KR20190034644A - 기판 처리 관리 장치, 기판 처리 관리 방법 및 기판 처리 관리 프로그램 - Google Patents

기판 처리 관리 장치, 기판 처리 관리 방법 및 기판 처리 관리 프로그램 Download PDF

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KR20190034644A
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겐이치로 조
아키히로 나카니시
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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

기판 처리 장치에 있어서의 복수의 기판의 처리의 이력을 표시하기 위한 이력 표시 데이터가 취득된다. 취득된 이력 표시 데이터에 의거하여 복수의 기판의 처리의 이력이 이력 차트로서 표시부에 표시된다. 표시부에 의해 표시된 이력 차트의 임의의 부분으로서, 상이한 기판에 대응하고 또한 동일한 처리에 대응하는 복수의 요소가 제1 및 제2 요소로서 받아들여진 경우에, 받아들여진 제1 및 제2 요소의 서로 대응하는 부분을 지나는 제1 또는 제2 보조선이 이력 차트 상에 표시된다.

Description

기판 처리 관리 장치, 기판 처리 관리 방법 및 기판 처리 관리 프로그램
본 발명은, 기판 처리 장치에 의한 처리를 관리하는 기판 처리 관리 장치, 기판 처리 관리 방법 및 기판 처리 관리 프로그램에 관한 것이다.
반도체 디바이스 등의 제조에 있어서의 리소그래피 공정에서는, 기판 상에 레지스트액 등의 도포액이 공급됨으로써 도포막이 형성된다. 도포막이 노광된 후, 현상됨으로써, 도포막에 소정의 패턴이 형성된다. 특허문헌 1에는, 노광 장치에 인접하도록 배치되는 기판 처리 장치가 기재되어 있다.
특허문헌 1의 기판 처리 장치는, 캐리어 재치(載置)부, 처리 블록 및 인터페이스부를 포함한다. 캐리어 재치부에 재치된 캐리어 내의 기판은, 처리 블록에 반입되어 레지스트액의 도포가 실시된다. 그 후, 기판은, 인터페이스부를 통해 노광 장치에 반송되어 노광된다. 노광 후의 기판은, 인터페이스부를 통해 처리 블록에 반송되어 현상된다. 현상 후의 기판은, 캐리어 재치부에 반송된다.
특개 2004－152801호 공보
특허문헌 1 기재의 기판 처리 장치의 메모리에는, 복수의 기판의 각각이 어느 타이밍에서 어느 반송처에 반송될까를 정한 반송 스케줄이 기억되어 있다. 복수의 기판은, 반송 스케줄에 따라서 반송됨으로써 연속적으로 처리된다.
그러나, 기판이 기판 처리 장치 내에서 일시적으로 정체되는 경우가 있어, 복수의 기판이 반송 스케줄대로 처리되지 않는 경우가 있다. 이러한 경우에는, 기판 처리 장치에 있어서의 기판의 정체된 장소 또는 정체된 기판에 이상이 존재할 가능성이 있다. 이 때문에, 기판 처리 장치의 어느 장소에 어느 기판이 정체되어 있었는지를 용이하게 특정할 수 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 목적은, 기판 처리 장치에 의한 처리의 이상을 용이하게 특정 가능한 기판 처리 관리 장치, 기판 처리 관리 방법 및 기판 처리 관리 프로그램을 제공하는 것이다.
(1) 본 발명의 한 국면에 따르는 기판 처리 관리 장치는, 복수의 기판의 각각에 처리를 순차적으로 실시하는 기판 처리 장치에 있어서의 처리를 관리하는 기판 처리 관리 장치로서, 기판 처리 장치에 있어서의 복수의 기판의 처리의 이력을 표시하기 위한 이력 표시 데이터를 취득하는 데이터 취득부와, 데이터 취득부에 의해 취득된 이력 표시 데이터에 의거하여 복수의 기판의 처리의 이력을 이력 차트로서 표시하는 표시부와, 표시부에 의해 표시된 이력 차트의 임의의 부분을 지정하기 위해서 사용자에 의해 조작되는 조작부와, 조작부에 의해 지정된 부분에 의거하여 표시부에 의한 표시를 제어하는 표시 제어부를 구비하고, 이력 차트는, 시간축에 대응하는 제1 방향으로 각각 연장되고 또한 복수의 기판에 대한 처리의 이력을 각각 나타내는 복수의 띠모양 지표를 포함하고, 복수의 띠모양 지표는, 최초의 처리의 개시순으로 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 늘어서고, 각 띠모양 지표는, 각 처리에 대응하는 요소 지표를 포함하며, 각 요소 지표는, 처리에 필요로 한 시간에 대응하는 길이를 가지고 또한 시간축 상의 해당하는 시각 범위에 위치하고, 표시 제어부는, 상이한 기판에 대응하고 또한 같은 처리에 대응하는 복수의 요소 지표가 조작부에 의해 제1 및 제2 요소 지표로서 지정되었을 경우에, 지정된 제1 및 제2의 요소 지표의 서로 대응하는 부분을 지나는 기본 보조선을 이력 차트 상에 표시하도록 표시부를 제어한다.
이 기판 처리 관리 장치에 있어서는, 기판 처리 장치에 있어서의 복수의 기판의 처리의 이력을 표시하기 위한 이력 표시 데이터가 취득된다. 취득된 이력 표시 데이터에 의거하여 복수의 기판의 처리의 이력이 이력 차트로서 표시부에 표시된다. 표시부에 의해 표시된 이력 차트의 임의의 부분으로서 상이한 기판에 대응하고 또한 같은 처리에 대응하는 복수의 요소 지표가 제1 및 제2 요소 지표로서 지정되었을 경우에, 이들의 제1 및 제2 요소 지표의 서로 대응하는 부분을 지나는 기본 보조선이 이력 차트상에 표시된다.
이 구성에 의하면, 기판 처리 장치에 의해 기판이 정체되는 일 없이 처리되었을 경우에는, 기본 보조선은, 상이한 기판에 있어서 제1 및 제2 요소 지표에 대응하는 요소 지표의 특정의 부분을 통과한다. 한편, 제1 및 제2 요소 지표에 대응하는 처리 이전의 처리에 있어서 기판이 정체되었을 경우에는, 기본 보조선은, 다른 기판에 있어서 제1 및 제2 요소 지표에 대응하는 요소 지표의 특정의 부분을 통과하지 않는다.
따라서, 사용자는, 기본 보조선이 복수의 요소 지표의 특정의 부분을 통과하고 있는지 여부를 시인함으로써, 기판 처리 장치에 의한 기판의 처리가 정체되었는지 여부를 용이하게 인식할 수 있다. 또, 복수의 요소 지표가 적절히 지정됨으로써, 어느 처리에 있어서 기판의 처리가 정체되었는지를 특정할 수 있다. 그 결과, 기판 처리 장치에 의한 처리의 이상을 용이하게 특정할 수 있다.
(2) 제1 및 제2 요소 지표의 서로 대응하는 부분은, 제1 및 제2 요소 지표에 있어서 처리의 개시 시각을 나타내는 부분을 포함하고, 기본 보조선은, 제1 및 제2 요소 지표의 개시 시각을 나타내는 부분을 지나는 제1 보조선을 포함해도 된다.
이 경우, 제1 및 제2 요소 지표에 대응하는 처리가 어느 한 기판에 실시되기 전에 당해 기판이 정체되어 있던 것을 용이하게 특정할 수 있다. 이에 의해, 당해 기판 또는 당해 처리를 실시하는 기판 처리 장치의 부분의 이상을 용이하게 특정할 수 있다.
(3) 제1 및 제2 요소 지표의 서로 대응하는 부분은, 제1 및 제2 요소 지표에 있어서 처리의 종료 시각을 나타내는 부분을 포함하고, 기본 보조선은, 제1 및 제2 요소 지표의 종료 시각을 나타내는 부분을 지나는 제2 보조선을 포함해도 된다.
이 경우, 제1 및 제2의 요소 지표에 대응하는 처리가 어느 한 기판에 실시되기 전 또는 실시된 후에 당해 기판이 정체되어 있던 것을 용이하게 특정할 수 있다. 이에 의해, 당해 기판 또는 당해 처리를 실시하는 기판 처리 장치의 부분의 이상을 용이하게 특정할 수 있다.
(4) 표시 제어부는, 복수의 기판에 대응하는 복수의 요소 지표 중 임의의 요소 지표가 조작부에 의해 제3 요소 지표로서 더 지정되었을 경우에, 지정된 제3 요소 지표에 있어서의 특정 부분을 지나고 또한 기본 보조선에 평행한 제3 보조선을 이력 차트 상에 표시하도록 표시부를 제어해도 된다.
이 구성에 의하면, 기판 처리 장치에 의해 기판이 정체되는 일 없이 처리되었을 경우에는, 제3 보조선은, 복수의 기판에 있어서 제3 요소 지표에 대응하는 요소 지표의 특정의 부분을 통과한다. 한편, 제3 요소 지표에 대응하는 처리 이전의 처리에 있어서 기판이 정체되었을 경우에는, 제3 보조선은, 어느 한 기판에 있어서 제3 요소 지표에 대응하는 요소 지표의 특정의 부분을 통과하지 않는다.
따라서, 사용자는, 기본 보조선 및 제3 보조선이 복수의 요소 지표의 특정의 부분을 통과하고 있는지 여부를 시인함으로써, 기판 처리 장치에 의한 기판의 처리가 정체되었는지 여부를 용이하게 인식할 수 있다. 또, 사용자는, 제1 및 제2 요소 지표에 대응하는 처리와 제3 요소 지표에 대응하는 처리의 사이에 기판이 정체되었는지 여부를 보다 용이하게 판별할 수 있다.
