KR20120095895A - 얇은 평면 기판용 지지 장치 - Google Patents

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게부르. 쉬미트 게엠베하
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Abstract

본 발명은 얇은 평면 기판용 지지 장치로서에 관한 것이다. 상기 지지 장치는 프레임 (frame) 형태로, 2개의 외측의 세로방향 (longitudinal) 운반 캐리지 (transporting carriage)에 형성되며, 상기 운반 캐리지는 이동 장비 및 이와 유사한 것들을 통과하여 지지 장치를 운반하기 위해 형성되며, 상기 운반 캐리지들 사이에 기판을 위한 지지 장치의 지지 프레임이 배열되고, 상기 지지 프레임이 상기 운반 캐리지에 높이 변화가능하도록 장착된다.

Description

얇은 평면 기판용 지지 장치{Retaining device for thin, planar substrate}
본 발명은 예컨대 얇은 인쇄 회로 기판, 소위 전도체 포일 (conductor foil) 또는 태양 전지와 같은 얇은 평면 기판용 지지 장치에 관한 것으로, 상기 기판이 지지 장치에 의해 유리하게 처리 장비 및 이동 장비들을 통과하여 운반되는 것에 관한 것이다.
예컨대 DE 10 2007 0381 16 A1에는 얇은 인쇄 회로 기판을 이 기판의 전방 에지와 후방 에지로 길게 연장된 프레임에 고정시키는 것이 개시되어 있다. 이 길게 연장된 프레임은 그 후 그 단부들을 가지고 이동 장비들의 좌측 및 우측에 이어지는 운반 사슬에 고정 및 연결되어 이것들에 의해 운반된다. 프레임이 앞의 기판의 후방 에지 및 뒤에 이어지는 기판의 전방 에지를 지지하여, 상기 프레임에 의해 기판사슬이 형성된다. 여기에서 문제가 되는 것은 한편으로는 사슬 형태의 기판의 조립이며, 다른 한편으로는 상기 지지 프레임을 견고하게 형성하는 것이다.
본원은 종래 기술의 문제를 피할 수 있으며 특히 도입부에 언급된 기판을 지지, 운반 및 처리 장비 및 이동장비들을 통과하여 운반할 수 있는 유리한 대안을 생성하는 도입부에 언급된 제공하는 것이다.
상기의 과제는 청구항 1의 기술적 특징을 갖는 지지 장치에 의해 해결된다. 본 발명의 유리한 실시예 및 바람직한 실시예가 다른 청구항들의 대상이며 이하에서 보다 자세히 설명된다. 청구항들의 문언은 상세한 설명의 내용에 명백하게 관련을 갖는다.
기판용 지지 장치가 전체로서 프레임 (frame) 형태로 형성되도록 마련된다. 2개의 외측 세로방향 (longitudinal)에 운반 캐리지 (transport carriage)가 형성되는데, 이 운반 캐리지에 의해 상기 지지 장치가 특히, 이동 장비, 처리 장비 및 이와 유사한 것들을 통과하는 구간을 따라 운반된다. 기판이 예컨대 얇은 인쇄 회로 기판 또는 태양 전지용 기판이면, 이 처리 장비들에서 세척, 에칭 및 코팅, 특히 전기 화학 코팅이 이루어진다. 운반 캐리지들 사이에는 기판용 지지 장치의 지지 프레임이 마련되며 이것이 지지 프레임에 직접 고정된다. 본 발명에 따르면 상기 지지 프레임은 상기 운반 캐리지에 높이 변화가능하도록 장착된다. 이와 같은 높이 변환 가능성으로 인해, 상기 운반 캐리지들이 하나의 평면 또는 높이에서 움직이는 것, 예컨대 레일이나 전술한 운반 체인 상에서 움직이는 것이 가능해진다. 지지 프레임의 높이를 바꾸거나 하강시키는 것이 가능함으로써, 처리 장비 외부에서의 기판 운반 시에 기판을 더 높거나 가장 높은 위치에 있게 된다. 기판을 가진 지지 장치가 한 처리 장비로 들어가면, 예컨대 기판을 위한 담금 탱크 (immersion tank)를 가진 장비로 들어가면, 상기 지지 프레임이 기판들과 함께 기판들이 적어도 그 하부면으로 상기 담금 탱크의 처리 매질에 접촉하거나 이것에 의해 젖을 때까지 하강한다. 특히, 완벽한 하강 및 침잠이 가능하다. 이렇게 해서, 전체 지지 장치가 운반 캐리지와 함께 하강 내지 아래쪽으로 내려가야만 하는 것을 피할 수 있는데, 이것은 보통 매우 현저한 낭비를 요하는 것이었다.
