KR20150066530A - 롤러 컨베이어 및 판상체의 검사 장치, 및 유리판의 제조 장치 - Google Patents

롤러 컨베이어 및 판상체의 검사 장치, 및 유리판의 제조 장치 Download PDF

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이치로 나카야마
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아사히 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 판상체(30)를 롤러(54)로 반송하는 롤러 컨베이어에 있어서, 상기 판상체(30)의 반송 경로를 따라 배치된 복수 개의 롤러(54)와, 구름 이동체(68)와, 당해 구름 이동체(68)를 사이에 두고 구름 이동 가능하게 수용하는 외륜(70)과 내륜(74)을 갖고, 상기 복수 개의 롤러(54)의 각각의 축(58)을 회전 가능하게 지지하는 수지제 또는 수지가 코팅된 수지 베어링(56)과, 상기 구름 이동체(68), 상기 구름 이동체(68)가 접하는 상기 외륜(70)의 궤도면(72) 및 상기 구름 이동체(68)가 접하는 상기 내륜(74)의 궤도면(76)에 액체를 공급하는 액체 공급 장치(64)와, 상기 수지 베어링(56)을 둘러싸는 커버(66)를 구비하는 롤러 컨베이어에 관한 것이다.

Description

롤러 컨베이어 및 판상체의 검사 장치, 및 유리판의 제조 장치 {ROLLER CONVEYOR, PLATE BODY INSPECTING DEVICE, AND GLASS PLATE MANUFACTURING DEVICE}
본 발명은 롤러 컨베이어 및 판상체의 검사 장치, 및 유리판의 제조 장치에 관한 것이다.
액정 디스플레이 등의 FPD(Flat Panel Display)용 유리판의 제조 방법의 일례로서, 플로트법이라 칭하는 성형법을 사용한 플로트 제조 방법이 알려져 있다.
플로트 제조 방법은, 플로트 배스에 저류된 용융 금속의 표면에 용융 유리를 공급해서 띠 형상 유리판으로 성형하는 성형 공정, 상기 띠 형상 유리판을 소정 사이즈의 직사각 형상 유리판으로 절단하고, 절단한 유리판의 주연부를 연삭하는 절단·모따기 공정, 상기 유리판의 피연마면을 연마 장치에 의해 그 피연마면의 미소한 요철이나 굴곡을 연마해서 제거하는 연마 공정, 및 검사 공정을 구비한다.
상기 검사 공정은, 연마 종료된 유리판을 브러시 세정한 후, 고압수에 의해 세정하는 세정 공정, 에어 나이프 노즐로부터의 압축 공기를 유리판에 분사해서 유리판을 건조·청정화하는 건조·청정화 공정 및 피연마면의 평탄도(굴곡 피치에 대한 굴곡 높이의 비율)을 측정하는 평탄도 측정 공정을 구비한다.
이들 공정을 거침으로써, 유리판이, FPD용 유리판에 적합한 두께 0.2 내지 1.5mm이며 평탄도가 높은 유리판으로 제조된다.
특허문헌 1에는, FPD용 유리판을 대상으로 하는 배치식 연마 장치가 개시되어 있다. 특허문헌 1의 연마 장치는, 유리판을 흡착해서 유지하는 흡착 시트와, 이 흡착 시트가 걸쳐진 막 프레임을 포함하는 막체를 구비하고 있다. 이 연마 장치에 의하면, 막체와 막체가 설치된 캐리어 사이에 가압 유체를 공급하고, 흡착 시트에 흡착 유지된 유리판의 피연마면을 가압 유체의 압력으로 연마 패드에 가압함과 함께, 유리판과 연마 패드를 상대적으로 회전(자전 및/또는 공전)시켜서 피연마면을 연마한다. 또한, 연마 시에는, 슬러리가 연마 패드와 피연마면 사이에 공급된다. 또한, 연마 패드에 의해 연마되는 유리판의 피연마면은, FPD의 제조 공정에 있어서 TFT(Thin Film Transistor) 또는 CF(Color Filter)가 제작되는 면이며, 고정밀도의 평탄도가 요구되는 면이다.
한편, 평탄도 측정 공정에서는, 연마 후의 유리판의 피연마면의 평탄도가 TFT 또는 CF의 제작에 적합한 규격 값 내에 수용되어 있는지 여부가 검사된다. 이 평탄도 검사는, 예를 들어 특허문헌 2에 개시된 평탄도 측정 장치(검사 장치)를 사용해서 행하여진다.
특허문헌 2의 평탄도 측정 장치에 의하면, 주기적인 명암을 갖는 패턴을 유리판에 조사하고, 유리판을 투과한 패턴 또는 반사된 패턴을 수광하여, 수광 화상에 있어서의 명암 주기의 어긋남(유리판에 조사된 패턴에 있어서의 명암 주기에 대한 어긋남)을 검출하기 위해서 유리판에 조사된 패턴에 있어서의 명암 주기에 대응한 사이즈의 수광 화상에 있어서의 영역의 명암을 평균화하고, 평균화된 신호에 기초하여 유리판의 평탄도를 산출한다.
상기한 바와 같이, 연마 공정(연마 장치)에서 피연마면이 연마된 유리판은, 검사 공정(평탄도 측정 장치)에 의해 피연마면의 평탄도가 검사되지만, 연마 종료된 유리판에는 슬러리가 부착되어 있기 때문에, 검사 공정의 상기 세정 공정에 의해 유리판에 부착된 슬러리가 세정된다. 그 후, 평탄도 측정 장치에 있어서, 유리판에 잔존한 물방울, 티끌에 의한 오검출을 방지하기 위해서, 검사 공정의 상기 건조·청정화 공정에 있어서 에어 나이프 노즐로부터의 압축 공기에 의해 물방울, 티끌을 제거하고, 유리판을 건조·청정화한 후에, 평탄도 측정 장치에 의한 평탄도 측정을 실시하고 있다. 또한, 평탄도 측정은, 유리판을 연마하지 않는 유리판의 제조 방법, 예를 들어 퓨전법에서도 실시된다.
또한, 유리판은, 연마 장치로부터 평탄도 측정 장치까지, 복수 개의 롤러를 포함하는 롤러 컨베이어에 의해 연속 반송되지만, 상기 에어 나이프 노즐을 갖는 건조 라인에 부설된 롤러의 베어링은, 베어링으로부터 누설된 그리스가 유리판에 부착되지 않도록, 그리스를 사용하지 않는 자기 윤활성이 있는 불소 수지 등의 수지제, 또는 불소 수지 등의 수지가 베어링강에 코팅된 베어링(이하, 수지 베어링이라고 함)이 사용되고 있다. 또한, 세라믹스제 구름 이동체를 갖는 수지 베어링도 있다.
