JPWO2017086257A1 - 薄板状体の搬送方法、装置、及びガラス薄板状体製品の製造方法 - Google Patents
薄板状体の搬送方法、装置、及びガラス薄板状体製品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2017086257A1 JPWO2017086257A1 JP2017551856A JP2017551856A JPWO2017086257A1 JP WO2017086257 A1 JPWO2017086257 A1 JP WO2017086257A1 JP 2017551856 A JP2017551856 A JP 2017551856A JP 2017551856 A JP2017551856 A JP 2017551856A JP WO2017086257 A1 JPWO2017086257 A1 JP WO2017086257A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin plate
- region
- transport
- conveying
- glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
- B65G51/02—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
- B65G51/03—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
浮上搬送装置を用いて、幅や形状の異なる様々な薄板状材料を搬送でき、かつ、薄板状体の中央部の膨らみを防止し、搬送装置と薄板状体の接触による損傷を防止する。
搬送装置の搬送面上で薄板状体を気体により浮上させつつ、薄板状体を搬送する薄板状体の搬送方法であって、薄板状体の幅方向の両端部近傍において、搬送装置の搬送面から薄板状体の下面に薄板状体の外側に向けて気体を吹き付けて薄板状体を浮上させ搬送する。
搬送装置の搬送面上で薄板状体を気体により浮上させつつ、薄板状体を搬送する薄板状体の搬送方法であって、薄板状体の幅方向の両端部近傍において、搬送装置の搬送面から薄板状体の下面に薄板状体の外側に向けて気体を吹き付けて薄板状体を浮上させ搬送する。
Description
本発明は、浮上搬送式の薄板状体の搬送方法、装置、及びガラス薄板状体製品の製造方法に関する。
従来、液晶ディスプレイ用やOLED照明機器等に使用される厚さが薄いガラス板のような薄板状体を搬送する際に、エアコンベアなどの浮上搬送式の搬送装置により搬送する方法が知られている。一般に浮上搬送装置は、搬送面に気体の吹付口を備え、その搬送面上に載置された薄板状体の下面に気体を送り込んで、薄板状体を浮上させる構成となっている。
一方で、剛性の低い薄いガラス板などをエアコンベアにより搬送した場合、エアコンベアから吹き付ける空気によってガラス基板の中央部分の浮上量が幅方向両端よりも大きくなり、ガラス板が膨らんでしまうことがある。ガラス板の中央部が膨らむと、ガラス板の外側端部が搬送面よりも下がってしまい、エアコンベアにガラス板が接触して損傷してしまうという問題を生じ易い。ガラス板の剛性は、ガラス板の厚さの3乗に比例するため、ガラス板の厚さが薄くなればなるほど、自重による変形が顕著になるためガラス板のエアコンベアとの接触損傷の問題が顕著になる。
引用文献1には、エアコンベアを用いてガラス基板等のような薄板状材料を搬送する際に、薄板状材料の幅方向の両端部及び中央部を、吸引装置を用いて下面側から吸引して平面に近い状態で搬送することにより薄板状材料の中央部分が膨らまないようにして、搬送できるようにした薄板状材料の搬送方法及び装置が開示されている。
しかしながら、前述の方法では、薄板状体の両端部に吸引装置(サイド吸引装置)を備えることが必須であり、幅の異なる薄板状体を搬送装置と接触することなく搬送することには搬送装置を改造する必要がある。また、浮上搬送装置(エアテーブルユニット)と中央部と両端部に複数の吸引装置を備えることが必須であり、非常に複雑な機構が必要となる。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、吸引機構などを備えない簡素な構成の浮上搬送装置を用いて、幅や形状の異なる様々な薄板状材料を搬送することができ、かつ、薄板状体の中央部の膨らみを防止し、搬送装置と薄板状体の接触による損傷を防止する薄板状材料の搬送方法、装置、及びガラス薄板状体の製造方法を提供することを課題とする。