높이 변환 가능성은 특정 단계들에서 유리하게 가변적이거나 아니면 특히 유리하게는 단계가 없을 수 있다. 도달 가능한 높이 변환 가능성의 정도는 몇 cm 범위일 수 있는데, 예컨대, 5cm 내지 15cm 또는 지지 장치 폭의 10％ 내지 30％이다. 높이 변환 가능성이 너무 크면 기계 구성에 심한 낭비를 가져올 수 있다.
상기 운반 캐리지에 상기 지지 프레임을 높이 변화 가능하게 장착하는 것은 한편으로는 오직 상기 지지 프레임의 평면에 수직한 방향에서의 상대 운동을 위해서 형성될 수 있다. 이에 의해 지지 프레임에서의 기판의 너무 큰 또는 해가 되는 부하를 피할 수 있다. 이와 같이 정확하게 주어진 움직임은 지지 프레임과 운반 프레임의 결합을 위한 링크의 상응하는 형성에 의해 쉽게 달성될 수 있는데, 이에 관해서는 이하에 후술된다.
다른 한편, 상기 지지 프레임의 높이 변화에 의한 운반 캐리지와 지지 프레임의 상대 운동에 있어서, 예컨대 최대로 하강한 위치에서 최대로 상승한 위치로의 이동에 있어서, 2개의 위치 사이에서 기판은 운반 방향에 대해 평행하게 놓이며, 예컨대 후방 영역이 아래쪽으로 더 강하게 기울도록, 기판이 이 위치들 간의 이동 중에 기판이 비스듬하게 놓인다. 이 때 각은 20°내지 30°의 최대 각으로 평평할 수 있다. 이로 인해 담금 탱크에서 처리 유체의 표면으로부터 기판을 분리하는 것이 더 쉬워질 수 있다. 나아가, 예컨대, 완전히 다 잠긴 기판에서 처리 유체의 경사진 영역에서을 통해 배수하는 것이 더 쉬워질 수 있는데, 이것은 무엇보다 기판에 존재하는 처리 유체나 유체의 중량으로 인한 부하를 줄인다. 이와 같은 일시적 경사는 지지 프레임과 이 프레임과 함께 지지 장치를 형성하는 운반 캐리지 간의 링크 결합에 의해 상응하는 형상에 의해 쉽게 가능하며 당업자에게 알려진 것이다. 여기서 기판과 함께 지지 프레임의 위치를 위해 외부를 향해 강제 가이드가 존재할 수 있다.
상기 운반 캐리지들은 본원에 의한 구성에서 이동하는 (moving) 운반을 위한 롤러를, 바람직하게는 레일 상에 포함한다. 이동 궤도에 레일의 좌측 및 우측 레일들이 배치되어, 이 레일 상에서 각각의 운반 캐리지가 달린다. 이들은 예컨대 프레임 형태로 서로 연결될 수 있으며, 대안으로 서로 독립적으로, 즉 서로 관련 없이 별개의 부분들일 수 있다.
