JP2003157110A - 生産管理の方法、装置及びコンピュータプログラム - Google Patents

生産管理の方法、装置及びコンピュータプログラム

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JP2003157110A
JP2003157110A JP2001357586A JP2001357586A JP2003157110A JP 2003157110 A JP2003157110 A JP 2003157110A JP 2001357586 A JP2001357586 A JP 2001357586A JP 2001357586 A JP2001357586 A JP 2001357586A JP 2003157110 A JP2003157110 A JP 2003157110A
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time
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Hideaki Ozawa
英明 小沢
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Fujitsu Ltd
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Publication date
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    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
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  • Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】生産性上ボトルネックとなっている処理装置を
容易に探し出す。 【解決手段】複数品種の各々に対応した工程フローは、
ロットを処理装置で処理する工程のシリーズであり、各
工程で選択可能な処理装置がファイル242に定められ
ている。履歴作成部202は、各処理装置のロット処理
開始時刻及び処理終了時刻をその装置ID及びロットI
Dとともにロット処理履歴テーブル20Mに記録する。
ロット毎ソート部203は該テーブルを該ロットID及
び該開始時刻をキーとしてソートする。装置毎ソート部
204は、ソートされたテーブルの各レコードに、1つ
前のレコードの終了時刻をロット処理待ち開始時刻とし
て追加したテーブルを作成し、このテーブルを、該装置
ID及び該ロット処理開始時刻をキーとしてソートす
る。その結果を装置毎待ちロット計数部205、装置毎
割当てロット計数部206及びロット毎工程時間分類部
207が用いてグラフを作成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数品種の各々に
対応した工程フローに従って処理されるロットの進捗を
管理する方法、装置及びコンピュータプログラムに関す
る。
【0002】
【従来の技術】複数台の処理装置を用いて流れ作業で物
品を製造する工場では、処理待ち時間が比較的長い処理
装置を改善したり該処理装置の台数を増やしたりして生
産性を向上させる必要がある。
【0003】少品種大量生産の場合には、ボトルネック
となる処理装置を比較的容易に特定することができる。
【0004】一方、例えば半導体装置製造工場のような
多品種少量生産では、品種毎に異なる工程フロー数が5
0程度、各工程フローの工程数が200〜300程度も
ある。処理装置の稼働効率を高くして工場の生産性を向
上させるために、各工程で使用可能な処理装置が複数あ
り、また、各処理装置は1つの工程フロー内の複数の工
程で使用され、さらに複数の工程フローで使用される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】この場合、ある処理装
置で処理が完了したロットは、次にどの処理装置で処理
