KR20170070827A - 기판 프로세싱 시스템들을 위한 실리콘 또는 실리콘 카바이드 가스 주입기 - Google Patents

기판 프로세싱 시스템들을 위한 실리콘 또는 실리콘 카바이드 가스 주입기 Download PDF

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스테픈 에드워드 프로이아
제이미 번즈
케빈 헤르조그
카를 윌리암스
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램 리써치 코포레이션
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Abstract

가스 주입기는 실리콘 및 실리콘 카바이드로 구성된 그룹으로부터 선택된 재료로 이루어진 튜브형 로드 (rod) 세그먼트를 포함한다. 튜브형 로드 세그먼트는 튜브형 로드 세그먼트의 일 단부 상에 직접적으로 머시닝된 스레드들 및 유체 통로를 규정하는 바디를 포함한다. 너클 (knuckle) 은 스레드들을 포함한다. 튜브형 로드 세그먼트의 스레드들은 너클의 스레드들에 연결된다. 가스 공급 튜브는 너클에 연결된다. 하나 이상의 부가적인 튜브형 로드 세그먼트들이 가스 주입기의 길이를 가변하도록 튜브형 로드 세그먼트에 스레드들에 의해 부착될 수 있다.

Description

기판 프로세싱 시스템들을 위한 실리콘 또는 실리콘 카바이드 가스 주입기{SILICON OR SILICON CARBIDE GAS INJECTOR FOR SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS}
본 개시는 기판 프로세싱 시스템들, 보다 구체적으로 기판 프로세싱 시스템들 내의 노들로 프로세스 가스들을 공급하도록 사용된 가스 주입기들에 관한 것이다.
본 명세서에 제공된 배경 기술 설명은 일반적으로 본 개시의 맥락을 제공하기 위한 것이다. 본 발명자들의 성과로서 본 배경기술 섹션에 기술되는 정도의 성과, 뿐만 아니라 출원시 종래 기술로서 인정되지 않을 수도 있는 기술의 양태들은 본 개시에 대한 종래 기술로서 명시적으로나 암시적으로 인정되지 않는다.
노 내의 반도체 웨이퍼들과 같은 기판들의 배치 (batch) 프로세싱이 제조의 하나 이상의 스테이지들 동안 사용될 수도 있다. 열 CVD (chemical vapor deposition) 또는 또 다른 프로세스가 노 내에서 수행될 수도 있다. 기판들은 미리 결정된 온도 범위로 가열되고 그리고 전구체 가스는 가스 주입기를 사용하여 노 내로 도입된다.
가스 주입기들은 통상적으로 석영 또는 실리콘 카바이드로 이루어진다. 일부 상황들에서, 디포지션 막의 CTE (coefficient of thermal expansion) 와 가스 주입기를 제작하도록 사용된 재료들의 CTE 사이에 충분한 매칭이 없을 수도 있다. 그 결과, 가스 주입기의 내측 표면들 상에 형성된 막의 디라미네이션 (delamination) 이 동작 동안 발생할 수도 있다. 디라미네이션은 노 내에 입자들을 생성한다. 입자들은 기판들 상으로 떨어지고 그리고 디펙트들 (defects) 을 증가시킬 수도 있다. 이들 디펙트들을 방지하도록, 보다 빈번한 예방적 유지보수가 수행되고, 이는 비용을 증가시킨다.
가스 주입기는 실리콘 및 실리콘 카바이드로 구성된 그룹으로부터 선택된 재료로 이루어진 튜브형 로드 (rod) 세그먼트를 포함한다. 튜브형 로드 세그먼트는 튜브형 로드 세그먼트의 일 단부 상에 직접적으로 머시닝된 스레드들 및 유체 통로를 규정하는 바디를 포함한다. 너클 (knuckle) 은 스레드들을 포함한다. 튜브형 로드 세그먼트의 스레드들은 너클의 스레드들에 연결된다. 가스 공급 튜브는 너클에 연결된다.
다른 특징들에서, 튜브형 로드 세그먼트는 튜브형 로드 세그먼트의 반대편의 단부 상에 직접적으로 머시닝된 스레드들을 포함한다. 부가적인 튜브형 로드 세그먼트는 튜브형 로드 세그먼트의 반대편의 단부 상의 스레드들에 연결된다. 너클은 튜브형 로드 세그먼트들을 수용하기 위한 캐비티를 규정한 바디를 포함한다. 너클의 스레드들은 캐비티의 일 단부에 위치된다.
