KR20080069927A

KR20080069927A - 스테이지장치의 이동체

Info

Publication number: KR20080069927A
Application number: KR1020080007500A
Authority: KR
Inventors: 야스히토 나카모리; 다츠야 요시다
Original assignee: 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
Priority date: 2007-01-24
Filing date: 2008-01-24
Publication date: 2008-07-29
Also published as: TWI349593B; TW200848197A; CN101249611A; CN101249611B; JP2008036811A

Abstract

[과제] 본 발명은 가설대(架台) 상에서 구동되는 이동체의 경량화 및 강성(剛性) 확보를 과제로 한다.

[해결수단] 갠트리부(gantry)(60)는, 알루미늄재(材)를 이용하여 압출 가공에 의하여 중공(中空)구조로 형성된다. 또한, 갠트리부(60)는, 전면 벽부(60a) 및 배면 벽부(60b)에 대하여 수직방향으로 뻗어 있는 한 쌍의 보강벽(64)이 일체로 설치되어 있어, 보강벽(64)에 의하여 구분된 중공부(62)가 3군데로 형성된 중공구조로 되어 있다.

따라서, 갠트리부(60)는, 상기 전면 벽부(60a)의 내벽과 배면 벽부(60b)의 내벽 사이에 보강벽(64)을 횡으로 가설시키고, 또한 각 코너부(角部)를 R 형상으로 함으로써, 경량화 및 가공면을 가공할 때의 비틀림이나 벤딩에 대한 강성의 강화가 도모되고 있다.

갠트리부, 전면 벽부, 배면 벽부, 보강벽, 중공부

Description

스테이지장치의 이동체{Moving body of stage apparatus}

본 발명은 스테이지장치의 이동체에 관한 것으로서, 특히 가설대(架台) 상에서 1축 방향으로 이동하는 스테이지장치의 이동체에 관한 것이다.

예컨대, 갠트리형 스테이지장치는, 가공장치 또는 검사장치를 장착한 갠트리부(이동체)가 테이블 상에 흡착된 기판(基板)(가공 대상물)의 위쪽을 이동함으로써 기판의 표면을 고정밀도로 가공, 또는 검사하도록 구성되어 있다(특허문헌 1을 참조).

또한, 스테이지장치에 있어서는, 가공시간 또는 검사시간의 단축을 도모하는 것이 요망되고 있어, 이동속도를 고속화하는 것이 검토되고 있다. 한편, 기판의 대형화에 수반하여, 갠트리부의 장척화 및 대형화에 의한 중량 증대가 생기면, 갠트리부의 이동을 제어할 때의 위치결정 정정(整定)시간이 길어지기 때문에, 갠트리부를 경량화하는 것이 검토되고 있다.

[특허문헌 1] 일본국 특허공개 2004-237171호 공보

그러나, 종래는, 갠트리부를 철의 용접구조에 의하여 형성하여 강성을 확보하고 있어, 재질을 바꾸지 않고 경량화를 도모하고자 하였을 경우, 각 부의 두께를 얇게 하는 것이 되므로, 자중(自重)이나 탑재 부하에 의한 휨이나 비틀림이나 가공시에 발생하는 벤딩에 대한 강성이 부족하게 될 우려가 있다.

또한, 스테이지장치에 있어서는, 가공 대상물(기판)의 대형화에 의하여 갠트리부가 장척화 및 대형화되는 경향에 있기 때문에, 용접에 수반하는 열처리, 기계 가공, 도장(塗裝)의 공정이 극히 곤란하게 된다는 문제가 있었다.

따라서, 본 발명은 상기 사정을 감안하여, 상기 과제를 해결한 스테이지장치의 이동체를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 이하와 같은 수단을 가진다.

본 발명은, 가설대(架台) 상에서 1축 방향으로 이동하는 스테이지장치의 이동체로서,

상기 이동체는, 알루미늄 재료로 구성되어 있고, 내부에 중공부를 가지며, 압출 가공으로 형성됨으로써, 상기 과제를 해결하는 것이다.

또한, 본 발명은, 상기 이동체의 상면, 하면, 전면, 배면이 결합되는 각 코너부(角部)를, 상기 상면, 하면, 전면, 배면의 벽부보다도 두껍게 형성함으로써, 상기 과제를 해결하는 것이다.