일본 특허 공개 제2004-122351호 공보 일본 특허 제3411829호 공보
그러나, 그리스를 사용하지 않은 수지 베어링이어도, 수지 베어링의 마모에 의해 수지의 분진이 발생하고, 그 분진이 비산해서 유리판에 부착된 경우에는, 평탄도 측정 장치에 의한 검사 공정에서 오검출을 초래한다는 문제가 있었다.
본 발명은, 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 롤러가 수지 베어링에 의해 지지된 롤러 컨베이어이며, 수지 베어링으로부터 발생한 분진의 비산을 억제할 수 있는 롤러 컨베이어 및 판상체의 검사 장치, 및 유리판의 제조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 상기 목적을 달성하기 위해서, 판상체를 롤러로 반송하는 롤러 컨베이어에 있어서, 상기 판상체의 반송 경로를 따라 배치된 복수 개의 롤러와, 구름 이동체와, 당해 구름 이동체를 사이에 두고 구름 이동 가능하게 수용하는 외륜과 내륜을 갖고, 상기 복수 개의 롤러의 각각의 축을 회전 가능하게 지지하는 수지제 또는 수지가 코팅된 수지 베어링과, 상기 구름 이동체, 상기 구름 이동체가 접하는 상기 외륜의 궤도면 및 상기 구름 이동체가 접하는 상기 내륜의 궤도면에 액체를 공급하는 액체 공급 장치와, 상기 수지 베어링을 둘러싸는 커버를 구비하는 롤러 컨베이어를 제공한다.
본 발명에 따르면, 수지 베어링의 구름 이동체와, 구름 이동체가 접하는 외륜의 궤도면과, 구름 이동체가 접하는 내륜인 궤도면에, 액체 공급 장치로부터 액체를 공급했으므로, 수지의 마모에 의해 발생한 수지의 분진을 액체에 혼입시킬 수 있고, 또한 수지 베어링은 커버에 의해 둘러싸여 있으므로, 상기 분진의 비산을 억제할 수 있다. 또한, 액체가 윤활제로서 기능하므로, 수지 베어링의 사용 수명이 연장된다.
수지 베어링은 외륜, 내륜, 구름 이동체 및 유지기로 구성되어 있고, 구름 이동체, 구름 이동체와 유지기의 미끄럼 이동면, 구름 이동체가 접하는 외륜의 궤도면 및 구름 이동체가 접하는 내륜인 궤도면은 발진 개소이다. 이 발진 개소에 액체를 공급하고, 발생한 수지의 분진을 액체에 봉입하는 것이 본 발명의 특징이다.
[수지 베어링의 정의]
본 발명의 수지 베어링이란, 베어링을 구성하는 외륜, 내륜, 구름 이동체 및 유지기 중 적어도 하나의 부재가 수지제 또는 수지가 코팅된 것을 말한다. 그러나, 상기 부재 중 적어도 하나의 부재를, 수지가 코팅되어 있지 않은 베어링강이 노출된 것으로 하면, 수지 베어링의 자기 윤활성이 저하된다. 이로 인해, 적합한 수지 베어링의 구성으로서는, 모든 부재가 수지제, 또는 베어링강에 수지가 코팅된 것이 좋다.
수지 베어링의 모든 부재가 수지제인 경우의 수지 재료는 특별히 한정되지 않지만, 초고분자량 폴리에틸렌(UHMW-PE: ultra high molecular weight-polyethylene), 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE: polytetrafluoroethylene) 또는 폴리에테르에테르케톤(PEEK: polyetheretherketone)이 바람직하다. 코팅하는 수지의 재료는 특별히 한정되지 않지만, 자기 윤활성을 갖는 불소 수지 또는 폴리이미드 수지가 바람직하다. 베어링(구름 이동체, 외륜 및 내륜)의 재료는 특별히 한정되지 않지만, 단단하고 내마모성을 갖는 세라믹 또는 고탄소 크롬강이 바람직하다.
또한, 강도, 수명 및 경량화의 관점에서, 외륜, 내륜 및 유지기를 초고분자량 폴리에틸렌제로 하고, 구름 이동체를 세라믹스제로 하는 것이 더욱 적합하다.
본 발명의 일 형태는, 상기 액체 공급 장치는, 상기 수지 베어링의 상기 외륜을 유지하는 유지부 및 상기 액체의 유로를 구비하는 홀더 부재와, 상기 홀더 부재의 상기 유로의 입구에 상기 액체를 공급함과 함께 상기 유로의 출구로부터 배출된 상기 액체를 상기 유로의 입구에 순환 공급하는 액체 순환 공급 수단을 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 형태에 의하면, 수지 베어링의 외륜을 유지 고정하는 유지부를 구비하는 홀더 부재에, 액체의 유로를 구비했으므로, 유로를 홀더 부재와 별도로 설치할 필요는 없고, 따라서 부품 개수를 삭감할 수 있다. 액체는, 액체 순환 공급 수단에 의해 유로의 입구에 공급되어, 유로를 통과 중에 수지 베어링의 구름 이동체와, 구름 이동체가 접하는 외륜의 궤도면과, 구름 이동체가 접하는 내륜의 궤도면에 공급된다. 그리고, 유로의 출구로부터 배출된 액체는, 액체 순환 공급 수단에 의해 유로의 입구에 순환 공급된다. 또한, 액체의 순환로에 필터를 설치하고, 이 필터로 액체에 혼입되고 있는 분진을 포획하면, 항상 깨끗한 액체를 유로에 공급할 수 있다.
본 발명의 일 형태는, 상기 홀더 부재의 상기 유로는, 상기 유지부를 사이에 두고 일방측에 구비됨과 함께 상기 유로의 입구에 연통된 제1 유로와, 상기 유지부를 사이에 두고 타방측에 구비됨과 함께 상기 유로의 출구에 연통된 제2 유로를 갖고, 상기 제1 유로와 상기 제2 유로는 상기 유지부를 통하여 연통되는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 형태에 의하면, 유로의 입구로부터 제1 유로에 공급된 액체는, 제1 유로를 흘러서 유지부에 유입된다. 이에 의해, 유지부에 유지되어 있는 수지 베어링에 액체가 공급된다. 그리고, 수지 베어링에 공급된 액체는, 유지부로부터 제2 유로에 유입되고 제2 유로를 흘러 유로의 출구로부터 배출된다. 이러한 제1 유로 및 제2 유로를 홀더 부재에 구비함으로써, 수지 베어링에 액체를 원활하게 공급할 수 있다.
