AT515531B1 - Halterungssystem und Beschickungsverfahren für scheibenförmige Objekte - Google Patents

Halterungssystem und Beschickungsverfahren für scheibenförmige Objekte Download PDF

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AT515531B1 ATA50663/2014A AT506632014A AT515531B1 AT 515531 B1 AT515531 B1 AT 515531B1 AT 506632014 A AT506632014 A AT 506632014A AT 515531 B1 AT515531 B1 AT 515531B1
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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Halterungssystem (9) sowie ein Beschickungsverfahren für scheibenförmige Objekte (2). Das Halterungssystem (9) umfasst baulich eigenständig ausgebildete Halteleisten (3), welche durch werkzeuglos aktivier- und deaktivierbare Kupplungsvorrichtungen gegenüber einer Stützvorrichtung (12) wahlweise unmittelbar lösbar und unmittelbar verbindbar sind. Mittels des Halterungssystems (9) ist auch ein Verfahren zum Beschicken einer Behandlungsvorrichtung durchführbar, bei welchem die Halteleisten (3) unmittelbar mit einer ersten Stützvorrichtung (12) verbunden werden, anschließend die Halteleisten (3) unmittelbar mit einer in der Behandlungsvorrichtung angeordneten zweiten Stützvorrichtung (13), insbesondere einem Rotor (13) verbunden werden, und nachfolgend die mechanische Verbindung zwischen der ersten Stützvorrichtung (12) und den Halteleisten (3) unmittelbar gelöst wird.

Description

Beschreibung [0001] Die Erfindung betrifft ein Halterungssystem zur Fixierung und Halterung von scheiben¬förmigen Objekten relativ zueinander, in einer Bereitstellungs- oder Behandlungsposition zurBehandlung der Oberflächen der scheibenförmigen Objekte und bei einem Transfervorgangzwischen verschiedenen Bereitstellungs- und Behandlungspositionen, sowie ein Verfahren zumBeschicken zum einer Behandlungsvorrichtung. Beispiele für derartige scheibenförmige Objektesind Compact- discs, Fotomasken, Photovoltaikelemente, Glassubstrate und dergleichen. Ins¬besondere betrifft die Erfindung ein Halterungssystem zur Fixierung und Halterung von (Halblei¬ter-) Wafern zumindest in einer Behandlungsposition, und bei einem Transfervorgang zwischenverschiedenen Positionen. Die Form der scheibenförmigen Objekte kann dabei grundsätzlichbeliebig sein, die Scheiben können zum Beispiel im Wesentlichen rund oder im Wesentlicheneckig ausgeführt sein.
[0002] Derartige scheibenförmige Objekte werden häufig aus einem Block des Scheibenmateri¬als hergestellt, wobei die Scheiben aus dem Block des Scheibenmaterials abgetrennt, bei¬spielsweise herausgeschnitten oder herausgesägt werden. Nachfolgend an die Herstellungdieser Scheibenrohlinge können weitere Produktionsschritte erfolgen, beispielsweise zur Vere¬delung der Oberflächen der Scheiben, wobei in der Regel vor einer Fertigstellung der Scheibenzumindest ein Behandlungsschritt zum Beispiel in Form einer Reinigungsprozedur für die Ober¬flächen der scheibenförmigen Objekte erfolgt.
[0003] Im Besonderen dienen Halbleiter-Wafer als Substrat für die Produktion von elektroni¬schen Bauelementen, wie etwa integrierte Schaltkreise (IC), Mikroprozessoren, Speicherchips,mikromechanische Bauelemente, photoelektrische Beschichtungen, und Dergleichen. Dabeiwerden an einer oder beiden Oberflächen eines Halbleiter-Wafers sequentiell zahlreiche Be¬handlungsschritte wie zum Beispiel Abtragungs- und Aufbringungsvorgänge ausgeführt, um einHalbleiterelement aufzubauen. Ein Halbleiter-Wafer dient üblicherweise als Substrat für dieHerstellung einer Vielzahl von elektronischen Bauteilen, bzw. werden die Produktionsverfahrenzur Herstellung der Bauteile derart durchgeführt, dass möglichst die gesamte Oberfläche einesHalbleiter-Wafers zur Herstellung von elektronischen Elementen genutzt wird. Zwischen denjeweiligen Produktionsschritten zur Herstellung der elektronischen Bauteile werden in der Regelauch Reinigungsschritte durchgeführt, um Verunreinigungen von den Oberflächen der Wafer zuentfernen. In der Regel erfolgt ein derartiger Reinigungsschritt durch Behandlung der Oberflä¬chen der Wafer mittels Reinigungschemikalien in einer entsprechenden Reinigungs- bzw. Be¬handlungskammer. Bei der Produktion von Halbleiterelementen Essentiell ist hierbei immer,dass im Zuge eines Behandlungsschrittes, wie zum Beispiel einem Ätzvorgang, oder im Zugeeines Reinigungsschrittes alle Oberflächen bzw. Oberflächenabschnitte aller in einer Behand¬lungskammer befindlichen Objekte möglichst gleichmäßig und umfassend von den Behand-lungs- bzw. Reinigungschemikalien erreichbar sind.
[0004] Als besonders effektiv zur Behandlung von scheibenförmigen Objekten haben sich injüngerer Zeit sogenannte Batch-Spray-Verfahren herausgestellt, bei welchen die Oberflächender Scheiben in einer entsprechenden Behandlungskammer mittels Prozess- bzw. Behand¬lungschemikalien besprüht werden. Meistens sind die Behandlungskammern für eine Behand¬lungsprozedur zur Aufnahme einer Vielzahl an Halbleiterwafern ausgestaltet, und die Pro¬zesschemikalien werden über oder Öffnungen, beispielsweise Sprühdüsen in den Seitenwän¬den einer Behandlungskammer bzw. Sprühkammer eingebracht. Häufig werden die Halbleiter¬wafer während der Behandlung mit den Prozesschemikalien in der Sprühkammer zusätzlichrotiert. Weiters ist es in einigen Fällen üblich, zur Behandlung der scheibenförmigen ObjekteGase in eine Behandlungskammer einzuleiten, wobei ein Behandlungsgas auch mit einer Be¬handlungsflüssigkeit in Kombination eingesetzt werden kann. Grundsätzlich kann eine Behand¬lung der Objekte auch oder zusätzlich mechanisch, oder beispielsweise mittels Ultraschall unddergleichen erfolgen.
[0005] Aus dem Stand der Technik ist es bekannt, die scheibenförmigen Objekte mittels einstü- ckigen Halterungsvorrichtungen in einer Behandlungskammer zu haltern. Dabei werden die zurBehandlung bzw. Reinigung vorgesehenen Scheibenobjekte bzw. Halbleiterwafer in ihrer Lagerelativ zueinander von der Halterungsvorrichtung fixiert. Die aus dem Stand der Technik be¬kannten Halterungsvorrichtungen sind dabei beispielsweise als Boxen oder aber auch bei¬spielsweise käfigartig ausgeführt, in welche Boxen oder Käfige die Wafer eingesetzt bzw. ein¬geschoben werden können. Üblich ist eine stapelartige Anordnung der Wafer, wobei die Waferzueinander parallel und voneinander beabstandet in den Käfigen bzw. Boxen angeordnet sind.Zum Fixieren der Wafer in ihrer Lage relativ zueinander sind baulich an diesen vorbekanntenHalterungsvorrichtungen mehrere Stützelemente ausgestaltet, welche Stützelemente durchSeitenwände, Kopfteile, Längs- und Querverstrebungen und Dergleichen gebildet sind. SolcheHalterungsvorrichtungen sind zum Beispiel in der US 2004/0206663 A1, der US 4,300,581 oderder US 6,536,131 B2 offenbart.
[0006] Nachteilig bei diesen vorbekannten, einstückigen Halterungsvorrichtungen ist, dass diebaulich an den Halterungsvorrichtungen ausgestalteten Stützelemente, wie beispielsweiseLängs- und Querverstrebungen und/oder Kopfelemente in der Art von Stützplatten oder-ringen,einen in einer Behandlungskammer in Richtung der Wafer-Oberflächen eingebrachten bzw.eingesprühten Strahl oder Strom der Behandlungschemikalien blockieren können. Durch dieseStützelemente der vorbekannten Halterungsvorrichtungen sind bestimmte Bereiche in der Be¬handlungskammer abgeschattet, sodass die jeweils in einem solchen Abschattungsbereichbefindlichen Oberflächenabschnitte der Wafer von einem jeweiligen Strom bzw. Strahl, bei¬spielsweise einer Prozessflüssigkeit nicht oder nur eingeschränkt erreichbar sind.
[0007] Aufgabe der Erfindung ist es, ein Halterungssystem, eine Behandlungsvorrichtung undein Verfahren zu schaffen, mittels welchen eine verbesserte, möglichst umfassende undgleichmäßigere Behandlung von scheibenförmigen Objekten, wie zum Beispiel Halbleiterwafernerzielbar ist.
[0008] Diese Aufgabe wird zum einen dadurch gelöst, dass ein Halterungssystem zur Halterungvon scheibenförmigen Objekten, insbesondere von Halbleiter-Wafern, in einer Bereitstellungs¬oder Behandlungsposition zur Behandlung der Oberflächen der scheibenförmigen Objekte,sowie zur Halterung der scheibenförmigen Objekte im Zuge eines Transfervorganges zwischenverschiedenen Bereitstellungs- oder Behandlungspositionen bereitgestellt wird. Das Halte¬rungssystem umfasst wenigstens zwei Halteleisten, wobei jede Halteleiste entlang ihrer Längs¬achse Tragmittel zur stapelartigen Halterung der scheibenförmigen Objekte in zueinander paral¬leler und voneinander beabstandeter Anordnung umfasst. Die Tragmittel der Halteleisten ste¬hen dabei mit Randabschnitten der scheibenförmigen Objekte in Wechselwirkung. Zwischenden wenigstens zwei Halteleisten ist ein Aufnahmeraum für die scheibenförmigen Objekteausgebildet. Weiters umfasst das Halterungssystem zumindest eine Stützvorrichtung zumFixieren der Halteleisten in ihrer Lage relativ zueinander.
[0009] Erfindungsgemäß sind die wenigstens zwei Halteleisten baulich eigenständig ausgebil¬det. Zum Fixieren der wenigstens zwei Halteleisten, und den zwischen den Halteleisten imAufnahmeraum angeordneten, scheibenförmigen Objekten, sind wenigstens zwei werkzeuglosaktivier- und deaktivierbare erste Kupplungsvorrichtungen ausgebildet, durch welche die Halte¬leisten gegenüber einer ersten Stützvorrichtung wahlweise unmittelbar lösbar und unmittelbarverbindbar sind. Hier und im Folgenden ist unter ,werkzeuglos aktivier- und deaktivierbar' zuverstehen, dass die Aktivierungen und Deaktivierungen von Kupplungsvorrichtungen, bzw. dieKoppelungs- und Entkoppelungsvorgänge zum Verbinden von Halteleisten mit Stützvorrichtun¬gen und zum Lösen der Halteleisten von Stützvorrichtungen, ohne Zuhilfenahme von zusätzli¬chen Handwerkzeugen durchführbar sind.
[0010] Durch die erfindungsgemäßen Merkmale ist ein Halterungssystem geschaffen, bei wel¬chem die baulich eigenständig ausgebildeten Halteleisten untereinander nicht fix verbundensind, und insbesondere keine Verbindungsstücke oder dergleichen zueinander aufweisen.Dadurch ist die Menge an störenden bzw. hinderlichen Elementen welche zur Abschattungwenigstens von Teilen der Oberflächen der zu behandelnden Objekte führen können, in einer
Behandlungskammer zumindest weitestgehend minimiert. Die Vorteile des erfindungsgemäßenHalterungssystems kommen zum Beispiel dann zur Entfaltung, wenn die scheibenförmigenObjekte in einer Sprühkammer behandelt werden, in welcher Sprühkammer eine Behandlungs¬flüssigkeit via an den Innenwänden der Kammer angeordnete Öffnungen, Sprühdüsen oderdergleichen, in Richtung der zu behandelnden Objekte geleitet wird. Insbesondere sind mög¬lichst wenige Elemente in der Behandlungskammer angeordnet, welche einen auf die Oberflä¬chen der scheibenförmigen Objekte gerichteten Strom oder Strahl der Behandlungsflüssigkeitblockieren oder abschneiden könnten. Dadurch ist eine verbesserte, möglichst umfassende undgleichmäßige Behandlung aller Oberflächenabschnitte von allen in der Behandlungskammerbefindlichen Objekten bzw. Wafern ermöglicht. Insbesondere sind auch die Oberflächenab¬schnitte jener Wafer von der Behandlungsflüssigkeit bzw. den Behandlungschemikalien guterreichbar, welche an einem der beiden Längsenden der Halteleisten zwischen den Halteleistenangeordnet sind.
[0011] Zusätzlich können durch die erfindungsgemäßen Merkmale optimierte bzw. kürzereBehandlungszeiten erzielbar sein, da Strahlen der Behandlungs- bzw. Prozessflüssigkeit, odereines Prozessgases zumindest weitestgehend vollständig und gleichmäßig auf alle Oberflä¬chenabschnitte der scheibenförmigen Objekte einwirken können. Dies kann unter anderemVorteile hinsichtlich der erzielbaren Durchsatzmengen an zu behandelnden Objekte mit sichbringen. Außerdem ist es möglich, dass die Menge an einzusetzender Behandlungsflüssigkeitund/oder -gas reduziert werden kann, da ein überschüssiges Einsetzen an Prozessflüssigkeitbzw. Behandlungschemikalien zum Behandeln abgeschatteter bzw. für einen Flüssigkeitsstrahlerschwert erreichbarer Oberflächenbereiche der Objekte vermieden werden kann. Dieser Vorteilkann sowohl im Hinblick auf ökonomische als auch ökologische Gesichtspunkte relevant sein.Außerdem kann eine Überbehandlung, wie zum Beispiel eine Überätzung von Oberflächenbe¬reichen der scheibenförmigen Objekte im Zuge eines Ätzprozesses, wirksam hintangehaltenwerden. Dies kann insbesondere hinsichtlich der Prozesssicherheit vorteilhaft sein.
[0012] Baulich mit den Halteleisten verbundene Stützelemente zum Fixieren der Lage derHalteleisten relativ zueinander sind durch das erfindungsgemäße Halterungssystem erübrigt.Trotzdem sind sowohl automatisierte und manuelle Transfervorgänge zum Überführen einerstapelartigen Anordnung von scheibenförmigen Objekten, zum Beispiel Wafern, effizient und inprozesssicherer Art und Weise mit der ersten Stützvorrichtung durchführbar. Insbesondere istein werkzeugloses Aktivieren und Deaktivieren der wenigstens zwei ersten Kupplungsvorrich¬tungen ermöglicht, sodass sowohl ein Verbindungsvorgang der Halteleisten mit der erstenStützvorrichtung, als auch ein Lösevorgang der Halteleisten von der ersten Stützvorrichtung,unmittelbar erfolgen können. Dadurch kann die Handhabung der Halteleisten wesentlich effizi¬enter durchführbar sein.