(5) 제3 요소 지표에 있어서의 특정 부분은, 제3 요소 지표에 있어서 처리의 개시 시각을 나타내는 부분 또는 처리의 종료 시각을 나타내는 부분을 포함해도 된다. 이 경우, 제3 요소 지표에 대응하는 처리가 어느 한 기판에 실시되기 전 또는 실시된 후에 당해 기판이 정체되어 있던 것을 용이하게 특정할 수 있다.
(6) 본 발명의 다른 국면에 따르는 기판 처리 관리 방법은, 복수의 기판의 각각에 처리를 순차적으로 실시하는 기판 처리 장치에 있어서의 처리를 관리하는 기판 처리 관리 방법으로서, 기판 처리 장치에 있어서의 복수의 기판의 처리의 이력을 표시하기 위한 이력 표시 데이터를 취득하는 단계와, 취득된 이력 표시 데이터에 의거해 복수의 기판의 처리의 이력을 이력 차트로서 표시부에 표시하는 단계와, 표시부에 의해 표시된 이력 차트의 임의의 부분의 지정을 받아들이는 단계와, 받아들여진 부분에 의거해 기본 보조선을 표시부에 표시하는 단계를 포함하고, 이력 차트는, 시간축에 대응하는 제1 방향으로 각각 연장되고 또한 복수의 기판에 대한 처리의 이력을 각각 나타내는 복수의 띠모양 지표를 포함하고, 복수의 띠모양 지표는, 최초의 처리의 개시순으로 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 늘어서고, 각 띠모양 지표는, 각 처리에 대응하는 요소 지표를 포함하며, 각 요소 지표는, 처리에 필요로 한 시간에 대응하는 길이를 가지고 또한 시간축 상의 해당하는 시각 범위에 위치하고, 기본 보조선을 표시부에 표시하는 단계는, 이력 차트의 임의의 부분으로서 상이한 기판에 대응하고 또한 같은 처리에 대응하는 복수의 요소 지표가 제1 및 제2 요소 지표로서 받아들여진 경우에, 받아들여진 제1 및 제2 요소 지표의 서로 대응하는 부분을 지나는 기본 보조선을 표시부의 이력 차트 상에 표시하는 것을 포함한다.
이 기판 처리 관리 방법에 의하면, 사용자는, 기본 보조선이 복수의 요소 지표의 특정의 부분을 통과하고 있는지 여부를 시인함으로써, 기판 처리 장치에 의한 기판의 처리가 정체되었는지 여부를 용이하게 인식할 수 있다. 또, 복수의 요소 지표가 적절히 지정됨으로써, 어느 처리에 있어서 기판의 처리가 정체되었는지를 특정할 수 있다. 그 결과, 기판 처리 장치에 의한 처리의 이상을 용이하게 특정할 수 있다.
(7) 본 발명의 더욱 다른 국면을 따르는 기판 처리 관리 프로그램은, 복수의 기판의 각각에 처리를 순차적으로 실시하는 기판 처리 장치에 있어서의 처리의 관리를 처리 장치에 의해 실행 가능한 기판 처리 관리 프로그램으로서, 기판 처리 장치에 있어서의 복수의 기판의 처리의 이력을 표시하기 위한 이력 표시 데이터를 취득하는 처리와, 취득된 이력 표시 데이터에 의거해 복수의 기판의 처리의 이력을 이력 차트로서 표시부에 표시하는 처리와, 표시부에 의해 표시된 이력 차트의 임의의 부분의 지정을 받아들이는 처리와, 받아들여진 부분에 의거해 기본 보조선을 표시부에 표시하는 처리를, 처리 장치로 하여금 실행하게 하고, 이력 차트는, 시간축에 대응하는 제1 방향으로 각각 연장되고 또한 복수의 기판에 대한 처리의 이력을 각각 나타내는 복수의 띠모양 지표를 포함하고, 복수의 띠모양 지표는, 최초의 처리의 개시순으로 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 늘어서고, 각 띠모양 지표는, 각 처리에 대응하는 요소 지표를 포함하며, 각 요소 지표는, 처리에 필요로 한 시간에 대응하는 길이를 가지고 또한 시간축 상의 해당하는 시각 범위에 위치하고, 기본 보조선을 표시부에 표시하는 처리는, 이력 차트의 임의의 부분으로서 상이한 기판에 대응하고 또한 같은 처리에 대응하는 복수의 요소 지표가 제1 및 제2 요소 지표로서 받아들여진 경우에, 받아들여진 제1 및 제2 요소 지표의 서로 대응하는 부분을 지나는 기본 보조선을 표시부의 이력 차트 상에 표시하는 것을 포함한다.
이 기판 처리 관리 프로그램에 의하면, 사용자는, 기본 보조선이 복수의 요소 지표의 특정의 부분을 통과하고 있는지 여부를 시인함으로써, 기판 처리 장치에 의한 기판의 처리가 정체되었는지 여부를 용이하게 인식할 수 있다. 또, 복수의 요소 지표가 적절히 지정됨으로써, 어느 한 처리에 있어서 기판의 처리가 정체되었는지를 특정할 수 있다. 그 결과, 기판 처리 장치에 의한 처리의 이상을 용이하게 특정할 수 있다.
본 발명에 의하면, 기판 처리 장치에 의한 처리의 이상을 용이하게 특정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 처리 관리 장치를 포함하는 기판 처리 시스템의 구성을 나타내는 도이다.
도 2는 이력 표시 데이터에 의해 표시되는 이력 차트이다.
도 3은 도 2의 이력 표시란의 부분 확대 도이다.
도 4는 도 1의 기판 처리 관리 장치의 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 5는 기판 처리 관리 장치의 동작의 일례를 설명하기 위한 도이다.
도 6은 기판 처리 관리 장치의 동작의 다른 예를 설명하기 위한 도이다.
도 7은 이력 차트에 보조선을 표시하기 위한 보조선 표시 처리를 나타내는 플로차트이다.
도 8은 이력 차트에 보조선을 표시하기 위한 보조선 표시 처리를 나타내는 플로차트이다.
도 9는 도 1의 기판 처리 장치의 모식적 평면도이다.
도 10은 도 9의 도포 처리부, 현상 처리부 및 세정 건조 처리부의 내부 구성을 나타내는 모식적 측면도이다.
도 11은 도 9의 열처리부 및 세정 건조 처리부의 내부 구성을 나타내는 모식적 측면도이다.
도 12는 반송부의 내부 구성을 나타내는 모식적 측면도이다.
이하, 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 처리 관리 장치, 기판 처리 관리 방법 및 기판 처리 관리 프로그램에 대해 도면을 이용해 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 기판이란, 반도체 기판, 액정표시장치용 기판, 플라즈마 디스플레이용 기판, 광디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 광학 자기 디스크용 기판 또는 포토마스크용 기판 등을 말한다.
(1) 기판 처리 시스템의 개략 구성
도 1은, 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 처리 관리 장치를 포함한 기판 처리 시스템의 구성을 나타내는 도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 시스템(500)은, 1 이상의 기판 처리 장치(100), 서버(200) 및 1 이상의 기판 처리 관리 장치(300)를 포함한다. 각 기판 처리 장치(100), 서버(200) 및 각 기판 처리 관리 장치(300)는, 서로 통신 가능하게 네트워크(510)에 접속된다.
기판 처리 장치(100)는, 메인 컨트롤러(1), 기억부(2), 복수의 처리실(3) 및 복수의 반송 장치(반송 로봇)(4)를 포함한다. 도 1의 기판 처리 장치(100)에는, 1개의 처리실(3) 및 1개의 반송 장치(4)가 도시되어 있다. 기판 처리 장치(100)의 상세한 구성 및 동작에 대해서는 후술한다.
기억부(2)에는, 기판의 반송 경로 및 복수의 처리실(3)에 있어서의 처리 순서를 나타내는 스케줄 정보(2a)가 기억된다. 메인 컨트롤러(1)는, 기억부(2)에 기억된 스케줄 정보(2a)에 근거하여, 복수의 처리실(3) 및 복수의 반송 장치(4)의 동작을 제어한다. 이에 의해, 기판이 복수의 처리실(3)에 순차적으로 반송되고, 각 처리실(3)에 있어서 소정의 처리를 실시한다.
메인 컨트롤러(1)는, 각 처리실(3)에 있어서의 처리의 개시시각 및 종료시각 등을 나타내는 이력 정보(2b)를 각 반송 장치(4)로부터 취득해, 기억부(2)에 기억한다. 또, 메인 컨트롤러(1)는, 스케줄 정보(2a) 및 이력 정보(2b)에 의거하여, 복수의 기판의 처리의 이력을 시각적으로 나타내는 이력 차트를 표시하기 위한 이력 표시 데이터(2c)를 생성해, 기억부(2)에 기억한다.
도 2는, 이력 표시 데이터(2c)에 의해 표시되는 이력 차트이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 이력 차트(10)는, 명칭 표시란(11), 시각 표시란(12) 및 이력 표시란(13)을 포함한다. 명칭 표시란(11), 시각 표시란(12) 및 이력 표시란(13)은, 왼쪽에서 오른쪽으로 이 순서로 나열되도록 배열된다.
명칭 표시란(11)에 있어서는, 복수의 기판에 각각 고유하게 부여된 복수의 식별 명칭(도 2의 예에서는 「Slot 1」~ 「Slot 15」)이 상하 방향으로 나열되도록 표시된다. 복수의 식별 명칭은, 대응하는 기판의 처리 개시시각의 순서로 배열되고, 처리 개시시각이 빠른 기판일수록 대응하는 식별 명칭이 위쪽에 위치한다. 따라서, 도 2의 예는, 「Slot 1」에 대응하는 기판의 처리가 가장 먼저 개시되고, 「Slot 15」에 대응하는 기판의 처리가 가장 후에 개시된 것을 의미한다.
