JPH06156678A - 基板搬送装置の発塵防止装置 - Google Patents
基板搬送装置の発塵防止装置Info
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- JPH06156678A JPH06156678A JP33515892A JP33515892A JPH06156678A JP H06156678 A JPH06156678 A JP H06156678A JP 33515892 A JP33515892 A JP 33515892A JP 33515892 A JP33515892 A JP 33515892A JP H06156678 A JPH06156678 A JP H06156678A
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- pipe
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成により常に安定した所望通りの発
塵防止効果が得られ、洗浄液の消費量も必要最小限に抑
えられるようにする。 【構成】 均圧タンク44に純水を一旦貯留し、その貯留
された純水52を均圧タンクから一定の圧力で流出させて
純水供給パイプ40へ供給し、純水供給パイプに穿設され
た各純水流下孔46から各従動ギヤ28上へ純水をそれぞれ
流下させる。従動ギヤ上に落下した純水は、従動ギヤを
伝って従動ギヤと駆動ギヤ32との噛合い部分へ行き渡
り、その部分での発塵が防止される。
塵防止効果が得られ、洗浄液の消費量も必要最小限に抑
えられるようにする。 【構成】 均圧タンク44に純水を一旦貯留し、その貯留
された純水52を均圧タンクから一定の圧力で流出させて
純水供給パイプ40へ供給し、純水供給パイプに穿設され
た各純水流下孔46から各従動ギヤ28上へ純水をそれぞれ
流下させる。従動ギヤ上に落下した純水は、従動ギヤを
伝って従動ギヤと駆動ギヤ32との噛合い部分へ行き渡
り、その部分での発塵が防止される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、液晶製造装置や半導
体製造装置の洗浄槽や現像槽などの処理槽内或いは連設
された複数の処理槽内においてガラス基板やシリコンウ
エハなどの各種基板を搬送する基板搬送装置において、
基板搬送に際して塵埃の発生を抑えるための発塵防止装
置に関する。
体製造装置の洗浄槽や現像槽などの処理槽内或いは連設
された複数の処理槽内においてガラス基板やシリコンウ
エハなどの各種基板を搬送する基板搬送装置において、
基板搬送に際して塵埃の発生を抑えるための発塵防止装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶製造装置や半導体製造装置の洗浄槽
や現像槽などの処理槽内において或いは連設された複数
の処理槽内において基板搬送装置によりガラス基板やシ
リコンウエハ等の基板を搬送する場合、基板搬送装置か
らの発塵が問題になる。すなわち、基板搬送装置は、一
般に基板の搬送方向に間隔をあけて複数本の搬送ローラ
を、それぞれ基板搬送方向に対し直交するように水平姿
勢で回転自在に支持して並設し、駆動源によって回転駆
動される複数の駆動ギヤ、及び、各搬送ローラの回転軸
の端部に固着されかつ各駆動ギヤの上方に配置されて各
駆動ギヤとそれぞれ噛合する複数の従動ギヤを介し、そ
れぞれの搬送ローラを回転駆動させることにより、複数
の搬送ローラ上を基板が搬送されていくように構成され
ているが、このような構成の基板搬送装置では、駆動ギ
ヤと従動ギヤとの噛合い部分などから摩耗粉が発生し、
それが塵埃となって処理槽内などへ飛散し、それが搬送
中の基板の表面に付着して基板を汚染する、といった問
題があった。
や現像槽などの処理槽内において或いは連設された複数
の処理槽内において基板搬送装置によりガラス基板やシ
リコンウエハ等の基板を搬送する場合、基板搬送装置か
らの発塵が問題になる。すなわち、基板搬送装置は、一
般に基板の搬送方向に間隔をあけて複数本の搬送ローラ
を、それぞれ基板搬送方向に対し直交するように水平姿
勢で回転自在に支持して並設し、駆動源によって回転駆
動される複数の駆動ギヤ、及び、各搬送ローラの回転軸
の端部に固着されかつ各駆動ギヤの上方に配置されて各
駆動ギヤとそれぞれ噛合する複数の従動ギヤを介し、そ
