JP6306929B2 - 焼結体の製造方法 - Google Patents
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Description
このようなスパッタリング法に用いられるスパッタリングターゲットは、一般に、薄膜を形成しようとする材料からなるターゲット材と、導電性および熱伝導性に優れた材質からなるバッキングプレートとを、ボンディング材を介して接合することによって得られる。
スパッタリングターゲットの大型化への要望に対応するため、複数のターゲット材小片をパッキングプレート上に並べて接合することによって、大型のスパッタリングターゲットを製造している。ところで、このターゲット材小片(分割ターゲット材)を用いると、それらの隣接部位に起因するチッピング、パーティクルおよびアーキングが発生しやすくなり、歩留まり低下の原因となる。したがって、可能な限り分割数を少なくすることが好ましく、分割ターゲット材を用いず、所望サイズの1枚のターゲットが理想的である。
しかし、被焼結材料がセラミックス粉(酸化物、炭化物、窒化物、硼化物など)の場合、カプセル容器を構成する金属とセラミックスとは、熱膨張係数の差が大きい。そのため、焼結体に熱応力が発生し、カプセルHIP処理における焼結後の冷却時に焼結体に亀裂が発生するという問題がある。小型焼結体であれば、熱応力の絶対量は大きくない。そのため、焼結体の機械的強度が熱応力に堪えることができれば、亀裂は発生しにくく問題とならない。一方、大型焼結体の場合、熱応力の絶対量が大きくなるので、焼結体の機械的強度にも堪えることができず、亀裂が必然的に発生する。
しかしながら、このカプセル容器の肉厚は、実用的な肉厚(通常は1.5mm〜4mm)と較べて極めて薄いため、下記(a)ないし(c)などの多くの問題があり、現実的には特許文献1に記載の金属製カプセル容器(以下、薄肉厚カプセル容器という)の実用化は極めて困難である。
(a)金属製カプセル容器を作製する際に、金属の板を加工、研削して作製し、溶接する必要があるところ、薄肉厚カプセル容器では肉厚が薄すぎて現実的に溶接ができない。
(b)薄肉厚カプセル容器では肉厚が薄すぎて容器自体の強度が十分ではなく、大型焼結体を製造するために薄肉厚カプセル容器を大型化してより多くの被焼結材料を容器内に充填した時に、被焼結材料の重量に容器自体が堪えらず容器が破損するおそれがあり、HIP装置に設置するための容器の運搬ができないおそれがある。
(c)カプセルHIP処理の際に薄肉金属カプセル容器は圧縮され、その際、容器に穴、亀裂が入り、被焼結材料に額面通りの圧力を負荷できず、低密度な焼結体になってしまうだけでなく、被焼結材料が容器の外部に出ることにより、HIP装置内が汚染され、装置が故障してしまうおそれがある。
一方、特許文献2〜4には、カプセルHIP法において、カプセル容器と被焼結材料との間に離型剤を介在させることが記載されている。離型剤を介在させる目的は、カプセル容器と被焼結材料との固着または反応を防止し、焼結体をカプセルHIP処理後のカプセル容器から除去するのを容易にするためである。したがって、離型剤は、カプセル容器を構成する材料と固着または反応しないものであれば、特に限定されず、離型剤の厚みについても、存在していればよく、0.1mm程度である。
(1)被焼結材料をカプセル容器に入れ、カプセル熱間等方加圧焼結処理を行う焼結体の製造方法であって、被焼結材料とカプセル容器との間に、離型剤として、被焼結材料に対して非反応性であり、焼結後の相対密度が85%以下であり、焼結後の厚さが1mm以上となる量の金属および/または金属化合物を介在させて、カプセル熱間等方加圧焼結処理を行うことを特徴とする、焼結体の製造方法。
(2)前記離型剤は、金属または金属化合物であり、焼結後の厚さが2mm以上であることを特徴とする、前記(1)に記載の焼結体の製造方法。
(3)前記離型剤が、金属酸化物である、前記(1)または(2)に記載の製造方法。
(4)前記離型剤がアルミナまたはアルミナと二酸化ケイ素を含む複合酸化物である、前記(1)〜(3)のいずれかに記載の製造方法。
(5)前記離型剤がアルミナ粉末またはアルミナと二酸化ケイ素を含む複合酸化物粉末からなるコーティング膜である、前記(1)〜(4)のいずれかに記載の焼結体の製造方法。
(6)前記離型剤が、金属粉末である、前記(1)または(2)に記載の製造方法。
(7)被焼結材料をカプセル容器に入れ、カプセル熱間等方加圧焼結処理を行う焼結体の製造方法であって、被焼結材料とカプセル容器との間に、離型剤として、被焼結材料に対して非反応性であり、金属および/または金属化合物からなるシートまたはブランケットと、金属箔とを重ね合わせて、焼結後の厚さが1mm以上となる量で介在させて、カプセル熱間等方加圧焼結処理を行うことを特徴とする、焼結体の製造方法。
(8)被焼結材料をカプセル容器に入れ、カプセル熱間等方加圧焼結処理を行う焼結体の製造方法であって、被焼結材料とカプセル容器との間に、離型剤として、被焼結材料に対して非反応性で、相対密度が100%である金属シートを1枚または複数枚重ね合わせて、焼結後の厚さが1mm以上となる量で介在させて、カプセル熱間等方加圧焼結処理を行うことを特徴とする、焼結体の製造方法。
(9)前記カプセル容器が金属製である、前記(1)〜(8)のいずれかに記載の製造方法。
(10)前記被焼結材料が透明導電性材料である、前記(1)〜(9)のいずれかに記載の製造方法。
(11)前記透明導電性材料が酸化亜鉛系透明導電性材料である、前記(10)に記載の製造方法。
(12)前記被焼結材料が透明半導体材料である、前記(1)〜(9)のいずれかに記載の製造方法。
(13)前記透明半導体材料が、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、亜鉛(Zn)および酸素(O)からなる焼結体を得るための材料である、前記(12)に記載の製造方法。
(14)前記カプセル熱間等方加圧焼結処理における焼結温度が900〜1400℃であり、300mmφあるいは300mm角以上の大型焼結体の亀裂の発生を抑制できる、前記(1)〜(13)のいずれかに記載の製造方法。
(15)前記カプセル熱間等方加圧焼結処理により得られた焼結体が98%以上の相対密度を有する、前記(1)〜(14)のいずれかに記載の製造方法。
(16)前記カプセル熱間等方加圧焼結処理が、不活性ガス雰囲気下で行われる、前記(1)〜(15)のいずれかに記載の製造方法。
(17)前記不活性ガスがArまたはN2である、前記(16)に記載の製造方法。
(18)前記カプセル熱間等方加圧焼結処理が、50MPa以上の圧力条件下で行われる、前記(1)〜(17)のいずれかに記載の製造方法。
本発明の一実施形態に係る製造方法は、被焼結材料がカプセル容器の内表面と接触しないように、被焼結材料とカプセル容器との間に所定の離型剤を所定の厚みで介在させてカプセル熱間等方加圧焼結(カプセルHIP)処理を行う工程を含む。
離型剤としては、後述するカプセルHIP処理における焼結温度領域にて、それ自身焼結せずに、ガスの発生がなく、カプセル容器の材料および被焼結材料と反応しない材料で、窒化硼素、金属炭化物および金属硼化物を除く金属および/または金属化合物である。
金属化合物としては、例えば、金属窒化物(例えば、窒化ケイ素、窒化チタン、窒化ガリウム、窒化ジルコニウム、窒化タンタル、窒化ニオブ、窒化ハフニウム、窒化バナジウム、窒化クロム等)、金属酸化物(例えば、アルミナ、二酸化ケイ素、酸化クロム(III)、ジルコニア等やそれら二種以上の金属酸化物からなる複合酸化物)などが挙げられる。
金属としては、融点2000℃以上の高融点金属(例えば、タンタル、ニオブ、タングステン、モリブデン、ハフニウム、レニウム、イリジウム等やそれら二種以上の金属からなる合金)などが挙げられる。
中でも、金属または金属化合物が好ましく、金属酸化物または融点2000℃以上の高融点金属であるのがより好ましく、金属酸化物の場合、アルミナまたはアルミナと二酸化ケイ素を含む複合酸化物であればさらに好ましい。アルミナと二酸化ケイ素を含む複合酸化物の組成は、二酸化ケイ素が54重量%以下であればよい。
被焼結材料の焼結処理温度が、900〜1400℃であるため、離型剤がアルミナやアルミナと二酸化ケイ素を含む複合酸化物、融点2000℃以上の高融点金属を用いると焼結処理の際、離型剤自身が焼結による高密度化することが無く、一定の容積を保持し続けるので、カプセル容器と被焼結材料の間で生じる熱応力を緩和することが出来る。
金属炭化物は焼結時に還元作用を被焼結材料に及ぼし、被焼結材料と反応したり、還元された金属がガス化してカプセルHIP処理が進行しない等の問題があり離型剤として使用できない。金属硼化物は被焼結材料と反応するので、離型剤として使用することができない。また、窒化硼素を離型剤として用いると、得られる焼結体と反応し亀裂や硼素が拡散(コンタミ)が生じてしまうおそれがある。
コーティング膜は、金属水酸化物、金属酸化物や金属窒化物粉末を溶媒に分散させたものや、金属酸化物前駆体(金属塩、金属アルコキシド、金属錯体等)が溶媒に溶解した、無機塗料を、カプセル容器の内側に塗布し、溶媒を乾燥除去することにより形成することが出来る。あるいは、セメント形状のものをカプセル容器の内側に塗布し、溶媒を乾燥除去することにより形成することが出来る。
粉末の形態の場合、中空粒子、多孔質粒子でも好適に用いることが出来る。
金属酸化物、金属窒化物は粉末、シート、ブランケット、コーティング膜の形態をとりうる。金属の場合、粉末、シートの形態をとりうる。これらの形態の内、二種以上を組合わせて用いても良い。
また、離型剤がバインダー成分を含有していてもよい。カプセルHIP処理時の脱気処理にて脱バインダー処理を兼ねることができる。
なお、1次粒子サイズとは、レーザー回折・散乱法により測定した粒度分布における積算体積分率50%粒径である。以下同じ。
相対密度=100×[(焼結体の密度)/(焼結体の理論密度)]
なお、焼結体の密度は、実施例に記載の評価方法によって測定することができる。
ただし、被焼結材料として後述するIGZO系粉末を用いる場合、IGZO系粉末の金属原子の割合と同じ金属原子の割合の単相結晶の情報がJCPDS(Joint Committee of Powder Diffraction Standards)カードに記載されている場合は、JCPDSカードに記載のその結晶の理論密度を上記式中の焼結体の理論密度として例外的に用いる。具体例として、酸化インジウム粉末と酸化ガリウム粉末と酸化亜鉛粉末とを、インジウムとガリウムと亜鉛との原子数比がIn:Ga:Zn=1:1:1となるように混合させた場合、JCPDSカードにはInGaZnO4(In:Ga:Zn=1:1:1)の単相結晶の情報が記載されているため、JCPDSカードに記載のInGaZnO4の理論密度(6.38g/cm3)を上記式中の焼結体の理論密度とする。他の具体例として、後述するIGZO系粉末として、酸化インジウム粉末と酸化ガリウム粉末と酸化亜鉛粉末とを、インジウムとガリウムと亜鉛との原子数比がIn:Ga:Zn=2:2:1となるように混合させた場合は、JCPDSカードに記載のIn2Ga2ZnO7(In:Ga:Zn=2:2:1)の単相結晶の理論密度(6.50g/cm3)を上記式中の焼結体の理論密度とする。なお、IGZO系粉末の金属原子の割合と、JCPDSカードに記載されている単相結晶の金属原子の割合とが一致しない場合、そのズレが5%以内であれば、JCPDSカードに記載されている単相結晶の理論密度を上記式中の焼結体の理論密度とする。
なお、各金属酸化物の単体密度は下記のとおりである。
酸化インジウムの単体密度は7.18g/cm3、酸化錫の単体密度は6.95g/cm3、酸化ガリウムの単体密度は5.88g/cm3、酸化亜鉛の単体密度は5.61g/cm3である。
カプセル容器としては、被焼結材料を充分真空封止ができて、カプセルHIP処理における焼結温度にて充分変形するが破裂するおそれがない材料であればよく、通常、鉄、アルミニウム、ステンレス、ニオブ、タンタル、ガラス、ニッケル、白金、銅等が用いられ、金属製であるのが好ましい。具体的には、鉄は炭素鋼が好ましく、炭素の含有量が約0.3%以下の軟鋼が好ましい。銅は無酸素銅が好適に用いられる。ステンレスはsus304が好適に用いられる。