본 발명의 대안적 구성에서, 상기 운반 캐리지들은 핀, 개구 또는 기타 폼-피트 (form-fit)된 결합으로 순환하는 운반 수단, 예컨대 전술한 종래 기술의 공지된 운반 사슬과 같은 것에 연결된다. 그 후에는 지지 장치를 위한 소모적인 구동이 필요치 않다.
길게 연장된 (elongated) 운반 캐리지들은 이동방향과 관련하여 이동궤도로부터 좌측 및 우측에 마련될 수 있다. 대안으로 상기 운반 캐리지들이 이동 장비들을 횡으로 가로지를 수도 있는데, 이것은 덜 유리한 것으로 보인다. 좌측 및 우측에 배열된 운반 캐리지들에 의해, 이것들이 중심 영역, 특히 기판용 담금 탱크 옆에 완전히 측면으로 존재할 수 있다. 이렇게 해서 상기 운반 캐리지들은 가능한한 적게 영향을 미친다.
다수의 링크 연결된 레버 및 가위 조인트을 수단으로 상기 지지 프레임이 상기 운반 캐리지들과 연결될 수 있다. 이것은 보다 운반 평면을 따라 수직 방향으로 또는 전술한 각 (angular) 안전성 또는 각 변화 가능성을 유지하는 방향으로 보다 확실하며 정치한 가이드를 가능하게 한다. 유리하게 상기 지지 프레임의 각 길이 방향에는 2개의 가위 조인트가 마련되는데, 예컨대 하나의 가위 조인트는 전방 영역에, 다른 가위 조인트는 상기 지지 프레임의 후방 영역 근처에 마련된다. 이 4개의 가위 조인트에 의해 상기 지지 프레임이 상기 운반 캐리지에 고정된다.
링크는 유리하게는 지지 프레임에 일 점을 기준으로 회전 가능하게 일 단부에 의해 고정된 링크 결합된 레버를 포함하도록 형성될 수 있다. 이것의 다른 단부는 운반 방향으로 진행하는 운반 캐리지의 길이 방향 슬릿에 삽입되며 이 슬릿 안에 이동 가능하며 회전 가능하게 장착된다. 각 위치에서 상기 링크 연결된 레버는 상기 지지 프레임의 평면에 대하여 90°보다 작을 갖는다.
전술한 링크 연결된 레버는 다시 레버는 그 중심 영역에 회전 가능하게 중간 레버에 링크 연결된 (articulated) 중간 레버를 포함한다. 상기 중간 레버의 다른 단부는 일점을 기준으로 회전 가능하게 운반 캐리지에 장착 내지 고정된다. 여기서, 상기 지지 방향의 일 측에 상기 2개의 링크 연결된 레버가 상기 지지 방향에서 보아서 서로를 향하거나 서로 가까와지는데, 상기 중간 레버는 서로 멀어진다. 이 중간 레버들은 필요한 경우에, 상기 지지 프레임의 하강이 상기 운반 캐리지에 대해 계속 평행하게 이루어지도록 보장한다. 다르게 형성된 링크 연결된 레버 또는 중간 레버를 통해 전술한, 상기 지지 프레임의 일시적인 경사진 하강이 이루어질 수 있다.
기판을 지지 프레임에 고정하기 위해, 상기 지지 프레임의 전방 영역 및 후방 영역에 상기 기판을 위한 길게 연장된 클램핑 (clamping) 장치가 마련될 수 있다. 이것은 예컨대 회전 가능하며 다수의 클램핑 노우즈 (nose)를 갖는 연속되는 (continuous) 막대일 수 있다. 이 클램핑 노즈로 상기 기판은 다수의 위치에서 고정적으로 클램핑될 수 있다.
