KR20110015659A - 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 방법 및 장치 - Google Patents

진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속으로 기판(2)의 코팅을 위한 코팅 설비(1)의 진공 코팅 챔버(3)로부터, 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속의 잔류물을 제거하는 세정 방법에 관한 것이다. 이를 위해, 대응하는 고체 화합물을 형성하도록 챔버 내로 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속과 반응하는 N2, O2, 또는 공기의 그룹으로부터의 가스가 도입된다. 물은 부가적으로 진공 코팅 챔버(3) 내로 도입될 수 있다. 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속이 가스와 반응한 후, 대응하는 고체 화합물이 진공 코팅 챔버로부터 제거된다.

Description

진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 방법 및 장치 {ARRANGEMENT AND METHOD FOR REMOVING ALKALI- OR ALKALINE EARTH-METALS FROM A VACUUM COATING CHAMBER}
본 발명은 청구항 1 및 11의 전제부에 따른 장치 및 방법에 관한 것이다.
현대의 리튬 배터리는 대체로 진공 챔버 내에서 생산되며, 기판에는 리튬 층이 제공된다. 리튬 층이 예를 들면 증기 상태로 리튬의 기판 상 증착을 통하여 형성된다. 리튬의 반응성이 높기 때문에, 진공 챔버를 개방한 후 작업원에 의한 접촉이 방지되어야 한다. 과잉 리튬이 진공 챔버로부터 펌핑되는 경우, 여전히 진공 챔버의 내부 벽 상 또는 페이싱(facing) 및/또는 마스킹(masking) 상에 증착된 리튬 입자가 작업원을 상하게 할 수 있다.
리튬 배터리의 제조를 위한 방법은 이미 공개되었으며, 여기에서 리튬은 진공 챔버에서 증기로 변환되고, 이 증기는 후속적으로 기판 상에 증착된다(JP 59-060886, JP 2003-007290, JP 2003-234100, JP 2007-207663). 이러한 공보에는 진공 챔버의 세정에 대한 것이 없었다.
세정 가스에 의해 코팅 설비의 내부 상의 바람직하지 않은 증착을 제거하는 것이 추가로 공개된다(JP 2003-229365). 그러나, 리튬 또는 알칼리-금속이 여기서 나열되지 않았다.
더욱이, O2를 포함하는 가스에 의한 공정 챔버의 세정이 공개된다(US 2007/0163617 A1). 여기서 세정은 증가된 온도 및 진공 하에서 수행된다. 가스는 바람직하게는 H 래디컬을 포함하며, 이는 세정 공정이 또한 플라즈마에 의해 수행되기 때문이다. 그러나, 공정 챔버의 벽에서 텅스텐이 세정되지만 리튬 또는 또 다른 침투성 재료(aggressive material)가 세정되지 않았다.
코팅 챔버를 세정하는 또 다른 방법은 DE 103 38 275 A1에 공개된다. 이러한 방법에서 공정 챔버는 코팅 공정 앞에 조절된 퍼지 가스로 플러싱된다. 퍼지 가스는 바람직하게는 최대 30%의 습도 값을 가진 O2 및 N2로 이루어진다. 코팅 챔버는 코팅 공정 앞에서 세정되고 코팅 재료는 리튬이 아니다.
US 2002/0185067 A1은 CVD 시스템 내의 트로틀 밸브의 인 시츄(in situ) 세정을 위한 방법 및 장치가 공개된다. 여기서, F2, C2F6, O2 또는 NF3를 포함할 수 있는 세정 가스가 도입된다. 리튬은 논의되지 않는다.
코팅 챔버를 위한 세정 공정은 또한 특히 N2 및 O2가 세정 가스로서 채용되는 것이 공개된다(EP 1 612 857 A1). 이러한 가스는 플라즈마로 변환되고 후속적으로 CVD 챔버의 내부 벽을 세정하기 위해 기능한다. 고 주파수는 플라즈마의 발생을 위해 이용된다. 그러나, Li가 아닌 오히려 Si3N4 또는 SiO2가 제거된다.