されるかが工場の進捗状態により異なるので、ボトルネ
ックとなっている処理装置を特定するのが容易でなかっ
た。
【0006】本発明の目的は、このような問題点に鑑
み、複数品種の各々に対応した工程フローに従ってロッ
トが処理され、1つの工程で選択可能な処理装置が複数
あり、1つの処理装置が複数の工程で使用可能であるよ
うな複雑な生産システムにおいても、生産性上ボトルネ
ックとなっている処理装置を容易に探し出すことが可能
な生産管理の方法、装置及びコンピュータプログラムを
提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段及びその作用効果】本発明
の一態様では、複数品種の各々に対応した工程フローに
従って処理されるロットの進捗を管理する生産管理方法
において、各工程フローはロットを処理装置で処理する
工程のシリーズであり、各工程で選択可能な処理装置が
定められており、次のようなステップ(a)〜(d)を
有する。
【0008】(a)選択された各処理装置のロット処理
開始及び終了の時刻をその装置識別コード及びロット識
別コードとともに含むレコードをロット処理履歴テーブ
ルに記録する。
【0009】(b)該ロット処理履歴テーブルをロット
毎に、該ロット処理開始又は終了の時刻をキーとしてソ
ートし、着目処理装置について、そのロット処理開始時
刻t2及びロット処理終了時刻t3を、該ロットに対す
る1つ前の工程でのロット処理終了時刻t1とともに抽
出する。
【0010】(c)該着目処理装置で処理された複数の
ロットの該時刻t1〜t3に基づいて、該着目処理装置
のロット待ち時間に関する情報を求める。
【0011】(d)該情報を出力する。
【0012】この構成によれば、複数品種の各々に対応
した工程フローに従ってロットが処理され、1つの工程
で選択可能な処理装置が複数あり、1つの処理装置が複
数の工程で使用可能であるような複雑な生産システムに
おいても、着目処理装置のロット待ち時間に関する情報
が求められるので、生産性上ボトルネックとなっている
処理装置を容易に探し出すことが可能となる。
【0013】上記ステップ(c)では、例えば、t1<
t<t2を満たす時刻tでのロット数LNw、t1<t
<t3を満たす時刻tでのロット数LNs、又は、上記
着目処理装置に対する着目ロットの待ち期間t1〜t2
中の他のロットの処理時間及び該着目処理装置の保守時
間の割合を、上記ロット待ち時間に関する情報として求
める。
【0014】この構成によれば、生産性上ボトルネック
となっている処理装置をより容易に探し出すことが可能
となる。
【0015】本発明の他の目的、構成及び効果は以下の
説明から明らかになる。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態を説明する。
【0017】図1は、本発明の第1実施形態の、工場に
おける生産管理システムの概略ブロック図である。
【0018】例えば、処理対象の各ロットはウエハーカ
セットに収容された25枚の半導体ウェーハであり、半
導体装置製造工場内に配置されたn台の処理装置M1〜
Mnを用いて処理され、各ウェーハ上に複数の集積回路
が形成される。保管部10には、処理待ちロットL1、
L3、・・・、LMが保管されている。搬送装置11〜
1cはいずれも、保管されているロットのうち選択され
たものを搬送して、選択された処理装置に装着させ、該
装置で処理されたロットを搬送し保管部10に戻すため
のものである。図1では、処理装置M1、M3及びMn
にそれぞれロットL5、L7及びL2が装着されている
状態が示されている。処理装置M1〜Mn及び搬送装置
11〜1cと生産管理コンピュータ20との間は、デー
タ信号及び制御信号を送受するための通信線路21で接
続されている。生産管理コンピュータ20には、入力装
置22、表示装置23、外部記憶装置24及び生産シミ
ュレータ25が接続されている。
【0019】図2は、品種毎の工程フローと処理装置M
1〜Mnとの関係の概略説明図である。
【0020】工程フローPi(iは1〜aのうちの任意
の1つ)は、bi個の工程Pi1〜Pibのシリーズで
あり、各工程は、レジスト塗布、露光、現像、エッチン