다른 특징들에서, 너클은 너클의 일 단부로부터 너클의 반대편의 단부를 향해 연장하는 제 1 슬롯 및 제 2 슬롯을 포함한다. 튜브형 로드 세그먼트는 전부 상기 재료로 이루어진다.
가스 주입기는 유체 통로를 규정하는 바디, 제 1 튜브형 로드 세그먼트의 일 단부 상에 직접적으로 머시닝된 수 스레드들, 및 제 1 튜브형 로드 세그먼트의 반대편의 단부 상에 직접적으로 머시닝된 암 스레드들을 포함한, 제 1 튜브형 로드 세그먼트를 포함한다. 제 2 튜브형 로드 세그먼트는 유체 통로를 규정하는 바디, 제 2 튜브형 로드 세그먼트의 일 단부 상에 직접적으로 머시닝된 수 스레드들, 및 제 2 튜브형 로드 세그먼트의 반대편의 단부 상에 직접적으로 머시닝된 암 스레드들을 포함한다. 제 1 튜브형 로드 세그먼트 및 제 2 튜브형 로드 세그먼트는 실리콘 및 실리콘 카바이드로 구성된 그룹으로부터 선택된 재료로 이루어진다. 제 2 튜브형 로드 세그먼트의 일 단부는 제 1 튜브형 로드 세그먼트의 일 단부에 스레드 가능하게 (threadably) 부착된다. 제 1 튜브형 로드 세그먼트의 유체 통로 및 제 2 튜브형 로드 세그먼트의 유체 통로는 유체로 연통한다.
다른 특징들에서, 제 3 튜브형 로드 세그먼트는 유체 통로를 규정하는 바디, 제 3 튜브형 로드 세그먼트의 일 단부 상에 직접적으로 머시닝된 수 스레드들, 및 제 3 튜브형 로드 세그먼트의 반대편의 단부 상에 직접적으로 머시닝된 암 스레드들을 포함한다. 제 3 튜브형 로드 세그먼트의 일 단부는 제 2 튜브형 로드 세그먼트의 반대편의 단부에 스레드 가능하게 부착된다. 제 3 튜브형 로드 세그먼트는 실리콘 및 실리콘 카바이드로 구성된 그룹으로부터 선택된 재료로 이루어진다. 제 3 튜브형 로드 세그먼트의 유체 통로 및 제 2 튜브형 로드 세그먼트의 유체 통로는 유체로 연통한다.
다른 특징들에서, 너클은 제 1 튜브형 로드 세그먼트 및 제 2 튜브형 로드 세그먼트 중 하나에 스레드 가능하게 부착된다. 가스 공급 튜브는 너클에 연결된다. 가스 공급 튜브는 제 1 튜브형 로드 세그먼트 및 제 2 튜브형 로드 세그먼트 중 하나의 유체 통로와 유체로 연통하는 유체 통로를 포함한다. 너클은 제 1 튜브형 로드 세그먼트 및 제 2 튜브형 로드 세그먼트 중 하나의 외경을 수용하기 위한 캐비티를 규정하는 바디를 포함한다.
다른 특징들에서, 너클은 너클의 일 단부로부터 너클의 반대편의 단부를 향해 연장하는 제 1 슬롯 및 제 2 슬롯을 포함한다. 제 1 튜브형 로드 세그먼트 및 제 2 튜브형 로드 세그먼트는 전부 상기 재료로 이루어진다.
가스 주입기는 실리콘 및 실리콘 카바이드로 구성된 그룹으로부터 선택된 재료로 전부 이루어지는 N 개의 튜브형 로드 세그먼트들을 포함한다. N은 1보다 큰 정수이다. N 개의 튜브형 로드 세그먼트들 각각은 N 개의 튜브형 로드 세그먼트들의 반대편의 단부들 상에 직접적으로 머시닝된 스레드들 및 유체 통로를 규정하는 바디를 포함한다. N 개의 튜브형 로드 세그먼트들은 스레드들에 의해 함께 연결된다. 너클은 N 개의 튜브형 로드 세그먼트들에 연결된다. 가스 공급 튜브는 너클에 연결된다.