[0013] Außerdem kann aufgrund der baulich eigenständigen Ausbildungsform der Halteleistenerzielbar sein, dass die Halteleisten des erfindungsgemäßen Halterungssystems während einerBehandlung der scheibenförmigen Objekte, im Vergleich zu gemäß dem Stand der Technikausgeführten Halterungsvorrichtungen, in vergleichsweise geringem Ausmaß durch die Be¬handlungschemikalien verunreinigt werden. Dadurch können Reinigungsintervalle zur Reini¬gung der Halteleisten im Vergleich zu Reinigungsintervallen für gemäß dem Stand der Technikausgeführten Halterungsvorrichtungen zeitlich gestreckt werden.
[0014] Schließlich kann das erfindungsgemäße Halterungssystem auch hinsichtlich verbesser¬ter Flexibilität vorteilhaft sein, da aufgrund der baulich eigenständig ausgebildeten Halteleistendiese bezüglich ihrer räumlichen Lage relativ zueinander, im Prinzip beliebig angeordnet wer¬den können. Die genaue Anordnung der Halteleisten in ihrer Lage relativ zueinander kannmittels der erfindungsgemäßen Kupplungsvorrichtungen, bzw. der ersten Stützvorrichtungvariabel gebildet werden, wodurch eine verbesserte Flexibiltät bzw. Anpassungsfähigkeit desHalterungssystems, beispielsweise hinsichtlich Größe und/oder Form der scheibenförmigenObjekte bereitgestellt werden kann.
[0015] Zweckmäßig kann eine Ausführungsform des Halterungssystems sein, bei welcher wenigstens zwei werkzeuglos aktivier- und deaktivierbare zweite Kupplungsvorrichtungen aus¬gebildet sind, durch welche die Halteleisten gegenüber einer zweiten Stützvorrichtung wahlwei¬se unmittelbar lösbar und unmittelbar verbindbar sind.
[0016] Die zweite Stützvorrichtung kann dabei insbesondere als Rotor zum Rotieren der schei¬benförmigen Objekte ausgebildet sein. Dadurch können die Halteleisten wahlweise mit derersten oder der zweiten Stützvorrichtung verbunden werden, oder mit sowohl der ersten undder zweiten Stützvorrichtung verbunden werden. Auf diese Art und Weise ist zum Beispiel eineeffiziente und prozesssichere Überführung der Halteleisten, und der zwischen den Halteleistengehaltenen scheibenförmigen Objekte, von der ersten in die zweite Stützvorrichtung, und um¬gekehrt ermöglicht. Dies auch deshalb, da die Halteleisten während Transfer- oder Übergabe¬vorgängen immer durch wenigstens eine Stützvorrichtung relativ zueinander gehaltert bzw.fixiert werden können. Dadurch sind auch die scheibenförmigen Objekte mittels der Halteleistenbzw. jeweils aktivierter erster und/oder zweiter Kupplungsvorrichtungen in ihrer Lage relativzueinander sicher zwischen den Halteleisten gehaltert. So können die Halteleisten bzw. diescheibenförmigen Objekte mittels der ersten Stützvorrichtung unmittelbar, sicher und effizient ineine zweite Stützvorrichtung, insbesondere einen Rotor eingebracht, oder nach einer erfolgtenBehandlung unmittelbar aus dem Rotor entnommen werden.
[0017] Von Vorteil kann dabei eine weitere Ausgestaltungsform sein, bei welcher bei Einnahmeder Behandlungsposition der scheibenförmigen Objekte die wenigstens zwei ersten Kupplungs¬vorrichtungen gelöst und die erste Stützvorrichtung von den Halteleisten entfernt ist, während¬dessen die wenigstens zwei zweiten Kupplungsvorrichtungen zwischen den Halteleisten undder zweiten Stützvorrichtung, insbesondere dem Rotor zum Rotieren der scheibenförmigenObjekte, aktiviert sind. Auf diese Weise sind die Halteleisten in der Behandlungsposition nurmittels der wenigstens zwei zweiten Kupplungsvorrichtungen mit dem Rotor verbunden, wohin¬gegen weitere Stützelemente, insbesondere die erste Stützvorrichtung in der Behandlungsposi¬tion von den Halteleisten entfernt sind. Dadurch können die Vorteile hinsichtlich verbesserterGleichmäßigkeit der Behandlung der Oberflächen der scheibenförmigen Objekte bzw. verbes¬serter Erreichbarkeit aller Oberflächenabschnitte der Objekte durch Behandlungschemikalien inder Behandlungsposition, nochmals weiter gesteigert werden.
[0018] Weiters kann es vorteilhaft sein, die wenigstens zwei ersten Kupplungsvorrichtungenderart auszubilden, dass die Halteleisten im Zuge eines Transfervorganges der scheibenförmi¬gen Objekte mittels einer einzigen ersten Stützvorrichtung räumlich derart fixiert sind, dass siein Art von einseitig gelagerten Trägern von der ersten Stützvorrichtung vorkragen. Diese Ausbil¬dungsform der Halteleisten und der ersten Stützvorrichtung ermöglicht zum Beispiel eine be¬sonders effiziente Übergabe der Halteleisten an den Rotor. Auch ein Entnahmevorgang derHalteleisten aus dem Rotor mittels der ersten Stützvorrichtung ist dadurch deutlich effizienterdurchzuführen, da durch die einseitige, vorkragende Lagerung der wenigstens zwei Halteleistenan der ersten Stützvorrichtung ein Längsende der Halteleisten verbessert und frei zugänglichist. Dies erleichtert wiederum ein Aktivieren der wenigstens zwei zweiten Kupplungsvorrichtun¬gen, bzw. einen Verbindungsvorgang zum Verbinden der Halteleisten mit dem Rotor oder wei¬teren Stützvorrichtungen zur Halterung der Halteleisten.
[0019] Zweckmäßig kann auch eine Ausgestaltungsvariante sein, bei welcher die wenigstenzwei zweiten Kupplungsvorrichtungen derart ausgebildet sind, dass eine Verdrehung der Halte¬leisten um deren Längsachsen unterbunden ist. Dadurch ist eine verbesserte Stabilität derHalteleisten in der zweiten Stützvorrichtung bzw. dem Rotor erzielbar. Diese Verbesserungkommt insbesondere dann zum Tragen wenn der Rotor in Rotation versetzt wird, und könnenetwaige Beschädigungen an den scheibenförmigen Objekten während des Rotierens wirksamhintangehalten werden.
[0020] Weiters kann es vorteilhaft sein, wenn die Halteleisten an ihren gegenüberliegendenLängsenden oder über ihre gesamte Längserstreckung zumindest einen Kupplungsabschnittaufweisen, welcher zur formschlüssigen Kopplung mit zumindest einem Kupplungsorgan derersten oder zweiten Stützvorrichtung ausgebildet ist. Auf diese Art sind den Halteleisten zuge¬ ordnete Kupplungsabschnitte und den jeweiligen Stützvorrichtungen zugeordnete Kupplungsor¬gane ausgebildet, sodass die ersten und/oder zweiten Kupplungsvorrichtungen durch jeweiligeKopplung der Kupplungsabschnitte mit einem jeweiligen Kupplungsorgan wahlweise aktivier-und deaktivierbar sind. Eine derartige, formschlüssige Ausgestaltungsform stellt eine baulichbesonders einfach zu realisierende, aber dennoch effiziente Variante zur Ausgestaltung derwenigstens zwei ersten und zweiten Kupplungsvorrichtungen dar. Dabei werden die Kupp¬lungsabschnitte der Halteleisten bevorzugt derart ausgestaltet, dass sie sich ohne Unterbre¬chung über die gesamte Längserstreckung der Halteleisten erstrecken. So kann eine grund¬sätzliche geometrische Limitierung der formschlüssigen Verbindung von Halteleisten und Stütz¬vorrichtungen vermieden werden, bzw. kann die gesamte Länge der Halteleisten zur Herstel¬lung einer formschlüssigen Verbindung genutzt werden.
[0021] Eine weitere zweckmäßige Ausgestaltungsform kann dadurch gebildet sein, dass dieKupplungsabschnitte der Halteleisten durch wenigstens eine Vertiefung, insbesondere durchwenigstens eine Nut oder Bohrung, gebildet sind, welche Nut oder Bohrung zum formschlüssi¬gen Verbindung mit wenigstens einem Fortsatz, insbesondere wenigstens einem Stift, derersten oder der zweiten Stützvorrichtung ausgebildet sind. Auf diese Art und Weise kann einebaulich besonders effiziente Ausgestaltung für die formschlüssige Verbindung der Halteleistenmit den Stützvorrichtungen bereitgestellt werden.
[0022] Bevorzugt wird das Halterungssystem derart ausgebildet, dass es drei Halteleistenumfasst. Dadurch ist einerseits eine ausreichend sichere Halterung der scheibenförmigen Ob¬jekte zwischen den Halteleisten gewährleistet. Andererseits ist die Menge an potentiell hinderli¬chen Abschattungselementen in der Behandlungsposition bzw. in einer Behandlungskammermöglichst reduziert.
[0023] Dabei kann die Sicherheit bzw. Stabilität der Halterung der scheibenförmigen Objektezwischen den Halteleisten nochmals dadurch weiter verbessert werden, dass die drei Halteleis¬ten um den Aufnahmeraum für die scheibenförmigen Objekte derart positioniert sind, dass einzwischen benachbarten Halteleisten eingenommener Winkel jeweils etwa 120° beträgt.Dadurch ist insbesondere eine hohe Prozesssicherheit bzw. hohe Halterungssicherheit für diescheibenförmigen Objekte beim Rotieren der zweiten Stützvorrichtung bzw. des Rotor in einerBehandlungskammer gewährleistet.
[0024] Zweckmäßig kann auch eine Ausbildungsform sein, bei welcher die wenigstens zweiersten und die wenigstens zwei zweiten Kupplungsvorrichtungen derart ausgestaltet sind, dasseine Kopplungsbewegung zum Verbinden der Halteleisten mit der ersten und der zweitenStützvorrichtung, und eine Lösebewegung zum Lösen der Halteleisten von der ersten und derzweiten Stützvorrichtung parallel zur Längsachse der Halteleisten durchführbar sind. DieseAusgestaltungsform der ersten und zweiten Kupplungsvorrichtungen ermöglicht Verbindungs¬und Lösevorgänge durch einfache lineare Bewegungen der ersten Stützvorrichtung in beideRichtungen entlang der Längsachse der Halteleisten. Dadurch ist die automatisierte Handha¬bung, beispielsweise durch einen Industrieroboter, aber auch die manuelle Handhabung durcheine Bedienperson wesentlich erleichtert. Insbesondere werden keine komplexen Bewegungs¬vorgänge zum Verbinden der Halteleisten mit den Stützvorrichtungen benötigt.
[0025] Weiters kann es sinnvoll sein, den Rotor in einer Behandlungskammer anzuordnen,welche Behandlungskammer Mittel zum Zuführen einer Behandlungsflüssigkeit und/oder einemBehandlungsgas zur Behandlung, insbesondere zur chemischen Reinigung, der scheibenförmi¬gen Objekte umfasst. So ist eine besonders effiziente Möglichkeit zur gleichmäßigen Behand¬lung der Oberflächen der scheibenförmigen Objekte geschaffen. Der Rotor mit den verbunde¬nen Halteleisten und den zwischen den Halteleisten gehalterten Objekten kann in der statischenBehandlungskammer rotiert werden, während zum Bespiel über Öffnungen, Düsen oder der¬gleichen an den Innenwänden der Behandlungskammer, Behandlungschemikalien in Richtungder Objekte eingebracht werden können. Durch die Rotation der Objekte, wie zum BeispielWafer, kann die gleichmäßige Verteilung der Prozesschemikalien über alle Oberflächenab¬schnitte der Wafer wirksam unterstützt werden.
[0026] Eine weitere zweckmäßige Ausbildungsform sieht vor, dass mittels der wenigstens zweiersten Kupplungsvorrichtungen bei Einnahme ihres aktivierten Betriebszustandes, Relativbe¬wegungen zwischen den Halteleisten und der ersten Stützvorrichtung quer zur Längsachse derHalteleisten unterbunden sind. Auf diese Weise kann beispielsweise während eines Transfer¬vorgangs zwischen einer Bereitstellungsposition und einer Behandlungsposition wirksam ver¬hindert werden, dass sich scheibenförmige Objekte unbeabsichtigter bzw. ungewollter Weiseaus ihrer Position zwischen den Halteleisten lösen.
[0027] Es kann aber auch vorteilhaft sein, zwischen der ersten Stützvorrichtung und wenigstenseiner Halteleiste zumindest eine weitere, wahlweise aktivierbare und deaktivierbare Koppe¬lungsvorrichtung zum wahlweisen Verbinden und Lösen der wenigstens einen Halteleiste miteinem Koppelungsorgan der ersten Stützvorrichtung, und zum wahlweisen Unterbinden undFreigeben von Relativbewegungen zwischen den Halteleisten und dem Koppelungsorgan inparalleler Richtung zur Längsachse der Halteleisten auszubilden. Durch derartige Koppelungs¬vorrichtungen kann bei einem Transfervorgang ein unbeabsichtigtes bzw. ungewolltes Lösender ersten Kupplungsvorrichtungen wirksam hintangehalten werden, wodurch die Prozesssi¬cherheit bzw. die Sicherheit bei einem Transfervorgang nochmalig weiter erhöht werden kann.Insbesondere kann bei einer rein formschlüssigen und lediglich in Richtung der Längsachsender Halteleisten wirkenden Ausgestaltungsform der ersten Kupplungsvorrichtungen, ein Abglei¬ten der Halteleisten von der ersten Stützvorrichtung, beispielsweise während eines Transfervor¬ganges wirksam hintangehalten werden.
[0028] Dabei kann es sinnvoll sein, dass das Koppelungsorgan zumindest ein Sicherungsele¬ment umfasst, welches Sicherungselement zum form- oder reibschlüssigen Zusammenwirkenmit einer Halteleiste ausgebildet ist. Durch ein derartiges Sicherungselement kann wiederumeine baulich einfach zu realisierende und dennoch effiziente Variante zur Sicherung bzw. Halte¬rung der Halteleisten an der ersten Stützvorrichtung bereitgestellt werden.