본원의 구성에서, 지지 장치의 기판들이 전기 화학적으로 처리되어야 하고 그래서 외부와 전기 접촉이 되어야 하는 경우에, 적어도 하나의 운반 캐리지가 상기 지지 프레임에 지지되는 기판과의 전기 접촉을 위해 상기 지지 프레임과 도전성을 갖도록 (electrically conducting) 결합될 수 있다. 이와 같은 외부로의 지지 캐리지와의 전기 접촉은 슬라이딩 접촉 또는 상기 운반 캐리지들이 가이드되는 레일이나 운반 사슬에 의해 이루어질 수 있다. 상기 접촉은 가위 조인트가 전기적 도전성을 갖도록 형성되고 상기 운반 캐리지, 상기 운반 프레임, 및 상기 운반 캐리지 및 지지 프레임을 연결하는 전ㄷ 도선과 전기적 도전성을 갖도록 연결될 수 있다. 이것은 전체 클램핑 장치들에 해당되는 것은 아니다. 이것은 예컨대, 이동 가능하며 단부에 평면으로 형성된, 수개의 접촉 헤드를 포함할 수 있다. 이것은 다른 클램핑 장치들처럼, 지지 프레임에 연결된 기판에 클램핑되어 연결되며 전기적으로 연결된 채로 있을 수 있다.
운반 캐리지와 지지 프레임 간의 전기적 결합은 이들 사이에 존재하는 링크 장치, 예컨대 전술한 링크 및 가위 조인트에 의해서 이루어질 수 있다. 대안으로, 여기에 연성인 (flexible), 루프를 형성하는 전기 도선이 마련될 수 있다.
상기 지지 프레임은 유리하게 외부를 둘러싸도록 형성되며 상기 평면의 주요부의 중심 부분은 자유롭게 형성될 수 있다. 프레임의 전방 및 후방부는 상기 운반 장치를 횡으로 진행하는 부분을 형성할 수 있으며, 이 부분들도 전술한 클램핑 장치를 포함한다. 이 2개의 부분은 측면 결합부에 의해 서로 결합되어, 형태를 유지하고 운반 캐리지에 지지됨으로써가 아닌 상기기 지지 프레임이 가능한한 자기 안정되어 (self stable) 자신을 지지한다.
이것과 다른 특징들은 청구항, 상세한 설명 및 도면들로부터 도출되는데, 개별적인 특징들은 그 자체로 또는 하부 결합의 형태로 발명의 실시 형태에서 또는 다른 영역에서 실현되며 유리하게는 본원에서 청구되는 실시예들을 표현한다. 본원을 단락으로 분할하는 것은 여기서 이루어지는 진술의 보편성을 제한하지 않는다.
본 발명의 실시예들은 도면에 간략하게 도시되며 이하에 보다 자세히 설명된다. 도면 중의
도 1은 지지 프레임이 들어올려진 상태의 고정된 인쇄 회로 기판을 가진 본원에 따른 지지 장치의 사시 평면도 (oblique plan view)이며,
도 2는 지지 프레임이 낮춰진 상태의 도 1의 지지 장치이다.
도 1에는 본 발명에 따른 지지 장치 (11)의 사시 평면도가 도시되는데, 이 도면에는 인쇄 회로 기판 (13)이 지지 내지는 클램핑되어 있다. 상기 지지 장치 (11)는 좌측 운반 캐리지 (transporting carriage: 15a) 및 우측 운반 캐리지 (15b)를 포함하는데, 이 2개의 운반 캐리지는 동일하거나 각각의 거울 이미지일 수 있다. 하나의 운반 캐리지는 각각 전방 운반부 (17a) 및 후방 운반부 (17b, 17a', 17b')로 이루어진다. 상기 운반부들 (17)은 도시된 바와 같이, 아래 쪽을 향하는 운반 돌출부 (18a')를 포함하는데, 이 돌출부들로 상기 운반부들이 모두에 언급한 DE 10 2007 038 116 A1에서와 유사하게 순환하는 운반 체인들에 결합된다. 또는 대안으로, 상기 운반부 (17)는 레일 또는 이와 유사한 것들 상에서의 운반을 위한 롤러를 포함할 수 있는데, 이 경우 상기 지지 장치 (11)의 구동이 도시되지 않은 방식으로 이루어진다.
