KR20100131451A - 가속도 센서 장치 및 센서 네트워크 시스템 - Google Patents

Abstract

소비하는 소비 전력을 저하시키고, 또한 상기 압전 센서, 압전 바이모르프를 사용하지 않고 센서 자체를 소형화할 수 있는 구성의 가속도 센서 및 센서 네트워크 시스템을 제공한다. 본 발명의 가속도 센서 장치는, 도체와, 이 도체에 대해 상대적으로 운동하는 일렉트렛으로 이루어지고, 전기 에너지와 운동 에너지를 변환시키는 정전 유도형 변환 소자인 가속도 센서를 구비하는 가속도 센서 장치로서, 가속도 센서가 출력하는 교류 전압으로부터 가속도에 따른 신호를 검출하는 가속도 검출부와, 교류 전압을 정류시키는 정류부와, 장치 내의 회로를 동작시키는 배터리를 가지며, 정류된 직류 전압을 전기 에너지로서 그 배터리에 충전시키는 전원 회로를 갖는다.

Description

가속도 센서 장치 및 센서 네트워크 시스템{ACCELERATION SENSOR DEVICE AND SENSOR NETWORK SYSTEM}

본 발명은 운동 에너지와 전기 에너지의 변환을 실시하는 정전 (靜電) 유도형 소자인, 도체에 대해 상대적으로 변위되는 일렉트렛을 구비하는 정전 유도형 가속도 센서를 사용한 가속도 센서 장치와, 그 가속도 센서 장치를 이용한 센서 네트워크 시스템에 관한 것이다.

종래 가속도를 검출하는 가속도 센서로는, 추를 얹은 압전 소자를 금속제 하우징 바닥부에 장착시키고, 외부로부터 인가되는 가속도에 의해 추에 관성력을 발생시킨다. 이로써, 압전 소자에 대해 추의 관성력에 의해 응력이 부여되고, 이 부여된 응력에 따라 압전 소자가 발생시키는 전압값으로부터, 전압값을 가속도로 환산하여 가속도를 측정하는 것이 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).

또, 상기 가속도 센서에 있어서의 추를 얹은 압전 소자를, 각각 검출하는 가속도 방향이 직행하도록 배치하여, 3 차원 방향 (x, y, z) 의 모든 방향의 가속도를 검출할 수 있도록 한 다축의 가속도 센서도 제작되어 있다 (예를 들어, 특허문헌 2 참조).

상기 가속도 센서는, 양면을 도전성을 갖는 금속막을 부착시켜 메탈라이즈화한 직사각형 형상의 압전 세라믹판을 각각의 평면이 대향하도록 직접 또는 금속판을 개재시켜 첩합 (貼合) 시킨, 이른바 압전 바이모르프를 사용하고 있다.

이 압전 바이모르프의 길이 방향의 단부 (端部) 중 어느 일단을 프레임 등에 고정시키고, 그 타단을 자유단으로 한 것이다.

이 상태에서 압전 바이모르프의 두께 방향 (압전 세라믹판의 주면 (主面) 인 평면에 대해 수직 방향) 으로 가속도가 가해지면, 압전 바이모르프가 휘어지고, 이 휨량에 대응한 전압이 압전 바이모르프 양측의 전극에 발생한다. 그리고, 이 전압의 전압값의 크기에 의해 압전 바이모르프에 인가된 가속도를 검지한다.

상기 압전 바이모르프의 주면 방향이 직교하는 2 방향을 향하여 장착시키는 구성 (예를 들어, 특허문헌 3 참조), 또는 단일의 압전 바이모르프 등의 센서 소자를 임의의 방향을 향하도록 회로 기판에 탑재한 가속도 센서가 제작된다. 이 가속도 센서를 복수 개 조합함으로써 여러 방향의 가속도를 검지할 수 있게 한 구성도 있다 (예를 들어, 특허문헌 4 참조).

또한, 인가되는 가속도에 따라 대향 전극과의 위치가 상대적으로 변화되는 관성 질량판을 사용하여 이 관성 질량판의 위치 변화에 대응, 즉 대향 전극과 관성 질량판 사이의 정전 용량의 변화에 기초하여 관성 질량판에 인가된 가속도를 검출하는 구성도 있다 (예를 들어, 특허문헌 5 참조).

한편, 복수의 장소에 분산 배치된 센서를 무선 통신 기술에 의해 상호 접속시킨, 이른바 와이어리스 (무선) 센서 네트워크가 최근에 주목받고 있다.

상기 와이어리스 네트워크 시스템에서는, 각각의 센서가 검출하는 물리량을 전기 신호로 변환시키는 센서 회로와, 데이터의 축적이나 진단 기능, 송수신 기능을 갖는 무선 회로를 조합한 센서 노드가 무선에 의해 네트워크화되어 있다.

이 와이어리스 네트워크가 제공하는 토폴러지나 네트워크 제어 기능, 시큐리티 기능에 의해 매우 대규모, 광범위한 센싱 시스템을 용이하게 구축할 수 있다.

그리고, 상기 서술한 와이어리스 네트워크 시스템은, 대규모 화학 플랜트의 설비 모니터나, 도로나 다리, 댐 등의 구조물의 보전, 산사태의 예측 등에 이용할 수 있다.

와이어리스 센서 네트워크는, 그 편리성, 확장성, 네트워크의 부설이 곤란한 장소에 대한 부설 용이성 등 무선인 것의 특질을 이용하고 있다.

이 때문에, 상기 각 센서 노드에 대해 전원을 외부로부터 유선으로 공급할 수는 없다. 따라서, 일반적으로는 각 센서 노드 각각은, 내부 회로 등의 기능을 동작시키는 전력원으로서 각각 전지를 내장할 필요가 있다.

또, 센서 노드의 설치 장소는, 그 용도로부터 생각해 보면 전지 교환이 곤란한 장소가 많아 전지의 장수명화가 과제이다.

이 때문에, 저소비 전력화의 한 가지 수단으로서, 무선 통신의 동기화 등에 의해 통신 타이밍을 제어하는 것을 들 수 있다 (예를 들어, 비특허문헌 1 의 제 4 장 참조).

또, 다른 저소비 전력화의 방책으로서, 센서 회로에 의한 센싱이나 무선 통신의 타이밍 등에 대해 유연한 간헐 동작 제어를 실시하는 방법도 있다 (예를 들어, 특허문헌 6 참조).

일본 공개특허공보 소64-41865호 일본 공개실용신안공보 평1-112468호 일본 공개특허공보 평3-156375호 일본 공개특허공보 평08-15302호 일본 공개특허공보 2007-333618호 일본 공개특허공보 2008-28499호

「유비쿼터스 센서 네트워크의 실현을 위한 최종 보고」에 있어서의 제 3 장 「유비쿼터스 센서 네트워크의 장래 비전」, http://www.soumu.go.jp/s-news/2004/040806_4_b2.html, 총무성, 2004 년 7 월, (2008 년 3 월 6 일 액세스)

그러나, 이상 (異常) 진동을 확실하고 또한 신속하게 검지하기 위해서는, 그 이상 진동에 의해 인가되는 가속도를 검지하는 센서를 항상 액티브한 상태로 유지할 필요가 있다. 이 때문에, 상기 서술한 와이어리스 센서 네트워크에 있어서의 각 센서 노드의 내부 회로가 항상 소비하는 전력량에 의해 내장하는 전지의 전력이 사용된다. 이 전력의 소비가, 센서 노드에 내장되어 있는 전지의 수명을 연장시키기 위한 저소비 전력화를 억제하고 있다.

또, 상기 서술한 가속도 센서 그 자체에 대해서도, 압전 센서, 압전 바이모르프를 사용한 센서는 가속도를 관성력으로서 검지하기 위해 추가 필요해져 센서를 소형화할 수 없다는 결점이 있다.

또한, 상기 서술한 관성 질량판을 사용하는 센서에 있어서는, 미리 관성 질량판 및 대향 전극 사이에 전위를 인가해 둘 필요가 있어, 센서 구조의 복잡함을 초래하고 있다.

본 발명은 이와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 소비하는 소비 전력을 저하시키고, 또한 상기 압전 센서, 압전 바이모르프를 사용하지 않고 센서 자체를 소형화할 수 있는 구성의 가속도 센서 및 센서 네트워크 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 가속도 센서 장치는, 도체 (예를 들어, 실시형태에 있어서의 전극 (12, 13)) 와 상대적으로 운동하는 일렉트렛 (예를 들어, 실시형태에 있어서의 일렉트렛 (11)) 으로 이루어지고, 전기 에너지와 운동 에너지를 변환시키는 정전 유도형 변환 소자인 가속도 센서 (예를 들어, 실시형태에 있어서의 가속도 센서 (1)) 를 구비하는 가속도 센서 장치로서, 상기 가속도 센서가 출력하는 교류 전압으로부터 가속도에 따른 신호를 검출하는 가속도 검출부 (예를 들어, 실시형태에 있어서의 콤퍼레이터 (5) 및 검출부 (7)) 와, 상기 교류 전압을 정류시키는 정류부 (예를 들어, 본 실시형태에 있어서의 정류부 (2)) 와, 장치 내의 회로를 동작시키는 배터리 (예를 들어, 본 실시형태에 있어서의 전원부 (3)) 를 가지며, 정류된 직류 전압을 전기 에너지로서 그 배터리에 충전시키는 전원 회로를 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 가속도 센서 장치는, 상기 가속도 검출부가 미리 설정된 임계값 전압과, 상기 가속도 센서로부터 출력되어 정류된 전압의 전압값을 비교하여, 상기 임계값 전압을 초과하면 이상을 통지하는 이상 신호를 출력하는 이상 진동 검지 회로 (예를 들어, 실시형태에 있어서의 콤퍼레이터 (5)) 를 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 가속도 센서 장치는, 상기 가속도 검출부가 이상 진동을 트리거로 하여 상기 이상 진동 검지 회로로부터 출력되는 상기 이상 신호에 의해 기동되고, 상기 가속도에 따른 신호의 기록을 개시하고, 미리 설정된 타이밍에서 기록을 종료하는 기록 회로를 추가로 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 가속도 센서 장치는, 상기 가속도 검출부가 이상 진동을 트리거로 하여 상기 이상 진동 검지 회로로부터 출력되는 상기 이상 신호에 의해 기동되고, 상기 가속도에 따른 신호의 기록을 개시하고, 상기 이상 진동 검지 회로가 이상 진동의 종료를 검출하여 이상 진동 종료 신호를 출력하고, 상기 이상 진동 종료 신호에 의해 상기 가속도에 따른 신호의 기록을 정지시키는 기록 회로를 추가로 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 가속도 센서 장치는, 상기 이상 진동이 기록해야 하는 진동인지 여부를, 주파수와 주파수에 대응한 스펙트럼 강도로 이루어지는 미리 설정되어 있는 참조 진동 패턴과, 상기 가속도에 따른 신호의 주파수에 대응한 스펙트럼 강도로 이루어지는 대상 진동 패턴을 비교하고, 이 비교 결과에 의해 상기 가속도에 따른 신호를 기록할지 여부의 판정을 실시하는 판정부를 추가로 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 가속도 센서 장치는, 상기 판정부가 상기 참조 진동 패턴 각각의 주파수와 주파수의 스펙트럼 강도로부터 구한, 주파수마다 스펙트럼 강도의 상한값 및 하한값을 갖는 설정 범위를 갖고, 상기 대상 진동 패턴의 주파수마다의 스펙트럼 강도가 상기 설정 범위에 포함되는지 여부의 비교 결과에 의해 상기 가속도에 따른 신호를 기록할지 여부의 판정을 실시하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 가속도 센서 장치는, 상기 판정부가 미리 설정된 시간폭마다 상기 가속도에 따른 신호의 전압의 주파수와 당해 주파수에 대응하는 스펙트럼 강도를 구하는 푸리에 변환을 실시하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 가속도 센서 장치는, 상기 가속도 검출부가 이상 신호의 개시에서부터 이상 종료까지의 상기 가속도에 따른 신호의 전압의 전압값을 내부에 기억시키고, 상기 판정부가 상기 시간폭마다 순차적으로 상기 가속도에 따른 신호의 전압의 전압값을 상기 시각폭에 대응하는 시각 범위마다 판독하고, 푸리에 변환하여 대상 진동 패턴을 생성하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 가속도 센서 장치는, 상기 판정부에 미리 설정되는 설정 범위가, 미리 설정된 기간에 취득된 환경에 있어서의 외란의 진동에서 기인하는 참조 진동 패턴으로부터 생성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 가속도 센서 장치는, 상기 이상 진동 검지 회로가 이상 진동의 종료를 검출하여 이상 진동 종료 신호를 출력하고, 상기 기록 회로가 상기 이상 진동 종료 신호에 의해 상기 가속도에 따른 신호의 기록을 정지시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 가속도 센서 장치는, 상기 가속도 센서에 있어서의 상기 일렉트렛의 재료가 유기 재료로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 가속도 센서 장치는, 상기 가속도 센서에 있어서의 상기 일렉트렛의 재료가 적어도 1 종류의 시클로올레핀 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 가속도 센서 장치는, 상기 가속도 센서에 있어서의 상기 일렉트렛의 재료가 불소계 폴리머로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 가속도 센서 장치는, 상기 가속도 센서에 있어서의 상기 일렉트렛의 재료가, 주사슬에 함불소 지방족 고리 구조를 갖는 중합체로 구성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 가속도 센서 장치는, 상기 기록 회로가 상기 가속도의 수치를 검출하는 수치 검출용 가속도 센서를 추가로 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 가속도 센서 장치는, 상기 수치 검출용 가속도 센서가, 상기 가속도 센서보다 고정밀도인 것을 특징으로 한다.