[0029] Weiters kann es zweckmäßig sein, dass an zumindest einem Längsende wenigstenseiner Halteleiste ein Sicherungsmittel, insbesondere eine Sicherungsnut vorgesehen ist, wel¬ches wenigstens eine Sicherungsmittel zum formschlüssigen Zusammenwirken mit einemSicherungselement, insbesondere einem Sicherungsfortsatz der ersten Stützvorrichtung, aus¬gebildet ist. Durch eine derartige Ausgestaltung von baulich jeweils an den Halteleisten ange¬ordneten Sicherungsnuten, und baulich an dem Koppelungsorgan der ersten Stützvorrichtungangeordneten Sicherungsfortsätzen, ist ein rasches und effizientes, formschlüssiges Aktivierenund Deaktivieren der Koppelungsvorrichtung(en) ermöglicht. Außerdem können so besondersausfallssichere Koppelungsvorrichtungen realisiert werden.
[0030] Beispielsweise kann ein wahlweises Aktivieren und Deaktivieren der wenigstens einenKoppelungsvorrichtung dadurch ermöglicht sein, dass die wenigstens eine weitere Koppelungs¬vorrichtung durch Verschwenkung der ersten Stützvorrichtung mittels eines Industrierobotersoder einer Bedienperson um eine parallel zur Längsachse der Halteleisten und im Wesentlichendurch das Zentrum der ersten Stützvorrichtung verlaufende Achse wahlweise aktivierbar unddeaktivierbar ist. Dies stellt eine baulich besonders einfach zu realisierende, aber dennocheffiziente Variante zum Koppeln bzw. Sichern der Halteleisten an der ersten Stützvorrichtungmittels des Koppelungsorgans dar. Insbesondere ist dadurch die automatische Handhabung derersten Stützvorrichtung bzw. des Koppelungsorgans durch einen Industrieroboter optimiert, dadas Aktivieren oder Deaktivieren der wenigstens einen Koppelungsvorrichtung lediglich einemöglichst minimale Drehbewegung der ersten Stützvorrichtung erfordert.
[0031] Alternativ oder zusätzlich kann es von Vorteil sein, wenn das Koppelungsorgan an derersten Stützvorrichtung um eine parallel zur Längsachse der Halteleisten und im Wesentlichendurch das Zentrum der ersten Stützvorrichtung verlaufende Achse zumindest soweit ver-schwenkbar gelagert ist, dass die wenigstens eine weitere Koppelungsvorrichtung wahlweiseaktivierbar und deaktivierbar ist. Diese Ausgestaltungsvariante erleichtert insbesondere einemanuelles Aktivieren und Deaktivieren der wenigstens einen ersten Koppelungsvorrichtungdurch eine Bedienperson, da die Drehbewegung unabhängig von der Halterung der ersten
Stützvorrichtung erfolgen kann.
[0032] Weitere Vorteile sind dadurch erzielbar, dass an der ersten Stützvorrichtung wenigstenseine Stellvorrichtung angeordnet ist, mittels welcher eine Relativverstellung zwischen der erstenStützvorrichtung und den Halteleisten in paralleler Richtung zur Längsachse der Halteleistenermöglicht ist. Insbesondere können so Verbindungs- und Lösevorgänge zum Verbinden undLösen der Halteleisten mit bzw. von der ersten Stützvorrichtung in besonders effizienter Art undWeise bewerkstelligt werden. Aber auch eine Aktivierung und Deaktivierung weiterer Kupp¬lungsvorrichtungen, zum Beispiel zum Verbinden der Halteleisten mit der zweiten Stützvorrich¬tung bzw. dem Rotor und Lösen der Halteleisten vom Rotor, kann durch derartige Stellvorrich¬tungen wesentlich verbessert bzw. erleichtert werden.
[0033] Dabei kann es zweckmäßig sein, wenn die wenigstens eine Stellvorrichtung wenigstenseine parallel zur Längsachse der Halteleisten verlaufende Führungsvorrichtung umfasst. Mittelseiner solchen Führungsvorrichtung sind Verbindungs- und Lösevorgänge zum Verbinden derHalteleisten mit Stützvorrichtungen mit hoher Prozesssicherheit ausführbar.
[0034] Zum maschinellen Verstellen der Halteleisten relativ zur ersten Stützvorrichtung umfasstdie wenigstens eine Stellvorrichtung bevorzugt einen Stellantrieb, insbesondere einen pneuma¬tischen Stellzylinder. Vorteilhaft ist dabei, dass ein baulich einfach zu realisierendes und platz¬sparendes, aber dennoch effizientes Mittel zum maschinellen Verstellen der Halteleisten bereit¬gestellt ist.
[0035] In einer weiteren sinnvollen Ausgestaltungsform kann vorgesehen sein, dass das Kop¬pelungsorgan mittels der Stellvorrichtung in paralleler Richtung zur Längsachse der Halteleistenrelativ zu einem Tragkörper der ersten Stützvorrichtung verstellbar gelagert ist.
[0036] Insbesondere kann dabei vorgesehen sein dass während eines Verstellvorgangs derwenigstens einen Stellvorrichtung die wenigstens eine weitere Koppelungsvorrichtung aktiviert,und dabei das Koppelungsorgan der ersten Stützvorrichtung als Mitnehmer für die Halteleistenwirksam ist. Auf diese Art und Weise kann das Koppelungsorgan nicht nur zur Sicherung derHalteleisten an der ersten Stützvorrichtung benutzt werden, sondern ist das Koppelungsorganauch zum Verstellen der Halteleisten in paralleler Richtung zur Längsachse der Halteleistenrelativ zu dem Tragkörper der ersten Stützvorrichtung nutzbar. Zusätzliche, baulich separatangeordnete Mitnehmer für die Halteleisten sind damit vorteilhafterweise erübrigt.
[0037] E in weiterer Vorteil ergibt sich daraus, einen verfügbaren Verstellweg der Stellvorrich¬tung derart zu dimensionieren, dass die wenigstens zwei ersten Kupplungsvorrichtungen mittelsder Stellvorrichtung wahlweise aktivierbar und deaktivierbar sind. Dadurch sind die Halteleistenmittels der Stellvorrichtung vollständig von der ersten Stützvorrichtung lösbar bzw. ist die ersteStützvorrichtung von den Halteleisten zum Beispiel nach Einführen der Halteleisten und derzwischen den Halteleisten angeordneten Objekten in einen Rotor entfernbar.
[0038] Eine weitere zweckmäßige Ausgestaltungsform ergibt sich dadurch, dass wenigstenseiner der Halteleisten eine Linearführung oder eine Schwenklagerung zugeordnet ist, mittelswelcher die Halteleiste vom Aufnahmeraum für die scheibenförmigen Objekte wahlweise ent¬fernbar und zum Aufnahmeraum annäherbar ist. Bei wenigstens einer vom Aufnahmeraumentfernten Halteleiste ist es ermöglicht, dass die Halteleisten mittels der ersten Stützvorrichtungum in einer Bereitstellungsvorrichtung angeordnete scheibenförmige Objekte positionierbarsind. Nach erfolgtem Annähern der wenigstens einen Halteleiste an den Aufnahmeraum mittelsder Linearführung können die scheibenförmigen Objekte zwischen den Halteleisten gehaltert,und mittels der ersten Stützvorrichtung zum Beispiel in einen Rotor überführt werden.
[0039] Bevorzugt ist der Linearführung oder Schwenklagerung ein Stellantrieb, insbesondereein pneumatischer Stellzylinder, zur Relativverstellung der wenigstens einen Halteleiste zuge¬ordnet. Dadurch ist ein baulich einfach zu realisierendes und platzsparendes, aber dennocheffizientes Mittel zum maschinellen Verstellen der Halteleisten bereitgestellt.
[0040] Dabei kann es weiters zweckmäßig sein, dass zumindest jenen Halteleisten, welche mittels der Linearführung oder Schwenklagerung verstellbar gelagert sind, ein zusätzlichesAxialsicherungsmittel zugeordnet ist, welches zusätzliche Axialsicherungsmittel zur wahlweisenUnterbindung und Freigabe von Relativbewegungen zwischen dieser Halteleiste und der erstenStützvorrichtung in paralleler Richtung zur Längsachse dieser Halteleiste ausgebildet ist. Durchdiese Ausgestaltungsvariante kann ein ungewolltes Lösen dieser Halteleisten auch dann wirk¬sam unterbunden werden, wenn die Halteleiste mittels der Stellvorrichtung vom Aufnahmeraumentfernt positioniert ist.
[0041] Grundsätzlich kann die erste Stützvorrichtung zur automatisierten Handhabung durcheine entsprechend programmierte bzw. programmierbare automatische Handhabungsvorrich¬tung ausgebildet sein. Hierzu kann die erste Stützvorrichtung beispielsweise eine Verbindungs¬schnittstelle zu einem Industrieroboter aufweisen, sodass die erste Stützvorrichtung als Endef¬fektor des Industrieroboters fungiert.
[0042] Alternativ und/oder zusätzlich kann die erste Stützvorrichtung aber auch zur manuellenHandhabung durch eine Bedienperson vorgesehen sein. Dann kann es zweckmäßig sein, dassdie erste Stützvorrichtung wenigstens einen, insbesondere zumindest zwei Handgriffe zummanuellen Ergreifen der ersten Stützvorrichtung durch eine Bedienperson aufweist.
[0043] Zusätzlich kann es sinnvoll sein, dass die erste Stützvorrichtung wenigstens eine Hand¬habe zum manuellen Einleiten von Stellbewegungen der verstellbaren Elemente an der erstenStützvorrichtung aufweist. Dadurch ist auch eine manuelle Handhabung der ersten Stellvorrich¬tung durch eine Bedienperson ermöglicht.
[0044] Die Erfindung betrifft aber auch eine Behandlungsvorrichtung für scheibenförmige Ob¬jekte, insbesondere Halbleiter-Wafer, welche Vorrichtung einen in einer Behandlungskammerangeordneten Rotor, eine Mehrzahl von Auslässen zur Einleitung von gasförmigen oder flüssi¬gen Chemikalien in die Behandlungskammer, und eine an einem axialen Ende der Rotations¬achse des Rotors angeordnete Beschickungsöffnung zur Einbringung einer Mehrzahl von zubehandelnden, scheibenförmigen Objekten umfasst. Die Behandlungsvorrichtung zeichnet sichdadurch aus, dass der Rotor zum lösbaren Aufnehmen von und Verbinden mit Halteleisten desoben beschriebenen, erfindungsgemäßen Halterungssystems vorgesehen ist. Die dadurcherzielbaren Vorteile sind äquivalent zu den sich aus dem erfindungsgemäßen Halterungssystemergebenden Vorteile.
[0045] Die Aufgabe der Erfindung wird auch dadurch gelöst, dass ein Verfahren zum Beschi¬cken einer Behandlungsvorrichtung mit einer stapelartigen Anordnung scheibenförmiger Objek¬te bereitgestellt wird, wobei die scheibenförmigen Objekte zwischen wenigstens zwei Halteleis¬ten angeordnet werden, welche Halteleisten mittels Tragmitteln an den Randabschnitten derscheibenförmigen Objekte formschlüssig eingreifen. Erfindungsgemäß werden die die Halteleis¬ten mittels wenigstens zwei werkzeuglos aktivier- und deaktivierbaren ersten Kupplungsvorrich¬tungen unmittelbar mit einer ersten Stützvorrichtung verbunden, anschließend werden die Hal¬teleisten mittels wenigstens zwei werkzeuglos aktivier- und deaktivierbaren zweiten Kupplungs¬vorrichtungen unmittelbar mit einer in der Behandlungsvorrichtung angeordneten zweiten Stütz¬vorrichtung, insbesondere einem Rotor verbunden, und nachfolgend die mechanische Verbin¬dung zwischen der ersten Stützvorrichtung und den Halteleisten mittels den wenigstens zweiersten Kupplungsvorrichtungen unmittelbar gelöst. Durch diese Maßnahmen ist ein Verfahrenbereitgestellt, mittels welchem eine verbesserte, möglichst umfassende und gleichmäßigereBehandlung von scheibenförmigen Objekten, wie zum Beispiel Halbleiterwafern erzielbar ist.Weitere Vorteile des Verfahrens ergeben sich in äquivalenter Art zu den bereits oben beschrie¬benen Vorteilen des erfindungsgemäßen Halterungssystems, mittels welchem die Ausführungdes erfindungsgemäßen Verfahrens ermöglicht ist.
[0046] Dabei kann eine Ausführungsform des Verfahrens durchgeführt werden, bei welcher diescheibenförmigen Objekte zwischen drei gleichmäßig über den Rotationsumfang des Rotorsverteilt angeordnete Halteleisten gehalten werden, und mittels drei zweiten Kupplungsvorrich¬tungen eine formschlüssige Verbindung zwischen den Halteleisten und dem Rotor aufgebautwird. Durch diese Verfahrensführung ist eine hohe Verfahrenssicherheit erzielbar, insbesondere können die scheibenförmigen Objekte sicher durch die Halteleisten im Rotor gehaltert werden,während der Rotor in Rotation versetzt wird.
[0047] Schließlich kann die Verfahrensführung dabei derart erfolgen, dass die Halteleistenausschließlich durch die wenigstens zwei zweiten Kupplungsvorrichtungen formschlüssig anden jeweiligen Sollpositionen am Rotationsumfang des Rotors gehalten werden. Dadurch kanndie Menge an störenden bzw. hinderlichen Elementen welche zur Abschattung wenigstens vonTeilen der Oberflächen der zu behandelnden Objekte führen können, in einer Behandlungs¬kammer zumindest weitestgehend minimiert werden.
[0048] Zum besseren Verständnis der Erfindung wird diese anhand der nachfolgenden Figurennäher erläutert.
[0049] Es zeigen jeweils in stark vereinfachter, schematischer Darstellung: [0050] Fig. 1 eine Halterungsvorrichtung gemäß dem Stand der Technik, in schematischer, perspektivischer Darstellung; [0051] Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel für Komponenten eines erfindungsgemäßen Halte¬ rungssystem, in schematischer, perspektivischer Darstellung, mit aufgelöstenKomponenten des Halterungssystems; [0052] Fig. 3 ein Ausführungsbeispiel für Komponenten eines erfindungsgemäßen Halte¬ rungssystem in einer ersten Stellung relativ zueinander, in schematischer,perspektivischer Darstellung; [0053] Fig. 4 ein Ausführungsbeispiel für Komponenten eines erfindungsgemäßen Halte¬ rungssystem in einer weiteren Stellung relativ zueinander, in schematischer,perspektivischer Darstellung; [0054] Fig. 5 ein Ausführungsbeispiel für Komponenten eines erfindungsgemäßen Halte¬ rungssystem in einer weiteren Stellung relativ zueinander, in schematischer,perspektivischer Darstellung; [0055] Fig. 6 ein Ausführungsbeispiel für Komponenten eines erfindungsgemäßen Halte¬ rungssystem in einer weiteren Stellung relativ zueinander, in schematischer,perspektivischer Darstellung; [0056] Fig. 7 ein Ausführungsbeispiel für Komponenten eines erfindungsgemäßen Halte¬ rungssystem in einer weiteren Stellung relativ zueinander, in schematischer,perspektivischer Darstellung; [0057] Fig. 8 ein Ausführungsbeispiel für Komponenten eines erfindungsgemäßen Halte¬ rungssystem in einer weiteren Stellung relativ zueinander, in schematischer,perspektivischer Darstellung; [0058] Fig. 9 ein Ausführungsbeispiel für Komponenten eines erfindungsgemäßen Halte¬ rungssystem in einer weiteren Stellung relativ zueinander, in schematischer,perspektivischer Darstellung; [0059] Fig. 10 ein Ausführungsbeispiel für Komponenten eines erfindungsgemäßen Halte¬ rungssystem in einer weiteren Stellung, in schematischer, perspektivischerDarstellung.
