KR20130049362A - 적층 세라믹 커패시터 제조 방법 - Google Patents

적층 세라믹 커패시터 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20130049362A
KR20130049362A KR1020110114348A KR20110114348A KR20130049362A KR 20130049362 A KR20130049362 A KR 20130049362A KR 1020110114348 A KR1020110114348 A KR 1020110114348A KR 20110114348 A KR20110114348 A KR 20110114348A KR 20130049362 A KR20130049362 A KR 20130049362A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
ceramic
slurry
manufacturing
laminate
ceramic capacitor
Prior art date
Application number
KR1020110114348A
Other languages
English (en)
Inventor
김영호
김종한
정현철
Original Assignee
삼성전기주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전기주식회사 filed Critical 삼성전기주식회사
Priority to KR1020110114348A priority Critical patent/KR20130049362A/ko
Priority to US13/610,343 priority patent/US20130112338A1/en
Priority to JP2012201277A priority patent/JP2013098542A/ja
Publication of KR20130049362A publication Critical patent/KR20130049362A/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B18/00Layered products essentially comprising ceramics, e.g. refractory products
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/62605Treating the starting powders individually or as mixtures
    • C04B35/62625Wet mixtures
    • C04B35/6263Wet mixtures characterised by their solids loadings, i.e. the percentage of solids
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics
    • H01G4/1209Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/228Terminals
    • H01G4/232Terminals electrically connecting two or more layers of a stacked or rolled capacitor
    • H01G4/2325Terminals electrically connecting two or more layers of a stacked or rolled capacitor characterised by the material of the terminals
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/30Stacked capacitors
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/60Aspects relating to the preparation, properties or mechanical treatment of green bodies or pre-forms
    • C04B2235/612Machining
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/32Ceramic
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/10Methods of surface bonding and/or assembly therefor
    • Y10T156/1052Methods of surface bonding and/or assembly therefor with cutting, punching, tearing or severing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

본 발명은 적층 세라믹 커패시터 제조 방법에 관한 것으로, 내부전극이 인쇄된 세라믹 그린시트를 적층하여 세라믹 적층체를 형성하는 단계; 상기 세라믹 적층체에 열압착을 가하는 단계; 상기 세라믹 적층체를 절단하는 단계; 상기 세라믹 적층체에 슬러리를 침투시키는 단계; 및 상기 세라믹 적층체에 침투된 슬러리를 건조하는 단계;를 포함할 수 있다. 본 발명에 따르면, 적층 세라믹 커패시터 제조 공정시 발생하는 크랙(crack)이 제거되어 신뢰성이 우수한 적층 세라믹 커패시터를 제작할 수 있다.