본 발명의 일 형태는, 상기 홀더 부재의 상기 제1 유로와 상기 유지부 사이 및 상기 유지부와 상기 제2 유로 사이에는, 상기 유지부에 상기 액체를 가로막는 댐 부재가 각각 구비되고, 상기 유지부에 가로막힌 상기 액체에, 상기 수지 베어링의 구름 이동체 일부, 상기 외륜의 궤도면의 일부 및 상기 내륜의 궤도면의 일부가 침지되는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 형태에 의하면, 댐 부재에 의해 유지부에 공급된 액체를 가로막았으므로, 수지 베어링의 구름 이동체의 일부, 외륜의 궤도면의 일부 및 내륜의 궤도면의 일부가 액체에 항상 침지된 상태가 된다. 이에 의해, 수지 베어링으로부터의 분진의 비산을 대폭 억제할 수 있다.
본 발명의 일 형태는, 상기 롤러의 상기 축은 상기 수지 베어링의 상기 내륜에 삽입 관통되고, 상기 내륜을 사이에 두고 양측에 위치하는 상기 축에는, 미끄럼 이동 방지 부재가 설치되며, 상기 미끄럼 이동 방지 부재의 단부면이 상기 내륜의 단부면에 접촉됨과 함께 고정구에 의해 상기 축에 고정되는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 형태에 의하면, 미끄럼 이동 방지 부재의 스토퍼 작용에 의해, 롤러의 축이 내륜에 대하여 축 방향으로 미끄럼 이동하지 않고, 미끄럼 이동에 기인하는 발진을 방지할 수 있으므로, 수지 베어링으로부터의 발진량을 종래보다 저감시킬 수 있다. 이에 의해, 분진의 비산을 더욱 한층 억제할 수 있다.
또한, 본 발명은, 상기 목적을 달성하기 위해, 판상체를 반송하면서 세정하는 세정부와, 상기 세정부에 의해 세정된 상기 판상체를 반송하면서 건조하여 청정화하는 건조·청정화부와, 상기 건조·청정화부에 의해 건조되어 청정화된 상기 판상체를 검사하는 검사부를 구비하는 판상체의 검사 장치에 있어서, 본 발명의 롤러 컨베이어가 상기 건조·청정화부에 배치되어 있는 판상체의 검사 장치를 제공한다.
본 발명의 판상체 검사 장치에 의하면, 발명의 롤러 컨베이어를 건조·청정화부에 배치했으므로, 판상체에 상기 분진이 부착되는 것에 기인하는 검사 장치의 오검출 발생 빈도를 대폭 저감시킬 수 있다.
본 발명의 일 형태는, 상기 판상체가 유리판인 것이 바람직하다.
본 발명의 일 형태에 의하면, 유리판의 검사 장치의 건조·청정화부에 본 발명의 롤러 컨베이어를 배치했으므로, 유리판의 검사 정밀도가 대폭 향상된다.
또한, 본 발명은, 용융 유리를 띠 형상 유리판으로 성형하는 성형부와,
상기 띠 형상 유리판을 소정 사이즈의 직사각 형상 유리판으로 절단하고, 절단된 상기 유리판의 주연부를 연삭하는 절단·모따기부와,
주연부를 연삭한 상기 유리판을 반송하면서 세정하는 세정부와, 상기 세정부에 의해 세정된 상기 유리판을 반송하면서 건조하여 청정화하는 건조·청정화부와, 상기 건조·청정화부에 의해 건조되어 청정화된 상기 유리판을 검사하는 검사부를 구비하는 유리판의 제조 장치에 있어서,
본 발명의 롤러 컨베이어가 상기 건조·청정화부에 배치되어 있는 유리판의 제조 장치를 제공한다.
본 발명의 일 형태에 의하면, 유리판의 검사 장치의 건조·청정화부에 본 발명의 롤러 컨베이어를 배치했으므로, 유리판의 검사 정밀도가 대폭 향상된 유리판을 제조할 수 있다.
본 발명의 롤러 컨베이어에 의하면, 수지 베어링으로부터 발생한 수지의 분진 비산을 억제할 수 있다. 이에 의해, 본 발명의 판상체 검사 장치에 의하면, 판상체에 상기 분진이 부착된 것에 기인하는 오검출의 발생 빈도를 대폭 저감시킬 수 있다.
도 1은 액정 디스플레이용 유리판 제조 장치 및 유리판 검사 장치의 각 공정을 나타낸 블록도이다.
도 2는 도 1의 유리판 검사 장치의 구성을 나타낸 평면도이다.
도 3은 도 1의 유리판 검사 장치의 세정 장치 및 건조·청정화 장치의 구성을 나타낸 측면도이다.
도 4는 롤러 컨베이어의 구성을 상세하게 나타낸 평면도이다.
도 5는 도 4의 A-A′선에서 본 롤러 컨베이어의 정면도이다.
도 6은 수지 베어링 및 홀더 부재를 상방에서 본 조립 사시도이다.
도 7은 도 6의 홀더 부재를 하방에서 본 사시도이다.
도 8은 홀더 부재를 포함하는 액체 공급 장치의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 9는 홀더 부재에 고정된 수지 베어링이 커버에 의해 둘러싸인 사시도이다.
도 10은 도 9에 있어서 커버를 제거한 수지 베어링 및 홀더 부재의 측면도이다.
이하, 첨부 도면을 따라 본 발명에 관한 롤러 컨베이어 및 판상체의 검사 장치의 바람직한 실시 형태를 상세하게 설명한다.
실시 형태에서는, 액정 디스플레이용 유리판 제조 장치에 설치된 유리판 검사 장치(판상체의 검사 장치)에 적용되는 롤러 컨베이어에 대해서 설명한다. 그러나, 본 발명의 롤러 컨베이어가 적용되는 장치는, 유리판 검사 장치에 한정되지 않는다. 즉, 롤러 컨베이어의 롤러를 지지하는 베어링으로부터 발생한 분진이 판상체에 부착되는 것을 방지하는 장치라면, 본 발명의 롤러 컨베이어를 적용할 수 있다. 또한, 판상체로서 액정 디스플레이용 유리판을 예시하지만, 플라즈마 디스플레이, 유기 EL 디스플레이 등의 다른 FPD용 유리판이어도 좋다. 또한, 유리판에 한정되는 것이 아니라, 금속제 또는 수지제의 판상체이어도 좋다.
도 1은 액정 디스플레이용 유리판 제조 장치(10) 및 유리판 검사 장치(12)의 각 공정을 나타낸 블록도이다.
유리판 제조 장치(10)의 제조 공정은, 성형 장치(성형부)에 의한 성형 공정(14), 절단·모따기 장치(절단·모따기부)에 의한 절단·모따기 공정(16), 특허문헌 1 등에 개시된 연마 장치에 의한 연마 공정(18), 세정 장치(세정부)에 의한 세정 공정(20), 건조·청정화 장치(건조·청정화부)에 의한 건조·청정화 공정(22) 및 특허문헌 2 등에 개시된 평탄도 측정 장치(검사부)에 의한 평탄도 측정 공정(24)을 포함한다. 또한, 유리판 검사 장치(12)의 검사 공정은 세정 공정(20), 건조·청정화 공정(22) 및 평탄도 측정 공정(24)을 포함한다.