本発明は、搬送装置の搬送面上で薄板状体を気体により浮上させつつ、薄板状体を搬送する薄板状体の搬送方法であって、薄板状体の搬送方向に直交する薄板状体の幅方向の両端部近傍において、搬送装置の搬送面から薄板状体の下面に対し、薄板状体の幅方向の外側に向けて気体を吹き付けて薄板状体を浮上させ搬送する第1の領域を備える薄板状体の搬送方法を提供する。
また、搬送装置の搬送面上で薄板状体を気体により浮上させつつ、薄板状体を搬送する薄板状体の搬送装置であって、搬送装置は、搬送面を備え、搬送面には、薄板状体の搬送方向に直交する薄板状体の幅方向の両端部近傍において、搬送装置の搬送面から薄板状体の下面に対し、薄板状体の幅方向の外側に向けて気体を吹き付ける吹付口が形成された第1の領域を備える薄板状体の搬送装置を提供する。
さらに、本発明は、ガラス原料を溶解して溶融ガラスを製造し、溶融ガラスを薄板状に成形し、成形したガラス薄板状体を前記の薄板状体の搬送方法によって搬送し、次いで、前記ガラス薄板状体を製品加工するガラス薄板状体製品の製造方法を提供する。
さらに、本発明は、ガラス原料を溶解して溶融ガラスを製造し、溶融ガラスを薄板状に成形し、成形したガラス薄板状体を前記の薄板状体の搬送方法によって搬送し、次いで、前記ガラス薄板状体を製品加工するガラス薄板状体製品の製造方法を提供する。
本発明によれば、吸引機構などを備えない簡素な構成の浮上搬送装置を用いて、幅や形状の異なる様々な薄板状材料を搬送することができる。また、薄板状体の中央部の膨らみを防止し、搬送装置と薄板状体の接触による損傷を防止する薄板状材料の搬送方法を提供することができる。さらに、前記搬送方法を用いたガラス薄板状体製品の製造方法を提供することができる。
以下、本発明を実施するための態様について図面を参照して説明する。各図面において、同一の又は対応する構成には、同一の又は対応する符号を付して説明を省略する。本明細書において、数値範囲を表す「〜」はその前後の数値を含む範囲を意味する。
また、本発明において、薄板状体とは、厚さの薄い板状の物体であって、剛性の低いものを表わす。薄板状体の形状は、矩形など所望の形状に切断されたシートやフィルムでもよく、帯状に連続したものでもよい。薄板状体の材質は特に限定されないが、ガラス、金属、樹脂、セラミックスなどであってもよい。なかでも、ガラスであるのが好ましい。
搬送方向とは、薄板状体が搬送装置により搬送される方向であり、幅方向とは搬送方向に直交する方向を表わすものとする。また、搬送面とは搬送装置の上面であり、搬送面に備えられる吹付口より気体を薄板状体に吹き付けて浮上させる。
薄板状体の下面とは、薄板状体の表裏二つの主面のうち鉛直方向下側で浮上搬送装置の搬送面と対抗する面を表わし、薄板状体の上面とはもう一方の主面を表わす。
薄板状体の幅方向の両端部近傍とは、薄板状体の幅方向の長さにおいて薄板状体の下面に吹き付けられた気体を薄板状体の下面の外側に排気するのに十分な長さをいう。
外側とは、搬送方向に直交する方向を含み、搬送装置の中心線から搬送装置の両端部へ向う方向をいう。
吹付方向とは、搬送方向に直交する断面において、気体を吹き付ける吹付口の流路の中心線と搬送面がなす角度を表わし、ノズルにおいては、径の中心線であり、スリットにおいては、搬送面のスリットの幅(短径)の中心線である。
(第1の実施態様)
図1は、本発明に係る搬送装置の一態様を示す模式平面図である。図1には、浮上式のエアコンベア(搬送装置)10によってガラス板(薄板状体)Gを搬送する態様が示されている。
図1は、本発明に係る搬送装置の一態様を示す模式平面図である。図1には、浮上式のエアコンベア(搬送装置)10によってガラス板(薄板状体)Gを搬送する態様が示されている。