[0060] Einführend sei festgehalten, dass in den unterschiedlich beschriebenen Ausführungs¬formen gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen bzw. gleichen Bauteilbezeichnungen verse¬hen werden, wobei die in der gesamten Beschreibung enthaltenen Offenbarungen sinngemäßauf gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen bzw. gleichen Bauteilbezeichnungen übertragenwerden können. Auch sind die in der Beschreibung gewählten Lageangaben, wie z.B. oben,unten, seitlich, mittig usw. auf die unmittelbar beschriebene sowie dargestellte Figur bezogenund sind diese Lageangaben bei einer Lageänderung sinngemäß auf die neue Lage zu über¬tragen. Aus Übersichtlichkeitsgründen werden teilweise nicht alle in den Figuren dargestellten
Elemente bzw. Bauteile mit Bezugszeichen versehen. Insbesondere werden bei baugleichenElementen bzw. Bauteilen teilweise lediglich exemplarisch ein oder mehrere dieser Bauteile mitBezugszeichen versehen.
[0061] In der Fig. 1 ist ein Beispiel für eine zylinderförmige Halterungsvorrichtung 1 gemäß demStand der Technik perspektivisch dargestellt. Zur Aufnahme von scheibenförmigen Objekten 2weist die Haltevorrichtung Halteleisten 3 auf, wobei zwischen den Halteleisten 3 ein Aufnahme¬raum 4 für die Scheiben 2 gebildet ist. In dem in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel könnendie scheibenförmige Objekte 2 in der Halterungsvorrichtung 1 bzw. im Aufnahmeraum 4 stapel¬artig in einer zueinander parallelen und voneinander beabstandeten Lage angeordnet werden.Eine derartige Anordnung ist beispielsweise für die Oberflächenbehandlung von scheibenförmi¬gen Objekten in Sprühkammern üblich. Für die stapelartige Anordnung der Objekte 2 im Auf¬nahmeraum 4 weist jede Halteleiste 3 entlang einer jeweiligen Längsachse 5 der Halteleiste 3Tragmittel 6 auf. Im in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel sind die Tragmittel 6 durch vonei¬nander beabstandete und entlang der Längsachse angeordnete, nutartige Einkerbungen bzw.Einschnitte in den Halteleisten 3 gebildet. Diese Einkerbungen sind jeweils zur Aufnahme einesRandabschnittes eines scheibenförmigen Objektes 2 ausgestaltet, wie dies aus Fig. 1 ersicht¬lich ist. Zusätzlich weist die Halterungsvorrichtung 1 zur Fixierung der Halteleisten 3 in ihrerPosition relativ zueinander eine Stützvorrichtung auf, welche im in Fig. 1 gezeigten Beispieldurch 2 baulich separat an der Halterungsvorrichtung 1 angebrachte Stützringe 7, 7' ausgebil¬det ist. Dadurch ist eine baulich einstückige Halterungsvorrichtung 1 gebildet, in welcher diescheibenförmigen Objekte 2 in ihrer Lage relativ zueinander fixiert gehalten sind.
[0062] Die in Fig. 1 dargestellten scheibenförmigen Objekte 2 sind als runde Scheiben ausge¬staltet, wobei selbstverständlich auch andere Scheibenformen bzw. Scheibengeometrien mög¬lich sind. Die Halterungsvorrichtung 1 gemäß dem Stand der Technik, muss dabei allerdingsbaulich an die jeweilige Form der scheibenförmigen Objekte 2 angepasst sein, sodass dieHalterungsvorrichtung 1 jeweils nur zur Aufnahme einer bestimmten geometrischen Ausgestal¬tungsform der scheibenförmigen Objekte 2 geeignet ist.
[0063] Zwei Halteleisten 3 der baulich einstückigen Halterungsvorrichtung 1 in Fig. 1 sind mit¬tels Schwenkgelenken 8 vom Aufnahmeraum 4 wegschwenkbar ausgeführt. Dadurch ist eineÖffnung zum Einführen und Entnehmen von Wafern 2 in bzw. aus dem Aufnahmeraum 4 derHalterungsvorrichtung 1 geschaffen. Die Halterungsvorrichtung 1 kann im geschlossenen Zu¬stand beispielsweise händisch von einer Bedienperson, oder von einer entsprechend ausgestal¬teten und programmierten, automatischen Handhabungsvorrichtung zwischen verschiedenenPositionen transferiert werden, zum Beispiel von einer Bereitstellungsposition für das Einführenund/oder Entfernen von Wafern 2, in eine Behandlungsposition für die Wafer 2, oder umge¬kehrt. Die scheibenförmigen Objekte 2 und die Halteleisten 3 sind dabei in der jeweiligen Positi¬on, zum Beispiel in einer Behandlungsposition, oder bei einem Transfervorgang zwischen ver¬schiedenen Positionen durch die baulich mit der Halterungsvorrichtung 1 verbundenen Stützrin¬ge 7, 7' in ihrer Lage relativ zueinander fixiert gehalten. Wie bereits eingangs beschrieben istdabei allerdings nachteilig, dass durch die baulich an der Halterungsvorrichtung 1 ausgebilde¬ten Stützringe 7, 7' und den zahlreichen, zwischen den Stützringen 7, 7' angeordneten Verstre¬bungen, bestimmte Zonen in einer Behandlungskammer für Ströme bzw. Strahlen einer Pro¬zessflüssigkeit abschatten, und dadurch eine umfassende und gleichmäßige Behandlung derScheibenoberflächen erschwert ist.
[0064] In der Fig. 2 sind Komponenten einer Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Halte¬rungssystems 9 in perspektivischer und aufgelöster Darstellung gezeigt. Das Halterungssystem9 umfasst bevorzugt drei Halteleisten 3, zwischen welchen einen Aufnahmeraum 4 für diescheibenförmigen Objekte 2 bzw. Wafer 2 gebildet ist. Wiederum sind an jeder der drei darge¬stellten Halteleisten 3 in Fig. 2 entlang einer jeweiligen Längsachse 5 der Halteleisten 3 Trag¬mittel 6 angeordnet. Die Tragmittel 6 der Halteleisten 3 sind in dem in Fig. 2 gezeigten Ausfüh¬rungsbeispiel durch Einkerbungen gebildet, welche zur Halterung der scheibenförmigen Objekte2 jeweils mit einem Randabschnitt der scheibenförmigen Objekte 2 in Wechselwirkung stehen.
[0065] Die Tragmittel 6 der Halteleisten 3 sind derart ausgestaltet bzw. angeordnet, dass einestapelartige Anordnung der scheibenförmigen Objekte 2, in einer zueinander parallelen undvoneinander beabstandeten Anordnung ermöglicht ist. Wie aus der Fig. 2 weiters ersichtlich ist,sind beim erfindungsgemäßen Halterungssystem 9 die drei Halteleisten 3 baulich eigenständigausgebildet, und weisen keine feste Verbindung zueinander auf.
[0066] Selbstverständlich wäre in der für Fig. 2 gewählten Darstellungsform, die in der Fig. 2mittig gezeigte Komponente, umfassend die drei Halteleisten 3 und die zwischen den Halteleis¬ten 3 angeordneten Objekte 2, für sich allein genommen mechanisch instabil, da kein Stützmit¬tel zum Fixieren der Halteleisten 3 mit den Halteleisten 3 verbunden ist. Zum besseren Ver¬ständnis der Erfindung ist die gewählte, aufgelöste Darstellungsform von Einzelkomponentendes Halterungssystems 9 dennoch geeignet, da die wesentlichen Aspekte der Erfindung besserveranschaulicht werden können, und es wird an dieser Stelle vermerkt, dass die für Fig. 2 ge¬wählte Darstellungsform keinen realen Zustand des Halterungssystems 9 darstellt. Realfälle fürAnordnungen der Komponenten eines erfindungsgemäßen Halterungssystems 9 sind bei¬spielsweise aus den folgenden Fig. 3 bis 10 ersichtlich, in welchen jeweils zumindest eineStützvorrichtung 12, 13 zur Fixierung der Halteleisten in ihrer Lage relativ zueinander, mit denHalteleisten 3 verbunden dargestellt ist.
[0067] Zwecks Halterung bzw. Fixierung der in Fig. 2 mittig gezeigten Anordnung der baulicheigenständigen Halteleisten 3 in ihrer Lage relativ zueinander, sind drei werkzeuglos aktivier-und deaktivierbare erste Kupplungsvorrichtungen 10 und/oder drei werkzeuglos aktivier- unddeaktivierbare zweite Kupplungsvorrichtungen 11 vorgesehen. Mittels dieser ersten und zweitenKupplungsvorrichtungen 10, 11 sind die drei Halteleisten 3 in Fig. 2, wahlweise unmittelbar mitder auf der rechten Seite dargestellten, ersten Stützvorrichtung 12, oder unmittelbar mit dem inFig. 2 links dargestellten Rotor 13 bzw. der zweiten Stützvorrichtung 13, oder sowohl mit derersten Stützvorrichtung 12 und dem Rotor 13 verbindbar. Dabei ist die jeweilige Verbindungzwischen den in Fig. 2 dargestellten Komponenten 3, 12, 13 via die Kupplungsvorrichtungen 10,11 unmittelbar wieder lösbar, sodass die drei Halteleisten 3 bzw. die zwischen den Halteleisten3 angeordneten scheibenförmigen Objekte 2 mittels der Stützvorrichtung 12 in den Rotor 13einbringbar oder aus dem Rotor 13 entnehmbar sind.
[0068] Bei Bedarf können auch mehr als drei Halteleisten 3 angeordnet sein, zumindest abersind zwei Halteleisten 3 nötig, um die scheibenförmigen Objekte 2 in ihrer Lage relativ zueinan¬der zu positionieren. Bei einer Anordnung von nur zwei Halteleisten 3, kann die Halterung derscheibenförmigen Objekte 2 beispielsweise über ein formschlüssiges Zusammenwirken vonentsprechend an den Halteleisten 3 ausgestalteten Tragmitteln 6 mit den Randabschnitten derscheibenförmigen Objekte 2 unterstützt werden. Die Tragmittel 6 können dabei zumindestteilweise an die Form der Randabschnitte der scheibenförmigen Objekte 2 angepasst sein,sodass ein zumindest abschnittsweiser, passgenauer Formschluss zwischen den Tragmitteln 6und den Randabschnitten der Objekte 2 ermöglicht ist. Bei einer Verwendung von nur zweiHalteleisten können die zwei Halteleisten bei einem Transfervorgang zwischen verschiedenenPositionen von einer entsprechend ausgebildeten ersten Stützvorrichtung und aktivierten erstenKupplungsvorrichtungen in Richtung des Bodens weisend positioniert sein, sodass die schei¬benförmigen Objekte von den Halteleisten quasi tragend gehaltert sind. In einem solchen Fallwäre im Rotor gegebenenfalls wenigstens eine baulich im Rotor angeordnete, zusätzlicheStützstrebe oder ähnliche Stützvorrichtung für die scheibenförmigen Objekte vorzusehen, umdie scheibenförmigen Objekte während des Rotierens zu stabilisieren.
[0069] Die Kupplungsvorrichtungen 10 sind in dem in Fig. 2 gezeigten Ausführungsbeispieldurch zur gegenseitigen, formschlüssigen Kopplung ausgestaltete Elemente an den Halteleis¬ten 3 und an der ersten Stützvorrichtung 12 gebildet. An den Halteleisten 3 sind Kupplungsab¬schnitte 14 ausgestaltet. In dem in Fig. 2 gezeigten Ausführungsbeispiel sind die Kupplungsab¬schnitte 14 an den Halteleisten 3 durch jeweils zwei Vertiefungen bzw. Nuten 15 an gegenüber¬liegenden Seitenflächen der Halteleisten 3 gebildet. Die Nuten 15 sind jeweils parallel zurLängsachse 5 der Halteleisten 3 ausgerichtet, und erstrecken sich über die gesamte Länge derHalteleisten 3. Selbstverständlich wäre es auch möglich, je zwei baulich separate Kupplungs- abschnitte 14 an den beiden Längsenden einer Halteleiste 3 anzuordnen.
[0070] Zur formschlüssigen Kopplung mit den nutförmigen Kupplungsabschnitten 14 der Halte¬leisten 3, sind an der Stützvorrichtung 12 Kupplungsorgane 16 ausgestaltet. Im in Fig. 2 gezeig¬ten Ausführungsbeispiel sind diese Kupplungsorgane 16 durch je zwei Fortsätze bzw. Stifte 17gebildet, welche jeweils mit den beiden Nuten 15 einer Halteleiste 3 formschlüssig verbindbarund wieder lösbar sind. Durch formschlüssiges Verbinden der beiden Nuten 15 der drei Halte¬leisten 3 mit den Stiften 17 der ersten Stützvorrichtung 12 können die drei Kupplungsvorrich¬tungen 10 aktiviert, und die drei Halteleisten 3 gegenüber der ersten Stützvorrichtung 12 ver¬bunden werden, wie dies auch aus Fig. 3 ersichtlich ist. Durch das formschlüssige Verbindender Stifte 17 der ersten Stützvorrichtung 12 mit den Nuten 15 der Halteleisten 3, sind die erstenKupplungsvorrichtungen 10 aktiviert, und sind die Halteleisten 3 und die scheibenförmigenObjekte 2 mittels der ersten Stützvorrichtung 12 in ihrer Lage relativ zueinander fixiert. Dadurchsind aufgrund der ersten Kupplungsvorrichtungen 10 - bei Einnahme ihres aktivierten Betriebs¬zustandes - Relativbewegungen zwischen den Halteleisten 3 und der ersten Stützvorrichtung12 quer zur Längsachse 5 der Halteleisten 3 unterbunden.
[0071] Weiters kann eine an der ersten Stützvorrichtung 12 auf der den Halteleisten 3 zuge¬wandten Seite angeordnete Schutzplatte 43 oder ein ähnliches Schutzobjekt ausgebildet sein.Diese Schutzplatte 43 kann zum Beispiel als Partikelschutz wirksam sein, um eine Übertragungvon Verunreinigungen von der ersten Stützvorrichtung 12 auf die Halteleisten 3 oder die Objek¬te 2 und umgekehrt, hintanzuhalten. Aus Übersichtlichkeitsgründen und zwecks besserer Ver¬anschaulichung ist eine derartige Schutzscheibe 43 in den Fig. 3 bis 10 nicht dargestellt.