또한, 본 발명은, 상기 중공부가, 상기 이동체의 상면, 하면, 전면, 배면의 내벽에 대하여 경사 또는 만곡하도록 형성되는 리브(rib)를 가지고, 상기 이동체의 코너부를 내측으로부터 보강함으로써, 상기 과제를 해결하는 것이다.

또한, 본 발명은, 상기 중공부가, 외부로부터 가공되는 상기 이동체의 가공면에 대하여 수직방향으로 뻗어 있는 보강벽을 가짐으로써, 상기 과제를 해결하는 것이다.

또한, 본 발명은, 상기 중공부가, 상기 이동체 전면 벽부와 배면 벽부 사이에 횡으로 가설되는 복수(複數)의 보강벽을 가짐으로써, 상기 과제를 해결하는 것이다.

또한, 본 발명은, 상기 이동체의 상면 벽부 및 하면 벽부가, 상기 전면 벽부 및 배면 벽부보다도 두껍게 형성됨으로써, 상기 과제를 해결하는 것이다.

본 발명에 의하면, 이동체를 알루미늄 재료로 구성함과 함께, 내부에 중공부를 가지고, 압출 가공으로 형성되기 때문에, 경량화를 도모할 수 있음과 함께, 자중이나 탑재 부하에 의한 휨이나 비틀림이나 가공면을 가공할 때의 벤딩에 대한 강성을 강화할 수 있고, 또한 경량화에 수반하여 위치결정 정정(整定)시간을 단축하여 위치결정 정밀도를 높이는 것이 가능하게 된다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 실시하기 위한 최량의 형태에 대하여 설명한다.

[실시예 1]

도 1은 본 발명에 의한 스테이지장치의 이동체의 하나의 실시예를 나타내는 사시도이다. 도 2는 스테이지장치의 정면도이다. 도 3은 스테이지장치의 평면도이다.

도 1 내지 도 3에 나타나는 바와 같이, 스테이지장치(10)는, 가설대(20)와, 가설대(20) 상에 지지된 흡착 테이블(30)(일점쇄선으로 나타냄)과, 흡착 테이블(30)의 양측에 배치된 한 쌍의 Y방향 리니어 모터(40)와, 한 쌍의 Y방향 리니어 모터(40)에 의하여 가설대(20) 상에서 구동되는 갠트리부(이동체)(60)를 가지는 구성으로 되어 있다.

가설대(20)는, 철골을 격자 형상으로 접합한 강고한 구성이며, 그 상면에는, 기판(가공 대상물)을 흡착하는 흡착 테이블(30)이 탑재 고정되어 있다. 또한, 가설대(20) 상에는, 흡착 테이블(30)과 평행하게 뻗어 있는 방향으로 한 쌍의 Y방향 리니어 모터(40)가 장착되어 있다.

Y방향 리니어 모터(40)는, 소위 오픈코어 장착 리니어 모터라고 불리는 구성의 액츄에이터이며, 가설대(20)에 고정된 고정 베이스(42) 상에 설치되어 있다. 또한, 고정 베이스(42) 상에는, 갠트리부(60)의 이동방향을 안내하는 Y방향 리니어 가이드(70)가 장착되어 있다.

갠트리부(60)는, 이동방향(Y방향)과 직교하는 X방향으로 뻗어 형성되어 있고, 측방향으로부터 본 단면형상이 사각형상 또는 직사각형으로 형성되어 있다. 또한, 갠트리부(60)는, 철보다도 가벼운 알루미늄 재질에 의하여 형성되어 경량화가 도모됨과 함께, 내부에는, 후술하는 바와 같이 압출 가공에 의하여 보강부가 형성되어 비틀림이나 벤딩에 대한 강성이 높여져 있다.

갠트리부(60)에는, X방향으로 이동 가능하게 지지된 이동 브래킷(80)이 장착되어 있다. 이 이동 브래킷(80)은, 예컨대, 흡착 테이블(30) 상에 흡착된 기판을 가공하는 가공장치, 또는 기판의 가공면을 검사하는 검사장치 등이 적절히 장착된다.