다른 특징들에서, 너클은 N 개의 튜브형 로드 세그먼트들 중 일 튜브형 로드 세그먼트 상의 스레드들에 연결되는 스레드들을 포함한다. 너클은 N 개의 튜브형 로드 세그먼트들 중 일 튜브형 로드 세그먼트를 수용하기 위한 캐비티를 규정하는 바디를 포함한다. 너클의 스레드들은 캐비티의 일 단부에 위치된다.
다른 특징들에서, 너클은 너클의 일 단부로부터 너클의 반대편의 단부를 향해 연장하는 제 1 슬롯 및 제 2 슬롯을 포함한다.
본 개시의 적용 가능성의 추가의 영역들은 상세한 기술, 청구항들 및 도면들로부터 분명해질 것이다. 상세한 기술 및 구체적인 예들은 오직 예시의 목적들을 위해 의도된 것이고 본 개시의 범위를 제한하도록 의도되지 않는다.
본 개시는 상세한 기술 및 첨부된 도면들로부터 보다 완전히 이해될 것이다.
도 1은 본 개시에 따른, 가스 주입기를 포함한 노의 일 예의 측면 단면도이다.
도 2는 본 개시에 따른, 가스 주입기의 일 예의 측면 조립도이다.
도 3 및 도 4는 가스 주입기의 튜브형 로드 세그먼트들의 단부들 상에 머시닝된 수 및 암 스레드들의 예들의 측면 단면도들이다.
도 5 및 도 6은 본 개시에 따른, 가스 주입기의 일 예의 사시도들이다.
도 7a 및 도 7b는 본 개시에 따른, 커넥터 및 너클의 일 예의 측면 및 단부 단면도들이다.
도 8은 본 개시에 따른, 가스 주입기의 스레드된 튜브형 로드 세그먼트들을 제작하기 위한 방법의 흐름도이다.
도 9는 본 개시에 따른, 가스 주입기를 어셈블하기 위한 방법의 흐름도이다.
도면들에서, 참조 번호들은 유사한 그리고/또는 동일한 엘리먼트들 (elements) 을 식별하기 위해 재사용될 수도 있다.
본 개시는 복수의 튜브형 로드 세그먼트들을 포함한 가스 주입기에 관한 것이다. 튜브형 로드 세그먼트들 각각은 프로세스 가스들의 수송을 허용하기 위한 내측 유체 통로 및 실린더형 바디를 갖는다. 일부 예들에서, 튜브형 로드 세그먼트들은 전부 실리콘 (Si) 또는 실리콘 카바이드 (SiC) 로 이루어질 수도 있지만, 다른 재료들이 사용될 수도 있다.
2 이상의 튜브형 로드 세그먼트들은 가변 길이를 제공하도록 기계적 스레드들을 사용하여 함께 연결된다. 기계적 스레드들은 튜브형 로드 세그먼트들의 단부들 내로 직접적으로 머시닝된다. 스레드들은 접착성 결합부들과 같은 다른 타입들의 부착물에 대한 필요를 제거한다. 일단 함께 스레드된다면, 튜브형 로드 세그먼트들은 프로세스 가스들을 노 또는 다른 기판 프로세싱 챔버로 전달하는 단일의, 일체화된 가스 주입기 튜브를 형성한다.
이제 도 1을 참조하면, 노 (10) 내에 배치된 가스 주입기의 일 예가 도시된다. 특정한 타입의 노가 도시되지만, 본 명세서에 기술된 가스 주입기들은 다른 타입들의 노들 또는 다른 기판 프로세싱 장비와 함께 사용될 수도 있다. 노 (10) 는 단열 외측 하우징 (12) 을 포함하도록 도시된다. 가열 코일 (14) 은 단열 외측 하우징 (12) 의 내부에 배치된다. 전력은 전력 공급부 (미도시) 에 의해 가열 코일 (14) 에 공급될 수도 있다.
내측 컨테이너 (16) 는 가열 코일 (14) 및 단열 외측 하우징 (12) 의 내부에 배치될 수도 있다. 내측 컨테이너 (16) 내에 피팅되는 라이너 (18) 가 사용될 수도 있다. 기판 지지부 (20) 는 페데스탈 (22) 상에 놓인다. 프로세싱 동안, 페데스탈 (22) 및 기판 지지부 (20) 는 일반적으로 라이너 (18) 에 의해 둘러싸인다. 기판 지지부 (20) 는 열 프로세싱 동안 복수의 기판들을 홀딩하기 위한 수직으로 배치된 슬롯들을 포함할 수도 있다. 기판들은 반도체 웨이퍼들일 수도 있다.