시각표시란(12)에 있어서는, 복수의 기판의 개시시각이, 상하 방향으로 나열되도록, 명칭 표시란(11)에 있어서의 대응하는 복수의 기판의 식별 명칭의 옆에 표시된다. 이력 표시란(13)에 있어서는, 복수의 기판의 처리 시각을 각각 나타내는 복수의 띠모양 지표(14)가, 상하 방향으로 나열되도록, 시각표시란(12)에 있어서의 대응하는 복수의 기판의 개시시각의 옆에 표시된다. 각 띠모양 지표(14)는 좌우 방향으로 연장되고, 띠모양 지표(14)의 왼쪽 끝 및 오른쪽 끝은 대응하는 기판의 처리 개시시각 및 처리 종료시각을 각각 나타낸다.
도 3은, 도 2의 이력 표시란(13)의 부분 확대도이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 각 띠모양 지표(14)는, 복수의 처리실(3)(도 1)에 의한 기판의 복수의 처리 시각을 각각 나타내는 직사각형 형상의 복수의 요소 지표(15)를 포함한다. 각 요소 지표(15)의 왼쪽 끝 및 오른쪽 끝은, 대응하는 처리실(3)에 의한 기판의 처리 개시시각 및 처리 종료시각을 각각 나타낸다. 복수의 띠모양 지표(14)의 위쪽에는, 띠모양 지표(14)의 위치에 대응하는 기판의 처리 시각이 표시되어도 된다. 요소 지표(15) 내의 하부에는, 스케줄 정보(2a)(도 1)에 의거하여, 대응하는 처리실(3)에 의한 처리의 소요 시간을 나타내는 직사각형 형상의 시간 지표(15a)가 표시된다.
각 요소 지표(15) 내의 상부에는, 대응하는 처리실(3)의 명칭(도 3의 예에서는 「처리실C」~ 「처리실J」)이 표시된다. 처리실(3)의 명칭은 처리실(3)의 종류를 나타낸다. 동일 명칭의 처리실(3)이 복수 설치되어도 된다. 또, 시간 지표(15a) 내에는, 대응하는 처리실(3)에 의한 처리의 명칭(도 3의 예에서는 「처리C」~ 「처리J」)이 표시된다. 처리의 명칭은 처리의 종류를 나타낸다. 처리실(3)의 명칭 또는 처리의 명칭이 요소 지표(15) 내 또는 시간 지표(15a) 내의 표시 영역에 들어가지 않는 경우에는, 처리실(3)의 명칭 또는 처리의 명칭의 일부 또는 전부의 표시가 생략된다.
이하의 설명에 있어서, 복수의 요소 지표(15)의 각각을 간단히 요소라고 부른다. 각 띠모양 지표(14)에 있어서, 동일 종류의 처리를 실시하는 처리실(3)에 대응하는 요소는, 동일한 색채로 표시된다. 예를 들면, 「처리실E」와「처리실H」에 있어서 기판에 동일한 종류의 처리를 실시하여,「처리실F」와「처리실I」에 있어서 기판에 다른 동일한 종류의 처리를 실시한다. 이 때문에, 「처리실F」와「처리실I」에 각각 대응하는 요소는 동일한 색채로 표시되고, 「처리실F」와「처리실I」에 각각 대응하는 요소는 다른 동일한 색채로 표시된다. 또한, 도 3의 예에서는, 색채가 닷 패턴 또는 해칭 패턴에 의해 나타난다.
도 1의 서버(200)는, 대용량의 기억장치에 의해 구성된다. 각 기판 처리 장치(100)에 의해 생성된 이력 정보(2b) 및 이력 표시 데이터(2c)는, 네트워크(510)를 통하여 서버(200)에 송신되어 기억된다. 본 예에 있어서는, 기판 처리 장치(100)의 기억부(2)의 용량은 작기 때문에, 생성된 이력 정보(2b) 및 이력 표시 데이터(2c)는 순차적으로 갱신되고, 비교적 단기간(예를 들면 1주 동안)에 덮어써진다. 이에 대해, 서버(200)에 기억된 이력 정보(2b) 및 이력 표시 데이터(2c)는, 장기간(예를 들면 6개월 이상)에 걸쳐서 유지된다.
(2) 기판 처리 관리 장치의 구성
도 4는, 도 1의 기판 처리 관리 장치(300)의 구성을 나타내는 블럭도이다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 관리 장치(300)는, 제어부(310), 기억부(320), 조작부(330), 표시부(340) 및 통신부(350)를 포함한다. 제어부(310)는, 중앙연산 처리장치(CPU)에 의해 구성된다. 기억부(320)는, 예를 들면 불휘발성 메모리 또는 하드 디스크에 의해 구성된다. 기억부(320)에는, 기판 처리 관리 프로그램이 기억된다.
조작부(330)는, 키보드 및 포인팅 디바이스에 의해 구성된다. 포인팅 디바이스는, 마우스 또는 죠이스틱 등을 포함한다. 표시부(340)는, 예를 들면 LCD(액정 디스플레이) 패널 또는 유기 EL(일렉트로루미네선스) 패널에 의해 구성된다. 통신부(350)는, 기판 처리 관리 장치(300)를 네트워크(510)에 접속하기 위한 인터페이스에 의해 구성된다.
제어부(310)는, 데이터 취득부(311), 표시 제어부(312), 요소 접수부(313), 요소 결정부(314) 및 보조선 결정부(315)를 포함한다. 제어부(310)가 기억부(320)에 기억된 기판 처리 관리 프로그램을 실행함으로써, 데이터 취득부(311), 표시 제어부(312), 요소 접수부(313), 요소 결정부(314) 및 보조선 결정부(315)의 기능이 실현된다.
사용자는, 조작부(330)를 조작함으로써, 서버(200)(도 1)에 기억된 이력 표시 데이터(2c)(도 1)로부터 원하는 이력 표시 데이터(2c)를 데이터 취득부(311)에 지정할 수 있다. 데이터 취득부(311)는, 통신부(350) 및 네트워크(510)를 통하여 서버(200)로부터 사용자에 의해 지정된 이력 표시 데이터(2c)를 취득한다. 표시 제어부(312)는, 데이터 취득부(311)에 의해 취득된 이력 표시 데이터(2c)에 의거하여, 이력 차트(10)(도 2)를 표시하도록 표시부(340)를 제어한다.
사용자는, 조작부(330)를 조작함으로써, 표시부(340)에 표시된 이력 차트(10)의 원하는 요소를 지정할 수 있다. 요소 접수부(313)는, 사용자에 의한 요소의 지정을 받아들인다. 또, 사용자는, 조작부(330)를 조작함으로써, 요소의 지정의 결정을 지시할 수 있다. 요소 결정부(314)는, 사용자에 의한 결정의 지시를 받아들인다.
보조선 결정부(315)는, 요소 결정부(314)에 의한 결정의 받아들임에 응답하여, 요소 접수부(313)에 의해 받아들여진 요소에 의거하는 보조선을 결정한다. 표시 제어부(312)는, 보조선 결정부(315)에 의해 결정된 보조선을 이력 차트(10) 상에 표시하도록 표시부(340)를 제어한다.
(3) 기판 처리 관리 장치의 동작
도 5는, 기판 처리 관리 장치(300)의 동작의 일례를 설명하기 위한 도이다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 데이터 취득부(311)(도 4)에 의해 취득된 이력 표시 데이터(2c)(도 1)에 의거하는 이력 차트(10)가 표시부(340)에 표시된다. 도 5에 있어서는, 이력 차트(10)의 이력 표시란(13)(도 2)의 일부가 확대 표시된다. 후술하는 도 6에 있어서도 동일하다.
사용자는, 조작부(330)를 조작함으로써, 표시부(340)에 표시된 이력 차트(10)의 복수의 요소 중, 원하는 기판에 있어서의 원하는 처리에 대응하는 요소를 지정할 수 있다. 요소 접수부(313)(도 4)는, 사용자에 의해 지정된 요소를 제1 요소(15A)로서 받아들인다. 받아들여진 제1 요소(15A)의 테두리는 굵은 선에 의해 강조 표시된다.
요소의 지정 후, 사용자는, 조작부(330)를 더욱 조작함으로써, 표시부(340)에 표시된 이력 차트(10)의 복수의 요소 중, 다른 원하는 기판에 있어서의 원하는 처리에 대응하는 요소를 지정할 수 있다. 요소 접수부(313)는, 사용자에 의해 지정된 요소를 제2 요소(15B)로서 받아들인다. 받아들여진 제2 요소(15B)의 테두리는 굵은 선에 의해 강조 표시된다.
2개의 요소의 지정 후, 사용자는, 조작부(330)를 더욱 조작함으로써, 요소의 지정의 결정을 지시할 수 있다. 또한, 이 시점에서 사용자가 요소의 지정의 결정을 지시하지 않는 경우에는, 사용자는 요소를 더욱 지정할 수 있다. 상세한 것은 후술한다. 2개의 요소가 지정된 상태로, 요소 결정부(314)(도 4)가 결정의 지시를 받아들이면 보조선 결정부(315)는, 제1 및 제2 요소(15A, 15B)에 의거하여 제1 및 제2 보조선(L1, L2)을 결정한다.