기판이 대형화(대(大)면적화)되면, 갠트리부(60)의 X방향 길이가 길게 형성되어 갠트리부(60)가 장척화 및 대형화된다. 그 경우, 갠트리부(60)는, 종단면의 크기에 대한 전체 길이가 길어지기 때문에, 자중이나 갠트리부(60)에 장착되는 각종 장치의 무게에 의하여 갠트리부(60)가 찌그러질 우려가 생긴다. 그로 인하여, 갠트리부(60)에는, 장척화 및 대형화에 수반하여 장착되는 각종 장치의 하중을 견딜 수 있는 강성이 요구된다.

또한, 갠트리부(60)의 정면에는, 이동 브래킷(80)을 X방향으로 구동하는 X방향 리니어 모터(100)가 설치되어 있다. 여기에서, 갠트리부(60)의 구성에 대하여 도 4 및 도 5를 참조하여 상세히 설명한다. 도 4(A)∼도 4(C) 및 도 5에 나타나는 바와 같이, 갠트리부(60)는, 철보다도 경량인 알루미늄 재료를 이용하여 압출 가공 에 의하여 형성된다. 또한, 갠트리부(60)는, 측방향(X방향)으로부터 본 윤곽이 사각형상(직사각형)으로 형성되고, 또한 길이방향(X방향)으로 뻗어 있는 중공부(62)를 가지는 중공구조로 되어 있다. 이 중공부는, 길이방향으로 뻗어 있는 벽부에 의하여 형성된다. 이 벽부는 중공부를 구획하도록, 단면형상이 복수의 직선 벽부와 복수의 코너부에 의하여 형성되어 있다. 실시예는 사각형상으로 설명하고 있지만, 벽부가 복수의 직선 벽부와 복수의 코너부에 의하여 형성되어 있는 다각형상이라면 좋다.

본 실시예의 갠트리부(60)는, 전면 벽부(60a)의 내벽과 배면 벽부(60b)의 내벽 사이에 뻗어 있는 한 쌍의 보강벽(보강부)(64)이 일체로 형성되어 있어, 보강벽(64)에 의하여 구분된 중공부(62)가 3군데로 형성되어 있다. 각 보강벽(64)은, X방향으로 뻗어 있는 수평한 면을 가지도록 형성되어 있으므로, 전면 벽부(60a)와 배면 벽부(60b)에 대하여 직각방향이 되도록 형성되어 있다. 그로 인하여, 보강벽(64)은, 가공면을 가지는 전면 벽부(60a)의 내벽에 대하여 수직방향으로 뻗어서 형성되어 있어, 전면 벽부(60a)를 절삭 가공할 때의 벤딩에 대한 강성을 강화하고 있다.

또한, 각 보강벽(64)은, 소정 간격 이격한 2군데의 높이 위치에 평행하게 형성되어 있지만, 2군데 이상의 위치에 설치하여도 좋고, 평행으로 하지 않고, 각각이 다른 각도로 배치하여도 좋고, 혹은 각각이 십자(十字) 형상으로 교차하도록 배치하여도 좋다.

또한, 갠트리부(60)의 전면 벽부(60a) 외측에는, 상술한 X방향 리니어 모 터(100)의 가공면(65)이 형성되어 있고, 이동 브래킷(80)의 전면이 슬라이딩 접촉하는 가이드부의 가공면(66)이 형성되어 있다. 또한, 갠트리부(60)의 상면 벽부(60c) 외측에는, 이동 브래킷(80)의 상면이 슬라이딩 접촉하는 가이드부의 가공면(67)이 형성되어 있다. 또한, 갠트리부(60)의 하면 벽부(60d) 외측에는, 전면측 및 배면측으로 돌출하는 턱부(68)가 일체로 설치되어 있다. 이와 같이, 갠트리부의 외측, 즉 갠트리부 벽부의 외면(外面)을 가공하면, 갠트리부에는 응력이 가하여진다. 보강벽(64)은, 가공면(65)의 근방에 형성되고 있고, 또한 전면 벽부(60a) 및 배면 벽부(60b)에 대하여 수직방향으로 뻗어서 형성되어 있으므로, 가공면(65, 66)을 절삭 또는 연삭 가공할 때의 강성이 강화되어 있어, 가공시의 응력(應力)에 의하여 찌그러지지 않도록 구성되어 있다.

또한, X방향 리니어 모터(100)가 장착된 전면 벽부(60a)의 두께(t1)는, 배면 벽부(60b)의 두께(t2)보다도 두껍게 (t1 ＞ t2) 되어 있다. 이에 의하여, 가공시의 응력에 의하여 생기는 벤딩에 대한 강성이 한층 더 강화되어 있다.

