KR20090063076A - 스테이지장치 - Google Patents

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KR20090063076A
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스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 베이스대(基臺)의 강성(剛性)을 높임으로써, 스루풋(throughput)을 떨어뜨리지 않고서 베이스대 위에서 기판을 정확하게 처리하는 것을 가능하게 하는 스테이지장치를 제공한다.
[해결수단] 스테이지장치(1)는, 베이스대(10)와, 베이스대(10) 위에서 이동 가능하게 설치되는 갠트리부(30)와, 베이스대(10)를 지지하는 제진(除振)유닛(50)을 구비한다. 베이스대(10)는, 관재(罐材)를 프레임 형상으로 연결하여 구축된 상부 프레임(12)과, 관재를 프레임 형상으로 연결하여 구축되며 상부 프레임(12)과 상하로 이격되어 설치된 하부 프레임(22)과, 상부 프레임(12)과 하부 프레임(22)을 연결하는 연결재(18)를 가진다.
Figure P1020080093188
스테이지장치, 베이스대, 갠트리부, 제진유닛, 관재, 연결재

Description

스테이지장치{Stage device}
본 발명은, 기판이 탑재되는 베이스대 위를 1축 방향으로 이동하는 갠트리부를 가지는 스테이지장치에 관한 것이다.
종래, 액정패널이나 반도체 등의 각종 기판의 제조 등에 이용되는 스테이지장치로서, 예컨대 특허문헌 1에 개시된 것이 알려져 있다. 이 스테이지장치는, 관재(罐材; can material)를 프레임 형상으로 연결하여 구축된 제관(製罐)구조의 베이스대(基臺)와, 베이스대의 양측에 설치된 한 쌍의 가이드 레일과, 이들 가이드 레일을 따라서 안내되는 한 쌍의 안내 슬라이더와, 한 쌍의 안내 슬라이더 사이에 횡으로 가설되는 빔을 구비하고 있다. 빔은, 가이드 레일을 따라서 이동하며, 이 빔에 탑재된 카메라나 리페어장치 등에 의하여, 기판의 결함을 검출함과 함께 그를 수복(修復)한다. 베이스대는, 제진(除振)유닛을 통하여 가설대(架臺) 위에 지지된다. 또한 베이스대는, 프레임 내에 평행하게 가설되는 보강캔에 의하여 보강된다.
[특허문헌 1] 일본국 특허공개 2006-269509호 공보
그러나, 상기한 제관구조의 베이스대에서는, 비록 보강캔을 설치하였다고 하더라도 강성이 충분하지 않기 때문에, 예컨대 빔이 가이드 레일을 따라서 앞쪽으로 이동함과 함께 카메라 등의 탑재물이 오른쪽으로 이동하였을 때, 베이스대의 앞측 오른쪽 모서리가 움푹 들어가는 것처럼, 베이스대에 수십 마이크론 오더의 변형이 생긴다. 따라서, 카메라 등의 탑재물을 정확한 거리만큼 이동시켰다고 하더라도, 이 베이스대의 변형 분만큼 탑재물과 베이스대의 상대위치에 오차를 발생시키게 되어 버려서, 기판의 처리를 정확하게 행할 수 없는 우려가 있었다. 이때, 베이스대의 변형이 원래대로 되돌아갈 때까지 기판의 처리를 기다리도록 하면, 스루풋(throughput)이 현저히 저하되어 버릴 우려가 있었다.
본 발명은, 상기한 사정에 감안하여 이루어진 것으로, 베이스대의 강성을 높임으로써, 스루풋을 떨어뜨리지 않고서 베이스대 위에서 기판을 정확하게 처리하는 것을 가능하게 하는 스테이지장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 관한 스테이지장치는, 베이스대와, 상기 베이스대 위에서 1축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 갠트리와, 상기 베이스대를 지지하는 제진유닛을 구비한 스테이지장치이다. 상기 베이스대는, 관재를 프레임 형상으로 연결하여 구축된 상부 프레임과, 관재를 프레임 형상으로 연결하여 구축되며 상기 상부 프레임 과 상하로 이격되어 설치된 하부 프레임과, 상기 상부 프레임과 상기 하부 프레임을 연결하는 연결재를 가진다.
이 스테이지장치에서는, 베이스대가 상부 프레임과 하부 프레임을 가지며, 이를 연결재로 연결하여, 소위 박스 구조로 되어 있기 때문에, 관재에 의하여 구성되어 경량화가 도모되어 있음에도 불구하고, 강성이 높여져 있다. 따라서, 갠트리의 이동에 의하여 하중이 걸려 제진유닛이 침하하여 베이스대가 기울었다 하더라도, 베이스대 자체의 변형은 억제되고 있으므로, 갠트리와 베이스대의 상대위치의 오차는 지극히 작아서, 기판의 정확한 처리가 가능하게 된다. 또한, 베이스대의 변형이 원래대로 되돌아갈 때까지 기판의 처리를 기다릴 필요가 없기 때문에, 스루풋을 떨어뜨릴 우려도 없다.
스테이지장치는, 상기 제진유닛을 통하여 상기 베이스대를 지지하는 가설대를 구비하는 것을 특징으로 하여도 좋다. 이와 같이 하면, 가설대 위에서 베이스대를 제진상태에서 지지할 수 있다.
상기 상부 프레임은 외형이 직사각 형상이고, 상기 하부 프레임은 상기 상부 프레임의 외형을 따라서 네 모서리가 움푹 들어간 직사각 형상이며, 상기 가설대는 상기 상부 프레임의 외형을 따르는 직사각 형상의 프레임바디와, 상기 하부 프레임의 네 모서리의 오목 부분을 통하여 상기 상부 프레임의 네 모서리를 하방으로부터 지지하는 지주를 가지며, 상기 제진유닛은, 적어도 상기 상부 프레임의 네 모서리와 상기 지주의 상단(上端) 사이에 설치되어 있는 것을 특징으로 하여도 좋다. 이와 같이 하면, 제진유닛을 통하여 베이스대를 중심에 가까우며 보다 높은 위치에서 지지할 수 있기 때문에, 갠트리의 이동에 의하여 생기는 베이스대의 흔들림을 억제할 수 있다. 또한, 하부 프레임이 추(錘)로서 기능함으로써, 베이스대의 흔들림을 한층 억제할 수 있다.
상기 베이스대는, 이 베이스대를 수평방향으로 복수의 블록으로 분할하기 위한 분할부를 가지는 것을 특징으로 하여도 좋다. 이와 같이 하면, 기판의 대형화에 수반하여 베이스대가 대형화되어도, 특수대형차량을 이용하지 않고 베이스대를 분할하여 수송하는 것이 가능하게 된다.