성형 공정(14)은, 플로트 배스에 저류된 용융 금속의 표면에 용융 유리를 공급해서 띠 형상 유리판으로 성형하는 공정이다. 절단·모따기 공정(16)은, 상기 띠 형상 유리판을 소정 사이즈의 직사각 형상 유리판으로 절단하고, 절단한 유리판의 주연부를 연삭하는 공정이다. 연마 공정(18)은, 유리판의 피연마면의 미소한 요철이나 굴곡을 연마해서 제거하는 공정이다. 세정 공정(20)은 연마 종료된 유리판을 브러시 세정한 후 고압수로 세정하고, 유리판에 부착된 슬러리, 연마 부스러기를 제거하는 공정이다. 건조·청정화 공정(22)은 압축 공기를 유리판에 분사해서 유리판을 건조·청정화하는 공정이다. 평탄도 측정 공정(24)은 유리판의 피연마면의 평탄도를 측정하는 공정이다. 이 공정을 거침으로써 유리판이, 액정 디스플레이용 유리판에 적합한 두께이며 평탄도가 높은 유리판을 얻을 수 있다.
상기 유리판의 제조 방법은 플로트법에 의한 것이지만, 본 실시 형태는 퓨전법 등에도 적용할 수 있다. 또한, 퓨전법 등, 가열 성형면을 소자 형성면으로 하는 제조 방법에 의해 유리판을 제조하는 경우, 연마 공정(18)은 생략된다.
도 2는 유리판 검사 장치(12)의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도이며, 도 3은 유리판 검사 장치(12)의 세정 장치[세정 공정(20): 도 1 참조](26) 및 건조·청정화 장치[건조·청정화 공정(22): 도 1 참조](28)의 구성을 나타낸 측면도이다.
도 2와 같이, 연마 공정(18)에서 피연마면이 연마된 유리판(30)은, 롤러 컨베이어(32)에 의해, 세정 장치(26)를 구성하는 브러시 세정부(34)와 고압수 분사 장치(40, 42)(도 3 참조) 및 건조·청정화 장치(28)를 순차 통과해서 평탄도 측정 공정(24)의 평탄도 측정 장치에 반입된다. 또한, 롤러 컨베이어(32) 중, 건조·청정화 장치(28)에 부설되는 롤러 컨베이어(36)가 수지 베어링을 구비한 실시 형태의 롤러 컨베이어이다. 또한, 도 2에서는, 유리판(30)을 이해하기 쉽게 도시하기 위해, 실선이 아닌 이점쇄선으로 나타내고 있다.
도 4는 롤러 컨베이어(36)의 구성을 상세하게 나타낸 평면도이며, 도 5는 도 4의 A-A′선에서 본 정면도이다.
롤러 컨베이어(36)의 각 롤러는, 축(58)과 유리판(30)의 하면에 접촉되는 복수의 원반체(60, 60…)로 구성되고, 복수의 원반체(60)가 축(58)에 소정의 간격을 두고 배치되어 있다. 도 2에서는 번잡함을 피하기 위해, 원반체(60)의 도시를 생략하고, 원반체(60)보다 직경이 작은 수지 베어링(56) 및 축(58)만을 개략적으로 도시하고 있다. 또한, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 유리판(30)의 하면에 접촉되는 원반체(60)의 외주부에는, 고무제 또는 수지제의 링 형상 완충 부재(61)가 설치되어 있어, 유리판(30)의 하면에 흠집이 나는 것을 방지하고 있다.
도 4 및 도 5와 같이 축(58)의 양단부는, 건조·청정화 장치(28)의 케이싱(48)으로부터 외측으로 돌출되어 배치되고, 기어 기구(57)를 개재하여 구동부(59)에 연결되어 있다. 축(58)은 구동부(59)로부터의 동력이 기어 기구(57)를 통하여 전달됨으로써 회전 구동되고, 이에 의해 원반체(60)가 회전되어 유리판(30)이 반송된다.
도 2에 도시한 브러시 세정부(34)는, 롤러 컨베이어(32)의 상방에 배치되고, 유리판(30)의 피연마면의 연직 방향을 축으로, 수평 방향으로 회전하는 복수대의 회전 브러시(38, 38)를 구비한다. 유리판(30)은, 롤러 컨베이어(32)에 의해 반송되면서 피연마면에 접촉되어 회전되는 회전 브러시(38, 38)에 의해, 피연마면에 부착된 슬러리 및 연마 티끌이 제거된다.
고압수 분사 장치(40)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 롤러 컨베이어(32)를 사이에 두고 상방에 배치되고, 고압수 분사 장치(42)는, 롤러 컨베이어(32)를 사이에 두고 하방에 배치되어 있다. 도 3의 좌측 화살표로 나타낸 바와 같이, 유리판(30)은 롤러 컨베이어(32)에 의해 반송되면서, 고압수 분사 장치(40)의 노즐(44)로부터 분사된 고압수에 의해 그 피연마면(상면)이 세정되고, 고압수 분사 장치(42)의 노즐(46)로부터 분사된 고압수에 의해 그 하면이 세정된다.
세정 장치(26)를 통과한 유리판(30)은, 건조·청정화 장치(28)의 케이싱(48) 내에 롤러 컨베이어(32)에 의해 반입된다. 그리고, 케이싱(48) 내에 배치된 롤러 컨베이어(36)에 의한 반송 중에, 유리판(30)에 부착되어 있는 물방울, 티끌 등이 복수 개의 에어 나이프 노즐(50, 52)(도 2 및 도 3에서는 각 1개)로부터의 압축 공기에 의해 제거된다. 도 2의 하측 화살표 및 도 3의 우측 화살표로 나타낸 바와 같이, 에어 나이프 노즐(50, 52)을 통과한 유리판(30)은 평탄도 측정 공정(24)으로 반송된다. 또한, 에어 나이프 노즐(50, 52)이 배치된 건조·청정화 공간(49)은 케이싱(48)에 의해 밀폐되어 있다. 따라서, 건조·청정화 공간(49)에는, 케이싱(48) 밖에 부유하는 분진은 침입하지 않는다. 또한, 도 2 내지 도 4에서는, 에어 나이프 노즐(50, 52)을 상하에 한 쌍 배치하고 있지만, 간격을 두고 복수 쌍의 에어 나이프 노즐을 케이싱(48) 내에 배치해도 좋다.
