JPH069501Y2 - 基板の回転乾燥装置 - Google Patents

基板の回転乾燥装置

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JPH069501Y2
JPH069501Y2 JP1988126606U JP12660688U JPH069501Y2 JP H069501 Y2 JPH069501 Y2 JP H069501Y2 JP 1988126606 U JP1988126606 U JP 1988126606U JP 12660688 U JP12660688 U JP 12660688U JP H069501 Y2 JPH069501 Y2 JP H069501Y2
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Description

【考案の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 この考案は、半導体基板、液晶用ガラス基板等（以下単
にウエハと称する）の製造上の一工程である乾燥工程に
おいて、ウエハに付着した液滴を遠心力で液切り乾燥す
る回転乾燥装置に関するものである。
《従来の技術》 この種の装置としては、従来より例えば第５図に示すも
の（発明協会公開技術第８５−４５２７号）が知られて
いる。
それはターンテーブル１０１上に基板収容カセット（以
下カセットと称する）１０８を受容する一対のクレード
ル１０５・１０５を具備して成り、一対のクレードル１
０５・１０５は受容口１０６が上向きになるカセット交
換姿勢Ａと受容口１０６が鉛直対面状になる液切り姿勢
Ｂとに揺動回転可能に軸支されている。
なお、第５図中、符号１１０はクレードル１０５の支
軸、１０２は支軸１１０を回転自在に支持する側枠、１
２０は揺動アーム１１４をロッド１２１で突き上げるこ
とによりクレードル１０５を液切り姿勢Ｂからカセット
交換姿勢Ａに変換するプッシュロッド式アクチェータ、
１２２はターンテーブル１０１を水平旋回させる駆動モ
ータ、１２３はターンテーブル１０１の回転駆動軸、１
２５は液滴の飛散を防止するハウジングである。
《考案が解決しようとする課題》 通常、上記カセット１０８は収容するウエハの直径(4″
〜8″）に応じてその外形寸法が異なる。従って乾燥工
程で処理するウエハの外径が異なる場合には、これに対
応させて、ターンテーブル全体のバランスを損なわぬよ
う、一対のクレードルを交換する必要がある。
しかるに上記従来例のものはクレードルだけを交換し得
る構造とはなっておらず、ターンテーブル１０１ごと回
転駆動軸１２３に着脱交換するようになっている。
このため、下記のような難点があった。
(イ)ウエハの外径に応じて、クレードルの外形寸法が異
なる複数種のターンテーブルを準備しなければならず、
コスト高になる。
(ロ)ターンテーブル一式は、かなり重量があり、着脱交
換作業が容易でない。
本考案は上記難点を解決することを技術課題とする。
《課題を解決するための手段》 本考案は上記課題を解決するため、以下のように構成さ
れている。
即ち、ターンテーブル上に基板収容カセットを受容する
少なくとも一対のクレードルを具備して成り、一対のク
レードルは受容口が上向きになるカセット交換姿勢と当
該受容口が鉛直対面状になる液切り姿勢とに揺動回転可
能に軸支して成る基板の回転乾燥装置において、上記ク
レードルの支軸は、駆動手段に連結された駆動軸部分
と、クレードルの側面に固定された従動軸部分とから成
り、上記駆動軸部分と従動軸部分のいずれか一方に係合
凸部を、他方に係合凹部を形成し、これらの係合凸部と
係合凹部とを相互に係合させて固定手段で固定すること
により、上記駆動軸部分と従動軸部分とをその軸心を合
致させて着脱可能に固定したことを特徴とするものであ
る。
《作用》 本考案では、クレードルの支軸は、駆動手段に連結され
