハを正しい位置に保持する
のに必要でないから、回転開始時、及び高速でスピンしている間の、ウエハのク
ロッキングは減少し避けられる。ウエハがロータの中心に位置しているか、中心
から離れたところに位置しているかにかかわらず、スプリング、ロックバー、及
びリテイナ（retainer）は、遠心力に依存することなく、積極的にウエハを正し
い位置に取りつける。それによって、意図しないウエハクロッキング、もしくは
ウエハの動きを減少させ解消してくれる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は、半導体ウエハや同様の製品などのフラット媒体を処理する装置の全体
図である。

【図２】 図２は、図１の装置で使っている移送のための器具、即ちハンドの全体図であ
る。

【図３】 図１に示した処理チャンバ内の遠心力処理ロータの全体図である。

【図４】 図３に示したロータの前面図である。

【図５】 図３及び図４に示したベースコーム（base comb）の全体図である。

【図６】 図６は、ベースコーム（base comb）の断面図である。

【図７】 図７は、ベースコーム（base comb）の前面図である。

【図８】 図８は、図５に図示したコーム（comb）部分の拡大図である。

【図９】 図４に図示した側面のコーム(comb）、即ちサイドコーム（side comb）の全体
図である。

【図１０】 図１０は、サイドコーム（side comb）の断面図である。

【図１１】 図１１は、サイドコーム（side comb）の前面図である。

【図１２】 図１２は、図９に図示したコーム（comb）部分の拡大図である。

【図１３】 図１３は、図３及び図４に示した右側の製品リテイナ（retainer）の全体図で
ある。そこに示されている左側の製品リテイナ（retainer）は、右側の製品リテ
イナ（retainer）と鏡像の関係にある。

【図１４】 図１４は、リテイナ（retainer）バーカバーの全体図である。それは、図示し
たように、図１３に示した製品リテイナ（retainer）に取りつけられる。

【図１５】 図１３に示した一つの製品リテイナ（retainer）のアームの全体図である。

【図１６】 図１６は、製品リテイナ（retainer）のアームの前面図である。

【図１７】 図１７は、図３に示されたロータの拡大図である。

【図１８】 図３及び図１７に示した一つのロックバーの部分図である。

【図１９】 図１９は、図３に示されたロータの概略的な断面図であり、上部ポジション、
即ちオープンポジションにある左側製品リテイナ（retainer）を示している。

【図２０】 図２０は、図３に示した遠心力処理ロータの概略的な断面図を示しており、図
３、１７及び１８に図示されたロックバーによって、中間のポジションに移動さ
せられた左側製品リテイナ（retainer）を示している。

【図２１】 図２１は、図３に示した遠心力処理ロータの概略的な断面図を示しており、図
３、１７及び１８に図示されたロックバーによって、下部ポジション、即ちクロ
ーズドポジションに移動させられた左側製品リテイナ（retainer）を示している
。

【図２２】 図２２は、図３に図示された遠心力処理ロータの全体図であり、それは、丸い
製品のバッチを保持している。

【図２３】 図２３は、遠心力処理ロータの側面図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3L113 AA06 AB08 AC63 AC69 BA34 DA24 5F031 CA02 FA01 FA09 FA12 FA18 GA02 GA18 HA74 MA23 MA24 MA26 PA08 PA23