グ、イオン注入、酸化膜又は金属膜の形成などである。
各工程で選択可能な処理装置は、図3に示すように定め
られている。1つの処理装置は、複数の工程で選択的に
使用可能であり、例えば、処理装置M1は工程フローP
1の工程P11及び工程フローP2の工程P22で選択
的に使用可能である。
【0021】図1に戻って、外部記憶装置24の記録媒
体には、ロット割り当てデータファイル241、工程デ
ータファイル242、ロット処理履歴データファイル2
43、装置稼働履歴データファイル244及び生産管理
プログラムファイル245が格納されている。
【0022】工程データファイル242は、図2に示す
ような工程フロー、図3に示すような、各工程において
選択可能な処理装置のテーブル、及び、各工程での温
度、圧力又はガス流量などの処理条件である。
【0023】ロット割り当てデータファイル241は、
工場内に供給されるロットの識別コード、このロットが
収容されるウェーハカセットの識別コード、このロット
が流される工程フローの識別コード及びロットの優先度
をレコードのフィールドとして含むテーブルである。
【0024】ロット処理履歴データファイル243は、
図5(A)に示すようなテーブルであり、そのレコード
は、ロット、工程フロー及び工程の識別コード、この工
程で使用された処理装置の識別コード、並びに、この処
理装置による処理の開始時刻及び終了時刻をフィールド
として含む。但し、処理完了フラグFはロット処理履歴
データファイル243に含まれない。これらロット、工
程フロー及び工程のデータは、ロット割り当てデータフ
ァイル241及び工程データファイル242のデータを
用いて生産管理コンピュータ20により作成され、各工
程で使用される処理装置は、図3のテーブル、処理装置
の使用状態及びロットの優先度に基づいて決定される。
生産管理コンピュータ20は、この決定に基づいて、搬
送装置11〜1cのいずれかに対し、このロットを保管
部10から取り出して当該処理装置に装着するための指
令を供給する。
【0025】生産管理コンピュータ20は、プロセッサ
と、該プロセッサに結合された入出力インタフェース及
び主記憶装置とを有し、該主記憶装置には、生産管理プ
ログラムファイル245がロードされる。
【0026】図4は、生産管理コンピュータ20により
実行される生産管理プログラム245を機能ブロックで
示す。
【0027】ロット仕掛り情報作成部201は、ロット
割り当てデータファイル241、工程データファイル2
42及びロット処理履歴データファイル243に基づ
き、処理が完了していないロットについて図5(A)に
示す処理装置識別コード、開始時刻及び終了時刻が未記
入のテーブルをロット処理履歴テーブルメモリ20M内
に作成する。処理完了フラグFの初期値は‘0’であ
り、これは未処理であることを示している。
【0028】一方、生産シミュレータ25には実際の製
造工場に対応したモデルが組み込まれている。生産シミ
ュレータ25は、ロット処理履歴テーブルメモリ20M
を参照し、F=0のレコードについて、データファイル
241〜244に基づき、実際の処理と同様に処理を仮
想的に実行して該テーブルの未記入欄を埋める。生産シ
ミュレータ25はこの際、蓄積された過去のロット割り
当てデータファイル241及びロット処理履歴データフ
ァイル243に基づいて、各処理装置につき処理条件に
応じた処理時間を推定し、また、現在及び蓄積された過
去の装置稼働履歴データファイル244に基づいて、現
在停止中の処理装置及び将来停止するであろう処理装置
並びにこれらの処理装置の停止時間を推定する。したが
って、生産シミュレータ25は、実績データを用いない
シミュレータよりもより正確にシミュレーションを行う
ことができる。
【0029】ボトルネックとなっている処理装置を仮想
的に追加することによる生産性向上をシミュレーション
で確認できるようにするため、工程データファイル24
2から生産シミュレータ25に読み込まれた図3のテー
ブルに対し、実際に用いていない処理装置を、入力装置
22を操作して追加することができるようになってい
る。
【0030】処理装置Mj(jは1〜nのいずれか)