[0072] Wie es in Fig. 3 dargestellt ist, erfolgt der formschlüssige Eingriff der Stifte 17 mit denNuten 15 der Halteleisten 3 einseitig, in etwa über ein Drittel der gesamten Längserstreckungder Halteleisten 3, sodass die Halteleisten 3 im Zuge eines Transfervorganges der scheiben¬förmigen Objekte 2 mittels einer einzigen ersten Stützvorrichtung 12 räumlich derart fixiert sind,dass sie in Art von einseitig gelagerten Trägern von der ersten Stützvorrichtung 12 vorkragen.Dadurch sind die Halteleisten 3 bei aktivierten ersten Kupplungsvorrichtungen 10 gleichzeitigauch mit weiteren Stützvorrichtungen verbindbar, beispielsweise mit dem in den Fig. 2 bis 7dargestellten Rotor 13.
[0073] Die drei Kupplungsvorrichtungen 11 in Fig. 2, zum Verbinden der Halteleisten 3 mit demRotor 13, sind ähnlich ausgestaltet, wie die drei Kupplungsvorrichtungen 10 zum Verbinden derHalteleisten 3 mit ersten Stützvorrichtung 12. Auch die zweite Stützvorrichtung bzw. der in Fig.2 dargestellte Rotor 13 weist Kupplungsorgane 16 auf, welche zum formschlüssigen Wechsel¬wirken mit den Nuten 15 der Halteleisten 3 ausgestaltet sind. Im Falle des in Fig. 2 auf derlinken Seite dargestellten Rotors 13, sind die Kupplungsorgane 16 als Haltestreben 18 ausge¬bildet. Die Haltestreben 18 zwischen erstrecken sich einem Kopfelement 19 des Rotors 13, undeinem an der dem Kopfelement 19 gegenüberliegenden Seite des Rotors 13 angeordnetemRingelement 20. Die Längserstreckungen der Haltestreben 18 des Rotors 13 entsprechen im inFig. 2 gezeigten Ausführungsbeispiel zumindest weitestgehend den Längserstreckungen derHalteleisten 3. Dadurch sind die Halteleisten 3 betreffend ihre Längserstreckung vollständig inden Rotor 13 einbringbar, wie dies insbesondere aus den Fig. 5 bis 7 ersichtlich ist. Durchformschlüssiges Verbinden der Nuten 15 der drei Halteleisten 3 in Fig. 2 mit den Haltestreben18 des Rotors 13, können die zweiten Kupplungsvorrichtungen 11 aktiviert werden, und sind dieHalteleisten 3 und die zwischen den Halteleisten 3 angeordneten Objekte 2 bzw. Wafer 2 inihrer Lage relativ zueinander im Rotor 13 fixiert.
[0074] Somit ist festzustellen, dass die Halteleisten 3 beim in den Rotor 13 eingesetzten bzw.eingeschobenen Zustand, das heißt im aktiven Zustand der zweiten Kupplungsvorrichtungen11, in Bezug auf eine quer zur Längsachse 5 der Halteleisten 3 verlaufende Ebene spielfreioder im Wesentlichen spielfrei relativ zum Rotor 13, insbesondere relativ zu dessen Haltestre¬ben 18, gehaltert sind. Demgegenüber sind die Halteleisten 3 in paralleler Richtung zur Längs¬achse 5 der Halteleisten 3 beim in den Rotor 13 eingesetzten Zustand grundsätzlich relativbe¬weglich zum Rotor 13 und vorzugsweise lediglich durch Schwerkrafteinwirkung und/oder Reib-
Schluss im Rotor 13 positioniert gehalten.
[0075] Der in den Fig. 2 bis 7 dargestellte Rotor 13 ist üblicherweise zwecks Behandlung derscheibenförmigen Objekte 2 bzw. der Oberflächen der Objekte 2 in einer Behandlungskammer47 oder einer ähnlichen Vorrichtung angeordnet, wobei eine solche Behandlungskammer ausÜbersichtlichkeitsgründen lediglich in der Fig. 7 dargestellt ist. Eine derartige Behandlungs¬kammer 47 weist üblicherweise Mittel zum Zuführen von gasförmigen und/oder flüssigen Che¬mikalien wie zum Beispiel einer Behandlungsflüssigkeit oder dergleichen auf. Beispielsweisekönnen an den Innenwänden einer Behandlungskammer 47 Auslässe bzw. Öffnungen in der Artvon Sprühdüsen angeordnet sein, mittels welcher Sprühdüsen eine Behandlungsflüssigkeit inRichtung der Oberflächen der scheibenförmigen Objekte 2 geleitet werden kann, um die Ober¬flächen der Objekte 2 chemisch zu behandeln. Zum Beschicken einer solchen Behandlungs¬kammer 47 mit einer Mehrzahl von zu behandelnden, scheibenförmigen Objekten 2, weist eineBehandlungskammer 47 üblicherweise eine Beschickungsöffnung 48 auf, welche an einemaxialen Ende einer Rotationsachse 21 des Rotors 13 angeordnet sein kann.
[0076] Wie bereits eingangs erläutert, ergibt sich ein wesentlicher Vorteil der gegenständlichenErfindung dadurch, dass aufgrund der wahlweise verbindbaren und lösbaren Kupplungsvorrich¬tungen 10, 11 die Halteleisten 3 baulich eigenständig ausgebildet werden können. Dadurcherübrigen sich die im Stand der Technik üblichen Stützelemente, wie etwa Längs- und Querver¬strebungen, Stützplatten oder -ringe, und dergleichen, sodass die Anzahl an Volums-Bereichenin der Kammer, welche für einen Strom bzw. Strahl der Behandlungsflüssigkeit nur erschwertoder gar nicht zugänglich sind, zumindest minimiert ist. Mittels die zweite Kupplungsvorrichtung11 können die Halteleisten 3 mit dem Rotor 13 verbunden werden, und sind die Halteleisten 3bzw. die scheibenförmigen Objekte 2 in ihrer Lage relativ zueinander durch den Rotor 13 bzw.die zweite Stützvorrichtung 13 in der Behandlungskammer fixiert.
[0077] Am Kopfelement 19 des Rotors 13 ist auf der von dem Ringelement 20 abgewendetenSeite des Kopfelements 19, ein Verbindungsstück 22 angeordnet, welches Verbindungsstück22 direkt oder indirekt mit einem Antriebsorgan (nicht dargestellt) zum Rotieren des Rotors 13 ineiner Behandlungskammer verbindbar ist. Im in den Fig. 2 bis 7 gezeigten Ausgestaltungsbei¬spiel weist der Rotor 13 außerdem noch drei zusätzliche Stützstreben 23 auf, welche jeweilsrelativ zu den Haltestreben 18 radial nach außen versetzt im Bereich der Haltestreben 18 ange¬ordnet sind. Diese Stützstreben 23 verbessern vor allem die Stabilität der Anordnung der Halte¬leisten 3 und der scheibenförmigen Objekte 2 im Rotor 13, während der Rotor 13 rotiert. DieRotation der scheibenförmigen Objekte 2 während einer Behandlung in einer Behandlungs¬kammer kann dabei um eine Rotationsachse 21 erfolgen, welche durch das Zentrum der schei¬benförmigen Objekte 2 verläuft. Durch die beispielsweise aus den Fig. 4 bis 7 ersichtliche,bevorzugte Ausführungsform der zweiten Kupplungsvorrichtungen 11, ist eine Verdrehung derHalteleisten 3 um deren Längsachsen 5 wirksam unterbunden, insbesondere auch dann, wennder Rotor 13 in Rotation versetzt ist.
[0078] Wie zum Beispiel in Fig. 2 veranschaulicht ist, wird die räumliche Anordnung der dreiHalteleisten 3 in ihrer Lage relativ zueinander, wird im Wesentlichen durch die Anordnung derStifte 17 an der ersten Stützvorrichtung 12 bzw. durch die Anordnung der Haltestreben 18 desRotors 13 bestimmt. Dies ist auch aus den in den Fig. 3 bis 7 dargestellten, realen Stellungs-bzw. Positionierungsbeispielen ersichtlich. Bevorzugt sind die Halteleisten 3 um den Aufnahme¬raum 4 für die scheibenförmigen Objekte 2 derart positioniert, dass ein zwischen benachbartenHalteleisten 3 eingenommener Winkel jeweils etwa 120° beträgt. Möglich sind auch andereAnordnungsvarianten, ein zwischen benachbarten Halteleisten 3 eingenommener, spitzer Win¬kel sollte dabei allerdings zumindest gleich oder kleiner 180 ° sein.
[0079] Alternativ zu dem in den Fig. 2 bis 10 dargestellten Ausführungsbeispiel, sind natürlichauch andere Ausgestaltungsvarianten zur Ausgestaltung der Kupplungsvorrichtungen 10, 11denkbar, Zum Beispiel können die Kupplungsabschnitte 14 der Halteleisten 3 durch - in Rich¬tung der Längsachse 5 der Halteleisten 3 - ausgeführte Bohrungen in den bzw. durch die Halte¬leisten 3 gebildet sein. Solche Bohrungen könnten wiederum zum formschlüssigen Wechselwir- ken mit Fortsätzen bzw. Stiften an der ersten Stützvorrichtung 12 ausgeformt sein.
[0080] Grundsätzlich sind auch gänzlich anders ausgestaltete Kupplungsvorrichtungen 10, 11möglich. Zum Beispiel kann die Aktivierung einer erfindungsgemäßen Kupplungsvorrichtung 10,11 zur Koppelung der Halteleisten 3 mit den Stützvorrichtungen 12, 13 auch durch einen Reib¬schluss erzielt werden. Dabei kann eine reibschlüssige Verbindung in Kombination mit einerformschlüssigen Verbindung ausgestaltet sein. Zum Beispiel kann eine Aktivierung einer erfin¬dungsgemäßen Kupplungsvorrichtung 10, 11 durch Klemmwirkung zwischen den Halteleisten 3und den Stützvorrichtungen 12, 13 erreicht werden. Hierzu könnten beispielsweise gegenseitigwirksame Schnapp- und/oder Rastelemente und dergleichen zur Anwendung kommen. WeitereAusgestaltungsvarianten können beispielsweise durch aktivier- und deaktivierbare kraftschlüs¬sige Wechselwirkungen, zum Beispiel magnetischer Natur oder mittels Saugvorrichtungen anden Stützvorrichtungen, oder andere geeignete Vorrichtungen realisiert werden. Grundsätzlichkann die exakte Art der Ausgestaltung der Kupplungsvorrichtungen 10, 11 von einem auf die¬sem technischen Gebiet kundigen Fachmann unter Zuhilfenahme des gegenwärtigen und zu¬künftigen Stand der Technik festgelegt werden.
[0081] I m Nachfolgenden werden anhand der Fig. 3 bis 10 weitere vorteilhafte Merkmale bzw.Ausgestaltungsbeispiele des erfindungsgemäßen Halterungssystems 9 beschrieben. Durchsequentielle Zusammenbetrachtung der Fig. 3 bis 7 in dieser Reihenfolge, ist auch ein Trans¬fervorgang zum Beschicken des Rotors 13 mit den scheibenförmigen Objekten 2 veranschau¬licht. Durch Umkehr der Betrachtungssequenz der Fig. 3 bis 7, also sequentieller BetrachtungFig. 7, 6, 5, 4 und 3 in dieser Reihenfolge, ist auch ein Transfervorgang zum Entfernen derObjekte 2 aus dem Rotor 13 mittels der ersten Stützvorrichtung 12 ersichtlich. Deaktivierte ersteKupplungsvorrichtungen 10 und deaktivierte zweite Kupplungsvorrichtungen 11 sind in denFiguren jeweils mittels strichpunktierter Linien und einer geschwungenen Klammer veranschau¬licht, wobei auf die geschwungenen Klammern mit Pfeilen und den Bezugszeichen 10 bzw. 11hingewiesen wird. Aktivierte erste Kupplungsvorrichtungen 10 und aktivierte zweite Kupplungs¬vorrichtungen 11 sind jeweils mit Pfeilen und den Bezugszeichen 10 bzw. 11 versehen.
[0082] Wie durch sequentielle Zusammenschau der Fig. 3 bis 7 zu ersehen ist können diejeweils drei ersten und zweiten Kupplungsvorrichtungen 10, 11 derart ausgestaltet sein, dasseine Kopplungsbewegung zum Verbinden der Halteleisten 3 mit der ersten und der zweitenStützvorrichtung 12, 13, sowie eine Lösebewegung zum Lösen der Halteleisten 3 von der ers¬ten und der zweiten Stützvorrichtung 12, 13, parallel zur Längsachse 5 der Halteleisten 3 durch¬führbar sind.
[0083] In der Fig. 3 sind die Halteleisten 3 lediglich mit der ersten Stützvorrichtung 12 verbun¬den gezeigt. Die scheibenförmigen Objekte 2 bzw. Wafer 2, oder die Halteleisten 3 und dieWafer 2 können zuvor mittels der ersten Stützvorrichtung 12 zum Beispiel aus einer Bereitstel¬lungsvorrichtung oder einer anderen Behandlungsvorrichtung entnommen worden sein. Fig. 4veranschaulicht den Kopplungsvorgang der Halteleisten 3 mit der zweiten Stützvorrichtung 13,insbesondere dem Rotor 13. Dabei sind zumindest kurzzeitig die drei ersten und drei zweitenKupplungsvorrichtungen 10, 11 aktiviert, sodass die Halteleisten 3 sowohl mit der ersten Stütz¬vorrichtung 12 als auch mit dem Rotor 13 verbunden sind. Der Transfervorgang wird schließlichdurch Lösen der mechanischen Verbindung zwischen der ersten Stützvorrichtung 12 und denHalteleisten 3 bzw. Deaktivieren der ersten Kupplungsvorrichtungen 10, und Entfernen derersten Stützvorrichtung 12 vom Rotor 13 bzw. von den Halteleisten 3 beendet, wie dies in denFig. 5 bis 7 veranschaulicht ist. Zum Lösen und Entfernen der Halteleisten 3 von der erstenStützvorrichtung 12 sind dabei in dem in Fig. 5 und 6 gezeigten Ausführungsbeispiel, weitereVerstellvorgänge von weiteren Stellelementen der ersten Stützvorrichtung 12 dargestellt. DieseVerstellvorgänge bzw. Stellelemente werden im Nachfolgenden noch näher erläutert.