特に、カプセル容器の材料は、カプセルHIP処理において、焼結温度が1300℃以上である場合には、タンタル、ニオブ、白金;焼結温度が900℃〜1300℃である場合には、鉄、ステンレス;焼結温度が900℃以下である場合には、ニッケル、銅等であるのが好ましい。
カプセル容器の壁厚は、特に限定されず、1.5mm〜4mmが好ましい。この範囲内であれば、カプセル容器が容易に軟化し、変形することができ、焼結反応が進むに従い、焼結体に追随して収縮することができる。
カプセル容器の形状は、特に限定されず、例えば、カプセルHIP処理の際に等方的に加圧しやすい形状であればよく、例えば、円柱、直方体などが挙げられる。
カプセル容器の寸法は、特に限定されないが、カプセルHIP処理後に、例えば、平面部が直径300mm以上の円形、または少なくとも一辺が300mm以上の多角形等であって、厚みが3mm以上、とりわけ1mを超えるような円柱体や角柱体などの大型焼結体とすることができる寸法であってもよい。
(粉末の種類)
被焼結材料を構成する粉末の種類としては、例えば、透明導電性材料、透明半導体材料など挙げられ、なかでも透明導電性材料、透明半導体材料が好ましい。
透明半導体材料としては、例えば、酸化インジウム−酸化ガリウム−酸化亜鉛(IGZO)系膜を形成するのに用いることができる焼結体(以下、IGZO系焼結体という)の原料となる金属酸化物粉末(以下、IGZO系粉末という);酸化錫−酸化亜鉛(ZTO)系膜、酸化インジウム−酸化亜鉛−酸化錫系膜、酸化ガリウム−酸化亜鉛−酸化錫系膜、酸化インジウム−酸化ガリウム系膜、酸化インジウム−酸化亜鉛系膜などを形成するのに用いることができる焼結体の原料となる金属酸化物粉末などが挙げられる。
透明導電性材料としては、例えば、酸化インジウム−酸化スズ(ITO)系膜を形成するのに用いることができる焼結体(以下、ITO系焼結体という)の原料となる金属酸化物粉末(以下、ITO系粉末という);チタンドープ酸化亜鉛(TZO)膜、アルミニウムドープ酸化亜鉛(AZO)膜、ガリウムドープ酸化亜鉛(GZO)膜などの酸化亜鉛(ZnO)系膜を形成するのに用いることができる焼結体(以下、ZnO系焼結体という)の原料となる金属酸化物粉末(酸化亜鉛系透明導電性材料、以下、ZnO系粉末という);タンタルドープ酸化錫膜、ニオブドープ酸化錫膜、アンチモンドープ酸化錫膜などを形成するのに用いることができる焼結体の原料となる金属酸化物粉末などが挙げられる。
IGZO系粉末を構成する各粉末の混合割合は、後述するIGZO系焼結体の原子数比となるように混合すればよい。
ITO系粉末を構成する各粉末の混合割合は、得られるITO系焼結体の錫の含有量が後述する範囲内となるように混合すればよい。
ZnO系粉末が混合粉末(b)である場合、混合粉末(b)におけるチタン原子数の割合は、全金属原子数に対して0.2%以上10%以下であり、好ましくは0.5〜9%であり、より好ましくは0.8〜8%であり、混合粉末(b)におけるガリウムまたはアルミニウムの原子数の割合は、全金属原子数に対して0.1%以上6%であり、好ましくは0.5〜6%であり、より好ましくは0.3〜3.0%である。チタン原子数の割合が上記範囲内であると、カプセルHIP処理により、亜鉛を揮発することなく、チタン原子数の割合がこの範囲内である組成のZnO系焼結体を製造することができる。チタン原子数の割合は、化学的耐久性が要求される用途や透過率が要求される用途によって、チタンの含有量を増減させることができる。特にチタン原子数の割合が、全金属原子数に対して、2%超10%以下であれば、このZnO系焼結体を用いて、耐湿性、耐熱性など化学的耐久性、導電性などに優れた膜を形成することができる。さらに、ガリウムまたはアルミニウムの原子数の割合が上記範囲内であれば、後述するカプセルHIP処理により、亜鉛を揮発することなく、ガリウムまたはアルミニウムの原子数の割合がこの範囲内である組成のZnO系焼結体を製造することができるため、このZnO系焼結体を用いて、導電性、透明性などに優れた膜を形成することができる。
ZnO系粉末が混合粉末(c)である場合、混合粉末(c)におけるガリウムまたはアルミニウムの原子数の割合は、全金属原子数に対して1.0〜7%であり、好ましくは1.5〜6.0%であり、より好ましくは2.0〜5.0%である。
この低原子価酸化チタンの構造は、X線回折装置(X−Ray Diffraction、XRD)、X線光電子分光装置(X−ray Photoelectron Spectroscopy、XPS)などの機器分析の結果によって確認することができる。
混合方法は、特に制限されるものではないが、例えば、被焼結材料や金属酸化物粉末と水系溶媒とを混合し、得られたスラリーを充分に湿式混合により混合した後、固液分離・乾燥・造粒し、得られた造粒物を成形すればよい。
湿式混合は、例えば、硬質ZrO2ボール等を用いた湿式ボールミルや振動ミルにより行なえばよく、湿式ボールミルや振動ミルを用いた場合の混合時間は、12〜78時間程度が好ましい。なお、被焼結材料や金属酸化物粉末をそのまま乾式混合してもよいが、湿式混合の方がより好ましい。
固液分離・乾燥・造粒については、それぞれ公知の方法を採用すればよい。
被焼結材料は、充填率が50%以上である金属酸化物粉末である必要がある。これにより、カプセルHIP処理の際に、カプセル容器に掛かる外圧によりカプセル容器自体が破壊する程に圧縮されるおそれがなくなる。
ここで、充填率とは、カプセルHIP処理後に焼結体が理論密度に到達したとし、得られた焼結体の理論密度に対する、被焼結材料のタップ密度の割合であり、原則、下記式で表される。
充填率=100×{(被焼結材料のタップ密度/焼結体の理論密度)}
上記式中の焼結体の理論密度は、相対密度の式中の焼結体の理論密度と同様にして求めることができる。
ただし、被焼結材料を後述するように加圧成形した成型体をカプセル容器に充填する場合の被焼結材料の充填率(以下、「被焼結材料の充填率(加圧成形)」という)は、理論的にカプセルHIP処理後に焼結体が理論密度に到達したとし、その理論密度に対する、カプセル容器に充填した被焼結材料の充填密度の割合をいう。被焼結材料の充填密度とは、成型体をカプセル容器に充填した際、カプセル容器の内容積から容器内に充填した離型剤の体積を差し引いた体積を元に単位体積辺りに変換した成型体の質量である。なお、後述するように、成型体が有機バインダーを含む場合、被焼結材料の充填密度を求める際の成型体の質量とは、測定した重量から有機バインダーの重量を差し引いた値である。
例えば、市販の酸化インジウム粉末(添川理化学(株)製の「高純度(4N) 酸化インジウム(III)」)の仮焼前のタップ密度は1.95g/cm3、市販の酸化ガリウム粉末(ヤマナカヒューテック(株)製の「酸化ガリウム」)の仮焼前のタップ密度は1.39g/cm3、市販の酸化亜鉛粉末(ハクスイテック(株)製の「酸化亜鉛1種BF」)の仮焼前のタップ密度は0.96g/cm3である。
なお、上述したIGZO系粉末、ITO系粉末、ZnO系粉末などが、市販の酸化インジウム粉末などから構成される場合、それぞれの充填率は通常50%未満となる。
原料金属酸化物粉末(充填率が50%未満の金属酸化物粉末)を、被焼結材料(充填率が50%以上の金属酸化物粉末)とする方法として、例えば、原料金属酸化物粉末を仮焼する方法;原料金属酸化物粉末をスプレードライ等により造粒する方法;原料金属酸化物粉末を冷間等方圧加圧法(CIP)、一軸プレスなどにより加圧成形する方法などが挙げられる。
原料金属酸化物粉末の仮焼では、金属酸化物粉末の充填率を50%以上とすることができれば、IGZO系粉末、ITO系粉末、ZnO系粉末などとしてそれぞれで例示した混合粉末を仮焼してもよいし、その混合粉末を構成する、例えば、酸化インジウム粉末、酸化ガリウム粉末、酸化亜鉛粉末、低原子価酸化チタン粉末などをそれぞれ単独で仮焼してもよい。
また、上記混合粉末を構成する、例えば、酸化インジウム粉末、酸化ガリウム粉末、酸化亜鉛粉末、低原子価酸化チタン粉末などをそれぞれ単独で仮焼した場合、金属酸化物粉末の充填率を50%以上とすることができれば、仮焼した粉末同士を混合して混合粉末としてもよいし、仮焼した粉末と仮焼してない粉末とを混合して混合粉末としてもよい。
なお、仮焼後の混合粉末は、ジョージクラッシャー、ロールクラッシャー、スタンプミル、ハンマーミル、乳鉢等の公知の方法にて解砕を行い、粉末とすることができる。仮焼に用いる装置としては特に制限されないが、縦型電気炉、管状炉、マッフル炉、チューブ炉、炉床昇降式電気炉、ボックス型電気炉等が挙げられる。
仮焼温度は1200〜1600℃であり、好ましくは1400〜1600℃である。仮焼時間は8時間以上24時間以内であり、好ましくは10時間以上15時間以下である。仮焼時間が8時間未満であると、タップ密度が向上しないおそれがある。24時間を超えても、タップ密度は向上せず、製造コストの観点から好ましくない。雰囲気は、酸化性雰囲気中で仮焼するのが好ましい。
なお、酸化雰囲気としては、例えば、大気よりも酸素濃度が高い雰囲気、酸素加圧雰囲気などが挙げられる。特に酸化インジウム、酸化錫は熱分解して揮散しやすく、揮散を抑制する為、酸化雰囲気がより好ましい。
仮焼温度は900〜1400℃であり、好ましくは1000〜1300℃である。仮焼時間は8時間以上24時間以内であり、好ましくは10時間以上15時間以下である。仮焼時間が8時間未満であると、タップ密度が向上しないおそれがある。24時間を超えても、タップ密度は向上せず、製造コストの観点から好ましくない。
仮焼温度及び仮焼時間が上記範囲内であれば、酸化亜鉛が熱分解を起こして揮散するのを抑制し、粒成長を十分に進行させることができ、タップ密度が2.8g/cm3以上、通常3.3〜5.6g/cm3である酸化亜鉛粉末とすることができる。特に仮焼温度は上記範囲内であれば高いほど好ましく、粒子間で固相焼結が進行し、粒成長が生じ、粒子サイズが大きくなることにより、粒子を充填した際に、単位体積当たりの粒子間の隙間が減少し、タップ密度の向上に繋がる。
また、仮焼する際の雰囲気は、特に限定されず、大気雰囲気、酸化雰囲気などの酸化性雰囲気;不活性雰囲気、還元性雰囲気などの非酸化性雰囲気のいずれであってもよいが、大気雰囲気中で仮焼するのが好ましい。
不活性雰囲気としては、例えば、窒素、アルゴン、ヘリウム、真空、二酸化炭素などが挙げられる。
還元性雰囲気としては、例えば、水素、一酸化炭素、硫化水素、二酸化硫黄などが挙げられる。
酸化性雰囲気中で、仮焼温度が1200〜1600℃、好ましくは1400〜1600℃である。仮焼時間は12時間以上24時間以内であり、好ましくは15時間以上20時間以下である。
仮焼温度が上記範囲内であれば、酸化インジウム、酸化ガリウム、酸化亜鉛が分解されて金属インジウム、金属ガリウム、金属亜鉛が析出したり、インジウム、ガリウム、亜鉛が揮発することなく、粒成長を十分に進行させることができ、所望する充填率のIGZO系粉末が得られる。
酸化性雰囲気中で、仮焼温度が1400〜1600℃、である。仮焼時間は12時間以上24時間以内であり、好ましくは15時間以上20時間以下である。
仮焼温度が上記範囲内であれば、酸化ガリウム、酸化亜鉛が分解されて金属ガリウム、金属亜鉛が析出したり、ガリウム、亜鉛が揮発することなく、粒成長を十分に進行させることができ、所望する充填率のIGZO系粉末が得られる。
酸化性雰囲気中で、仮焼温度が1200〜1650℃、好ましくは1300〜1600℃である。
仮焼時間は12時間以上24時間以内であり、好ましくは15時間以上20時間以下である。
仮焼温度が上記範囲内であれば、酸化インジウム、酸化錫が分解されて金属錫、金属インジウムが析出したり、錫、インジウムが揮発することなく、粒成長を十分に進行させることができ、所望する充填率のITO系粉末が得られる。
非酸化性雰囲気中で、仮焼温度が900〜1300℃、好ましくは920〜1200℃である。
仮焼時間は12時間以上24時間以内であり、好ましくは15時間以上20時間以下である。
仮焼温度が上記範囲内であれば、酸化チタンにより酸化亜鉛が還元されて金属亜鉛が析出したり、亜鉛が揮発することなく、粒成長を十分に進行させることができる。
スプレードライ法は、通常、成型体を作製する際の一軸プレス機や冷間等方圧加圧法(CIP)などにより成型する際のゴム管への充填性を上げるために粉末の流動性を向上させる場合や、成型後の成型体のハンドリング性を向上させるために用いられるが、本発明者は、スプレードライにより金属酸化物粉末の充填率を50%以上とする目的にも有効であり、例えば、上述した市販の酸化亜鉛粉末を、タップ密度が2.8g/cm3以上の造粒粉末にすることができる(酸化亜鉛粉末の充填率を50%以上にできる)ことを初めて見出した。これにより、造粒粉末の粒度分布を揃えることができ、流動性を高めることができる。さらに、スプレードライの際の熱履歴は高くても300℃程度であるから、スプレードライによる処理前後で、酸化亜鉛粉末などの被焼結材料の焼結性能が低下することはほとんどない。