は、上述の指令に応答して、ロット処理開始時に開始信
号を生産管理コンピュータ20に供給し、該処理が終了
すると、終了信号を生産管理コンピュータ20に供給す
る。履歴作成部202は、該開始信号を受け取った時刻
を開始時刻としてロット処理履歴テーブルメモリ20M
の該当レコードに記入し、該終了信号を受け取った時刻
を終了時刻としてロット処理履歴テーブルメモリ20M
及びロット処理履歴データファイル243に記入すると
共に、ロット処理履歴テーブルメモリ20Mの該当レコ
ードの処理完了フラグFを‘1’にする。これら開始時
刻及び終了時刻の記入は生産シミュレータ25により推
定値が既に記入されているので、履歴作成部202によ
る記入は推定値を実際値で更新することを意味する。履
歴作成部202はF=1のレコードを、フラグFを削除
してロット処理履歴データファイル243に格納する。
【0031】保守のために処理装置が停止されると、処
理装置停止信号が該処理装置から生産管理コンピュータ
20に供給され、履歴作成部202はこれに応答して、
受信時刻を保守開始時刻として装置稼働履歴データファ
イル244に記録する。該保守が終了して該処理装置が
使用可能な状態に戻ると、処理装置起動信号が生産管理
コンピュータ20に供給され、履歴作成部202はこれ
に応答して、受信時刻を保守終了時刻として装置稼働履
歴データファイル244に記録する。
【0032】ロット毎ソート部203は、ロット処理履
歴テーブルメモリ20Mに格納されているテーブルを、
各ロットについて、処理開始時刻をキーとして昇順にソ
ートし、すなわち、ロットをキーとして昇順にソートし
た後、開始時刻をキーとして昇順にソートし、図5
(B)に示すようなレコードの並びにする。このソート
により、同一ロットのレコードが工程順に並べられる。
この処理は指定期間のデータに対して行われ、この期間
は入力装置22を操作して指定される。生産シミュレー
タ25で得られたデータも用いているので、この期間
は、過去のみならず、過去と未来を含む期間又は未来の
みの期間であってもよい。
【0033】このロット処理履歴テーブルから、例えば
処理装置M5の処理終了時刻T121Eは、処理装置M
2に対する処理待ち開始時刻であることがわかる。そこ
で装置毎ソート部204は、図5(B)のテーブルに処
理待ち開始時刻を新たなフィールドとして追加し、この
処理終了時刻T121Eを処理装置M2に対する処理待
ち開始時刻として次のレコードの該フィールドに記入す
る。他のレコードについても同様にして、図6(A)に
示すようなテーブルを作成する。装置毎ソート部204
はさらに、図6(A)のテーブルを、各処理装置につい
て、処理開始時刻をキーとして昇順にソートし、すなわ
ち、処理装置をキーとして昇順にソートした後、処理開
始時刻をキーとして昇順にソートし、図6(B)に示す
ようなレコードの並びにする。
【0034】図6(B)において、一般に、前終了時刻
(処理待ち開始時刻)、処理開始時刻及び処理終了時刻
をそれぞれt1、t2及びt3で表す。処理装置の処理
時刻tp=t3−t2に待ち時刻tw=t2−t1を加
えたt3−t1を工程時刻tsと称す。
【0035】図7は、図6(B)のテーブルの一部をグ
ラフ化したものである。
【0036】装置毎処理待ちロット計数部205は、装
置毎ソート部204が作成した図6(B)のテーブルに
基づいて、図8(A)に示すようなグラフのデータを作
成する。このグラフは、時刻tにおいて条件t1<t<
t2を満たす処理装置毎待ちロット数LNwを表してお
り、例えば図7のt=txではロットL2、L7及びL
8がこの条件を満たすのでLNw=3である。図8
(A)中の保守期間は、装置稼働履歴データファイル2
44を参照して求められる。
【0037】装置毎割当てロット計数部206は、装置
毎ソート部204が作成した図6(B)のテーブルに基
づいて、図8(B)に示すようなグラフのデータを作成
する。このグラフは、時刻tにおいて条件t1<t<t
3を満たす処理装置毎割り当てロット数LNaを表して
おり、例えば図7のt=txではロットL5、L2、L
7及びL8がこの条件を満たすのでLNa=4である。