본 발명의 무선 센서 네트워크는, 복수의 센서 노드와, 그 센서 노드가 검출한 데이터를 수집하는 데이터 수집 서버를 갖는 무선 센서 네트워크로서, 상기 어느 하나의 상기 가속도 센서 장치에 무선 통신 기능을 삽입한 센서 노드를 적어도 1 개 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 광역 이상 진동 기록 시스템은, 상기 무선 센서 네트워크를 사용하고, 상기 센서 노드를 상기 어느 하나의 상기 가속도 센서 장치로 하여 복수 지점의 이상 진동을 기록하는 것을 특징으로 한다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 전기 에너지와 운동 에너지를 변환시키는 정전 유도형 변환 소자로서, 도체와 상대적으로 운동하는 일렉트렛을 구비하는 가속도 센서를 사용함으로써, 여러 방향의 가속도의 검지를 단순한 구조로 실현시킬 수 있다.

또, 본 발명에 의하면, 상기 가속도 센서로부터 출력되는, 인가되는 가속도에 따라 출력되는 전기 신호에 의해 당해 가속도를 검지함과 함께, 이 전기 신호에 의해 발전을 실시하고, 얻어진 전기 에너지를 배터리에 충전시켜 자신의 각 회로의 구동 전력으로서 활용함으로써, 전지 수명을 종래와 비교하여 연장시킬 수 있게 된다.

또, 본 발명에 의하면, 일렉트렛으로 구성된 가속도 센서에서 이상 진동이 검출된 경우에만, 즉 가속도값을 검출할 필요가 있는 경우에만 기록 회로를 기동시키는 구성이기 때문에, 전지 수명에 영향을 미치는 회로 블록을 추가하지 않고, 배터리의 전력을 소비하는 가속도의 수치 검출을 실시하는 기록 회로 및 내부 회로를 제어하는 제어부 (CPU 등) 의 간헐 동작 제어를 실시할 수 있어, 항상 센싱 상태를 유지시키면서 종래예와 비교하여 배터리의 장수명화를 실현시킬 수 있다.

도 1 은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 가속도 센서 장치의 구성예를 나타내는 블록도이다.
도 2 는 본 발명의 제 1 및 제 2 실시형태에 있어서의 가속도 센서 (1) 의 구조를 설명하는, 가속도 센서 (1) 를 측면에서 바라본 개념도이다.
도 3 은 도 1 에 있어서의 정류부 (2) 의 회로 구성예를 나타내는 개념도이다.
도 4 는 도 1 의 변환 회로 (4) 의 회로 구성예를 나타내는 개념도이다.
도 5 는 가속도 센서 (1) 가 출력하는 출력 전압 파형을 나타내는 파형도이다.
도 6 은 변환 회로 (4) 가 출력하는 출력 전압 파형을 나타내는 파형도이다.
도 7 은 콤퍼레이터 (5) 가 출력하는 출력 전압 파형을 나타내는 파형도이다.
도 8 은 제 1 실시형태에 의한 가속도 센서 장치의 동작예를 나타내는 플로우차트이다.
도 9 는 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 가속도 센서 장치의 구성예를 나타내는 블록도이다.
도 10 은 도 9 에 있어서의 리밋 회로 (9) 의 회로 구성예를 나타내는 개념도이다.
도 11 은 리밋 회로 (9) 가 출력하는 출력 전압 파형을 나타내는 파형도이다.
도 12 는 콤퍼레이터 (5) 가 출력하는 출력 전압 파형을 나타내는 파형도이다.
도 13 은 제어부 (6) 에 있어서의 정상 상태 진동 및 이상 진동 각각의 기간에 있어서의 소비 전력 제어에 의한 소비 전력의 상태를 나타내는 파형도이다.
도 14 는 도 9 의 실시형태에 의한 가속도 센서 장치의 변경예를 나타내는 블록도이다.
도 15 는 도 14 의 가속도 센서 장치의 동작을 설명하는 개념도이다.
도 16 은 도 14 에 나타내는 가속도 센서 장치의 동작예를 나타내는 플로우차트이다.
도 17 은 제 1 및 제 2 실시형태에 의한 가속도 센서 장치에 의해, 2 차원의 진동을 계측하는 가속도 센서의 배치를 나타내는 개념도이다.
도 18 은 제 1 및 제 2 실시형태에 의한 가속도 센서 장치에 의해, 2 차원의 진동을 계측하는 가속도 센서의 배치를 나타내는 개념도이다.
도 19 는 제 1 및 제 2 실시형태에 의한 가속도 센서 장치에 의해, 3 차원의 진동을 계측하는 가속도 센서의 배치를 나타내는 개념도이다.
도 20 은 제 1 및 제 2 실시형태에 의한 가속도 센서 장치를 사용한 와이어리스 센서 네트워크 시스템의 구성예를 나타내는 개념도이다.

<제 1 실시형태>

이하, 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 가속도 센서 장치를 도면을 참조하여 설명한다. 도 1 은 동 실시형태에 의한 가속도 센서 장치의 구성예를 나타내는 블록도이다.

이 도면에 있어서, 본 실시형태에 의한 가속도 센서 장치는, 가속도 센서 (1), 정류부 (2), 전원부 (3), 변환 회로 (4), 콤퍼레이터 (5), 제어부 (6), 검출부 (7) 및 기록부 (8) 를 가지고 있다. 여기에서, 전원부 (3) 로부터 각 부에 대해 동작 전원 (Vdd) 이 공급되고 있다.

도 2 는 가속도 센서 (1) 를 측면에서 바라본 개념도이다. 상기 가속도 센서 (1) 는 운동 에너지를 전기 에너지로 변환시키는 정전 유도형 변환 소자로서, 도전체의 전극판 (12 및 13) 각각이 판의 평면이 평행하고 또한 대향하도록 이간되어 배치되어 있다. 또, 이 대향하는 공간에 판 형상의 일렉트렛 (11) 이 마찬가지로 전극판 (12 및 13) 각각의 판의 평면에 대해 평행이 되도록 배치되어 있다.

여기에서, 일렉트렛 (11) 에 대향하는 적어도 일방의 전극판, 즉 전극판 (12 혹은 13) 중 어느 것이 화살표 R 방향 (전극판의 평면부가 일렉트렛 (11) 의 평면부에 대해 평행 이동하는 방향) 으로 일렉트렛 (11) 에 대해 상대적으로 운동할 수 있도록, 도시되지 않은 평행 운동 기구에 대해 전극판 (12 및 13) 중 어느 것이 고정되어 구성되어 있다. 이 때, 일렉트렛 (11) 은 어느 전극판에 고정되어 있어도 된다.

도 2 에 있어서, 예를 들어 일렉트렛 (11) 은, 하부 평면 (11b) 에서 전극판 (12) 의 상부 평면 (12a) 에 고정되어 있으며, 상부 평면 (11a) 이 전극판 (13) 의 하부 평면 (13b) 과 대향하도록 배치되어 있다. 여기에서, 전극판 (12 및 13) 은 저항 (14) 을 통하여 접속되어 있다.

이 저항 (14) 은 가속도 센서 (1) 의 다음 단 이후에 접속되어 있는 부하 저항을 의미하고 있다.

또, 일렉트렛 (11) 은, 절연 재료에 대해 전하 (도 2 에서는 부 (負) 의 전하) 를 주입하여 형성되어 있다. 일렉트렛 (11) 으로의 전하의 주입에는, 액체 접촉, 코로나 방전, 전자 빔, 백ㆍ라이티드ㆍ사이러트론 등 공지된 방법을 이용할 수 있다.

상기 서술한 구성에 의해, 전극판 (13) 을 일렉트렛 (11) 에 대해 화살표 R 방향으로 상대적으로 운동시킬 수 있다. 여기에서, 전극판 (13) 과 일렉트렛 (11) 의 대향하는 면 각각이 평행 이동할 수 있도록 이동할 수 있게 구성되어 있다. 그리고, 이 상대적인 운동에 의해 일렉트렛 (11) 에 주입된 전하 (도 2 에서는 부전하) 에 의해, 전극판 (13) 에 대해 일렉트렛 (11) 에 주입되어 있는 전하와 극성이 반대인 전하 (도 2 에서는 정(正)전하) 가 정전 유도된다. 이 결과, 전극판 (13) 과 일렉트렛 (11) 의 상대 운동 거리에 비례한 전류가 저항 (14) 에 흐른다. 저항 (14) 에 전류가 흐름으로써, 저항 (14) 의 단자 사이에서 이 저항 (14) 의 저항값과 흐르는 전류의 전류값에 의해 전압이 생성된다. 이로써, 본 실시형태에 있어서의 가속도 센서가 가속도에 대응하여 평행 이동하는 운동 에너지를 전기 에너지인 전압값으로 변환시키고, 이 전압값을 검출 결과로서 출력하는 정전 유도형 변환 소자의 센서로서 기능한다.

다음으로, 도 1 의 정류부 (2) 는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 다이오드 (D1 ∼ D4) 로 구성된 다이오드 브리지와, 이 다이오드 브리지의 출력 단자 (T5 및 T6) 사이에 형성된 평활용 콘덴서 (Ch) 에 의해 구성되어 있다.

정류부 (2) 의 입력 단자 (T3 및 T4) 각각에 각각 가속도 센서 (1) 의 출력 단자 (T1, T2) 가 접속되어 있다.

이로써, 정류부 (2) 는, 가속도 센서 (1) 로부터 입력되는, 일렉트렛 (11) 에 대한 전극판 (13) 의 상대 운동 거리에 따른, 즉 전극판 (13) 에 인가되는 가속도에 대응한 교류 전압을 정류시키고, 또한 평활하게 하여 직류 전압으로서 전원부 (3) 에 출력한다.

도 1 로 되돌아와, 전원부 (3) 는, 내부에 배터리 (2 차 전지) 를 가지고 있어, 변환 회로 (4), 콤퍼레이터 (5), 제어부 (6), 검출부 (7) 및 기록부 (8) 에 대해 각각의 회로에서 소비하는 구동 전력을 공급한다. 또, 전원부 (3) 는 충전 회로를 가지고 있어, 정류부 (2) 로부터 공급되는 직류 전압을 배터리에 대한 충전에 적합한 전압으로 변환시켜, 전기 에너지로서 상기 배터리에 충전시킨다. 이 때문에, 가속도 센서 (1) 에 있어서의 일렉트렛 (11) 은, 정상인 것으로 판정되는 가속도에서 발생되는 교류 전압의 전압값을, 통상의 배터리에 충전시키는 데에 충분한 직류 전압이 얻어지는 수치로서 출력되도록 조정되고 있다.

변환 회로 (4) 는, 도 4 에 나타내는 바와 같이 저항 (R1) (저항값 (r1)) 및 저항 (R2) (저항값 (r2)) 에 의해, 정류부 (2) 로부터 입력되는 직류 전압의 전압 (Va) 을 분압하여, 분압 전압 (Vs) 을,

Vs = Va × {r2/(r1 + r2)}

로 하여, 오퍼레이션 앰프 (Operational Amplifier ; OP1) 로 이루어지는 볼티지 팔로어 회로에 의해 임피던스 변환하여 출력한다. 또, 저항 (R1 및 R2) 은 가속도 센서 (1) 의 출력 임피던스에 대해 고저항으로 설정되어 있어, 가속도 센서 (1) 에서 발생된 교류 전압을 높은 전압으로서 출력할 수 있기 때문에, 충전에 사용하는 전기 에너지로서 효율적으로 전원 회로 (3) 에 공급되도록 하고 있다.

콤퍼레이터 (5) 는 변환 회로 (4) 로부터 입력되는 분압 전압 (Vs) 과, 미리 설정되어 있는 설정 전압 (Vt) (임계값) 을 비교한다. 이 비교 결과에 있어서, 콤퍼레이터 (5) 는, 분압 전압 (Vs) 이 설정 전압 (Vt) 이하인 경우에 이상 신호를 「L」레벨 (정상 범위의 가속도) 로 출력하고, 분압 전압 (Vs) 이 설정 전압 (Vt) 을 초과하는 경우에 이상 (異常) 신호를 「H」레벨 (이상 범위의 가속도) 로 출력한다. 상기 설정 전압 (Vt) 은, 가변 저항에 의한 분압 회로 등에 의해 구성된 설정 전압 생성 회로 (도시 생략) 에 의해, 이상인 것으로 하는 가속도의 크기를 변경하는 경우나, 변환 회로 (4) 에 있어서의 분압비의 조정에 대응하여 임의로 변경할 수 있다.