에어 나이프 노즐(50)은 롤러 컨베이어(36)의 상방이며 유리판(30)의 반송 방향을 따라 설치된다. 에어 나이프 노즐(52)은 롤러 컨베이어(36)의 하방이며 유리판(30)의 반송 방향을 따라 설치되어 있다. 또한, 에어 나이프 노즐(50)과 에어 나이프 노즐(52)은 상하 방향에서 쌍을 이루도록 설치되어 있다. 또한, 에어 나이프 노즐(50, 52)은, 유리판(30)에 부착된 물방울, 티끌 등을 효율적으로 제거하기 위해, 도 2와 같이 유리판(30)의 반송 방향에 대하여 소정 각도 경사지게 배치되어 있다.
또한, 롤러 컨베이어(36)는, 에어 나이프 노즐(52)로부터의 압축 공기가 유리판(30)의 하면에 효율적으로 분사되도록, 도 2, 도 4 및 도 5와 같이 에어 나이프 노즐(52)이 배치되는 부분이 분단되어 있다.
즉, 롤러 컨베이어(36)를 구성하는 복수 개의 롤러 중, 도 2의 참조 부호 54로 나타낸 롤러에 착안하면, 이 롤러(54)는, 에어 나이프 노즐(52)의 배치 위치를 피해서 2개의 롤러(54A, 54B)로 분할되어 있다. 그리고, 케이싱(48)으로부터 외부에 돌출된 롤러(54A)의 좌측 단부는 도시하지 않은 일반적인 베어링(베어링강제의 베어링)에 지지되고, 케이싱(48) 내에 위치하는 롤러(54A)의 우측 단부가 실시 형태의 수지 베어링(56)에 지지되어 있다. 또한, 케이싱(48)으로부터 외부에 돌출된 롤러(54B)의 우측 단부는 도시하지 않은 일반적인 베어링(베어링강제의 베어링)에 지지되고, 케이싱(48) 내에 위치하는 롤러(54B)의 좌측 단부가 수지 베어링(56)에 지지되어 있다. 즉, 케이싱 내에 배치된 베어링에 수지 베어링(56)이 적용되어 있다.
또한, 롤러 컨베이어(36)를 구성하는 다른 복수 개의 롤러에 대해서는, 기본적으로는 롤러(54)와 마찬가지 구성이므로, 그의 설명은 생략한다.
이어서, 수지 베어링(56)을 구비하는 롤러 컨베이어(36)의 기본적인 구성 및 작용에 대해서 설명한다.
도 6은 수지 베어링(56) 및 수지 베어링(56)을 지지하는 대략 직육면체 형상의 홀더 부재(62)를 상방에서 본 조립 사시도, 도 7은 홀더 부재(62)를 하방에서 본 사시도, 도 8은 홀더 부재(62)를 포함하는 액체 공급 장치(64)의 구성을 나타낸 블록도이고, 홀더 부재(62)에 있어서는 정면도이며, 도 6에 나타낸 댐 부재(100)를 보여주기 위해서 일부를 파단해서 나타내고 있다. 도 9는 홀더 부재(62)에 고정된 수지 베어링(56)이 투명 수지제의 커버(66)에 의해 둘러싸인 사시도이며, 도 10은 도 9에 있어서 커버(66)를 제거한 수지 베어링(56) 및 홀더 부재(62)의 측면도이다.
도 4 및 도 5에 도시한 실시 형태의 롤러 컨베이어(36)는, 케이싱(48) 내에서 베어링으로부터 누출된 그리스가 검사 전의 유리판(30)에 부착되지 않도록, 케이싱(48) 내에 배치되는 베어링으로서, 그리스를 사용하지 않는 자기 윤활성을 구비한 수지 베어링(56)이 사용되고 있다. 그리고, 도 6과 같이 수지 베어링(56)의 구름 이동체(68), 구름 이동체(68)가 접하는 외륜(70)의 내주면인 궤도면(72), 구름 이동체(68)가 접하는 내륜(74)의 외주면인 궤도면(76) 및 구름 이동체(68)를 유지하는 유지기(도시하지 않음)에 액체(예를 들어, 순수, 수돗물 또는 지하수 등의 물)를 공급하는, 도 8의 액체 공급 장치(64)가 설치되어 있다. 또한, 도 9와 같이 수지 베어링(56)을 둘러싸는 커버(66)가 설치되어 있다. 또한, 도 6에 나타낸 굵은 화살표는, 홀더 부재(62)에 대한 수지 베어링(56)의 조립 방향을 나타내고, 가는 화살표는, 홀더 부재(62)에 있어서의 상기 액체의 흐름 방향을 나타내고 있다.
상기 구성에 의해 실시 형태의 롤러 컨베이어(36)에 의하면, 수지 베어링(56)의 구름 이동체(68), 구름 이동체(68)가 접하는 외륜(70)의 궤도면(72), 구름 이동체(68)가 접하는 내륜(74)의 궤도면(76) 및 유지기에, 액체 공급 장치(64)로부터 액체가 공급되므로, 수지 베어링(56)의 마모에 의해 발생한 수지의 분진이 액체에 혼입된다. 이에 의해, 수지 베어링(56)으로부터의 발진량을 저감시킬 수 있고, 또한 수지 베어링(56)으로부터 발생한 분진 중 액체에 혼입되지 않은 분진은, 수지 베어링(56)이 커버(66)에 의해 둘러싸여 있기 때문에, 커버(66) 밖으로 비산하지 않는다. 따라서, 실시 형태의 롤러 컨베이어(36)에 의하면, 수지 베어링(56)으로부터 발생한 분진의 비산을 억제할 수 있다.
또한, 실시 형태의 롤러 컨베이어(36)를 구비하는 유리판 검사 장치(12)에 의하면, 유리판(30)에 상기 분진이 부착되는 것에 기인하는, 평탄도 측정 공정(24)에서의 오검출의 발생 빈도를 대폭 저감시킬 수 있으므로, 평탄도 측정 장치에 의한 유리판(30)의 검사 정밀도가 대폭 향상된다.
또한, 실시 형태의 수지 베어링(56)은, 강도, 수명 및 경량화 관점에서 외륜(70), 내륜(74) 및 상기 유지기가 초고분자량 폴리에틸렌제이며, 구름 이동체(68)가 세라믹스제이다. 또한, 수지 베어링(56)에 공급된 액체가 윤활제로서 기능하므로, 수지 베어링(56)의 사용 수명이 연장된다는 이점도 있다.
이어서, 액체 공급 장치(64)의 특징에 대해서 설명한다.