れぞれの搬送ローラを回転駆動させることにより、複数
の搬送ローラ上を基板が搬送されていくように構成され
ているが、このような構成の基板搬送装置では、駆動ギ
ヤと従動ギヤとの噛合い部分などから摩耗粉が発生し、
それが塵埃となって処理槽内などへ飛散し、それが搬送
中の基板の表面に付着して基板を汚染する、といった問
題があった。
【０００３】従来、上記したような問題を解決するため
に、図６に概略図を示すように、ギヤバット３に洗浄用
の純水４を供給するとともにオーバーフロー管５を通し
てギヤバット３の外部へ純水の一部を溢流させることに
よりギヤバット３内の純水４の液面を一定に保ち、搬送
ローラ（図示せず）の回転軸の端部に固着された従動ギ
ヤ１に噛み合う駆動ギヤ２の一部をギヤバット３内の純
水４中に浸漬させるようにした発塵防止装置が使用され
ている。この装置では、駆動ギヤ２が純水４中に浸され
て回転することにより、駆動ギヤ２と従動ギヤ１との噛
み合い部分にまで純水４が掻き上げられて行き渡り、両
ギヤ１、２の噛合い部分が純水で濡らされることによっ
てその部分の潤滑が良好になるとともに塵埃の飛散が防
止されるようにしている。
に、図６に概略図を示すように、ギヤバット３に洗浄用
の純水４を供給するとともにオーバーフロー管５を通し
てギヤバット３の外部へ純水の一部を溢流させることに
よりギヤバット３内の純水４の液面を一定に保ち、搬送
ローラ（図示せず）の回転軸の端部に固着された従動ギ
ヤ１に噛み合う駆動ギヤ２の一部をギヤバット３内の純
水４中に浸漬させるようにした発塵防止装置が使用され
ている。この装置では、駆動ギヤ２が純水４中に浸され
て回転することにより、駆動ギヤ２と従動ギヤ１との噛
み合い部分にまで純水４が掻き上げられて行き渡り、両
ギヤ１、２の噛合い部分が純水で濡らされることによっ
てその部分の潤滑が良好になるとともに塵埃の飛散が防
止されるようにしている。
【０００４】また、図７に概略図を示すように、純水供
給源に、純水供給バルブ９が介挿された純水供給路６を
介して純水供給パイプ７を流路接続し、その純水供給パ
イプ７を複数の従動ギヤ１のそれぞれの上方に位置させ
るように配設して、その純水供給パイプ７の、各従動ギ
ヤ１に対応する個所にそれぞれ純水供給孔８を形設し、
純水供給源から純水供給パイプ７へ送給されてくる純水
を各純水供給孔８から各従動ギヤ１上へそれぞれ流下さ
せることにより、駆動ギヤ２と従動ギヤ１との噛合い部
分の潤滑を良くするとともにその部分での発塵を防止す
るようにした装置も使用されている。
給源に、純水供給バルブ９が介挿された純水供給路６を
介して純水供給パイプ７を流路接続し、その純水供給パ
イプ７を複数の従動ギヤ１のそれぞれの上方に位置させ
るように配設して、その純水供給パイプ７の、各従動ギ
ヤ１に対応する個所にそれぞれ純水供給孔８を形設し、
純水供給源から純水供給パイプ７へ送給されてくる純水
を各純水供給孔８から各従動ギヤ１上へそれぞれ流下さ
せることにより、駆動ギヤ２と従動ギヤ１との噛合い部
分の潤滑を良くするとともにその部分での発塵を防止す
るようにした装置も使用されている。
【０００５】さらに、特開平３−２８３４８７号公報に
は、図６に示した構成と図７に示した構成との両方を具
備した発塵防止装置が開示されている。すなわち、同号
公報には、基板を搬送するために設けられた複数の搬送
ローラを駆動させる駆動ギヤ及び従動ギヤにおける発塵
を防止するため、駆動軸に固着された駆動ギヤの一部
を、受け皿内に貯留された洗浄液（純水）中に浸漬させ
るようにするとともに、駆動ギヤで駆動されて搬送ロー
ラを回転させる従動ギヤの上方に給液ノズルを設け、こ
の給液ノズルより直接純水などを従動ギヤに吹きかけ
て、従動ギヤ及び駆動ギヤを洗浄するように構成された
発塵防止装置が記載されている。
は、図６に示した構成と図７に示した構成との両方を具
備した発塵防止装置が開示されている。すなわち、同号
公報には、基板を搬送するために設けられた複数の搬送
ローラを駆動させる駆動ギヤ及び従動ギヤにおける発塵
を防止するため、駆動軸に固着された駆動ギヤの一部
を、受け皿内に貯留された洗浄液（純水）中に浸漬させ
るようにするとともに、駆動ギヤで駆動されて搬送ロー
ラを回転させる従動ギヤの上方に給液ノズルを設け、こ
の給液ノズルより直接純水などを従動ギヤに吹きかけ
て、従動ギヤ及び駆動ギヤを洗浄するように構成された