제어부 (6) 는, 콤퍼레이터 (5) 로부터 출력되는 이상 신호가 「L」레벨에서 「H」레벨로 천이된 경우, 즉 이상 가속도 (예를 들어, 비정상으로 빠른 변화 속도의 진동에 의해 전극판 (13) 에 대해 인가되는 가속도) 가 검출된 경우, 검출부 (7) 및 기록부 (8) 를 기동시킨다. 한편, 이상 신호가 「H」레벨에서 「L」레벨로 천이된 경우, 즉 정상적인 가속도가 검출된 경우, 제어부 (6) 는 기록 종료 신호를 출력하여 검출부 (7) 및 기록부 (8) 를 정지시킨다.

혹은 제어부 (6) 는 이상 신호가 「L」레벨에서 「H」레벨로 천이되어 각 회로를 구동 상태로 한 후, 미리 설정되어 있는 측정 시간 경과 후에, 기록 종료 신호를 출력하여 검출부 (7) 및 기록부 (8) 를 정지시키도록 구성되어 있어도 된다.

여기에서, 제어부 (6) 는 MPU 등이 사용되고 있으며, 상기 이상 신호가 IRQ (인터럽트 리퀘스트) 단자에 입력되고 있다. 또, 제어부 (6) 는, 자신도 이상 신호가 「L」레벨로 입력되어 있는 경우, 상기 배터리의 전력을 소비하지 않도록 정지 상태 (내부의 IRQ 단자에 입력되면 MPU 를 기동시키는 기능 이외가 정지 상태) 가 되고, 「H」레벨이 되면 기동되도록 구성되어 있다. 상기 IRQ 단자에 「H」레벨의 신호가 입력되면 개입 처리가 개시되어, 즉 제어부 (6) 는 기동 상태가 된다.

검출부 (7) 는 A/D 컨버터로 구성되어 있으며, 아날로그값인 분압 전압 (Vs) 의 전압값을 디지털값으로 변환시키고, 변환 결과인 디지털 데이터를 기록부 (8) 에 출력한다.

또, 검출부 (7) 는, 제어부 (6) 로부터 기동 제어 신호가 입력될 때까지 전원부 (3) 로부터의 전력의 공급이 이루어지지 않게 구성되어 있다. 즉, 검출부 (7) 는, A/D 컨버터에 대한 전력 공급을 통상적으로 스위치 수단에 의해 차단시킨 상태로 되어 있어, 기동 제어 신호가 입력되면 스위치 수단을 접속시켜 전력 공급을 실시한다. 한편, 검출부 (7) 는 기록 종료 신호가 입력되면, 이 스위치 수단을 차단 상태로 하여 A/D 변환기에 대한 전력의 공급을 정지시킨다.

기록부 (8) 는, 상기 검출부 (7) 와 마찬가지로, 내부 회로에 전력을 공급하는 경로를 스위치 수단에 의해 차단 혹은 접속시켜 내부 회로의 구동을 제어하는 구성으로 되어 있다. 또, 기록부 (8) 는, 불휘발성 메모리로 구성된 기억부를 가지고 있어, 기동되면 검출부 (7) 로부터 시계열로 입력되는 디지털 데이터를 순차적으로 상기 부기 (附記) 발생 메모리에 시각 정보와 함께 기록하여 가속도 데이터를 기록한다.

즉, 기록부 (8) 는, 내부 회로에 대한 전력 공급을 통상적으로 스위치 수단에 의해 차단시키는 상태로 되어 있다. 또, 기록부 (8) 는, 기동 제어 신호가 입력되면 스위치 수단을 접속시켜 전력 공급을 실시한다. 한편, 기록부 (8) 는, 기록 종료 신호가 입력되면, 이 스위치 수단을 차단 상태로 하여 A/D 변환기에 대한 전력의 공급을 정지시킨다.

상기 검출부 (7) 및 기록부 (8) 에 있어서, 각 스위치 수단을 동작시키는 제어 회로는 구동 상태로 되어 있다.

상기 서술한 바와 같이, 본 실시형태에 의하면, 일렉트렛 (11) 으로 형성된 가속도 센서 (1) 가 검출한 이상 진동을 트리거로 하여 정지되어 있었던 검출부 (7) 및 기록부 (8) 를 기동시킬 수 있다. 한편, 본 실시형태에 의하면, 이상 진동이 종료되면, 기동되고 있는 검출부 (7) 및 기록부 (8) 를 정지시킬 수 있다. 이 때문에, 본 실시형태에 의하면, 검출부 (7) 및 기록부 (8) 를 가속도 데이터를 취득할 필요가 있는 기간에만 구동시킬 수 있어, 일정 간격으로 실시하는 간헐 동작과 비교하여 검출부 (7) 및 기록부 (8) 의 동작 시간의 비율을 더욱 삭감시킬 수 있게 되어 배터리의 장수명화를 이룰 수 있다. 제어부 (6) 는 A/D 컨버터, 이상 신호를 기록하는 데에 충분한 기억 용량의 메모리를 내장하고 있는 MPU 를 사용해도 되어, 이로써 회로의 간소화를 이룰 수 있다.

다음으로, 제 1 실시형태에 의한 가속도 센서 장치의 동작을 도 5, 도 6, 도 7 및 도 8 을 사용하여 설명한다. 도 5 는 가속도 센서 (1) 가 인가된 가속도에 대응하여 출력하는 교류 전압을 나타내고 있으며, 가로축이 시각을 나타내고, 세로축이 가속도 센서 (1) 가 출력하는 전압값을 나타내고 있다. 도 6 은 정류부 (2) 가 출력하는 직류 전압을 나타내고 있으며, 가로축이 시각을 나타내고, 세로축이 직류 전압의 전압값을 나타내고 있다. 도 7 은 콤퍼레이터 (5) 의 출력 (이상 신호) 을 나타내고 있으며, 가로축이 시각을 나타내고, 세로축이 출력 전압의 전압값을 나타내고 있다. 도 8 은 본 실시형태에 있어서의 가속도 센서 장치의 동작예를 나타내는 플로우차트이다.

자연히 인가되는 진동 (도 5 에 있어서의 정상 상태 진동의 범위) 에 있어서도, 발전에 충분한 전압이 가속도 센서 (1) 로부터 출력되고 있다.

도 5 에 나타내는 정상 상태 진동의 시간 범위에 있어서, 변환 회로 (4) 로부터 출력되는 분압 전압 (Vs) 이, 정상 상태 진동인 경우에 미리 설정된 설정 전압 (Vt) (임계값) 을 초과하지 않기 때문에, 콤퍼레이터 (5) 는, 도 7 에 나타내는 바와 같이 이상 신호를, 정상 상태 진동이고 이상이 아닌 것을 나타내는 「L」레벨을 출력하고 있다 (단계 S1).

따라서, 제어부 (6) 는 자신을 기동시키지 않기 때문에, 검출부 (7) 및 기록부 (8) 도 정지 상태가 유지되어, 전력 소비가 억제된 상태로 되어 있다.

그리고, 콤퍼레이터 (5) 는, 도 7 에 나타내는 바와 같이 이상 신호를, 이상 진동으로서 정상 상태 진동에 비해 큰 가속도가 인가되고 있는지 여부를 판정한다 (단계 S2).

다음으로, 도 5 에 나타내는 이상 진동 상태의 범위가 되면, 변환 회로 (4) 로부터 출력되는 분압 전압 (Vs) 이, 미리 설정된 설정 전압 (Vt) (임계값) 을 초과한다. 이 때문에, 콤퍼레이터 (5) 는, 도 7 에 나타내는 바와 같이 이상 신호를, 이상 진동으로서 정상 상태 진동에 비해 큰 가속도가 인가되고 있음을 나타내는 「H」레벨로서 출력하고, 처리를 단계 S3 으로 진행한다.

이상 신호가 「H」레벨이 됨으로써, 제어부 (6) 는 자신을 기동시켜, 기동을 제어하는 신호를 출력하여 검출부 (7) 및 기록부 (8) 를 기동시킨다 (단계 S3 및 단계 S4).

그리고, 검출부 (7) 는 변환 회로 (4) 로부터 입력되는, 정류부 (2) 로부터 입력되는 직류 전압의 전압 (Va) 을 분압한 분압 전압 (Vs) 을 A/D 변환시키고, 변환된 디지털 데이터를 기록부 (8) 에 출력한다.

이로써, 기록부 (8) 는, 입력되는 디지털 데이터를 내부의 불휘발성 메모리 등으로 이루어지는 기억부에 시각마다 기억시킨다 (단계 S5).

여기에서, 제어부 (8) 는, 콤퍼레이터 (5) 로부터 입력되는 이상 신호가 「H」레벨인지 「L」레벨인지를 판정한다 (단계 S6).

그리고, 콤퍼레이터 (5) 는, 도 5 에 나타내는 바와 같이 이상 진동에서 정상 상태 진동으로 진동 모드가 변화되어, 변환 회로 (4) 가 출력하는 분압 전압 (Vs) 이 설정 전압 (Vt) 이하가 됨으로써, 도 7 에 나타내는 바와 같이 이상 신호를, 이상 진동 상태에 있어서의 「H」레벨로부터, 정상 상태 진동이고 이상이 아닌 것을 나타내는 「L」레벨로 변화시킨다.

따라서, 제어부 (6) 는, 이상 신호가 「H」레벨에서 「L」레벨로 변화됨으로써, 기록 종료 신호를 출력하여 검출부 (7) 및 기록부 (8) 도 정지 상태로 하고 (단계 S7 및 단계 S8), 자신도 휴지 상태로 하여 전력 소비가 억제된 상태로 한다.

한편, 제어부 (6) 는, 이상 신호가 「H」레벨인 경우, 처리를 단계 S5 로 되돌린다.

또, 제어부 (6) 는, 이상 신호가 「H」레벨이 되고 나서, 즉 자신이 기동되고나서의 시간을 카운트한다. 그리고, 제어부 (6) 는, 이 카운트 결과가 설정되어 있는 측정 시간을 경과하면, 기록 종료 신호를 출력하여 검출부 (7) 및 기록부 (8) 를 정지시키도록 해도 된다.

<제 2 실시형태>

이하, 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 가속도 센서 장치를 도면을 참조하여 설명한다. 도 9 는 동 실시형태에 의한 가속도 센서 장치의 구성예를 나타내는 블록도이다.

이 도면에 있어서, 본 실시형태에 의한 가속도 센서 장치는, 가속도 센서 (1), 정류부 (2), 전원부 (3), 콤퍼레이터 (5), 제어부 (6), 검출부 (7), 기록부 (8) 및 리밋 회로 (9) 를 가지고 있다. 도 9 에 있어서 제 1 실시형태와 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 설명을 생략한다. 이하, 제 1 실시형태와 다른 구성 및 동작에 대하여 설명한다. 또, 콤퍼레이터 (5) 및 리밋 회로 (9) 에는, 내부의 오퍼레이션 앰프 회로의 동작을 위해 동작 전압 (Vdd 와 -Vdd) 이 전원부 (3) 로부터 공급되고 있다.

리밋 회로 (9) 는, 가속도 센서 (1) 로부터 출력되는 교류 전압 (va) 을 검출 범위 내가 되도록 분압하고, 정의 신호 펄스로서 콤퍼레이터 (5) 에 출력한다.

즉, 상기 리밋 회로 (9) 는, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 분압 회로, 전압 리미터 회로, 반단 (半端) 정류 회로 및 클립 회로에 의해 구성되어 있다.

상기 분압 회로는, 저항 (901) (저항값 (r901)), 저항 (902) (저항값 (r902)) 으로 구성되며, 가속도 센서 (1) 로부터 입력되는 교류 전압 (va) 을 분압하여 분압 전압 (vs) 을 생성한다.

vs = va × {r902/(r901 + r902)}

여기에서, 저항 (901 및 902) 은, 가속도 센서 (1) 의 출력 임피던스에 대해 고저항으로 설정되어, 교류 전압 (va) 을 양호한 정밀도로 분압한다. 또, 저항 (901, 902) 은 가속도 센서 (1) 의 출력 임피던스에 대해 고저항으로 설정되어, 가속도 센서 (1) 에서 발생된 전기 에너지가 효율적으로 전원 회로 (3) 에 공급되도록 하고 있다.

전압 리미터 회로는 다이오드 (904 및 905) 로 구성되어 있으며, 다이오드의 순방향 전압 강하 전압폭의 범위 내로 상기 교류 전압 (vs) 의 전압값을 제한한다.