た駆動軸部分と、クレードルの側面に固定された従動軸
部分とから成り、上記駆動軸部分と従動軸部分とは固定
手段により以下のようにして着脱可能に固定される。
すなわち、上記駆動軸部分と従動軸部分のいずれか一方
に係合凸部が、他方に係合凹部が形成されており、これ
らの係合凸部と係合凹部とを相互に係合させて固定手段
で固定することにより、上記駆動軸部分と従動軸部分と
は、その軸心を合致させて着脱可能に固定される。
従って、本考案では、ウエハの外径が異なる場合には、
必要な大きさの基板収容カセットを受容し得るクレード
ルと交換することができる。
なお、上記駆動軸部分と従動軸部分とは、その軸心を合
致させて着脱可能に固定されるので、ターンテーブル全
体がクレードルの交換によってアンバランスになること
もない。
これにより、必要に応じてクレードルのみを交換すれば
よく、クレードル単体の重量も軽いので手際よく交換で
きる。
《実施例》 第１図は本考案に係る回転乾燥装置の要部斜視図であ
る。
この回転乾燥装置は、ターンテーブル１上に一対の枠壁
２・２を立設し、両枠壁２・２間に一対のクレードル５
・５を設け、両枠壁２・２の外側に各クレードル５の支
軸１０を支持する支持手段１５を設け、一対のクレード
ル５・５は前記従来例と同様、カセット８を受容する受
容口６が上向きになるカセット交換姿勢と受容口６が鉛
直対面状になる液切り姿勢とに揺動回転するように構成
されている。
上記支持手段１５は両枠壁２・２の外側へ突出した各ク
レードル５の支軸１０を回転可能に支持する軸受１６
と、枠壁２の外側面に設けられ、ガイド棒１７を介して
軸受１６を水平移動可能に支持する支持具１８と、各支
軸１０を揺動回転するロータリアクチェータ２０と、支
軸間隔Ｄを変更するアクチェータ２１とを具備して成
り、カセット交換に際し、一対のクレードル５・５の支
軸間隔Ｄを狭ばめて二つのカセット８を同時に交換可能
にし、液切り姿勢に切換える際には支軸間隔Ｄを拡げて
から支軸１０を回転させることにより、クレードル同士
が衝突しないように構成されている。なお、第１図中、
符号2aは支軸が遊嵌状に慣通する長孔、３は飛散した液
滴が支持手段１５に付着するのを防止するカバー、Ｗは
ウエハである。
以下、本考案の特徴構造について説明する。
上記クレードル５は両枠壁２・２の内側に位置する一対
の支軸１０・１０の部分で脱着可能に係合されている。
第２図はその係合構造を説明するための斜視図である。
上記クレードル５の各支軸１０は、第２図に示すよう
に、駆動手段であるロータリアクチュエータ２０に連結
された駆動軸部分１０Ａと、クレードル５の側面に固定
された従動軸部分１０Ｂとから成り、上記駆動軸部分１
０Ａと従動軸部分１０Ｂとは後述する固定手段１３によ
り以下のようにして着脱可能に固定される。
即ち、上記駆動軸部分１０Ａには軸心Ｚａと平行をなす
Ｖ字ブロック状の係合凹部１０ａが形成され、従動軸部
分１０Ｂには軸心Ｚｂと平行をなすＶ字凸状の係合凸部
１０ｂが形成されており、この係合凹部１０ａに係合凸
部１０ｂを係合させて、固定手段１３で固定することに
より、駆動軸部分１０Ａと従動軸部分１０Ｂとの軸心Ｚ
ａ・Ｚｂを合致させて着脱可能に固定するように構成さ
れている。
なお、Ｖ字凸状に形成された従動軸部分１０Ｂの上面に
は軸心Ｚｂと直交するＶ字状のキイ溝１１が形成されて
おり、このキイ溝１１に下面がＶ字状に形成された固定
金具１２を押し当て、固定金具１２を駆動軸部分１０Ａ
にビス１３で固定することにより、駆動軸部分１０Ａと
従動軸部分１０Ｂとを着脱可能に係合するように構成さ
れている。
上記係合構造によれば、クレードルの交換に際し、軸心
Ｚのずれのおそれはなく、又、軸心方向へのずれのおそ
れがない。従って、ターンテーブル全体のバランスが損
なわれるおそれもない。
第３図は別実施例による支軸の係合構造を示す斜視図で
ある。この実施例は第２図の固定具金具１２を排除し、