図に示すようにガラス板Gは矢印(⇒)で示すガラス板の搬送方向に搬送される。搬送装置10はガラスの下面と対向する略水平な搬送面12を備え、搬送面12の幅方向中央部に搬送手段14と、搬送手段14の両側に浮上手段20を備える。浮上手段20は、ガラス板Gの下面に外側に向けて気体を吹き付ける第1の領域22と、ガラス板Gの下面に略鉛直に気体を吹き付ける第2の領域24と、搬送装置10の搬送面12にガラス板Gに気体を吹き付ける吹付口26を備える。本実施態様において第1の領域22の吹付口はスリット28であり、第2の領域24の吹付口はノズル30である。浮上手段20は搬送手段14の両側に複数の区画に区切られており、それぞれ第1の領域22の区画が40a、40b、40c、・・・、41a、41b、41c、・・・であり、第2の領域24の区画が42a、42b、42c、・・・、43a、43b、43c、・・・である。
第1の領域22において、スリット28は、それぞれの区画ごとに搬送方向に平行に複数配置されている。第2の領域24において、ノズル30は、搬送方向に平行に複数の列をなして多数千鳥状に配置されている。
図2は、図1のA−A‘断面の一部を示す断面図であるが、ここでは搬送装置10の搬送方向の片側半分の断面が図示されている。搬送装置10は搬送面12を形成するエアテーブル16と、エアテーブル16の下側にケーシング42と中空空間を区切る仕切り壁44と、を備え、箱状の中空空間である区画40b及び区画42bを形成している。エアテーブル16は中空空間から気体を吹き付ける吹付口26が中空空間と連通して設けられている。また、ケーシング42の下面には、区画40b及び区画42bのそれぞれと連通してホース(気体供給路)46を介してブロア(図示せず)が取り付けられており、搬送装置10にガラス板Gを浮上させるための空気(気体)を供給する。
このとき第1の領域22の搬送方向に直角な長さW1は、第1の領域22の幅方向の長さを指し、100〜1500mmが好ましく、200〜800mmがさらに好ましい。また、搬送装置10の幅方向の長さW0に対して、W1は両端部の1/5以上であればよく、1/4以上が好ましく、1/3以上がさらに好ましい。W1が長いほどガラス板Gの中央部の膨らみを防止でき搬送が安定するためである。
また、搬送するガラス板Gの形状により後述する第2の領域を設けず浮上手段20の全域を第1の領域としてもよい。しかし、第1の領域22の幅方向の長さであるW1は、通常、搬送装置10の幅方向の長さW0に対して、1/3以上であるのが好ましく、1/2以上であるのがより好ましい。
また、W2は、第1の領域22とガラス板Gの重なりの幅方向の長さ(板状体の両端からの距離)であり、ガラス板Gの幅方向の長さに対して、両端部の1/5以上であればよく、1/4以上が好ましく、1/3以上がさらに好ましい。W2が長いほどガラス板Gの中央部の膨らみを防止でき搬送が安定するためである。このとき、W2は、50〜400mmが好ましく、100〜300mmがさらに好ましい。
搬送装置10の中央には吸着コンベア(搬送手段)14が設けられ、ガラス板Gを吸着保持しながら搬送方向に駆動する。吸着コンベア14の幅は、適宜設定可能であるが50〜200mmが好ましく、90〜130mmがさらに好ましい。
図3は、本発明に係る搬送装置の吹付口の一態様を示す断面模式図である。図3に示すように第1の領域22(図1参照)のスリット(吹付口)28の流路48は、搬送面12の鉛直方向に対して外側に傾斜して配置されており、搬送面12と吹出方向が角度αをなしている。スリット28はエアテーブル16を介して中空空間と連通している。本実施態様では、スリットの幅L1は1mmで、エアテーブル16内のスリットの流路長L2は12mmである。
このとき、角度αは20〜60°が好ましく、25〜35°がさらに好ましい。スリット幅L1は0.5〜3mmが好ましく、0.8〜1.5mmがさらに好ましい。スリットの流路長L2は、5〜20mmが好ましく、10〜15mmがさらに好ましい。また、ガラス板Gの外側端部より内側の最も近い吹付口26の距離L3は、100mm以上でよく、150mm以上が好ましく、200mm以上がさらに好ましい。L3が前述の長さであれば、ガラス板Gの中央部の膨らみを防止できるとともに、ガラス板Gの外側端部が搬送面よりも下がってしまうとの問題を防止できる。また、ガラス板Gの幅によりガラス板Gの外側端のさらに外側に吹付口26を設けることもできる。また、エアテーブル16は、搬送面12側に破線で示すプレート50を備えてもよい。プレート50を用いて流路を形成する部分と搬送面12を形成する部分を別体に形成してもよい。
本実施態様において、搬送装置10の搬送面12上のガラス板Gは、スリット28及びノズル30から吹き付けられる空気によって浮上し、吸着コンベア14によって駆動されて搬送方向に送られる。