가스 주입기 (24) 는 공급 튜브 (25), 너클 (26) 및 스레드 가능하게 함께 연결된 복수의 튜브형 로드 세그먼트들 (27-1, 27-2, ... 및 27-N) (집합적으로 튜브형 로드 세그먼트들 (27)) (여기서, N은 1보다 큰 정수임) 을 포함한다. 일부 예들에서, 공급 튜브 (25) 는 스테인리스 강으로 이루어지지만, 다른 재료들이 사용될 수도 있다. 가스 주입기 (24) 는 기판 지지부 (20) 와 라이너 (18) 사이에 배치될 수도 있다. 가스 주입기 (24) 는 라이너 (18) 내에 프로세싱 가스를 주입하기 위해 가스 주입기의 상부 단부 상에 유출부를 포함한다.
진공 펌프 (미도시) 는 내측 컨테이너 (16) 의 하단 부분을 통해 프로세스 가스들을 배기하도록 사용될 수도 있다. 단열 외측 하우징 (12), 내측 컨테이너 (16), 및 라이너 (18) 는 웨이퍼들로 하여금 기판 지지부 (20) 로 그리고 기판 지지부 (20) 로부터 이송되게 하도록 수직으로 상승될 수도 있지만, 일부 구성들에서 이들 엘리먼트들은 엘리베이터 (미도시) 가 노 (10) 내외로 페데스탈 (22) 및 기판 지지부 (20) 를 상승시키고 하강시키는 동안 고정된 채로 남아 있다.
이제 도 2를 참조하면, 가스 주입기 (24) 가 더 상세히 도시된다. 튜브형 로드 세그먼트들 (27) 은 튜브형 로드 세그먼트들의 단부들 상에 직접적으로 머시닝된 수 및 암 스레드들 (40, 42) 을 포함한다. 예를 들어, 튜브형 로드 세그먼트 (27-1) 는 인접한 튜브형 로드 세그먼트 (27-2) 상에 위치된 수 스레드들 (40) 과 매이팅하는 (mate) 암 스레드들 (42) 을 포함한다. 다른 튜브형 로드 세그먼트들은 가변 길이를 제공하도록 유사한 방식으로 연결된다. 너클 (26) 은 튜브형 로드 세그먼트 (27-1) 상의 수 스레드들 (40) 과 매이팅하는 너클 (26) 의 상부 단부 상의 암 스레드들 (42) 을 포함한다. 공급 튜브 (25) 는 너클 (25) 의 하부 단부에 본딩되거나, 스레드되거나 그렇지 않으면 부착될 수도 있다.
이제 도 3을 참조하면, 튜브형 로드 세그먼트 (27) 의 일 예가 더 상세히 도시된다. 튜브형 로드 세그먼트 (27) 는 바디 (39) 를 포함한다. 수 스레드들 (40) 은 튜브형 로드 세그먼트 (27)) 의 외측 표면 상에 머시닝된다. 튜브형 로드 세그먼트 (27) 는 유체 통로 (54) 를 규정하는 외경 (44) 및 내경 (46) 을 갖는다. 튜브형 로드 세그먼트 (27) 는 유체 유입부 또는 유출부로서 작용할 수 있는 유체 통로 (54) 로의 제 1 개구 (48) 를 더 포함한다. 수 스레드들 (40) 의 방사상으로 외경은 수 스레드들 (40) 이 대응하는 암 스레드들 (42) 의 내부에 수용되도록 외경 (44) 에 대해 내측으로 이격될 수도 있다.
이제 도 4를 참조하면, 튜브형 로드 세그먼트 (27) 의 일 예가 더 상세히 도시된다. 튜브형 로드 세그먼트 (27) 는 튜브형 로드 세그먼트 (27) 의 내측 표면 상에 머시닝된 암 스레드들 (42) 을 포함한다. 튜브형 로드 세그먼트 (27) 는 유체 유입부 또는 유출부로서 작용할 수 있는 유체 통로 (54) 로의 제 1 개구 (72) 를 더 포함한다.