発塵防止装置が記載されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図６に
示したような構成の装置では、駆動ギヤ２は通常疎水性
材質で形成されているため、駆動ギヤ２と従動ギヤ１と
の噛合い部分までは純水４が行き渡らず、塵埃の発生を
抑えることはできなかった。
示したような構成の装置では、駆動ギヤ２は通常疎水性
材質で形成されているため、駆動ギヤ２と従動ギヤ１と
の噛合い部分までは純水４が行き渡らず、塵埃の発生を
抑えることはできなかった。
【０００７】一方、図７に示したような構成の装置で
は、純水供給バルブ９を調整して常に一定量の純水が従
動ギヤ１上へ流下するように制御するのは難しく、純水
供給源側の一次圧が変動すると、純水の流下量も変わっ
てしまうことになる。また、純水供給パイプ７に孔を形
成しただけでは、その純水供給孔８から各従動ギヤ１上
へそれぞれ正確に純水を落下させることも難しい。
は、純水供給バルブ９を調整して常に一定量の純水が従
動ギヤ１上へ流下するように制御するのは難しく、純水
供給源側の一次圧が変動すると、純水の流下量も変わっ
てしまうことになる。また、純水供給パイプ７に孔を形
成しただけでは、その純水供給孔８から各従動ギヤ１上
へそれぞれ正確に純水を落下させることも難しい。
【０００８】また、特開平３−２８３４８７号公報に開
示された発塵防止装置のように、給液ノズルから直接洗
浄液（純水）を従動ギヤに吹きかけてギヤを洗浄する構
成では、給液ノズルから従動ギヤへ噴射される洗浄液の
量を制御することが困難である。すなわち、多量の洗浄
液を給液ノズルから従動ギヤに向けて噴射させるように
すれば十分な発塵防止効果が得られるが、洗浄液の消費
量が多くなってしまうといった問題点がある。逆に、洗
浄液の噴射量を少なくし過ぎると、期待する程度の発塵
防止効果が得られない。さらに、給液ノズルからの噴射
量は、洗浄液供給路中に介設された供給バルブを操作し
て制御されるように構成されるが、洗浄液供給源の供給
圧力が変化すると洗浄液の噴射量も変化してしまうこと
になるため、給液ノズルからの噴射量を安定して維持す
ることは極めて困難である。
示された発塵防止装置のように、給液ノズルから直接洗
浄液（純水）を従動ギヤに吹きかけてギヤを洗浄する構
成では、給液ノズルから従動ギヤへ噴射される洗浄液の
量を制御することが困難である。すなわち、多量の洗浄
液を給液ノズルから従動ギヤに向けて噴射させるように
すれば十分な発塵防止効果が得られるが、洗浄液の消費
量が多くなってしまうといった問題点がある。逆に、洗
浄液の噴射量を少なくし過ぎると、期待する程度の発塵
防止効果が得られない。さらに、給液ノズルからの噴射
量は、洗浄液供給路中に介設された供給バルブを操作し
て制御されるように構成されるが、洗浄液供給源の供給
圧力が変化すると洗浄液の噴射量も変化してしまうこと
になるため、給液ノズルからの噴射量を安定して維持す
ることは極めて困難である。
【０００９】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、簡単な構成により常に安定した所望
通りの発塵防止効果が得られ、洗浄液の消費量も必要最
小限に抑えることができるような発塵防止装置を提供す
ることを目的とする。
されたものであり、簡単な構成により常に安定した所望
通りの発塵防止効果が得られ、洗浄液の消費量も必要最
小限に抑えることができるような発塵防止装置を提供す
ることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明では、洗浄液を
一旦貯留するとともに、その貯留されている洗浄液を一
定の圧力で流出させる均圧タンクを設け、その均圧タン
クから洗浄液供給手段へ洗浄液を供給するようにし、洗
浄液供給手段の、各従動ギヤの直上位置にそれぞれ、各
従動ギヤ上へ洗浄液を流下させるための流下口を形設す
るようにして、基板搬送装置の発塵防止装置を構成し
た。
一旦貯留するとともに、その貯留されている洗浄液を一
定の圧力で流出させる均圧タンクを設け、その均圧タン
クから洗浄液供給手段へ洗浄液を供給するようにし、洗
浄液供給手段の、各従動ギヤの直上位置にそれぞれ、各
従動ギヤ上へ洗浄液を流下させるための流下口を形設す
るようにして、基板搬送装置の発塵防止装置を構成し
た。