原料金属酸化物粉末としてIGZO系粉末またはITO系粉末を用い、このIGZO系粉末またはITO系粉末を造粒する際に用いる有機バインダーとしては、ZnO系粉末を造粒する際に用いる有機バインダーとして例示した公知のバインダーと同様のものが挙げられる。
スラリー状にする溶媒としては、特に限定されず、例えば、水;メタノールなどのアルコール系溶媒;アセトン等のケトン系溶媒が原料金属酸化物粉末の粒度分布の均一性、溶媒の揮散が容易であることから好ましい。
有機バインダーを溶解可能な溶媒としては、例えば、エタノール等のアルコール類;塩化メチルなどのハロゲン化炭化水素類;酢酸メチルなどのエステル類;プロピオントリルなどの窒素化合物;ジメチルスルホキシドなどの硫黄化合物;アセトンなどのケトン類;テトラヒドロフラン、ジオキサンなどのエーテル類;ベンゼンなどの炭化水素類などが挙げられる。
有機バインダーの添加量は、原料金属酸化物粉末100重量部に対して、好ましくは、0.5重量部〜10重量部であり、より好ましくは1重量部〜5重量部である。
この脱バインダー処理は、例えば、造粒粉末をカプセル容器に充填した後、カプセル容器の後述する真空脱気処理をする前に行ってもよいし、造粒粉末をカプセル容器に充填した後にカプセル容器の後述する真空脱気処理と同時に行ってもよいが、焼結体を製造するにあたり、脱脂するためだけの工程を必要としないため、後者が好ましい。
ZnO系粉末を造粒した後の脱脂は、有機バインダーとして、ポリアルキレンカーボネート樹脂を用いる場合は、酸化性雰囲気下にて350℃以下の加熱により行うのが好ましく、有機バインダーとして公知のバインダーを用いる場合は、不活性雰囲気下にて少なくとも450℃以上、500〜700℃程度の加熱により行うのが好ましい。
IGZO系粉末、ITO系粉末を造粒した後の脱脂は、例えば、雰囲気は問わず(大気雰囲気下、不活性雰囲気下等)にて少なくとも400℃以上、500〜700℃程度の加熱をすればよい。
なお,有機バインダーを含有する造粒粉末(以下、有機バインダー含有造粒粉末という場合がある)の脱バインダー処理をカプセル容器の真空脱気処理と同時に行う場合、この造粒粉末のタップ密度は式:(<有機バインダー含有造粒粉末のタップ密度の値からタップ密度差算出値を差し引いた値>/理論密度)×100から算出される値が50%以上であればよい。これは、有機バインダー含有造粒粉末のタップ密度は、有機バインダーを含むため、被焼結材料のタップ密度の値よりも高い値となり、有機バインダー含有造粒粉末のタップ密度と被焼結材料のタップ密度との差は、通常、タップ密度差算出値と同等か、それよりも低い値となる。そのため、上記式から算出される値が50%以上であれば、充填率が50%以上となる。なお、上記式中にタップ密度差算出値とは、式:(有機バインダー含有造粒粉末のタップ密度)×(有機バインダーの添加割合(原料金属酸化物粉末の総重量に対する有機バインダーの添加量))から算出される値である。
原料金属酸化物粉末の加圧成形は、例えば、CIPによって原料金属酸化物粉末を圧縮する方法;一軸プレスによって原料金属酸化物粉末を圧縮する方法;CIPと一軸プレスとを併用して原料金属酸化物粉末を圧縮する方法などにより、原料金属酸化物粉末を成型体とし、かつ上述した被焼結材料の充填率(加圧成形)が50%以上となるようにする。
有機バインダーを用いる場合は、原料金属酸化物粉末と有機バインダーを混合した後、加圧成形して成型体を得、この成型体をカプセルHIP処理する前に、脱バインダー処理(脱脂)を行う。この脱バインダー処理は、例えば、成型体をカプセル容器に充填した後、後述するカプセル容器の真空脱気処理をする前に行ってもよいし、成型体をカプセル容器器に充填した後にカプセル容器の真空脱気処理と同時に行ってもよいが、焼結体を製造するにあたり、脱脂するためだけの工程を必要としないため、後者が好ましい。なお、有機バインダーを用いた場合であっても、原料金属酸化物粉末と有機バインダーとを混合すること、脱バインダー処理を行うことを除き、有機バインダーを用いない場合と同様にして、焼結体を製造することができる。
原料金属酸化物粉末と有機バインダーを混合する方法は、特に制限されるものではないが、例えば、原料金属酸化物粉末と、有機バインダーと、有機バインダーを溶解可能な溶媒と、スラリー状にする溶媒とを混合し、得られたスラリーを充分に湿式混合により混合し、その後の公知の乾燥処理を行う方法などが挙げられる。
原料金属酸化物粉末と有機バインダーを混合した粉末を加圧成形するには、有機バインダーを用いないで成型体を作製する場合と同様にして行えばよい。
有機バインダーを溶解可能な溶媒、スラリー状にする溶媒としては、<原料金属酸化物粉末のスプレードライによる造粒>において有機バインダーを溶解可能な溶媒、スラリー状にする溶媒として例示したものと同様のものが挙げられる。
有機バインダーの添加量は、混合粉末100重量部に対して、好ましくは、0.5重量部〜10重量部であり、より好ましくは1重量部〜5重量部である。
加圧の圧力は、少なくとも50MPa以上300MPa未満であり、より好ましくは100MPa以上することが好ましく、例えば、ZnO系粉末からなる成型体の密度を2.8g/cm3以上にするには、好ましくは100〜250MPa、より好ましくは150〜200MPaである。50MPa未満であると、安定なプレス成型体ができないおそれがある。300MPa以上であると、成型体がもろくわれやすくなるおそれがある。
加圧の圧力は、少なくとも50MPa以上300MPa未満であり、より好ましくは100MPa以上、さらに好ましくは100〜250MPa、特に好ましくは150〜200MPaである。50MPa未満であると、安定なプレス成型体ができないおそれがある。300MPa以上であると、成型体がもろくわれやすくなるおそれがある。
プレス圧力は、少なくとも30MPa以上100MPa未満であり、より好ましくは40MPa以上することが好ましく、例えば、成型体の密度を2.8g/cm3以上にするには、好ましくは40〜90MPa、より好ましくは50〜80MPaである。30MPa未満であると、安定なプレス成型体ができないおそれがある。100MPa以上であると、成型体がもろくわれやすくなるおそれがある。
プレス圧力は、少なくとも30MPa以上100MPa未満であり、より好ましくは40MPa以上にすることが好ましく、さらに好ましくは40〜90MPa、特に好ましくは50〜80MPaである。30MPa未満であると、安定なプレス成型体ができないおそれがある。100MPa以上であると、成型体がもろくわれやすくなるおそれがある。
例えば、ZnO系粉末からなる成型体の場合、成型体の密度は、好ましくは2.8g/cm3以上であり、より好ましくは3.3〜5.6g/cm3である。成型体の密度が2.8g/cm3以上であれば、熱間等方加圧焼結(HIP)によるカプセル容器の収縮率を50%以下にすることができる。なお、ZnO系粉末からなる焼結体の理論密度は、上述したZnO系粉末の混合割合から明らかなように、焼結体は酸化亜鉛を主成分とするため、酸化亜鉛の単体密度と同程度であり、具体的には5.55〜5.60g/cm3である。
なお、被焼結材料の充填密度とは、成型体をカプセル容器に充填した際、カプセル容器の内容積から容器内に充填した離型剤の体積を差し引いた体積を元に単位体積あたりに変換した成型体の質量である。なお、成型体が有機バインダーを含有し、この成型体の脱バインダー処理をカプセル容器の真空脱気処理と同時に行う場合、混合粉末の充填密度を求める際の成型体の質量とは、測定した重量から有機バインダーの重量を差し引いた値である。また、成型体が有機バインダーを含有し、この成型体の脱バインダー処理をカプセル容器の真空脱気処理をする前に行う場合、混合粉末の充填密度を求める際の成型体の質量とは、脱バインダー処理後に測定した成型体の重量である。
カプセル容器内には、被焼結材料が離型剤に所定の厚みで覆われた状態となるように被焼結材料を充填する。
被焼結材料を充填する方法としては、特に限定されず、例えば、被焼結材料(粉状)および離型剤をカプセル容器に入れる際に被焼結材料と離型剤とを仕切る仕切りを用いて充填する方法;CIPなど加圧成形により被焼結体材料をあらかじめ圧縮成形した後、被焼結材料(成型体)および離型剤をカプセル容器に入れる方法;カプセル容器の内側に無機塗料、セメントを塗布し、溶媒を乾燥除去してコーティング膜を形成した後、被焼結材料を充填する方法などが挙げられる。
仕切りの材質としては、例えば、紙、金属箔などが挙げられる。
なお、カプセルHIP処理により離型剤が多少は焼結し、収縮することを想定して、離型剤をカプセル容器に充填する時にはその分だけ厚めに、すなわち1mmよりさらに厚くなるように充填しておくのが好ましい。
後述するカプセルHIP処理における焼結条件で焼結した後の冷却段階において、カプセル容器、離型剤、焼結体は、それぞれ材料が異なり熱膨張率が異なるため、熱応力が冷却に伴い発生する。
具体的には、カプセルHIP処理における焼結過程では、カプセル容器は外部から高温、高圧のガスが掛けられ圧縮されている状態であるが、カプセルHIP処理における焼結過程が終了後、冷却過程にはいると、カプセル容器に掛かる温度と圧力は低下し始める。圧力の低下に伴い、カプセル容器は圧縮させられている状態(弾性変形している状態)から膨らむ方向に変形し始めると同時に、温度の低下に伴い材料固有の熱膨張率に従ってカプセル容器を収縮させようとする。膨らむ方向に変形し始める作用が材料固有の熱膨張率に従ってカプセル容器を収縮させようとする作用に勝り、カプセル容器は膨らむ方向にある。一方、焼結体は、温度が低下するに伴い、材料固有の熱膨張率に従い、焼結体は収縮し始める。
このようにカプセルHIP処理が冷却過程に入ると、カプセル容器は膨らむ方向に、焼結体は収縮する方向に、それぞれが逆の変位をし、カプセル容器および焼結体は単に収縮する傾向にある焼結過程における挙動とは異なる挙動を示すと考えられ、カプセル容器とも焼結体とも反応しない(密着しない)離型剤をカプセル容器と焼結体の間に挟むことにより、熱応力の発生を防ぐことができると推測される。さらに、焼結体は離型剤と離れ、独立して自然に冷却するに伴い熱膨張率に従い収縮すると考えられ、残留応力を溜め込むこともない。
これは、カプセルHIP処理における焼結過程後の冷却過程の際であるが、カプセルHIP処理における焼結過程中にもカプセル容器と焼結体中にも応力が発生する。焼結が進行するに伴い、被焼結体は収縮していく。収縮に伴い、焼結体には引っ張り応力が発生する。
カプセルHIP処理は、被焼結材料を充填したカプセル容器内の真空脱気処理をし、カプセル容器に接続された排気管を閉じ、カプセル容器を封止し、この封止したカプセル容器に行う。被焼結材料は、カプセル容器内に真空封止にて閉じこめられている閉鎖空間内に充填されてカプセルHIP処理がされるので、得られる焼結体と仕込んだ被焼結材料とで組成ずれが生じにくく、均一に高密度の焼結体が得られる。
カプセル容器内の真空脱気処理は、まず、被焼結材料を充填したカプセル容器を加熱しながら、カプセル容器内の圧力を1.33×10-2Pa以下に真空引きを行う。その後、カプセル容器に接続された排気管を閉じ、カプセル容器を封止する。この真空脱気処理により、被焼結材料に付着しているガス、吸着水分を充分に除去することができる。
真空引きする際のカプセル容器の加熱温度は100℃以上600℃以下であることが好ましい。なお、成型体、造粒粉末が有機バインダーを含み、有機バインダーの脱脂を真空脱気処理と同時に行う場合には、真空引きする際のカプセル容器の加熱温度は、上述したように、450〜700℃程度とする。
カプセルHIP処理は高温高圧下のガスを圧力媒体としてカプセル容器内部の被焼結材料の焼結を行うものである。
カプセルHIP処理条件で温度が900℃未満、圧力50MPa未満では相対密度が90%未満と低くなる。
圧力媒体としてのガスとしては、窒素、アルゴン等の不活性ガスを用いるのが好ましく、なかでも、ArまたはN2であるのが好ましい。