このとき第1の領域22において、スリット28がガラス板Gの下面に外側に向けて空気を吹き付けることにより、第1の領域22でスリット28から吹き付けられた空気のみでなく、第2の領域24から吹き付けられた空気もガラス板Gの幅方向の外側に排気することができる。このため、ガラス板Gの中央付近に空気が滞留してガラス板Gが膨らみ、これによりガラス板Gの外側端が下がり搬送面12と接触することを防止できる。
また、ガラス板Gの外側端部の内側で最も近い吹付口26の距離L3が通常200mm以下であればよく、好ましくは150mm以下である。外側端のさらに外側に吹付口26を設けることもできるため、ガラス板Gの幅が異なってもガラス板Gと搬送面12の接触を防止できる。このため、第1の領域22でL3が前述の範囲であれば装置を改造したり、浮上装置の設定を変更したりすることなく幅や形状の異なる様々なガラス板Gを搬送することが可能になる。
本実施態様は、その剛性からガラス板Gとしては、0.5mm以下の厚さのガラス板に好適に適用できる。また、0.3mm以下の厚さのガラス板がさらに好ましい。剛性の低下によりガラスの変形が顕著になるためである。また、0.1mm以下の厚さのガラス板がさらに好ましい。従来の接触式のローラコンベアなどの方法での搬送が困難になるためである。
本実施態様の第2の領域24において、ノズル30のノズル径φ(直径)は3.5mmであり、ノズル30の配置は、搬送方向に40mmピッチで複数列配置され、隣接する列のノズル位置と搬送方向に20mm位置をずらすことにより千鳥状に配置されている。また、ノズル30のノズル径φ、ノズル30の数、ノズル30の配置はガラス板の重量及び剛性などから適宜設定可能であり、汎用のパンチングメタルを用いてもよい。上記ノズル径φは、2〜8mmが好ましく、3〜5mmがさらに好ましい。ノズル30のピッチ20〜60mmが好ましく、30〜50mmがさらに好ましい。
また、箱状の中空空間である区画40b、42bには、それぞれホース46が取り付けられブロアなどの空気供給手段からの空気が供給される。このとき、40a、40b、40c・・・、41a、41b、41c・・・、42a、42b、43c・・・、43a、43b、43c・・・など各区画の空気の供給量及び圧力は独立して制御可能である。空気供給手段は、ブロアに限定されず、コンプレッサ等を用いて圧縮空気をホース等の気体供給路より供給してもよい。
また、本実施態様ではガラス板Gに吹き付けられる気体に空気を用いている。空気を用いることがコスト面から有利であるためである。しかし、ガラス板Gに吹き付けられる気体はこの構成に限定されない。周囲の雰囲気が制御されている場合などでは、不活性ガス、酸化性ガスや還元性ガスを用いてもよい。
駆動手段として転動式の吸着コンベアを用いる例を示したが、本願発明の効果を損しない限り、公知の駆動手段が適用可能である。他の駆動手段としては、ローラコンベア、リニアガイド式駆動、気体による駆動、吸着パッドによる駆動などを挙げることができる。また、これらの駆動方式とガラス板の外周の一部の移動方向を規制するガイド部材と組み合わせて用いてもよい。
(第2の実施態様)
図4は、本発明に係る搬送装置の他の実施態様を示す平面図である。尚、図4において、前述の構成部分と同一の構成については、同一の符号を付してその説明を省略又は簡略する。
図4は、本発明に係る搬送装置の他の実施態様を示す平面図である。尚、図4において、前述の構成部分と同一の構成については、同一の符号を付してその説明を省略又は簡略する。
搬送装置10はガラス板の下面と対向する略水平な搬送面12を備え、搬送方向に平行に二つの吸着コンベア(駆動手段)14a及び14bと、吸着コンベアの両側に浮上手段20を備える。浮上手段20は、吸着コンベア14a及び14bの外側にガラス板Gの下面に外側に向けて気体を吹き付ける第1の領域22と、吸着コンベア14a及び14bに挟まれた搬送装置10の中央部にガラス板Gの下面に略鉛直に気体を吹き付ける第2の領域24と、を備える。浮上手段20の搬送面には、ガラス板Gに気体を吹き付ける吹付口26を備える。