【００１１】上記構成の発塵防止装置において、上記洗
浄液供給手段を、一端が均圧タンクの流出口に流路接続
されるとともに他端が閉塞され、複数の従動ギヤのそれ
ぞれの上方に位置するように配設されて、各従動ギヤに
対応する個所にそれぞれ孔が穿設された単一のパイプに
より構成することができる。また、この場合、パイプ
の、各孔の穿設個所に対応する位置に、それぞれＯリン
グを嵌挿したり、パイプ外周面の、各孔の穿設個所に対
応する位置に、それぞれ円周方向の環状溝を形成し、そ
の各環状溝に前記各孔をそれぞれ形成するようにした
り、パイプに穿設された各孔に、それぞれパイプ外周面
側に座ぐりを形成するようにしたりすることができる。
また、均圧タンクを、洗浄液が常時供給されて貯留され
る貯留槽と、この貯留槽に貯留される洗浄液を貯留槽外
へ溢流させて貯留槽内の洗浄液の液面を一定高さに保つ
オーバーフロー管とを有し、貯留槽内に貯留され一定液
面に保たれた洗浄液を流出口から洗浄液供給手段に供給
するように構成することができる。
浄液供給手段を、一端が均圧タンクの流出口に流路接続
されるとともに他端が閉塞され、複数の従動ギヤのそれ
ぞれの上方に位置するように配設されて、各従動ギヤに
対応する個所にそれぞれ孔が穿設された単一のパイプに
より構成することができる。また、この場合、パイプ
の、各孔の穿設個所に対応する位置に、それぞれＯリン
グを嵌挿したり、パイプ外周面の、各孔の穿設個所に対
応する位置に、それぞれ円周方向の環状溝を形成し、そ
の各環状溝に前記各孔をそれぞれ形成するようにした
り、パイプに穿設された各孔に、それぞれパイプ外周面
側に座ぐりを形成するようにしたりすることができる。
また、均圧タンクを、洗浄液が常時供給されて貯留され
る貯留槽と、この貯留槽に貯留される洗浄液を貯留槽外
へ溢流させて貯留槽内の洗浄液の液面を一定高さに保つ
オーバーフロー管とを有し、貯留槽内に貯留され一定液
面に保たれた洗浄液を流出口から洗浄液供給手段に供給
するように構成することができる。
【００１２】
【作用】上記した構成の発塵防止装置では、洗浄液供給
源から洗浄液を一旦均圧タンクへ送給し、均圧タンクか
ら洗浄液供給手段へ洗浄液が供給されるようになってい
るので、洗浄液供給源の供給圧力（一次圧）が変動して
も、洗浄液供給手段へは常に安定した量の洗浄液が供給
され、洗浄液供給手段の各流下口から各従動ギヤ上へそ
れぞれ安定した量の洗浄液が流下する。そして、従動ギ
ヤ上に落下した洗浄液は、従動ギヤを伝って従動ギヤと
駆動ギヤとの噛合い部分へ、さらに駆動ギヤへと行き渡
り、それらの各部が洗浄液で濡らされることにより、基
板搬送装置のギヤ部分での発塵が防止される。
源から洗浄液を一旦均圧タンクへ送給し、均圧タンクか
ら洗浄液供給手段へ洗浄液が供給されるようになってい
るので、洗浄液供給源の供給圧力（一次圧）が変動して
も、洗浄液供給手段へは常に安定した量の洗浄液が供給
され、洗浄液供給手段の各流下口から各従動ギヤ上へそ
れぞれ安定した量の洗浄液が流下する。そして、従動ギ
ヤ上に落下した洗浄液は、従動ギヤを伝って従動ギヤと
駆動ギヤとの噛合い部分へ、さらに駆動ギヤへと行き渡
り、それらの各部が洗浄液で濡らされることにより、基
板搬送装置のギヤ部分での発塵が防止される。
【００１３】また、パイプの、各孔の穿設個所に対応す
る位置に、それぞれＯリングを嵌挿したり、パイプ外周
面の、各孔の穿設個所に対応する位置に、それぞれ円周
方向の環状溝を形成したり、パイプに穿設された各孔
に、それぞれパイプ外周面側に座ぐりを形成するように
構成したときは、パイプに形成された孔から流出した洗
浄液は、Ｏリングを伝って、また、環状溝或いは座ぐり
を伝って、各従動ギヤ上へそれぞれ的確にかつ均一滴下
量で落下することになる。
る位置に、それぞれＯリングを嵌挿したり、パイプ外周
面の、各孔の穿設個所に対応する位置に、それぞれ円周
方向の環状溝を形成したり、パイプに穿設された各孔
に、それぞれパイプ外周面側に座ぐりを形成するように
構成したときは、パイプに形成された孔から流出した洗
浄液は、Ｏリングを伝って、また、環状溝或いは座ぐり
を伝って、各従動ギヤ上へそれぞれ的確にかつ均一滴下
量で落下することになる。
【００１４】
【実施例】以下、この発明の好適な実施例について図面
を参照しながら説明する。
を参照しながら説明する。
【００１５】図１は、この発明の１実施例を示し、発塵