図8(B)中の保守期間は、装置稼働履歴データファイ
ル244を参照して求められる。
【0038】ロット毎工程時間分類部207は、各ロッ
トについて図9に示すようなグラフのデータを作成す
る。このグラフは、ロット毎工程時刻tsの内訳を表し
ており、例えば図7のロットL8については、他のロッ
トの処理待ち時間は(t53−t81)+(t23−t
22)+(t73−t72)であり、ロットL8の処理
時刻tpはt83−t82であり、保守時間は装置稼働
履歴データファイル244を参照して求められる。ロッ
ト毎工程時刻ts中のその他の時間は、不明の時間であ
って、通常はあるロットに対する処理の終了から次のロ
ットに対する処理の開始までの準備期間の合計であり、
この期間は図1の搬送装置11〜1cによる搬送(待ち
状態を含む)が遅れると長くなる。
【0039】選択部208は、入力装置22を操作して
指定された表示項目に応じて、装置毎処理待ちロット計
数部205、装置毎割当てロット計数部206又はロッ
ト毎工程時間分類部207の出力内容を選択し、そのデ
ータを表示装置23に供給して上述のようなグラフを表
示させる。
【0040】本実施形態によれば、複数品種の各々に対
応した工程フローに従ってロットが処理され、1つの工
程で選択可能な処理装置が複数あり、1つの処理装置が
複数の工程で使用可能であるような複雑な生産システム
においても、図4の処理により装置毎の処理待ちロット
及び割り当てロットの数並びにロット毎工程時間の内訳
を知ることができるので、生産性上ボトルネックとなっ
ている処理装置を容易に探し出すことができる。
【0041】また、未来の期間についても該グラフを表
示させることができるとともに、生産シミュレータ25
において、探し出した処理装置の台数を仮想的に増やす
ことができるので、処理装置追加による生産性向上の程
度を容易に知ることができる。
【0042】なお、本発明には外にも種々の変形例が含
まれる。
【0043】例えば、生産シミュレータ25において、
処理装置追加の替わりに処理装置の処理速度向上を仮想
的に行うようにしてもよい。また、ロット毎ソート部2
03における時刻に関するソートキーは、処理終了時刻
であってもよい。同様に、装置毎ソート部204におけ
る時刻に関するソートキーは、処理待ち開始時刻t1又
は処理終了時刻t3であってもよい。
【0044】以上の説明から明らかなように、本発明に
は以下の付記が含まれる。
【0045】(付記1)複数品種の各々に対応した工程
フローに従って処理されるロットの進捗を管理する生産
管理方法において、各工程フローはロットを処理装置で
処理する工程のシリーズであり、各工程で選択可能な処
理装置が定められており、(a)選択された各処理装置
のロット処理開始及び終了の時刻をその装置識別コード
及びロット識別コードとともに含むレコードをロット処
理履歴テーブルに記録し、(b)該ロット処理履歴テー
ブルをロット毎に、該ロット処理開始又は終了の時刻を
キーとしてソートし、着目処理装置について、そのロッ
ト処理開始時刻t2及びロット処理終了時刻t3を、該
ロットに対する1つ前の工程でのロット処理終了時刻t
1とともに抽出し、(c)該着目処理装置で処理された
複数のロットの該時刻t1〜t3に基づいて、該着目処
理装置のロット待ち時間に関する情報を求め、(d)該
情報を出力する、ステップを有することを特徴とする生
産管理方法。(1) (付記2)上記ステップ(b)は、(b1)上記ロット
処理履歴テーブルを、上記ロット識別コードをキーとし
て昇順又は降順にソートし、(b2)該ステップ(b
1)でソートされたロット処理履歴テーブルを、上記ロ
ット処理開始時刻t2又は上記ロット終了時刻t3をキ
ーとして昇順又は降順にソートし、(b3)該ステップ
(b2)でソートされたロット処理履歴テーブルの各レ
コードに、1つ前又は後のレコードのロット処理終了時
刻をロット処理待ち開始時刻1として追加したテーブル
を作成し、(b4)該ステップ(b3)で作成されたテ
ーブルを、上記装置識別コードをキーとして昇順又は降
順にソートし、(b5)該ステップ(b3)でソートさ
れたテーブルを、該ロット処理待ち開始時刻1、該ロッ