이제 도 5 내지 도 7b를 참조하면, 너클 (26) 에 관한 부가적인 상세들이 도시된다. 도 5에서, 너클 (26) 은 튜브형 로드 세그먼트 (27-1) 를 수용하기 위한 캐비티 (80) 를 규정한 바디 (73) 를 포함한다. 너클 (26) 은 너클 (26) 의 상부 부분으로부터 너클 (26) 의 하단 부분으로부터 이격된 지점으로 연장하는 너클 (26) 의 반대편의 측면들 상에 형성된 슬롯들 (82 및 84) 을 포함한다. 공급 튜브 (25) 는 너클 (26) 의 하단 부분에 수용된다. 도 6에서, 튜브형 로드 세그먼트 (27-1) 는 캐비티 (80) 내로 삽입되고 그리고 수 스레드들 (40) 은 너클 (26) 의 암 스레드들 (42) 에 의해 수용된다. 슬롯들 (82 및 84) 은 다른 경우에 온도 변화들 동안 발생할 수도 있는 손상을 감소시키기 위해서 구조적 강도 및 유연성을 증가시키도록 튜브형 로드 세그먼트 (27-1) 에 물리적 지지를 제공한다.
도 7a 및 도 7b에서, 유체 통로 (90) 는 공급 튜브 (25) 의 중심을 통해서 형성된다. 너클 (26) 내의 유체 통로 (92) 는 튜브형 로드 세그먼트 (27-1) 의 유체 통로 (54) 에 유체 통로 (90) 를 유체적으로 연결한다. 너클의 내경 (94) 은 튜브형 부재 (27-1) 의 외경을 수용하도록 충분한 간격을 제공한다.
이제 도 8을 참조하면, 가스 주입기를 제작하기 위한 방법 154의 예가 도시된다. 152에서, 실리콘 잉곳이 성장된다. 154에서, 실리콘 잉곳의 코어 드릴링이 견고한 튜브형 로드 세그먼트들을 생성하도록 수행된다. 158에서, 유선 EDM (electrical discharge manufacturing) 이 목표된 길이들을 획득하도록 그리고 튜브형 로드 세그먼트들의 단부 면들을 평활화하도록 견고한 튜브형 로드 세그먼트들 상에서 수행되지만, 다른 방법들이 사용될 수도 있다. 162에서, EDM은 또한 튜브형 로드 세그먼트들 내에 유체 통로들을 생성하도록 사용되지만, 다른 방법들이 사용될 수도 있다.
164에서, CNC (computer numerical controlled) 머시닝이 수 및 암 스레드들을 생성하도록 튜브형 로드 세그먼트들의 단부들 상에서 수행되지만, 다른 방법들이 사용될 수도 있다. 일부 예들에서, 다이아몬드 팁 드릴 (diamond tipped drill) 이 사용될 수도 있다. 물 기반 윤활유 또는 오일 기반 윤활유와 같은 윤활이 CNC 머시닝 동안 사용될 수도 있다. 속도 및 피드 설정사항들은 CNC 머시닝을 수행하도록 요구된 시간에 대해 튜브형 로드 세그먼트들에 발생할 수도 있는 손상을 최적화하도록 조정된다. 다른 예들에서, 스레드들은 전체가 참조로 본 명세서에 인용되고 그리고 2014년 11월 25일 허여된, 발명의 명칭이 "Ductile Mode Machining Methods for Hard and Brittle Components of Plasma Processing Apparatus"인, 공동으로-양도된 미국 특허 제 8,893,702 호에 기술된 바와 같은 연성 모드 머시닝을 사용하여 튜브형 로드 세그먼트들 상에 머시닝된다.
166에서, 튜브형 로드 세그먼트들이 세정된다. 168에서, 표면 화학적 처리가 튜브형 로드 세그먼트들 상에서 수행된다. 170에서, 튜브형 로드 세그먼트들은 표면 화학적 처리 후에 다시 세정된다. 174에서, 부가적인 세정 단계가 최종 세정 동작으로서 수행된다. 단지 예를 들면, 수소 플루오라이드 (HF) 가 사용될 수도 있다.
이제 도 9를 참조하면, 가스 주입기를 어셈블하기 위한 방법 200의 일 예가 도시된다. 204에서, N 개의 튜브형 로드 세그먼트들, 너클 및 공급 튜브가 제공되고, 여기서 N은 1 이상의 정수이다. 212에서, (N이 1보다 큰 경우) N 개의 로드들이 함께 스레드되고 그리고 이어서 너클 내로 스레드된다. 가스 공급 튜브가 너클에 연결된다. 일부 예들에서, 가스 공급 튜브는 접착제를 사용하여 연결되지만, 다른 연결 방법들이 사용될 수도 있다. 214에서, 가스 주입기는 사용 전에 시일링되고 시즈닝될 (seasoned) 수도 있다. 단지 예를 들면, 막은 가스 주입기를 시일링하도록 가스 주입기의 내측 부분들 상에 디포짓될 수도 있다. 216에서, 가스 주입기가 노 내에 설치되고 그리고 프로세스에서 사용된다. 일부 예들에서, 가스 주입기는 도핑되거나 도핑되지 않은 폴리실리콘의 디포지션과 같은 열 CVD (chemical vapor deposition) 프로세스 동안 사용되지만, 다른 프로세스들이 수행될 수도 있다.