防止装置を備えた基板搬送装置を洗浄槽に配設した場合
の、基板の搬送方向に対し直交する方向に沿った縦断面
図である。また、図２は、図１のII−II矢視断面であっ
て、純水供給パイプと駆動ギヤ及び従動ギヤとの配置関
係を示す図である。
防止装置を備えた基板搬送装置を洗浄槽に配設した場合
の、基板の搬送方向に対し直交する方向に沿った縦断面
図である。また、図２は、図１のII−II矢視断面であっ
て、純水供給パイプと駆動ギヤ及び従動ギヤとの配置関
係を示す図である。
【００１６】図１において、洗浄槽10の内部には、基板
の搬送方向に間隔をあけて複数本の搬送ローラが並設さ
れており、各搬送ローラには、その回転軸14の両端部が
支持部16に回転自在に支持され、基板搬送方向に対し直
交するように水平姿勢でそれぞれ配設されている。ま
た、搬送ローラ12上に保持されて搬送される基板18の上
方位置には、スプレイ管20が複数本、基板搬送方向に並
設されており、各スプレイ管20の多数のシャワーノズル
22から搬送中の基板18の表面に対し洗浄液、例えば純水
が吹きかけられるようになっている。そして、基板18の
表面を洗浄して基板18表面から流れ落ちた洗浄液は、配
水管24を通って洗浄槽10の外部へ排出されるようにされ
ている。
の搬送方向に間隔をあけて複数本の搬送ローラが並設さ
れており、各搬送ローラには、その回転軸14の両端部が
支持部16に回転自在に支持され、基板搬送方向に対し直
交するように水平姿勢でそれぞれ配設されている。ま
た、搬送ローラ12上に保持されて搬送される基板18の上
方位置には、スプレイ管20が複数本、基板搬送方向に並
設されており、各スプレイ管20の多数のシャワーノズル
22から搬送中の基板18の表面に対し洗浄液、例えば純水
が吹きかけられるようになっている。そして、基板18の
表面を洗浄して基板18表面から流れ落ちた洗浄液は、配
水管24を通って洗浄槽10の外部へ排出されるようにされ
ている。
【００１７】搬送ローラ12の回転軸14の一方側端部は軸
線方向に延長され、その延長軸部26に従動ギヤ28が固着
されている。各従動ギヤ28の下方には、駆動源に連結さ
れた駆動軸30にそれぞれ固着された駆動ギヤ32が、従動
ギヤ28と噛み合うように配設されている。駆動ギヤ32の
一部はギヤバット34内に貯留された洗浄液、例えば純水
36中に浸漬されている。また、ギヤバット34内の純水36
の液面は、ギヤバット34内の純水36の一部がオーバーフ
ロー管38を通って溢流し、ギヤバット34の外部へ排出さ
れることにより、一定高さに保たれるようにされてい
る。
線方向に延長され、その延長軸部26に従動ギヤ28が固着
されている。各従動ギヤ28の下方には、駆動源に連結さ
れた駆動軸30にそれぞれ固着された駆動ギヤ32が、従動
ギヤ28と噛み合うように配設されている。駆動ギヤ32の
一部はギヤバット34内に貯留された洗浄液、例えば純水
36中に浸漬されている。また、ギヤバット34内の純水36
の液面は、ギヤバット34内の純水36の一部がオーバーフ
ロー管38を通って溢流し、ギヤバット34の外部へ排出さ
れることにより、一定高さに保たれるようにされてい
る。
【００１８】複数の従動ギヤ28の上方位置には、搬送ロ
ーラ12の軸線方向に対し直交し駆動軸30と平行に純水供
給パイプ40が配設されており、この純水供給パイプ40
は、ポリ塩化ビニル等で形成され、その一端が純水供給
管路42を介して均圧タンク44の流出口に流路接続されて
いる。また、純水供給パイプ40は、その他端が閉塞され
ており、複数の従動ギヤ28のそれぞれに対応する個所に
純水流下孔46が穿設されている。そして、図３に示すよ
うに、純水供給パイプ40の、各純水流下孔46の穿設個所
に対応する位置には、それぞれＯリング48が嵌挿されて
いる。尚、純水供給パイプ40にＯリング48を嵌挿するの
に代えて、図４に示すように、純水供給パイプ40ａの外
周面の、各純水流下孔46ａの穿設個所に対応する位置
に、それぞれ円周方向の環状溝48ａを形成するようにし
てもよいし、また、図５に示すように、純水供給パイプ
40ｂに穿設された各純粋流下孔46ｂに、それぞれパイプ
外周面側に座ぐり48ｂを形成するようにしてもよい。
ーラ12の軸線方向に対し直交し駆動軸30と平行に純水供
給パイプ40が配設されており、この純水供給パイプ40
は、ポリ塩化ビニル等で形成され、その一端が純水供給