ト処理開始時刻t2又は該ロット終了時刻をキーとして
昇順又は降順にソートする、ステップを有することを特
徴とする付記1記載の生産管理方法。(2) (付記3)上記ステップ(c)では、t1<t<t2を
満たす時刻tでのロット数LNwを上記ロット待ち時間
に関する情報として求めることを特徴とする付記1又は
2記載の生産管理方法。(3) (付記4)上記ステップ(d)では上記時刻t対上記ち
ロット数LNwをグラフ表示することを特徴とする付記
3記載の生産管理方法。
【0046】(付記5)上記ステップ(c)では、t1
<t<t3を満たす時刻tでのロット数LNsを上記ロ
ット待ち時間に関する情報として求めることを特徴とす
る付記1又は2記載の生産管理方法。(4) (付記6)上記ステップ(d)では上記時刻t対上記ロ
ット数LNsをグラフ表示することを特徴とする付記5
記載の生産管理方法。
【0047】(付記7)上記ステップ(c)では、上記
着目処理装置に対する着目ロットの待ち期間t1〜t2
中の他のロットの処理時間及び該着目処理装置の保守時
間の割合を、上記ロット待ち時間に関する情報として求
めることを特徴とする付記1又は2記載の生産管理方
法。(5) (付記8)上記ステップ(d)では上記割合をグラフ表
示することを特徴とする付記7記載の生産管理方法。
【0048】(付記9)複数品種の各々に対応した工程
フローに従って処理されるロットの進捗を管理する生産
管理装置において、各工程フローはロットを処理装置で
処理する工程のシリーズであり、各工程で選択可能な処
理装置が定められており、プロセッサと、該プロセッサ
に結合された記憶装置と、該プロセッサに結合された出
力装置と、を有し、該記憶装置には、ロット処理履歴テ
ーブルが格納され、さらに、該プロセッサに対し、
(a)選択された各処理装置のロット処理開始及び終了
の時刻をその装置識別コード及びロット識別コードとと
もに含むレコードをロット処理履歴テーブルに記録さ
せ、(b)該ロット処理履歴テーブルをロット毎に、該
ロット処理開始又は終了の時刻をキーとしてソートさ
せ、着目処理装置について、そのロット処理開始時刻t
2及びロット処理終了時刻t3を、該ロットに対する1
つ前の工程でのロット処理終了時刻t1とともに抽出さ
せ、(c)該着目処理装置で処理された複数のロットの
該時刻t1〜t3に基づいて、該着目処理装置のロット
待ち時間に関する情報を求めさせ、(d)該情報を該出
力装置に供給させる、コンピュータプログラムが格納さ
れることを特徴とする生産管理装置。(6) (付記10)上記ステップ(c)では、上記コンピュー
タに対し、t1<t<t2を満たす時刻tでのロット数
LNwを上記ロット待ち時間に関する情報として求めさ
せることを特徴とする付記9記載の生産管理装置。
(7) (付記11)複数品種の各々に対応した工程フローに従
って処理されるロットの進捗を管理するコンピュータプ
ログラムにおいて、各工程フローはロットを処理装置で
処理する工程のシリーズであり、各工程で選択可能な処
理装置が定められており、コンピュータに対し、(a)
選択された各処理装置のロット処理開始及び終了の時刻
をその装置識別コード及びロット識別コードとともに含
むレコードをロット処理履歴テーブルに記録させ、
(b)該ロット処理履歴テーブルをロット毎に、該ロッ
ト処理開始又は終了の時刻をキーとしてソートさせ、着
目処理装置について、そのロット処理開始時刻t2及び
ロット処理終了時刻t3を、該ロットに対する1つ前の
工程でのロット処理終了時刻t1とともに抽出させ、
(c)該着目処理装置で処理された複数のロットの該時
刻t1〜t3に基づいて、該着目処理装置のロット待ち
時間に関する情報を求めさせ、(d)該情報を該出力装
置に供給させる、ためのコンピュータプログラム。
(8) (付記12)上記ステップ(c)では、上記コンピュー
タに対し、t1<t<t2を満たす時刻tでのロット数
LNwを上記ロット待ち時間に関する情報として求めさ
せることを特徴とする付記11記載のコンピュータプロ
グラム。(9) (付記13)付記11又は12記載のコンピュータプロ
グラムが記録されていることを特徴とするコンピュータ