또한, 중공부(62)를 둘러싸도록 형성된 내벽의 코너부는, R 형상으로 되어 있어, 각 코너부의 두께가 두껍게 되도록 형성되어 있다. 이에 의하여, 갠트리부(60)는, θｘ방향의 비틀림 강성이 높여져 있기 때문에, 이동 브래킷(80)에 장착되는 장치의 하중이 증대하여도 휘지 않아서, 안정된 상태로 이동 브래킷(80)을 지지할 수 있다.

따라서, 갠트리부(60)는, 알루미늄재를 이용하여 압출 가공에 의하여 중공구조로 형성됨으로써, 철재의 것보다도 경량화가 도모되고 있음과 함께, 상기 전면 벽부(60a)와 배면 벽부(60b)의 내측 사이에 보강벽(64)을 횡으로 가설시키고, 또한 각 코너부 내측을 R 형상으로 함으로써, 특히 가공면이 되는 전면 벽부(60a)를 가공할 때의 벤딩에 대한 강성이 강화되어 있어, 가공시의 응력에 의하여 찌그러지지 않도록 구성되어 있다.

여기서, 상기한 바와 같이 중공구조로 된 갠트리부(60)의 길이방향(X방향)의 양단에는, 중공부(62)를 폐쇄하는 덮개부재(63)(도 1 참조)가 장착되어 중공부(62)를 밀폐하기 때문에, 외부로부터 먼지가 중공부(62)에 침입하는 것을 방지할 수 있다.

이와 같이, 가공면을 절삭 또는 연삭 가공할 때의 벤딩에 대한 강성이나 비틀림에 대한 강성을 강화하면서, 갠트리부(60)의 대폭적인 경량화를 실현함으로써, 갠트리부(60)를 Y방향으로 구동하는 Y방향 리니어 모터(40)에 작용하는 부하가 경감되고, 그만큼 이동제어의 위치결정 정정시간을 단축하여 갠트리부(60)의 이동속도를 안정화시키는 것이 가능하게 된다.

여기에서, 갠트리부(60) 단면구조의 변형예에 대하여 설명한다.

도 6은 갠트리부(60)의 변형예 1을 나타내는 종단면도이다. 도 6에 나타나는 바와 같이, 변형예 1에서는, 갠트리부(60)의 각 벽부(60a∼60d)의 각 코너부를 내측으로부터 보강하는 보강부(200)가 일체로 성형되어 있다. 이 보강부(200)는, 각 벽부(60a∼60d)보다도 두껍게 되도록 압출 가공에 의하여 형성되기 때문에, 용이하게 보강구조로 할 수 있고, 또한 각 벽부(60a∼60d)의 내측에는, 보다 큰 중공 부(210)가 형성되기 때문에, 중량증가를 억제하여 경량화를 도모할 수 있다.

또한, 보강부(200)는, 내면이 각 벽부(60a∼60d)의 내벽에 대하여 45도의 각도로 경사되어 두껍게 되어 있기 때문에, 특히 θｘ방향의 비틀림에 대한 강성이 강화됨과 함께, 두껍게 된 코너부에 있어서의 벤딩에 대한 강성도 강화되어 있어, 가공시의 응력에 의하여 갠트리부(60)가 찌그러지지 않도록 구성되어 있다.

도 7은 갠트리부(60)의 변형예 2를 나타내는 종단면도이다. 도 7에 나타나는 바와 같이, 변형예 2에서는, 갠트리부(60)의 각 벽부(60a∼60d)의 내벽에 대하여 만곡되도록 형성되어, 각 코너부를 내측으로부터 보강하는 보강부(리브)(300)가 일체로 성형되어 있다. 이 보강부(300)는, 압출 가공에 의하여 형성되기 때문에, 용이하게 보강구조로 할 수 있고, 또한 보강부(300)의 내측에 중공부(310)를 형성함과 함께, 각 벽부(60a∼60d)의 코너부 사이에 중공부(320)를 형성함으로써, 중량증가를 억제하여 경량화를 도모할 수 있다.