전술한 기술은 단순히 특성을 예시하는 것이고 어떠한 방식으로도 본 개시, 이의 애플리케이션, 또는 용도를 제한하도록 의도되지 않는다. 본 개시의 광범위한 교시들은 다양한 형태들로 구현될 수 있다. 따라서, 본 개시는 특정한 예들을 포함하지만, 본 개시의 진정한 범위는 다른 수정들이 도면들, 명세서, 및 이하의 청구항들을 연구함으로써 명백해질 것이기 때문에 그렇게 제한되지 않아야 한다. 방법 내에서 하나 이상의 단계들은 본 개시의 원리들을 변경하지 않고 상이한 순서로 (또는 동시에) 실행될 수도 있다는 것이 이해되어야 한다. 또한, 실시예들 각각이 특정한 피처들을 갖는 것으로 상기에 기술되지만, 본 개시의 임의의 실시예에 대해 기술된 임의의 하나 이상의 이들 피처들은, 조합이 명시적으로 기술되지 않아도, 임의의 다른 실시예들의 피처들로 및/또는 임의의 다른 실시예들의 피처들과 조합하여 구현될 수 있다. 즉, 기술된 실시예들은 상호 배타적이지 않고, 하나 이상의 실시예들의 또 다른 실시예와의 치환들이 본 개시의 범위 내에 남는다.

Claims (17)

  1. 실리콘 및 실리콘 카바이드로 구성된 그룹으로부터 선택된 재료로 이루어진 튜브형 로드 (rod) 세그먼트로서,
    상기 튜브형 로드 세그먼트는 상기 튜브형 로드 세그먼트의 일 단부 상에 직접적으로 머시닝된 스레드들 및 유체 통로를 규정하는 바디를 포함하는, 상기 튜브형 로드 세그먼트;
    스레드들을 포함한 너클 (knuckle) 로서, 상기 튜브형 로드 세그먼트의 상기 스레드들은 상기 너클의 상기 스레드들에 연결되는, 상기 너클; 및
    상기 너클에 연결된 가스 공급 튜브를 포함하는, 가스 주입기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 튜브형 로드 세그먼트는 상기 튜브형 로드 세그먼트의 반대편의 단부 상에 직접적으로 머시닝된 스레드들을 포함하는, 가스 주입기.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 튜브형 로드 세그먼트의 상기 반대편의 단부 상의 상기 스레드들에 연결된 부가적인 튜브형 로드 세그먼트를 더 포함하는, 가스 주입기.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 너클은 상기 튜브형 로드 세그먼트들을 수용하기 위한 캐비티를 규정한 바디를 포함하고, 상기 너클의 상기 스레드들은 상기 캐비티의 일 단부에 위치되는, 가스 주입기.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 너클은 상기 너클의 일 단부로부터 상기 너클의 반대편의 단부를 향해 연장하는 제 1 슬롯 및 제 2 슬롯을 포함하는, 가스 주입기.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 튜브형 로드 세그먼트는 전부 상기 재료로 이루어지는, 가스 주입기.
  7. 유체 통로를 규정하는 바디, 제 1 튜브형 로드 세그먼트의 일 단부 상에 직접적으로 머시닝된 수 스레드들, 및 상기 제 1 튜브형 로드 세그먼트의 반대편의 단부 상에 직접적으로 머시닝된 암 스레드들을 포함한, 상기 제 1 튜브형 로드 세그먼트; 및
    유체 통로를 규정하는 바디, 제 2 튜브형 로드 세그먼트의 일 단부 상에 직접적으로 머시닝된 수 스레드들, 및 상기 제 2 튜브형 로드 세그먼트의 반대편의 단부 상에 직접적으로 머시닝된 암 스레드들을 포함한, 상기 제 2 튜브형 로드 세그먼트를 포함하고,
    상기 제 1 튜브형 로드 세그먼트 및 상기 제 2 튜브형 로드 세그먼트는 실리콘 및 실리콘 카바이드로 구성된 그룹으로부터 선택된 재료로 이루어지고,
    상기 제 2 튜브형 로드 세그먼트의 일 단부는 상기 제 1 튜브형 로드 세그먼트의 일 단부에 스레드 가능하게 (threadably) 부착되고, 그리고
    상기 제 1 튜브형 로드 세그먼트의 상기 유체 통로 및 상기 제 2 튜브형 로드 세그먼트의 상기 유체 통로는 유체로 연통하는, 가스 주입기.