従動軸部分１０Ｂを直接駆動軸部分１０Ａにビス１３で
固定した点が上記実施例と異なる。
第４図はさらに別の実施例による支軸の係合構造を示す
斜視図である。この実施例は、駆動軸部分１０Ａに形成
された前記係合凹部１０ａと従動軸部分１０Ｂに形成さ
れた前記係合凸部１０ｂとの接合面に、それぞれ軸心Ｚ
ａ・Ｚｂと直交するＶ字状凸部Ｓａ及びＶ字状凹部Ｓｂ
を形するとともに、第２図の固定金具１２を排除して両
者を直接ビス１３で固定した点が前記実施例と異なる。
なお、支軸部分の係合構造は上記実施例に限らず、多様
な変形を加えて実施することができる。
また、クレードルの揺動支持構造は本実施例の支持手段
によるものに限らず、従来例と同様のプッシュロッド式
アクチェータを有するものでもよい。
《考案の効果》 以上の説明で明らかなように、本考案では、クレードル
の支軸は、駆動手段に連結された駆動軸部分と、クレー
ドルの側面に固定された従動軸部分とから成り、上記駆
動軸部分と従動軸部分のいずれか一方に係合凸部を、他
方に係合凹部を形成し、これらの係合凸部と係合凹部と
を相互に係合させて固定手段で固定することにより、上
記駆動軸部分と従動軸部分とをその軸心を合致させて着
脱可能に固定した構造になっており、ウエハの外径が異
なるものを処理する場合にはクレードルのみを交換する
ことができる。これにより、 (イ)従来例のように、ウエハの外径に応じてクルードル
の外形寸法が異なる複数種のターンテーブルを準備する
必要はなくクレードルのみを交換すればよいので、装置
のコスト低減を図ることができる。
(ロ)クレードル単体は軽量であるから、重いターンテー
ブル一式を着脱交換する従来例に比べて、着脱交換作業
が容易になる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る回転乾燥装置の一実施例を示す要
部斜視図、第２図〜第４図はそれぞれクレードルの支軸
の係合構造を例示する斜視図、第５図は従来例による回
転乾燥装置の縦断面図である。 １……ターンテーブル、５……クレードル、６……受容
口、８……基板収容カセット、１０……支軸、１０Ａ…
…駆動軸部分、１０ａ……係合凹部、１０Ｂ……従動軸
部分、１０ｂ……係合凸部、１３……固定手段（ビ
ス）、Ｚａ・Ｚｂ……軸心。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】ターンテーブル上に基板収容カセットを受
    容する少なくとも一対のクレードルを具備して成り、一
    対のクレードルは受容口が上向きになるカセット交換姿
    勢と当該受容口が鉛直対面状になる液切り姿勢とに揺動
    回転可能に軸支して成る基板の回転乾燥装置において、 上記クレードルの支軸は、駆動手段に連結された駆動軸
    部分と、クレードルの側面に固定された従動軸部分とか
    ら成り、 上記駆動軸部分と従動軸部分のいずれか一方に係合凸部
    を、他方に係合凹部を形成し、これらの係合凸部と係合
    凹部とを相互に係合させて固定手段で固定することによ
    り、上記駆動軸部分と従動軸部分とをその軸心を合致さ
    せて着脱可能に固定したことを特徴とする基板の回転乾
    燥装置。
JP1988126606U 1988-09-27 1988-09-27 基板の回転乾燥装置 Expired - Lifetime JPH069501Y2 (ja)

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JPH069501Y2 true JPH069501Y2 (ja) 1994-03-09

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JPH0247033U (ja) 1990-03-30
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