구체적으로는, 보조선 결정부(315)는, 제1 요소(15A)의 좌단 및 우단에 있어서의 소정의 점(P1, P2)을 각각 결정한다. 또, 보조선 결정부(315)는, 제2 요소(15B)의 좌단 및 우단에 있어서의 소정의 점(P3, P4)을 각각 결정한다. 여기서, 본예에서는, 각 요소의 좌단 및 우단에 있어서의 소정의 점은 상하 방향의 중점이다. 그 후, 보조선 결정부(315)는, 점(P1, P3)을 통과하는 직선을 제1 보조선(L1)으로서 결정하고, 점(P2, P4)를 통과하는 직선을 제2 보조선(L2)으로서 결정한다. 결정된 제1 및 제2 보조선(L1, L2)은, 이력 차트(10)와 겹쳐지도록 표시부(340)에 표시된다.
도 5의 예에 있어서는, 사용자는, 제1 및 제2 요소(15A, 15B)에 대응하는 처리실(3)(도 1)로 기판이 정체했는지 여부를 판별할 수 있다. 기판이 정체하는 일 없이 처리되었을 경우에는, 제1 및 제2 보조선(L1, L2)은 대략 평행이 된다. 따라서, 사용자는, 제1 및 제2 보조선(L1, L2)이 평행인 것을 시인함으로써, 기판이 정상적으로 처리된 것을 용이하게 인식할 수 있다.
또, 기판이 정체하는 일 없이 처리되었을 경우에는, 제2 보조선(L2)은, 제1 및 제2 요소(15A, 15B)와 동일한 복수의 요소(도 5의 예에서는 「처리실E」를 나타내는 요소)의 오른쪽 끝에 있어서의 상하 방향의 중점 부근을 통과한다. 따라서, 사용자는, 제2 보조선(L2)이 제1 및 제2 요소(15A, 15B)와 동일한 복수의 요소의 소정의 점을 통과하고 있는 것을 시인함으로써, 기판이 정상적으로 처리된 것을 용이하게 인식할 수 있다.
한편, 제1 및 제2 요소(15A, 15B)에 대응하는 처리실(3) 중 어느 하나에 있어서 기판이 정체되었을 경우에는, 제1 및 제2 보조선(L1, L2)은 비평행이 된다. 따라서, 사용자는, 제1 및 제2 보조선(L1, L2)의 평행도를 시인함으로써, 처리실(3) 또는 기판에 이상이 발생했을 가능성이 있는 것을 용이하게 인식할 수 있다.
또, 제1 및 제2 요소(15A, 15B)와 동일한 요소에 대응하는 처리실(3) 중 어느 하나에 있어서 기판이 정체되었을 경우에는, 제2 보조선(L2)은 당해 처리실(3)에 대응하는 요소에 있어서의 소정의 점을 통과하지 않는다. 따라서, 사용자는, 제2 보조선(L2)이 소정의 점을 통과하지 않는 요소를 시인함으로써, 당해 요소에 대응하는 처리실(3) 또는 기판에 이상이 발생했을 가능성이 있는 것을 용이하게 인식할 수 있다.
도 6은, 기판 처리 관리 장치(300)의 동작의 다른 예를 설명하기 위한 도이다. 2개의 요소의 지정 후, 사용자는, 요소의 지정의 결정을 지시하지 않고, 조작부(330)를 조작함으로써, 도 6에 나타내는 바와 같이, 요소를 더욱 지정할 수 있다. 도 6의 예에서는, 지정된 요소는, 제1 요소(15A)에 대응하는 처리의 직후에 행해지는 처리에 대응한다.
요소 접수부(313)는, 사용자에 의해 더욱 지정된 요소를 제3 요소(15C)로서 받아들인다. 받아들여진 제3 요소(15C)의 테두리는 굵은 선에 의해 강조 표시된다. 3개의 요소가 지정된 상태로, 요소 결정부(314)가 결정의 지시를 받아들이면, 보조선 결정부(315)는, 제1~제3 요소(15A~15C)에 의거하여 제1 및 제3 보조선(L1, L3)을 결정한다.
구체적으로는, 보조선 결정부(315)는, 도 5의 예에 있어서의 점(P1, P3) 및 제1 보조선(L1)에 더하여, 제3 요소(15C)의 오른쪽 끝에 있어서의 임의의 점(P5)을 더욱 결정한다. 그 후, 보조선 결정부(315)는, 점(P5)을 지나고 또한 제1 보조선(L1)에 평행한 직선을 제3 보조선(L3)으로서 결정한다. 결정된 제1 및 제3 보조선(L1, L3)은, 이력 차트(10)와 겹쳐지도록 표시부(340)에 표시된다.
도 6의 예에 있어서는, 사용자는, 제1 및 제3 요소(15A, 15C)에 각각 대응하는 처리실(3) 사이 중 어느 하나에 기판이 정체되었는지 여부를 판별할 수 있다. 기판이 정체하는 일 없이 처리되었을 경우에는, 제3 보조선(L3)은, 제3 요소(15C)와 동일한 복수의 요소(도 6의 예에서는 「처리실F」를 나타내는 요소)의 오른쪽단에 있어서의 상하 방향의 중점 부근을 통과한다. 따라서, 사용자는, 제3 보조선(L3)이 제3 요소(15C)와 동일한 복수의 요소의 소정의 점을 통과하고 있는 것을 시인함으로써, 기판이 정상적으로 처리된 것을 용이하게 인식할 수 있다.
한편, 제1 및 제3 요소(15A, 15C)에 각각 대응하는 처리실(3) 사이 중 어느 하나에 있어서 기판이 정체되었을 경우에는, 제3 보조선(L3)은 제3 요소(15C)와 동일한 복수의 요소 중, 어느 하나의 요소에 있어서의 소정의 점을 통과하지 않는다. 따라서, 사용자는, 제3 보조선(L3)이 소정의 점을 통과하지 않는 요소를 시인함으로써, 당해 요소에 대응하는 처리실(3) 또는 기판에 이상이 발생했을 가능성이 있는 것을 용이하게 인식할 수 있다.
(4) 보조선 표시 처리
도 7 및 도 8은, 이력 차트(10)에 보조선을 표시하기 위한 보조선 표시 처리를 나타내는 플로차트이다. 이하, 도 4의 기판 처리 관리 장치(300) 및 도 7 및 도 8의 플로차트를 참조하면서, 기판 처리 관리 장치(300)의 제어부(310)에 의한 보조선 표시 처리를 설명한다.
우선, 제어부(310)는, 이력 표시 데이터(2c)(도 1)가 지정되었는지 여부를 판정한다(단계 S1). 사용자는, 조작부(330)를 조작함으로써, 서버(200)(도 1)에 기억된 원하는 이력 표시 데이터(2c)(도 1)를 지정할 수 있다. 이력 표시 데이터(2c)가 지정되어 있지 않은 경우, 제어부(310)는 이력 표시 데이터(2c)가 지정될 때까지 대기한다.
단계 S1에서 이력 표시 데이터(2c)가 지정되었을 경우, 제어부(310)는, 네트워크(510)를 통하여 지정된 이력 표시 데이터(2c)를 서버(200)로부터 취득한다(단계 S2). 또, 제어부(310)는, 취득된 이력 표시 데이터(2c)에 의거하는 이력 차트(10)(도 2)를 표시부(340)에 표시시킨다(단계 S3).
다음에, 제어부(310)는, 요소가 지정되었는지 여부를 판정한다(단계 S4). 사용자는, 조작부(330)를 조작함으로써, 표시부(340)에 표시된 이력 차트(10)로부터 원하는 요소를 지정할 수 있다. 요소가 지정되어 있지 않은 경우, 제어부(310)는 요소가 지정될 때까지 대기한다. 요소가 지정되었을 경우, 제어부(310)는, 지정된 요소를 제1 요소(15A)(도 5)로서 받아들인다(단계 S5).
이어서, 제어부(310)는, 다른 요소가 지정되었는지 여부를 판정한다(단계 S6). 사용자는, 조작부(330)를 조작함으로써, 표시부(340)에 표시된 이력 차트(10)로부터 원하는 다른 요소를 지정할 수 있다. 다른 요소가 지정되어 있지 않은 경우, 제어부(310)는 다른 요소가 지정될 때까지 대기한다. 다른 요소가 지정되었을 경우, 제어부(310)는, 지정된 다른 요소를 제2 요소(15B)(도 5)로서 받아들인다(단계 S7).
그 후, 제어부(310)는, 요소의 결정이 지시되었는지 여부를 판정한다(단계 S8). 사용자는, 조작부(330)를 조작함으로써, 요소의 결정을 지시할 수 있다. 요소의 결정이 지시된 경우, 제어부(310)는, 제1 및 제2 요소(15A, 15B)에 의거하여 제1 및 제2 보조선(L1, L2)(도 5)를 결정한다(단계 S9). 또, 제어부(310)는, 결정된 제1 및 제2 보조선(L1, L2)을 이력 차트(10)와 겹쳐지도록 표시부(340)에 표시해(단계 S10), 처리를 종료한다.
단계 S8에서 요소의 결정이 지시되지 않았을 경우, 제어부(310)는, 요소가 더욱 지정되었는지 여부를 판정한다(단계 S11). 사용자는, 조작부(330)를 조작함으로써, 표시부(340)에 표시된 이력 차트(10)로부터 요소를 더욱 지정할 수 있다. 여기서 지정되는 요소는, 이미 지정된 요소 중 어느 하나와 동일해도 되고, 상이해도 된다.
단계 S11에서 요소가 더욱 지정되지 않는 경우, 제어부(310)는 단계 S8의 처리로 돌아온다. 요소의 결정이 지시되는지, 또는 요소가 더욱 지정될 때까지, 단계 S8, S11의 처리가 반복된다. 단계 S11에서 요소가 더욱 지정되었을 경우, 제어부(310)는, 지정된 요소를 제3 요소(15C)(도 6)로서 받아들인다(단계 S12).