管路42を介して均圧タンク44の流出口に流路接続されて
いる。また、純水供給パイプ40は、その他端が閉塞され
ており、複数の従動ギヤ28のそれぞれに対応する個所に
純水流下孔46が穿設されている。そして、図３に示すよ
うに、純水供給パイプ40の、各純水流下孔46の穿設個所
に対応する位置には、それぞれＯリング48が嵌挿されて
いる。尚、純水供給パイプ40にＯリング48を嵌挿するの
に代えて、図４に示すように、純水供給パイプ40ａの外
周面の、各純水流下孔46ａの穿設個所に対応する位置
に、それぞれ円周方向の環状溝48ａを形成するようにし
てもよいし、また、図５に示すように、純水供給パイプ
40ｂに穿設された各純粋流下孔46ｂに、それぞれパイプ
外周面側に座ぐり48ｂを形成するようにしてもよい。
【００１９】また、均圧タンク44は、洗浄液、例えば純
水52が純水供給源から常時供給されて貯留される貯留槽
50と、この貯留槽50に貯留される純水52を貯留槽50外へ
溢流させて貯留槽50内の純水52の液面を一定高さに保つ
オーバーフロー管54とを具備し、貯留槽50内に貯留され
て一定液面に保たれた純水を、底部近くに設けられた流
出口から一定の圧力で流出させ、常に一定圧力の純水を
純水供給パイプ40に供給するように構成されている。
水52が純水供給源から常時供給されて貯留される貯留槽
50と、この貯留槽50に貯留される純水52を貯留槽50外へ
溢流させて貯留槽50内の純水52の液面を一定高さに保つ
オーバーフロー管54とを具備し、貯留槽50内に貯留され
て一定液面に保たれた純水を、底部近くに設けられた流
出口から一定の圧力で流出させ、常に一定圧力の純水を
純水供給パイプ40に供給するように構成されている。
【００２０】上記した構成の発塵防止装置では、純水供
給源から純水を一旦均圧タンク44へ供給し、均圧タンク
44から純水供給管路42を通って純水供給パイプ40へ純水
が供給される。従って、純水供給源の供給圧力（一次
圧）が変動しても、純水供給パイプ40へは常に一定圧の
純水が供給される。そして、純水供給パイプ40の純水流
下孔46から流出した純水は、Ｏリング48を伝って流れ、
Ｏリング48から各従動ギヤ28上へそれぞれ的確にかつ均
一滴下量で落下する。従動ギヤ28上に落下した純水は、
従動ギヤ28を伝って従動ギヤ28と駆動ギヤ32との噛合い
部分へ、さらに駆動ギヤ32へと行き渡るとともに、駆動
ギヤ32がギヤバット34内の純水36中に浸されて回転する
ことにより、従動ギヤ28及び駆動ギヤ32並びに両ギヤ2
8、32の噛合い部分が純水で濡らされ、従動ギヤ28と駆
動ギヤ32との間の潤滑が良好になるとともに、塵埃の飛
散が防止される。
給源から純水を一旦均圧タンク44へ供給し、均圧タンク
44から純水供給管路42を通って純水供給パイプ40へ純水
が供給される。従って、純水供給源の供給圧力（一次
圧）が変動しても、純水供給パイプ40へは常に一定圧の
純水が供給される。そして、純水供給パイプ40の純水流
下孔46から流出した純水は、Ｏリング48を伝って流れ、
Ｏリング48から各従動ギヤ28上へそれぞれ的確にかつ均
一滴下量で落下する。従動ギヤ28上に落下した純水は、
従動ギヤ28を伝って従動ギヤ28と駆動ギヤ32との噛合い
部分へ、さらに駆動ギヤ32へと行き渡るとともに、駆動
ギヤ32がギヤバット34内の純水36中に浸されて回転する
ことにより、従動ギヤ28及び駆動ギヤ32並びに両ギヤ2
8、32の噛合い部分が純水で濡らされ、従動ギヤ28と駆
動ギヤ32との間の潤滑が良好になるとともに、塵埃の飛
散が防止される。
【００２１】
【発明の効果】この発明は以上説明したように構成され
かつ作用するので、この発明に係る発塵防止装置を基板
搬送装置に設けるようにしたときは、例え洗浄液供給源
側の一次圧が変動するようなことがあっても、常に安定
した所望通りの発塵防止効果が得られ、洗浄液の消費量
も必要最小限に抑えることができる。そして、この発明
に係る発塵防止装置は、構成も簡単である。
かつ作用するので、この発明に係る発塵防止装置を基板
搬送装置に設けるようにしたときは、例え洗浄液供給源
側の一次圧が変動するようなことがあっても、常に安定
した所望通りの発塵防止効果が得られ、洗浄液の消費量
も必要最小限に抑えることができる。そして、この発明
に係る発塵防止装置は、構成も簡単である。
【００２２】また、パイプの、各孔の穿設個所に対応す