また、相対密度が98%以上である焼結体であれば、例えば、該焼結体を用いてスパッタリングにて成膜する際、異常放電が発生しにくく安定に成膜することができる。
本発明の他の実施形態に係る製造方法は、離型剤として、被焼結材料に対して非反応性であり、金属および/または金属化合物からなるシートまたはブランケットと、金属箔とを重ね合わせて用いる他は、上述した本発明の一実施形態に係る製造方法と同様にして行なうことができる。
本実施形態のシートの厚さは、金属箔と重ね合わせたカプセルHIP処理後の厚さが後述する範囲となれば特に限定されず、5〜20mmであるのが好ましい。本実施形態のブランケットの厚さは、金属箔と重ね合わせたカプセルHIP処理後の厚さが後述する範囲となれば特に限定されず、5〜20mmであるのが好ましい。
ブランケットとして、SCブランケット1260(新日本サーマルセラミックス(株)製)、SCブランケット1400(新日本サーマルセラミックス(株)製)、SCブランケット1600MLS(新日本サーマルセラミックス(株)製)、イソウール1260ブランケット(イソライト工業(株)製)、イソウール1260エースブランケット(イソライト工業(株)製)、イソウール1400ブランケット(イソライト工業(株)製)、イソウール1500エースブランケット(イソライト工業(株)製)、イソウール1600ブランケット(イソライト工業(株)製)などが挙げられる。
金属箔の厚さは、通常、0.1mm以上0.5mm未満である。
なお、カプセルHIP処理により、金属および/または金属化合物からなるシートまたはブランケットが多少は焼結し、収縮することを想定して、離型剤をカプセル容器に充填する時にはその分だけ厚めに、すなわち1mmよりさらに厚くなるように充填しておくのが好ましい。
本発明のさらに他の実施形態に係る製造方法は、離型剤として、被焼結材料に対して非反応性である金属シートを、1枚または複数枚重ね合わせて用いる他は、上述した一実施形態に係る製造方法と同様にして行なうことができる。
金属シートの厚さは、通常0.5〜2mmであり、ハンドリングの観点から、好ましくは0.6〜1.8mm、より好ましくは0.8〜1.5mmである。
金属シートとしては、市販のものを用いることができる。
上記の条件を満足した時のみ、例えば、300mmφ以上の円形、または少なくとも一辺が300mm以上の多角形等であって、厚みが3mm以上、とりわけ1mを超えるような円柱体や角柱体などのセラミックス系大型焼結体を亀裂の発生もなく、カプセルHIP焼結法にて作製することができる。
IGZO系焼結体は、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、亜鉛(Zn)及び酸素(0)を構成元素とする。
IGZO系焼結体は、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、亜鉛(Zn)及び酸素(0)からなり、式InxGayZnzOa[式中、x/(x+y)が0.2〜0.8、z/(x+y+z)が0.1〜0.5、a=(3/2)x+(3/2)y+z]で表され、例えば、x:y:z=1:1:1の場合は、InGaZnO4と、x:y:z=2:2:1の場合は、In2Ga2Zn07と表すことができる。
インジウムとガリウムの合計に対するインジウムの原子数比x/(x+y)が0.8を超えると、スパッタ成膜して得られる膜のキャリア濃度が高過ぎてしまい、その膜を活性層とする薄膜トランジスタ特性の重要な指標であるon/off比が悪くなってしまう。一方、このインジウム比が0.2未満になると、スパッタ成膜して得られる膜のキャリア濃度が低くなり過ぎてしまうと共に、膜の移動度も低下してしまって、素子特性上、好ましくない。
また、IGZO系焼結体は、インジウムとガリウムと亜鉛の合計に対する亜鉛の原子数比z/(x+y+z)が0.5を超えると、スパッタ成膜して得られる膜の安定性、耐湿性等が劣化してしまう。一方、この亜鉛比が0.1未満になると、スパッタ成膜して得られる膜の非晶質性が弱くなり、結晶化し易くなってしまう。結晶化膜は膜特性の面内ばらつきが大きく、素子特性のばらつきを大きくしてしまう。更に、Zn比の減少とは、InとGaの合計比の増加であり、これら2種類の金属は比較的高価であるため、IGZO系焼結体のコストアップとなってしまう。
ITO系焼結体は、錫の含有量が、インジウム1モルに対して0〜0.3モルの範囲とする。錫が含有される場合には、インジウム1モルに対して0.001〜0.3モルの範囲で含有されるのが望ましい。錫の含有量が上記範囲内であれば、ITO系焼結体を加工して得られるスパッタリングターゲットのキャリア電子の密度並びに移動度を適切にコントロールして導電性を良好な範囲に保つことができる。また、錫の含有量が上記範囲を越えると、ITO系焼結体を加工して得られるスパッタリングターゲットのキャリア電子の移動度を低下させると共に導電性を劣化させる方向に働くので好ましくない。
なお、ITOスパッタリングターゲットは一般にCu製のバッキングプレートにボンディングされて使用されるため、例えばタッチパネル用のITO膜を形成するときには、一般にSnの含有量がインジウム1モルに対して0.015モル程度であるITOスパッタリングターゲットをCu製のバッキングプレートにボンディングしてスパッタリングが行われている。
ZnO系焼結体は、ZnO系粉末として混合粉末(a)、(b)を用いた場合、カプセルHIP処理により得られるため、上述したZnO系粉末におけるチタン原子数の割合と同様に、チタンが原子数比でTi/(Zn+Ti)=0.002以上0.1以下となる。
チタンの原子数比が上記範囲内であれば、ZnO系焼結体の強度、ZnO系膜の耐薬品性など化学的耐久性、比抵抗、導電性、透明性などの点で好ましい。
好ましくは、チタンの含有量は、原子数比でTi/(Zn+Ti)=0.005〜0.09となる量であり、より好ましくは、原子数比でTi/(Zn+Ti)=0.008〜0.08となる量である。
一方、チタンが原子数比でTi/(Zn+Ti)=0.02超0.1以下では、この酸化亜鉛系焼結体を用いて形成された膜の化学的耐久性に極めて優れ、チタンのみでも低抵抗化することは可能であるが、さらなる低抵抗化するために、ガリウムおよびアルミニウムの少なくとも1つを含むことは好ましい。
ZnO系膜はいずれもAZO膜,GZO膜より化学的耐久性、近赤外高透過性に優れているが、上述したようにチタンの含有量により近紫外域領域〜可視域領域の高透過性重視、すなわち太陽電池の変換効率向上重視か、極めて高い化学的耐久性重視か、自由に特性を調整することができる。
このようにして得られた焼結体は、スパッタリング法、イオンプレーティング法、PLD法またはEB蒸着法による成膜に用いられるターゲットに加工されて用いられてもよい。このターゲットは高密度であり、かつ、大型であるため、分割ターゲットでなく、一枚もののターゲットであるため、例えば、スパッタリングにて成膜する際、分割ターゲット材間の隣接部位が起因となるチッピング、パーティクルおよびアーキングの発生を防止し、異常放電が発生しにくく、安定に成膜することができる。
なお、このような成膜の際に用いる固形材料のことを「タブレット」と称する場合もあるが、本発明においてはこれらを含め「ターゲット」と称することとする。
加工方法は、特に制限されず、適宜公知の方法を採用すればよい。例えば、焼結体に平面研削等を施した後、所定の寸法に切断してから、支持台に貼着することにより、1枚ものの分割なしターゲットを得ることができる。
また、スパッタリングなどに使用されるターゲットの一枚の厚みは、通常、3〜20mm程度であるため、この厚みよりも厚い焼結体を製造した場合にはマルチワイヤーソー、バンドーソー、マルチブレードソー、ダイアソー等によって所望する厚みに加工すればよい。例えば、厚さ105mm(削り代5mm)の焼結体を製造した場合には、マルチワイヤーソーにより厚さ20mmで切断して、1枚の焼結体から5枚のターゲットをとればよい。
このようにして得られたターゲットを用いて、スパッタリング法、イオンプレーティング法、PLD法またはEB蒸着法により透明導電膜、透明半導体膜を成膜することができる。その際の具体的手法や条件などについては、上述したターゲットを用いること以外、特に制限はなく、公知のスパッタリング法、イオンプレーティング法、PLD法またはEB蒸着法の手法や条件を適宜採用すればよい。
IGZO系膜は、In、Ga及びZnの酸化物からなり、高移動度及び可視光透過性を有しており、液晶表示装置、薄膜エレクトロルミネッセンス表示装置、電気泳動方式表示装置、粉末移動方式表示装置等のスイッチング素子、駆動回路素子等の用途に使用されている。
また、IGZO系膜は、IGZO系焼結体を加工したスパッタリングターゲットを用いて成膜されてもよく、スパッタリングにより得られたIGZO系膜は、アモルファスシリコン膜よりも移動度が大きいという利点がある。
IGZO系焼結体を加工したスパッタリングターゲットは、InGaO3(ZnO)m(mは1〜20の整数)で表される化合物が主成分である。
なお、上述したIGZO系焼結体を加工してなるスパッタリングターゲットにより形成された透明半導体膜中の金属原子の混合割合は、使用したスパッタリングターゲット中の金属原子の混合割合(すなわち、IGZO系粉末中の金属原子の混合割合)と同一となる。
ITO系膜は、酸化インジウム(In2O3)および酸化スズ(SnO2)の少なくとも一方を含み、可視光透過性が高く導電性も高いため、透明導電膜として液晶表示装置やタッチパネル、フラットパネルディスプレイの透明電極、ガラスの結露防止用発熱膜、赤外線反射膜などに広く用いられている。透明導電膜用のITO膜は、通常インジウム1モルに対して0.09モル程度のSnを含有するが、タッチパネル用のITO膜としては、比較的高抵抗であることが要求されることから、Snの含有量がインジウム1モルに対して0.015モル前後のITO膜が使用されている。
また、ITO系膜は、一般にITO系焼結体を加工したスパッタリングターゲットをスパッタリングすることにより形成される。
なお、上述したITO系焼結体を加工してなるスパッタリングターゲットにより形成された透明導電膜中の錫の含有量は、使用したスパッタリングターゲット中の錫の含有量(すなわち、ITO系粉末中の錫の含有量)と同一の含有量となる。
ZnO系焼結体を加工したターゲットを用いて形成されたZnO系膜は、例えば、液晶ディスプレイ・プラズマディスプレイ・無機EL(エレクトロルミネセンス)ディスプレイ・有機ELディスプレイ・電子ペーパーなどの透明電極、太陽電池の光電変換素子の窓電極、透明タッチパネル等の入力装置の電極、電磁シールドの電磁遮蔽膜、透明かつフレキシブルな集積回路等の用途に好適に用いられ、さらに、透明電波吸収体、紫外線吸収体、さらには透明半導体デバイスとして、他の金属膜や金属酸化膜と組み合わせて活用することもできる。
<仮焼後の酸化亜鉛粉末の製造>
酸化亜鉛粉末(ZnO:ハクスイテック(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ1.5μm)を、大気中1200℃で10時間仮焼した。昇温は、10℃/分の昇温速度で室温から1200℃まで行った。仮焼後、ハンマーミルを用いて粗粉砕して、仮焼後の酸化亜鉛粉末を得た。
得られた仮焼後の酸化亜鉛粉末のタップ密度を測定すると、3.91g/cm3であった。同様に、仮焼前の酸化亜鉛粉末のタップ密度を測定すると、1.02g/cm3であった。タップ密度は、JIS K 5101に準拠して測定した。すなわち、所定サイズのメスシリンダーに、粉末の体積変化がなくなるまで振動を付与しながら充填し、充填した質量と体積とからタップ密度を求めた。以下、タップ密度の測定は、この方法で行った。
得られた仮焼後の酸化亜鉛粉末、一酸化チタン粉末(TiO(II):フルウチ化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ1μm以下)、および酸化アルミニウム粉末(Al2O3:住友化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ0.5μm)を、亜鉛とチタンとアルミニウムとの原子数比がZn:Ti:Al=98.2:1.0:0.8となるように合計で54kg秤量し、自動乳鉢で乾式混合(5時間)を行って混合粉末を得た。