本実施態様において第1の領域22の吹付口は外側に傾斜して気体を吹き付ける傾斜ノズル31であり、第2の領域24の吹付口はノズル30である。傾斜ノズル31は矢印で示す搬送方向に複数の列をなして配置され、ガラス板Gの外側に向けて気体を吹き付けることにより、ガラス板Gを浮上させるとともに、第1の領域22で傾斜ノズル31から吹き付けられた気体のみでなく、第2の領域24でノズル30から吹き付けられた気体をガラス板Gの幅方向の外側に排気することができる。傾斜ノズル31の断面における、搬送面12と吹出方向が角度α、流路長L2は、第1の実施態様と同様の構成とすることができる。また、傾斜ノズル31のノズル径φは、適宜設定可能であるが、スリット28と同様の効果を得られる個数であればスリット28の幅L1の構成を適用することができる。
第2の領域24において、ノズル30は、搬送方向に平行に複数の列をなして多数千鳥状に配置されている。
浮上手段20は、第1の実施態様と同様に搬送面12の下方に形成された箱状の中空空間の複数の区画に区切られている。区画は、それぞれ第1の領域22の区画が52a、52b、52c・・・及び54a、54b、54c・・・であり、第2の領域24の区画が53a、53b、53c・・・である。
図4では、傾斜ノズル31が第1の領域22の区画ごとに2本の列で形成される例を示したが、ガラス板Gの外側端部の内側に少なくとも一列が外側に傾斜して設けられれば良い。
また、ここでは第1の領域に形成された吹付口26として、傾斜ノズル31を用いる例を示したが、傾斜ノズル31とスリット28を組み合せて用いてもよい。つまり、搬送装置10は、第1の領域22において吹付口が、複数の傾斜ノズル31または搬送方向に平行に形成されたスリット28のうち少なくとも一方であり、搬送面12と前記一方の吹付方向の成す角度αが20〜60°である。
また、ここでは第2の領域24の吹付口26にノズル30を用いる例を示したが、ノズル30とガラス板Gの下面に略垂直に気体を吹き付けるスリットを組み合せて用いてもよい。
第2の実施態様におけるその他の構成は第1の実施態様と同様であるため、説明を省略する。本実施態様に係る搬送装置10によっても、第1の実施態様と同様の効果を得ることができる。
第2の実施態様におけるその他の構成は第1の実施態様と同様であるため、説明を省略する。本実施態様に係る搬送装置10によっても、第1の実施態様と同様の効果を得ることができる。
(ガラス薄板状体製品の製造方法の実施態様)
図5は、本発明に係るガラス薄板状体製品の製造方法の実施態様を示すフロー図である。ガラス薄板状体製品の製造方法では、ガラス原料を溶解して溶融ガラスを製造する溶解工程、溶融ガラスを成形してガラス薄板状体を製造する成形工程、ガラス薄板状体を前記した搬送方法及び装置で搬送する搬送工程、搬送したガラス薄板状体を切断加工や表面処理などをする加工工程を経て、ガラス薄板状体製品が製造される。
上記における溶解工程、成形工程、及び製品加工工程は、従来の既存の方法でもよい。溶解工程は、例えば、溶融されたガラス原料の上方から新たなガラス原料を投入し、溶融したガラス原料の上方に設置したバーナの加熱によって投入したガラス原料を溶解し、溶融したガラスを対流により、均質化して成形可能な溶融ガラスを製造する。溶解工程においては、必要に応じて溶融ガラス中の気泡等を除去するために、例えば、溶融ガラスを高温に加熱したり、減圧したりする脱泡工程を経る。
成形工程は、例えば、フロート法、ダウンドロー法等があげられる。成形工程では、成形後、ガラス板に導入された歪等を除去するために徐冷する。製品加工工程は、例えば、切断方法として、レーザ切断、ガラスカッタによる切断等が挙げられる。表面処理としては、アンチグレア処理、指紋が付きにくい処理などの処理が挙げられる。
図5は、本発明に係るガラス薄板状体製品の製造方法の実施態様を示すフロー図である。ガラス薄板状体製品の製造方法では、ガラス原料を溶解して溶融ガラスを製造する溶解工程、溶融ガラスを成形してガラス薄板状体を製造する成形工程、ガラス薄板状体を前記した搬送方法及び装置で搬送する搬送工程、搬送したガラス薄板状体を切断加工や表面処理などをする加工工程を経て、ガラス薄板状体製品が製造される。
上記における溶解工程、成形工程、及び製品加工工程は、従来の既存の方法でもよい。溶解工程は、例えば、溶融されたガラス原料の上方から新たなガラス原料を投入し、溶融したガラス原料の上方に設置したバーナの加熱によって投入したガラス原料を溶解し、溶融したガラスを対流により、均質化して成形可能な溶融ガラスを製造する。溶解工程においては、必要に応じて溶融ガラス中の気泡等を除去するために、例えば、溶融ガラスを高温に加熱したり、減圧したりする脱泡工程を経る。