반파 정류 회로는, 오퍼레이션 앰프 (906), 다이오드 (907ㆍ908), 콘덴서 (917) 및 저항 (903) (저항값 (r903))ㆍ저항 (909) (저항값 (r909))ㆍ저항 (910)ㆍ 저항 (916) 으로 구성되어 있으며, 교류 전압 (vs) 은 반파 정류됨과 동시에 저항 (916) 및 콘덴서 (917) 가 로우 패스 필터로서 동작하여 불필요한 노이즈가 제거되고, r909/r903 의 증폭률을 가진 펄스 형상의 직류 전압 (Va') 으로 변환되어 출력된다.

클립 회로는, 저항 (911ㆍ915), 오퍼레이션 앰프 (912) 및 제너 다이오드 (913ㆍ914) 로 구성되어 있으며, 상기 직류 전압 (Va) 을 저항값 (911 및 915) 에 의해 설정되는 증폭률에 의해 증폭시키고, 제너 다이오드 (913ㆍ914) 의 항복 전압에 대응한 최대값 및 최소값의 범위 내에서, 증폭된 직류 전압 (Va') 의 전압값을 클립하여 전압 (Vb) 으로서 콤퍼레이터 (5) 에 대해 출력한다.

또, 검출부 (7) 는, 제 1 실시형태에 있어서의 검출부 (7) 와 동일한 구성이지만, 가속도 센서 (1) 로부터의 교류 전압 (va) 을 분압한 후, 분압된 교류 전압 (vs) 을 직류 전압으로 변환시킨 후, A/D 변환을 실시하는 기능이 추가되어 있다. 또, 이 검출부 (7) 는, 다른 구성 및 동작에 대해서는, 제 1 실시형태에 있어서의 검출부 (7) 와 동일하다.

다음으로, 제 2 실시형태에 의한 가속도 센서 장치의 동작을 도 5, 도 6, 도 11, 도 12 및 도 13 을 사용하여 설명한다. 도 11 은 리밋 회로 (9) 의 출력을 나타내고 있으며, 가로축이 시각을 나타내고, 세로축이 출력 전압의 전압값을 나타내고 있다. 도 12 는 콤퍼레이터 (5) 의 출력 (이상 신호) 을 나타내고 있으며, 가로축이 시각을 나타내고, 세로축이 출력 전압의 전압값을 나타내고 있다. 도 13 은 가속도 센서 장치 전체의 소비 전력을 나타내는 것으로서, 가로축이 시각을 나타내고, 세로축이 소비 전력의 전력값을 나타내고 있다.

자연히 인가되는 진동 (도 5 에 있어서의 정상 상태 진동의 범위) 에 있어서도, 발전에 충분한 전압이 가속도 센서 (1) 로부터 출력되고 있다.

도 5 에 나타내는 정상 상태 진동의 시간 범위에 있어서, 리밋 회로 (9) 로부터 출력되는 반파 정류된 펄스 형상의 직류 전압 (Vb) 이, 정상 상태 진동인 경우, 미리 설정된 설정 전압 (Vt) (임계값) 을 초과하지 않기 때문에, 콤퍼레이터 (5) 는, 도 12 에 나타내는 바와 같이, 이상 신호를 정상 상태 진동이고 이상이 아닌 것을 나타내는 「L」레벨로서 출력하고 있다.

따라서, 제어부 (6) 는 자신을 기동시키지 않기 때문에, 검출부 (7) 및 기록부 (8) 도 정지 상태가 유지되어, 도 13 에 나타내는 바와 같이, 가속도 센서 장치의 전력 소비가 억제된 상태로 되어 있다.

다음으로, 시각 t1 에 있어서, 도 5 에 나타내는 이상 진동 상태의 범위가 되면, 리밋 회로 (9) 로부터 출력되는 반파 정류된 펄스 형상의 직류 전압 (Vb) 이, 미리 설정된 설정 전압 (Vt) (임계값) 을 초과하기 때문에, 콤퍼레이터 (5) 는, 이상 신호를, 이상 진동으로서 정상 상태 진동에 비해 큰 가속도가 인가되고 있음을 나타내는 「H」레벨로서 출력한다.

이상 신호가 「H」레벨이 됨으로써, 제어부 (6) 는 자신을 기동시킨 후, 기동을 제어하는 신호를 출력하여 검출부 (7) 및 기록부 (8) 를 기동시킨다.

그리고, 검출부 (7) 는, 변환 회로 (4) 로부터 입력되는, 정류부 (2) 로부터 입력되는 직류 전압의 전압 (Va) 을 분압한 분압 전압 (Vs) 을 A/D 변환시키고, 변환된 디지털 데이터를 기록부 (8) 에 출력한다.

이로써, 기록부 (8) 는, 입력되는 디지털 데이터를 내부의 불휘발성 메모리 등으로 이루어지는 기억부에 시각마다 기억시킨다. 이 때, 도 13 에 나타내는 바와 같이, 가속도 센서 장치의 소비 전력이 가동 상태에 있어서의 전력 소비량까지 증가한다.

그리고, 제어부 (6) 는, 정상 상태 진동에서 이상 신호로 변화되었을 때, 즉 콤퍼레이터 (5) 로부터 출력되는 이상 신호가 「L」레벨에서 「H」레벨로 변화되었을 때의 시각 t1 에서부터의 시간을 카운트하여, 카운트한 시간이 미리 설정되어 있는 측정 시간을 초과하는지 여부를 판정한다.

다음으로, 시각 t2 에 있어서, 제어부 (6) 는 카운트하고 있는 시간이 미리 설정된 측정 시간을 초과한 경우, 종료 신호를 출력하여 검출부 (7) 및 기록부 (8) 의 동작을 정지시키고, 자신도 휴지 상태로 하여 전력 소비가 억제된 상태로 한다. 이로써, 도 13 에 나타내는 바와 같이 가속도 센서 장치의 전력 소비량이 저하된다.

또, 콤퍼레이터 (5) 는, 상기 서술한 카운트하고 있는 측정 시간과 관계없이, 입력되는 도 5 에 나타내는 이상 진동에서 정상 상태 진동으로 진동 모드가 변화됨으로써, 리밋 회로 (9) 로부터 출력되는 반파 정류된 펄스 형상의 직류 전압 (Vb) 이 설정 전압 (Vt) 이하가 됨으로써, 도 12 에 나타내는 바와 같이 이상 신호를, 이상 진동 상태에 있어서의 「H」레벨로부터, 정상 상태 진동이고 이상이 아닌 것을 나타내는 「L」레벨로 변화시킨다.

<제 1 및 제 2 실시형태에 대한 추가 기능>

이미 서술한 바와 같이, 제 1 및 제 2 실시형태에 있어서의 가속도 센서 장치에 있어서, 콤퍼레이터 (5) 는, 가속도 센서 (1) 가 부여되는 가속도에 대응하여 출력하는 전압값 (실제로는 비교할 수 있게 변환 회로 (4) 에 의해 분압된 전압값) 과, 미리 임계값으로서 설정되어 있는 설정 전압 (Vt) 을 비교하여, 가속도 센서 (1) 가 출력하는 전압값이 설정 전압 (Vt) 을 초과하면, 이상 신호를 출력하고 있다.

그리고, 제어부 (6) 는, 정지 상태로부터 기동 상태로 되어, 검출부 (7) 및 기록부 (8) 에 전원부 (3) 로부터 전원의 공급이 개시된다. 이로써, 검출부 (7) 는, 가속도 센서 (1) 로부터의 가속도에 대응한 전압값을 디지털값으로 변환시켜 기록부 (8) 에 출력한다. 기록부 (8) 는, 입력되는 디지털 데이터 (이상 진동을 기록한 일시 정보도 포함한다) 를 내부의 기억부에 대해, 이 디지털 데이터를 입력한 시각에 대응하여 기록한다. 이 디지털 데이터의 기록 처리는, 가속도 센서 (1) 로부터 출력되는 전압값이 설정 전압 (Vt) 이하가 되면, 제어부 (6) 가 기동 상태에서 정지 상태로 이행하여 종료된다.

그러나, 사용하는 환경에 대응하여 이상 진동의 성질이 상이하여, 가속도 센서 (1) 에 가해지는 가속도가 이상 진동에 의한 것인지, 혹은 정상인 상태에 있어서 돌발적으로 가해진 진동, 혹은 주위 환경에 의한 외란의 진동, 혹은 가속도 센서 (1) 가 설치된 장치의 정상적인 진동 (정상 상태 진동) 에 의한 것인지 명확하게 알 수 없기 때문에, 불필요한 외란 등의 진동 데이터를 기록하는 것을 생각해 볼 수 있다. 즉, 가속도 센서 (1) 로부터 출력되는 순시값으로서 전압값만으로 가속도 센서 (1) 에 가해진 가속도가 이상인 것으로 판정하면, 이 가속도를 일으킨 진동을 이상 진동인 것으로 판정하는 정밀도가 낮은 경우가 있다.

이 때문에, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 가속도 센서 (1) 로부터 출력되는 전압값이 설정 전압 (Vt) 을 초과한 경우, 이 때의 진동에 의한 가속도 센서 (1) 가 출력하는 교류 전압의 진동이 이상 진동인지, 혹은 진동의 강도는 임계값을 초과하지만 이상이 아닌 진동 (외부 환경에 존재하는 진동, 후술) 인지 판정하는 판정부 (20) 를 형성하는 구성으로 해도 된다. 이 판정부 (20) 를 형성함으로써, 미리 설정된 진동 패턴 이외의 진동에 기초하는 디지털 데이터만을 기록할 수 있다. 또, 반대로 미리 설정한 진동 패턴에 기초하는 디지털 데이터만을 기록하도록 구성해도 된다. 도 14 는 도 9 에 나타내는 제 2 실시형태의 구성예에 상기 판정부 (20) 를 형성한 것이다. 도 9 와 동일한 동작을 실시하는 구성에는 동일한 부호를 부여하고, 이하 상이한 동작을 설명한다.

여기에서, 도 14 의 검출부 (7) 는 제 2 실시형태에 있어서의 도 9 의 검출부 (7) 와 동일한 구성이지만, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 가속도 센서 (1) 로부터의 교류 전압 (Va) 을 분압한 후, 분압된 교류 전압 (Vs) 으로 하고, 오퍼레이션 앰프 (OP1) 로 이루어지는 볼티지 팔로어 회로에 접속되어, 추가로 A/D 변환 기능을 가지고 있다. 이들 기능을 유효하게 하기 위해, 검출부 (7) 에는 동작 전원 (Vdd 및 -Vdd) 이 공급되고 있다. 그리고, 판정부 (20) 가 실시하는 진동 패턴의 일치 혹은 유사의 판정 처리를 이하에 설명한다. 이미 서술한 바와 같이, 가속도 센서 (1) 에 의해 검출된 이상 진동이 변환된 디지털 데이터를 기록부 (8) 에 기록할지 여부의 판정에 있어서 푸리에 변환시킨 진동 패턴을 사용하고 있다.

예를 들어, 이상 진동을 감시하고 있는 지점의 환경에 있어서, 진동의 원인을 해석할 필요가 있는 대상 진동 패턴에 대해, 도 15 에 나타내는 바와 같이, 외란이 되는 외란 진동 패턴이 존재하는 경우, 외란 진동 패턴이 콤퍼레이터 (5) 의 임계값을 초과함으로써, 제 2 실시형태에서는, 제어부 (6) 가 기동되어 검출부 (7) 및 기록부 (8) 가 기동되어, 기록부 (8) 에 기록되게 된다. 외란 진동 패턴이 매우 많은 지점에서 대상 진동 패턴을 검출할 때, 언제 기록한 디지털 데이터가 대상 진동 패턴에 의한 것인지를 이후에 추출할 필요가 있게 된다.

또, 대량의 외란 진동 패턴에 대응하는 디지털 데이터를 기록함으로써, 기록부 (8) 의 기억 용량을 불필요하게 사용하고, 기록시키기 위한 소비 전력을 사용하게 된다.

예를 들어, 공장 내에서 사용하는 모터에 있어서의 이상 진동 (장착 금구의 느슨해짐, 회전축의 변형 등을 원인으로 한다) 을 대상 진동으로 하여 검출할 때, 주위 장치의 진동에 의한 외란 진동이 많은 경우, 이 주위 장치의 진동에 의한 외란 진동의 디지털 데이터를 기록하지 않게 할 필요가 있다.