EP 0 441 368 A는 PVD 챔버로부터 과잉 재료를 제거하기 위한 장치 및 방법이 공개된다. 세정 사이클 동안 진공은 PVD 챔버 내에 발생되고 반응성 가스를 구비한 가스 혼합물은 PVD 챔버 내로 도입된다. 반응성 가스는 여기서 플라즈마 방전을 통하여 작동된다. 세정의 목적은 또한 스크리닝(screening)이다. 제거된 재료는 Ti, W, 또는 Al이지만 Li는 아니다.
JP 2002-206160은 리튬 금속 또는 리튬 합금의 얇은 필름을 제조하기 위한 장치가 공개된다. 장치의 내부 벽에 부착된 리튬 금속을 제거하기 위해, 히터가 내부 벽에 부착된 리튬 금속을 용융시키기 위해 제공된다. 장치에 부착되는 리튬 금속을 용융 및 제거함으로써, 장치가 대기 공기에 개방될 때 습기와 리튬 금속의 반응으로부터 발생하는 점화 및 폭발의 위험이 회피될 수 있다.
본 발명은 얇은-필름 배터리의 제조 동안 비의도적으로 코팅되는 진공 코팅 챔버의 부분, 예를 들면 마스킹, 금속 라이닝 시트 등을 세정하는 문제점을 해결하는 것이다.
이러한 문제점은 청구항 1 및 11의 특징부에 따라 해결된다.
본 발명으로 얻는 장점은 특히 비의도적으로 코팅된 부분이 간단한 방식으로 세정되고 사이클 시간 또는 서비스 시간이 짧아지는 것을 포함한다. 세정이 또한 주기적으로 수행될 수 있기 때문에, 중단 없이 코팅 설비를 작동하는 것이 가능하다.
본 발명은 결과적으로 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속으로 기판의 코팅을 위한 코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터, 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속의 잔류물을 제거하는 세정 방법에 관한 것이다. 이를 위해, 챔버 내로 N2, O2, 또는 공기의 그룹으로부터 가스가 도입되어 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속과 반응하여 대응하는 고체 화합물을 형성하도록 한다. 물은 여전히 진공 코팅 챔버 내로 도입될 수 있다.
알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속이 가스와 반응한 후, 대응하는 고체 화합물이 진공 코팅 챔버로부터 제거된다.
본 발명의 일 실시예가 도면에 도시되며 아래에서 더 상세하게 설명될 것이다.
도 1은 기화된 재료에 의해 기판을 코팅하기 위한 진공 챔버이다.
기판(2)이 코팅될 수 있는 코팅 설비(1)가 도 1에서 단면으로 도시된다. 이러한 코팅 설비(1)는 진공 코팅 챔버(3)를 포함하고, 진공 코팅 챔버의 두 개의 측벽(4, 5)을 구비한다. 마스킹(6)은 기판(2)과 증기 공급 시스템(7) 사이에 배치되고, 증기 공급 시스템은 기화기 도가니(8), 밸브(9) 및 밸브 유입구(10 내지 13)를 포함한다. 증발기 유입구의 단부는 선형으로 배치된 개구를 구비한 수직으로 배향된 튜브로서 실시된 선형 분배기(14)에 의해 형성된다. 이러한 개구는 마스킹(6)과 마주하게 위치된다. "15", "16"에 의해 진공 챔버(3) 내의 커버가 표시된다.
기화기 도가니(8)에서 예를 들면 얇은 필름 리튬 배터리의 제조를 위한 리튬이 용융되어 증발된다. 리튬 대신, 알칼리-금속 및 알칼리성 토-금속의 그룹으로부터 또 다른 반응성 금속, 예를 들면 세슘이 또한 이용될 수 있다.
기화된 재료는 증기 유입구(10 내지 13)를 경유하여 분배기(14)에 그리고 분배기로부터, 모든 경우에 제공되는 것이 요구되지 않는 마스킹(6)을 경유하여 기판(2)에 도달한다. 또한, 기화된 재료는 또한 커버(15, 16) 및 도달하려고 의도되지 않는 다른 부분에 도달한다.