成形工程は、例えば、フロート法、ダウンドロー法等があげられる。成形工程では、成形後、ガラス板に導入された歪等を除去するために徐冷する。製品加工工程は、例えば、切断方法として、レーザ切断、ガラスカッタによる切断等が挙げられる。表面処理としては、アンチグレア処理、指紋が付きにくい処理などの処理が挙げられる。
以上、図面を参照しながら本願発明の好適な実施態様について説明したが、本願発明は上記実施態様に限定されるものではない。前述した実施態様において示した各構成の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本願発明の範囲内において種々の変形や変更が可能である。
本願発明は、材質に限定されず厚さが薄く剛性の低い薄板状体に適用可能であるが、特に液晶ディスプレイ用やOLED照明機器等に使用される厚さ0.5mm以下のガラス板を搬送する際に好適に適用される。また、幅や形状の異なる様々な形状の剛性の低い薄板状体を損傷させることなく安定して支持し搬送できるため、薄板状体を同一設備で搬送し多品種生産を行う際に好適である。
なお、2015年11月17日に出願された日本特許出願2015−224463号の明細書、特許請求の範囲、図面、及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
なお、2015年11月17日に出願された日本特許出願2015−224463号の明細書、特許請求の範囲、図面、及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
10: エアコンベア(搬送装置)、12: 搬送面、14: 吸着コンベア(搬送手段)、16: エアテーブル、20: 浮上手段、22: 第1の領域、24: 第2の領域、26: 吹付口、28: スリット、30: ノズル、31: 傾斜ノズル、40a〜40c、41a〜41c、42a〜42c、43a〜43c、52a〜52c、53a〜53c、54a〜54c: 区画(中空空間)、42: ケーシング、44: 仕切り壁、46: ホース(気体供給路)、48: スリット(吹付口)の流路、50: プレート
Claims (13)
- 搬送装置の搬送面上で薄板状体を気体により浮上させつつ、該薄板状体を搬送する薄板状体の搬送方法であって、
前記薄板状体の搬送方向に直交する前記薄板状体の幅方向の両端部近傍において、前記搬送装置の搬送面から前記薄板状体の下面に対し、前記薄板状体の幅方向の外側に向けて気体を吹き付けて該薄板状体を浮上させ搬送する第1の領域を備える薄板状体の搬送方法。 - 前記第1の領域と、前記薄板状体の下面に略鉛直方向に気体を吹き付ける第2の領域とを備え、
前記第1の領域が、前記薄板状体の幅方向の両端部のそれぞれ1/5以上の領域である請求項1に記載の薄板状体の搬送方法。 - 前記第1の領域が、前記薄板状体の幅方向の両端からそれぞれ50〜400mmの領域である請求項1または2に記載の薄板状体の搬送方法。
- 前記第1の領域において、前記搬送面と前記薄板状体に吹きつけられる気体の吹付方向の成す角度αが20〜60°である請求項1〜3のいずれか1項に記載の薄板状体の搬送方法。
- 前記薄板状体が厚さ0.5mm以下のガラス板である請求項1〜4のいずれか1項に記載の薄板状体の搬送方法。
- 搬送装置の搬送面上で薄板状体を気体により浮上させつつ、該薄板状体を搬送する薄板状体の搬送装置であって、
前記搬送装置は、搬送面を備え、
前記搬送面には、前記薄板状体の搬送方向に直交する前記薄板状体の幅方向の両端部近傍において、前記搬送装置の前記搬送面から前記薄板状体の下面に対し、前記薄板状体の幅方向の外側に向けて気体を吹き付ける吹付口が形成された第1の領域を備える薄板状体の搬送装置。 - 前記搬送装置が、前記薄板状体の下面に略鉛直方向に気体を吹き付ける第2の領域を備える請求項6に記載の薄板状体の搬送装置。
- 前記第1の領域が、前記搬送装置の幅方向の両端部のそれぞれ1/5以上の領域である請求項6または7に記載の薄板状体の搬送装置。
- 前記第1の領域が、前記搬送装置の幅方向の両端からそれぞれ100〜1500mmの領域である請求項6〜8のいずれか1項に記載の薄板状体の搬送装置。