대상 진동을 검출하는 모터의 이상 상태의 고유 진동과, 모터가 설치되어 있는 주위 환경에 의한 외란 (돌발적으로 부여되는 진동을 포함한다) 의 고유 진동은 각각 상이한 경우가 많다. 이 때문에, 가속도 센서 (1) 를 설치한 직후에 주위 환경에 의한 외란의 고유 진동을 미리 가속도 센서 (1) 를 사용하여 검출하여, 정상 상태의 고유 진동의 정상 상태 진동 패턴과, 외란의 외란 진동 패턴에 대해 푸리에 변환을 실시한다. 이로써, 외란의 고유 진동에 있어서의 주파수와 주파수마다의 스펙트럼 강도가 포함되는 범위를 나타내는 참조 진동 패턴을 생성시킨다. 그리고, 이 참조 진동 패턴에 있어서 각 주파수마다의 스펙트럼 강도의 상한값 및 하한값으로 이루어지는 설정 범위 (도 15 에 있어서의 외란의 진동에 의한 주파수와 주파수의 스펙트럼 강도로 이루어지는 정상 에어리어) 를 구하여, 이 설정 범위를 판정부 (20) 내의 기억부에 기억시켜 둔다.

그리고, 실제 검출 과정에서, 판정부 (20) 는, 콤퍼레이터 (5) 가 이상 진동으로 한 진동의 디지털 데이터를 푸리에 변환하여 대상 진동 패턴을 생성한다.

대상 진동 패턴을 생성한 후, 판정부 (20) 는, 대상 진동 패턴의 각 주파수의 스펙트럼 강도가 내부에 기억되어 있는 설정 범위에 포함되는지 여부를 판정한다.

이 판정에 있어서, 판정부 (20) 는, 참조 진동 패턴에 의해 미리 설정한 상기 설정 범위에 대상 진동 패턴에 있어서의 각 주파수의 스펙트럼 강도가 포함되는 경우, 일치 또는 유사 패턴인 것으로 판정한다.

한편, 판정부 (20) 는, 참조 진동 패턴에 의해 미리 설정한 설정 범위에 대상 진동 패턴에 있어서의 상기 스펙트럼 강도가 포함되지 않을 경우, 일치 또는 유사하지 않은 진동 패턴인 것으로 판정한다.

또, 상기 판정에 있어서, 판정부 (20) 는, 참조 진동 패턴과 대상 진동 패턴의 형상의 유사성을 검출하도록 구성해도 된다.

즉, 대상 진동 패턴과 외란마다의 주파수와 주파수의 스펙트럼 강도의 참조 진동 패턴 (이 경우, 주파수와 그 주파수에 있어서의 각 외란의 스펙트럼 강도의 평균값으로 이루어지는 패턴) 에 있어서, 동일한 주파수마다의 스펙트럼 강도의 차분을 구하고, 이 차분의 합계가 미리 설정된 범위에 들어가는 경우에 유사한 것으로 판정하도록 해도 된다.

상기 서술한 바와 같이, 판정부 (20) 는, 검출부 (7) 와 마찬가지로, 제어부 (6) 로부터 기동 제어의 신호가 입력되면, 스위치 수단을 접속시켜 전원부 (3) 로부터 전력의 공급을 받아 기동 상태가 되어, 제어부 (6) 로부터 정지 제어의 신호가 입력되면, 스위치 수단을 차단 상태로 하여 전원부 (3) 로부터의 전력의 공급을 받지 않는 상태, 즉 정지 상태가 된다.

그리고, 판정부 (20) 는, 판정 대상인 디지털 데이터를 푸리에 변환시킨 대상 진동 패턴과 비교하는 설정 범위 (주파수마다의 스펙트럼 강도의 상한값 및 하한값으로 이루어진다) 를 자신 내부의 기억부에 기억시키고 있다.

또, 판정부 (20) 는, 검출부 (7) 의 일시 기억 회로에 일단 기억되어 있는 진동의 디지털 데이터를 판독하고, 이 판독된 디지털 데이터의 푸리에 변환을 실시하여, 주파수와 이 주파수마다의 스펙트럼 강도로 이루어지는 대상 진동 패턴을 생성한다.

그리고, 판정부 (20) 는, 상기 대상 진동 패턴이 설정 범위에 포함되는지 여부를 비교하여 일치하거나 혹은 유사한 경우에, 각 부를 정지 상태로 하기 위해 제어부 (6) 에 대해 종료 신호를 출력한다 (도 15 의 시간 영역 A).

한편, 판정부 (20) 는, 상기 대상 진동 패턴이 설정 범위에 포함되는지 여부를 비교하여 일치 혹은 유사하지 않은 경우에, 이 비교 진동 패턴에 대응하는 디지털 데이터를 기록부 (8) 에 기록시키기 위해, 검출부 (7) 의 일시 기억 회로에 일단 기억되어 있는 진동의 디지털 데이터를 기록부 (8) 에 대해 출력시키는 기록 신호를 출력하여, 기록부 (8) 를 기동시켜 기록 처리 (기록) 를 실시한다 (도 15 의 시간 영역 B).

다음으로, 상기 판정부 (20) 를 추가한 가속도 센서 장치의 동작을 도 14 및 도 16 을 사용하여 설명한다. 도 16 은 판정부 (20) 를 추가한 가속도 센서 장치의 동작예를 나타내는 플로우차트이다.

자연히 인가되는 진동 (도 5 에 있어서의 정상 상태 진동의 범위) 에 있어서도, 발전에 충분한 전압이 가속도 센서 (1) 로부터 출력되고 있다.

도 5 에 나타내는 정상 상태 진동의 시간 범위에 있어서, 리밋 회로 (9) 로부터 출력되는 분압 전압 (Vs) 이, 정상 상태 진동의 경우에 미리 설정된 설정 전압 (Vt) (임계값) 을 초과하지 않기 때문에, 콤퍼레이터 (5) 는, 도 12 에 나타내는 바와 같이 이상 신호를, 정상 상태 진동이고 이상이 아닌 것을 나타내는 「L」레벨을 출력하고 있다 (단계 S1).

따라서, 제어부 (6) 는 자신을 기동시키지 않기 때문에, 검출부 (7) 및 기록부 (8) 도 정지 상태가 유지되어, 전력 소비가 억제된 상태로 되어 있다.

그리고, 콤퍼레이터 (5) 는, 도 12 에 나타내는 바와 같이 이상 신호를, 이상 진동으로서 정상 상태 진동에 비해 큰 가속도가 인가되고 있는지 여부를 판정한다 (단계 S2).

다음으로, 도 5 에 나타내는 이상 진동 상태의 범위가 되면, 리밋 회로 (9) 로부터 출력되는 분압 전압 (Vs) 이, 미리 설정된 설정 전압 (Vt) 을 초과한다. 이 때문에, 콤퍼레이터 (5) 는, 도 12 에 나타내는 바와 같이 이상 신호를, 이상 진동으로서 정상 상태 진동에 비해 큰 가속도가 인가되고 있음을 나타내는 「H」레벨로서 출력하고, 처리를 단계 S3 으로 진행한다.

이상 신호가 「H」레벨이 됨으로써, 제어부 (6) 는 자신을 기동시켜, 기동 제어하는 신호를 출력하여 검출부 (7) 및 판정부 (20) 를 기동시킨다 (단계 S3, 단계 S14).

그리고, 검출부 (7) 는, 기동 상태가 되면 가속도 센서 (1) 로부터 입력된 교류 전압의 분압 (va) 을 A/D 변환시켜, 판정부 (20) 에 대해 판정 의뢰 신호를 출력함과 함께 A/D 변환된 디지털 데이터를 출력한다.

검출부 (7) 로부터 판정 의뢰 신호가 입력되면, 판정부 (20) 는, 입력된 디지털 데이터를 일단 내부의 일시 기억부에 기억시키고, 미리 설정되어 있는 시간폭 단위로 판독하여, 이 시간폭의 디지털 데이터가 나타내는 파형을 푸리에 변환하고, 주파수와 그 주파수의 스펙트럼 강도의 대응을 나타내는 대상 진동 패턴을 생성하여, 자신 내부의 기억부에 기억시킨다. 이 시간폭은, 기록부 (8) 에 기억시키는 대상의 진동의 주기의 n 배, 충분히 주파수와 주파수의 스펙트럼 강도를 취득할 수 있는 시간 길이로서 설정되어 있다.

그리고, 판정부 (20) 는, 내부에 미리 기억되어 있는 설정 범위, 생성된 대상 진동 패턴을 비교하여 (단계 S15), 일치 혹은 유사한 경우, 디지털 데이터를 취득할 필요가 없기 때문에, 제어부 (6) 에 대해 종료 신호를 출력한다.

이로써, 제어부 (6) 는, 정지 상태로 이행하는 제어 신호를 검출부 (7) 에 대해 출력하여 검출부 (7) 를 정지 상태로 한다 (단계 S18).

또, 제어부 (6) 는, 정지 상태로 이행하는 제어 신호를 판정부 (20) 에 대해 출력하여, 판정부 (20) 를 정지 상태로 한다 (단계 S19).

또, 제어부 (6) 는, 정지 상태로 이행하는 제어 신호를 기록부 (8) 에 대해 출력하여, 기록부 (8) 를 정지 상태로 하고 (단계 S20), 처리를 단계 S1 로 진행하여 자신도 휴지 상태로 하여, 전력 소비가 억제된 상태로 한다.

한편, 판정부 (20) 는 일치하지도 유사하지도 않은 경우, 디지털 데이터를 기억할 필요가 있기 때문에, 내부에 일시 기억하고 있는 대상 진동 패턴의 시각 범위를 포함하는 제어 신호를, 검출 내부에 기억하고 있는 시각 범위와 함께 기록부 (8) 에 출력하는 제어 신호를 출력한다.

이로써, 검출부 (7) 는, 기록부 (8) 에 대해 기록 신호를 출력하여, 기록부 (8) 를 온 상태로 하고 (단계 S16), 상기 시각 범위에 대응하는 범위의 디지털 데이터를 기록부 (8) 에 대해 출력한다.

기록 신호가 입력됨으로써, 기록부 (8) 는, 입력되는 시각 범위의 디지털 데이터를 내부의 기억부에 기억시키고 (단계 S17), 디지털 데이터의 기억이 종료되면, 처리를 단계 S15 로 진행한다.

이로써, 판정부 (20) 는, 검출부 (7) 에 출력한 시각 범위에 대해, 다음의 시간폭의 시각 범위의 디지털 데이터를 검출부 (8) 로부터 판독하고, 푸리에 변환하여 대상 진동 패턴을 생성하여 설정 범위에 포함되는지 여부에 따라 일치 또는 유사한지를 판정한다 (단계 S15).

상기 서술한 처리에 의해, 대량의 외란 진동 패턴에 대응하는 디지털 데이터를 기억부 (8) 에 기록하지 않고 필요한 진동 패턴만을 기록하기 때문에, 기록부 (8) 의 기억 용량을 유효하게 사용할 수 있으며, 또한 외란 진동 패턴을 기록하는 시간을 저감시킴으로써 소비 전류를 저감시킬 수 있다.

또, 가속도 센서 (1) 를 검출 대상에 설치했을 때, 정상적으로 동작하고 있는 일정한 기간 (예를 들어, 1 주간부터 1 개월의 동안), 판정부 (20) 는 정상 상태에서의 진동 및 외란에 의한 진동에서 기인하는 참조 진동 패턴의 취득 처리를 실시하여 (트레이닝 기간), 기억부에 디지털 데이터로서 기억시키도록 판정부 (20) 를 구성해도 된다.

그리고, 판정부 (20) 는, 일정한 기간 후에 기억부에 기억된 복수의 진동에 의한 디지털 데이터를 푸리에 변환하여, 얻어진 주파수와 주파수의 스펙트럼 강도를 구한다. 스펙트럼 강도를 구한 후, 판정부 (20) 는, 얻어진 상기 스펙트럼 강도에 대해, 각 주파수마다의 스펙트럼 강도의 평균값, 편차, 최대값 및 최소값 등의 산출 처리, 혹은 초기에 설정되어 있었던 상한값 및 하한값으로 이루어지는 설정 범위를 비교한다. 이로써, 양호한 정밀도로 정상 상태에서의 진동 및 설치 장소에 특유한 이상이 아닌 진동의 주파수의 스펙트럼 강도를 얻을 수 있다. 즉, 판정부 (20) 는, 새롭게 얻어진 상한값 및 하한값에 의한 설정 범위가 초기 상태와 상이한 경우, 새롭게 얻어진 상한값 및 하한값에 편차를 고려하여 초기 설정 범위를 보정하여 새로운 설정 범위로서 내부에 설정한다.

또한, 환경이 변화된 경우 등 새로 트레이닝 기간을 형성하고, 판정부 (20) 는, 설정된 트레이닝 기간의 주기를 검출 (내부의 타이머) 하면, 정상 상태에서의 진동 및 외란에 의한 진동에서 기인하는 참조 진동 패턴을 추출하여, 상기 서술한 처리에 의해 각 주파수마다의 스펙트럼 강도의 상한값 및 하한값으로 이루어지는 설정 범위를 설정하고, 내부의 기억부에 대해 기억시켜 설정하도록 구성되어도 된다.