그 후, 제어부(310)는, 요소의 결정이 지시되었는지 여부를 판정한다(단계 S13). 사용자는, 조작부(330)를 조작함으로써, 요소의 결정을 지시할 수 있다. 요소의 결정이 지시되지 않은 경우, 제어부(310)는 요소의 결정이 지시될 때까지 대기한다. 단계 S13에서 요소의 결정이 지시되었을 경우, 제어부(310)는, 제1~제3 요소(15A~15C)에 의거하여 제1 및 제3 보조선(L1, L3)(도 6)을 결정한다(단계 S14). 또, 제어부(310)는, 결정된 제1 및 제3 보조선(L1, L3)을 이력 차트(10)와 겹쳐지도록 표시부(340)에 표시해(단계 S15), 처리를 종료한다.
(5) 기판 처리 장치의 구성
이하, 도 1의 기판 처리 장치(100)의 상세한 구성을 설명한다. 도 9는, 도 1의 기판 처리 장치(100)의 모식적 평면도이다. 도 9 및 이후의 소정의 도에는, 위치 관계를 명확하게 하기 위해서 서로 직교하는 X방향, Y방향 및 Z방향을 나타내는 화살표를 달고 있다. X방향 및 Y방향은 수평면 내에서 서로 직교하고, Z방향은 연직 방향에 상당한다.
도 9에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(100)는, 인덱서 블록(110), 도포 블록(120), 현상 블록(130), 세정 건조 처리 블록(140A) 및 반입 반출 블록(140B)을 구비한다. 세정 건조 처리 블록(140A) 및 반입 반출 블록(140B)에 의해, 인터페이스 블록(140)이 구성된다. 반입 반출 블록(140B)에 인접하도록 노광 장치(150)가 배치된다.
인덱서 블록(110)은, 복수의 캐리어 재치부(111) 및 반송부(112)를 포함한다. 각 캐리어 재치부(111)에는, 복수의 기판(W)을 다단(多段)에 수납하는 캐리어(113)가 재치된다. 반송부(112)에는, 도 1의 메인 컨트롤러(1), 도 1의 기억부(2) 및 반송 장치(115)가 설치된다. 메인 컨트롤러(1)는, 기판 처리 장치(100)의 여러 가지의 구성요소를 제어한다. 반송 장치(115)는, 기판(W)을 유지하면서 그 기판(W)을 반송한다.
도포 블록(120)은, 도포 처리부(121), 반송부(122) 및 열처리부(123)를 포함한다. 도포 처리부(121) 및 열처리부(123)는, 반송부(122)를 사이에 끼어 대향하도록 설치된다. 반송부(122)와 인덱서 블록(110)의 사이에는, 기판(W)이 재치되는 기판 재치부(PASS1~PASS4)(후술의 도 12)가 설치된다. 반송부(122)에는, 기판(W)을 반송하는 반송 장치(127, 128)(후술의 도 12)가 설치된다.
현상 블록(130)은, 현상 처리부(131), 반송부(132) 및 열처리부(133)를 포함한다. 현상 처리부(131) 및 열처리부(133)는, 반송부(132)를 사이에 끼어 대향하도록 설치된다. 반송부(132)와 반송부(122)의 사이에는, 기판(W)이 재치되는 기판 재치부(PASS5~PASS8)(후술의 도 12)가 설치된다. 반송부(132)에는, 기판(W)을 반송하는 반송 장치(137, 138)(후술의 도 12)가 설치된다.
세정 건조 처리 블록(140A)은, 세정 건조 처리부(161, 162) 및 반송부(163)를 포함한다. 세정 건조 처리부(161, 162)는, 반송부(163)를 사이에 끼워 대향하도록 설치된다. 반송부(163)에는, 반송 장치(141, 142)가 설치된다.
반송부(163)와 반송부(132)의 사이에는, 재치 겸용 버퍼부(P－BF1, P－BF2)(후술의 도 12)가 설치된다. 재치 겸용 버퍼부(P－BF1, P－BF2)는, 복수의 기판(W)을 수용 가능하게 구성된다.
또, 반송 장치(141, 142)의 사이에 있어서, 반입 반출 블록(140B)에 인접하도록, 기판 재치부(PASS9) 및 재치 겸용 냉각부(P－CP)(후술의 도 12)가 설치된다. 재치 겸용 냉각부(P－CP)는, 기판(W)을 냉각하는 기능(예를 들면, 쿨링 플레이트)을 구비한다. 재치 겸용 냉각부(P－CP)에 있어서, 기판(W)이 노광 처리에 적절한 온도로 냉각된다. 반입 반출 블록(140B)에는, 반송 장치(143)가 설치된다. 반송 장치(143)는, 노광 장치(150)에 대한 기판(W)의 반입 및 반출을 실시한다.
상기의 반송 장치(115, 127, 128, 137, 138, 141~143)의 각각이 도 1의 반송 장치(4)에 해당한다. 반송 장치(115, 127, 128, 137, 138, 141~143)의 각각에는, 기판(W)를 유지하고 있는지 여부를 검출하는 광전 센서 등의 검출 장치가 설치된다. 메인 컨트롤러(1)는, 반송 장치(115, 127, 128, 137, 138, 141~143)의 각각에 설치된 검출 장치의 출력 결과에 의거하여, 각 처리실(3)(도 1)에 있어서의 처리의 개시시각 및 종료시각 등을 나타내는 이력 정보(2b)(도 1)를 취득한다.
(6) 도포 처리부 및 현상 처리부
도 10은, 도 9의 도포 처리부(121), 현상 처리부(131) 및 세정 건조 처리부(161)의 내부 구성을 나타내는 모식적 측면도이다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 도포 처리부(121)에는, 도포 처리실(21, 22, 23, 24)이 계층적으로 설치된다. 각 도포 처리실(21~24)에는, 도포 처리 유닛(129)(스핀코터)가 설치된다. 현상 처리부(131)에는, 현상 처리실(31, 32, 33, 34)이 계층적으로 설치된다. 각 현상 처리실(31~34)에는, 현상 처리 유닛(139)(스핀 디벨로퍼)가 설치된다.
각 도포 처리 유닛(129)은, 기판(W)을 유지하는 스핀 척(25) 및 스핀 척(25)의 주위를 덮도록 설치되는 컵(27)을 구비한다. 도 10의 예에서는, 각 도포 처리 유닛(129)에 2조(組)의 스핀 척(25) 및 컵(27)이 설치된다. 스핀 척(25)은, 도시하지 않은 구동장치(예를 들면, 전동 모터)에 의해 회전 구동된다. 또, 도 9에 나타내는 바와 같이, 각 도포 처리 유닛(129)은, 처리액을 토출하는 복수의 처리액 노즐(28) 및 그 처리액 노즐(28)을 반송하는 노즐 반송 장치(29)를 구비한다.
도포 처리 유닛(129)에 있어서는, 도시하지 않은 구동장치에 의해 스핀 척(25)이 회전되는 것과 동시에, 복수의 처리액 노즐(28) 중 어느 하나의 처리액 노즐(28)이 노즐 반송 장치(29)에 의해 기판(W)의 위쪽에 이동되어 그 처리액 노즐(28)로부터 처리액이 토출된다. 이에 의해, 기판(W)상에 처리액이 도포된다. 또, 도시하지 않은 엣지 린스 노즐로부터, 기판(W)의 주연부에 린스액이 토출된다. 이에 의해, 기판(W)의 주연부에 부착하는 처리액이 제거된다.
도포 처리실(22, 24)의 도포 처리 유닛(129)에 있어서는, 반사 방지막용의 처리액이 처리액 노즐(28)로부터 기판(W)에 공급된다. 도포 처리실(21, 23)의 도포 처리 유닛(129)에 있어서는, 레지스트 막용의 처리액이 처리액 노즐(28)로부터 기판(W)에 공급된다.
현상 처리 유닛(139)은, 도포 처리 유닛(129)과 동일하게, 스핀 척(35) 및 컵(37)을 구비한다. 또, 도 9에 나타내는 바와 같이, 현상 처리 유닛(139)은, 현상액을 토출하는 2개의 현상 노즐(38) 및 그 현상 노즐(38)을 X방향으로 이동시키는 이동 장치(39)를 구비한다.
현상 처리 유닛(139)에 있어서는, 도시하지 않은 구동장치에 의해 스핀 척(35)이 회전되는 것과 동시에, 한쪽의 현상 노즐(38)이 X방향으로 이동하면서 각 기판(W)에 현상액을 공급하고, 그 후, 다른쪽의 현상 노즐(38)이 이동하면서 각 기판(W)에 현상액을 공급한다. 이 경우, 기판(W)에 현상액이 공급됨으로써, 기판(W)의 현상 처리가 실시된다.
세정 건조 처리부(161)에는, 복수(도 10의 예에서는 4개)의 세정 건조 처리 유닛(SD1)이 설치된다. 세정 건조 처리 유닛(SD1)에 있어서는, 노광 처리 전의 기판(W)의 세정 및 건조 처리가 실시된다. 상기의 도포 처리실(21~24), 현상 처리실(31~34) 및 세정 건조 처리 유닛(SD1)의 각각은, 도 1의 처리실(3)에 해당한다.
(7) 열처리부
도 11은, 도 9의 열처리부(123, 133) 및 세정 건조 처리부(162)의 내부 구성을 나타내는 모식적 측면도이다. 도 11에 나타내는 바와 같이, 열처리부(123)는, 위쪽에 설치되는 상단 열처리부(101) 및 하방에 설치되는 하단 열처리부(102)를 가진다. 상단 열처리부(101) 및 하단 열처리부(102)에는, 복수의 열처리 유닛(PHP), 복수의 밀착 강화 처리 유닛(PAHP) 및 복수의 냉각 유닛(CP)이 설치된다.