[0084] Letztlich sind - wie in Fig. 7 dargestellt - die scheibenförmigen Objekte 2 bzw. Wafer 2zwischen den drei gleichmäßig über den Rotationsumfang des Rotors 13 verteilt angeordnetenHalteleisten 3 gehalten, bzw. ist mittels den drei zweiten Kupplungsvorrichtungen 11 eine form¬schlüssige Verbindung zwischen den Halteleisten 3 und dem Rotor 13 aufgebaut. Dabei sind die Halteleisten 3 ausschließlich durch die zweiten Kupplungsvorrichtungen 11 formschlüssigan den jeweiligen Sollpositionen am Rotationsumfang des Rotors 13 gehalten. Das bedeutet,dass bei Einnahme der Behandlungsposition der scheibenförmigen Objekte 2 die ersten Kupp¬lungsvorrichtungen 10 gelöst und die erste Stützvorrichtung 12 von den Halteleisten 3 entferntist, währenddessen die zweiten Kupplungsvorrichtungen 11 zwischen den Halteleisten 3 undder zweiten Stützvorrichtung 13 bzw. dem Rotor zum Rotieren der scheibenförmigen Objekte 2,aktiviert sind.
[0085] Nach einem erfolgten Behandlungsvorgang, können die scheibenförmigen Objekte 2bzw. Halteleisten 3 sodann wieder mittels der ersten Stützvorrichtung 12 aus dem Rotor 13entnommen, und zum Beispiel in eine Bereitstellungsposition überführt, bzw. in einer Bereitstel¬lungsvorrichtung abgelegt werden. Dieser Vorgang ist durch Umkehr der sequentiellen Betrach¬tung der Fig. 7 bis 3, also durch Anschauung der Fig. 7, 6, 5, 4, 3 in dieser Reihenfolge ersicht¬lich. Ein solcher Vorgang ist für einen auf diesem Gebiet tätigen Fachmann anhand der oben¬stehenden Beschreibung ohne weiteres ausführbar, weshalb an dieser Stelle auf eine einge¬hende Beschreibung verzichtet werden kann.
[0086] Grundsätzlich kann die erste Stützvorrichtung 12 für einen Transfervorgang der schei¬benförmigen Objekte 2 zwischen verschiedenen Bereitstellungs- und Behandlungspositionen,zur manuellen Handhabung durch eine Bedienperson, aber auch zur automatisierten Handha¬bung durch eine automatisierte Handhabungsvorrichtung, wie etwa einen Industrieroboter,ausgebildet sein. Ein Teil bzw. ein Endaktuator eines solchen Industrieroboters ist in den Fig. 7und 10 dargestellt, wohingegen in den Fig. 3 bis 6 und Fig. 8 bis 9 aus Übersichtlichkeitsgrün¬den auf die Darstellung des Industrieroboters 44 verzichtet wird. Insbesondere kann die ersteStützvorrichtung 12 eine Verbindungsschnittstelle zu einem Industrieroboter 44 aufweisen,sodass die erste Stützvorrichtung 12 als Endeffektor des Industrieroboters 44 fungiert. SolcheIndustrieroboter 44 sind in der Regel programmierbar ausgebildet, wobei die Auswahl und dieProgrammierung eines Industrieroboters zur Handhabung einer ersten Stützvorrichtung 12 voneinem auf diesem Gebiet tätigem Fachmann anhand des gegenwärtigen und zukünftigenStands der Technik vorgenommen werden kann.
[0087] Alternativ und/oder zusätzlich kann die erste Stützvorrichtung 12 zum manuellen Bedie¬nen durch eine Bedienperson zum Bespiel Handgriffe (nicht dargestellt) zum manuellen Ergrei¬fen der ersten Stützvorrichtung 12 aufweisen. Außerdem können weitere Handhaben (nichtdargestellt) für die manuelle Handhabung der ersten Stützvorrichtung 12 vorgesehen sein,mittels welcher Handhaben diverse Zusatzeinrichtungen bzw. Zusatzfunktionen der erstenStützvorrichtung 12 bzw. der ersten Kupplungsvorrichtungen 10 manuell bedient bzw. ausge¬führt werden können. Derartige Zusatzeinrichtungen der ersten Stützvorrichtung 12 bzw. derersten Kupplungsvorrichtungen 10 werden nun im Folgenden näher erläutert.
[0088] Vorzugsweise ist zwischen der ersten Stützvorrichtung 12 und wenigstens einer Halte¬leiste 3 zumindest eine weitere, wahlweise aktivierbare und deaktivierbare Koppelungsvorrich¬tung 24 ausgebildet, mittels welcher wenigstens eine Halteleiste 3 mit einem Koppelungsorgan25 der ersten Stützvorrichtung 12 wahlweise verbindbar, und von dem Koppelungsorgan 25lösbar ist. Dadurch sind Relativbewegungen zwischen den Halteleisten 3 und dem Koppelungs¬organ 25 in paralleler Richtung zur Längsachse 5 der Halteleisten 3 wahlweise unterbindbarund freigebbar. Durch zumindest eine derartige, zusätzliche Koppelungsvorrichtung 24 kannbeispielsweise ein ungewolltes bzw. unbeabsichtigtes Lösen der ersten Kupplungsvorrichtun¬gen 10 im Zuge eines Transfervorgangs für die scheibenförmigen Objekte 2, und damit einAbgleiten der Halteleisten 3 von der ersten Stützvorrichtung 12 verhindert werden. Insbesonde¬re bei einer rein formschlüssigen Ausbildung der ersten Kupplungsvorrichtungen 10 ist einsolches Abgleiten beispielsweise dann nicht auszuschließen, wenn im Zuge des Transfervor¬gangs das von der ersten Stützvorrichtung 12 abgewandte Längsende der Halteleisten 3 inRichtung des Erdbodens geneigt ist. Um ein ungewolltes Abgleiten der Halteleisten 3 von derersten Stützvorrichtung 12 zu verhindern, wäre eine zusätzliche Koppelungsvorrichtung 24grundsätzlich ausreichend, da die anderen Halteleisten via die aktivierten ersten Kupplungsvor¬richtungen 10 in ihrer Lage relativ zueinander fixiert sind.
[0089] Zwecks Verbesserung der Stabilität sind bevorzugt drei Koppelungsvorrichtungen 24ausgebildet, wie dies auch in dem Ausführungsbeispiel gemäß den Figuren 3 bis 10 dargestelltist. Die Koppelungsvorrichtungen 24 sind durch zur gegenseitigen, formschlüssigen Koppelungausgestaltete Elemente an den Halteleisten 3 und an dem Koppelungsorgan 25 gebildet. DasKoppelungsorgan 25 ist dabei baulich der ersten Stützvorrichtung 12 zugeordnet. Wie es ambesten aus der Fig. 3 ersichtlich ist, kann das Koppelungsorgan 25 durch eine sternförmigeAnordnung mit drei Armen 26 gebildet sein, welche Arme 26 sich im Wesentlichen vom Mittel¬punkt des Koppelungsorgans 25 ausgehend, in radialer Richtung zu den Halteleisten 3 hinerstrecken. An den jeweiligen radial außenliegenden Enden der drei Arme 26 des Koppelungs¬organs 25 können drei Sicherungselemente 27 angeordnet sein, welche mit den Halteleisten 3formschlüssig in Eingriff gebracht werden können. Hierzu können die Sicherungselemente 27durch Sicherungsfortsätze 28 an den Enden der Arme 26 des Koppelungsorgans 25 gebildetsein, und können diese Sicherungsfortsätze 28 zum formschlüssigen Wechselwirken mit Siche¬rungsmitteln 29 der drei Halteleisten 3 ausgeformt sein. Die Sicherungsmittel 29 sind im darge¬stellten Ausführungsbeispiel durch Sicherungsnuten 30 gebildet, welche an einem der erstenStützvorrichtung 12 zugewandten Längsende der Halteleisten 3 angeordnet sind, und zur form¬schlüssigen Aufnahme der Sicherungsfortsätze 28 des Koppelungsorgans 25 ausgeformt sind.
[0090] Alternativ zu dem in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiel sind selbstverständ¬lich auch andere Ausgestaltungsvarianten der zumindest einen zusätzlichen Koppelungsvor¬richtung 24 denkbar. Beispielsweise können die Sicherungsfortsätze 28 des Koppelungsorgans25 auch zum formschlüssigen Wechselwirken mit einem an einem der ersten Stützvorrichtung12 zugewandten Längsende der Halteleisten 3 angeordnetem Tragmittel 6 ausgebildet sein.Grundsätzlich kann eine Koppelungsvorrichtung 24 auch durch eine reibschlüssige Koppelungder Halteleisten 3 und des Koppelungsorgans 25 der ersten Stützvorrichtung 12 aktivierbarausgeführt sein, wobei auch form- und reibschlüssige Koppelungen in Kombination vorstellbarsind. Zum Beispiel können an der ersten Stützvorrichtung 12 paarweise Klemmelemente ange¬ordnet sein, welche zum Hintergreifen einer Halteleiste 3 ausgebildet sein können. Auch andereArten von gegenseitig zusammenwirkenden Schnapp- oder Rastelementen an den Halteleisten 3 und der ersten Stützvorrichtung 12 sind grundsätzlich einsetzbar. Beispielsweise könnte eineKoppelungsvorrichtung 24 auch derart ausgebildet sein, dass an einem Koppelungsorgan 25aktivierbare und deaktivierbare Saugvorrichtungen angeordnet sind, mittels welcher Saugvor¬richtungen eine Halteleiste 3 an einem ihrer Längsenden mit der Saugvorrichtung koppelbar ist.Eine derartige Saugvorrichtung kann dabei mit einer ein- und ausschaltbaren Vakuumpumpeoder dergleichen verbunden sein, sodass die Koppelungsvorrichtung 24 wiederum wahlweiseaktiviert und deaktiviert werden kann. Auch andere Arten von deaktivier- und aktivierbarenkraftschlüssigen Koppelungen sind natürlich denkbar. Die genaue Art und Weise der Ausgestal¬tungsform einer Koppelungsvorrichtung 24 kann von einem auf diesem Gebiet tätigem Fach¬mann gemäß dem derzeitigen und künftigen Stand der Technik, je nach den spezifischen An¬fordernissen vorgenommen werden.
[0091] Im in den Figuren 2 bis 10 gezeigten Ausführungsbeispiel können die drei Koppelungs¬vorrichtungen 24 durch Verschwenken der ersten Stützvorrichtung 12 um eine parallel zurLängsachse 5 der Halteleisten 3 und im Wesentlichen durch das Zentrum der ersten Stützvor¬richtung 12 verlaufende Achse 31 wahlweise aktiviert bzw. deaktiviert werden. Dies ist ambesten durch Zusammenschau der Fig. 5 und 6 ersichtlich. Die durch Zusammenschau der Fig. 4 und Fig. 5 ersichtliche Relativverstellung zwischen der ersten Stützvorrichtung 12 und denHalteleisten 3 in paralleler Richtung zur Längsachse 5 der Halteleisten 3 wird im Nachfolgendennoch detailliert erläutert.
[0092] In den Fig. 3 bis 5 sind die Sicherungsfortsätze 28 des Koppelungsorgans 25 mit denSicherungsnuten 30 der Halteleisten 3 in formschlüssiger Wechselwirkung gezeigt, wodurcheine Relativverstellung zwischen den Halteleisten 3 und dem Koppelungsorgan 25 in Richtungder Längsachse 5 der Halteleisten 3 unterbunden ist. Wie in Fig. 6 dargestellt, können die Si¬cherungsfortsätze 28 und Sicherungsnuten 30 durch Verschwenken der ersten Stützvorrichtung12 um die Achse 31 außer Eingriff gestellt werden, sodass die Koppelungsvorrichtungen 24 deaktiviert sind. Das Verschwenken der ersten Stützvorrichtung 12 um die Achse 31 kann dabeibeispielsweise mittels eines Industrieroboters 44, oder durch eine Bedienperson erfolgen. DieKupplungsvorrichtungen 10 sind in der Fig. 5 bereits deaktiviert dargestellt, weshalb nach Deak¬tivieren der Koppelungsvorrichtungen 24 - siehe Fig. 6 - die erste Stützvorrichtung 12 von denHalteleisten 3 im Rotor 13 entfernbar ist, wie dies in der Fig. 7 gezeigt ist.
[0093] Alternativ zu dem dargestellten Ausführungsbeispiel kann das Koppelungsorgan 25auch um die Achse 31 verschwenkbar an der ersten Stützvorrichtung 12 gelagert sein (nichtdargestellt). Diese Ausführungsvariante kann für eine manuelle Bedienung der ersten Stützvor¬richtung 12 durch eine Bedienperson vorteilhaft sein. Dabei muss zum Deaktivieren der Koppe¬lungsvorrichtungen 24 das Koppelungsorgan 25 zumindest soweit verschwenkbar an der erstenStützvorrichtung 12 gelagert sein, dass wiederum die Sicherungsfortsätze 28 und die Siche¬rungsnuten 30 außer Eingriff gestellt werden können. Das manuelle Verschwenken des Koppe¬lungsorgans 25 durch die Bedienperson kann beispielsweise mittels eines mit dem Koppe¬lungsorgan 25 verbundenen Schwenkelement bzw. einer Schwenkstange erfolgen.
[0094] An der ersten Stützvorrichtung 12 ist bevorzugt wenigstens eine Stellvorrichtung 32angeordnet, mittels welcher eine Relativverstellung zwischen der ersten Stützvorrichtung 12und den Halteleisten 3 in paralleler Richtung zur Längsachse 5 der Halteleisten 3 ermöglicht ist.An der in den Fig. 3 bis 10 dargestellten Ausführungsvariante der Stützvorrichtung 12 sind zweiStellvorrichtungen 32 angeordnet, welche insbesondere zwei parallel zur Längsachse 5 derHalteleisten 3 verlaufende Führungsvorrichtungen 33 umfassen. Im dargestellten Ausführungs¬beispiel umfassen die beiden Stellvorrichtungen 32 außerdem je einen Stellantrieb, welcheStellantriebe als pneumatische Stellzylinder 34 ausgebildet sind. Zur Betätigung der pneumati¬schen Stellzylinder 34 könne diese zum Beispiel über verstärkte Druck- und/oder Vakuum¬schläuche oder dergleichen, mit einer schaltbaren Druckluftquelle und/oder einer Ansaugvor¬richtung leitungsverbunden sein. Alternativ zu den dargestellten pneumatischen Stellzylindern34 wären selbstverständlich auch andere Antriebsorgane, wie etwa elektrische oder magneti¬sche Antriebsorgane, Motoren und dergleichen, oder auch eine manuelle Betätigung der Stell¬vorrichtungen 32 möglich.
[0095] Bevorzugt sind die Führungsvorrichtungen 33 der Stellvorrichtung 32 wie im gezeigtenAusführungsbeispiel mit dem Koppelungsorgan 25, bzw. mit zwei der drei Arme 26 des Koppe¬lungsorgans 25, verbunden. Damit ist das Koppelungsorgan 25 mittels der Stellvorrichtung 32 inparalleler Richtung zur Längsachse 5 der Halteleisten 3 relativ zu einem Tragkörper 35 derersten Stützvorrichtung 12 verstellbar ausgeführt, wie dies am besten durch Zusammenschauder Fig. 4 und 5 ersichtlich ist. In den Fig. 4 und 5 sind die Koppelungsvorrichtungen 24 zwi¬schen den drei Halteleisten 3 und dem Koppelungsorgan 25 aktiviert, sodass bei einem Ver¬stellvorgang mittels der Stellvorrichtung 32 auch die drei Halteleisten 3 in paralleler Richtung zurLängsachse 5 der Halteleisten 3 relativ zu dem Tragkörper 35 ersten Stützvorrichtung 12 ver¬stellbar sind. Dabei ist das Koppelungsorgan 25 als Mitnehmer für die Halteleisten 3 wirksam.