Description

적층 세라믹 커패시터 제조 방법{MANUFACTURING METHOD OF MULTILAYER CERAMIC CAPACITOR}
본 발명은, 세라믹 커패시터 제조 공정 시 발생하는 크랙(crack)을 제거하는 적층 세라믹 커패시터 제조 방법에 관한 것이다.
적층 세라믹 커패시터는 내부 전극이 형성된 복수의 세라믹 그린시트가 적층되어 형성되며, 상기 적층물을 소성시키는 공정이 실시되는바, 이 때에 내부 전극 물질과 그린시트 물질의 소결수축개시온도와 수축율의 차이로 인해 심한 응력이 발생될 수 있다. 이로 인해 적층 세라믹 커패시터의 기능문제 및 구조상 결함과 같은 불량이 발생하기 쉽다.
또한, 전자 기기가 소형화 및 다기능화됨에 따라, 소형화 및 고용량화를 만족하는 적층 세라믹 커패시터가 요구된다.
적층 세라믹 커패시터가 소형화됨에 따라, 세라믹 그린시트의 절단이나 소결과 같은 작은 내부응력 변화에도 유전체 층과 내부 전극층 사이의 계면에 크랙(crack)과 같은 내부 결함의 문제점이 발생할 수 있다.
유전체 층과 내부 전극층 사이의 계면에 크랙(crack)과 같은 내부 결함이 발생하는 경우는 용량 확보와 같은 원하는 특성을 얻을 수가 없으며, 적층 세라믹 커패시터와 같은 적층 세라믹 전자 부품의 신뢰성이 낮아진다.
본 발명은 상기 종래 기술의 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 크랙(crack)을 제거하는 단계를 거쳐 신뢰성이 우수한 적층 세라믹 커패시터를 구현할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 적층 세라믹 커패시터 제조 방법은 내부전극이 인쇄된 세라믹 그린시트를 적층하여 세라믹 적층체를 형성하는 단계; 상기 세라믹 적층체를 절단하는 단계; 상기 세라믹 적층체에 세라믹 파우더가 포함된 슬러리를 도포하는 단계; 및 상기 세라믹 적층체에 도포된 슬러리를 건조하는 단계;를 포함한다.
상기 세라믹 적층체에 도포된 슬러리를 건조하는 단계 후, 상기 내부전극와 전기적으로 연결되도록 외부전극용 도전성 페이스트를 상기 세라믹 적층체의 단부에 도포하는 단계; 및 상기 세라믹 적층체를 소성하여 외부전극을 형성하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
상기 슬러리의 세라믹 파우더는 상기 세라믹 그린시트의 세라믹과 동일계열의 물질일 수 있다.
상기 슬러리는 용해도 매개변수(Solubility Parameter, SP)가 7.1 내지 8.0 (cal/cm3)0.5인 것이 바람직하다.
상기 슬러리는 세라믹 파우더의 고형분 함량이 3 내지 20% 인 것이 바람직하다.
상기 슬러리는 10rpm에서의 점도와 100rpm에서의 점도의 비가 1.6 내지 3.0 인 것이 바람직하다.
상기 세라믹 적층체에 상기 슬러리를 도포하는 단계는 디핑(dipping)함으로써 수행되거나, 또는 스프레이(spray)법으로 수행될 수 있다.
본 발명에 의하면, 적층 세라믹 커패시터 제조 과정에서 발생하는 크랙이 제거되어, 신뢰도가 높은 적층 세라믹 커패시터가 제공될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 적층 세라믹 커패시터 제조 방법을 설명하는 공정도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 적층 세라믹 커패시터 제조 방법을 설명하는 공정도이다.
도 3는 본 발명의 실시예에 따라 제조된 적층 세라믹 커패시터의 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 설명한다.
그러나, 본 발명의 실시 형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시 형태로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 실시 형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상 동일한 도면 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.