열처리부(123)의 최상부에는, 로컬 컨트롤러(124)가 설치된다. 로컬 컨트롤러(124)는, 도 9의 메인 컨트롤러(1)로부터의 지령에 의거하여, 도포 처리부(121), 반송부(122) 및 열처리부(123)의 동작을 제어한다.
열처리 유닛(PHP)에 있어서는, 기판(W)의 가열 처리 및 냉각 처리가 실시된다. 밀착 강화 처리 유닛(PAHP)에 있어서는, 기판(W)과 반사 방지막의 밀착성을 향상시키기 위한 밀착 강화 처리가 실시된다. 구체적으로는, 밀착 강화 처리 유닛(PAHP)에 있어서, 기판(W)에 HMDS(헥사메틸디실라산) 등의 밀착 강화제가 도포되는 것과 동시에, 기판(W)에 가열 처리가 실시된다. 냉각 유닛(CP)에 있어서는, 기판(W)의 냉각 처리가 실시된다.
열처리부(133)는, 위쪽에 설치되는 상단 열처리부(103) 및 아래쪽에 설치되는 하단 열처리부(104)를 가진다. 상단 열처리부(103) 및 하단 열처리부(104)에는, 냉각 유닛(CP), 복수의 열처리 유닛(PHP) 및 엣지 노광부(EEW)가 설치된다. 상단 열처리부(103) 및 하단 열처리부(104)의 열처리 유닛(PHP)은, 세정 건조 처리 블록(140A)으로부터의 기판(W)의 반입이 가능하게 구성된다.
열처리부(133)의 최상부에는, 로컬 컨트롤러(134)가 설치된다. 로컬 컨트롤러(134)는, 도 9의 메인 컨트롤러(1)로부터의 지령에 의거하여, 현상 처리부(131), 반송부(132) 및 열처리부(133)의 동작을 제어한다.
엣지 노광부(EEW)에 있어서는, 기판(W)의 주연부의 노광 처리(엣지 노광 처리)가 실시된다. 기판(W)에 엣지 노광 처리가 실시됨으로써, 후의 현상 처리 시에, 기판(W)의 주연부 상의 레지스트 막이 제거된다. 이에 의해, 현상 처리 후에 있어서, 기판(W)의 주연부가 다른 부분과 접촉했을 경우에, 기판(W)의 주연부 상의 레지스트 막이 박리하여 파티클이 되는 것이 방지된다.
세정 건조 처리부(162)에는, 복수(본 예에서는 5개)의 세정 건조 처리 유닛(SD2)이 설치된다. 세정 건조 처리 유닛(SD2)에 있어서는, 노광 처리 후의 기판(W)의 세정 및 건조 처리가 실시된다. 상기의 열처리 유닛(PHP), 밀착 강화 처리 유닛(PAHP), 냉각 유닛(CP), 엣지 노광부(EEW) 및 세정 건조 처리 유닛(SD2)의 각각은, 도 1의 처리실(3)에 해당한다.
(8) 반송부
도 12는, 반송부(122, 132, 163)의 내부 구성을 나타내는 모식적 측면도이다. 도 12에 나타내는 바와 같이, 반송부(122)는, 상단 반송실(125) 및 하단 반송실(126)을 가진다. 반송부(132)는, 상단 반송실(135) 및 하단 반송실(136)을 가진다. 상단 반송실(125)에는 반송 장치(127)가 설치되고, 하단 반송실(126)에는 반송 장치(128)가 설치된다. 또, 상단 반송실(135)에는 반송 장치(137)가 설치되고, 하단 반송실(136)에는 반송 장치(138)가 설치된다.
반송부(112)와 상단 반송실(125)의 사이에는, 기판 재치부(PASS1, PASS2)가 설치되고, 반송부(112)와 하단 반송실(126)의 사이에는, 기판 재치부(PASS3, PASS4)가 설치된다. 상단 반송실(125)과 상단 반송실(135)의 사이에는, 기판 재치부(PASS5, PASS6)가 설치되고, 하단 반송실(126)과 하단 반송실(136)의 사이에는, 기판 재치부(PASS7, PASS8)가 설치된다.
상단 반송실(135)과 반송부(163)의 사이에는, 재치 겸용 버퍼부(P－BF1)가 설치되고, 하단 반송실(136)과 반송부(163)의 사이에는 재치 겸용 버퍼부(P－BF2)가 설치된다. 반송부(163)에 있어서 반입 반출 블록(140B)과 인접하도록, 기판 재치부(PASS9) 및 복수의 재치 겸용 냉각부(P－CP)가 설치된다. 상기의 기판 재치부(PASS1~PASS9), 재치 겸용 버퍼부(P－BF1, P－BF2) 및 재치 겸용 냉각부(P－CP)의 각각은, 도 1의 처리실(3)에 해당한다.
재치 겸용 버퍼부(P－BF1)는, 반송 장치(137) 및 반송 장치(141)(도 9)에 의한 기판(W)의 반입 및 반출이 가능하게 구성된다. 재치 겸용 버퍼부(P－BF2)는, 반송 장치(138) 및 반송 장치(141)(도 9)에 의한 기판(W)의 반입 및 반출이 가능하게 구성된다. 기판 재치부(PASS9)는, 반송 장치(142)(도 9) 및 반송 장치(143)에 의한 기판(W)의 반입 및 반출이 가능하게 구성된다. 재치 겸용 냉각부(P－CP)는, 반송 장치(141) 및 반송 장치(143)에 의한 기판(W)의 반입 및 반출이 가능하게 구성된다.
반송 장치(127)는, 도포 처리실(21, 22)(도 10), 기판 재치부(PASS1, PASS2, PASS5, PASS6) 및 상단 열처리부(101)(도 11)에 대해서 기판(W)의 주고받음을 실시한다. 반송 장치(128)는, 도포 처리실(23, 24)(도 10), 기판 재치부(PASS3, PASS4, PASS7, PASS8) 및 하단 열처리부(102)(도 11)에 대해서 기판(W)의 주고받음을 실시한다.
반송 장치(137)는, 현상 처리실(31, 32)(도 10), 기판 재치부(PASS5, PASS6), 재치 겸용 버퍼부(P－BF1) 및 상단 열처리부(103)(도 11)에 대해서 기판(W)의 주고받음을 실시한다. 반송 장치(138)는, 현상 처리실(33, 34)(도 10), 기판 재치부(PASS7, PASS8), 재치 겸용 버퍼부(P－BF2) 및 하단 열처리부(104)(도 11)에 대해서 기판(W)의 주고받음을 실시한다.
(9) 기판 처리
도 9~도 12를 참조하면서 기판 처리를 설명한다. 인덱서 블록(110)의 캐리어 재치부(111)(도 9)에는, 미처리의 기판(W)이 수용된 캐리어(113)가 재치된다. 반송 장치(115)는, 캐리어(113)로부터 기판 재치부(PASS1, PASS3)(도 12)에 미처리의 기판(W)을 반송한다. 또, 반송 장치(115)는, 기판 재치부(PASS2, PASS4)(도 12)에 재치된 처리 완료의 기판(W)을 캐리어(113)에 반송한다.
도포 블록(120)에 있어서, 반송 장치(127)(도 12)는, 기판 재치부(PASS1)에 재치된 미처리의 기판(W)을 밀착 강화 처리 유닛(PAHP)(도 11), 냉각 유닛(CP)(도 11) 및 도포 처리실(22)(도 10)의 순서로 반송한다. 다음에, 반송 장치(127)는, 도포 처리실(22)의 기판(W)을, 열처리 유닛(PHP)(도 11), 냉각 유닛(CP)(도 11), 도포 처리실(21)(도 10), 열처리 유닛(PHP)(도 11) 및 기판 재치부(PASS5)(도 12)의 순서로 반송한다.
이 경우, 밀착 강화 처리 유닛(PAHP)에 있어서, 기판(W)에 밀착 강화 처리를 실시한 후, 냉각 유닛(CP)에 있어서, 반사 방지막의 형성에 적절한 온도로 기판(W)이 냉각된다. 다음에, 도포 처리실(22)에 있어서, 도포 처리 유닛(129)(도 10)에 의해 기판(W) 상에 반사 방지막이 형성된다. 이어서, 열처리 유닛(PHP)에 있어서, 기판(W)의 열처리가 실시된 후, 냉각 유닛(CP)에 있어서, 레지스트 막의 형성에 적절한 온도로 기판(W)이 냉각된다. 다음에, 도포 처리실(21)에 있어서, 도포 처리 유닛(129)(도 10)에 의해, 기판(W) 상에 레지스트 막이 형성된다. 그 후, 열처리 유닛(PHP)에 있어서, 기판(W)의 열처리가 실시되고, 그 기판(W)이 기판 재치부(PASS5)에 재치된다.
또, 반송 장치(127)는, 기판 재치부(PASS6)(도 12)에 재치된 현상 처리 후의 기판(W)을 기판 재치부(PASS2)(도 12)에 반송한다.
반송 장치(128)(도 12)은, 기판 재치부(PASS3)에 재치된 미처리의 기판(W)을 밀착 강화 처리 유닛(PAHP)(도 11), 냉각 유닛(CP)(도 11) 및 도포 처리실(24)(도 10)의 순서로 반송한다. 다음에, 반송 장치(128)는, 도포 처리실(24)의 기판(W)을, 열처리 유닛(PHP)(도 11), 냉각 유닛(CP)(도 11), 도포 처리실(23)(도 10), 열처리 유닛(PHP)(도 11) 및 기판 재치부(PASS7)(도 12)의 순서로 반송한다.