액체 공급 장치(64)는, 도 8과 같이 대략 직육면체 형상의 홀더 부재(62)와 액체 순환 장치(액체 순환 공급 수단; 78)를 구비한다. 홀더 부재(62)는, 그의 상면에, 수지 베어링(56)의 외륜(70)의 하반부를 감합에 의해 유지하는 원호 형상의 오목 곡면을 갖는 유지부(80)를 구비함과 함께, 도 6과 같이 액체의 홈 형상의 유로(82)를 구비하고 있다. 또한, 도 7에 나타내는 홀더 부재(62)의 하부의 한쪽 단부에는, 유로(82; 도 6 참조)의 입구(84)가 설치됨과 함께, 다른 쪽 단부에는 유로(82)의 출구(86)가 설치되어 있다.
도 8의 액체 순환 장치(78)는, 유로(82)의 입구(84)에 액체를 공급함과 함께, 유로(82)의 출구(86)로부터 배출된 액체를 유로(82)의 입구(84)에 순환 공급하는, 펌프(88)를 구비한 순환로(90)를 갖는다. 유로(82)의 입구(84)로부터 공급된 액체는, 홀더 부재(62)에 구비된 상승로(92)를 통하여 홀더 부재(62)의 상면의 유로(82)에 공급되고, 유로(82)를 통과한 후, 홀더 부재(62)에 구비된 하강로(94)를 통하여 출구(86)로부터 배출된다.
이렇게 구성된 액체 공급 장치(64)에 의하면, 수지 베어링(56)이 고정되는 유지부(80)를 구비하는 홀더 부재(62)에, 액체의 유로(82)를 구비했으므로, 유로(82)를 홀더 부재(62)와 별도로 설치할 필요가 없고, 따라서 부품 개수를 삭감할 수 있다.
또한, 액체는, 액체 순환 장치(78)에 의해 유로(82)를 통과하는 중에 수지 베어링(56)의 구름 이동체(68)와, 구름 이동체(68)가 접하는 외륜(70)의 궤도면(72)과, 구름 이동체(68)가 접하는 내륜(74)의 궤도면(76)에 공급된다. 그리고, 유로(82)의 출구(86)로부터 배출된 액체는, 펌프(88)에 의해 유로(82)의 입구(84)에 순환 공급된다. 또한, 액체의 순환로(90)에 필터를 설치하고, 이 필터에 의해 액체에 혼입되고 있는 분진을 포획하면, 항상 분진의 함유량이 적은 액체를 유로(82)에 공급할 수 있다.
이어서, 유로(82)의 특징에 대해서 설명한다.
홀더 부재(62)의 유로(82)는, 도 6과 같이, 제1 유로(96)와 제2 유로(98)를 구비하고 있다. 또한, 제1 유로(96)와 제2 유로(98)는 유지부(80)를 통하여 연통되어 있다.
제1 유로(96)는, 유지부(80)의 원호 형상의 오목 곡면을 사이에 두고 일방측에 구비됨과 함께, 유로(82)의 입구(84)에 상승로(92)를 통하여 연통되어 있다. 제2 유로(98)는, 유지부(80)의 원호 형상의 오목 곡면을 사이에 두고 타방측에 구비됨과 함께, 하강로(94)를 통하여 유로(82)의 출구(86)에 연통되어 있다. 상승로(92)는 제1 유로(96)의 일단부에 설치되고, 하강로(94)는 제2 유로(98)의 타단부에 설치되어 있지만, 상승로(92) 및 하강로(94)의 설치 장소는 특별히 한정되지 않고, 각 유로의 중앙에 설치해도 좋다. 또한, 제2 유로(98)의 타단부는, 상기 제1 유로(96)의 일단부가 설치되어 있는 측과는 반대측이다.
이렇게 구성된 유로(82)에 의하면, 유로(82)의 입구(84)로부터 상승로(92)를 통하여 제1 유로(96)에 공급된 액체는, 제1 유로(96)를 흘러 유지부(80)에 유입된다. 이에 의해, 유지부(80)에 유지되어 있는 수지 베어링(56)에 액체가 공급된다. 그리고, 수지 베어링(56)에 공급된 액체는, 유지부(80)로부터 제2 유로(98)에 유입되어 제2 유로(98)를 흘러, 하강로(94)를 통하여 유로(82)의 출구(86)로부터 배출된다. 이러한 제1 유로(96) 및 제2 유로(98)를 홀더 부재(62)에 구비함으로써, 수지 베어링(56)에 액체를 원활하게 공급할 수 있다.
이어서, 제1 유로(96)와 제2 유로(98)의 특징에 대해서 설명한다.
홀더 부재(62)의 제1 유로(96)와 유지부(80) 사이 및 유지부(80)와 제2 유로(98) 사이에는, 유지부(80)에 액체를 가로막는(저류하는) 댐 부재(100, 102)가 각각 구비되어 있다. 이에 의해, 유지부(80)에 가로막힌 액체에, 수지 베어링(56)의 구름 이동체(68)의 일부, 외륜(70)의 궤도면(72)의 일부 및 내륜(74)의 궤도면(76)의 일부가 침지되어 있다.
이러한 댐 부재(100, 102)를 구비한 제1 유로(96) 및 제2 유로(98)에 의하면, 댐 부재(100, 102)에 의해 유지부(80)에 공급된 액체를 가로막을 수 있으므로, 수지 베어링(56)의 하부에 위치하는 구름 이동체(68), 그 구름 이동체(68)가 접하는 외륜(70)의 궤도면(72), 및 그 구름 이동체(68)가 접하는 내륜(74)의 궤도면(76)이 액체에 항상 액몰(침지)된 상태가 된다. 이에 의해, 수지 베어링(56)으로부터의 분진의 비산을 대폭 억제할 수 있다.
또한, 댐 부재(100)의 상부 중앙에는, 제1 유로(96)로부터 유지부(80)에 액체를 유입하는 오목 형상의 절결(104)이 구비되고, 댐 부재(102)의 상부 중앙에는, 유지부(80)로부터 제2 유로(98)에 액체를 유입하는 오목 형상의 절결(106)이 구비되어 있다. 절결(104, 106)의 저부의 높이, 즉, 유지부(80)에 가로막힌 액체의 수면이, 유지부(80)에 고정된 수지 베어링(56)의 도 8 중 이점쇄선으로 나타내는 내륜(74)의 궤도면(76)의 최하점(76A)보다 상방에 설정되어 있다. 이에 의해, 수지 베어링(56)의 구름 이동체(68)의 일부, 그 구름 이동체(68)가 접하는 외륜(70)의 궤도면(72)의 일부, 및 그 구름 이동체(68)가 접하는 내륜(74)의 궤도면(76)의 일부가 액체에 항상 침지된다.