- 前記搬送装置は、前記第1の領域において前記吹付口が、複数のノズルまたは搬送方向に平行に形成されたスリットのうち少なくとも一方であり、前記搬送面と前記一方の吹付方向の成す角度αが20〜60°である請求項6〜9のいずれか1項に記載の薄板状体の搬送装置。
- 前記搬送装置は、前記薄板状体の駆動手段を備える請求項6〜10のいずれか1項に記載の薄板状体の搬送装置。
- 前記搬送装置は、前記搬送面の下側に、前記吹付口と連通する箱状の中空空間を備え、前記中空空間が複数に区切られている請求項6〜11のいずれか1項に記載の薄板状体の搬送装置。
- ガラス原料を溶解して溶融ガラスを製造し、溶融ガラスを薄板状に成形し、成形したガラス薄板状体を請求項1〜6のいずれか1項に記載の薄板状体の搬送方法によって搬送し、次いで、前記ガラス薄板状体を製品加工するガラス薄板状体製品の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015224463 | 2015-11-17 | ||
JP2015224463 | 2015-11-17 | ||
PCT/JP2016/083596 WO2017086257A1 (ja) | 2015-11-17 | 2016-11-11 | 薄板状体の搬送方法、装置、及びガラス薄板状体製品の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017086257A1 true JPWO2017086257A1 (ja) | 2018-08-30 |
Family
ID=58718881
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017551856A Withdrawn JPWO2017086257A1 (ja) | 2015-11-17 | 2016-11-11 | 薄板状体の搬送方法、装置、及びガラス薄板状体製品の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPWO2017086257A1 (ja) |
CN (1) | CN108349668A (ja) |
WO (1) | WO2017086257A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022513842A (ja) * | 2018-12-21 | 2022-02-09 | カティーバ, インコーポレイテッド | 基板の浮動を制御するデバイス、システム、および方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS495186U (ja) * | 1972-04-15 | 1974-01-17 | ||
JPH05124746A (ja) * | 1991-11-05 | 1993-05-21 | Toray Ind Inc | シート状物用エアコンベア装置 |
JPH10273223A (ja) * | 1997-01-30 | 1998-10-13 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 気流式アクチュエータ |
JP3955937B2 (ja) * | 2000-06-12 | 2007-08-08 | 東レエンジニアリング株式会社 | 基板の冷却方法およびその装置 |
KR101234473B1 (ko) * | 2005-06-20 | 2013-02-18 | 엘지디스플레이 주식회사 | 비접촉 반송 장치에서의 지지플랫폼 |
JP4594241B2 (ja) * | 2006-01-06 | 2010-12-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置、基板搬送方法及びコンピュータプログラム |
JP2008130892A (ja) * | 2006-11-22 | 2008-06-05 | Shinko Electric Co Ltd | エア浮上搬送装置、およびエア搬送方法 |
JP2010073883A (ja) * | 2008-09-18 | 2010-04-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置ならびに基板位置決め方法および装置 |