또, 반송 장치(128)(도 12)는, 기판 재치부(PASS8)(도 12)에 재치된 현상 처리 후의 기판(W)을 기판 재치부(PASS4)(도 12)에 반송한다. 도포 처리실(23, 24)(도 10) 및 하단 열처리부(102)(도 11)에 있어서의 기판(W)의 처리 내용은, 상기의 도포 처리실(21, 22)(도 10) 및 상단 열처리부(101)(도 11)에 있어서의 기판(W)의 처리 내용과 각각 동일하다.
현상 블록(130)에 있어서, 반송 장치(137)(도 12)는, 기판 재치부(PASS5)에 재치된 레지스트막 형성 후의 기판(W)을 엣지 노광부(EEW)(도 11) 및 재치 겸용 버퍼부(P－BF1)(도 12)의 순서로 반송한다. 이 경우, 엣지 노광부(EEW)에 있어서, 기판(W)에 엣지 노광 처리를 실시한다. 엣지 노광 처리 후의 기판(W)이 재치 겸용 버퍼부(P－BF1)에 재치된다.
또, 반송 장치(137)(도 12)는, 세정 건조 처리 블록(140A)에 인접하는 열처리 유닛(PHP)(도 11)으로부터 노광 처리 후에 또한 열처리 후의 기판(W)을 꺼낸다. 반송 장치(137)는, 이 기판(W)을 냉각 유닛(CP)(도 11), 현상 처리실(31, 32)(도 10) 중 어느 한쪽, 열처리 유닛(PHP)(도 11) 및 기판 재치부(PASS6)(도 12)의 순서로 반송한다.
이 경우, 냉각 유닛(CP)에 있어서, 현상 처리에 적절한 온도로 기판(W)이 냉각된 후, 현상 처리실(31, 32) 중 어느 한쪽에 있어서, 현상 처리 유닛(139)에 의해 기판(W)의 현상 처리가 실시된다. 그 후, 열처리 유닛(PHP)에 있어서, 기판(W)의 열처리가 실시되고, 이 기판(W)이 기판 재치부(PASS6)에 재치된다.
반송 장치(138)(도 12)는, 기판 재치부(PASS7)에 재치된 레지스트막 형성 후의 기판(W)을 엣지 노광부(EEW)(도 11) 및 재치 겸용 버퍼부(P－BF2)(도 12)의 순서로 반송한다.
또, 반송 장치(138)(도 12)는, 인터페이스 블록(140)에 인접하는 열처리 유닛(PHP)(도 11)으로부터 노광 처리 후에 또한 열처리 후의 기판(W)을 꺼낸다. 반송 장치(138)는, 이 기판(W)를 냉각 유닛(CP)(도 11), 현상 처리실(33, 34)(도 10) 중 어느 한쪽, 열처리 유닛(PHP)(도 11) 및 기판 재치부(PASS8)(도 12)의 순서로 반송한다. 현상 처리실(33, 34) 및 하단 열처리부(104)에 있어서의 기판(W)의 처리 내용은, 상기의 현상 처리실(31, 32) 및 상단 열처리부(103)에 있어서의 기판(W)의 처리 내용과 각각 동일하다.
세정 건조 처리 블록(140A)에 있어서, 반송 장치(141)(도 9)는, 재치 겸용 버퍼부(P－BF1, P－BF2)(도 12)에 재치된 기판(W)을 세정 건조 처리 유닛(SD1)(도 10) 및 재치 겸용 냉각부(P－CP)(도 12)의 순서로 반송한다. 이 경우, 세정 건조 처리 유닛(SD1)에 있어서 기판(W)의 세정 및 건조 처리를 한 후, 재치 겸용 냉각부(P－CP)에 있어서 노광 장치(150)(도 9)에 의한 노광 처리에 적절한 온도로 기판(W)이 냉각된다.
반송 장치(142)(도 9)는, 기판 재치부(PASS9)(도 12)에 재치된 노광 처리 후의 기판(W)을 세정 건조 처리 유닛(SD2)(도 11) 및 상단 열처리부(103) 또는 하단 열처리부(104)의 열처리 유닛(PHP)(도 11)의 순서로 반송한다. 이 경우, 세정 건조 처리 유닛(SD2)에 있어서 기판(W)의 세정 및 건조 처리가 실시된 후, 열처리 유닛(PHP)에 있어서 노광 후 베이크(PEB) 처리가 실시된다.
반입 반출 블록(140B)에 있어서, 반송 장치(143)(도 9)는, 재치 겸용 냉각부(P－CP)(도 12)에 재치된 노광 처리 전의 기판(W)을 노광 장치(150)에 반송한다. 또, 반송 장치(143)(도 9)는, 노광 장치(150)로부터 노광 처리 후의 기판(W)을 꺼내고, 그 기판(W)을 기판 재치부(PASS9)(도 12)로 반송한다.
(10) 효과
본 실시형태에 따른 기판 처리 관리 장치(300)에 있어서는, 사용자는, 표시부(340)에 표시된 이력 차트(10) 상에 있어서, 제1 및 제2 요소(15A, 15B)를 지정할 수 있다. 이 구성에 의하면, 제1 보조선(L1)은 복수의 기판(W)에 있어서 제1 및 제2 요소(15A, 15B)에 대응하는 요소의 처리 개시시각을 나타내는 부분을 통과한다. 이 때문에, 사용자는, 제1 보조선(L1)이 복수의 요소의 특정의 부분을 통과하고 있는지 여부를 시인함으로써, 제1 및 제2 요소(15A, 15B)에 대응하는 처리가 몇개의 기판(W)에 실시되기 전에 당해 기판(W)이 정체되고 있던 것을 용이하게 특정할 수 있다.
한편, 제2 보조선(L2)은 복수의 기판(W)에 있어서 제1 및 제2 요소(15A, 15B)에 대응하는 요소의 처리 종료시각을 나타내는 부분을 통과한다. 이 때문에, 사용자는, 제2 보조선(L2)이 복수의 요소의 특정의 부분을 통과하고 있는지 여부를 시인함으로써, 제1 및 제2 요소(15A, 15B)에 대응하는 처리가 몇개의 기판(W)에 실시되기 전 또는 실시된 후에 당해 기판(W)이 정체되고 있던 것을 용이하게 특정할 수 있다.
또, 기판 처리 장치(100)에 의해 기판(W)이 정체되는 일 없이 처리되었을 경우에는, 제1 및 제2 보조선(L1, L2)은 평행이 된다. 따라서, 사용자는, 제1 및 제2 보조선(L1, L2)의 평행도를 시인함으로써, 처리실(3) 또는 기판(W)에 이상이 발생했을 가능성이 있는 것을 용이하게 인식할 수 있다.
사용자는, 표시부(340)에 표시된 이력 차트(10) 상에 있어서, 제3 요소(15C)를 더욱 지정할 수 있다. 이 구성에 의하면, 기판 처리 장치(100)에 의해 기판(W)이 정체되는 일 없이 처리되었을 경우에는, 제3 보조선(L3)은, 복수의 기판(W)에 있어서 제3 요소(15C)에 대응하는 요소의 처리 종료시각을 나타내는 부분을 통과한다. 한편, 제3 요소(15C)에 대응하는 처리 이전의 처리에 있어서 기판(W)이 정체되었을 경우에는, 제3 보조선(L3)은, 어느 하나의 기판(W)에 있어서 제3 요소(15C)에 대응하는 요소의 특정의 부분을 통과하지 않는다.
따라서, 사용자는, 제1 및 제3 보조선(L1, L3)이 복수의 요소의 특정의 부분을 통과하고 있는지 여부를 시인함으로써, 기판 처리 장치(100)에 의한 기판(W)의 처리가 정체되었는지 여부를 용이하게 인식할 수 있다. 또, 사용자는, 제1 및 제2 요소(15A, 15B)에 대응하는 처리와 제3 요소(15C)에 대응하는 처리의 사이에 기판(W)이 정체되었는지 여부를 보다 용이하게 판별할 수 있다.
상기의 2개의 제1 및 제2 요소(15A, 15B), 또는 3개의 제1~제3 요소(15 A~15C)가 적절히 지정됨으로써, 어느 하나의 처리에 있어서 기판(W)의 처리가 정체되었는지를 특정할 수 있다. 그 결과, 기판 처리 장치(100)에 의한 처리의 이상을 용이하게 특정할 수 있다.
(11) 다른 실시의 형태
(a) 상기 실시의 형태에 있어서, 제1 및 제2 요소(15A, 15B)가 지정되었을 경우, 제1 및 제2 보조선(L1, L2)의 양쪽이 이력 차트(10) 상에 표시되지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 제1 및 제2 요소(15A, 15B)가 지정되었을 경우에는, 제1 및 제2 보조선(L1, L2) 중 어느 한쪽이 이력 차트(10) 상에 표시되어도 된다.
(b) 상기 실시의 형태에 있어서, 제1~제3 요소(15A~15C)가 지정되었을 경우, 제1 및 제3 보조선(L1, L3)이 이력 차트(10) 상에 표시되고 제2 보조선(L2)은 이력 차트(10) 상에 표시되지 않지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 제1~제3 요소(15A~15C)가 지정되었을 경우, 제1 및 제3 보조선(L1, L3)에 더하여 제2 보조선(L2)이 이력 차트(10) 상에 표시되어도 된다.
(c) 상기 실시의 형태에 있어서, 제1 보조선(L1)은, 제1 및 제2 요소(15A, 15B)에 대응하는 요소의 처리 개시시각을 나타내는 부분을 통과하지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 제1 보조선(L1)은, 제1 및 제2 요소(15A, 15B)에 대응하는 요소의 소정의 시각을 나타내는 부분을 통과해도 된다.
마찬가지로 제2 보조선(L2)은, 제1 및 제2 요소(15A, 15B)에 대응하는 요소의 처리 종료시각을 나타내는 부분을 통과하지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 제2 보조선(L2)은, 제1 및 제2 요소(15A, 15B)에 대응하는 요소의 소정의 시각을 나타내는 부분을 통과해도 된다.