기판(2)의 코팅이 완료될 때, 비의도적으로 코팅된 부분은 진공 챔버(3)를 개방하여 코팅된 기판(2)이 제거될 때 반응성 리튬에 의해 작업원이 상하지 않도록 코팅이 제거되어야 한다.
그러나, 사람이 리튬 또는 다른 알칼리성 토-금속 또는 알칼리-금속과 접촉하지 않도록, 이러한 금속들은 설비로부터 제거되어야 한다. 설비로부터 이러한 반응성 금속의 제거는 코팅 공정이 종결되고 기판이 도 1에 도시되지 않은 진공 락(vacuum lock)을 경유하여 코팅 설비(1)로부터 이송된 후 발생된다. 기판이 코팅 설비(1)로부터 제거된 후, 하나 또는 수 개의 가스가 진공 챔버(3) 개방 전에 진공 챔버(3) 내로 도입된다.
이를 위해, 진공 챔버(3) 외부에 가스 N2, O2, 또는 공기를 포함하는 수개의 가스 컨테이너(20, 21, 22)가 제공된다. 가스의 활성이 절대적으로 요구되는 것은 아니다. 이러한 가스 탱크(20, 21, 22)는 공급 파이프(23, 24, 25) 및 밸브(26, 27, 28)를 경유하여 진공 챔버(3)와 연결된다. N2가 진공 챔버(3)로 유입되는 경우, N2 분자는 식 6 Li + N2 → 2 Li3N에 따라 리튬과 결합한다. 이러한 마지막 제품은 수직 표면으로부터 진공 챔버(3)의 바닥으로 떨어져 반응 장소에 부착되는 고체이다.
O2가 진공 챔버(3)로 도입되는 경우, 식 4Li + O2를 기초로하여 무색 가루형태의 고체 화합물 Li2O가 형성되고, 이는 무독성이고 수직 부분으로부터 떨어진다.
순수 산소 대신, 공기가 또한 진공 챔 버(3) 내로 유입될 수 있다는 것이 이해된다. 이러한 공기는 여기서 O2로 부화(enrich)될 수 있다. 공기는 질소 뿐만 아니라 산소도 포함하기 때문에, 리튬은 결론적으로 질소 뿐만 아니라 산소와 반응한다. 여기서 공기가 소정의 습도를 가지는 경우 유용하다. 이를 위해, 공기는 부가적으로 물이 많아 질 수 있다. 또한 물이 공기 내에 포함되는 경우, 아래 반응식이 발생한다:
Li + H2O → LiOH + 1/2 H2.
공기 및 물이 유입될 때, Li3N 및 Li2O, LiOH 및 Li2CO3가 또한 형성된다.
예를 들면, Li2CO3는 다음 반응식을 통해 형성된다: 2LiOH + CO2 → Li2CO3 + H2O.
고온에서, Li2CO3는 Li2O 및 CO2로 다시 나누어진다. 동일한 것이 LiOH에 적용되어, Li2O 및 H2O로 나누어진다. 리튬 화합물은 모든 경우 무독성이어야 하고 공기 중에 안정한 상태에 있어야 한다.
H2O, O2, 및 N2의 반응은 발열 반응이기 때문에, 진공 챔버(3)를 냉각시키는 것이 유용하다. 이는 도 1에 도시되지 않은, 냉각 시스템에 의해 수행될 수 있다.
원칙적으로, 금속 Li은 또는 다른 알칼리-금속 및 알칼리성 토-금속도 예를 들면 할로겐 또는 이러한 할로겐의 수소 화합물과 같은, 다른 물질과 반응할 수 있다.
그러나, 이러한 할로겐 또는 할로겐 화합물은 반응성이 높아서 또한 화학적으로 챔버를 공격할 수 있기 때문에, 이러한 화합물을 적용할 때 이러한 화합물에 대해 화학적으로 불활성인 재료의 챔버를 제조하는 것이 필요하다.