る位置に、それぞれＯリングを嵌挿したり、パイプ外周
面の、各孔の穿設個所に対応する位置に、それぞれ円周
方向の環状溝を形成したり、パイプに穿設された各孔
に、それぞれパイプ外周面側に座ぐりを形成するように
構成したときは、洗浄液を各駆動ギヤ上へそれぞれ正確
にかつ均一滴下量で落下させることができ、より安定し
た発塵防止効果が得られる。
る位置に、それぞれＯリングを嵌挿したり、パイプ外周
面の、各孔の穿設個所に対応する位置に、それぞれ円周
方向の環状溝を形成したり、パイプに穿設された各孔
に、それぞれパイプ外周面側に座ぐりを形成するように
構成したときは、洗浄液を各駆動ギヤ上へそれぞれ正確
にかつ均一滴下量で落下させることができ、より安定し
た発塵防止効果が得られる。
【図１】この発明の１実施例を示し、発塵防止装置を備
えた基板搬送装置を洗浄槽に配設した場合の、基板の搬
送方向に対し直交する方向に沿った縦断面図である。
えた基板搬送装置を洗浄槽に配設した場合の、基板の搬
送方向に対し直交する方向に沿った縦断面図である。
【図２】図１のII−II矢視断面であって、純水供給パイ
プと駆動ギヤ及び従動ギヤとの配置関係を示す図であ
る。
プと駆動ギヤ及び従動ギヤとの配置関係を示す図であ
る。
【図３】純水供給パイプの、純水流下孔の穿設個所に対
応する位置にＯリングを嵌挿した例を示す一部破断斜視
図である。
応する位置にＯリングを嵌挿した例を示す一部破断斜視
図である。
【図４】純水供給パイプの外周面の、純水流下孔の穿設
個所に対応する位置に、円周方向の環状溝を形成した例
を示す部分正面図である。
個所に対応する位置に、円周方向の環状溝を形成した例
を示す部分正面図である。
【図５】純水供給パイプに穿設された純粋流下孔に座ぐ
りを形成した例を一部破断した状態で示す部分正面図で
ある。
りを形成した例を一部破断した状態で示す部分正面図で
ある。
【図６】従来の発塵防止装置の構成の１例を示す概略図
である。
である。
【図７】従来の発塵防止装置の構成の別の例を示す概略
図である。
図である。
10 洗浄槽 12 搬送ローラ 14 回転軸 18 基板 28 従動ギヤ 30 駆動軸 32 駆動ギヤ 40 純水供給パイプ 42 純水供給管路 44 均圧タンク 46、46ａ、46ｂ 純水流下孔 48 Ｏリング 48ａ 環状溝 48ｂ 座ぐり 50 貯留槽 52 純水 54 オーバーフロー管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 3/26 7511−4Ｅ
Claims (6)
- 【請求項１】 水平方向に並設されそれぞれ回転自在に
支持された複数本の搬送ローラの各回転軸の端部にそれ
ぞれ固着され、駆動源によって駆動される各駆動ギヤに
それぞれ噛み合う複数の従動ギヤに洗浄液を供給する洗
浄液供給手段を備えてなる、基板搬送装置の発塵防止装
置において、洗浄液を一旦貯留するとともに、その貯留
されている洗浄液を一定の圧力で流出させる均圧タンク
を設け、その均圧タンクの流出口と前記洗浄液供給手段
とを流路接続し、前記洗浄液供給手段の、前記各従動ギ
ヤの直上位置にそれぞれ、各従動ギヤ上へ洗浄液を流下
させるための流下口を形設したことを特徴とする、基板
搬送装置の発塵防止装置。 - 【請求項２】 洗浄液供給手段は、一端が均圧タンクの
流出口に流路接続されるとともに他端が閉塞され、複数
の従動ギヤのそれぞれの上方に位置するように配設され
て、各従動ギヤに対応する個所にそれぞれ孔が穿設され
た単一のパイプからなる請求項１記載の、基板搬送装置
の発塵防止装置。 - 【請求項３】 パイプの、各孔の穿設個所に対応する位
置に、それぞれＯリングが嵌挿された請求項２記載の、
基板搬送装置の発塵防止装置。 - 【請求項４】 パイプ外周面の、各孔の穿設個所に対応
する位置に、それぞれ円周方向の環状溝が形成され、そ
の各環状溝に前記各孔がそれぞれ形成された請求項２記
載の、基板搬送装置の発塵防止装置。 - 【請求項５】 パイプに穿設された各孔には、それぞれ
パイプ外周面側に座ぐりが形成された請求項２記載の、
基板搬送装置の発塵防止装置。 - 【請求項６】 均圧タンクは、洗浄液が常時供給されて
貯留される貯留槽と、この貯留槽に貯留される洗浄液を
貯留槽外へ溢流させて貯留槽内の洗浄液の液面を一定高
さに保つオーバーフロー管とを有し、貯留槽内に貯留さ
れ一定液面に保たれた洗浄液を流出口から洗浄液供給手