그런데, 도 10과 같이 롤러 컨베이어(36)의 롤러 축(58)은, 한 쌍의 미끄럼 이동 방지 부재(108, 108)를 개재하여 수지 베어링(56)의 내륜(74)에 고정되어 있다. 즉, 그 고정 방법은, 먼저, 축(58)을 내륜(74)에 삽입 관통시킨다. 이어서, 내륜(74)의 양 단부면 각각의 방향으로부터, 축(58)에 원 고리 형상의 미끄럼 이동 방지 부재(108, 108)를 끼운다. 계속해서, 각각의 미끄럼 이동 방지 부재(108, 108)의 내륜(74)에 대향하는 단부면을 내륜(74)의 양측 단부면에 접촉시킨다. 즉, 미끄럼 이동 방지 부재(108, 108)에 의해 내륜(74)을 끼운다. 또한, 미끄럼 이동 방지 부재(108)의 외경은 내륜(74)의 외경 이하가 바람직하다. 미끄럼 이동 방지 부재(108)의 외경이 내륜(74)의 외경 이하이면 액체의 흐름을 저해하지 않는다. 그리고, 마지막으로, 미끄럼 이동 방지 부재(108)의 외주면으로부터 내주면을 향해서 형성된 관통 나사 구멍에, 나사(고정구; 110, 110)를 삽입 관통하여, 2개의 미끄럼 이동 방지 부재(108, 108)를 축(58)에 고정한다. 이에 의해, 롤러 컨베이어(36)의 롤러 축(58)이, 미끄럼 이동 방지 부재(108, 108)를 개재하여 수지 베어링(56)의 내륜(74)에 고정된다.
롤러의 축(58)은 내륜(74)에 대하여, 미끄럼 이동 방지 부재(108, 108)의 스토퍼 작용에 의해 축 방향으로 미끄럼 이동하지 않는다. 따라서, 상기 미끄럼 이동에 기인하는 수지 베어링(56)의 내륜(74)으로부터의 발진도 방지할 수 있으므로, 분진의 비산을 더욱 한층 억제할 수 있다.
또한, 도 8과 같이 액체 공급 장치(64)는, 액체 순환 장치(78)의 순환로(90)에 액체의 공급을 개시 및 정지하는 전자기 밸브(밸브; 112)를 구비하고 있다. 전자기 밸브(112)를 필요에 따라 개폐함으로써, 액체의 공급을 개시 및 정지시킬 수 있다.
또한, 전자기 밸브(112)에 의한 액체의 공급의 개시 동작 및 정지 동작은, 제어부(114)에 의해 제어되고 있다. 수지 베어링(56)에 액체를 항상 공급할 필요가 없는 경우에는, 제어부(114)에 의해 전자기 밸브(112)를 소정 시간마다 개폐 제어하여, 액체의 공급의 개시 동작 및 정지 동작을 행하면 된다. 또한, 제어부(114)는, 절전을 위해서 필요 시에만 펌프(88)를 가동한다. 즉, 제어부(114)는 펌프(88)의 가동/정지도 제어한다.
본 발명을 상세하게, 또한 특정한 실시 형태를 참조하여 설명했지만, 본 발명의 범위와 정신을 일탈하지 않고, 여러 가지 수정이나 변경을 가할 수 있는 것은 당업자에 있어서 명확하다.
본 출원은, 2012년 10월 5일에 출원된 일본 특허 출원 제2012-222761호에 기초하는 것으로, 그의 내용은 여기에 참조로서 포함된다.
10: 유리판 제조 장치
12: 유리판 검사 장치
14: 성형 공정
16: 절단·모따기 공정
18: 연마 공정
20: 세정 공정
22: 건조·청정화 공정
24: 평탄도 측정 공정
26: 세정 장치
28: 건조·청정화 장치
30: 유리판
32: 롤러 컨베이어
34: 브러시 세정부
36: 롤러 컨베이어
38: 회전 브러시
40, 42: 고압수 분사 장치
44, 46: 노즐
48: 케이싱
49: 건조·청정화 공간
50, 52: 에어 나이프 노즐
54: 롤러
54A, 54B, 54C: 롤러
56: 수지 베어링
57: 기어 기구
58: 축
59: 구동부
60: 원반체
61: 링 형상 완충 부재
62: 홀더 부재
64: 액체 공급 장치
66: 커버
68: 구름 이동체
70: 외륜
72: 궤도면
74: 내륜
76: 궤도면
76A: 최하점
78: 액체 순환 장치
80: 유지부
82: 유로
84: 유로의 입구
86: 유로의 출구
88: 펌프
90: 순환로
92: 상승로
94: 하강로
96: 제1 유로
98: 제2 유로
100, 102: 댐 부재
104, 106: 절결
108: 미끄럼 이동 방지 부재
110: 나사
112: 전자기 밸브
114: 제어부

Claims (8)

  1. 판상체를 롤러로 반송하는 롤러 컨베이어에 있어서,
    상기 판상체의 반송 경로를 따라 배치된 복수 개의 롤러와,
    구름 이동체와, 당해 구름 이동체를 사이에 두고 구름 이동 가능하게 수용하는 외륜과 내륜을 갖고, 상기 복수 개의 롤러의 각각의 축을 회전 가능하게 지지하는 수지제 또는 수지가 코팅된 수지 베어링과,
    상기 구름 이동체, 상기 구름 이동체가 접하는 상기 외륜의 궤도면 및 상기 구름 이동체가 접하는 상기 내륜의 궤도면에 액체를 공급하는 액체 공급 장치와,
    상기 수지 베어링을 둘러싸는 커버
    를 구비하는 롤러 컨베이어.
  2. 제1항에 있어서, 상기 액체 공급 장치는,
    상기 수지 베어링의 상기 외륜을 유지하는 유지부 및 상기 액체의 유로를 구비하는 홀더 부재와,
    상기 홀더 부재의 상기 유로의 입구에 상기 액체를 공급함과 함께 상기 유로의 출구로부터 배출된 상기 액체를 상기 유로의 입구에 순환 공급하는 액체 순환 공급 수단
    을 구비하는 롤러 컨베이어.
  3. 제2항에 있어서, 상기 홀더 부재의 상기 유로는, 상기 유지부를 사이에 두고 일방측에 구비됨과 함께 상기 유로의 입구에 연통된 제1 유로와, 상기 유지부를 사이에 두고 타방측에 구비됨과 함께 상기 유로의 출구에 연통된 제2 유로를 갖고,
    상기 제1 유로와 상기 제2 유로는 상기 유지부를 통하여 연통되는 롤러 컨베이어.