次に、ステンレス(SUS304)製の金属製カプセル容器(外径:620mm、内径:610mm、容器内部の高さ:70mm)に、高さが10mmとなるまで離型剤を押し詰めて入れた。離型剤としては、酸化アルミニウム粉末(Al2O3:住友化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ45μm)を用いた。その後、金属製カプセル容器に、紙製の円筒(直径:590mm)を立てて、金属製カプセル容器の内壁と紙製の円筒の外壁との間(幅は10mm)に離型剤を押し詰めて充填した。
焼結体の理論密度=(酸化亜鉛の単体密度×混合質量比)+(一酸化チタンの単体密度×混合質量比)+(酸化アルミニウムの単体密度×混合質量比)
充填率=(タップ密度/焼結体の理論密度)×100
カプセルHIP処理後、金属製カプセル容器を取り外すと、カプセルHIP処理前は粉末状であった離型剤が固形状となっており、この固形状の離型剤は金属製カプセル容器および焼結体のいずれからも簡単に剥離することが出来た。亀裂が存在しない直径520mmおよび厚さ44mmの円柱状のTZO系焼結体を得た。
さらに、剥離した固形状の離型剤の密度(離型剤として用いたAl2O3のカプセルHIP処理後の密度)を測長法で求めたところ、3.05g/cm3であった。Al2O3の理論密度は3.95g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤の相対密度は77%であった。離型剤として用いたAl2O3は十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。なお、相対密度は下記の式で求められる。
相対密度=(焼結体の密度/焼結体の理論密度)×100
TZO系焼結体の結晶構造を、X線回折装置(理学電機(株)製、RINT2000)を用いて調べると、酸化亜鉛(ZnO)およびチタン酸亜鉛(Zn2TiO4)の結晶相の混合物であり、酸化チタンは全く存在していなかった。
得られたTZO系焼結体を、銅板をバッキングプレートとして用い、インジウム半田でボンディングして、スパッタリングターゲットを得た。
得られたスパッタリングターゲットを用いて、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明導電膜を形成した。すなわち、スパッタリング装置(アルバック(株)製)内に、上記ターゲットと透明基材(石英ガラス基板)とをそれぞれ設置し、Arガス(純度99.9995%以上、Ar純ガス=5N)を12sccmで導入して、圧力0.5Pa、ターゲット面の単位面積当たりの投入電力3.98W/cm2、基板温度200℃の条件下でスパッタリングを行った。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
<酸化亜鉛系焼結体の製造>
実施例1で得られた仮焼後の酸化亜鉛粉末、一酸化チタン粉末(TiO(II):フルウチ化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ1μm)、および酸化アルミニウム粉末(Al2O3:住友化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ0.5μm)を、亜鉛とチタンとアルミニウムとの原子数比がZn:Ti:Al=98.2:1.0:0.8となるように合計で69kg秤量し、自動乳鉢で乾式混合(5時間)を行って混合粉末を得た。
次に、ステンレス(SUS304)製の金属製カプセル容器(内寸:縦600mm×横600×高さ70mm、壁厚:5mm)に、高さが10mmとなるまで離型剤を押し詰めて入れた。離型剤としては、酸化アルミニウム粉末(Al2O3:住友化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ45μm)を用いた。その後、金属製カプセル容器に、紙製の角筒(縦:580mm、横:580mm)を立てて、金属製カプセル容器の内壁と紙製の角筒の外壁との間(幅は10mm)に離型剤を押し詰めて充填した。
充填した混合粉末の上に、高さが10mmとなるように、離型剤を押し詰めて入れて、紙製の角筒を除去した。混合粉末は、金属製カプセル容器内で10mmの厚さの離型剤で被覆された状態にある。
さらに、剥離した固形状の離型剤の密度(離型剤として用いたAl2O3のカプセルHIP処理後の密度)は測長法で求めたところ、3.1g/cm3であった。焼結体の理論密度は3.95g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤の相対密度は78%であった。離型剤として用いたAl2O3は十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。
一方、得られたTZO系焼結体の相対密度は99.3%であり、電子顕微鏡でTZO系焼結体を観察したところ、空孔もほとんど存在せず均一で緻密な焼結体であった。
TZO系焼結体の結晶構造を、実施例1と同様にX線回折装置を用いて調べると、酸化亜鉛(ZnO)およびチタン酸亜鉛(Zn2TiO4)の結晶相の混合物であり、酸化チタンは全く存在していなかった。
得られたTZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、実施例1と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明導電膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
実施例1で得られた仮焼後の酸化亜鉛粉末、一酸化チタン粉末(TiO(II):フルウチ化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ1μm以下)、および酸化アルミニウム粉末(Al2O3:住友化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ0.5μm)を、亜鉛とチタンとアルミニウムとの原子数比がZn:Ti:Al=98.2:1.0:0.8となるように合計で75kg秤量し、自動乳鉢で乾式混合(5時間)を行って混合粉末を得た。
次に、ステンレス(SUS304)製の金属製カプセル容器(外径:600mm、内径:590mm、容器内部の高さ:70mm)に、この混合粉末を充填し(充填率:69.8%)、離型剤を用いないこと以外は実施例1と同様にして、カプセルHIP処理を行った。カプセルHIP処理後、金属製カプセル容器を取り外し、直径520mmおよび厚さ62mmの円柱状のTZO系焼結体(相対密度:99.3%)を得た。しかし、得られた焼結体には、多数の亀裂が存在しており、この焼結体を用いてスパッタリングすることはできなかった。
<仮焼後のIGZO粉末の製造>
酸化インジウム粉末(In2O3:(株)高純度化学研究所製、純度99.99%、1次粒子サイズ4μm)を、大気中1450℃で12時間仮焼した。昇温は、10℃/分の昇温速度で室温から1450℃まで行った。仮焼後、ハンマーミルを用いて粗粉砕して、仮焼後の酸化インジウム粉末を得た。得られた仮焼後の酸化インジウム粉末のタップ密度を測定すると、2.20g/cm3であった。同様に、仮焼前の酸化インジウム粉末のタップ密度を測定すると、1.95g/cm3であった。
得られた仮焼後の酸化インジウム粉末、仮焼後の酸化ガリウム粉末および仮焼後の酸化亜鉛粉末を、インジウムとガリウムと亜鉛との原子数比がIn:Ga:Zn=1.0:1.0:1.0となるように合計で70kg秤量し、自動乳鉢で乾式混合(5時間)を行って混合粉末を得た。
次に、ステンレス(SUS304)製の金属製カプセル容器(内寸:縦660mm×横660mm×高さ70mm、壁厚:5mm)に、高さが10mmとなるまで離型剤を押し詰めて入れた。離型剤としては、酸化アルミニウム粉末(Al2O3:住友化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ45μm)を用いた。その後、金属製カプセル容器に、紙製の角筒(縦:640mm、横:640mm)を立てて、金属製カプセル容器の内壁と紙製の角筒の外壁との間(幅は10mm)に離型剤を押し詰めて充填した。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
さらに、剥離した固形状の離型剤の密度(離型剤として用いたAl2O3のカプセルHIP処理後の密度)は測長法で求めたところ、3.32g/cm3であった。焼結体の理論密度は3.95g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤の相対密度は84%であった。離型剤として用いたAl2O3は十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。
一方、得られたIGZO系焼結体の相対密度は、100%であり、電子顕微鏡でIGZO系焼結体を観察したところ、空孔もほとんど存在せず均一で緻密な焼結体であった。
得られたIGZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、ターゲット面の単位面積当たりの投入電力1.7W/cm2、基板温度を室温にした以外は、実施例1と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明半導体膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
<IGZO系焼結体の製造>
実施例3で得られた仮焼後の酸化インジウム粉末、仮焼後の酸化ガリウム粉末および仮焼後の酸化亜鉛粉末を、インジウムとガリウムと亜鉛との原子数比がIn:Ga:Zn=1.0:1.0:1.0となるように合計で53kg秤量し、自動乳鉢で乾式混合(5時間)を行って混合粉末を得た。
次に、ステンレス(SUS304)製の金属製カプセル容器(外径:670mm、内径:660mm、容器内部の高さ:70mm)に、高さが10mmとなるまで離型剤を押し詰めて入れた。離型剤としては、酸化アルミニウム粉末(Al2O3:住友化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ45μm)を用いた。その後、金属製カプセル容器に、紙製の円筒(直径:640mm)を立てて、金属製カプセル容器の内壁と紙製の円筒の外壁との間(幅は10mm)に離型剤を押し詰めて充填した。
充填した混合粉末の上に、高さが10mmとなるように、離型剤を押し詰めて入れて、紙製の円筒を除去した。混合粉末は、金属製カプセル容器内で10mmの厚さの離型剤で被覆された状態にある。
さらに、剥離した固形状の離型剤の密度(離型剤として用いたAl2O3のカプセルHIP処理後の密度)は測長法で求めたところ、3.32g/cm3であった。焼結体の理論密度は3.95g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤の相対密度は84%であった。離型剤として用いたAl2O3は十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。
一方、得られたIGZO系焼結体の相対密度は、100%であり、電子顕微鏡でIGZO系焼結体を観察したところ、空孔もほとんど存在せず均一で緻密な焼結体であった。
得られたIGZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、実施例3と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明半導体膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
実施例3で得られた仮焼後の酸化インジウム粉末、仮焼後の酸化ガリウム粉末および仮焼後の酸化亜鉛粉末を、インジウムとガリウムと亜鉛との原子数比がIn:Ga:Zn=1.0:1.0:1.0となるように合計で53kg秤量し、自動乳鉢で乾式混合(5時間)を行って混合粉末を得た。
次に、ステンレス(SUS304)製の金属製カプセル容器(外径:650mm、内径:640mm、容器内部の高さ:50mm)に、この混合粉末を充填し(充填率:51.4%)、離型剤を用いないこと以外は実施例3と同様にして、カプセルHIP処理を行った。カプセルHIP処理後、金属製カプセル容器を取り外し、直径512mmおよび厚さ40mmの円柱状のIGZO系焼結体(相対密度:100%)を得た。しかし、得られた焼結体には、多数の亀裂が存在しており、この焼結体を用いてスパッタリングすることはできなかった。