상기 분할부는, 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임을 구성하는 관재를 상하 대응하는 위치에서 절단하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하여도 좋다. 이와 같이 하여도, 상부 프레임과 하부 프레임에 설치되는 분할부는 상하 방향으로 이격되어 있기 때문에, 강성 상 유리하다.
상기 관재의 절단면에는, 외향(外向) 플랜지가 설치되어 있는 것을 특징으로 하여도 좋다. 이와 같이 하면, 분할된 블록끼리를 외향 플랜지를 통하여 용이하게 연결할 수 있다.
상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 적어도 한쪽의 프레임 내에는, 경사방향으로 보강재가 가설되어 있는 것을 특징으로 하여도 좋다. 이와 같이 하면, 프레임 내에 평행하게 보강재를 가설하는 경우에 비하여 충분히 베이스대의 강성을 향상시킬 수 있다. 즉, 갠트리와 이 탑재장치가 동시에 이동하였을 경우에 발생할 가능성이 있는 베이스대의 비틀림에 대한 비틀림 강성을 높일 수 있다
본 발명에 의하면, 베이스대의 강성을 높임으로써, 스루풋을 떨어뜨리지 않고서 베이스대 위에서 기판을 정확하게 처리하는 것을 가능하게 하는 스테이지장치를 제공할 수 있다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 설명한다. 다만, 도면의 설명에 있어서 동일한 요소에는 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략한다.
[제1 실시예]
도 1은, 본 발명의 제1 실시예에 관한 스테이지장치(1)를 나타내는 사시도, 도 2는, 도 1의 스테이지장치(1)가 구비하는 베이스대를 상방으로부터 본 사시도, 도 3은, 베이스대를 하방으로부터 본 사시도, 도 4는, 연결재가 연결된 베이스대의 하부 프레임이 제진유닛에 지지되어 있는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 스테이지장치(1)는, 기판이 탑재되는 베이스대(10)와, 베이스대(10) 위를 이동하는 갠트리부(30)와, 베이스대(10)에 설치되어, 갠트리부(30)의 이동을 안내하는 가이드 레일(40) 및 영구자석(42)과, 갠트리부(30)의 하부에 설치되어, 가이드 레일(40)에 안내되는 안내 슬라이더(44) 및 영구자석(42)과 대향하는 전자석(48)을 구비하며, 이 갠트리부(30)가 가이드 레 일(40)을 따라서 이동하는 것이다. 여기서, 도 1에 있어서, 베이스대(10)의 길이방향을 Y축 방향이라 하고, 이들과 직교하는 수평방향을 X축 방향이라 하며, 이들과 직교하는 방향을 Z축 방향이라 한다.
베이스대(10)는, 상부 프레임(12)과, 상부 프레임(12)과 상하로 이격되어 설치된 하부 프레임(22)과, 상부 프레임(12)과 하부 프레임(22)을 연결하는 연결재(18)를 가지고 있다.
상부 프레임(12)은, X축 방향으로 뻗어 있는 관재(12a, 12b)와, Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(12c, 12d)를 각각 연결시킴으로써 형성되는 직사각 형상의 프레임바디의 내측을, 복수의 보강재(14a, 14b, 14c, 14d)로 보강함으로써 구성된다. 여기서, 관재(12a, 12b, 12c, 12d)는 중공(中空)의 봉재(棒材)이며, 본 실시예에서는 단면 ㅁ 형상의 ㅁ 형강(型鋼)을 이용하고 있다. 또한, 보강재(14a, 14b, 14c, 14d)는, 중공·중실(中實)을 불문하고 프레임바디의 내측에 횡으로 가설되는 봉재이며, 본 실시예에서는 단면 H 형상의 H 형강과 단면 ㅁ 형상의 ㅁ 형강을 이용하고 있다.
여기서, 상세한 것은 후술하지만, 베이스대(10)는 길이방향의 수평방향으로 복수의 블록(여기서는 2블록)으로 분할 가능하며, 상부 프레임(12)의 Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(12c, 12d)는 도중에 절단되어, 분할부(16)가 설치되어 있다. 그리고, 분할부(16)를 사이에 두고 앞측과 뒤측의 블록 각각에 대하여, 절단부분의 관재(12c, 12d) 사이에는, X축 방향으로 뻗어 있도록 ㅁ 형강으로 이루어지는 보강재(14a)가 횡으로 가설되어 있다.
그리고, 관재(12a)와 관재(12c, 12d)와 보강재(14a)로 형성되는 앞쪽의 프레임 내에, H 형강으로 이루어지는 보강재(14b)가, 관재(12c, 12d)에 평행하게 가설됨과 함께, 관재(12a) 및 보강재(14a)에 평행하게 가설된다. 또한, H 형강으로 이루어지는 보강재(14c)가, 관재(12a, 12c, 12d)와 보강재(14a)에 대하여 비스듬히 대각(對角) 형상으로 횡으로 가설되어 있다. 따라서, 보강재(14b, 14c)는 중앙의 일점(一點)에서 교차하여, 여기서부터 방사(放射) 형상으로 뻗은 상태로 되어 있다.
또한, 관재(12c, 12d)와 관재(12b)와 보강재(14a)로 형성되는 뒤쪽의 프레임 내에, H 형강으로 이루어지는 보강재(14d)가, 관재(12b, 12c, 12d)와 보강재(14a)에 대하여 비스듬히 횡으로 가설되어 있다.
하부 프레임(22)은, X축 방향으로 뻗어 있는 관재(22a, 22b)와, Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(22c, 22d)를 각각 연결시킴으로써 형성되는 직사각 형상의 프레임바디의 내측을, 보강재(24b)로 보강함으로써 구성된다. 관재(22a, 22b, 22c, 22d)의 직경은, 상부 프레임(12)의 관재(12a, 12b, 12c, 12d)보다도 작게 되어 있다. ㅁ 형강으로 이루어지는 보강재(24b)는, 관재(22c, 22d)의 길이방향의 중앙부에 있어서, X축 방향으로 횡으로 가설되어 있다.
여기서, 상술한 바와 같이, 베이스대(10)는 길이방향의 수평방향으로 복수의 블록(여기서는 2블록)으로 분할 가능하며, 하부 프레임(22)의 Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(22c, 22d)는 도중에 절단되어, 분할부(26)가 설치되어 있다.
연결재(18)는, Z축 방향으로 이격된 상태에서, 상부 프레임(12)과 하부 프레 임(22)을 연결하고 있다. 본 실시예에서는, 연결재(18)는 ㅁ 형강으로 이루어지는 관재로 구성되어 있으며, 상부 프레임(12)과 하부 프레임(22)을 네 모서리에서 연결하고 있다. 또한, 강성을 높이기 위하여, 상하의 관재(12c, 22c) 사이에는, 분할부(16, 26)의 앞측에, Z축 방향으로 뻗어 있도록 ㅁ 형강으로 이루어지는 연결재(18)가 가설되어 있다. 또한, 상하의 관재(12d, 22d) 사이에는, 분할부(16, 26)의 앞측에, Z축 방향으로 뻗어 있도록 ㅁ 형강으로 이루어지는 연결재(18)가 가설되어 있다.