제3 보조선(L3)은, 제3 요소(15C)에 대응하는 요소의 처리 종료시각을 나타내는 부분을 통과하지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 제3 보조선(L3)은, 제3 요소(15C)에 대응하는 요소의 처리 개시시각을 나타내는 부분을 통과해도 되고 다른 소정의 시각을 나타내는 부분을 통과해도 된다.
(d) 상기 실시의 형태에 있어서, 기판 처리 관리 장치(300)는 서버(200)로부터 이력 표시 데이터(2c)를 취득하지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 기판 처리 관리 장치(300)는, 기판 처리 장치(100)로부터 이력 표시 데이터(2c)를 취득해도 된다. 혹은, 기판 처리 관리 장치(300)는, 기판 처리 장치(100) 또는 서버(200)로부터 스케줄 정보(2a) 및 이력 정보(2b)를 취득하고, 취득된 스케줄 정보(2a) 및 이력 정보(2b)에 의거하여 이력 표시 데이터(2c)를 생성해도 된다.
(12) 청구항의 각 구성요소와 실시의 형태의 각 요소의 대응 관계
이하, 청구항의 각 구성요소와 실시의 형태의 각 요소의 대응의 예에 대해 설명하지만, 본 발명은 하기의 예로 한정되지 않는다.
상기의 실시의 형태에서는, 기판(W)이 기판의 예이며, 기판 처리 장치(100)가 기판 처리 장치의 예이며, 기판 처리 관리 장치(300)가 기판 처리 관리 장치의 예이며, 이력 표시 데이터(2c)가 이력 표시 데이터의 예이다. 데이터 취득부(311)가 데이터 취득부의 예이며, 이력 차트(10)가 이력 차트의 예이며, 표시부(340)가 표시부의 예이며, 조작부(330)가 조작부의 예이다.
표시 제어부(312)가 표시 제어부의 예이며, 띠모양 지표(14)가 띠모양 지표의 예이며, 요소 지표(15)가 요소 지표의 예이며, 제1~제3 요소(15A~15C)가 각각 제1~제3 요소 지표의 예이다. 제1 및 제2 보조선(L1, L2)이 기본 보조선의 예이며, 제1~제3의 보조선(L1~L3)이 각각 제1~제3의 보조선의 예이며, 제어부(310)가 처리 장치의 예이다.
청구항의 각 구성요소로서 청구항에 기재되어 있는 구성 또는 기능을 가지는 다른 여러 가지의 요소를 이용할 수도 있다.
본 발명은, 여러 가지의 기판 처리의 관리에 유효하게 이용할 수 있다.

Claims (7)

  1. 복수의 기판의 각각에 처리를 순차적으로 실시하는 기판 처리 장치에 있어서의 처리를 관리하는 기판 처리 관리 장치로서,
    상기 기판 처리 장치에 있어서의 복수의 기판의 처리의 이력을 표시하기 위한 이력 표시 데이터를 취득하는 데이터 취득부와,
    상기 데이터 취득부에 의해 취득된 이력 표시 데이터에 의거하여 복수의 기판의 처리의 이력을 이력 차트로서 표시하는 표시부와,
    상기 표시부에 의해 표시된 이력 차트의 임의의 부분을 지정하기 위해서 사용자에 의해 조작되는 조작부와,
    상기 조작부에 의해 지정된 부분에 의거하여 상기 표시부에 의한 표시를 제어하는 표시 제어부를 구비하고,
    상기 이력 차트는, 시간축에 대응하는 제1 방향으로 각각 연장되고 또한 복수의 기판에 대한 처리의 이력을 각각 나타내는 복수의 띠모양 지표를 포함하고, 상기 복수의 띠모양 지표는, 최초의 처리의 개시순으로 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 늘어서고, 각 띠모양 지표는, 각 처리에 대응하는 요소 지표를 포함하며, 각 요소 지표는, 처리에 필요로 한 시간에 대응하는 길이를 가지고 또한 상기 시간축 상의 해당하는 시각 범위에 위치하고,
    상기 표시 제어부는, 상이한 기판에 대응하고 또한 같은 처리에 대응하는 복수의 요소 지표가 상기 조작부에 의해 제1 및 제2 요소 지표로서 지정되었을 경우에, 지정된 상기 제1 및 제2의 요소 지표의 서로 대응하는 부분을 지나는 기본 보조선을 상기 이력 차트 상에 표시하도록 상기 표시부를 제어하는, 기판 처리 관리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 및 제2 요소 지표의 서로 대응하는 부분은, 상기 제1 및 제2 요소 지표에 있어서 처리의 개시 시각을 나타내는 부분을 포함하고, 상기 기본 보조선은, 상기 제1 및 제2 요소 지표의 상기 개시 시각을 나타내는 부분을 지나는 제1 보조선을 포함하는, 기판 처리 관리 장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 및 제2 요소 지표의 서로 대응하는 부분은, 상기 제1 및 제2 요소 지표에 있어서 처리의 종료 시각을 나타내는 부분을 포함하고, 상기 기본 보조선은, 상기 제1 및 제2 요소 지표의 상기 종료 시각을 나타내는 부분을 지나는 제2 보조선을 포함하는, 기판 처리 관리 장치.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 표시 제어부는, 복수의 기판에 대응하는 복수의 요소 지표 중 임의의 요소 지표가 상기 조작부에 의해 제3 요소 지표로서 더 지정되었을 경우에, 지정된 상기 제3 요소 지표에 있어서의 특정 부분을 지나고 또한 상기 기본 보조선에 평행한 제3 보조선을 상기 이력 차트 상에 표시하도록 상기 표시부를 제어하는, 기판 처리 관리 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 제3 요소 지표에 있어서의 특정 부분은, 상기 제3 요소 지표에 있어서 처리의 개시 시각을 나타내는 부분 또는 처리의 종료 시각을 나타내는 부분을 포함하는, 기판 처리 관리 장치.
  6. 복수의 기판의 각각에 처리를 순차적으로 실시하는 기판 처리 장치에 있어서의 처리를 관리하는 기판 처리 관리 방법으로서,
    상기 기판 처리 장치에 있어서의 복수의 기판의 처리의 이력을 표시하기 위한 이력 표시 데이터를 취득하는 단계와,
    취득된 이력 표시 데이터에 의거해 복수의 기판의 처리의 이력을 이력 차트로서 표시부에 표시하는 단계와,
    상기 표시부에 의해 표시된 이력 차트의 임의의 부분의 지정을 받아들이는 단계와,
    받아들여진 부분에 의거해 기본 보조선을 상기 표시부에 표시하는 단계를 포함하고,
    상기 이력 차트는, 시간축에 대응하는 제1 방향으로 각각 연장되고 또한 복수의 기판에 대한 처리의 이력을 각각 나타내는 복수의 띠모양 지표를 포함하고, 상기 복수의 띠모양 지표는, 최초의 처리의 개시순으로 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 늘어서고, 각 띠모양 지표는, 각 처리에 대응하는 요소 지표를 포함하며, 각 요소 지표는, 처리에 필요로 한 시간에 대응하는 길이를 가지고 또한 상기 시간축 상의 해당하는 시각 범위에 위치하고,
    상기 기본 보조선을 상기 표시부에 표시하는 단계는, 이력 차트의 임의의 부분으로서 상이한 기판에 대응하고 또한 같은 처리에 대응하는 복수의 요소 지표가 제1 및 제2 요소 지표로서 받아들여진 경우에, 받아들여진 상기 제1 및 제2 요소 지표의 서로 대응하는 부분을 지나는 기본 보조선을 상기 표시부의 상기 이력 차트 상에 표시하는 것을 포함하는, 기판 처리 관리 방법.
  7. 복수의 기판의 각각에 처리를 순차적으로 실시하는 기판 처리 장치에 있어서의 처리의 관리를 처리 장치에 의해 실행 가능한 기판 처리 관리 프로그램으로서,
    상기 기판 처리 장치에 있어서의 복수의 기판의 처리의 이력을 표시하기 위한 이력 표시 데이터를 취득하는 처리와,
    취득된 이력 표시 데이터에 의거해 복수의 기판의 처리의 이력을 이력 차트로서 표시부에 표시하는 처리와,
    상기 표시부에 의해 표시된 이력 차트의 임의의 부분의 지정을 받아들이는 처리와,
    받아들여진 부분에 의거해 기본 보조선을 상기 표시부에 표시하는 처리를,
    상기 처리 장치로 하여금 실행하게 하고,
    상기 이력 차트는, 시간축에 대응하는 제1 방향으로 각각 연장되고 또한 복수의 기판에 대한 처리의 이력을 각각 나타내는 복수의 띠모양 지표를 포함하고, 상기 복수의 띠모양 지표는, 최초의 처리의 개시순으로 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 늘어서고, 각 띠모양 지표는, 각 처리에 대응하는 요소 지표를 포함하며, 각 요소 지표는, 처리에 필요로 한 시간에 대응하는 길이를 가지고 또한 상기 시간축 상의 해당하는 시각 범위에 위치하고,
    상기 기본 보조선을 상기 표시부에 표시하는 처리는, 이력 차트의 임의의 부분으로서 상이한 기판에 대응하고 또한 같은 처리에 대응하는 복수의 요소 지표가 제1 및 제2 요소 지표로서 받아들여진 경우에, 받아들여진 상기 제1 및 제2 요소 지표의 서로 대응하는 부분을 지나는 기본 보조선을 상기 표시부의 상기 이력 차트 상에 표시하는 것을 포함하는, 기판 처리 관리 프로그램.
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