이하에서, 도 1 내지 도 3를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 적층 세라믹 커패시터 제조 방법에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 적층 세라믹 커패시터 제조 방법을 설명하는 공정도이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 내부 전극이 형성된 제1 세라믹 그린 시트와 제2 내부 전극이 형성된 제2 세라믹 그린 시트를 마련한다. 상기 제1 세라믹 그린 시트와 제2 세라믹 그린 시트를 교대로 적층하여 세라믹 적층체를 형성한다.
상기 제1 내부 전극 및 제2 내부 전극은 금속 입자를 함유하는 도전성 페이스트를 도포함으로써 상기 제1 세라믹 그린 시트 및 제2 세라믹 그린 시트에 인쇄할 수 있다.
상기 제1 세라믹 그린 시트 및 제2 세라믹 그린시트를 교대로 적층하여 형성된 세라믹 적층체를 열압착한 후 상기 세라믹 적층체를 절단하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 세라믹 적층체에 세라믹 파우더를 포함한 슬러리를 도포하고, 세라믹 적층체에 도포된 상기 슬러리를 건조하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 세라믹 적층체에 슬러리를 도포하는 단계는 상기 세라믹 적층체를 슬러리에 디핑(dipping)함으로써 수행될 수 있다.
상기 세라믹 적층체를 절단하는 과정에서 내부전극과 세라믹이 칼날에 의해 벌어지거나, 소성시 내부 전극 물질과 그린시트 물질의 수축율 차이로 인한 내부응력 변화로 인해 크랙(crack)이 발생할 수 있다.
본 발명은 상기 세라믹 적층체의 내부전극과 세라믹이 벌어지거나 내부응력 차이로 인해 크랙(crack)이 발생한 부분에, 상기 세라믹 그린시트를 구성하는 세라믹 물질과 동일 계열의 세라믹 파우더가 포함된 슬러리를 도포한 후 건조하여 크랙(crack)을 슬러리로 메울 수 있다.
이후, 상기 제1 내부전극 및 제2 내부전극과 전기적으로 연결되도록 외부전극용 도전성 페이스트를 상기 세라믹 적층체의 단부에 도포하고, 상기 세라믹 적층체를 소성한 후 외부전극을 형성하여 적측 세라믹 커패시터를 제작할 수 있다.
따라서, 본 발명은 세라믹 적층체에 슬러리를 도포하는 공정을 통해 적층 세라믹 커패시터에 크랙(crack)이 발생하는 것을 방지할 수 있으며, 이에 따라 신뢰성이 우수한 적층 세라믹 커패시터를 제조할 수 있다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 적층 세라믹 커패시터의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도이다.
도 2에 따르면, 상기 세라믹 적층체에 슬러리를 도포하는 단계는, 상기 세라믹 파우더가 포함된 슬러리를 상기 세라믹 적층체에 뿌려서 분산시키는 스프레이(spray)법으로 수행될 수 있다. 상기 슬러리가 크랙 발생부에 분산되어 도포됨으로써, 크랙을 억제할 수 있다.
본 발명자 등은 상기 슬러리의 용해도 매개변수(Solubility Parameter, SP), 세라믹 파우더의 고형분 함량 및 10rpm에서의 점도와 100rpm에서의 점도의 비(이하,점도비)를 다양하게 바꾼 28개의 소결조제의 샘플 1 ~ 28을 시작(試作)했다. 상기 슬러리의 SP값, 세라믹 파우더의 고형분 함량 및 점도비에 따른 전극 연결성 및 크랙 제거 유무를 표 1에 나타냈다.
SP값
(cal/
cm3)0.5
고형분
(%)
점도
(10rpm)
점도
(100rpm)
점도비
(10/100)
전극
연결성
크랙제거
유무
1