제진유닛(50)은, 스테이지장치(1)를 설치하는 설치면과 베이스대(10) 사이에 설치되어 있다. 보다 상세히는, 제진유닛(50)은, 하부 프레임(22)의 네 모서리와, 관재(22c, 22d)의 도중에 있어서의 하부에 있어서, 베이스대(10)를 제진 가능하게 지지하고 있다. 제진유닛(50)은, 설치면으로부터 베이스대(10)로 전달되는 진동을 제거하는 것이며, 예컨대 공기 스프링이나 고무 등의 탄성재로 구성되는 것을 이용할 수 있다.
가이드 레일(40)은, 관재(12c, 12d)의 표면에 각각 설치되어, Y축 방향으로 뻗어 있다. 보다 상세히는, 관재(12c, 12d)의 표면에는, 외측방으로 향하여 돌출편(片)(52)이 설치되어 있으며, 이 돌출편(52)이 Y축 방향으로 연속하여 뻗어 있다. 그리고, 이 돌출편(52)의 상면(上面)에, 가이드 레일(40)이 설치되어 있다. 또한, 영구자석(42)은, 돌출편(52)의 상면에 있어서 가이드 레일(40)보다도 외측의 위치에 인접하여 설치되어, Y축 방향으로 뻗어 있다. 이 영구자석(42)은, Y축 방향에 S극과 N극의 소정 패턴이 반복되고 있는 것이다.
가이드 레일(40) 및 영구자석(42)의 상방에는, X축 방향으로 뻗는 갠트리부(30)의 양측의 하부에 연결된 연결판(46)이 배치되어 있으며, 이 연결판(46)의 하면에는, 안내 슬라이더(44)와 전자석(48)이 각각 인접하여 설치되어 있다. 전자석(48)은, 영구자석(42)의 S극과 N극의 패턴에 맞춰서 자극을 변화시켜, 영구자석(42)과의 사이에서 반발력을 발생시킴으로써 갠트리부(30)를 가이드 레일(40)로 안내하면서 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다.
여기서, 돌출편(52)의 하면에는, 관재(12c, 12d)의 외측면과의 사이에 가설된 복수의 보강 리브(54)가 Y축 방향으로 소정간격으로 설치되어 있다.
갠트리부(30)는, X축 방향으로 뻗는 지지부(30a), 리니어 모터부(30b), 및 이동부(30c)를 구비한다. 이동부(30c)는, 리니어 모터부(30b)에 의하여 이 리니어 모터부(30b)를 따라서 X축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 그리고, 이 이동부(30c)에 소정의 처리장치를 부설함으로써, 처리장치가 X축 방향으로 이동하여, 베이스대(10)에 탑재된 기판에 대하여 소정의 처리가 실행된다. 이 처리장치로서는, 기판 상의 결함을 검사하는 카메라이거나, 컬러 필터의 색 빠짐 등 기판의 표면처리 상태를 수복하는 리페어 장치이거나, 기판에 대하여 패턴 처리하는 도포장치일 수 있다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 스테이지장치(1)의 베이스대(10) 위에는, 액정패널 등의 기판을 재치(載置; 올려 놓음)하기 위한 워크 정반(11)이 설치된다. 여기서, 스테이지장치(1)가 수송차로 수송될 때, 이 워크 정반(11)이 설치된 상태에서 수송차에 적재된다.
본 실시예에 있어서는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 베이스대(10), 가이드 레일(40), 영구자석(42), 돌출편(52) 및 워크 정반(11)은, Y축 방향과 직교하는 분할면으로 분할된다. 그리고, 분할된 베이스대(10)는, 분할부(16, 26)에서 볼트 등에 의하여 연결된다. 즉, 분할부(26(16))에는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 절단된 관재(22c(12c))의 절단면을 둘러싸도록 외향 플랜지(26a(16a))가 설치되어 있으며, 이 외향 플랜지(26a(16a))를 통하여 분할된 베이스대(10)의 블록끼리가 연결되어 있다. 여기서, 상부 프레임(12)의 분할부(16)에 있어서는, 보강 리브(54)가 외향 플랜지(16a)를 겸하고 있다.
이와 같이, 베이스대(10), 가이드 레일(40), 영구자석(42), 돌출편(52) 및 워크 정반(11)은 Y축 방향으로 분할 가능하게 구성되어 있기 때문에, 스테이지장치(1)는 2개의 블록으로 분할 가능하게 구성되게 된다. 여기서, 분할부(16, 26)는, 상하의 Z축 방향에 대하여 대응하는 위치에 설치되어, Y축 방향에 대하여 각 블록이 수송차에 적재 가능한 크기가 되는 위치에 형성된다.
또한, 베이스대(10)의 양측방으로서 돌출편(52)의 하방에는, 도 1 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 케이블 캐리어(60)가 설치되어 있다. 갠트리부(30)에는, 갠트리부(30) 자체나 이동부(30c)의 이동을 제어하기 위한 전력을 공급하는 도시하지 않은 전력 케이블이나, 이동부(30c)에 부설되는 처리장치와의 사이에서 각종 신호를 송수신하기 위한 도시하지 않은 신호 케이블 등이 접속되어 있다. 이들 케이블이, 케이블 캐리어(60)를 통하여 배선되어 있다.
케이블 캐리어(60)는, 편평(扁平)한 복수의 통재(筒材)를 연결 설치하여 이 루어지며, 각 통재는 서로 제한된 각도 내에서 회전운동 가능하게 연결되어 있다. 모아진 케이블은, 이 케이블 캐리어(60)의 내부로 통과되고 있다. 케이블 캐리어(60)의 일단(一端)(60a)은, 베이스대(10)의 측방에 설치된 지지대(62) 위에 고정되어 있다. 또한, 케이블 캐리어(60)의 타단(他端)(60b)은, 연락부재(64)에 고정되어 있다. 연락부재(64)는, 통 형상의 부재로서 갠트리부(30)와 케이블 캐리어(60)에 연결되어 있어, 케이블 캐리어(60)로부터의 케이블을 갠트리부(30)로 안내한다.
따라서, 도 8에 나타내는 바와 같이, 케이블 캐리어(60)는 캐터필러(caterpillar)(등록상표)와 같이 변형 가능하며, 갠트리부(30)가 Y축 방향으로 이동함에 수반하여, 베이스대(10)의 길이방향의 임의의 위치에서 U자 형상으로 굴곡 가능하다. 그리고, 케이블 캐리어(60)의 내부로 통과된 케이블은, 케이블 캐리어(60)의 변형을 모방하여 변형된다.