2개의 운반부들 (17a, 17b, 17a', 17b')은 각각 결합 막대 (20a, 20b) 및 지지 막대 (21a, 21b)에 의해 서로 결합된다. 이것이 확실하게 결합된 구조를 보장한다.
운반 캐리지 (15b)의 좌측에 기초하여 설명된 것처렴, 상기 지지 막대 (21a)에서는 전방 가위 조인트 (scissor joint:23b) 및 후방 가위 조인트 (24b)가 마련된다. 상기 가위 조인트들 (23, 24)은 하부 지지 프레임 (32)의 일부인 측면 막대 (30b)에 고정 내지 링크로 연결 (atriculate)된다. 여기서 상기 측면 막대들 (30a, 30b)는 좌측 (34b, 34b') 내지 우측에서 전방 지지 프레임 몸체 (34a, 34a')에 고정된다. 상기 좌측 및 우측의 지지 프레임 몸체 (34a, 34b)는 전방 클램핑 캐리어 (clamping carrier: 36) 및 후방 클램핑 캐리어 (37)를 통해 서로 결합된다. 상기 인쇄 회로 기판 (13)은 기술 분야에 공지된 방식으로 이어지는 클램핑 막대 (39)의 전방 및 후방 (39')에서 지지되며, 여기서 상기 클램핑 막대는 링크 연결되어 장착되며, 클램핑 노우즈 (clamping nose:40)를 포함한다. 이 클램핑 막대 (39) 및 인쇄 회로 기판 (13)의 일반적 클램핑과 관련하여 전술한 DE 10 2007 038 116 A1이 참조되는 바, 예컨대 상기 문서의 도 12 또는 13에 따른 구성을 참조하라. 지지 프레임 몸체 (34)의 클램핑 레버 (38)를 통해 상기 인쇄 회로 기판 (13)의 클램핑이 수동으로 또는 기계적으로 이루어진다.
상기 가위 조인트 (23, 24)는 상기 측면 막대 (30a, 30b)에 의해 상기 링크연결되는 레버들 (25a, 25a', 25b, 25b')이 하나의 점 주위를 회전가능하도록 위를 향해 장착되는데, 각각 예각으로 회전가능하다. 상기 링크 연결되는 레버 (25)의 상부 단부는 상기 지지 막대 (21a, 21b)의 길게 연장된 슬릿들 (26a, 26a', 26b, 26b')에 삽입된다. 이것들은 회전가능하면서 길이 방향으로 움직일 수 있도록 장착된다. 대략 상기 링크 연결되는 레버 (25)로부터 출발하여 회전 가능하게 장착된 중간 레버 (28a, 28a', 28b, 28b') 들이 위쪽을 향해 나아가는데, 각 링크 연결되는 레버 (25)의 방향에 대해 수평 방향으로 대향되는 예각으로 나아간다. 상부 단부에서는 상기 중간 레버 (28)들이 다시 한 점을 중심으로 회전 가능하게 상기 지지 막대 (21)에 결합된다. 이렇게 하여 상기 지지 프레임 (23)이 상기 운반 캐리지 (15a, 15b)에 대해 높이 조절 가능해진다. 여기서, 쉽게 인식될 수 있는 바와 같이, 상기 가위 조인트 (23, 24)의 기능은 상기 지지 프레임 (32)이 상기 운반 캐리지 (15)와 관련하여 수직 방향으로 측면 방향의 큰 오프셋 없이 상기 지지 프레임 (32)의 상승 하강을 가능하게 한다. 나아가, 상기 지지 프레임 (32)의 평평하지 않은 내지 비스듬한 하강도 가능하데, 예컨대 보다 강하게 전방 영역으로 아래를 향해 또는 보다 강하게 후방 영역으로 하강하는 것이 가능하다. 이것은 무엇보다 전술한 유체 조에 집어넣고 꺼내는 것을 위해 유익하다.
상기 운반 캐리지 (15)에 대해 상기 지지 프레임 (32)의 높이를 변화시키기 위해, 도 2의 하강 상태에 도시되는 바와 같이, 상기 측면 막대 (30)에 예컨대 상기 링크 연결되는 레버 (25)로부터 가이딩 핀 (42)이 마련되어 있는데, 예컨대, 상기 링크 연결되는 레버 (25)로부터 이격되어 상기 측면 막대 (30)에 마련된다. 도 2에 따라, 명백하게 거리를 둔 가이딩 핀 (42a 내지 42a')은 상기 지지 장치 (11)의 운반 경로를 따라 홈 링크 (slotted link)에 삽입되거나 이 운반 경로를 통해 가이딩될 수 있다. 이렇게 해서 본원에 도시되지는 않았으나 당업자에게는 자명한 홈 링크에 의해, 상기 지지 장치 (11)의 운반 중에 상기 지지 프레임 (32)의 높이가 상기 지지 캐리지 (15a, 15b)가 이를 통해 이동하는 지지 궤도에 대해 조절될 수 있으며, 따라서 클램핑된 인쇄 회로 기판 (13)이 상승 또는 하강될 수 있다. 이와 같은 홈 링크의 프로파일에 의해 이것은 하강 및 상승이 너무 갑작스럽지 않고 천천히 그리고 연속적으로 이루어지는 것을 가능하게 한다. 이렇게 해서, 한편, 진동 및 이와 유사한 것들에 의한 보다 큰 기계적 부하가 상기 지지 장치 (11) 및 민감한 인쇄 회로 기판 (13)에 미치는 것을 피할 수 있다. 나아가, 상기 인쇄 회로 기판 (13)의 상승 및 처리 매질을 가진 유체 조로부터 꺼낼 때 상기 인쇄 회로 기판이 비스듬히 놓임으로써 상응하는 무게 하중과 함께 지나치게 큰 무게가 상기 인쇄 회로 기판 (13)에 가해지지 않으면서, 상기 인쇄 회로 기판 (13)에 여기에 놓이는 처리 매질이 상기 인쇄 회로 기판 (13)에 쉽게 잘 흘러갈 수 있다.
상기 인쇄 회로 기판 (13)으로의 전력 공급 또는 전기 접촉의 설정이 도시되지 않았지만, 도면에 의거하여 쉽게 도출가능하다. 상기 운반 돌출부 (18a')에서와 유사하게, 외부면의 운반 캐리지 (15)에, 유리하게는 상기 캐리지의 외부면에 전기 접촉, 루프 또는 이와 유사한 것들이 마련되어 있다. 이와 같은 운반 돌출부 (18a')를 운반 사슬에 걸때 이것을 통해 전기 접촉이 이루어지거나 아니면 전기 접촉의 설정을 위한 수단으로부터 공지된 바와 같이, 측면 이격된 루프가 전력 공급 슬라이더에 놓일 수 있다.
그 후에, 이와 같은 전기 접촉에 의해 예컨대 상기 지지 막대 (21), 가위 조인트 (23, 24)를 통해 상기 지지 프레임 (32)에의 전기 접촉과 상기 클램핑 노우즈 (40)와 함께 상기 클램핑 막대 (39)에 의해 여기에서 상기 인쇄 회로 기판 (13)에의 전기 접촉이 이루어질 수 있다. 여기서, 예컨대 슬라이더에 의해 오직 하나의 운반부 (17)에만 전기 접촉이 마련되는 것이 원칙적으로 가능하다. 하지만 이와 같은 전기 접촉이 일 측의 2개의 운반부 (17)들 또는 모든 운반부들에 마련되는 것이 더 안전하고 바람직하다. 전기적으로 도전성 있는 가위 조인트 (23, 24) 대신에 운반 캐리지 (15)와 지지 프레임 (32)의 상대 운동에 관여할 수 있는 유연한 (flexible) 와이어가 전기 전도성 결합으로 사용될 수 있다.