9.0~9.9


3 30 10 3.00
2 5 50 20 2.50
3 10 100 50 2.00
4 15 150 90 1.67
5 20 200 125 1.60
6 25 250 160 1.56 × ×
7 30 300 200 1.50 × ×
8


8.1~9.0


3 30 10 3.00 ×
9 5 50 20 2.50 ×
10 10 100 50 2.00 ×
11 15 150 90 1.67 ×
12 20 200 125 1.60 ×
13 25 250 160 1.56 ×
14 30 300 200 1.50 ×
15


7.1~8.0


3 30 10 3.00
16 5 50 20 2.50
17 10 100 50 2.00
18 15 150 90 1.67
19 20 200 125 1.60
20 25 250 160 1.56
21 30 300 200 1.50
22


5.1~7.0


3 30 20 1.50 ×
23 5 50 30 1.67 ×
24 10 100 80 1.25 ×
25 15 150 120 1.25 ×
26 20 200 180 1.11 ×
27 25 250 230 1.09 ×
28 30 300 280 1.07 ×
샘플 1 내지 7은 SP값이 9.0 내지 9.9 이고, 세라믹 파우더의 고형분 함량을 3 내지 30 %, 점도비를 1.50 내지 3.00으로 변경하여 제조한 슬러리이다.
샘플 8 내지 14는 SP값이 8.1 내지 9.0 이고, 세라믹 파우더의 고형분 함량을 3 내지 30 %, 점도비를 1.50 내지 3.00으로 변경하여 제조한 슬러리이다.
샘플 15 내지 21은 SP값이 7.1 내지 8.0 이고, 세라믹 파우더의 고형분 함량을 3 내지 30 %, 점도비를 1.50 내지 3.00으로 변경하여 제조한 슬러리이다.
샘플 22 내지 28은 SP값이 5.1 내지 7.0 이고, 세라믹 파우더의 고형분 함량을 3 내지 30 %, 점도비를 1.07 내지 1.50으로 변경하여 제조한 슬러리이다.
세라믹 적층체를 절단한 후, 상기 절단한 세라믹 적층체에 각 샘플로 제조한 슬러리를 도포하였다. 세라믹 적층체에 슬러리를 도포하는 단계는 디핑(dipping)법으로 수행될 수 있고, 또는 스프레이(spray)법으로 수행될 수 있다. 세라믹 적층체에 도포된 슬러리를 건조한 후 세라믹 적층체를 소성하여, 적층 세라믹 커패시터의 전극 연결성 및 크랙 제거 유무를 측정하였다.
크랙 제거율이 75% 이하인 것은 불량(×), 75 내지 85% 인 것은 양호(○), 85% 이상인 것은 우수(◎) 한 것으로 표시하였다.
표1 에 의하면, 슬러리의 SP 값이 5.1 내지 9.0 이거나, 세라믹 파우더 고형분의 함량이 3 내지 20 % 이거나, 슬러리의 점도비가 1.6 내지 3.0 일 때 크랙이 75%이상 제거된다.
가장 바람직하게는 슬러리의 SP 값이 7.1 내지 8.0 이고, 세라믹 파우더 고형분 함량이 3 내지 20% 이며 슬러리의 점도비가 1.6 내지 3.0 일 때, 우수한 전극 연결성 및 높은 크랙 제거율을 동시에 만족할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 제조된 적층 세라믹 커패시터의 사시도이다.
본 발명은 세라믹 적층체에 슬러리를 침투시켜 제조 공정 시 발생한 크랙(crack)을 상기 슬러리로 메움으로써, 크랙 발생율을 낮출 수 있다. 이에 따라, 적층 세라믹 커패시터의 신뢰성을 높이는 효과를 나타낼 수 있다.
이상에서 본 발명이 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명이 상기 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형을 꾀할 수 있다.
따라서, 본 발명의 사상은 상기 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등하게 또는 등가적으로 변형된 모든 것들은 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
3: 외부 전극
10: 세라믹 적층체

Claims (8)

  1. 내부전극이 인쇄된 세라믹 그린시트를 적층하여 세라믹 적층체를 형성하는 단계;
    상기 세라믹 적층체를 절단하는 단계;
    상기 세라믹 적층체에 세라믹 파우더가 포함된 슬러리를 도포하는 단계; 및
    상기 세라믹 적층체에 도포된 슬러리를 건조하는 단계;를
    포함하는 적층 세라믹 커패시터 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 슬러리의 세라믹 파우더는 상기 세라믹 그린시트의 세라믹과 동일 계열의 물질인 적층 세라믹 커패시터 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 슬러리는 용해도 매개변수(Solubility Parameter, SP)가 7.1 내지 8.0 (cal/cm3)0.5 인 적층 세라믹 커패시터 제조 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 슬러리는 세라믹 파우더의 고형분 함량이 3 내지 20% 인 적층 세라믹 커패시터 제조 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 슬러리는 10rpm에서의 점도와 100rpm에서의 점도의 비가 1.6 내지 3.0 인 적층 세라믹 커패시터 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 세라믹 적층체에 슬러리를 도포하는 단계는,
    디핑(dipping)함으로써 수행되는 적층 세라믹 커패시터 제조 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 세라믹 적층체에 슬러리를 도포하는 단계는,
    스프레이(spray)법으로 수행되는 적층 세라믹 커패시터 제조 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 세라믹 적층체에 도포된 슬러리를 건조하는 단계 후,
    상기 내부전극와 전기적으로 연결되도록 외부전극용 도전성 페이스트를 상기 세라믹 적층체의 단부에 도포하는 단계; 및
    상기 세라믹 적층체를 소성하여 외부전극을 형성하는 단계;를 더 포함하는 적층 세라믹 커패시터 제조 방법.
KR1020110114348A 2011-11-04 2011-11-04 적층 세라믹 커패시터 제조 방법 KR20130049362A (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110114348A KR20130049362A (ko) 2011-11-04 2011-11-04 적층 세라믹 커패시터 제조 방법
US13/610,343 US20130112338A1 (en) 2011-11-04 2012-09-11 Method of manufacturing multilayer ceramic capacitor
JP2012201277A JP2013098542A (ja) 2011-11-04 2012-09-13 積層セラミックキャパシタの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110114348A KR20130049362A (ko) 2011-11-04 2011-11-04 적층 세라믹 커패시터 제조 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20130049362A true KR20130049362A (ko) 2013-05-14