  4. 제3항에 있어서, 상기 홀더 부재의 상기 제1 유로와 상기 유지부 사이 및 상기 유지부와 상기 제2 유로 사이에는, 상기 유지부에 상기 액체를 가로막는 댐 부재가 각각 구비되고, 상기 유지부에 가로막힌 상기 액체에, 상기 구름 이동체의 일부, 상기 외륜의 궤도면의 일부 및 상기 내륜의 궤도면의 일부가 침지되는 롤러 컨베이어.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 롤러의 상기 축은 상기 수지 베어링의 상기 내륜에 삽입 관통되고,
    상기 내륜을 사이에 두고 양측에 위치하는 상기 축에는 미끄럼 이동 방지 부재가 설치되며,
    상기 미끄럼 이동 방지 부재의 단부면이 상기 내륜의 단부면에 접촉됨과 함께 고정구에 의해 상기 축에 고정되는 롤러 컨베이어.
  6. 판상체를 반송하면서 세정하는 세정부와, 상기 세정부에 의해 세정된 상기 판상체를 반송하면서 건조하여 청정화하는 건조·청정화부와, 상기 건조·청정화부에 의해 건조되어 청정화된 상기 판상체를 검사하는 검사부를 구비하는 판상체의 검사 장치에 있어서,
    제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 롤러 컨베이어가 상기 건조·청정화부에 배치되어 있는 판상체의 검사 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 판상체는 유리판인, 판상체의 검사 장치.
  8. 용융 유리를 띠 형상 유리판으로 성형하는 성형부와,
    상기 띠 형상 유리판을 소정 사이즈의 직사각 형상의 유리판으로 절단하고, 절단된 상기 유리판의 주연부를 연삭하는 절단·모따기부와,
    주연부를 연삭한 상기 유리판을 반송하면서 세정하는 세정부와,
    상기 세정부에 의해 세정된 상기 유리판을 반송하면서 건조하여 청정화하는 건조·청정화부와,
    상기 건조·청정화부에 의해 건조되어 청정화된 상기 유리판을 검사하는 검사부를 구비하는 유리판의 제조 장치에 있어서,
    제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 롤러 컨베이어가 상기 건조·청정화부에 배치되어 있는 유리판의 제조 장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102008142B1 (ko) * 2019-03-04 2019-08-08 (주)엠에스솔루션 기판 이송 장치의 원터치 캡 결합형 베어링 홀더
KR20200045222A (ko) * 2018-10-22 2020-05-04 주식회사 모션퀘스트 글라스 이송 장치용 롤러

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN203994992U (zh) * 2014-05-16 2014-12-10 日东电工株式会社 玻璃基板搬送装置
CN106458459A (zh) * 2014-05-21 2017-02-22 夏普株式会社 搬运装置和湿式处理装置
JPWO2017086257A1 (ja) * 2015-11-17 2018-08-30 Ａｇｃ株式会社 薄板状体の搬送方法、装置、及びガラス薄板状体製品の製造方法
CN105905563B (zh) * 2016-06-20 2018-10-12 昆山国显光电有限公司 辊子擦拭装置
WO2019070654A2 (en) * 2017-10-06 2019-04-11 Corning Incorporated APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING GLASS SHEET
FR3075375A1 (fr) * 2017-12-19 2019-06-21 Saint-Gobain Glass France Systeme d’inspection a nettoyage ameliore
CN108589022B (zh) * 2018-07-02 2023-12-05 海安国洋机械科技有限公司 金属纤维拉断喷射装置
JP2020040757A (ja) * 2018-09-07 2020-03-19 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造装置、及びガラス板の製造方法
BR112021006936A2 (pt) * 2018-10-12 2021-07-20 Saint-Gobain Glass France esteira rolante para chapas de vidro
DE102019210063B4 (de) * 2019-07-09 2021-05-20 NICE Solar Energy GmbH Substratfördereinrichtung, Vakuumbehandlungsvorrichtung mit einer Substratfördereinrichtung und Verfahren zum Fördern eines Substrats
JP2023165241A (ja) * 2022-05-02 2023-11-15 日本電気硝子株式会社 ガラス製品の製造方法及び製造装置

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH081981B2 (ja) * 1990-03-30 1996-01-10 株式会社芝浦製作所 基板搬送装置の発塵防止装置
JPH06156678A (ja) * 1992-11-21 1994-06-03 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置の発塵防止装置
CN2172270Y (zh) * 1993-06-23 1994-07-20 张世昭 带式输送机用脲醛塑料托辊
JP3364016B2 (ja) * 1994-08-19 2003-01-08 三菱重工業株式会社 冷凍機用スクロール型圧縮機
JPH0864564A (ja) * 1994-08-22 1996-03-08 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
JPH11108066A (ja) * 1997-10-01 1999-04-20 Nippon Seiko Kk 循環給油軸受装置
JPH11230178A (ja) * 1998-02-17 1999-08-27 Nippon Seiko Kk 円筒ころ軸受装置
JP2001341827A (ja) * 2000-05-31 2001-12-11 Canon Inc 枚葉式洗浄機および枚葉式洗浄機に用いられるローラーコンベア用の中間軸受け
JP2002347928A (ja) * 2001-05-23 2002-12-04 Sumitomo Precision Prod Co Ltd 基板処理装置
JP2003314544A (ja) * 2002-04-18 2003-11-06 Hitachi Ltd 磁気ディスク装置
JP4562424B2 (ja) * 2004-05-25 2010-10-13 三機工業株式会社 ホイールコンベヤ
JP2006214461A (ja) * 2005-02-01 2006-08-17 Maruyasu Kikai Kk 軸受装置及びそれを用いたローラコンベヤ
US20070138228A1 (en) * 2005-12-16 2007-06-21 Brown James W Method and apparatus for finishing a glass sheet
JP2008082547A (ja) * 2006-08-28 2008-04-10 Ntn Corp 転がり軸受の潤滑方法
JP2009083699A (ja) * 2007-10-01 2009-04-23 Jtekt Corp 車輪支持装置
CN101381195A (zh) * 2008-08-05 2009-03-11 河南安飞电子玻璃有限公司 玻璃板生产中熔融玻璃流量控制装置及控制方法
JP5444667B2 (ja) * 2008-09-08 2014-03-19 日本電気硝子株式会社 ガラス板付着液体除去装置及びガラス板付着液体除去方法
JP5428811B2 (ja) * 2009-12-04 2014-02-26 凸版印刷株式会社 基板乾燥方法、基板乾燥装置、基板の製造方法、及びフラットパネルディスプレイ
CN202030662U (zh) * 2011-03-15 2011-11-09 山东寿光第一建筑有限公司 一种立式中空玻璃加工装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200045222A (ko) * 2018-10-22 2020-05-04 주식회사 모션퀘스트 글라스 이송 장치용 롤러
KR102008142B1 (ko) * 2019-03-04 2019-08-08 (주)엠에스솔루션 기판 이송 장치의 원터치 캡 결합형 베어링 홀더

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Publication number Publication date
WO2014054590A1 (ja) 2014-04-10
CN106271957A (zh) 2017-01-04
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CN104703898A (zh) 2015-06-10
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