또한, 각 벽부(60a∼60d)의 코너부 내측에는, 원호 형상으로 만곡한 보강부(300)가 형성되어 있기 때문에, θｘ방향의 비틀림에 대한 강성이 강화됨과 함께, 보강된 코너부 부근의 벤딩에 대한 강성도 강화하고 있어, 갠트리부(60)는, 가공시의 응력에 의하여 찌그러지지 않도록 구성되어 있다.

도 8은 갠트리부(60)의 변형예 3을 나타내는 종단면도이다. 도 8에 나타나는 바와 같이, 변형예 3에서는, 갠트리부(60)의 각 벽부(60a∼60d)의 각 코너부를 내 측으로부터 보강하는 보강부(400)가 일체로 성형되어 있다. 이 보강부(400)는, 압출 가공에 의하여 형성되기 때문에, 용이하게 보강구조로 할 수 있고, 또한 각 벽부(60a∼60d) 사이에, 중공부(410, 420)를 형성함으로써, 중량증가를 억제하여 경량화를 도모할 수 있다.

또한, 보강부(400)는, 각 벽부(60a∼60d)에 대하여 45도의 각도로 경사되어 있기 때문에, θｘ방향의 비틀림이나 가공면을 가공할 때의 벤딩에 대한 강성을 강화하고 있어, 갠트리부(60)는, 가공시의 응력에 의하여 찌그러지지 않도록 구성되어 있다.

도 9는 갠트리부(60)의 변형예 4를 나타내는 종단면도이다. 도 9에 나타나는 바와 같이, 변형예 4에서는, 갠트리부(60)의 각 벽부(60a∼60d) 중 가공면을 가지는 상면 벽부(60c), 하면 벽부(60d)를 두께 t3, t4(전면 벽부(60a)의 두께 t1, 배면 벽부(60b)의 두께 t2보다도 두꺼움)에 의하여 보강하는 보강부(500)가 일체로 성형되어 있다. 이 보강부(500)는, 압출 가공에 의하여 다른 벽부보다 두껍게 형성되기 때문에, 용이하게 보강구조로 할 수 있다. 이와 같이, 갠트리부(60)는, 중공부(510)를 가지는 중공구조에서 각 벽부(60a∼60d)의 전부에서가 아니라 갠트리부(60)의 상면, 하면을 형성하는 상면 벽부(60c), 하면 벽부(60d)의 내측을 보강부(500)에 의하여 보강하는 구성이므로, 중량증가를 억제하여 경량화를 도모할 수 있다. 또한, 중량증가에 대한 보강구조로서는, 자신의 상부에 적재물을 가지는 벽부에 대하여 수직방향으로 벽부 내면에 보강벽을 설치하는 구조이더라도 좋다. 그 와 같은 구조로 하면, 중량증가를 억제하면서 갠트리의 강성을 강화할 수 있다.

또한, 가공면을 가지는 상면 벽부(60c), 하면 벽부(60d)가 보강부(500)에 의하여 두껍게 형성되어 있기 때문에, 특히 가공면을 가공할 때의 벤딩에 대한 강성이 강화되어 있어, 갠트리부(60)는, 가공시의 응력에 의하여 찌그러지지 않도록 구성되어 있다.

이와 같이, 상기 실시예 및 각 변형예에 나타낸 바와 같이 갠트리부(60)를 알루미늄재의 압출 가공으로 형성함으로써, 갠트리부(60)를 종래의 철제의 것보다도 대폭으로 가볍게 할 수 있다. 또한, 상기 실시예 및 각 변형예에 나타낸 바와 같이 갠트리부(60)를 용접 형성의 것과 동등 또는 그 이상의 강성을 가지게 할 수 있다. 또한, 갠트리부(60)를, 용접 형성을 이용하여 제작할 경우는, 대형화에 수반하여 상당히 손이 많이 가지만, 이에 비하여 알루미늄 압출 가공은, 손이 많이 가지 않고, 임의의 단면형상을 가지는 갠트리부(60)를 간단하고도 정밀도 좋게 형성할 수 있다.

상기 실시예에서는, 스테이지장치의 갠트리부(60)의 구조에 대하여 설명하였지만, 이에 한정되지 않고, 스테이지장치에 있어서, 갠트리부 이외의 이동 가능한 이동체에도 본 발명을 적용할 수 있는 것은 물론이다.

도 1은, 본 발명에 의한 스테이지장치의 이동체의 하나의 실시예를 나타내는 사시도이다.