또, 상기 서술한 구성에서는, 콤퍼레이터 (5) 의 이상 신호가 「H」레벨인 동안에, 변환된 디지털 데이터를 검출부 (8) 에 일단 기억시키는 구성으로 했지만, 이하에 나타내는 바와 같이 입력되는 디지털 데이터를 시간폭의 시각 범위에서 순차적으로 샘플링하여, 이 샘플링한 시각 범위의 디지털 데이터마다 기록할지 여부를 판정하는 구성으로 해도 된다.

따라서, 판정부 (20) 는, 상기 샘플링한 시각 범위의 대상 진동 패턴과, 설정 범위를 비교함으로써, 이 시각 범위의 디지털 데이터를 기록부 (8) 에 기억시킬지 여부를 판정한다.

이 비교 처리 및 비교 처리 후에 있어서의 동작은, 상기 서술한 도 16 에서 설명한 단계 S15 이후에 있어서의 각 단계의 처리와 동일하다. 이 경우, 판정하고 있는 동안의 디지털 데이터는 기억되지 않게 되지만, 이상 진동이 「H」레벨이 된 후, 상기 시간폭에서만 판정하기 때문에, 검출부 (7), 기록부 (8) 및 판정부 (20) 에서 소비되는 전력을 더욱 저감시킬 수 있다.

상기 서술한 판정부 (20) 의 부가는, 제 2 실시형태에 대해서도 제 1 실시형태와 마찬가지로 실시할 수 있다.

<제 1 및 제 2 실시형태에 있어서의 다른 형태>

상기 서술한 바와 같이, 본 발명의 가속도 센서는, 진동에 의한 발전과, 이상 진동의 센싱이라는 2 가지 기능을 가지고 있다.

그러나, 이 2 가지 기능의 최적화를 반드시 양립시킬 수 있는 것은 아니다. 예를 들어, 평상시의 정상 상태 진동 (이상 진동으로서 검출하는 강도 이하의 진동) 에 의해 발전을 실시하고, 발전된 전기 에너지에 의해 배터리를 충전시키면서 진동 (가속도) 의 변화를 검지하여 이상시의 진동을 검출하면, 그 이상 진동의 가속도를 기록하는 경우이다.

정상 상태 진동과 이상 진동은 상이한 진폭이나 스펙트럼을 가지고 있으며, 이상 진동에 있어서의 가속도 계측ㆍ기록 정밀도를 높이기 위해 일렉트렛의 진동 기구를 최적화할 필요가 있다. 그러나, 진동에 의해 발생되는 교류 전압의 전압값이 작아져, 정상 상태 진동에 있어서의 발전 효율이 저하되는 경우를 생각해 볼 수 있다.

상기 서술한 바와 같은 경우, 발전 및 이상 진동의 검출과, 이상 진동의 검출 후의 이상 진동에 있어서의 가속도의 검출을 2 가지 과정으로 나누어, 이 2 가지 과정으로 나누는 기술 사상에 관해서는 제 1 및 제 2 실시형태에서 공통된 개념이며, 각각의 과정에 최적의 가속도 센서를 할당하는 구성으로 한다.

제 1 과정은, 가속도 센서 (1) 가 발전을 실시하면서 이상 진동을 검지할 뿐인 프로세스로서, 가속도 센서 (1) 에 있어서의 일렉트렛 (11) 과 도체 (13) 의 상대 운동을 발전 효율을 중시한 기구로 조정 (튜닝) 할 수 있다.

제 2 과정은, 이상 진동이 검지된 후, 이상 진동에 있어서의 진동의 가속도 계측을 실시하여 계측 결과를 기록하는 프로세스로서, 이하에 서술하는 이유 때문에 발전 기능은 필요하지 않다. 이 때문에, 가속도 센서로는 측정 대상이 되는 검출 범위의 가속도를 측정하기 위해, 측정 대상으로 하는 이상 진동의 가속도와, 이 가속도에 대응한 출력 전압이 설정되어, 발전 전압을 주로 하는 것이 아니라 가속도의 측정 정밀도를 중시한 최적화가 이루어져 있으면 좋다.

즉, 발전에 대응하여 큰 교류 전압을, 고(高)임피던스의 저항에 의해 분압하여 정밀도를 나쁘게 하는 것이 아니라, 분압하지 않아도 직접 측정할 수 있는 전압값을 가속도에 대응하여 발생하는 가속도 센서를 사용한다. 그 결과, 제 2 과정에 있어서의 가속도 센서에 의해 노이즈가 중첩되거나 하는 등의 오차를 억제하여, 고정밀도로 이상 진동에 있어서의 가속도를 측정할 수 있다.

즉, 발전 기능 및 이상 진동의 검지를 실시하는 가속도 센서 외에 이상 진동에 있어서의 가속도를 정확하게 측정하는 가속도 센서를 형성하는 경우, 정상 상태 진동에 있는 기간과 비교하여 이상 진동인 기간은 매우 짧기 때문에, 이 이상 상태에 있어서의 발전을 실시할 필요가 없다. 따라서, 이 이상 진동의 가속도를 측정하는 가속도 센서가 발전 기능을 가지고 있지 않아도, 이상 진동에만 이 가속도 센서를 동작시킴으로써 배터리의 소모를 매우 작게 할 수 있다.

여기에서, 이상 진동이 검출된 후의 제 2 과정에 있어서, 실제로 이상 진동의 가속도를 측정하는 가속도 센서는, 가속도와 이 가속도에 대응한 전압으로 설정된 일렉트렛을 사용한 가속도 센서에 의해 구성되어 있어도 된다. 또, 가속도 센서는, 반도체 변형 게이지형, 서보형, 압전체형 등 일렉트렛 이외의 것으로 구성되는, 일반적으로 사용되고 있는 가속도 센서여도 된다.

즉, 본 발명의 가속도 센서 장치에 있어서, 발전 및 이상 진동의 검지를 실시하는 가속도 센서 (1) 외에, 이상 진동에 있어서의 가속도를 측정하는 가속도 센서를 사용한 경우, 제어부 (6) 는, 제 1 과정의 동작 중에는, 제 2 과정에서 사용하는 가속도 센서 (검출부 (7) 에 형성된다) 를 배터리로부터 차단시키고, 가속도 센서 (1) 가 소정의 임계값을 초과하여 이상 진동을 검지하여 이상 신호를 출력함으로써 제 2 과정을 기동시킨다.

이 제 2 과정에 있어서, 검출부 (7) 에 형성된 상기 다른 가속도 센서에 의해 가속도의 고정밀도의 계측과 기록을 실시한다.

그리고, 제어부 (6) 는, 소정의 임계값 이하의 정상 상태 진동의 가속도로 되돌아오거나 (가속도 센서 (1) 로부터의 검지 정보에 의한다), 혹은 소정의 시간이 경과된 것을 검지하면, 다른 가속도 센서에 의한 가속도를 계측하는 전원을 차단함으로써 정지시켜 자신도 휴지 상태로 천이된다.

상기 서술한 바와 같이, 본 발명에 있어서의 제 1 및 제 2 실시형태에 있어서의 가속도 센서 장치는, 이상 신호를 계측하는 다른 가속도 센서를 형성하는 경우를 포함하여 비교적 회로 규모가 크고, 소비 전류도 큰, 제어부 (6), 가속도 센서의 가속도 계측을 실시하는 검출부 (7) 및 계측 결과의 기록을 실시하는 기록부 (8) 등의 회로 블록의 동작 시간을 최대한 제한하면서 가속도 계측ㆍ기록 기능의 성능을 유지할 수 있다는 점에 있다.

<본 발명의 제 1 및 제 2 실시형태의 가속도 센서 (1) 의 배치예>

다음으로, 도 17 은, 예를 들어 제 1 및 제 2 실시형태에 의한 가속도 센서 (1a 및 1b) 의 배치예를 나타내고 있다. 가속도 센서 (1a 및 1b) 각각은, 각각 방향 a 및 방향 a 와 직교하는 방향 b 각각의 진동 방향에 대응하도록 배치되어 있다. 즉, 가속도 센서 (1a) 는, 일렉트렛 (11) 에 대해 도체 (13) 가 상대 이동하는 방향이 방향 a 와 평행한 축 상이다. 또, 가속도 센서 (1b) 는, 일렉트렛 (11) 에 대해 도체 (13) 가 상대 이동하는 방향이 방향 b 와 평행한 축 상이다. 상기 상대 이동은 대향하여 배치되어 있는 일렉트렛 (11) 과 도체 (13) 의 면이 평행한 상태에서 상대적으로 운동, 즉 평행 이동을 실시하는 것을 의미하고 있다.

상기 서술한 바와 같이, 직교하는 2 가지의 방향 a (x 축 방향), 방향 b (y 축 방향) 에 배치함으로써 2 방향의 가속도를 검지할 수 있다.

또, 상기 서술한 가속도 센서 (1a 및 1b) 는, 일렉트렛 (11) 이 2 개의 도체 (12 및 13) 사이에 배치되고, 일렉트렛 (11) 이 도체 (12) 에 고정되어 있다. 이 일렉트렛 (11) 이 대향하는 도체 (13) 에 대해 상대적으로 평행 이동하는 구성을 설명했는데, 반대로 일렉트렛 (11) 이 도체 (13) 에 고정되고, 대향하는 도체 (12) 에 대해 상대적으로 평행 이동하는 구성으로 해도 된다. 여기에서, 일렉트렛 (11) 이 대향하는 일방의 도체에 대해 상대적으로 평행 이동할 수 있도록 배치되어 있으면, 가속도 센서는 세로로 배치되어도 되고, 가로로 배치되어도 된다 (여기에서, 세로 및 가로라는 것은, 일렉트렛 (11) 과 도체 (13) 가 상대적으로 평행 이동하는 방향이, 측정 대상인 진동의 가속도 방향과 평행이면, 이 방향과 평행한 평면 상이라면 어떻게 배치해도 된다는 것을 나타내고 있다).

또, 도 18 에 나타내는 바와 같이, 예를 들어 제 1 및 제 2 실시형태에 의한 가속도 센서 (1c 및 1d) 의 배치예를 나타내고 있다. 가속도 센서 (1c 및 1d) 각각은, 각각 방향 c 및 방향 c 와 직교하는 방향 d 각각의 진동 방향에 대응하도록 배치되어 있다. 즉, 가속도 센서 (1c) 는, 일렉트렛 (11) 에 대해 도체 (13) 가 상대 이동하는 방향이 방향 c 와 평행한 축 상이다. 또, 가속도 센서 (1d) 는, 일렉트렛 (11) 에 대해 도체 (13) 가 상대 이동하는 방향이 방향 d 와 평행한 축 상이다.

상기 서술한 바와 같이, 직교하는 2 가지의 방향 c (x 축 방향), 방향 d (z 축 방향) 에 배치함으로써, 2 방향의 가속도를 검지할 수 있다.

또, 상기 서술한 가속도 센서 (1c 및 1d) 는, 일렉트렛 (11) 이 2 개의 도체 (12 및 13) 사이에 배치되고, 일렉트렛 (11) 이 도체 (12) 에 고정되어 있다. 대향하는 도체 (13) 에 대해 상대적으로 평행 이동하는 구성을 설명하였다. 그러나, 다른 구성으로서, 반대로 일렉트렛 (11) 이 도체 (13) 에 고정되고, 대향하는 도체 (12) 에 대해 상대적으로 평행 이동하는 구성으로 해도 된다. 여기에서, 일렉트렛 (11) 이 대향하는 일방의 도체에 대해 상대적으로 평행 이동할 수 있도록 배치되어 있으면, 가속도 센서는 세로로 배치되어도 되고, 가로로 배치되어도 된다.

또, 도 19 에 나타내는 바와 같이, 예를 들어 제 1 및 제 2 실시형태에 의한 가속도 센서 (1g, 1f 및 1e) 의 배치예를 나타내고 있다. 가속도 센서 (1g, 1f 및 1e) 각각은, 각각 방향 g 와, 이 방향 g 에 대해 직교하는 방향 f 와, 방향 g 및 방향 f 가 이루는 평면과 직교하는 방향 e 의 각각의 진동 방향에 대응하도록 배치되어 있다. 즉, 가속도 센서 (1g) 는, 일렉트렛 (11) 에 대해 도체 (13) 가 상대 이동하는 방향이 방향 g 와 평행한 축 상이다. 또, 가속도 센서 (1f) 는, 일렉트렛 (11) 에 대해 도체 (13) 가 상대 이동하는 방향이 방향 f 와 평행한 축 상이다. 또, 가속도 센서 (1e) 는, 일렉트렛 (11) 에 대해 도체 (13) 가 상대 이동하는 방향이 방향 e 와 평행한 축 상이다.

상기 서술한 바와 같이, 직교하는 3 가지의 방향 g (x 축 방향), 방향 f (y 축 방향), 방향 e (z 축 방향) 으로 배치함으로써, 3 방향의 가속도를 검지할 수 있다.