JP2012076877A (ja) * | 2010-10-01 | 2012-04-19 | Nitto Denko Corp | ワーク搬送方法およびワーク搬送装置 |
JP5912642B2 (ja) * | 2012-02-20 | 2016-04-27 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の搬送装置及びその搬送方法 |
CN102674007B (zh) * | 2012-04-27 | 2015-05-20 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶面板搬运方法及搬运装置 |
CN104703898A (zh) * | 2012-10-05 | 2015-06-10 | 旭硝子株式会社 | 辊式输送设备、板状体的检查装置、及玻璃板的制造装置 |
-
2016
- 2016-11-11 JP JP2017551856A patent/JPWO2017086257A1/ja not_active Withdrawn
- 2016-11-11 WO PCT/JP2016/083596 patent/WO2017086257A1/ja active Application Filing
- 2016-11-11 CN CN201680066665.XA patent/CN108349668A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2017086257A1 (ja) | 2017-05-26 |
CN108349668A (zh) | 2018-07-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5998086B2 (ja) | 浮上用エアプレート | |
JP2008260591A (ja) | 薄板状材料搬送装置及び方法 | |
JP2006222209A (ja) | エア浮上ユニット、搬送方法、及びエア浮上搬送装置 | |
JP2003063643A (ja) | 薄板の搬送方法及び装置 | |
TW201701329A (zh) | 環境形成裝置及浮上搬運方法 | |
JP4349101B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
WO2017086257A1 (ja) | 薄板状体の搬送方法、装置、及びガラス薄板状体製品の製造方法 | |
JP4229670B2 (ja) | 薄板状材の搬送方法及び装置 | |
JP6331454B2 (ja) | スクライブ装置 | |
EP2020390A1 (en) | Bottle conveying apparatus and bottle conveying method | |
WO2017043306A1 (ja) | ガラス板の製造方法及びその製造装置 | |
TW201343521A (zh) | 搬運裝置 | |
JP4171293B2 (ja) | 薄板状材の搬送方法及び装置 | |
JP2016199376A (ja) | 基板搬送装置 | |
TWI494201B (zh) | 玻璃面板之異物掉落避免裝置 | |
JP2023047904A (ja) | 非接触搬送装置、およびフィルムの製造方法 | |
JP2005200174A (ja) | エアフロー整列キャップ供給器 | |
JP6641663B2 (ja) | ガラス板の製造方法及びその製造装置 | |
TW201620846A (zh) | 用於玻璃網狀物的流體操控之方法及操控設備 | |
JP2006029644A (ja) | 連続熱処理炉 | |
CN104245547A (zh) | 输送装置 | |
JP6690980B2 (ja) | ガラス基板の搬送方法、ガラス基板搬送装置 | |
JP4214468B2 (ja) | 搬送装置 | |
JP6402940B2 (ja) | スクライブ装置 | |
JP2023047903A (ja) | 非接触搬送装置、およびフィルムの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190807 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20200312 |