[0096] Alternativ zu dem dargestellten Ausführungsbeispiel wären auch baulich separat vondem Koppelungsorgan 25 angeordnete Führungsmittel zum Verstellen der Halteleisten 3 relativzur ersten Stützvorrichtung 12 denkbar (nicht dargestellt). Hierzu wären weitere Koppelungsvor¬richtungen zum Koppeln der Halteleisten 3 mit solchen Führungsmitteln vorzusehen, sodass dieHalteleisten 3 wiederum mittels einer oder mehrerer Stellvorrichtungen 32 in paralleler Richtungzur Längsachse 5 der Halteleisten 3 relativ zu dem Tragkörper 35 der ersten Stützvorrichtung12 verstellbar wären.
[0097] Unabhängig davon ist ein verfügbarer Verstellweg 36 der Stellvorrichtung 32 bevorzugtderart gewählt bzw. dimensioniert, dass die drei ersten Kupplungsvorrichtungen 10 mittels derStellvorrichtung 32 wahlweise aktivierbar und deaktivierbar sind, wie dies am besten durchZusammenschau der Fig. 4 und 5 ersichtlich ist. Sowohl in der Fig. 4 als auch der Fig. 5 sinddie Koppelungsvorrichtungen 24 zwischen den Halteleisten 3 und dem Koppelungsorgan 25aktiviert. In der in der Fig. 4 dargestellten Position ist das Koppelungsorgan 25 mittels der Stell¬vorrichtung 32 im Wesentlichen an dem Tragkörper 35 der ersten Stützvorrichtung 12 positio¬ niert. Dadurch sind die drei ersten Kupplungsvorrichtungen 10 formschlüssig aktiviert. In der inFig. 5 gezeigten Position ist das Koppelungsorgan 25 mittels der Stellvorrichtung 32 - im Ver¬gleich zur Position in Fig. 4 - relativ um den Verstellweg 36 vom Tragkörper 35 der ersten Stütz¬vorrichtung 12 distanziert positioniert. Dadurch sind die drei ersten Kupplungsvorrichtungen 10deaktivierbar, bzw. die Kupplungsabschnitte 14 der Halteleisten 3 und die Stifte 17 der erstenStützvorrichtung 12 außer Eingriff stellbar. Insbesondere sind auf diese Weise auch die Halte¬leisten 3 bzw. die scheibenförmigen Objekte 2 mittels der Stellvorrichtungen 32 vollständig indie zweite Stützvorrichtung 13 bzw. den Rotor 13 einbringbar, wie dies insbesondere in der Fig.5 ersichtlich ist.
[0098] In den Fig. 8 bis 10 ist eine weitere und gegebenenfalls für sich eigenständige Ausfüh¬rungsform des Halterungssystems 9 gezeigt, wobei wiederum für gleiche Teile gleiche Bezugs¬zeichen bzw. Bauteilbezeichnungen wie in den vorangegangenen Fig. 2 bis 7 verwendet wer¬den. Um unnötige Wiederholungen zu vermeiden, wird auf die detaillierte Beschreibung in denvorangegangenen Fig. 2 bis 7 hingewiesen bzw. Bezug genommen. In den Fig. 8 bis 10 ist beisequentieller Betrachtung ein Vorgang zur Entnahme einer stapelartigen Anordnung von schei¬benförmigen Objekten 2 aus einer Bereitstellungsvorrichtung 37 mittels der ersten Stützvorrich¬tung 12 ersichtlich. Die Bereitstellungsvorrichtung 37 weist im dargestellten Ausführungsbeispielmehrere Haltestifte 38 auf, zwischen welchen die scheibenförmigen Objekte 2 bzw. Wafer 2stapelartig bereitgestellt sind. Die Haltestifte 38 können zur stapelartigen Halterung der Wafer 2im Wesentlichen analog zu den eingangs beschriebenen Halteleisten 3 ausgestaltet sein, wes¬halb an dieser Stelle auf eine nochmalige Beschreibung der Elemente der Haltestifte 38 zurHalterung der Wafer 2 verzichtet wird.
[0099] Wie es beispielsweise in Fig. 8 dargestellt ist, kann zumindest eine der Kupplungsvor¬richtungen 10, eine Linearführung 39 oder aber auch beispielsweise eine Schwenklagerung(nicht dargestellt) oder dergleichen zugeordnet sein. Der Zweck der Linearführung 39 kann essein, dass zumindest eine Halteleiste 3 vom Aufnahmeraum 4 für die scheibenförmigen Objekte2 wahlweise entfernbar und zum Aufnahmeraum 4 annäherbar ist. In der Fig. 8 ist eine Halte¬leiste 3 bei aktivierter Kupplungsvorrichtung 10, via die dieser Kupplungsvorrichtung 10 zuge¬ordneten Linearführung 39 vom Aufnahmeraum 4 für die scheibenförmigen Objekte 2 entferntdargestellt. Dadurch ist es ermöglicht, dass die Halteleisten 3 mittels der ersten Stützvorrichtung12 um die in der Bereitstellungsvorrichtung 37 angeordneten Objekte 2 positionierbar sind, wiedies anhand Fig. 8 ersichtlich ist.
[00100] Alternativ zum dargestellten Ausführungsbeispiel mit der Variante einer Linearführung39, wären natürlich auch andere Verstellanordnungen zum wahlweisen Entfernen einer Halte¬leiste 3 vom Aufnahmeraum 4, bzw. Annähern einer Halteleiste 3 an den Aufnahmeraum 4denkbar. Für eine manuelle Bedienung durch eine Bedienperson etwa, wäre eine Schwenklage¬rung (nicht dargestellt) gegebenenfalls besser geeignet, bzw. leichter zu bedienen. Eine derarti¬ge Schwenklagerung kann dabei zum Beispiel durch ein an der ersten Stützvorrichtung 12ausgebildetes Schwenkgelenk gebildet sein, sodass eine Halteleiste 3 vom Aufnahmeraum 4nach außen wegstellbar bzw. wegschwenkbar ist. Alternativ wäre auch ein Weg- und Hinklap¬pen einer Halteleiste 3 vom bzw. zum Aufnahmeraum 4 denkbar, bei welchem eine Halteleiste 3beispielsweise um eine quer zur Längsachse 5 der Halteleisten 3 verlaufenden Drehachsekippbar an der ersten Stützvorrichtung 12 gelagert ist (nicht dargestellt).
[00101] Zum automatisierten Entfernen einer Halteleiste 3 von dem Aufnahmeraum 4 bzw.automatisierten Annähern einer Halteleiste 3 an den Aufnahmeraum 4, kann die in den Fig. 8bis 10 dargestellte Linearführung 39 ausgebildet sein. Wie aus den Fig. 8 bis 10 ersichtlich ist,kann der Linearführung 39 ein Stellantrieb, insbesondere wiederum ein pneumatischer Stellzy¬linder 40 zur Relativverstellung einer Halteleiste 3 relativ zum Aufnahmeraum 4 zugeordnetsein. In der Fig. 8 ist einer der drei Halteleisten 3 mittels der Linearführung 39 bzw. dem pneu¬matischen Stellzylinder 40, vom Aufnahmeraum 4 entfernt dargestellt. In dieser Stellung dereinen Halteleiste 3 sind die die Halteleisten 3 mittels der ersten Stützvorrichtung 12 um die inder Bereitstellungsvorrichtung 37 angeordneten Objekte 2 positionierbar.
[00102] Wie dies ebenfalls aus der Fig. 8 ersichtlich ist, kann es dabei zweckmäßig sein, zu¬mindest der einen verstellbaren Halteleiste 3 ein zusätzliches Axialsicherungsmittel 41 zuzuord¬nen. Das in Fig. 8 dargestellte, zusätzliche Axialsicherungsmittel 41 ist dabei wiederum verstell¬bar an der ersten Stützvorrichtung 12, und kann wahlweise mit der Sicherungsnut 30 der Halte¬leiste 3 formschlüssig verbunden werden, wie zum in Beispiel Fig. 8 dargestellt, oder von derSicherungsnut 30 entfernt werden. Durch das zusätzliche Axialsicherungsmittel 41 ist auch beieiner vom Aufnahmeraum 4 entfernten Halteleiste 3, wahlweise eine Unterbindung und Freiga¬be von Relativbewegungen zwischen dieser Halteleiste 3 und der ersten Stützvorrichtung 12 inparalleler Richtung zur Längsachse 5 dieser Halteleiste 3 ermöglicht. Das Verstellen des zu¬sätzlichen Axialsicherungsmittels 41, kann zum Beispiel wiederum mit einem pneumatischenStellzylinder 42 erfolgen. Zum Lösen der Halteleisten 3 von der ersten Stützvorrichtung 12,beispielsweise zum Abschließen eines Beschickungsvorgangs in einen Rotor 13 durch Entfer¬nen der ersten Stützvorrichtung 12 von den Halteleisten 3, kann das Axialsicherungsmittel 41mittels dem pneumatischen Stellzylinder 42 von der Sicherungsnut 30 entfernt werden.
[00103] Durch Annähern der einen verstellbaren Halteleiste 3 an den Aufnahmeraum 4, könnendie scheibenförmigen Objekte 2 zwischen den Halteleisten 3 aufgenommen werden, und sinddie Objekte 2 zwischen den Halteleisten 3 stapelartig gehaltert, wie dies in der Fig. 9 dargestelltist. Bei aktivierten, ersten Kupplungsvorrichtungen 10 und aktivierten Koppelungsvorrichtungen24, sind die Halteleisten 3 sowie die Objekte 2 mittels der ersten Stützvorrichtung 12 in ihrerjeweiligen Lage relativ zueinander fixiert. Somit können die scheibenförmigen Objekte 2 mittelsder ersten Stützvorrichtung 12 aus der Bereitstellungsvorrichtung 37 entnommen werden, wiedies in der Fig. 10 dargestellt ist. Anschließend kann mittels der ersten Stützvorrichtung 12 einTransfervorgang erfolgen, beispielsweise ein Beschickungsvorgang für einen Rotor, wie diesaus der sequentiellen Zusammenbetrachtung der Fig. 3 bis 7 ersichtlich ist.
[00104] Ein Vorgang zum Ablegen von scheibenförmigen Objekten 2 in der Bereitstellungsvor¬richtung 37, zum Beispiel nach einem erfolgten Behandlungsvorgang für die scheibenförmigenObjekte 2, ist wiederum durch sequentielle Betrachtung der Fig. 10 bis 8, also Anschauung derFig. 10, 9, 8 in dieser Reihenfolge klar ersichtlich. Nach Entnahme der scheibenförmigen Objek¬te 2 bzw. Halteleisten 3, beispielsweise aus dem in den Fig. 7 bis 3 dargestellten Rotor 13,können die Objekte 2 bzw. Wafer 2 durch Positionieren der Wafer 2 in der Bereitstellungsvor¬richtung 37, anschließendem Entfernen der einen verstellbaren Halteleiste 3 mittels der Linear¬führung 39 bzw. dem Stellzylinder 40, und abschließendem Entfernen der ersten Stützvorrich¬tung 12 bzw. der Halteleisten 3 von der Bereitstellungsvorrichtung 37 mittels des Industrierobo¬ters 44, in der Bereitstellungsvorrichtung 37 abgelegt bzw. zwischengelagert werden.
[00105] Abschließend wird noch festgehalten, dass insbesondere für automatisierte Transfer¬vorgänge mittels eines Industrieroboters 44, der ersten Stützvorrichtung 12 Sensoren 45 zuge¬ordnet sein können. Solche Sensoren 45 dabei zum Beispiel zur Erfassung ausgebildet sein, obdie Halteleisten 3 mit der ersten Stützvorrichtung 12 verbunden sind, also die ersten Kupp¬lungsvorrichtungen 10 aktiviert sind. Außerdem können weitere Sensoren 45 an der erstenStützvorrichtung 12 angeordnet sein, welche den Zustand der Koppelungsvorrichtungen 24überwachen, also zur Erfassung, ob die Koppelungsvorrichtungen aktiviert oder deaktiviert sind,ausgebildet sind. Die Sensoren 45 können dabei zum Beispiel durch kapazitive Sensoren 45 inder Art von kapazitiven Annäherungssensoren gebildet sein, wodurch ein Annähern bzw. Ent¬fernen einer Halteleiste 3 an den Sensor 45 detektierbar ist. Die Art, Anzahl und Anordnung vonSensoren 45 ergibt sich jeweils aus der entsprechenden Ausgestaltungsform der ersten Stütz¬vorrichtung 12, und kann von einem Fachmann auf diesem Gebiet anhand der jeweiligen Erfor¬dernisse ausgewählt bzw. vorgenommen werden.
[00106] Schließlich sind in den Figuren einige Anschlüsse 46 zum Betätigen bzw. Aktivierender Stellzylinder 34, 40, 42 exemplarisch mit dem Bezugszeichen 46 bezeichnet. Diese An¬schlüsse 46 können beispielweise mit einer Quelle für Druckluft, wie zum Beispiel einem Kom¬pressor, oder einer Vakuumquelle, beispielsweise einer Vakuumpumpe, über Druck- oder Un¬terdruckschläuche oder dergleichen verbunden sein.
[00107] Die Ausführungsbeispiele zeigen mögliche Ausführungsvarianten des Halterungsys¬tems bzw. des Verfahrens zum Beschicken einer Behandlungsvorrichtung.
[00108] Der Ordnung halber sei abschließend darauf hingewiesen, dass zum besseren Ver¬ständnis des Aufbaus des Halterungssystems dieses bzw. dessen Bestandteile teilweise un¬maßstäblich und/oder vergrößert und/oder verkleinert dargestellt wurden.