이와 같이, 케이블 캐리어(60)를 베이스대(10)의 양측방으로서 돌출편(52)의 하방에 설치함으로써, 베이스대(10)의 내부에 설치하는 경우와 달리, 관재(12c, 22c) 사이나 관재(12d, 22d) 사이의 스페이스의 이용 자유도가 높아져, 여기에 연결재(18)나 제진유닛(50)을 배치할 수 있어서, 강성의 향상이나 제진성이 높아지고 있다. 또한, 돌출편(52)을 설치하여 이 위에 가이드 레일(40)이나 영구자석(42)을 배치함으로써, 상부 프레임(12)의 관재(12c, 12d) 위에 이들을 배치하는 경우와 비교하여, 베이스대(10)의 X축 방향의 사이즈를 작게 할 수 있어서, 풋프린트(footprint)의 저감이 도모되고 있다.
이와 같이, 본 실시예에 관한 스테이지장치(1)에서는, 베이스대(10)가 상부 프레임(12)과 하부 프레임(22)을 가지며, 이를 연결재(18)로 연결하여, 소위 박스 구조로 하고 있기 때문에, 관재에 의하여 구성되어 경량화가 도모되어 있음에도 불구하고, 강성이 높아져 있다. 따라서, 갠트리부(30)의 이동에 의하여 하중이 걸려 제진유닛(50)이 침하하여 베이스대(10)가 기울었다 하더라도, 베이스대(10) 자체의 변형은 억제되어 있으므로, 갠트리부(30)와 베이스대(10)의 상대위치의 오차는 지극히 작아서, 기판의 정확한 처리가 가능하게 된다. 또한, 베이스대(10)의 변형이 원래대로 되돌아갈 때까지 기판의 처리를 기다릴 필요가 없기 때문에, 스루풋을 떨어뜨릴 우려도 없다.
또한, 베이스대(10)는, 베이스대(10)를 수평방향으로 복수의 블록으로 분할하기 위한 분할부(16, 26)를 가지기 때문에, 기판의 대형화에 수반하여 베이스대(10)가 대형화되어도, 특수대형차량을 이용하지 않고 베이스대(10)를 분할하여 수송하는 것이 가능하게 된다. 또한, 베이스대(10)를 구성하는 관재(12c, 12d, 22c, 22d)를 기계가공할 때도, 분할된 부분마다 행할 수 있기 때문에, 용이하게 기계가공을 행할 수 있다.
또한, 베이스대(10)를 분할하는 경우, 베이스대(10)가 관재에 의하여 구성되어 있으면 접합면의 강성이 낮아서, 갠트리부(30)의 구동시에 왜곡을 발생하게 할 가능성이 있지만, 본 실시예의 베이스대(10)는 박스 구조이며, 상부 프레임(12)과 하부 프레임(22)에 있어서의 상하의 접합면을 맞추면 접합면이 증가하고 있기 때문에, 왜곡을 발생하게 할 우려를 저감할 수 있어, 베이스대(10)의 분할에 유리한 구조로 되어 있다.
또한, 분할부(16, 26)는, 상부 프레임(12) 및 하부 프레임(22)을 구성하는 관재를 상하 대응하는 위치에서 절단하여 구성되어 있기 때문에, 상부 프레임(12)과 하부 프레임(22)에 설치되는 분할부(16, 26)는 상하 방향으로 이격되어 있으므로, 분할면이 벗어나고자 하는 모멘트(moment)에 대하여 강화되게 되어, 강성 상 유리하다.
또한, 관재의 절단면에는, 외향 플랜지(16a, 26a)가 설치되어 있기 때문에, 분할된 블록끼리를 외향 플랜지(16a, 26a)를 통하여 볼트 등에 의하여 용이하게 연결할 수 있다.
여기서, 돌출편(52)의 하면에는, 관재(12c, 12d)의 외측면과의 사이에 가설된 복수의 보강 리브(54)가 설치되어 있으며, 분할된 베이스대(10)는, 이 보강 리브(54)를 통하여 연결된다. 여기서, 종래의 스테이지 구조의 경우는, 분할하고자 하면 연결을 위한 플랜지를 스테이지의 측면으로 튀어나오도록 설치할 필요가 있어, 횡방향의 사이즈가 커져 버린다는 문제가 있지만, 본 실시예에서는, 보강 리브(54)나 분할부(16, 26)가 돌출편(52)보다도 측방으로 튀어나가는 것을 억제할 수 있기 때문에, 대형화를 억제할 수 있다.
또한, 상부 프레임(12)의 프레임 내에는 경사방향으로 보강재(14c, 14d)가 가설되어 있기 때문에, 프레임 내에 평행하게 보강재를 가설하는 경우에 비하여 충분히 베이스대(10)의 강성을 향상시킬 수 있다.
또한, 케이블 캐리어(60)를 베이스대(10)의 양측방으로서 돌출편(52)의 하방에 설치함으로써, 베이스대(10)의 내부에 설치하는 경우와 달리, 관재(12c, 22c) 사이나 관재(12d, 22d) 사이의 스페이스의 이용 자유도가 높아져, 여기에 연결재(18)나 제진유닛(50)을 배치할 수 있어서, 강성의 향상이나 제진성을 높일 수 있다. 또한, 연락부재(64)의 Z축 방향의 길이를 짧게 할 수 있기 때문에, 외란(外亂)의 영향에 의한 베이스대(10)의 진동을 저감할 수 있다. 또한, 돌출편(52)을 설치하여 이 위에 가이드 레일(40)이나 영구자석(42)을 배치함으로써, 상부 프레임(12)의 관재(12c, 12d) 위에 이들을 배치하는 경우와 비교하여, 베이스대(10)의 X축 방향의 사이즈를 작게 할 수 있어서, 풋프린트의 저감을 도모할 수 있다.
다만, 여기서는, 상부 프레임(12)의 프레임 내에만 경사방향으로 보강재를 설치하고 있었지만, 하부 프레임(22)의 프레임 내에도 경사방향으로 보강재를 설치하여도 좋다.
또한, 연결재(18)를 ㅁ 형강에 의하여 구성하고, 상부 프레임(12) 및 하부 프레임(22)을 네 모서리 등에서 연결하는 구성으로 하였지만, 연결재(18)는 ㅁ 형강에 한정되지 않으며, 예컨대 판재(板材)에 의하여 상부 프레임(12)과 하부 프레임(22)을 빙 둘러싸도록 하여 연결하는 구성으로 하여도 좋다.