読み取り可能な記録媒体。(10)
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態の、工場における生産管
理システムの概略ブロック図である。
【図2】品種毎の工程フローと処理装置M1〜Mnとの
関係の概略説明図である。
【図3】各工程で選択可能な処理装置を示すテーブルで
ある。
【図4】図1の生産管理コンピュータにより実行される
生産管理プログラムの概略構成を示す機能ブロック図で
ある。
【図5】(A)は、図4中の履歴作成部202によりメ
モリ20M内に作成されたロット処理履歴テーブルを示
し、(B)は、このテーブルに対する図4中のロット毎
ソート部203の処理結果を示す図である。
【図6】(A)及び(B)は、図5(B)のテーブルに
対する図4中の装置毎ソート部204の処理結果を示す
図である。
【図7】図6(B)のテーブルの一部をグラフ化した説
明図ある。
【図8】(A)及び(B)はそれぞれ図4中の装置毎処
理待ちロット計数部205及び装置毎割当てロット計数
部206の処理結果を示す線図である。
【図9】図4中のロット毎工程時間分類部207の処理
結果を示す線図である。
【符号の説明】
10 保管部 11 搬送装置 20 生産管理コンピュータ 21 通信線路 23 表示装置 22 入力装置 24 外部記憶装置 25 生産シミュレータ L1〜Lm ロット M1〜Mn 処理装置 P1〜P3 工程フロー 20M ロット処理履歴テーブルメモリ 241 工程データ 242 ロット割り当てデータ 243 ロット処理履歴データ 244 装置稼働履歴データ 245 生産管理プログラム 201 ロット仕掛り情報作成部 202 履歴作成部 203 ロット毎ソート部 204 装置毎ソート部 205 装置毎待ちロット計数部 206 装置毎割当てロット計数部 207 ロット毎工程時間分類部 208 選択部

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数品種の各々に対応した工程フローに
    従って処理されるロットの進捗を管理する生産管理方法
    において、各工程フローはロットを処理装置で処理する
    工程のシリーズであり、各工程で選択可能な処理装置が
    定められており、 (a)選択された各処理装置のロット処理開始及び終了
    の時刻をその装置識別コード及びロット識別コードとと
    もに含むレコードをロット処理履歴テーブルに記録し、 (b)該ロット処理履歴テーブルをロット毎に、該ロッ
    ト処理開始又は終了の時刻をキーとしてソートし、着目
    処理装置について、そのロット処理開始時刻t2及びロ
    ット処理終了時刻t3を、該ロットに対する1つ前の工
    程でのロット処理終了時刻t1とともに抽出し、 (c)該着目処理装置で処理された複数のロットの該時
    刻t1〜t3に基づいて、該着目処理装置のロット待ち
    時間に関する情報を求め、 (d)該情報を出力する、 ステップを有することを特徴とする生産管理方法。
  2. 【請求項2】 上記ステップ(b)は、 (b1)上記ロット処理履歴テーブルを、上記ロット識
    別コードをキーとして昇順又は降順にソートし、 (b2)該ステップ(b1)でソートされたロット処理
    履歴テーブルを、上記ロット処理開始時刻t2又は上記
    ロット終了時刻t3をキーとして昇順又は降順にソート
    し、 (b3)該ステップ(b2)でソートされたロット処理
    履歴テーブルの各レコードに、1つ前又は後のレコード
    のロット処理終了時刻をロット処理待ち開始時刻1とし
    て追加したテーブルを作成し、 (b4)該ステップ(b3)で作成されたテーブルを、
    上記装置識別コードをキーとして昇順又は降順にソート
    し、 (b5)該ステップ(b3)でソートされたテーブル
    を、該ロット処理待ち開始時刻1、該ロット処理開始時
    刻t2又は該ロット終了時刻をキーとして昇順又は降順
    にソートする、 ステップを有することを特徴とする請求項1記載の生産
    管理方法。
  3. 【請求項3】 上記ステップ(c)では、t1<t<t