<AZO系焼結体の製造>
実施例1で得られた仮焼後の酸化亜鉛粉末と酸化アルミニウム粉末(Al2O3:住友化学(株)製、純度99.99%、1次粒子サイズ0.5μm)とを、亜鉛とアルミニウムとの原子数比がZn:Al=96.8:3.2となるように合計で52kg秤量し、自動乳鉢で乾式混合(5時間)を行って混合粉末を得た。
次に、ステンレス(SUS304)製の金属製カプセル容器(外径:610mm、内径:600mm、容器内部の高さ:70mm)に、高さが10mmとなるまで離型剤を押し詰めて入れた。離型剤としては、酸化アルミニウム粉末(Al2O3:住友化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ45μm)を用いた。その後、金属製カプセル容器に、紙製の円筒(直径:580mm)を立てて、金属製カプセル容器の内壁と紙製の円筒の外壁との間(幅は10mm)に離型剤を押し詰めて充填した。
焼結体の理論密度=(酸化亜鉛の単体密度×混合質量比)+(酸化アルミニウムの単
体密度×混合質量比)
さらに、剥離した固形状の離型剤の密度(離型剤として用いたAl2O3のカプセルHIP処理後の密度)は測長法で求めたところ、3.06g/cm3であった。焼結体の理論密度は3.95g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤の相対密度は77%であった。離型剤として用いたAl2O3は十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。
一方、得られたAZO系焼結体の相対密度は99.3%であり、電子顕微鏡でAZO系焼結体を観察したところ、空孔もほとんど存在せず均一で緻密な焼結体であった。
AZO系焼結体の結晶構造を、実施例1と同様にX線回折装置を用いて調べると、酸化亜鉛(ZnO)およびアルミン酸亜鉛(ZnAl2O4)の結晶相の混合物であり、酸化アルミニウムは全く存在していなかった。
得られたAZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、実施例1と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明導電膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
<GZO系焼結体の製造>
実施例1で得られた仮焼後の酸化亜鉛粉末と実施例3で用いた酸化ガリウム粉末とを、亜鉛とガリウムとの原子数比がZn:Ga=95.8:4.2となるように合計で52kg秤量し、自動乳鉢で乾式混合(5時間)を行って混合粉末を得た。
次に、ステンレス(SUS304)製の金属製カプセル容器(外径:610mm、内径:600mm、容器内部の高さ:70mm)に、高さが10mmとなるまで離型剤を押し詰めて入れた。離型剤としては、酸化アルミニウム粉末(Al2O3:住友化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ45μm)を用いた。その後、金属製カプセル容器に、紙製の円筒(直径:580mm)を立てて、金属製カプセル容器の内壁と紙製の円筒の外壁との間(幅は10mm)に離型剤を押し詰めて充填した。
焼結体の理論密度=(酸化亜鉛の単体密度×混合質量比)+(酸化ガリウムの単体密度×混合質量比)
さらに、剥離した固形状の離型剤の密度(離型剤として用いたAl2O3のカプセルHIP処理後の密度)は測長法で求めたところ、3.06g/cm3であった。焼結体の理論密度は3.95g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤の相対密度は77%であった。離型剤として用いたAl2O3は十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。
一方、得られたGZO系焼結体の相対密度は99.3%であり、電子顕微鏡でGZO系焼結体を観察したところ、空孔もほとんど存在せず均一で緻密な焼結体であった。
GZO系焼結体の結晶構造を、実施例1と同様にX線回折装置を用いて調べると、酸化亜鉛(ZnO)およびガリウム酸亜鉛(ZnGa2O4)の結晶相の混合物であり、酸化ガリウムは全く存在していなかった。
得られたGZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、実施例1と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明導電膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
<仮焼後の酸化亜鉛粉末の製造>
酸化亜鉛粉末(ZnO:ハクスイテック(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ1.5μm)を、大気中1200℃で10時間仮焼した。昇温は、10℃/分の昇温速度で室温から1200℃まで行った。仮焼後、ハンマーミルを用いて粗粉砕して、仮焼後の酸化亜鉛粉末を得た。
得られた仮焼後の酸化亜鉛粉末のタップ密度を測定すると、3.91g/cm3であった。同様に、仮焼前の酸化亜鉛粉末のタップ密度を測定すると、1.02g/cm3であった。
得られた仮焼後の酸化亜鉛粉末、一酸化チタン粉末(TiO(II):フルウチ化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ1μm以下)、および酸化アルミニウム粉末(Al2O3:住友化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ0.5μm)を、亜鉛とチタンとアルミニウムとの原子数比がZn:Ti:Al=98.2:1.0:0.8となるように合計で68kg秤量し、自動乳鉢で乾式混合(5時間)を行って混合粉末を得た。
次に、ステンレス(SUS304)製の金属製カプセル容器(外径:620mm、内径:610mm、容器内部の高さ:70mm)に、高さが4.5mmとなるまで離型剤を押し詰めて入れた。離型剤としては、酸化アルミニウム粉末(Al2O3:住友化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ45μm)を用いた。その後、金属製カプセル容器に、紙製の円筒(直径:601mm)を立てて、金属製カプセル容器の内壁と紙製の円筒の外壁との間(幅は4.5mm)に離型剤を押し詰めて充填した。
焼結体の理論密度=(酸化亜鉛の単体密度×混合質量比)+(一酸化チタンの単体密度×混合質量比)+(酸化アルミニウムの単体密度×混合質量比)
充填率=(タップ密度/焼結体の理論密度)×100
カプセルHIP処理後、金属製カプセル容器を取り外すと、カプセルHIP処理前は粉末状であった離型剤が固形状となっており、この固形状の離型剤は金属製カプセル容器および焼結体のいずれからも簡単に剥離することが出来た。亀裂が存在しない直径533mmおよび厚さ54mmの円柱状のTZO系焼結体を得た。
さらに、剥離した固形状の離型剤の密度(離型剤として用いたAl2O3のカプセルHIP処理後の密度)を測長法で求めたところ、3.05g/cm3であった。Al2O3の理論密度は3.95g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤の相対密度は77%であった。離型剤として用いたAl2O3は十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。なお、相対密度は下記の式で求められる。
相対密度=(焼結体の密度/焼結体の理論密度)×100
TZO系焼結体の結晶構造を、X線回折装置(理学電機(株)製、RINT2000)を用いて調べると、酸化亜鉛(ZnO)およびチタン酸亜鉛(Zn2TiO4)の結晶相の混合物であり、酸化チタンは全く存在していなかった。
得られたTZO系焼結体を、銅板をバッキングプレートとして用い、インジウム半田でボンディングして、スパッタリングターゲットを得た。
得られたスパッタリングターゲットを用いて、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明導電膜を形成した。すなわち、スパッタリング装置(アルバック(株)製)内に、上記ターゲットと透明基材(石英ガラス基板)とをそれぞれ設置し、Arガス(純度99.9995%以上、Ar純ガス=5N)を12sccmで導入して、圧力0.5Pa、ターゲット面の単位面積当たりの投入電力3.98W/cm2、基板温度200℃の条件下でスパッタリングを行った。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
<仮焼後の酸化亜鉛粉末の製造>
酸化亜鉛粉末(ZnO:ハクスイテック(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ1.5μm)を、大気中1200℃で10時間仮焼した。昇温は、10℃/分の昇温速度で室温から1200℃まで行った。仮焼後、ハンマーミルを用いて粗粉砕して、仮焼後の酸化亜鉛粉末を得た。
得られた仮焼後の酸化亜鉛粉末のタップ密度を測定すると、3.91g/cm3であった。同様に、仮焼前の酸化亜鉛粉末のタップ密度を測定すると、1.02g/cm3であった。
得られた仮焼後の酸化亜鉛粉末、一酸化チタン粉末(TiO(II):フルウチ化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ1μm以下)、および酸化アルミニウム粉末(Al2O3:住友化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ0.5μm)を、亜鉛とチタンとアルミニウムとの原子数比がZn:Ti:Al=98.2:1.0:0.8となるように合計で75kg秤量し、自動乳鉢で乾式混合(5時間)を行って混合粉末を得た。
次に、ステンレス(SUS304)製の金属製カプセル容器(外径:620mm、内径:610mm、容器内部の高さ:70mm)に、高さが1.3mmとなるまで離型剤を押し詰めて入れた。離型剤としては、酸化アルミニウム粉末(Al2O3:住友化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ45μm)を用いた。その後、金属製カプセル容器に、紙製の円筒(直径:606mm)を立てて、金属製カプセル容器の内壁と紙製の円筒の外壁との間(幅は2.0mm)に離型剤を押し詰めて充填した。
焼結体の理論密度=(酸化亜鉛の単体密度×混合質量比)+(一酸化チタンの単体密度×混合質量比)+(酸化アルミニウムの単体密度×混合質量比)
充填率=(タップ密度/焼結体の理論密度)×100
カプセルHIP処理後、金属製カプセル容器を取り外すと、カプセルHIP処理前は粉末状であった離型剤が固形状となっており、この固形状の離型剤は金属製カプセル容器および焼結体のいずれからも簡単に剥離することが出来た。
直径538mmおよび厚さ59mmの円柱状のTZO系焼結体を得たが、得られた焼結体には、焼結体全体でなく、底面に亀裂が存在しており、この焼結体を用いてスパッタリングすることはできなかった。
さらに、剥離した固形状の離型剤の密度(離型剤として用いたAl2O3のカプセルHIP処理後の密度)を測長法で求めたところ、3.05g/cm3であった。Al2O3の理論密度は3.95g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤の相対密度は77%であった。離型剤として用いたAl2O3は十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。なお、相対密度は下記の式で求められる。
相対密度=(焼結体の密度/焼結体の理論密度)×100
<仮焼後の酸化亜鉛粉末の製造>
酸化亜鉛粉末(ZnO:ハクスイテック(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ1.5μm)を、大気中1200℃で10時間仮焼した。昇温は、10℃/分の昇温速度で室温から1200℃まで行った。仮焼後、ハンマーミルを用いて粗粉砕して、仮焼後の酸化亜鉛粉末を得た。
得られた仮焼後の酸化亜鉛粉末のタップ密度を測定すると、3.91g/cm3であった。同様に、仮焼前の酸化亜鉛粉末のタップ密度を測定すると、1.02g/cm3であった。