또한, 도 9에 나타내는 바와 같이, 상부 프레임(12)의 분할부(16)의 외향 플랜지(16a)와, 하부 프레임(22)의 분할부(26)의 외향 플랜지(26a)를, 일체(一體) 구조로 하여도 좋다. 이와 같이 하면, 베이스대(10)의 강성을 보다 높일 수 있다.
[제2 실시예]
다음으로, 본 발명의 제2 실시예에 대하여 설명한다. 다만, 상기한 제1 실시 예와 동일한 요소에는 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략한다.
도 10은, 본 발명의 제2 실시예에 관한 스테이지장치(101)의 측면도, 도 11은, 도 10의 스테이지장치(101)가 구비하는 베이스대(110)를 상방으로부터 본 사시도, 도 12는, 베이스대(110)를 하방으로부터 본 사시도, 도 13은, 베이스대(110)를 분할한 뒤측의 블록을 상방으로부터 본 사시도, 도 14는, 연결재(118)가 연결된 베이스대(110)의 하부 프레임(122)을 나타내는 사시도, 도 15는, 가설대(170)와 제진유닛(150)을 나타내는 사시도이다.
이 제2 실시예가 제1 실시예와 다른 점은, 베이스대(110)를 가설대(170)에 의하여 지지하도록 한 점과, 그 때문에 베이스대(110)의 구성을 변경한 점이다.
도 10에 나타내는 바와 같이, 스테이지장치(101)는, 기판이 탑재되는 베이스대(110)와, 베이스대(110) 위를 이동하는 갠트리부(130)와, 베이스대(110)에 설치되어, 갠트리부(130)의 이동을 안내하는 가이드 레일(140) 및 영구자석(142)과, 갠트리부(130)의 하부에 설치되어, 가이드 레일(140)로 안내되는 안내 슬라이더(144) 및 영구자석(142)과 대향하는 전자석(148)을 구비하며, 이 갠트리부(130)가 가이드 레일(140)을 따라서 이동하는 것이다. 여기서, 도 10에 있어서, 베이스대(110)의 길이방향을 Y축 방향이라고 하고, 그와 직교하는 수평방향을 X축 방향이라 하며, 이들과 직교하는 방향을 Z축 방향이라 한다.
베이스대(110)는, 상부 프레임(112)과, 상부 프레임(112)과 상하로 이격되어 설치된 하부 프레임(122)과, 상부 프레임(112)과 하부 프레임(122)을 연결하는 연결재(118)를 가지고 있다.
상부 프레임(112)은, X축 방향으로 뻗어 있는 관재(112a, 112b)와, Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(112c, 112d)를 각각 연결시킴으로써 형성되는 직사각 형상의 프레임바디의 내측을, 복수의 보강재(114a, 114b, 114c, 114d)로 보강함으로써 구성된다. 여기서, 관재(112a, 112b, 112c, 112d)는 중공의 봉재이며, 본 실시예에서는 단면 ㅁ 형상의 ㅁ 형강을 이용하고 있다. 또한, 보강재(114a, 114b, 114c, 114d)는, 중공·중실을 막론하고 프레임바디의 내측에 횡으로 가설되는 봉재이며, 본 실시예에서는 단면 H 형상의 H 형강과 단면 ㅁ 형상의 ㅁ 형강을 이용하고 있다.
여기서, 상세한 것은 후술하지만, 베이스대(110)는 길이방향의 수평방향으로 복수의 블록(여기서는 2블록)으로 분할 가능하며, 상부 프레임(112)의 Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(112c, 112d)는 도중에 절단되어, 분할부(116)가 설치되어 있다. 그리고, 분할부(116)를 사이에 두고 앞측과 뒤측의 블록 각각에 대하여, 절단 부분의 관재(112c, 112d) 사이에는, X축 방향으로 뻗어 있도록 ㅁ 형강으로 이루어지는 보강재(114a)가 횡으로 가설되어 있다.
그리고, 관재(112a)와 관재(112c, 112d)와 보강재(114a)로 형성되는 앞쪽의 프레임 내에, H 형강으로 이루어지는 보강재(114b)가, 관재(112c, 112d)에 평행하게 가설됨과 함께, 관재(112a) 및 보강재(114a)에 평행하게 가설된다. 또한, H 형강으로 이루어지는 보강재(114c)가, 관재(112a, 112c, 112d)와 보강재(114a)에 대하여 비스듬히 대각 형상으로 횡으로 가설되어 있다. 따라서, 보강재(114b, 114c)는 중앙의 일점에서 교차하여, 여기서부터 방사 형상으로 뻗은 상태가 되어 있다.
또한, 관재(112c, 112d)와 관재(112b)와 보강재(114a)로 형성되는 뒤쪽의 프레임 내에, H 형강으로 이루어지는 보강재(114d)가, 관재(112b, 112c, 112d)와 보강재(114a)에 대하여 비스듬히 횡으로 가설되어 있다.
하부 프레임(122)은, X축 방향으로 뻗어 있는 관재(122a, 122b)와, Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(122c, 122d)를 각각 연결시킴으로써 형성되는 직사각 형상의 프레임바디의 내측을, 복수의 보강재(124a, 124b, 124c)로 보강함으로써 구성된다. 관재(122a, 122b, 122c, 122d)의 직경은, 상부 프레임(112)의 관재(112a, 112b, 112c, 112d)보다도 작게 되어 있다.
여기서, 상술한 바와 같이, 베이스대(110)는 길이방향의 수평방향으로 복수의 블록(여기서는 2블록)으로 분할 가능하며, 하부 프레임(122)의 Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(122c, 122d)는 도중에 절단되어, 분할부(126)가 설치되어 있다. 그리고, 분할부(126)보다 앞측의 블록에 대하여, 절단 부분의 관재(122c, 122d) 사이에는, X축 방향으로 뻗어 있도록 ㅁ 형강으로 이루어지는 보강재(124a)가 횡으로 가설되어 있다.
또한, 관재(122a)와 관재(122c, 112d)와 보강재(124a)로 형성되는 앞쪽의 프레임 내에, H 형강으로 이루어지는 보강재(124b)가, 관재(122c, 122d)에 평행하게 가설됨과 함께, 관재(122a) 및 보강재(124a)에 평행하게 가설된다. 또한, H 형강으로 이루어지는 보강재(124c)가, 관재(122a, 122c, 122d)와 보강재(124a)에 대하여 비스듬히 대각 형상으로 횡으로 가설되어 있다. 따라서, 보강재(124b, 124c)는 중앙의 일점에서 교차하여, 여기서부터 방사 형상으로 뻗은 상태가 되어 있다.
또한, 하부 프레임(122)은, 상부 프레임(112)의 외형을 따라서 네 모서리가 움푹 들어간 대략 직사각 형상이다. 이 오목 부분(119)을 통하여, 후술하는 가설대(170)의 지주(178)가, 상부 프레임(112)의 네 모서리를 하방으로부터 지지한다.