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フラット媒体を受け取る第一セクションと、 フラット媒体を処理するための処理チャンバを少なくとも有する第二セクショ
   ンと、 前記第一セクションと前記第二セクションの間を動くことができるロボットと
   、 少なくとも一つの処理チャンバに回転可能に設置されたロータとを備え、 前記ロータが、 ロータ内にフラット媒体を正しい位置に固定するため、前記ロボットと少なく
   とも間接的に嵌合可能なコンタクトバーであって、 フラット媒体を前記ロータ内に設置、又は取り出しができる第一ポジションか
   ら、当該コンタクトバーがフラット媒体に接触する第二ポジションへ動くことが
   できるコンタクトバー を有することを特徴とする、フラット媒体加工処理装置。
2. 【請求項２】 フロントリングと、 前記フロントリングに回動自在に取りつけられたロックバーであって、ローダ
   ／アンローダに嵌合可能なドライブステムを備えるロックバーと、 前記フロントリングに回動自在に取り付けられ、前記ロックバーと係合するリ
   テイナと、 を備えることを特徴とする、化学処理チャンバ内での使用のためのロータ。
3. 【請求項３】 フロントリングと、 バックプレイトと、 前記フロントリングと前記バックプレイトを接続する一対のベースコネクティ
   ングバーと、 前記ベースコネクティングバー上の一対のベースコームと、 前記フロントリングと前記バックプレイトを接続する一対のサイドコネクティ
   ングバーと、 前記サイドコネクティングバー上の一対のサイドコームと、 当該ロータ上のロックダウンアセンブリと、を備えたロータであって、 前記アセンブリが、 前記フロントリングと前記バックプレイトに回動自在に取り付けられ、カムバ
   ーに連結されたドライブステムを備える左ロックバー及び右ロックバーと、 前記フロントリングと前記バックプレイトに回動自在に取り付けられ、左ロッ
   クバー又は右カムバーに接触する少なくとも一つのカムアームを有する左リテイ
   ナ及び右リテイナと、 を有しており、 ドライブステムが嵌合しながら動くことによって、 前記左リテイナと右リテイナが、 製品がロータ内へロード又はアンロードされるオープンポジションから、ロー
   タ内の製品がリテイナとコーム間に固定されるクローズドポジションに動くこと
   ができることを特徴とする、化学処理チャンバ内の使用のためのロータ。
4. 【請求項４】 少なくとも一つのコネクティングバーを備えるロータフレームと、 前記コネクティングバー上に設けられ、所定のギャップだけ離間した複数の歯
   を有するコームと、 前記コームの少なくとも一部に沿って延びている弾力性部材と、 を備えることを特徴とする処理チャンバ内で使用するためのロータ。
5. 【請求項５】 前記コームに、互いに離間して形成された複数のフックをさらに備え、前記弾
   力性部材が前記フック上に支持されていることを特徴とする請求項４に記載のロ
   ータ。
6. 【請求項６】 前記弾力性部材が、Ｏ−リング片を含むことを特徴とする請求項４に記載のロ
   ータ。
7. 【請求項７】 前記歯の前記ギャップに面した表面が、傾斜した平坦な表面であることを特徴
   とする請求項４に記載のロータ。
8. 【請求項８】 前記歯の前記ギャップに面した表面が、湾曲した表面であることを特徴とする
   請求項４に記載のロータ。
9. 【請求項９】 前記歯の前記弾力性部材に面する表面が、平坦な表面であることを特徴とする
   請求項４に記載のロータ。
10. 【請求項１０】 前記コンタクトバーが、製品と垂直に接触し、前記コンタクトバーと製品間に
    滑り動作が生じないことを特徴とする請求項１に記載の装置。
11. 【請求項１１】 さらにリテイナ上に少なくとも一つのカムアームを備え、前記カムアームが第
    一曲面と、第一曲面に隣接する第二曲面を含むカム表面を備えることを特徴とす
    る請求項２に記載のロータ。
12. 【請求項１２】 製品のバッチをロータの中に設置するステップと、 前記製品が、ロータ内のコーム上に載置されるまで製品を下げるステップと、 第一ポジションから第二ポジションへロックバーを旋回させるステップと、 リテイナを、ロックバーの動きによって、オープンポジションからクローズド
    ポジションへ移動させるステップと、 リテイナとコーム間に製品を固定するステップと、 を備えることを特徴とする、製品加工処理装置のロータ内に製品のバッチを固定
    するための方法。
13. 【請求項１３】 前記リテイナ上にカム表面をさらに備え、前記ロックバーと前記カム表面が係
    合することを特徴とする請求項２に記載のロータ。
14. 【請求項１４】さらに、 前記ロータ内のコームと、 前記コンタクトバー上のカム表面と、 前記カム表面と係合するロックバーと、 を備えることを特徴とする請求項１に記載の装置。
15. 【請求項１５】 前記カム表面が、第一曲面と第二曲面を備えることを特徴とする請求項１４に
    記載の装置。
16. 【請求項１６】 前記コンタクトバーが製品と接触する前に、製品が前記コーム上に静止するよ
    うに、前記カム表面が形成されることを特徴とする請求項１５に記載の装置。