비록 가스의 반응이 절대적으로 요구되지는 않지만, 그럼에도 불구하고 증가된 온도로 반응을 수행하는 것이 유용하다. 30℃로부터 200℃ 까지의 범위의 온도가 선택될 수 있고, 이 온도에서 반응이 시작한다. 온도가 높을 수록 반응이 더 빨리 진행된다는 것이 명백하다. 반응이 최대 100 mbar의 압력에서 발생하는 경우 유용하다. 온도 뿐만 아니라 압력의 선택은 실질적으로 진공 챔버의 설계에 종속된다. 단지 순수 산소가 가스로서 이용되는 경우, 온도는 예를 들면 80℃ 그리고 산소의 압력이 100 mbar일 수 있다. 이는 최적 반응 조건을 보장한다.
세정 공정 동안 반응이 가스 센서(32)에 의해 모니터링되는 것이 유용하다. 고려되는 가스 센서(32)는 예를 들면 질량 분광계, 람다 탐침 또는 IR 또는 NIR 분광계이다. 이러한 측정 장치를 경유하여, 가스 구성이 공정 동안 결정될 수 있다. 람다 탐침이 적용되는 겨우, 산소는 바람직하게는 가스 또는 가스 혼합물에 부가된다. 이러한 경우 산소 함량은 공정 동안 결정될 수 있다. 챔버 내에 여전히 리튬이 있어서 가스와 반응하는 한, 반응성 가스의 농도는 리튬으로 오염된 진공 챔버(3) 내로 도입 전에 가스의 농도 아래에 있다. 리튬이 가스와 반응하자 마자, 가스의 농도는 다시 시작 값에 도달한다. 이는 반응 공정이 완료되었음을 나타낸다. 가스 센서(32)에 의해 결정되는 가스 성분은 평가 기구(33)로 공급된다. 공정이 완료될 때, 펌프(31) 및 추출 피팅(extraction fitting; 31)에 의해 진공 챔버(3)의 바닥 상의 분말은 흡입될 수 있다. 또한 진공 챔버(3)로 벤팅하고 후속적으로 먼지 추출기에 의해 분말을 제거하는 것이 가능하다. 리튬 염이 바닥으로 떨어지도록 초음파에 의해 진공 챔버(3)의 벽에 부착된 리튬 염을 제거하는 것이 유용하다. 이는 세정 작업을 상당히 용이하게 한다. 예를 들면, 압력, 온도 또는 가스 또는 가스 혼합물에서 물의 형태의 습기 함량과 같은 매개변수를 설정함으로써, 리튬과의 반응이 가속될 수 있다. 가스의 습기 함량이 많아지도록, 물은 공급 파이프(35)를 경유하여 진공 챔버(3) 내로 도입된다.
세정 작업 후에 리튬 염이 표면에 부착되어 있거나 깨져서 결론적으로 진공 챔버(3)의 바닥에 떨어졌는지는 실질적으로 형성된 리튬 염의 층 두께에 따른다. 코팅 반응에서 형성된 리튬 층이 매우 얇은 경우, 매우 작은 입자 직경을 가진 염이 세정 공정에서 형성된다. 이 같은 리튬 염은 바람직하게는 진공 챔버(3)의 벽 상에 잘 부착되어 남아있다. 코팅 공정 동안 두꺼운 리튬 층이 진공 챔버의 벽 상에 형성된 경우, 층은 가스와의 세정 반응에 형성되며, 이 층은 기계적 응력 하에 있으며, 이는 코팅의 깨짐을 초래할 수 있다. 이러한 이유 때문에, 초음파에 의해 진공 챔버(3)의 벽 상에 여전히 부착되어 있는 염 잔류물을 제거하는 것이 유용할 수 있다.
본 기술분야의 기술자는 다양한 변형 및 치환이 본 발명에서 이루어 질 수 있으며 실질적으로 동일한 결과를 달성하기 위한 본 발명의 이용 및 구성은 본 명세서에서 설명된 실시예들에 의해 달성된는 것을 용이하게 이해할 것이다. 따라서, 공개된 예시적인 형태로 본 발명을 제한하려는 의도가 없다. 다수의 변형, 변화 및 선택적인 구성은 청구범위에서 표현된 바와 같은 공개된 본 발명의 범위 및 사상 내에 있다.