연결재(118)는, Z축 방향으로 이격된 상태에서, 상부 프레임(112)과 하부 프레임(122)을 연결하고 있다. 본 실시예에서는, 연결재(118)는 ㅁ 형강으로 이루어지는 관재로 구성되어 있으며, 상부 프레임(112)과 하부 프레임(122)을 네 모서리 근방에서 연결하고 있다.
가설대(170)는, 도 15에 나타내는 바와 같이, X축 방향으로 뻗어 있는 관재(172a, 172b)와, Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(172c, 172d)를 각각 연결시킴으로써 형성되는 직사각 형상의 프레임바디의 내측을, 복수의 보강재(174a, 174b)로 보강함으로써 구성된다. 여기서, 관재(172a, 172b, 172c, 172d)는 중공의 봉재이며, 본 실시예에서는 단면 ㅁ 형상의 ㅁ 형강을 이용하고 있다. 또한, 보강재(174a, 174b)는, 중공·중실을 막론하고 프레임바디의 내측에 횡으로 가설되는 봉재이며, 본 실시예에서는 단면 ㅁ 형상의 ㅁ 형강을 이용하고 있다.
여기서, 상술한 바와 같이 베이스대(110)는 길이방향의 수평방향으로 복수의 블록(여기서는 2블록)으로 분할 가능하며, 이에 맞추어, 가설대(170)도 복수의 블록으로 분할 가능하다. 가설대(170)의 Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(172c, 172d)는 도중에 절단되어, 분할부(176)가 설치되어 있다. 그리고, 분할부(176)를 사이에 두고 앞측과 뒤측의 블록 각각에 대하여, 절단 부분의 관재(172c, 172d) 사이에는, X축 방향으로 뻗어 있도록 ㅁ 형강으로 이루어지는 보강재(174a)가 횡으로 가설되어 있다. 또한, 앞측의 프레임 내에는, 더욱 X축 방향으로 뻗어 있도록 ㅁ 형강으로 이루어지는 보강재(174a)가 횡으로 가설되어 있다. 또한, 가설대(170)의 프레임 내에는, Y축 방향으로 뻗어 있도록 ㅁ 형강으로 이루어지는 보강재(174b)가 횡으로 가설되어 있다. 이 보강재(174b)는 도중에 절단되어, 분할부(176)가 설치되어 있다.
가설대(170)의 네 모서리에는, Z축 방향으로 뻗어 있도록 지주(178)가 설치되어 있다. 제진유닛(150)은, 가설대(170)의 지주(178)의 상단과 각 관재(172a, 172b, 172c, 172d) 위에 설치되어 있다. 보다 상세히는, 제진유닛(150)은, 상부 프레임(112)의 네 모서리와 가설대(170)의 지주(178)의 상단 사이, 및 각 관재(172a, 172b, 172c, 172d)의 도중에 있어서의 상부와 하부 프레임(122)의 관재(122a, 122b, 122c, 122d) 사이에 있어서, 베이스대(110)를 제진 가능하게 지지하고 있다. 제진유닛(150)은, 설치면으로부터 베이스대(110)로 전달되는 진동을 제거하는 것이며, 예컨대 공기 스프링이나 고무 등의 탄성재로 구성되는 것을 이용할 수 있다.
가이드 레일(140)은, 관재(112c, 112d)의 상면에 각각 설치되어, Y축 방향으로 뻗어 있다. 보다 상세히는, 관재(112c, 112d)의 상면에는, 외측방으로 향하여 돌출편(152)이 설치되어 있으며, 이 돌출편(152)이 Y축 방향으로 연속하여 뻗어 있다. 그리고, 이 돌출편(152)의 상면에, 가이드 레일(140)이 설치되어 있다. 또한, 영구자석(142)은, 돌출편(152)의 상면에 있어서 가이드 레일(140)보다도 외측의 위치에 인접하여 설치되어, Y축 방향으로 뻗어 있다. 이 영구자석(142)은, Y축 방향에 S극과 N극의 소정 패턴이 반복되어 있는 것이다.
가이드 레일(140) 및 영구자석(142)의 상방에는, X축 방향으로 뻗는 갠트리부(130)의 양측의 하부에 연결된 연결판(146)이 배치되어 있으며, 이 연결판(146)의 하면에는, 안내 슬라이더(144)와 전자석(148)이 각각 인접하여 설치되어 있다. 전자석(148)은, 영구자석(142)의 S극과 N극의 패턴에 맞춰서 자극을 변화시켜, 영구자석(142)과의 사이에서 반발력을 발생시킴으로써 갠트리부(130)를 가이드 레일(140)로 안내하면서 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다.
여기서, 돌출편(152)의 하면에는, 관재(112c, 112d)의 외측면 사이에 가설된 복수의 보강 리브(154)가 Y축 방향으로 소정간격으로 설치되어 있다.
갠트리부(130)는, X축 방향으로 뻗는 지지부(130a), 리니어 모터부(130b), 및 이동부(130c)를 구비한다. 이동부(130c)는, 리니어 모터부(130b)에 의하여 이 리니어 모터부(130b)를 따라서 X축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 그리고, 이 이동부(130c)에 소정의 처리장치를 부설함으로써, 처리장치가 X축 방향으로 이동하여, 베이스대(110)에 탑재된 기판에 대하여 소정의 처리가 실행된다. 이 처리장치로서는, 기판 상의 결함을 검사하는 카메라이거나, 컬러 필터의 색 빠짐 등 기판의 표면처리 상태를 수복하는 리페어 장치이거나, 기판에 대하여 패턴 처리하는 도포장치일 수 있다.
또한, 스테이지장치(101)의 베이스대(110) 위에는, 제1 실시예와 같이, 액정패널 등의 기판을 재치하기 위한 도시하지 않은 워크 정반이 설치된다. 여기서, 스테이지장치(101)가 수송차로 수송될 때, 이 워크 정반이 설치된 상태에서 수송차에 적재된다.
본 실시예에 있어서는, 도 10에 나타내는 바와 같이, 베이스대(110), 가이드 레일(140), 영구자석(142), 돌출편(152), 가설대(170) 및 워크 정반은, Y축 방향과 직교하는 분할면에서 분할된다. 그리고, 분할된 베이스대(110)는, 분할부(116, 126)에서 볼트 등에 의하여 연결된다. 다만, 돌출편(152)의 하면에는, 관재(112c, 112d)의 외측면과의 사이에 가설된 복수의 보강 리브(154)가 설치되어 있고, 분할된 베이스대(110)는, 이 보강 리브(154)를 통하여 연결된다.