또, 상기 서술한 가속도 센서 (1g, 1f 및 1e) 는, 일렉트렛 (11) 이 2 개의 도체 (12 및 13) 사이에 배치되고, 일렉트렛 (11) 이 도체 (12) 에 고정되어, 대향하는 도체 (13) 에 대해 상대적으로 평행 이동하는 구성을 설명하였다. 그러나, 반대로 일렉트렛 (11) 이 도체 (13) 에 고정되고, 대향하는 도체 (12) 에 대해 상대적으로 평행 이동하는 구성으로 해도 된다.

예를 들어, 직교하는 남북ㆍ동서ㆍ상하의 각 방향에 일정하게 설치함으로써, 지면의 3 차원적인 움직임을 파악할 수 있어 지진계로서 사용할 수 있다. 지진의 흔들림은 진폭이 ㎛ 레벨인 것에서부터 장주기 대진폭에 의한 것까지 여러 가지이다. 즉, 미소 지진과 같이 진폭이 수 ㎚ 이고 진동수가 수십 ㎐ 인 것에서부터 대지진과 같이 진폭이 수 m, 주기가 수십 초인 것까지 있어, 일렉트렛과 대향하는 도체를 상대적으로 평행 이동시키는 기구를 변경함으로써 여러 가지 진동수에 대응할 수 있다. 여기에서, 일렉트렛 (11) 이 대향하는 일방의 도체에 대해 상대적으로 평행 이동할 수 있도록 배치되어 있으면, 가속도 센서는 세로로 배치되어도 되고, 가로로 배치되어도 된다.

또, 도 17, 도 18 및 도 19 에 있어서의 가속도 센서 각각이 가속도 센서 장치를 구성하고 있다. 즉, 가속도 센서 (1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f, 1g) 각각에 대해, 도 1 또는 도 9 의 가속도 센서 장치가 구성되어 있다.

<본 발명의 제 1 및 제 2 실시형태에 사용하는 일렉트렛의 설명>

다음으로, 가속도 센서 (1) 에 사용되는 일렉트렛에 대하여 설명한다.

본 실시형태에서 일렉트렛 (11) 을 형성하는 재료로는 여러 가지 수지를 들 수 있다.

수지의 구체예로는, 불소계 폴리머, 시클로올레핀 폴리머, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀류, 에틸렌ㆍ아세트산비닐 공중합체, 에틸렌ㆍ(메트)아크릴산 공중합체, 에틸렌ㆍ이타콘산 공중합체, 에틸렌ㆍ무수말레산 공중합체, 에틸렌ㆍ비닐알코올 공중합체와 같은 에틸렌 공중합체류, 폴리아크릴로니트릴, 폴리에스테르, 폴리아미드, 폴리카보네이트, 폴리스티렌, 아크릴-스티렌 공중합체 (AS) 계 수지, 아크릴-부타디엔-스티렌 공중합체 (ABS) 계 수지, 폴리우레탄 수지, 폴리염화비닐, 폴리페닐렌옥사이드, 폴리아세탈, 폴리술폰, 폴리케톤, 폴리이미드, 셀룰로오스에스테르 등을 들 수 있다.

상기 불포화 카르복실산과의 공중합체를 사용한 경우에는, 알칼리 토금속 이온에 의해 중화된 것을 사용해도 된다. 알칼리 토금속 이온으로는 마그네슘, 칼슘 등이 바람직하다.

시클로올레핀 폴리머로는, 주사슬에 지방족 고리 구조를 갖는 반복 단위를 함유하는 시클로올레핀으로서, 노르보르넨류와 올레핀의 부가 공중합체, 노르보르넨류의 개환 메타세시스 중합체의 수소 첨가 폴리머, 알킬리덴노르보르넨의 트랜스애뉼러 중합체, 노르보르넨류의 부가 중합체, 시클로펜타디엔의 1,2- 및 1,4-부가 중합체의 수소 첨가 폴리머, 시클로헥사디엔의 1,2- 및 1,4-부가 중합체의 수소 첨가 폴리머, 공액 디엔의 고리화 중합체 등을 들 수 있다.

불소계 폴리머로는, 폴리테트라플루오로에틸렌 (PTFE), 변성 폴리테트라플루오로에틸렌 (변성 PTFE), 폴리비닐리덴플루오라이드 (PVDF), 비닐리덴플루오라이드-트리플루오로에틸렌 공중합체 (VDF-TrFE), 비닐리덴플루오라이드-테트라플루오로에틸렌 공중합체, 테트라플루오로에틸렌 공중합체-헥사플루오로프로필렌 공중합체 (FEP), 테트라플루오로에틸렌-에틸렌 공중합체 (ETFE), 폴리테트라플루오로에틸렌-프로필렌 공중합체, 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로(알킬비닐에테르) 공중합체 (PFA), 폴리클로로트리플루오로에틸렌 (PCTFE), 트리플루오로비닐아세테이트 단독 중합체, 트리플루오로비닐아세테이트-에틸렌성 불포화 화합물 공중합체 등을 들 수 있고, 이들을 단독으로 사용해도 되고, 2 종 이상을 조합해서 사용해도 된다.

불소계 폴리머로는 함불소 지방족 고리 구조를 갖는 중합체가 바람직하다. 함불소 지방족 고리 구조를 갖는 중합체로는, 2 개 이상의 중합성 2 중 결합을 갖는 함불소 모노머를 고리화 중합하여 얻어지는, 주사슬에 함불소 지방족 고리 구조를 갖는 중합체가 보다 바람직하다.

주사슬에 함불소 지방족 고리 구조를 갖는다는 것은, 지방족 고리를 구성하는 탄소 원자의 1 개 이상이 주사슬을 구성하는 탄소 연쇄 중의 탄소 원자이며, 또한 지방족 고리를 구성하는 탄소 원자의 적어도 일부에 불소 원자 또는 불소 원자 함유기가 결합되어 있는 구조를 가지고 있는 것을 의미한다. 또한, 함불소 지방족 고리 구조에는 에테르성 산소 원자가 1 개 이상 포함되어 있어도 된다.

함불소 지방족 고리 구조를 갖는 중합체의 구체예로는, 퍼플루오로(2,2-디메틸-1,3-디옥솔), 퍼플루오로(1,3-디옥솔), 퍼플루오로(4-메톡시-1,3-디옥솔) 등의 퍼플루오로(1,3-디옥솔)류, 퍼플루오로(2-메틸렌-4-메틸-1,3-디옥소란), 퍼플루오로(2-메틸렌-4-프로필-1,3-디옥소란) 등의 퍼플루오로(2-메틸렌-1,3-디옥소란)류 등의 함불소 지방족 고리 구조를 갖는 모노머의 단독 중합체, 및 함불소 지방족 고리 구조를 갖는 모노머와 그 밖의 함불소 모노머의 공중합체를 들 수 있다. 여기에서, 그 밖의 함불소 모노머로는, 테트라플루오로에틸렌, 클로로트리플루오로에틸렌, 헥사플루오로프로필렌, 불화비닐리덴 등의 플루오로올레핀류, 퍼플루오로(메틸비닐에테르) 등의 퍼플루오로(알킬비닐에테르)류 등을 들 수 있다.

2 개 이상의 중합성 2 중 결합을 갖는 함불소 모노머를 고리화 중합하여 얻어지는, 주사슬에 함불소 지방족 고리 구조를 갖는 중합체로는, 일본 공개특허공보 소63-238111호나 일본 공개특허공보 소63-238115호 등에 의해 알려져 있다. 즉, 퍼플루오로(알릴비닐에테르)나 퍼플루오로(부테닐비닐에테르) 등의 2 개 이상의 중합성 2 중 결합을 갖는 함불소 모노머의 고리화 중합체, 또는 2 개 이상의 중합성 2 중 결합을 갖는 함불소 모노머와 테트라플루오로에틸렌 등의 라디칼 중합성 모노머의 공중합체를 들 수 있다. 또는, 퍼플루오로(2,2-디메틸-1,3-디옥솔) 등의 함불소 지방족 고리 구조를 갖는 모노머와 퍼플루오로(알릴비닐에테르)나 퍼플루오로(부테닐비닐에테르) 등의 2 개 이상의 중합성 2 중 결합을 갖는 함불소 모노머를 공중합하여 얻어지는 중합체여도 된다.

함불소 지방족 고리 구조를 갖는 폴리머는, 주사슬에 함불소 지방족 고리 구조를 갖는 중합체가 바람직하지만, 중합체를 형성하는 모노머 단위 중에 함불소 지방족 고리 구조를 갖는 모노머 단위를 20 몰％ 단위 이상 함유하는 것이 기계적 특성 등의 면에서 바람직하다.

상기 주사슬에 함불소 지방족 고리 구조를 갖는 중합체로는 사이톱 (등록 상표, 아사히 가라스사 제조) 이 바람직하며, 본 발명에서는 이와 같은 공지된 함불소 중합체를 사용할 수 있다.

상기 폴리머에는 적절한 대전 조절제, 또는 적절한 대전 조절제의 혼합물을 함유시킬 수 있다. 대전 조절제로는 트리페닐메탄 및 그 유도체, 암모늄 화합물, 고분자 암모늄 화합물, 임모늄 화합물, 아릴설파이드 화합물, 크롬아조 착물, 디알릴암모늄 화합물 등을 들 수 있다.

상기 서술한 바와 같은 함불소 지방족 고리 구조를 갖는 중합체를 사용하여, 스핀 코트 등의 방법에 의해 일렉트렛 (11) 을 형성하면, 일렉트렛 (11) 의 두께를 10 ㎛ 이상으로 할 수 있다.

또, 본 실시형태에 관련된 정전 유도형 변환 소자를 발전기로서 사용하는 경우, 최대 발전 출력 (Pmax) 은, 이하의 식으로 나타낸다.

Pmax = [σ2ㆍnㆍAㆍ2πf]/[(εε0/d)ㆍ((εg/d) + 1)]

여기에서, σ 는 일렉트렛 (11) 의 표면 전하 밀도, n 은 극수 (極數), 즉 일렉트렛 (11) 의 수, A 는 전극판 (13) 의 면적, f 는 도체 (12) 의 왕복 운동의 진동수, d 는 일렉트렛 (11) 의 두께, g 는 일렉트렛 (11) 과 전극판 (13) 의 거리, ε 은 비유전률이다.

상기 식으로부터 알 수 있는 바와 같이, 일렉트렛 (11) 의 두께 (d) 가 클수록 발전 출력도 커진다. 종래부터 일렉트렛에 사용되었던 재료에서는, 1 ㎜ 이하의 세편 (細片) 형상으로 가공할 수 있는 것인 경우, 일렉트렛 (11) 의 두께 (d) 는 수 ∼ 10 ㎛ 정도로밖에 할 수 없었지만, 상기 함불소 지방족 고리 구조를 갖는 중합체를 사용하는 경우에는, 상기 서술한 바와 같이 일렉트렛의 두께 (d) 를 10 ㎛ 이상으로 할 수 있어, 일렉트렛 (11) 의 재료로서 바람직하다.

또, 상기 함불소 지방족 고리 구조를 갖는 중합체인 사이톱 (등록 상표) 의 절연 파괴 강도는 11 kV/0.1 ㎜ 로, 종래 사용되었던 재료인 테플론 (등록 상표) AF 의 절연 파괴 강도 5 kV/0.1 ㎜ 보다 높아져 있다. 절연 파괴 강도를 높게 할 수 있으면, 일렉트렛 (11) 에 대한 전하 주입량을 증가시킬 수 있어, 일렉트렛 (11) 을 센서에 사용한 경우의 센서의 감도를 향상시킬 수 있다.

이와 같이 일렉트렛 (11) 의 높은 발전 능력은, 가속도 센서의 감도 향상에 유효하지만, 그와 동시에 가속도 센서의 주변 회로의 보조 전원으로서도 활용할 수 있다. 일렉트렛 (11) 과 전극판 (13) 의 상대적인 운동에 의해 유도 전하가 변화되어, 매우 높은 교류 전압을 발생시킨다. 이 교류 전압은 그 크기가 일렉트렛 (11) 에 가해진 가속도에 의존하기 때문에, 이 일부를 저항 (R1 및 R2) (브리더 저항) 에 의해 분압하여 취출하여, 검출부 (7) 에 출력하는 센서 신호로 한다.

한편, 변환 회로 (4) 의 입력 임피던스를 높게 하기 위해, 저항 (R1 및 R2) 의 저항값을 크게 하고, 또한 오퍼레이션 앰프 (OP1) 로 이루어지는 볼티지 팔로어의 입력 임피던스를 크게 함으로써, 일렉트렛 (11) 으로 구성되는 가속도 센서 (1) 가 발전시킨 전력은 거의 소비되지 않는다.

그래서, 가속도 센서 (1) 가 발전시키는 교류 전압을 정류부 (2) 를 통하여 배터리 (2 차 전지) 의 충전에 사용할 수 있다. 여기에서, 배터리란 리튬 이온 2 차 전지, 니켈 수소 전지 등의 화학적 2 차 전지여도 되고, 전기 2 중층 콘덴서 등의 전원용 캐패시터여도 된다. 또한, 화학적 2 차 전지와 전원용 캐패시터를 병용해도 된다.