Family

ID=48222897

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110114348A KR20130049362A (ko) 2011-11-04 2011-11-04 적층 세라믹 커패시터 제조 방법

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20130112338A1 (ko)
JP (1) JP2013098542A (ko)
KR (1) KR20130049362A (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6738748B2 (ja) * 2017-02-08 2020-08-12 日本特殊陶業株式会社 セラミックヒータの製造方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4771520A (en) * 1985-04-25 1988-09-20 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method of producing laminated ceramic capacitors
JPH03108306A (ja) * 1989-09-21 1991-05-08 Murata Mfg Co Ltd 積層コンデンサの製造方法
JPH05175073A (ja) * 1991-12-25 1993-07-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd 積層セラミックコンデンサの製造方法
JP3601671B2 (ja) * 1998-04-28 2004-12-15 株式会社村田製作所 複合積層体の製造方法
JP3641144B2 (ja) * 1998-09-11 2005-04-20 株式会社東芝 溝の埋め込み方法
TW436882B (en) * 1998-06-01 2001-05-28 Toshiba Corp Semiconductor device and method for manufacturing the same
JP2000195720A (ja) * 1998-10-22 2000-07-14 Taiyo Yuden Co Ltd 積層電子部品
JP3808853B2 (ja) * 2003-09-12 2006-08-16 Tdk株式会社 グリーンシート用塗料、グリーンシート、グリーンシートの製造方法および電子部品の製造方法
JP4651519B2 (ja) * 2005-11-28 2011-03-16 京セラ株式会社 電子部品の製造方法
JP2010027882A (ja) * 2008-07-22 2010-02-04 Panasonic Corp 積層セラミック電子部品の製造方法
JP5332475B2 (ja) * 2008-10-03 2013-11-06 株式会社村田製作所 積層セラミック電子部品およびその製造方法
KR101124091B1 (ko) * 2009-12-10 2012-03-20 삼성전기주식회사 적층 세라믹 커패시터

Also Published As

Publication number Publication date
US20130112338A1 (en) 2013-05-09
JP2013098542A (ja) 2013-05-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101843190B1 (ko) 세라믹 전자부품 및 이의 제조방법
JP5271377B2 (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP5777179B2 (ja) 基板内蔵用積層セラミック電子部品及び積層セラミック電子部品内蔵型印刷回路基板
JP5694249B2 (ja) 積層セラミック電子部品
JP2011139021A (ja) 積層セラミックキャパシタ
JP2007036003A (ja) 積層コンデンサ
JP2012227198A (ja) 積層セラミックコンデンサ
KR20150058824A (ko) 적층 세라믹 전자부품 및 적층 세라믹 전자부품의 실장 기판
US9466424B2 (en) Paste for external electrode, multilayer ceramic electronic component, and method of manufacturing the same
JP2017168488A (ja) 積層セラミックコンデンサの製造方法
JP2012099786A (ja) 積層型セラミックキャパシタ及びその製造方法
KR20130065199A (ko) 외부 전극용 도전성 페이스트, 이를 이용한 적층 세라믹 전자부품 및 이의 제조방법
JP2011124542A (ja) 積層セラミックキャパシタ
JP2012094809A (ja) 積層セラミック電子部品及びその製造方法
JP4586831B2 (ja) セラミックグリーンシート構造、及び、積層セラミック電子部品の製造方法
KR102067177B1 (ko) 기판 내장용 적층 세라믹 전자부품 및 적층 세라믹 전자부품 내장형 인쇄회로기판
JP5925628B2 (ja) 積層セラミック電子部品及びその製造方法
JP5040983B2 (ja) 電子部品の製造方法及び電子部品
JP3514117B2 (ja) 積層セラミック電子部品、積層セラミック電子部品の製造方法及び内部電極形成用導電ペースト
KR100755654B1 (ko) Esr 특성 제어가능한 적층세라믹 커패시터
JP3944144B2 (ja) セラミック電子部品及びその製造方法
JP3463610B2 (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
KR20130049362A (ko) 적층 세라믹 커패시터 제조 방법
JP2011108875A (ja) 電子部品の製造方法及び電子部品
JP2000077260A (ja) 積層セラミック電子部品及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid