KR20110047235A - 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법 - Google Patents

희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법 Download PDF

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Abstract

희토류 금속 또는 그 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법으로서, 당해 타깃의 보관용 용기 또는 필름 형상의 시일 중에, 보관되는 희토류 금속 또는 그 산화물 타깃과 동일한 희토류 금속의 산화물을 건조제로서 도입하고, 상기 보관용 용기 또는 필름 형상의 시일을 봉지하여 보관하는 것을 특징으로 하는 희토류 금속 또는 그 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법. 희토류 금속 또는 그 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법을 연구하고, 공기의 침입에 의한 타깃의 산화 및 수산화에 의한 분화를 억제하여, 장기간의 보관이 가능해지는 기술을 제공하는 것을 과제로 한다.

Description

희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법{METHOD FOR STORING TARGET COMPRISING RARE EARTH METAL OR OXIDE THEREOF}
본 발명은 산화 또는 수산화에 의해 분말화되기 쉬운 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법에 관한 것이다.
희토류 금속은 혼합 복합 산화물로서 지각에 함유되어 있다. 희토류 금속은 비교적 드물게 존재하는 광물로부터 분리되었기 때문에 이와 같은 명칭이 붙었으나, 지각 전체로부터 보면 결코 희소하지는 않다. 최근, 희토류 금속이 전자 재료로서 주목을 받아 연구개발이 진행되고 있는 재료이다.
이 희토류 금속 중에서는, 특히 란탄 (La) 이 주목받고 있다. 이 란탄을 간단히 소개하면, 란탄의 원자 번호는 57, 원자량 138.9 의 백색 금속으로서, 상온에서 복육방 최밀 구조를 구비하고 있다. 융점은 921 ℃, 비점 3500 ℃, 밀도 6.15 g/㎤ 이고, 공기 중에서는 표면이 산화되고, 물에는 서서히 녹는다.
열수, 산에 가용이다. 연성은 없지만, 전성은 약간 있다. 저항률은 5.70 × 10-6 Ω㎝ 이다. 445 ℃ 이상에서 연소되어 산화물 (La2O3) 이 된다 (이화학 사전 참조). 희토류 금속은, 일반적으로 산화수 3 의 화합물이 안정적이지만, 란탄도 3 가이다.
이 란탄은 메탈 게이트 재료, 고유전율 재료 (High-k) 등의, 전자 재료로서 주목받고 있는 금속이다. 란탄 이외의 희토류 금속도 이 란탄에 유사한 속성을 갖고 있다.
란탄 등의 희토류 금속은, 정제시에 산화되기 쉽다는 문제가 있기 때문에 고순도화가 어려운 재료이다. 또, 란탄 등의 희토류 금속을 공기 중에 방치된 경우에는 단시간에 산화되어 변색되기 때문에 취급이 용이하지 않다는 문제가 있다.
최근, 차세대의 MOSFET 에 있어서의 게이트 절연막으로서 박막화가 요구되고 있으나, 지금까지 게이트 절연막으로서 사용되어 온 SiO2 에서는, 터널 효과에 의한 리크 전류가 증가되어 정상 동작이 어렵게 되어 왔다.
이 때문에, 이를 대신하는 것으로서, 높은 유전율, 높은 열적 안정성, 실리콘 중의 정공과 전자에 대하여 높은 에너지 장벽을 갖는 HfO2, ZrO2, Al2O3 , La2O3 가 제안되고 있다. 특히, 이들 재료 중에서도, La2O3 의 평가가 높고, 전기적 특성을 조사하고, 차세대의 MOSFET 에 있어서의 게이트 절연막으로서의 연구 보고가 이루어지고 있다 (비특허문헌 1 참조). 그러나, 이 특허문헌의 경우에, 연구 대상으로 되어 있는 것은 La2O3 막이고, La 금속의 특성과 거동에 대해서는 특별히 언급하고는 있지 않다.
이와 같이 란탄 등의 희토류 금속 및 그 산화물에 대해서는, 아직 연구 단계에 있다고 할 수 있으나, 이와 같은 희토류 금속 및 그 산화물의 특성을 조사하는 경우에 있어서, 희토류 금속 및 그 산화물 자체가 스퍼터링 타깃재로서 존재하면, 기판 상에 희토류 금속 및 그 산화물의 박막을 형성하는 것이 가능하고, 또 실리콘 기판과의 계면 거동, 나아가서는 희토류 금속 화합물을 형성하여, 고유전율 게이트 절연막 등의 특성을 조사하는 것이 용이하고, 또 제품으로서의 자유도가 증대된다는 큰 이점을 갖는 것이다.
그러나, 란탄 스퍼터링 타깃을 제작해도, 상기와 같이 공기 중에서 단시간에 산화되어 버린다. 일반적으로 금속 타깃 표면에는 안정된 산화 피막이 형성되지만, 통상적으로는 매우 얇기 때문에, 스퍼터링 초기에 박리되어 스퍼터링 특성에 큰 영향을 주는 경우는 없다. 그러나, 란탄 스퍼터링 타깃에서는, 산화 피막이 두꺼워지고, 전기 전도도의 저하가 발생하여 스퍼터링의 불량을 초래한다.
또, 공기 중에 장시간 방치해 두면, 공기 중의 수분과 반응하여 수산화물의 백색 분말로 덮이고, 최종적으로는 분말화되어 버리는 상태에 이르러 정상적인 스퍼터링이 불가능하다는 문제까지 발생한다. 이 때문에, 타깃 제작 후, 즉시 진공 팩으로 하거나 또는 유지 (油脂) 로 덮어 산화 및 수산화 방지책을 강구할 필요가 있다.
희토류 금속의 보관 방법으로서는, 대기와의 접촉을 피하기 위해서, 광물성 유 중에서의 보관이 일반적이지만, 스퍼터링 타깃으로서 사용하는 경우, 사용 전에 광물유를 없애기 위하여 세정할 필요가 있다. 그런데, 상기와 같은 산소, 수분, 이산화탄소와의 반응성으로 인하여 세정 자체가 어렵다는 문제가 있다.
따라서, 통상, 진공 팩에 의한 보관·곤포 (梱包) 가 필요하다. 그런데, 진공 팩을 한 상태에서도, 사용하는 필름을 투과하는 약간의 수분으로도, 산화·수산화에 의한 분말화가 진행되기 때문에, 스퍼터링 타깃으로서 사용 가능한 상태에서의 장기간의 보관이 곤란했다.
종래의 공지 기술을 보면, 홀로캐소드 스퍼터링 타깃을 수지 봉투로 덮는 방법 (특허문헌 1 참조), 플라스틱 필름의 보호막을 타깃에 첩부 (貼付) 하는 방법 (특허문헌 2 참조), 이탈성 파티클이 존재하지 않는 표면의 필름을 사용하여 타깃을 곤포하는 방법 (특허문헌 3 참조), 투명한 아크릴 수지의 상덮개를 사용하여 타깃의 보관 용기를 제작하고, 나사 고정하는 방법 (특허문헌 4 참조), 스퍼터링 타깃을 봉투 형상물에 봉입하는 방법 (특허문헌 5 참조) 이 있다. 그러나, 이것들은 수지의 덮개 또는 수지성의 필름을 사용하여 타깃을 봉입하는 것으로서, 희토류 금속 또는 그 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법으로는 충분하지 않다.
국제 공개 WO2005/037649 공보 일본 공개특허공보 2002-212718호 일본 공개특허공보 2001-240959호 일본 공개특허공보 평8-246135호 일본 공개특허공보 평4-231461호
토쿠미츠 에이스케 외 2 명 저, 「High-k 게이트 절연막용 산화물 재료의 연구」전기 학회 전자 재료 연구회 자료, Vol.6-13, Page.37-41, 2001년 9월 21일 발행
본 발명은, 희토류 금속 또는 그 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법을 연구하고, 공기의 잔류 및 침입에 의한 타깃의 산화 및 수산화에 의한 분화를 억제하여, 스퍼터링 타깃으로서 사용 가능한 상태에서의 장기간 보관이 가능해지는 기술을 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명은,
1) 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 스퍼터링 타깃의 보관 방법으로서, 당해 타깃의 보관용 용기 또는 필름 형상의 시일 중에, 보관되는 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃과 동일한 희토류 금속의 산화물을 건조제로서 도입하고, 상기 보관용 용기 또는 필름 형상의 시일을 봉지 (封止) 하여 보관하는 것을 특징으로 하는 희토류 금속 또는 그 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법
2) 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법으로서, 당해 타깃의 보관용 용기 또는 필름 형상의 시일 중에, 보관되는 희토류 금속 또는 이들의 산화물 타깃 재료보다, 흡습성이 큰 희토류 금속 산화물을 건조제로서 도입하고, 상기 보관용 용기 또는 필름 형상의 시일을 봉지하여 보관하는 것을 특징으로 하는 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법을 제공한다.
또, 본 발명은,
3) 2 종 이상의 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 경우, 흡습성이 가장 큰 희토류 금속 산화물을 건조제로서 사용하는 것을 특징으로 하는 상기 2) 에 기재된 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법
4) 봉지 보관하는 방법이, 진공 봉지인 것을 특징으로 하는 상기 1) ∼ 3) 중 어느 한 항에 기재된 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법
5) 봉지 보관하는 수단이, 가요성 필름을 사용한 진공 시일인 것을 특징으로 하는 상기 1) ∼ 4) 중 어느 한 항에 기재된 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법을 제공한다.
또한, 본 발명은,
6) 봉지 보관하는 방법이, 노점(露点) - 80 ℃ 이하의 불활성 가스를 봉입하여 봉지하는 것을 특징으로 하는 상기 1) ∼ 5) 중 어느 한 항에 기재된 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법
7) 건조제로서 사용하는 상기 희토류 금속 산화물을, 봉지될 때에 발생되는 공간에 재치 또는 충전하는 것을 특징으로 하는 상기 1) ∼ 6) 중 어느 한 항에 기재된 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법
8) 상기 타깃을 구성하는 희토류 금속이, La 또는 La 를 함유하는 것을 특징으로 하는 상기 1) ∼ 7) 중 어느 한 항에 기재된 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법
9) 건조제로서 사용하는 상기 희토류 금속 산화물이, La 산화물인 것을 특징으로 하는 상기 1) ∼ 8) 중 어느 한 항에 기재된 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법
10) 봉지 보관에 사용하는 가요성 필름의 수분 투과량 또는 용기의 외부로부터의 수분 침입량이, 0.1 g/㎡·24 h 이하인 것을 특징으로 하는 상기 1) ∼ 9) 중 어느 한 항에 기재된 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법을 제공한다.
종래의 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃을 밀폐 용기 또는 플라스틱성의 필름에 봉지하여 보관하는 경우에, 장시간 방치해 두면, 산소 및 수분과 반응하여 수산화물의 백색 분말로 덮이는 상태로 되어, 정상적인 스퍼터링이 불가능해지는 문제가 발생하지만, 본 발명의 보관용 용기 또는 필름 형상의 시일 중에 보관한 타깃은, 이와 같은 문제를 발생시키지 않는다는 큰 효과를 갖는다.
도 1 은 La 산화물 분말을 La 타깃의 표면과 측면으로 얇게 충전하고, 이것을 진공 팩한 경우의 예를 나타내는 도면이다.
도 2 는 La 산화물 분말을 La 타깃과 BP 의 단차의 공간에 두어 진공 팩한 예를 나타내는 도면이다.
도 3 은 금속제의 용기 내에 La 타깃을 배치하고, 이 La 타깃의 주위에 La 산화물 분말을 충전하고, 주위의 공기를 일단 노점 - 80 ℃ 이하의 아르곤으로 치환한 후에 진공 봉지한 예를 나타내는 도면이다.
도 4 는 금속제의 용기 내에 La 와 Er 로 이루어지는 금속 합금 타깃을 배치하고, 다음으로 그 타깃과 BP 의 단차에 소결된 La 산화물 블록을 두고, 용기 내의 공기를 아르곤 가스로 치환한 후, 진공화한 예를 나타내는 도면이다.
도 5 는 La 타깃을, 필름으로 진공 봉지한 경우의 예를 나타내는 도면이다.
도 6 은 La 타깃을 필름으로 진공 봉지하고, 건조제로서 실리카 겔을 둔 경우의 예를 나타내는 도면이다.
도 7 은 La2O3 타깃을 필름으로 진공 봉지한 경우의 예를 나타내는 도면이다.
희토류, 특히 란탄 및 란탄의 산화물은 흡습성 (수분과의 반응성) 이 매우 강한 것이 알려져 있다. 그 때문에, 지금까지 란탄 및 란탄 산화물을 이하에 흡습시킬 것인지, 수분의 적은 환경에서 보관할 것인지가 과제였다.
그런데 란탄보다 란탄 산화물이, 보다 흡습성이 높은 것을 반대로 이용하여, 란탄 타깃을 보관할 때에, 란탄 산화물 (분말, 판·블록 등의 소결체) 을, 타깃 표면에 묻히거나, 재치하거나, 두거나 함으로써, 란탄 타깃 본체의 산화·수산화를 방지하는 것이다.
또, 란탄 산화물 타깃을 보관하는 경우에는, 보다 표면적이 많은 분말, 과립 상태의 란탄 산화물을 봉입함으로써, 보다 효과적으로 수분을 흡수, 제거할 수 있기 때문에, 타깃의 수산화에 의한 열화를 방지할 수 있다.
즉, 본 발명의 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법은, 보관용 용기 또는 필름 형상의 시일 중에, 보관되는 희토류 금속 또는 이들의 산화물 타깃과, 동일 희토류 금속의 산화물을 건조제로서 도입하는 것이다.
이때, 란탄 산화물이 수분과 반응하여 수산화되고, 분말화되어 타깃 표면에 부착되었다고 해도, 동일 금속의 화합물이고 또한 분말이기 때문에 제거가 용이한 점에서 오염의 원인이 되지 않는다. 이 점이 다른 금속으로 이루어지는 건조제를 사용하는 경우에 비해 현저한 우위점이다.
또, 다른 희토류 금속에 의한 오염이 특히 문제가 되지 않는 경우에는, 보관되는 희토류 금속 또는 그 산화물 타깃 재료보다, 흡습성이 큰 희토류 금속의 산화물을 건조제로서 타깃의 보관용 용기 또는 필름 형상의 시일 중에 도입하고, 상기 보관용 용기 또는 필름 형상의 시일을 봉지하여 보관할 수 있다.
2 종 이상의 희토류 금속 또는 그들 산화물로 이루어지는 타깃의 경우, 흡습성이 가장 큰 희토류 금속 산화물을 건조제로서 사용할 수도 있다.
봉지·보관하는 방법에 대해서는, 최대한 외기가 들어가지 않도록 하는 것이 보다 바람직한 것으로, 그 방법의 하나로서 진공 봉지로 할 수 있다. 또, 진공 봉지·보관할 때, 용기 또는 필름 형상의 시일 중을, 일단 노점 - 80 ℃ 이하의 불활성 가스로 치환한 후, 진공 봉지하는 것이 바람직하다. 봉지 보관하는 수단으로는 가요성 필름을 사용하고, 이것을 밀폐 형상의 봉투로서 진공 시일할 수 있다.
상기에서는 진공 봉지에 대하여 설명했으나, 보관하는 방법으로서 노점 - 80 ℃ 이하의 불활성 가스를 봉입하여 봉지할 수도 있다. 모두 외기의 침입을 방지하는 것이다.
이와 같이, 외기와 차단하고, 가능한 한 외기의 습기 침입을 억제하지만, 약간의 침입이 있어도 건조제로서 사용하는 상기 희토류 산화물을, 봉지될 때에 발생되는 공간에 재치 또는 충전함으로써 타깃 본체의 수산화를 억제하는 것이 가능해진다.
일반적으로, 타깃은 받침 (backing) 플레이트에 접합되는데, 이것을 예를 들어, 가요성 필름을 사용하고, 이것을 밀폐 형상의 봉투로서 진공 시일하는 경우에는, 아무래도 타깃은 받침 플레이트 사이에 단차가 생겨 공극이 발생하기 쉽다. 이와 같은 공극에는 외기가 저류 (貯留) 되기 쉬워진다. 그리고, 그곳으로부터 타깃의 분말 형상화가 진행되기 쉬워진다. 이와 같은 단차 또는 공극에 건조제가 되는 희토류 산화물을 충전하는 것이 바람직하다.
이 건조제가 되는 희토류 산화물은, 이 의미에서 표면적이 큰 분말 또는 과립 상태가 좋은 것은 이해할 수 있을 것이다. 그러나, 외기가 저류되기 쉬운 장소에, 희토류 산화물의 작은 덩어리를 두는 것만으로도 효과가 있다.
또, 희토류 산화물과 타깃은 직접 접하도록 두는 것이 가장 효과적이지만, 타깃 표면에 대한 분말의 부착은, 스퍼터링 중의 파티클 발생의 원인이 될 수 있다. 그러한 경우에는, 일반적인 건조제와 같이, 투습성의 필름에 팩한 상태에서 봉입해도 충분히 효과가 있다.
본원 발명 타깃의 보관 방법에 있어서는, 타깃을 구성하는 희토류 금속이, 란탄 타깃 또는 란탄을 함유하는 타깃에 특히 유효하다. 또, 건조제로서 사용하는 상기 희토류 산화물은 란탄 산화물이다. 이것은 피상적인 표현이기는 하지만, 희토류 금속 또는 그 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법으로서, 가장 수산화되기 쉬운 란탄 산화물이, 가장 희토류 금속 또는 그 산화물로 이루어지는 타깃의 수산화 억제 효과가 높다는 것이다.
봉지 보관에 사용하는 가요성 필름의 수분 투과량 또는 용기의 외부로부터의 수분 침입량을, 0.1 g/㎡·24 h 이하로 하고, 최대한 수분의 침입을 방지하는 것도 희토류 금속 또는 그 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법으로서 중요하다.
봉지 보관에 사용하는 가요성 필름의 바람직한 예와, 그 이외의 예를 표 1 에 나타낸다. 이 표 1 에서는, GX 배리어 (상품명) 이상의 특성을 갖는 것이 유효하다. 표 1 에 나타내는 바와 같이, GX 배리어 (상품명) 와 Al 포일 수납 봉투가 바람직하다. 표 1 은 대표적인 예를 나타낸 것으로서, 상기의 조건을 만족하는 것이면 다른 가요성 필름을 사용할 수 있는 것은 말할 것도 없다.
Figure pct00001
다음으로, 본원 발명을 실시한 경우의 예에 대하여 설명한다. 또한, 이 예는 이해를 용이하게 하기 위한 것으로서 본 발명을 제한하는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 기술 사상의 범위 내에 있어서의, 다른 예 및 변형은 본 발명에 포함되는 것이다.
(실시예 1)
La 타깃을 진공 팩하고, La 산화물 분말을 표면과 측면에 얇게 충전한 경우의 예이다. 이 구체예를, 도 1 에 나타낸다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 진공 팩의 필름과 La 타깃 사이에 산화 란탄 층이 존재함으로써, 진공 팩 내측에 잔류하고 있는 수분 및, 필름을 투과해 오는 수분은 산화 란탄 분말에 흡수되고, 수산화 란탄으로서 고정되기 때문에, La 타깃 표면이 수분과 반응하여 수산화물로 되어 분말화되는 현상의 방지에 유효하다.
(실시예 2)
La 타깃을 진공 팩하고, La 산화물 분말을 (실리카 겔의 봉투와 같이) BP 의 단차 공간에 둔 예이다. 이 구체예를 도 2 에 나타낸다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 진공 팩에 있어서, 약간 남는 공간에 잔류하는 수분을 La 산화물이 흡수, 수산화 란탄으로서 고정되기 때문에, La 타깃이 수분과 반응하여 수산화물로 되어 분말화되는 현상의 방지에 유효하다.
(실시예 3)
금속제의 용기 내에 La 산화물 타깃을 설치하고, 그 타깃의 주위에 La 산화물 분말로 충전한 후, 주위의 공기를 일단 노점 - 80 ℃ 이하의 아르곤으로 치환하고, 추가로 그것을 진공 봉지한 예의 구체예를 도 3 에 나타낸다.
도 3 에 나타내는 바와 같이, 진공으로 한 후에 잔류하는 수분을 산화 란탄이 흡수하고, 수산화 란탄으로서 고정되기 때문에, La 가 수분과 반응하여 수산화물로 되어 분말화되는 현상의 방지에 유효하다.
(실시예 4)
금속제의 용기 내에 La 와 Er 로 이루어지는 금속 합금 타깃을 배치하고, 다음으로 그 타깃과 BP 와의 단차에 소결된 La 산화물 블록을 두고, 용기 내의 공기를 노점 - 80 ℃ 이하의 아르곤 가스로 치환한 후에 진공화한 예이다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 진공으로 한 후에 잔류하는 수분을 산화 란탄이 흡수하고, 수산화 란탄으로서 고정되기 때문에, La 가 수분과 반응하여 수산화물로 되어 분말화되는 현상의 방지에 유효하다.
(비교예 1)
La 타깃을 필름으로 진공 봉지한 경우이다. 이 구체예를 도 5 에 나타낸다. 도 5 에 나타내는 바와 같이, 진공 팩 필름과 타깃 사이에 만들어진 공간에 약간 잔류하고 있는 수분과 La 타깃이 반응하여 란탄 수산화물로 되어 분말화되었다.
(비교예 2)
La 타깃을 필름으로 진공 봉지하고, 건조제로서 실리카 겔을 둔 경우이다. 이 구체예를 도 6 에 나타낸다.
도 6 에 나타내는 바와 같이, 실리카 겔을 둔 경우에는 실리카 겔이 없는 경우보다 빨리 분말화되었다. 이것은, 실리카 겔이 흡착하고 있는 수분이 탈리 (脫離) 되어 진공 팩 필름 중으로 방출되기 때문에, 수분과 La 의 반응이 촉진되어 란탄 수산화물이 된 것으로 생각된다. 이것으로부터, 일반적으로 건조제로서 사용되는 실리카 겔은, 희토류 금속 또는 희토류 금속 산화물의 분말화 현상의 방지에는 도움이 되지 않고, 오히려 바람직하지 않은 것을 알 수 있다.
(비교예 3)
이 예는, La2O3 타깃을 필름에 진공 봉지한 경우이다. 이 구체예를 도 7 에 나타낸다. 도 7 에 나타내는 바와 같이, 진공 팩 내의, 약간 남는 공간에 잔류하는 수분을 La 산화물 (La2O3) 이 흡수하고, 수산화 란탄으로서 고정되 때문에, La2O3 타깃이 수분과 반응하여 수산화물로 되어 분말화된다.
이상의 실시예와 비교예로부터 분명한 바와 같이, 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관시에, 밀봉 용기 또는 시일 내에, 보관되는 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃과 동일한 희토류 금속의 산화물을 건조제로서 도입하는 것은 매우 유효하다는 것을 알 수 있다. 이로써, 공기의 잔류 및 침입에 의한 타깃의 산화 및 수산화에 의한 분화를 효과적으로 억제할 수 있게 된다.
산업상 이용가능성
종래, 희토류 금속 및 희토류 금속의 산화물 스퍼터링 타깃을, 공기 중에 장시간 방치해 두면, 공기 중의 수분과 반응하여 수산화물의 백색 분말로 덮이는 상태가 되어 정상적인 스퍼터링이 불가능하다는 문제가 발생하지만, 본 발명의 희토류 금속 또는 그 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법은 이와 같은 문제를 발생시키지 않는다.
본 발명의 희토류 금속 또는 그 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법은, 보관용 용기 또는 필름 형상의 시일 중에, 보관되는 희토류 금속 또는 그 산화물로 이루어지는 타깃과 동일한 희토류 금속의 산화물을 건조제로서 도입하는 것이다. 이로써, 공기 중의 수분과 반응하여 수산화물의 백색 분말로 덮이는 상태를 효과적으로 억제할 수 있다.
이로써, 메탈 게이트 재료, 고유전율 재료 (High-k) 등의, 전자 재료로서 타깃의 안정 공급이 가능해져 산업상 매우 유용하다.

Claims (10)

  1. 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법으로서, 당해 타깃의 보관용 용기 또는 필름 형상의 시일 중에, 보관되는 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃과 동일한 희토류 금속의 산화물을 건조제로서 도입하고, 상기 보관용 용기 또는 필름 형상의 시일을 봉지하여 보관하는 것을 특징으로 하는 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법.
  2. 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법으로서, 당해 타깃의 보관용 용기 또는 필름 형상의 시일 중에, 보관되는 희토류 금속 또는 이들의 산화물 타깃 재료보다, 흡습성이 큰 희토류 금속 산화물을 건조제로서 도입하고, 상기 보관용 용기 또는 필름 형상의 시일을 봉지하여 보관하는 것을 특징으로 하는 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법.
  3. 제 2 항에 있어서, 2 종 이상의 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 경우, 흡습성이 가장 큰 희토류 금속의 산화물을 건조제로서 사용하는 것을 특징으로 하는 희토류 금속 또는 이들의 산화물 타깃의 보관 방법.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 봉지 보관하는 방법이, 진공 봉지인 것을 특징으로 하는 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 봉지 보관하는 수단이, 가요성 필름을 사용한 진공 시일인 것을 특징으로 하는 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 봉지 보관하는 방법이, 노점 - 80 ℃ 이하의 불활성 가스를 봉입하여 봉지하는 것을 특징으로 하는 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 건조제로서 사용하는 상기 희토류 금속 산화물을, 봉지될 때에 발생되는 공간에 재치 또는 충전하는 것을 특징으로 하는 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 타깃을 구성하는 희토류 금속이, La 또는 La 를 함유하는 것을 특징으로 하는 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 건조제로서 사용하는 상기 희토류 금속 산화물이, La 산화물인 것을 특징으로 하는 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서, 봉지 보관에 사용하는 가요성 필름의 수분 투과량 또는 용기의 외부로부터의 수분 침입량이, 0.1 g/㎡·24 h 이하인 것을 특징으로 하는 희토류 금속 또는 이들의 산화물로 이루어지는 타깃의 보관 방법.
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