得られた仮焼後の酸化亜鉛粉末、一酸化チタン粉末(TiO(II):フルウチ化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ1μm以下)、および酸化アルミニウム粉末(Al2O3:住友化学(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ0.5μm)を、亜鉛とチタンとアルミニウムとの原子数比がZn:Ti:Al=98.2:1.0:0.8となるように合計で54kg秤量し、自動乳鉢で乾式混合(5時間)を行って混合粉末を得た。
次に、ステンレス(SUS304)製の金属製カプセル容器(外径:620mm、内径:610mm、容器内部の高さ:70mm)に、高さが10mmとなるまで離型剤を押し詰めて入れた。離型剤としては、六方晶窒化硼素粉末(hBN:昭和電工(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ35〜45μm)を用いた。その後、金属製カプセル容器に、紙製の円筒(直径:590mm)を立てて、金属製カプセル容器の内壁と紙製の円筒の外壁との間(幅は10.0mm)に離型剤を押し詰めて充填した。
焼結体の理論密度=(酸化亜鉛の単体密度×混合質量比)+(一酸化チタンの単体密度×混合質量比)+(酸化アルミニウムの単体密度×混合質量比)
充填率=(タップ密度/焼結体の理論密度)×100
カプセルHIP処理後、金属製カプセル容器を取り外すと、カプセルHIP処理前は粉末状であった離型剤が固形状となっており、円柱状の離型剤被覆焼結体を得、この離型剤被覆焼結体を測長した。
固形状の離型剤の一部は金属製カプセル容器からは自然と剥離したが、焼結体とは反応していた為、離型剤をサンドブラストにより除去し、直径523mmおよび厚さ44mmの円柱状のTZO系焼結体を得たが、得られた焼結体には、亀裂が一部存在しており、焼結体の色目から硼素が焼結体全体に拡散していた。この焼結体を用いてスパッタリングすることはできなかった。
相対密度=(焼結体の密度/焼結体の理論密度)×100
酸化亜鉛粉末(ZnO:ハクスイテック(株)製、純度99.9%、1次粒子サイズ1.5μm)を、大気中1200℃で10時間仮焼した。昇温は、10℃/分の昇温速度で室温から1200℃まで行った。仮焼後、ハンマーミルを用いて粗粉砕して、仮焼後の酸化亜鉛粉末を得た。
得られた仮焼後の酸化亜鉛粉末のタップ密度を測定すると、3.91g/cm3であった。同様に、仮焼前の酸化亜鉛粉末のタップ密度を測定すると、1.02g/cm3であった。
得られた仮焼後の酸化亜鉛粉末、一酸化チタン粉末(TiO(II):フルウチ化学(株)製、純度99.9%、平均1次粒子サイズ1μm以下)、および酸化アルミニウム粉末(Al2O3:住友化学(株)製、純度99.9%、平均1次粒子サイズ0.5μm)を、亜鉛とチタンとアルミニウムとの原子数比がZn:Ti:Al=98.2:1.0:0.8となるように合計で54kg秤量し、自動乳鉢で乾式混合(5時間)を行って混合粉末を得た。
次に、ステンレス(SUS304)製の金属製カプセル容器(外径:620mm、内径:610mm、容器内部の高さ:70mm)に、高さが10mmとなるまで離型剤を押し詰めて入れた。離型剤としては、酸化アルミニウム粉末(Al2O3:住友化学(株)製、純度99.9%、平均1次粒子サイズ0.5μm)を用いた。その後、金属製カプセル容器に、紙製の円筒(直径:590mm)を立てて、金属製カプセル容器の内壁と紙製の円筒の外壁との間(幅は10.0mm)に離型剤を押し詰めて充填した。
焼結体の理論密度=(酸化亜鉛の単体密度×混合質量比)+(一酸化チタンの単体密度×混合質量比)+(酸化アルミニウムの単体密度×混合質量比)
充填率=(タップ密度/焼結体の理論密度)×100
カプセルHIP処理後、金属製カプセル容器を取り外すと、カプセルHIP処理前は粉末状であった離型剤が固形状となっており、円柱状の離型剤被覆焼結体を得、この離型剤被覆焼結体を測長した。固形状の離型剤の一部は金属製カプセル容器からは自然と剥離したが、焼結体とは反応していた為、離型剤をサンドブラストにより除去し、直径523mmおよび厚さ44mmの円柱状のTZO系焼結体を得たが、得られた焼結体には、亀裂が一部存在していた。この焼結体を用いてスパッタリングすることはできなかった。
相対密度=(焼結体の密度/焼結体の理論密度)×100
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
さらに、剥離した固形状の離型剤の密度(離型剤として用いたセラミックス中空体粉末のカプセルHIP処理後の密度)は測長法で求めたところ、2.2g/cm3であった。焼結体の理論密度は3.0g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤の相対密度は73%であった。離型剤として用いたセラミックス中空体粉末は十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。
一方、得られたIGZO系焼結体の相対密度は、100%であり、電子顕微鏡でIGZO系焼結体を観察したところ、空孔もほとんど存在せず均一で緻密な焼結体であった。
得られたIGZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、実施例3と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明半導体膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
さらに、剥離した固形状の離型剤の密度(離型剤として用いたアルミナボールのカプセルHIP処理後の密度)は測長法で求めたところ、2.8g/cm3であった。焼結体の理論密度は3.6g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤の相対密度は78%であった。離型剤として用いたアルミナボール粉末は十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。
一方、得られたIGZO系焼結体の相対密度は、100%であり、電子顕微鏡でIGZO系焼結体を観察したところ、空孔もほとんど存在せず均一で緻密な焼結体であった。
得られたIGZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、基板温度を室温にした以外は、実施例1と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明半導体膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
粉末状になった離型剤の密度は測定できなかったが、粉末状であることから低密度(相対密度85%以下)であることは明らかであった。
一方、得られたIGZO系焼結体の相対密度は、100%であり、電子顕微鏡でIGZO系焼結体を観察したところ、空孔もほとんど存在せず均一で緻密な焼結体であった。
得られたIGZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、実施例3と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明半導体膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
さらに、剥離した固形状の離型剤の密度(離型剤として用いた多孔質アルミナボールのカプセルHIP処理後の密度)は測長法で求めたところ、2.8g/cm3であった。焼結体の理論密度は3.8g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤の相対密度は74%であった。離型剤として用いた多孔質アルミナボールは十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。
一方、得られたIGZO系焼結体の相対密度は、100%であり、電子顕微鏡でIGZO系焼結体を観察したところ、空孔もほとんど存在せず均一で緻密な焼結体であった。
得られたIGZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、実施例3と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明半導体膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
得られたIGZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、実施例3と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明半導体膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
得られたIGZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、実施例3と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明半導体膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
得られたIGZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、実施例3と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明半導体膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
さらに、剥離した固形状の離型剤の密度(離型剤として用いた窒化チタン粉末のカプセルHIP処理後の密度)は測長法で求めたところ、3.2g/cm3であった。焼結体の理論密度は5.2g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤の相対密度は62%であった。離型剤として用いた窒化チタン粉末は十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。
一方、得られたIGZO系焼結体の相対密度は、100%であり、電子顕微鏡でIGZO系焼結体を観察したところ、空孔もほとんど存在せず均一で緻密な焼結体であった。
得られたIGZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、実施例3と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明半導体膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
さらに、剥離した固形状の離型剤の密度(離型剤として用いた酸化クロム粉末のカプセルHIP処理後の密度)は測長法で求めたところ、2.2g/cm3であった。焼結体の理論密度は3.4g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤の相対密度は65%であった。離型剤として用いた酸化クロム(III)粉末は十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。
一方、得られたIGZO系焼結体の相対密度は、100%であり、電子顕微鏡でIGZO系焼結体を観察したところ、空孔もほとんど存在せず均一で緻密な焼結体であった。
得られたIGZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、実施例3と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明半導体膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
さらに、剥離した固形状の離型剤の密度(離型剤として用いた酸化ジルコニウム粉末のカプセルHIP処理後の密度)は測長法で求めたところ、3.6g/cm3であった。焼結体の理論密度は5.5g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤の相対密度は65%であった。離型剤として用いた酸化ジルコニウム粉末は十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。