도 2는, 스테이지장치의 정면도이다.

도 3은, 스테이지장치의 평면도이다.

도 4는, 갠트리부(60)의 구성을 나타내는 도면이다.

도 5는, 갠트리부(60)를 나타내는 종단면도이다.

도 6은, 갠트리부(60)의 변형예 1을 나타내는 종단면도이다.

도 7은, 갠트리부(60)의 변형예 2를 나타내는 종단면도이다.

도 8은, 갠트리부(60)의 번형예 3을 나타내는 종단면도이다.

도 9는, 갠트리부(60)의 변형예 4를 나타내는 종단면도이다.

*부호의 설명*

10 : 스테이지장치

20 : 가설대(架台)

30 : 흡착 테이블

40 : Y방향 리니어 모터

50 : 슬라이더

60 : 갠트리부

60a : 전면(前面) 벽부

60c : 상면(上面) 벽부

60b : 배면(背面) 벽부

60d : 하면(下面) 벽부

62, 210, 310, 410, 510 : 중공(中空)부

64 : 보강벽

70 : Y방향 리니어 가이드

80 : 이동 브래킷

100 : X방향 리니어 모터

110 : X방향 리니어 가이드

200, 300, 400, 500 : 보강부

Claims

가설대(架台) 상에서 1축 방향으로 이동하는 스테이지장치의 이동체로서,

상기 이동체는, 알루미늄 재료로 구성되어 있고, 내부에 중공(中空)부를 가지고, 압출 가공으로 형성되는 것을 특징으로 하는 스테이지장치의 이동체.
청구항 1에 있어서,

상기 이동체의 상면, 하면, 전면, 배면이 결합되는 각 코너부(角部)는, 상기 상면, 하면, 전면, 배면의 벽부보다도 두껍게 형성되는 것을 특징으로 하는 스테이지장치의 이동체.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,

상기 중공부는, 상기 이동체의 상면, 하면, 전면, 배면의 내벽에 대하여 경사 또는 만곡되도록 형성되는 리브(rib)를 가지고, 상기 이동체의 코너부를 내측으로부터 보강하는 것을 특징으로 하는 스테이지장치의 이동체.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,

상기 중공부는, 외부로부터 가공되는 상기 이동체의 가공면에 대하여 수직방향으로 뻗어 있는 보강벽을 가지는 것을 특징으로 하는 스테이지장치의 이동체.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,

상기 중공부는, 상기 이동체의 전면 벽부와 배면 벽부 사이에 횡으로 가설되는 복수(複數)의 보강벽을 가지는 것을 특징으로 하는 스테이지장치의 이동체.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,

상기 이동체의 상면 벽부 및 하면 벽부는, 상기 전면 벽부 및 배면 벽부보다도 두껍게 형성되는 것을 특징으로 하는 스테이지장치의 이동체.
가설대 상을 1축 방향으로 이동하는 스테이지장치의 이동체로서,

상기 이동체는, 알루미늄 재료로 구성되어 있고, 내부에 중공부를 구획하는 벽부를 가지고, 압출 가공으로 형성되는 것을 특징으로 하는 스테이지장치의 이동체.
청구항 7에 있어서,

상기 벽부의 단면형상은, 복수의 코너부와 직선 벽부로 형성되고, 상기 코너부는 상기 직선 벽부보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 스테이지장치의 이동체.
청구항 7 또는 청구항 8에 있어서,

상기 벽부는 내면에, 경사 또는 만곡되도록 리브(rib)를 가지는 것을 특징으로 하는 스테이지장치의 이동체.
청구항 7 또는 청구항 8에 있어서,

상기 벽부는 외면에 가공면을 가지고, 상기 가공면과 평행한 내면에 대하여 수직으로 뻗어 있는 보강벽을 가지는 것을 특징으로 하는 스테이지장치의 이동체.
청구항 7 또는 청구항 8에 있어서,

상기 벽부는, 대향하는 내면 사이에 횡으로 가설되는 복수의 보강벽을 가지는 것을 특징으로 하는 스테이지장치의 이동체.
청구항 7 또는 청구항 8에 있어서,

상기 벽부의 상면 벽부 및 하면 벽부는, 전면 벽부 및 배면 벽부보다도 두껍게 형성되는 것을 특징으로 하는 스테이지장치의 이동체.