  8. 제 7 항에 있어서,
    유체 통로를 규정하는 바디, 제 3 튜브형 로드 세그먼트의 일 단부 상에 직접적으로 머시닝된 수 스레드들, 및 상기 제 3 튜브형 로드 세그먼트의 반대편의 단부 상에 직접적으로 머시닝된 암 스레드들을 포함한, 상기 제 3 튜브형 로드 세그먼트를 더 포함하고,
    상기 제 3 튜브형 로드 세그먼트의 일 단부는 상기 제 2 튜브형 로드 세그먼트의 반대편의 단부에 스레드 가능하게 부착되고,
    상기 제 3 튜브형 로드 세그먼트는 실리콘 및 실리콘 카바이드로 구성된 그룹으로부터 선택된 재료로 이루어지고, 그리고
    상기 제 3 튜브형 로드 세그먼트의 상기 유체 통로 및 상기 제 2 튜브형 로드 세그먼트의 상기 유체 통로는 유체로 연통하는, 가스 주입기.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 튜브형 로드 세그먼트 및 상기 제 2 튜브형 로드 세그먼트 중 하나에 스레드 가능하게 부착된 너클을 더 포함하는, 가스 주입기.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 너클에 연결된 가스 공급 튜브를 더 포함하고, 상기 가스 공급 튜브는 상기 제 1 튜브형 로드 세그먼트 및 상기 제 2 튜브형 로드 세그먼트 중 상기 하나의 상기 유체 통로와 유체로 연통하는 유체 통로를 포함하는, 가스 주입기.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 너클은 상기 제 1 튜브형 로드 세그먼트 및 상기 제 2 튜브형 로드 세그먼트 중 하나의 외경을 수용하기 위한 캐비티를 규정하는 바디를 포함하는, 가스 주입기.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 너클은 상기 너클의 일 단부로부터 상기 너클의 반대편의 단부를 향해 연장하는 제 1 슬롯 및 제 2 슬롯을 포함하는, 가스 주입기.
  13. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 튜브형 로드 세그먼트 및 상기 제 2 튜브형 로드 세그먼트는 전부 상기 재료로 이루어지는, 가스 주입기.
  14. 실리콘 및 실리콘 카바이드로 구성된 그룹으로부터 선택된 재료로 전부 이루어지는 N 개의 튜브형 로드 세그먼트들로서,
    상기 N은 1보다 큰 정수이고,
    상기 N 개의 튜브형 로드 세그먼트들 각각은 상기 N 개의 튜브형 로드 세그먼트들의 반대편의 단부들 상에 직접적으로 머시닝된 스레드들 및 유체 통로를 규정하는 바디를 포함하고, 그리고
    상기 N 개의 튜브형 로드 세그먼트들은 상기 스레드들에 의해 함께 연결되는, 상기 N 개의 튜브형 로드 세그먼트들;
    상기 N 개의 튜브형 로드 세그먼트들에 연결된 너클; 및
    상기 너클에 연결된 가스 공급 튜브를 포함하는, 가스 주입기.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 너클은 상기 N 개의 튜브형 로드 세그먼트들 중 일 튜브형 로드 세그먼트 상의 상기 스레드들에 연결되는 스레드들을 포함하는, 가스 주입기.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 너클은 상기 N 개의 튜브형 로드 세그먼트들 중 일 튜브형 로드 세그먼트를 수용하기 위한 캐비티를 규정하는 바디를 포함하고, 상기 너클의 상기 스레드들은 상기 캐비티의 일 단부에 위치되는, 가스 주입기.
  17. 제 14 항에 있어서,
    상기 너클은 상기 너클의 일 단부로부터 상기 너클의 반대편의 단부를 향해 연장하는 제 1 슬롯 및 제 2 슬롯을 포함하는, 가스 주입기.
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