만일 추가 전기 접촉이 전기 전도성 가이딩 홈 링크를 따라 진행된다면, 추가 전기 접촉이 가이딩 핀 (42a,42a')에 의해 이루어질 수 있다. 하지만, 이것은 운반부 (17)에 의한 전기 접촉에 비하여 단점을 갖는데, 상기 가이딩 핀 (42)이 상기 인쇄 회로 기판 (13)의 높이에 또는 이것보다 약간 높게 위치하기 때문에 처리 매질을 가진 유체 조와 가깝게 또는 이 안에서 흐를 수 있다는 단점이 그것인데, 이것은 전기 접촉에는 확실히 부정적이다.
여기에 설명된 매우 단순하게 형성된 가위 조인트 대신에, 상황에 따라서는 다중 가위 조인트로 형성된 다른 형태의 가위 조인트도 있을 수 있다. 이렇게 해서 아마도 상기 지지 프레임 (32)의 상기 운반 캐리지 (15)로의 더 강한 하강이 이루어질 수 있다. 하지만 대부분의 경우에 이것은 필요하지 않다.
상기 지지 프레임 (32)은 2개의 측면 막대 (30a, 30b)에 의해 둘러싸dl는 방식 (surrounding manner)으로 형성될 수 있는데, 이 막대들은 전방 클램핑 캐리어 (36) 및 후방 클램핑 캐리어 (37)에 의해 결합되어 하나의 둘러싸는, 대략 장방형의 프레임이 된다.
상기 클램핑 막대 (39) 및 클램핑 노우즈 (40)는 상기 클램핑 지지부 (36, 37)에 마련될 수 있는데, 휴대용의 이유에서 이것이 더 나을 수 있다. 무엇보다 클램핑 고정의 상태가 보다 더 잘 검사될 수 있다.

Claims (15)

  1. 얇은 평면 기판용 지지 장치로서, 상기 지지 장치는 프레임 (frame) 형태로, 2개의 외측의 세로방향 (longitudinal) 운반 캐리지 (transporting carriage)에 형성되며, 상기 운반 캐리지는 이동 장비 및 이와 유사한 것들을 통과하여 지지 장치를 운반하기 위해 형성되며, 상기 운반 캐리지들 사이에 기판을 위한 지지 장치의 지지 프레임이 배열되고,
    상기 지지 프레임이 상기 운반 캐리지에 높이 변화가능하도록 장착되는 것을 특징으로 하는, 지지 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 운반 캐리지에 상기 지지 프레임을 높이 변화 가능하게 장착하는 것은 상기 지지 프레임 평면에 수직한 방향에서만의 상대 운동을 위해서 형성되는 것을 특징으로 하는, 지지 장치.
  3. 제 1항 또는 제2항에 있어서, 상기 지지 프레임의 높이 변화에 의한 운반 캐리지와 지지 프레임의 상대 운동에 있어서, 상기 지지 프레임은 상기 지지 캐리지에 대해 서로 위치 안정적 (positionally stable)이며, 바람직하게는 상기 운반 캐리지의 운반 방향에 대해 평행으로 정렬되는 것을 특징으로 하는, 지지 장치.
  4. 제 1항 또는 제2항에 있어서, 상기 지지 프레임의 높이 변화에 의한 운반 캐리지와 지지 프레임의 상대 운동에 있어서 상기 지지 프레임은 상기 운반 캐리지의 운반 방향에 대하여 20°내지 30°의 최대 각으로 상기 지지 프레임에 대해 위치 조정가능한 것을 특징으로 하는, 지지 장치.
  5. 제 1항 내지 제4항에 있어서, 상기 운반 캐리지는 이동하는 (moving) 운반을 위한 롤러를, 바람직하게는 그 시작 영역 및 종결 영역에 포함하는 것을 특징으로 하는, 지지 장치.