<본 발명의 제 1 및 제 2 실시형태에 의한 가속도 센서 장치의 응용>

제 1 및 제 2 실시형태에 있어서의 가속도 센서 장치를 설치하는 장소나 어플리케이션에 따라서는 항상 기계적 진동이 센서에 가해지는 경우가 있다. 예를 들어, 모터의 이상 검출 등에 사용하는 것을 생각해 볼 수 있다. 통상적으로 가동시키고 있는 경우의 모터의 진동 (정상 상태 진동) 에 의해 발전이 이루어지고, 이 발전에 의해 얻어진 전기 에너지를 사용하여 배터리를 충전시키고, 한편 축이 변형되거나 부하 변동이 생긴 경우에 모터가 이상 진동을 발생시킨 경우에 검지하도록 사용할 수도 있다.

여기에서, 가속도 센서 장치의 각 회로의 소비 전력을 일렉트렛을 사용한 가속도 센서 (1) 에 의한 발전 전력보다 낮게 억제할 수 있으면, 배터리를 형성할 필요가 없어져 장치의 소형화 및 저가격화를 실현시킬 수 있다.

또, 일렉트렛을 사용한 가속도 센서 (1) 에 의해, 가속도 센서 장치에 있어서의 각 회로의 소비 전력을 상회할 정도의 발전 전력을 기대할 수 없는 경우에 있어서도, 배터리를 충전시키기 위한 보조 전원으로서의 기능을 이용하여, 종래의 배터리로부터 전원 공급되어 동작하는 센서 장치와 비교하여 배터리의 장수명화에 효과가 있다.

예를 들어, 도 20 에 나타내는 바와 같이, 가속도 센서 장치에 대해, 무선에 의한 데이터의 송수신을 실시하는 무선 송수신기를 형성하여 센서 노드로 하고, 중계 노드를 통하여 복수의 센서망을 형성하고, 게이트웨이를 통하여 인터넷 상에 있는 서버에 대해 이상 진동의 데이터를 송신하는 와이어리스 센서 네트워크 시스템이 있다. 여기에서, 서버는 각 센서 노드로부터 수신하는 이상 진동의 발생 시각 및 이상 진동의 크기를 각 센서 노드의 배치 위치 (혹은 센서의 식별 번호) 에 대응시켜 데이터베이스에 기록하여, 광역의 지진 검출, 혹은 복수의 대상물 (예를 들어, 상기 서술한 모터 등) 의 상태를 검지한다.

상기 서술한 와이어리스 센서 네트워크에 대한, 제 1 및 제 2 실시형태에 의한 가속도 센서 장치의 응용을 생각해 보면, 무선에 의한 송수신이나 장치 내의 각 회로의 규모 증대로 인하여 진동을 계측하고 있는 동안에 피크가 되는 소비 전력은 상당히 커지는 것을 예상할 수 있다.

그러나, 가속도 센서에 의한 발전을 보조 전원 기능으로서 활용함으로써 배터리의 수명을 연장시키는 것을 기대할 수 있다.

여기에서, 통신의 프로토콜이나 마이크로컴퓨터의 제어 프로그램, 센싱이나 통신의 빈도, 타이밍 등의 모든 시스템 동작 조건이, 이 보조 전원 기능을 활용하여 전지 수명을 연장시키기 위해 최적화가 이루어진다는 것은 말할 필요도 없다.

또한, 도 1, 도 9 의 가속도 센서 장치에 있어서의 제어부 (6) 및 기록부 (8) (데이터를 기록하는 메모리를 제외한 기능) 와, 도 14 의 제어부 (6), 기록부 (8) (데이터를 기록하는 메모리를 제외한 기능) 및 판정부 (20) 의 기능을 실현시키기 위한 프로그램을 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 기록하고, 이 기록 매체에 기록된 프로그램을 컴퓨터 시스템에 판독시켜 실행함으로써 가속도 센서의 동작 제어 처리를 실시해도 된다. 또한, 여기에서 말하는 「컴퓨터 시스템」이란, OS 나 주변 기기 등의 하드웨어를 포함하는 것으로 한다. 또, 「컴퓨터 시스템」은, 홈 페이지 제공 환경 (혹은 표시 환경) 을 구비한 WWW 시스템도 포함하는 것으로 한다. 또, 「컴퓨터 판독 가능한 기록 매체」란, 플렉시블 디스크, 광자기 디스크, ROM, CD-ROM 등의 가반 (可搬) 매체, 컴퓨터 시스템에 내장되는 하드 디스크 등의 기억 장치를 말한다. 또한, 「컴퓨터 판독 가능한 기록 매체」란, 인터넷 등의 네트워크나 전화 회선 등의 통신 회선을 통하여 프로그램이 송신된 경우의 서버나 클라이언트가 되는 컴퓨터 시스템 내부의 휘발성 메모리 (RAM) 와 같이 일정 시간 프로그램을 유지하고 있는 것도 포함하는 것으로 한다.

또, 상기 프로그램은, 이 프로그램을 기억 장치 등에 저장한 컴퓨터 시스템으로부터 전송 매체를 통하여 혹은 전송 매체 중의 전송파에 의해 다른 컴퓨터 시스템에 전송되어도 된다. 여기에서, 프로그램을 전송하는 「전송 매체」는, 인터넷 등의 네트워크 (통신망) 나 전화 회선 등의 통신 회선 (통신선) 과 같이 정보를 전송하는 기능을 갖는 매체를 말한다. 또, 상기 프로그램은, 전술한 기능의 일부를 실현시키기 위한 것이어도 된다. 또한, 전술한 기능을 컴퓨터 시스템에 이미 기록되어 있는 프로그램과의 조합으로 실현시킬 수 있는 것, 이른바 차분 파일 (차분 프로그램) 이어도 된다.

이상, 이 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 상세하게 서술했지만, 구체적인 구성은 이 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 이 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위의 설계 등도 포함된다.

산업상 이용가능성

본 발명의 가속도 센서 장치는 지진계로서 사용할 수 있다. 또, 그 장치를 사용한 센서 네트워크 시스템은, 대규모 화학 플랜트의 설비 모니터나, 도로나 다리, 댐 등의 구조물의 보전, 산사태의 예측 등에 이용할 수 있다.

또한, 2008 년 3 월 31 일에 출원된 일본 특허출원 2008-093278호의 명세서, 특허청구범위, 도면 및 요약서의 전체 내용을 여기에 인용하고, 본 발명의 명세서의 개시로서 도입한다.

1 … 가속도 센서
2 … 정류부
3 … 전원부
4 … 변환 회로
5 … 콤퍼레이터
6 … 제어부
7 … 검출부
8 … 기록부
9 … 리밋 회로
11 … 일렉트렛
12,13 … 전극판
14, R1, R2, 901, 902, 903 … 저항
909, 910, 911, 915, 916 … 저항
906, 912, OP1 … 오퍼레이션 앰프
904, 905, 907, 908, D1, D2, D3, D4 … 다이오드
913, 914 … 제너 다이오드
917 … 콘덴서

Claims (17)

1. 도체와, 상기 도체에 대해 상대적으로 운동하는 일렉트렛으로 이루어지고, 전기 에너지와 운동 에너지를 변환시키는 정전 유도형 변환 소자인 가속도 센서를 구비하는 가속도 센서 장치로서,
   상기 가속도 센서가 출력하는 교류 전압으로부터 가속도에 따른 신호를 검출하는 가속도 검출부와,
   상기 교류 전압을 정류시키는 정류부와,
   장치 내의 회로를 동작시키는 배터리를 가지며, 상기 정류부가 출력하는 정류된 전압을 전기 에너지로서 상기 배터리에 충전시키는 전원 회로를 갖는 것을 특징으로 하는 가속도 센서 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   미리 설정된 임계값 전압과, 상기 정류된 전압의 전압값을 비교하여, 상기 임계값 전압을 초과하면 이상을 통지하는 이상 신호를 출력하는 이상 진동 검지 회로를 추가로 갖는 것을 특징으로 하는 가속도 센서 장치.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 가속도 검출부가 이상 진동을 트리거로 하여 상기 이상 진동 검지 회로로부터 출력되는 상기 이상 신호에 의해 기동되고,
   상기 가속도에 따른 신호의 기록을 개시하고, 미리 설정된 타이밍에서 기록을 종료하는 기록 회로를 추가로 갖는 것을 특징으로 하는 가속도 센서 장치.
4. 제 2 항에 있어서,
   상기 가속도 검출부가 이상 진동을 트리거로 하여 상기 이상 진동 검지 회로로부터 출력되는 상기 이상 신호에 의해 기동되고,
   상기 가속도에 따른 신호의 기록을 개시하고,
   상기 이상 진동 검지 회로가 이상 진동의 종료를 검출하여 이상 진동 종료 신호를 출력하고,
   상기 이상 진동 종료 신호에 의해 상기 가속도에 따른 신호의 기록을 정지시키는
   기록 회로를 추가로 갖는 것을 특징으로 하는 가속도 센서 장치.
5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
   상기 이상 진동이 기록해야 하는 진동인지 여부를, 주파수와 주파수에 대응한 스펙트럼 강도로 이루어지는 미리 설정되어 있는 참조 진동 패턴과, 상기 가속도에 따른 신호의 주파수와 주파수에 대응한 스펙트럼 강도로 이루어지는 대상 진동 패턴을 비교하고, 이 비교 결과에 의해 상기 가속도에 따른 신호를 기록할지 여부의 판정을 실시하는 판정부를 추가로 갖는 것을 특징으로 하는 가속도 센서 장치.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 판정부가 상기 참조 진동 패턴의 각 주파수와 주파수의 스펙트럼 강도로부터 구한, 주파수마다 스펙트럼 강도의 상한값 및 하한값을 갖는 설정 범위를 갖고, 상기 대상 진동 패턴의 주파수마다의 스펙트럼 강도가 상기 설정 범위에 포함되는지 여부의 비교 결과에 의해 상기 가속도에 따른 신호를 기록할지 여부의 판정을 실시하는 것을 특징으로 하는 가속도 센서 장치.
7. 제 5 항에 있어서,
   상기 판정부가 미리 설정된 시간폭마다 상기 가속도에 따른 진동의 주파수와 당해 주파수에 대응하는 스펙트럼 강도를 구하는 푸리에 변환을 실시하는 것을 특징으로 하는 가속도 센서 장치.
8. 제 7 항에 있어서,
   상기 검출부가 이상 신호에서부터 이상 종료까지의 상기 가속도에 따른 진동의 전압값을 내부에 기억시키고, 상기 판정부가 상기 시간폭마다 순차적으로 상기 가속도에 따른 진동 전압의 전압값을 상기 시각폭에 대응하는 시각 범위마다 판독하고, 푸리에 변환하여 대상 진동 패턴을 생성하는 것을 특징으로 하는 가속도 센서 장치.
9. 제 5 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 판정부에 미리 설정되는 설정 범위가, 미리 설정된 기간에 취득된 환경에 있어서의 외란의 진동에서 기인하는 참조 진동 패턴으로부터 생성되어 있는 것을 특징으로 하는 가속도 센서 장치.
10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가속도 센서에 있어서의 상기 일렉트렛의 재료가 유기 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가속도 센서 장치.
11. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가속도 센서에 있어서의 상기 일렉트렛의 재료가 적어도 1 종류의 시클로올레핀 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 가속도 센서 장치.
12. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가속도 센서에 있어서의 상기 일렉트렛의 재료가 불소계 폴리머로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가속도 센서 장치.
13. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가속도 센서에 있어서의 상기 일렉트렛의 재료가, 주사슬에 함불소 지방족 고리 구조를 갖는 중합체로 구성되는 것을 특징으로 하는 가속도 센서 장치.
14. 제 3 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기록 회로가 상기 가속도의 수치를 검출하는 수치 검출용 가속도 센서를 추가로 갖는 것을 특징으로 하는 가속도 센서 장치.
15. 제 14 항에 있어서,
    상기 수치 검출용 가속도 센서가, 상기 가속도 센서보다 고정밀도인 것을 특징으로 하는 가속도 센서 장치.
16. 복수의 센서 노드와, 상기 센서 노드가 검출한 데이터를 수집하는 데이터 수집 서버를 갖는 무선 센서 네트워크로서,
    제 1 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항의 상기 가속도 센서 장치에 무선 통신 기능을 삽입한 센서 노드를 적어도 1 개 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 센서 네트워크.
17. 제 16 항에 기재된 무선 센서 네트워크를 사용하고, 상기 센서 노드를 제 3 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항의 상기 가속도 센서 장치로 하여 복수 지점의 이상 진동을 기록하는 것을 특징으로 하는 광역 이상 진동 기록 시스템.

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