段に供給するように構成された請求項１記載の、基板搬
送装置の発塵防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33515892A JPH06156678A (ja) | 1992-11-21 | 1992-11-21 | 基板搬送装置の発塵防止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33515892A JPH06156678A (ja) | 1992-11-21 | 1992-11-21 | 基板搬送装置の発塵防止装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06156678A true JPH06156678A (ja) | 1994-06-03 |
Family
ID=18285421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33515892A Pending JPH06156678A (ja) | 1992-11-21 | 1992-11-21 | 基板搬送装置の発塵防止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06156678A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150040545A (ko) * | 2013-10-07 | 2015-04-15 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치, 그리고 기판 처리 장치를 이용한 기판 처리 방법 |
| JPWO2014054590A1 (ja) * | 2012-10-05 | 2016-08-25 | 旭硝子株式会社 | ローラコンベア及び板状体の検査装置、並びにガラス板の製造装置 |
| WO2018209816A1 (zh) * | 2017-05-19 | 2018-11-22 | 惠科股份有限公司 | 一种显示面板清洗装置 |
| WO2020050010A1 (ja) * | 2018-09-07 | 2020-03-12 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の製造装置、及びガラス板の製造方法 |
| CN112551035A (zh) * | 2020-10-30 | 2021-03-26 | 佛山市坦斯盯科技有限公司 | 一种具有清洁功能的aoi输送机 |
-
1992
- 1992-11-21 JP JP33515892A patent/JPH06156678A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2014054590A1 (ja) * | 2012-10-05 | 2016-08-25 | 旭硝子株式会社 | ローラコンベア及び板状体の検査装置、並びにガラス板の製造装置 |
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| WO2018209816A1 (zh) * | 2017-05-19 | 2018-11-22 | 惠科股份有限公司 | 一种显示面板清洗装置 |
| US11449040B2 (en) | 2017-05-19 | 2022-09-20 | HKC Corporation Limited | Cleaning device for display panel |
| WO2020050010A1 (ja) * | 2018-09-07 | 2020-03-12 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の製造装置、及びガラス板の製造方法 |
| CN112551035A (zh) * | 2020-10-30 | 2021-03-26 | 佛山市坦斯盯科技有限公司 | 一种具有清洁功能的aoi输送机 |
| CN112551035B (zh) * | 2020-10-30 | 2022-04-15 | 佛山市坦斯盯科技有限公司 | 一种具有清洁功能的aoi输送机 |
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