    2を満たす時刻tでのロット数LNwを上記ロット待ち
    時間に関する情報として求めることを特徴とする請求項
    1又は2記載の生産管理方法。
  4. 【請求項4】 上記ステップ(c)では、t1<t<t
    3を満たす時刻tでのロット数LNsを上記ロット待ち
    時間に関する情報として求めることを特徴とする請求項
    1又は2記載の生産管理方法。
  5. 【請求項5】 上記ステップ(c)では、上記着目処理
    装置に対する着目ロットの待ち期間t1〜t2中の他の
    ロットの処理時間及び該着目処理装置の保守時間の割合
    を、上記ロット待ち時間に関する情報として求めること
    を特徴とする請求項1又は2記載の生産管理方法。
  6. 【請求項6】 複数品種の各々に対応した工程フローに
    従って処理されるロットの進捗を管理する生産管理装置
    において、各工程フローはロットを処理装置で処理する
    工程のシリーズであり、各工程で選択可能な処理装置が
    定められており、 プロセッサと、 該プロセッサに結合された記憶装置と、 該プロセッサに結合された出力装置と、 を有し、該記憶装置には、ロット処理履歴テーブルが格
    納され、さらに、該プロセッサに対し、 (a)選択された各処理装置のロット処理開始及び終了
    の時刻をその装置識別コード及びロット識別コードとと
    もに含むレコードをロット処理履歴テーブルに記録さ
    せ、 (b)該ロット処理履歴テーブルをロット毎に、該ロッ
    ト処理開始又は終了の時刻をキーとしてソートさせ、着
    目処理装置について、そのロット処理開始時刻t2及び
    ロット処理終了時刻t3を、該ロットに対する1つ前の
    工程でのロット処理終了時刻t1とともに抽出させ、 (c)該着目処理装置で処理された複数のロットの該時
    刻t1〜t3に基づいて、該着目処理装置のロット待ち
    時間に関する情報を求めさせ、 (d)該情報を該出力装置に供給させる、 コンピュータプログラムが格納されることを特徴とする
    生産管理装置。
  7. 【請求項7】 上記ステップ(c)では、上記コンピュ
    ータに対し、t1<t<t2を満たす時刻tでのロット
    数LNwを上記ロット待ち時間に関する情報として求め
    させることを特徴とする請求項6記載の生産管理装置。
  8. 【請求項8】 複数品種の各々に対応した工程フローに
    従って処理されるロットの進捗を管理するコンピュータ
    プログラムにおいて、各工程フローはロットを処理装置
    で処理する工程のシリーズであり、各工程で選択可能な
    処理装置が定められており、コンピュータに対し、 (a)選択された各処理装置のロット処理開始及び終了
    の時刻をその装置識別コード及びロット識別コードとと
    もに含むレコードをロット処理履歴テーブルに記録さ
    せ、 (b)該ロット処理履歴テーブルをロット毎に、該ロッ
    ト処理開始又は終了の時刻をキーとしてソートさせ、着
    目処理装置について、そのロット処理開始時刻t2及び
    ロット処理終了時刻t3を、該ロットに対する1つ前の
    工程でのロット処理終了時刻t1とともに抽出させ、 (c)該着目処理装置で処理された複数のロットの該時
    刻t1〜t3に基づいて、該着目処理装置のロット待ち
    時間に関する情報を求めさせ、 (d)該情報を該出力装置に供給させる、 ためのコンピュータプログラム。
  9. 【請求項9】 上記ステップ(c)では、上記コンピュ
    ータに対し、t1<t<t2を満たす時刻tでのロット
    数LNwを上記ロット待ち時間に関する情報として求め
    させることを特徴とする請求項9記載のコンピュータプ
    ログラム。
  10. 【請求項10】 請求項8又は9記載のコンピュータプ
    ログラムが記録されていることを特徴とするコンピュー
    タ読み取り可能な記録媒体。
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