一方、得られたIGZO系焼結体の相対密度は、100%であり、電子顕微鏡でIGZO系焼結体を観察したところ、空孔もほとんど存在せず均一で緻密な焼結体であった。
得られたIGZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、実施例3と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明半導体膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
さらに、剥離した固形状の離型剤の密度(離型剤として用いたジルコニアボールのカプセルHIP処理後の密度)は測長法で求めたところ、3.8g/cm3であった。焼結体の理論密度は6.0g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤の相対密度は63%であった。離型剤として用いたジルコニアボールは十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。
一方、得られたIGZO系焼結体の相対密度は、100%であり、電子顕微鏡でIGZO系焼結体を観察したところ、空孔もほとんど存在せず均一で緻密な焼結体であった。
得られたIGZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、実施例3と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明半導体膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
さらに、剥離した固形状の離型剤の密度(離型剤として用いたタンタル粉末のカプセルHIP処理後の密度)は測長法で求めたところ、13.2g/cm3であった。焼結体の理論密度は16.7g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤の相対密度は79%であった。離型剤として用いたタンタル粉末は十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。
一方、得られたIGZO系焼結体の相対密度は、100%であり、電子顕微鏡でIGZO系焼結体を観察したところ、空孔もほとんど存在せず均一で緻密な焼結体であった。
得られたIGZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、実施例3と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明半導体膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
さらに、剥離した固形状の離型剤の密度(離型剤として用いたニオブ粉末のカプセルHIP処理後の密度)は測長法で求めたところ、7.1g/cm3であった。焼結体の理論密度は8.6g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤の相対密度は83%であった。離型剤として用いたニオブ粉末は十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。
一方、得られたIGZO系焼結体の相対密度は、100%であり、電子顕微鏡でIGZO系焼結体を観察したところ、空孔もほとんど存在せず均一で緻密な焼結体であった。
得られたIGZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、実施例3と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明半導体膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
さらに、剥離した固形状の離型剤の密度(離型剤として用いたモリブデン粉末のカプセルHIP処理後の密度)は測長法で求めたところ、6.6g/cm3であった。焼結体の理論密度は8.2g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤の相対密度は80%であった。離型剤として用いたモリブデン粉末は十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。
一方、得られたIGZO系焼結体の相対密度は、100%であり、電子顕微鏡でIGZO系焼結体を観察したところ、空孔もほとんど存在せず均一で緻密な焼結体であった。
得られたIGZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、実施例3と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明半導体膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
さらに、剥離した固形状の離型剤(b)の密度(離型剤として用いたセラミックチューブのカプセルHIP処理後の密度)は測長法で求めたところ、2.8g/cm3であった。焼結体の理論密度は3.4g/cm3であることから、カプセルHIP処理後の離型剤(b)の相対密度は82%であった。離型剤(b)として用いたセラミックチューブは十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。上下面で用いた離型剤(a)(アルミナ板)のカプセルHIP処理後の相対密度は79.4%であり、十分に焼結が進行せず、低密度のままであった。
一方、得られたIGZO系焼結体の相対密度は、100%であり、電子顕微鏡でIGZO系焼結体を観察したところ、空孔もほとんど存在せず均一で緻密な焼結体であった。
一方、得られたIGZO系焼結体の相対密度は、100%であり、電子顕微鏡でIGZO系焼結体を観察したところ、空孔もほとんど存在せず均一で緻密な焼結体であった。
IGZO系焼結体を、実施例1と同様にICP(高周波誘導結合プラズマ)分析装置(SEIKO(株)製「SPS5000」)にて分析すると、InとGaとZnとの原子数比はIn:Ga:Zn=1.0:1.0:1.0であった。このIGZO系焼結体のInとGaとZnとの原子数比は、仕込み時の原子数比であるIn:Ga:Zn=1.0:1.0:1.0と同じであり、インジウムおよび亜鉛は揮散していないことがわかる。
得られたIGZO系焼結体を用いた以外は、実施例1と同様にしてスパッタリングターゲットを得た。得られたスパッタリングターゲットを用い、実施例3と同様にして、スパッタリング法により、基板上に約500nmの膜厚を有するように透明半導体膜を形成した。約50分間のスパッタリングにおいて、異常放電が発生した回数は3回以内で、スパッタレートは10nm/分であり、この異常放電の発生に起因してスパッタリング装置の運転が一度も停止したことはなく、成膜安定性は良好であった。異常放電の回数は、マイクロアークモニターにより検出した。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
しかし、得られた焼結体には、離型剤の厚みが薄いため、多数の亀裂が存在しており、この焼結体を用いてスパッタリングすることはできなかった。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
しかし、得られた焼結体には、ステンレス箔がカプセル及びIGZO系焼結体と反応したため、多数の亀裂が存在しており、この焼結体を用いてスパッタリングすることはできなかった。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
しかし、得られた焼結体には、ニッケル粉末がカプセル容器及びIGZO系焼結体と反応したため、多数の亀裂が存在しており、この焼結体を用いてスパッタリングすることはできなかった。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
しかし、得られた焼結体には、ニッケル箔がカプセル容器及びIGZO系焼結体と反応したため、多数の亀裂が存在しており、この焼結体を用いてスパッタリングすることはできなかった。
タップ密度が1.95g/cm3である酸化インジウム粉末(In2O3、添川理化学(株)製、1次粒子サイズ:1μm)と、タップ密度が1.57g/cm3である酸化ガリウム粉末(Ga2O3、ヤマナカヒューテック(株)製、1次粒子サイズ:0.6μm)と、タップ密度が0.74g/cm3である酸化亜鉛粉末(ZnO、ハクスイテック(株)製、1次粒子サイズ:1.5μm)とを、インジウム元素とガリウム元素と亜鉛元素との原子数比が1:1:1となるように秤量し、スーパーミキサーにて3000rpm、10分、乾式混合を行い、混合粉末を得た。
得られた混合粉末を電気炉((株)いすず製作所製の「KRB-24HH」)を用いて、真空置換した酸素雰囲気において昇温速度10℃/分で室温から1400℃まで昇温した後、1400℃で24時間仮焼を行い、乳鉢にて軽く手粉砕し、仮焼後の混合粉末を得た。
なお、焼結体の理論密度は、組成比In:Ga:Zn=1:1:1であるInGaZnO4(JCPDSカード番号:381104)という単一結晶の情報がJCPDSカードに記載されているため、JCPDSカードに記載されたその単一結晶の理論密度(6.38g/cm3)を採用した。
炭化チタンの還元作用により、IGZO焼結体の一部が還元され、カプセルHIP処理時にガスが発生し、カプセルが膨張し、うまくカプセルHIP処理をすることができなかった。
2 離型剤
3 被焼結材料
Claims (16)
- 被焼結材料をカプセル容器に入れ、カプセル熱間等方加圧焼結処理を行う焼結体の製造方法であって、
被焼結材料とカプセル容器との間に、離型剤として、被焼結材料に対して非反応性であり、焼結後の相対密度が85%以下であり、焼結後の厚さが1mm以上となる量の金属および/または金属化合物を介在させて、カプセル熱間等方加圧焼結処理を行うことを特徴とする、焼結体の製造方法。 - 前記離型剤は、金属または金属化合物であり、焼結後の厚さが2mm以上であることを特徴とする、請求項1に記載の焼結体の製造方法。
- 前記離型剤が、金属酸化物である、請求項1または2に記載の製造方法。
- 前記離型剤がアルミナまたはアルミナと二酸化ケイ素を含む複合酸化物である、請求項1〜3のいずれかに記載の製造方法。
- 前記離型剤がアルミナ粉末またはアルミナと二酸化ケイ素を含む複合酸化物粉末からなるコーティング膜である、請求項1〜4のいずれかに記載の焼結体の製造方法。
- 前記離型剤が、金属粉末である、請求項1または2に記載の製造方法。
- 前記カプセル容器が金属製である、請求項1〜6のいずれかに記載の製造方法。
- 前記被焼結材料が透明導電性材料である、請求項1〜7のいずれかに記載の製造方法。
- 前記透明導電性材料が酸化亜鉛系透明導電性材料である、請求項8に記載の製造方法。
- 前記被焼結材料が透明半導体材料である、請求項1〜7のいずれかに記載の製造方法。
- 前記透明半導体材料が、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、亜鉛(Zn)および酸素(O)からなる焼結体を得るための材料である、請求項10に記載の製造方法。
- 前記カプセル熱間等方加圧焼結処理における焼結温度が900〜1400℃であり、300mmφあるいは300mm角以上の大型焼結体の亀裂の発生を抑制できる、請求項1〜11のいずれかに記載の製造方法。
- 前記カプセル熱間等方加圧焼結処理により得られた焼結体が98%以上の相対密度を有する、請求項1〜12のいずれかに記載の製造方法。
- 前記カプセル熱間等方加圧焼結処理が、不活性ガス雰囲気下で行われる、請求項1〜13のいずれかに記載の製造方法。
- 前記不活性ガスがArまたはN2である、請求項14に記載の製造方法。
- 前記カプセル熱間等方加圧焼結処理が、50MPa以上の圧力条件下で行われる、請求項1〜15のいずれかに記載の製造方法。
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