  6. 제1항 내지 제5항에 있어서, 상가 지지 프레임은 가위 조인트 (scissor joint)에 의해 운반 캐리지에 높이 변화 가능하도록 고정되며, 바람직하게는 상기 지지 프레임의 각 길이 방향 측에 2개의 가위 조인트가 마련되는 것을 특징으로 하는, 지지 장치.
  7. 제6항에 있어서, 하나의 가위 조인트는 전방 영역에, 다른 가위 조인트는 상기 지지 프레임의 후방 영역 근처에 마련되는 것을 특징으로 하는, 지지 장치.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서, 하나의 가위 조인트는 일 점 주위를 회전 가능하게 상기 지지 프레임에 고정된 링크 결합된 (articulated) 레버를 포함하는데, 상기 링크 결합된 레버는 운반 캐리지의 길게 연장된 (elongated) 슬릿에 이동 가능하며 회전 가능하게 장착되고, 바람직하게는 상기 링크 결합된 레버의 각 위치에서 상기 지지 프레임의 평면에 대하여 90°보다 작을 갖는 것을 특징으로 하는, 지지 장치.
  9. 제1항 내지 제8항에 있어서, 각 링크 결합된 레버는 그 중심 영역에 회전 가능하게 중간 레버에 링크 결합된 (articulated) 중간 레버에 결합되며, 상기 중간 레버는 일 점을 중심으로 회전 가능하도록 운반 캐리지에 장착되고, 바람직하게는 상기 링크 결합된 레버는 상기 지지 프레임의 일 측에 이것으로부터 출발하여 상기 운반 캐리지의 중간 영역을 향하며 상기 중간 레버는 상기 링크 결합된 레버로부터 멀어지는 것을 특징으로 하는, 지지 장치.
  10. 제1항 내지 제9항에 있어서, 상기 지지 프레임의 전방 영역 및 후방 영역에 상기 기판을 위한 길게 연장된 클램핑 (clamping) 장치가 마련되며, 바람직하게는 상기 클램핑 장치는 연속되는 (continuous) 막대에 결합된 클램핑 노우즈 (nose)를 갖는 것을 특징으로 하는, 지지 장치.
  11. 제1항 내지 제10항에 있어서, 적어도 하나의 운반 캐리지가 상기 지지 프레임에 지지되는 기판과의 전기 접촉을 위해 상기 지지 프레임과 도전성을 갖도록 (electrically conducting) 결합되는 것을 특징으로 하는, 지지 장치.
  12. 제1항 내지 제11항에 있어서, 상기 클램핑 장치는 상기 지지 프레임에 전기적으로 접촉되거나 도전성을 갖도록 형성되며, 바람직하게는 상기 지지 프레임에 클램핑된 기판을 재치하기 위한 이동가능하게 단부에 평면으로 형성된 접촉 헤드를 갖는 것을 특징으로 하는, 지지 장치.
  13. 제1항 내지 제12항에 있어서, 적어도 하나의 가위 조인트, 바람직하게는 모든 가위 조인트가 전기적 도전성을 갖도록 형성되고 상기 운반 캐리지, 상기 운반 프레임, 및 상기 운반 캐리지 및 지지 프레임을 연결하는 전기 도선과 전기적 도전성을 갖도록 연결되는 것을 특징으로 하는, 지지 장치.
  14. 제1항 내지 제13항에 있어서, 2개의 운반 캐리지 중의 적어도 하나에서의 슬라이더에 의해 상기 지지 프레임의 가위 조인트 중 적어도 하나 및 이것에 의해 지지되는 기판을 통한 전기 접촉을 특징으로 하는, 지지 장치.
  15. 제1항 내지 제14항에 있어서, 상기 지지 프레임이 외부를 둘러싸도록 형성되며 상기 평면의 주요부의 중심 부분은 자유로운 것을 특징으로 하는, 지지 장치.
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