BEZUGSZEICHENLISTE 1 Halterungsvorrichtung 30 Sicherungsnut 2 Objekt 31 Achse 3 Halteleiste 32 Stellvorrichtung 4 Aufnahmeraum 33 Führungsvorrichtung 5 Längsachse 34 Stellzylinder 6 Tragmittel 35 Tragkörper 7 Stützring 36 Verstellweg 8 Schwenkgelenk 37 Bereitstellungsvorrichtung 9 Halterungssystem 38 Haltestift 10 Kupplungsvorrichtung 39 Linearführung 11 Kupplungsvorrichtung 40 Stellzylinder 12 Stützvorrichtung 41 Axialsicherungsmittel 13 Rotor 42 Stellzylinder 14 Kupplungsabschnitt 43 Schutzplatte 15 Nut 44 Industrieroboter 16 Kupplungsorgan 45 Sensor 17 Stift 46 Anschluss 18 Haltestrebe 47 Behandlungskammer 19 Kopfelement 48 Beschickungsöffnung 20 Ringelement 21 Rotationsachse 22 Verbindungsstück 23 Stützstreben 24 Koppelungsvorrichtung 25 Koppelungsorgan 26 Arm 27 Sicherungselement 28 Sicherungsfortsatz 29 Sicherungsmittel

Claims (33)

  1. Patentansprüche 1. Halterungssystem (9) zur Halterung von scheibenförmigen Objekten (2), insbesondere vonHalbleiter-Wafern, in einer Bereitstellungs- oder Behandlungsposition zur Behandlung derOberflächen der scheibenförmigen Objekte (2), sowie zur Halterung der scheibenförmigenObjekte (2) im Zuge eines Transfervorganges zwischen verschiedenen Bereitstellungs¬oder Behandlungspositionen, umfassend: wenigstens zwei Halteleisten (3), wobei jede Halteleiste (3) entlang ihrer Längsachse (5)Tragmittel (6) zur stapelartigen Halterung der scheibenförmigen Objekte (2) in zueinanderparalleler und voneinander beabstandeter Anordnung umfasst, wobei die Tragmittel (6) mitRandabschnitten der scheibenförmigen Objekte in Wechselwirkung stehen, und zwischenden Halteleisten (3) ein Aufnahmeraum (4) für die scheibenförmigen Objekte (2) ausgebil¬det ist; und zumindest eine Stützvorrichtung zum Fixieren der Halteleisten in ihrer Lage relativ zu¬einander, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteleisten (3) baulich eigenständig ausgebildet sind, und dass wenigstens zwei werkzeuglos aktivier- und deaktivierbare erste Kupplungsvor¬richtungen (10) ausgebildet sind, durch welche die Halteleisten (3) gegenüber einer erstenStützvorrichtung (12) wahlweise unmittelbar lösbar und unmittelbar verbindbar sind.
  2. 2. Halterungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens zweiwerkzeuglos aktivier- und deaktivierbare zweite Kupplungsvorrichtungen (11) ausgebildetsind, durch welche die Halteleisten (3) gegenüber einer zweiten Stützvorrichtung (13), wel¬che insbesondere als Rotor (13) zum Rotieren der scheibenförmigen Objekte ausgestaltetist, wahlweise unmittelbar lösbar und unmittelbar verbindbar sind.
  3. 3. Halterungssystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass bei Einnahme derBehandlungsposition der scheibenförmigen Objekte (2) die wenigstens zwei ersten Kupp¬lungsvorrichtungen (10) gelöst und die erste Stützvorrichtung (12) von den Halteleisten (3)entfernt ist, währenddessen die wenigstens zwei zweiten Kupplungsvorrichtungen (11)zwischen den Halteleisten (3) und der zweiten Stützvorrichtung (13), insbesondere demRotor (13) zum Rotieren der scheibenförmigen Objekte (2), aktiviert sind.
  4. 4. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,dass die wenigstens zwei ersten Kupplungsvorrichtungen derart ausgebildet sind, dass dieHalteleisten (3) im Zuge eines Transfervorganges der scheibenförmigen Objekte (2) mittelseiner einzigen ersten Stützvorrichtung (12) räumlich derart fixiert sind, dass sie in Art voneinseitig gelagerten Trägern von der ersten Stützvorrichtung (12) vorkragen.
  5. 5. Halterungssystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekenn¬zeichnet, dass die wenigsten zwei zweiten Kupplungsvorrichtungen (11) derart ausgebildetsind, dass eine Verdrehung der Halteleisten (3) um deren Längsachsen (5) unterbundenist.
  6. 6. Halterungssystem nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass dieHalteleisten (3) an ihren gegenüberliegenden Längsenden oder über ihre gesamteLängserstreckung zumindest einen Kupplungsabschnitt (14) aufweisen, welcher zur form¬schlüssigen Kopplung mit zumindest einem Kupplungsorgan (16) der ersten oder zweitenStützvorrichtung (12, 13) ausgebildet ist.
  7. 7. Halterungssystem nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die die Kupplungs¬abschnitte (14) der Halteleisten (3) durch wenigstens eine Vertiefung, insbesondere durchwenigstens eine Nut (15) oder Bohrung, gebildet sind, welche Nut (15) oder Bohrung zumformschlüssigen Verbindung mit wenigstens einem Fortsatz, insbesondere wenigstens ei¬nem Stift (17), der ersten oder der zweiten Stützvorrichtung (12, 13) ausgebildet sind.
  8. 8. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,dass es drei Halteleisten (3) umfasst.
  9. 9. Halterungssystem nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die drei Halteleisten(3) um den Aufnahmeraum (4) für die scheibenförmigen Objekte derart positioniert sind,dass ein zwischen benachbarten Halteleisten (3) eingenommener Winkel jeweils etwa 120°beträgt.
  10. 10. Halterungssystem nach einem der Ansprüche 2 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass diewenigstens zwei ersten und die wenigstens zwei zweiten Kupplungsvorrichtungen (10, 11)derart ausgestaltet sind, dass eine Kopplungsbewegung zum Verbinden der Halteleisten(3) mit der ersten und der zweiten Stützvorrichtung (12, 13), und eine Lösebewegung zumLösen der Halteleisten (3) von der ersten und der zweiten Stützvorrichtung (12, 13), paral¬lel zur Längsachse (5) der Halteleisten (3) durchführbar sind.
  11. 11. Halterungssystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Rotor (13) ineiner Behandlungskammer (47) angeordnet ist, welche Behandlungskammer (47) Mittelzum Zuführen einer Behandlungsflüssigkeit und/oder einem Behandlungsgas zur Behand¬lung, insbesondere zur chemischen Reinigung, der scheibenförmigen Objekte (2) umfasst.
  12. 12. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,dass mittels der wenigstens zwei ersten Kupplungsvorrichtungen (10) bei Einnahme ihresaktivierten Betriebszustandes, Relativbewegungen zwischen den Halteleisten (3) und derersten Stützvorrichtung (12) quer zur Längsachse (5) der Halteleisten (3) unterbundensind.
  13. 13. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,dass zwischen der ersten Stützvorrichtung (12) und wenigstens einer Halteleiste (3) zu¬mindest eine, wahlweise aktivierbare und deaktivierbare Koppelungsvorrichtung (24) zumwahlweisen Verbinden und Lösen der wenigstens einen Halteleiste (3) mit einem Koppe¬lungsorgan (25) der ersten Stützvorrichtung (12), und zum wahlweisen Unterbinden undFreigeben von Relativbewegungen zwischen den Halteleisten (3) und dem Koppelungsor¬gan (25) in paralleler Richtung zur Längsachse (5) der Halteleisten (3) ausgebildet ist.
  14. 14. Halterungssystem nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Koppelungsor¬gan (25) zumindest ein Sicherungselement (27) umfasst, welches Sicherungselement (27)zum form- oder reibschlüssigen Zusammenwirken mit einer Halteleiste (3) ausgebildet ist.
  15. 15. Halterungssystem nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass an zumindest ei¬nem Längsende wenigstens einer Halteleiste (3) ein Sicherungsmittel (29), insbesondereeine Sicherungsnut (30) vorgesehen ist, welches wenigstens eine Sicherungsmittel (29)zum formschlüssigen Zusammenwirken mit einem Sicherungselement (27), insbesondereeinem Sicherungsfortsatz (28) der ersten Stützvorrichtung (12), ausgebildet ist.
  16. 16. Halterungssystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekenn¬zeichnet, dass die wenigstens eine Koppelungsvorrichtung (24) durch Verschwenkung derersten Stützvorrichtung (12) mittels eines Industrieroboters (44) oder einer Bedienpersonum eine parallel zur Längsachse (5) der Halteleisten (3) und im Wesentlichen durch dasZentrum der ersten Stützvorrichtung (12) verlaufende Achse (31) wahlweise aktivierbar unddeaktivierbar ist.
  17. 17. Halterungssystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekenn¬zeichnet, dass das Koppelungsorgan (25) an der ersten Stützvorrichtung (12) um eine pa¬rallel zur Längsachse (5) der Halteleisten (3) und im Wesentlichen durch das Zentrum derersten Stützvorrichtung (12) verlaufende Achse (31) zumindest soweit verschwenkbar ge¬lagert ist, dass die wenigstens eine Koppelungsvorrichtung (24) wahlweise aktivierbar unddeaktivierbar ist.
  18. 18. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,dass an der ersten Stützvorrichtung (12) wenigstens eine Stellvorrichtung (32) angeordnetist, mittels welcher eine Relativverstellung zwischen der ersten Stützvorrichtung (12) undden Halteleisten (3) in paralleler Richtung zur Längsachse (5) der Halteleisten (3) ermög¬licht ist.
  19. 19. Halterungssystem nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eineStellvorrichtung (32) wenigstens eine parallel zur Längsachse (5) der Halteleisten (3) ver¬laufende Führungsvorrichtung (33) umfasst.
  20. 20. Halterungssystem nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigs¬tens eine Stellvorrichtung (32) einen Stellantrieb, insbesondere einen pneumatischen Stell¬zylinder (34), umfasst.
  21. 21. Halterungssystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 13 bis 20, dadurch gekenn¬zeichnet, dass das Koppelungsorgan (25) mittels der Stellvorrichtung (32) in parallelerRichtung zur Längsachse (5) der Halteleisten (3) relativ zu einem Tragkörper (35) der ers¬ten Stützvorrichtung (12) verstellbar gelagert ist.
  22. 22. Halterungssystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 13 bis 21, dadurch gekenn¬zeichnet, dass während eines Verstellvorgangs der wenigstens einen Stellvorrichtung (32)die wenigstens eine weitere Koppelungsvorrichtung (24) aktiviert, und dabei das Koppe¬lungsorgan (25) der ersten Stützvorrichtung (12) als Mitnehmer für die Halteleisten (3)wirksam ist.
  23. 23. Halterungssystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 13 bis 22, dadurch gekenn¬zeichnet, dass ein verfügbarer Verstellweg (36) der Stellvorrichtung (32) derart dimensio¬niert ist, dass die wenigstens zwei ersten Kupplungsvorrichtungen (10) mittels der Stellvor¬richtung (32) wahlweise aktivierbar und deaktivierbar sind.
  24. 24. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,dass wenigstens einer der Halteleisten (3) eine Linearführung (39) oder eine Schwenklage¬rung zugeordnet ist, mittels welcher die Halteleiste (3) vom Aufnahmeraum (4) für diescheibenförmigen Objekte (2) wahlweise entfernbar und zum Aufnahmeraum (4) annäher-bar ist.
  25. 25. Halterungssystem nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass der Linearführung (39) oder Schwenklagerung ein Stellantrieb, insbesondere ein pneumatischer Stellzylinder (40) , zur Relativverstellung der wenigstens einen Halteleiste (3) zugeordnet ist.
  26. 26. Halterungssystem nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest jenerHalteleisten (3), welche mittels einer Linearführung (39) oder Schwenklagerung verstellbargelagert sind, ein zusätzliches Axialsicherungsmittel (41) zugeordnet ist, welches zusätzli¬che Axialsicherungsmittel (41) zur wahlweisen Unterbindung und Freigabe von Relativbe¬wegungen zwischen dieser Halteleiste und der ersten Stützvorrichtung (12) in parallelerRichtung zur Längsachse (5) dieser Halteleiste (3) ausgebildet ist.
  27. 27. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,dass die erste Stützvorrichtung (12) eine Verbindungsschnittstelle zu einem Industrierobo¬ter (44) aufweist, sodass die erste Stützvorrichtung (12) als Endeffektor des Industrierobo¬ters (44) fungiert.
  28. 28. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,dass die erste Stützvorrichtung (12) wenigstens einen, insbesondere zumindest zweiHandgriffe zum manuellen Ergreifen der ersten Stützvorrichtung (12) durch eine Bedien¬person aufweist.
  29. 29. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,dass die erste Stützvorrichtung (12) wenigstens eine Handhabe zum manuellen Einleitenvon Stellbewegungen der verstellbaren Elemente (24, 32, 39, 41) an der ersten Stützvor¬richtung (12) aufweist.
  30. 30. Behandlungsvorrichtung für scheibenförmige Objekte (2), insbesondere Halbleiter-Wafer(2), umfassend einen in einer Behandlungskammer (47) angeordneten Rotor (13), eineMehrzahl von Auslässen zur Einleitung von gasförmigen oder flüssigen Chemikalien in dieBehandlungskammer, und eine an einem axialen Ende der Rotationsachse (21) des Rotors(13) angeordnete Beschickungsöffnung (48) zur Einbringung einer Mehrzahl von zu be¬handelnden, scheibenförmigen Objekten (2), dadurch gekennzeichnet, dass der Rotor(13) zum lösbaren Aufnehmen von und Verbinden mit Halteleisten (3) eines Halterungssys¬tems (9) nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche vorgesehen ist.
  31. 31. Verfahren zum Beschicken einer Behandlungsvorrichtung mit einer stapelartigen Anord¬nung scheibenförmiger Objekte (2), wobei die scheibenförmigen Objekte (2) zwischen we¬nigstens zwei Halteleisten (3) angeordnet werden, welche Halteleisten (3) mittels Tragmit¬teln (6) an den Randabschnitten der scheibenförmigen Objekte (2) formschlüssig eingrei-fen, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteleisten (3) mittels wenigstens zwei werk¬zeuglos aktivier- und deaktivierbaren ersten Kupplungsvorrichtungen (10) unmittelbar miteiner ersten Stützvorrichtung (12) verbunden werden, anschließend die Halteleisten (3)mittels wenigstens zwei werkzeuglos aktivier- und deaktivierbaren zweiten Kupplungsvor¬richtungen (11) unmittelbar mit einer in der Behandlungsvorrichtung angeordneten zweitenStützvorrichtung (13), insbesondere einem Rotor (13) verbunden werden, und dass nach¬folgend die mechanische Verbindung zwischen der ersten Stützvorrichtung (12) und denHalteleisten (3) mittels den wenigsten zwei ersten Kupplungsvorrichtungen (10) unmittelbargelöst wird.
  32. 32. Verfahren nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, dass die scheibenförmigen Ob¬jekte (2) zwischen drei gleichmäßig über den Rotationsumfang des Rotors (13) verteilt an¬geordnete Halteleisten (3) gehalten werden, und mittels drei zweiten Kupplungsvorrichtun¬gen (11) eine formschlüssige Verbindung zwischen den Halteleisten (3) und dem Rotor(13) aufgebaut wird.
  33. 33. Verfahren nach Anspruch 31 oder 32, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteleisten (3)ausschließlich durch die wenigstens zwei zweiten Kupplungsvorrichtungen (11) form¬schlüssig an den jeweiligen Sollpositionen am Rotationsumfang des Rotors (13) gehaltenwerden. Hierzu 10 Blatt Zeichnungen
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