여기서, 종래의 스테이지 구조의 경우는, 분할하고자 하면 연결을 위한 플랜지를 스테이지의 측면으로 튀어나오도록 설치할 필요가 있어, 횡방향의 사이즈가 커져 버린다는 문제가 있지만, 본 실시예에서는, 보강 리브(154)나 분할부(116, 126)가 돌출편(152)보다도 측방으로 튀어나가는 것을 억제할 수 있기 때문에, 대형화를 억제할 수 있다.
이와 같이, 베이스대(110), 가이드 레일(140), 영구자석(142), 돌출편(152), 가설대(170) 및 워크 정반은 Y축 방향으로 분할 가능하게 구성되어 있기 때문에, 스테이지장치(101)는 2개의 블록으로 분할 가능하게 구성되게 된다. 여기서, 분할부(116, 126, 176)는, 상하의 Z축 방향에 대하여 대응하는 위치에 설치되어, Y축 방향에 대하여 각 블록이 수송차에 적재 가능한 크기가 되는 위치에 형성된다.
또한, 베이스대(110)의 양측방으로서 돌출편(152)의 하방에는, 도 10 및 도 16에 나타내는 바와 같이, 케이블 캐리어(160)가 설치되어 있다. 갠트리부(130)에는, 갠트리부(130) 자체나 이동부(130c)의 이동을 제어하기 위한 전력을 공급하는 도시하지 않은 전력 케이블이나, 이동부(130c)에 부설되는 처리장치와의 사이에서 각종 신호를 송수신하기 위한 도시하지 않은 신호 케이블 등이 접속되어 있다. 이들 케이블이, 케이블 캐리어(160)를 통하여 배선되어 있다.
케이블 캐리어(160)는, 편평한 복수의 통재를 연결 설치하여 이루어지며, 각 통재는 서로 제한된 각도 내에서 회전운동 가능하게 연결되어 있다. 모아진 케이블은, 이 케이블 캐리어(160)의 내부로 통과되고 있다. 케이블 캐리어(160)의 일단(160a)은, 베이스대(110)의 측방에 설치된 지지대(162) 위에 고정되어 있다. 또한, 케이블 캐리어(160)의 타단(160b)은, 연락부재(164)에 고정되어 있다. 연락부재(164)는, 통 형상의 부재로서 갠트리부(130)와 케이블 캐리어(160)에 연결되어 있어, 케이블 캐리어(160)로부터의 케이블을 갠트리부(130)로 안내한다.
따라서, 도 17에 나타내는 바와 같이, 케이블 캐리어(160)는 캐터필러(등록상표)와 같이 변형 가능하며, 갠트리부(130)가 Y축 방향으로 이동함에 수반하여, 베이스대(110)의 길이방향의 임의의 위치에서 U자 형상으로 굴곡 가능하다. 그리고, 케이블 캐리어(160)의 내부로 통과된 케이블은, 케이블 캐리어(160)의 변형을 모방하여 변형된다.
이와 같이, 케이블 캐리어(160)를 베이스대(110)의 양측방으로서 돌출편(152)의 하방에 설치함으로써, 베이스대(110)의 내부에 설치하는 경우와 달리, 관재(112c, 122c) 사이나 관재(112d, 122d) 사이의 스페이스의 이용 자유도가 높아져, 여기에 연결재(118)나 제진유닛(150)을 배치할 수 있어서, 강성의 향상이나 제진성이 높아지고 있다. 또한, 돌출편(152)을 설치하여 이 위에 가이드 레일(140)이나 영구자석(142)을 배치함으로써, 상부 프레임(112)의 관재(112c, 112d) 위에 이 들을 배치하는 경우와 비교하여, 베이스대(110)의 X축 방향의 사이즈를 작게 할 수 있어서, 풋프린트의 저감이 도모되고 있다.
이와 같이, 본 실시예에 관한 스테이지장치(101)에서는, 베이스대(110)가 상부 프레임(112)과 하부 프레임(122)을 가지며, 이를 연결재(118)로 연결하여, 소위 박스 구조로 하고 있기 때문에, 관재에 의하여 구성되어 경량화가 도모되고 있음에도 불구하고, 강성이 높아져 있다. 따라서, 갠트리부(130)의 이동에 의하여 하중이 걸려 제진유닛(150)이 침하하여 베이스대(110)가 기울었다 하더라도, 베이스대(110) 자체의 변형은 억제되어 있으므로, 갠트리부(130)와 베이스대(110)의 상대위치의 오차는 지극히 작아서, 기판의 정확한 처리가 가능하게 된다. 또한, 베이스대(110)의 변형이 원래대로 되돌아갈 때까지 기판의 처리를 기다릴 필요가 없기 때문에, 스루풋을 떨어뜨릴 우려도 없다.
또한, 베이스대(110)는, 베이스대(110)를 수평방향으로 복수의 블록으로 분할하기 위한 분할부(116, 126)를 가지기 때문에, 기판의 대형화에 수반하여 베이스대(110)가 대형화되어도, 특수대형차량을 이용하지 않고 베이스대(110)를 분할하여 수송하는 것이 가능하게 된다. 또한, 베이스대(110)를 구성하는 관재(112c, 112d, 122c, 122d)를 기계가공할 때도, 분할된 부분마다 행할 수 있기 때문에, 용이하게 기계가공을 행할 수 있다.
또한, 베이스대(110)를 분할하는 경우, 베이스대(110)가 관재에 의하여 구성되어 있으면 접합면의 강성이 낮아서, 갠트리부(130)의 구동시에 왜곡을 생기게 할 가능성이 있지만, 본 실시예의 베이스대(110)는 박스 구조이며, 상부 프레임(112) 과 하부 프레임(126)에 있어서의 상하의 접합면을 맞추면 접합면이 증가하고 있기 때문에, 왜곡을 생기게 할 우려를 저감할 수 있어서, 베이스대(110)의 분할에 유리한 구조로 되어 있다.
또한, 분할부(116, 126)는, 상부 프레임(112) 및 하부 프레임(122)을 구성하는 관재를 상하 대응하는 위치에서 절단하여 구성되어 있기 때문에, 상부 프레임(112)과 하부 프레임(122)에 설치되는 분할부(116, 126)는 상하 방향으로 이격되어 있으므로, 분할면이 벗어나고자 하는 모멘트에 대하여 강화되게 되어, 강성 상 유리하다.
또한, 관재의 절단면에는, 외향 플랜지(116a, 126a)가 설치되어 있기 때문에, 분할된 블록끼리를 외향 플랜지(116a, 126a)를 통하여 볼트 등에 의하여 용이하게 연결할 수 있다. 또한, 가설대(170)의 관재의 절단면에도 마찬가지의 외향 플랜지가 설치되어 있기 때문에, 분할된 블록끼리를 볼트 등에 의하여 용이하게 연결할 수 있다.
또한, 상부 프레임(112)의 프레임 내에는 경사방향으로 보강재(114c, 114d)가 가설되어 있고, 하부 프레임(122)의 프레임 내에는 경사방향으로 보강재(124c)가 가설되어 있기 때문에, 프레임 내에 평행하게 보강재를 가설하는 경우에 비하여 충분히 베이스대(110)의 강성을 높일 수 있다.
또한, 케이블 캐리어(160)를 베이스대(110)의 양측방으로서 돌출편(152)의 하방에 설치함으로써, 베이스대(110)의 내부에 설치하는 경우와 달리, 관재(112c, 122c) 사이나 관재(112d, 122d) 사이의 스페이스의 이용 자유도가 높아져, 여기에 연결재(118)나 제진유닛(150)을 배치할 수 있어서, 강성의 향상이나 제진성을 높일 수 있다. 또한, 연락부재(164)의 Z축 방향의 길이를 짧게 할 수 있기 때문에, 외란의 영향에 의한 베이스대(110)의 진동을 저감할 수 있다. 또한, 돌출편(152)을 설치하여 이 위에 가이드 레일(140)이나 영구자석(142)을 배치함으로써, 상부 프레임(112)의 관재(112c, 112d) 위에 이들을 배치하는 경우와 비교하여, 베이스대(110)의 X축 방향의 사이즈를 작게 할 수 있어서, 풋프린트의 저감을 도모할 수 있다.
또한, 스테이지장치(101)는, 제진유닛(150)을 통하여 베이스대(110)를 지지하는 가설대(170)를 구비하기 때문에, 가설대(170) 위에서 베이스대(110)를 제진상태로 지지할 수 있다.
또한, 하부 프레임(122)의 네 모서리의 오목 부분(119)을 통하여 상부 프레임(112)의 네 모서리를 하방으로부터 제진유닛(150)을 통하여 지주(178)에 의하여 지지하고 있기 때문에, 제진유닛(150)을 통하여 베이스대(110)를 중심에 가까우며 보다 높은 위치에서 지지할 수 있어서, 갠트리부(130)의 이동에 의하여 생기는 베이스대(110)의 흔들림을 억제할 수 있다. 또한, 하부 프레임(122)이 추로서 기능하므로, 베이스대(110)의 흔들림을 한층 억제할 수 있다.
여기서, 연결재(118)를 ㅁ 형강에 의하여 구성하고, 상부 프레임(112) 및 하부 프레임(122)을 네 모서리 등에서 연결하는 구성으로 하였지만, 연결재(118)는 ㅁ 형강에 한정되지 않으며, 예컨대 판재에 의하여 상부 프레임(112)과 하부 프레임(122)을 빙 둘러싸도록 하여 연결하는 구성으로 하여도 좋다.
한편, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 다양한 변형이 가능하다. 예컨대, 상기한 실시예에서는, 갠트리부(30, 130)가 Y축 방향으로 이동하고, 이동부(30c, 130c)가 X축 방향으로 이동하는 2축 타입의 스테이지장치(1, 101)에 대한 적용을 서술하고 있지만, 갠트리부(30, 130)만이 이동하는 1축 타입에도 적용 가능하다.
또한, 갠트리부(30, 130)나 이동부(30c, 130c)의 이동은, 접촉 타입, 비접촉 타입 중 어느 것이더라도 좋다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 관한 스테이지장치를 나타내는 사시도.
도 2는 도 1의 스테이지장치가 구비하는 베이스대를 상방으로부터 본 사시도.
도 3은 베이스대를 하방으로부터 본 사시도.
도 4는 연결재가 연결된 베이스대의 하부 프레임이 제진유닛에 지지되어 있는 상태를 나타내는 사시도.
도 5는 도 1에 나타내는 스테이지장치에 워크 정반을 세트한 사시도.
도 6은 분할부를 나타내는 정면도.
도 7은 케이블 캐리어의 배치를 나타내는 부분 확대도.
도 8은 도 1에 나타내는 스테이지장치의 측면도.
도 9는 분할부의 변형예를 나타내는 도면.
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 관한 스테이지장치를 나타내는 사시도.
도 11은 도 10의 스테이지장치가 구비하는 베이스대를 상방으로부터 본 사시도.
도 12는 베이스대를 하방으로부터 본 사시도.
도 13은 베이스대를 분할한 뒤측의 블록을 상방으로부터 본 사시도.
도 14는 연결재가 연결된 베이스대의 하부 프레임을 나타내는 사시도.
도 15는 가설대와 제진유닛을 나타내는 사시도.
도 16은 케이블 캐리어의 배치를 나타내는 부분 확대도.
도 17은 도 10에 나타내는 스테이지장치의 측면도.
*부호의 설명*
1, 101 : 스테이지장치
10, 110 : 베이스대
12, 112 : 상부 프레임
14c, 14d, 114c, 114d, 124c : 보강재
16, 26, 116, 126, 176 : 분할부
16a, 26a :외향 플랜지
18, 118 : 연결재
22, 122 : 하부 프레임
30, 130 : 갠트리부
50, 150 : 제진유닛
119 : 오목 부분
170 : 가설대
178 : 지주

Claims (7)

  1. 베이스대(基台)와, 상기 베이스대 위에서 1축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 갠트리와, 상기 베이스대를 지지하는 제진(除振)유닛을 구비한 스테이지장치로서,
    상기 베이스대는,
    관재(罐材; can material)를 프레임 형상으로 연결하여 구축된 상부 프레임과,
    관재를 프레임 형상으로 연결하여 구축되며 상기 상부 프레임과 상하로 이격되어 설치된 하부 프레임과,
    상기 상부 프레임과 상기 하부 프레임을 연결하는 연결재를 가지는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제진유닛을 통하여 상기 베이스대를 지지하는 가설대(架臺)를 구비하는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 상부 프레임은 외형이 직사각 형상이며,
    상기 하부 프레임은 상기 상부 프레임의 외형을 따라서 네 모서리가 움푹 들 어간 직사각 형상이며,
    상기 가설대는 상기 상부 프레임의 외형을 따르는 직사각 형상의 프레임바디와, 상기 하부 프레임의 네 모서리의 오목 부분을 통하게 하여 상기 상부 프레임의 네 모서리를 하방으로부터 지지하는 지주를 가지며,
    상기 제진유닛은, 적어도 상기 상부 프레임의 네 모서리와 상기 지주의 상단 사이에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 베이스대는, 상기 베이스대를 수평방향으로 복수의 블록으로 분할하기 위한 분할부를 가지는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 분할부는, 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임을 구성하는 관재를 상하 대응하는 위치에서 절단하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 관재의 절단면에는, 외향(外向) 플랜지가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
  7. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 적어도 한쪽의 프레임 내에는, 경사방향으로 보강재가 가설되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
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