1 코팅 설비
2 기판
3 진공 코팅 챔버
4 측-벽
5 측-벽
6 마스킹
7 증기 고급 시스템
8 기화기 도가니
9 밸브
10 밸브 유입구
11 밸브 유입구
12 밸브 유입구
13 밸브 유입구
14 선형 분배기
15 커버
16 커버
20 가스 컨테이너
21 가스 컨테이너
22 가스 컨테이너
23 공급 파이프
24 공급 파이프
25 공급 파이프
26 밸브
27 밸브
28 밸브
30 펌프
31 추출 피팅
32 가스 센서
33 평가 기구
35 공급 파이프

Claims (24)

  1. 코팅 설비(1)의 진공 코팅 챔버(3)로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 장치로서,
    하나 이상의 가스 탱크(20 내지 22)가 공급 파이프(23 내지 25)를 경유하여 상기 진공 코팅 챔버(3)와 연결되며, 상기 하나 이상의 가스 탱크는 N2, O2 또는 공기의 그룹으로부터의 가스를 포함하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 이상의 가스 탱크(20 내지 22)와 상기 진공 코팅 챔버(3) 사이에 밸브(26 내지 28)가 제공되는 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 진공 코팅 챔버(3)는 H2O 용 공급 파이프(35)를 포함하며, 상기 공급 파이프를 경유하여 H2O가 상기 진공 코팅 챔버(3) 내로 도입될 수 있는 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 진공 코팅 챔버(3)는 상기 진공 코팅 챔버(3)를 초음파에 노출시킬 수 있는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 진공 코팅 챔버(3)는 하나 이상의 가스 센서(32)를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 가스 센서(32)는 질량 분광계인 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 가스 센서(32)는 람다 탐침인 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 진공 코팅 챔버(3)는 바닥에 펌프(30)로 연결되는 추출 피팅(31)을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 장치.
  9. 제 5 항에 있어서,
    상기 가스 센서(32)는 IR 또는 NIR 분광기인 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 금속은 리튬인 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 장치.
  11. 코팅 설비(1)의 진공 코팅 챔버(3)로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 방법으로서,
    a) 상기 진공 코팅 챔버(3)는 코팅 공정이 완료된 후 진공 하에서 설정되는 단계,
    b) N2, O2 또는 공기의 그룹으로부터의 가스는 상기 진공 코팅 챔버(3) 내로 도입되어 상기 가스가 상기 진공 코팅 챔버(3) 내의 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속과 반응하여 고체 화합물을 형성하는 단계,
    c) 상기 고체 화합물이 상기 진공 코팅 챔버(3)로부터 제거되는 단계를 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 금속은 리튬인 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 방법.
  13. 제 11 항에 있어서,
    H2O는 상기 진공 코팅 챔버(3)로 부가적으로 도입되는 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 방법.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 공기는 O2로 부화되는(enrich)되는 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 방법.
  15. 제 11 항에 있어서,
    반응 동안 상기 가스의 내용물이 가스 센서(32)에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 가스의 내용물은 질량 분광계에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 방법.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 산소 내용물은 람다 탐침에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 방법.
  18. 제 11 항에 있어서,
    공정의 초기에, 30℃ 내지 200℃의 온도가 설정되는 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 온도는 80℃인 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 방법.
  20. 제 11 항에 있어서,
    100 mbar의 압력이 설정되는 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 방법.
  21. 제 11 항에 있어서,
    상기 고체 화합물은 펌프(30)로 연결되는 추출 피팅(31)에 의해 상기 진공 코팅 챔버(3)로부터 제거되는 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 방법.
  22. 제 11 항에 있어서,
    상기 고체 화합물은 먼지 추출기에 의해 상기 진공 코팅 챔버(3)로부터 제거되는 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 방법.
  23. 제 21 항 또는 제 22 항에 있어서,
    형성된 상기 고체 혼합물은 상기 진공 코팅 챔버(3)로부터 제거되기 전에 상기 진공 코팅 챔버(3)의 벽들로부터 초음파에 의해 분리되는 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 방법.
  24. 제 15 항에 있어서,
    상기 가스의 내용물은 IR 또는 NIR 분광기에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는,
    코팅 설비의 진공 코팅 챔버로부터 알칼리-금속 또는 알칼리성 토-금속을 제거하기 위한 방법.
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