KR20080044332A - 도전성 접촉자 및 도전성 접촉자의 제조방법 - Google Patents

도전성 접촉자 및 도전성 접촉자의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 외력이 가해졌을 때에 휘어지는 방향을 용이하게 제어할 수 있고, 더욱 고정밀도로 신뢰성이 높은 전기특성검사를 실현하는 것이 가능한 도전성 접촉자 및 도전성 접촉자의 제조방법을 제공하는 것이다. 이 목적을 위하여, 복수의 접속단자를 구비한 회로구성에 대하여, 상기 복수의 접속단자 중 어느 하나와 물리적으로 접촉함으로써 전기적인 접속을 확립하는 도전성 접촉자의 본체부의 길이방향에 수직한 단면의 형상이 이방성을 가지게 한다. 이 본체부의 길이방향의 중심부근을 포함하는 영역이고 상기 본체부의 양쪽 끝부를 포함하지 않는 영역의 표면을 피복하는 절연층을 형성하여도 된다.

Description

도전성 접촉자 및 도전성 접촉자의 제조방법{CONDUCTIVE CONTACT AND METHOD FOR MANUFACTURING CONDUCTIVE CONTACT}
본 발명은 복수의 접속단자를 구비한 회로구조에 대하여 상기 접속단자와 물리적으로 접촉함으로써 전기적인 접속을 확립하는 도전성 접촉자 및 상기 도전성 접촉자를 제조하는 도전성 접촉자의 제조방법에 관한 것이다.
종래, 복수의 접속단자를 구비한 회로구조의 전기 특성검사를 행할 때, 상기접속단자와 물리적으로 접촉함으로써 검사장치와의 사이의 전기적인 접속을 확립하는 도전성 접촉자로서, 원형 단면 형상을 하는 와이어 프로브형의 것이 알려져 있다. 이 와이어 프로브형의 복수의 도전성 접촉자를 도전성 접촉자 유닛에 설치하는 경우에는, 도전성 접촉자의 본체에 외력이 작용하였을 때에 휘어지는 방향을 일치시키기 위한 여러가지 연구가 이루어져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 내지 3을 참조). 이들 종래 기술에서는 각 도전성 접촉자의 양쪽 끝부를 가로방향으로 소정거리만큼 시프트시킴으로써 도전성 접촉자의 휘어지는 방향을 일치시키고 있다.
도 24는, 종래형의 도전성 접촉자의 도전성 접촉자 유닛에 대한 별도의 설치예를 나타내는 도면으로, 도 25는 검사장치측에 접촉하는 도전성 접촉자 부근의 구성을 나타내는 확대도이다. 이들 도면에 나타내는 도전성 접촉자(501)는, 원형 단 면형상을 가지는 본체부(511)의 길이방향의 양쪽 끝부를 제외하는 부분에 절연층(512)이 형성되어 있다.
상기한 구성을 가지는 도전성 접촉자(501)를 수용 유지하는 도전성 접촉자 유닛은, 검사대상의 회로구조 접속측(도 24에서 윗쪽측)에 상층 플레이트(601) 및 하층 플레이트(602)의 2층으로 이루어지는 제 1 플레이트(600)를 구비한다. 한편, 검사장치의 회로기판(801)측(도 24에서 아래쪽측)에, 상층 플레이트(701), 중간층 플레이트(702) 및 하층 플레이트(703)의 3층으로 이루어지는 제 2 플레이트(700)를 구비한다. 하층 플레이트(703)의 바닥면에는, 검사장치의 회로기판(801)의 전극(802)이 맞닿아 있고, 설치된 도전성 접촉자(501)의 한쪽 끝이 그 전극(802)에 접촉하도록 되어 있다.
제 1 플레이트(600)의 상층 플레이트(601)는, 본체부(511)의 지름보다 크고 절연층(512)으로 피복되어 있는 부분의 지름보다 작은 구멍부를 가진다. 또, 제 1 플레이트(600)의 하층 플레이트(602)는, 절연층(512)으로 피복된 부분도 삽입 가능한 구멍부를 가지고 있고, 이들 2개의 구멍부가 상하에 동축을 이루도록 적층되어 있다.
한편, 제 2 플레이트(700)는, 상층 플레이트(701)의 구멍부(711)와 중간층 플레이트(702)의 구멍부(712)가 동일한 지름(R2)을 가지고 있고, 이들 구멍부(711, 712)에는, 본체부(511)(지름 r1)도 절연층(512)으로 피복된 부분(지름 r2)도 삽입 가능하다. 이것에 대하여 하층 플레이트(703)의 구멍부(713)는 상층 플레이 트(701)의 구멍부보다 작은 지름(R1)을 가지고 있고, 본체부(511)의 끝부만 삽입 가능하다. 따라서 상기한 4개의 지름(r1, r2, R1 및 R2)의 사이에는, r1 < R1 < r2 < R2의 관계가 있다.
제 2 플레이트(700)를 구성하는 3개의 플레이트는, 서로 미소거리만큼 구멍부의 중심축이 어긋나도록 배치되어 있고, 설치된 도전성 접촉자(501)를 소정의 방향으로 강제적으로 휘어지게 할 수 있다.
[특허문헌 1]
일본국 특개2001-337109호 공보
[특허문헌 2]
일본국 특개평11-248747호 공보
[특허문헌 3]
일본국 특개2001-50982호 공보
상기한 바와 같이 종래형의 도전성 접촉자는 원형 단면형상을 하고 있기 때문에, 예를 들면 상기 특허문헌 3의 도 6에도 나타나 있는 바와 같이 상부 플레이트와 하부 플레이트를 어긋나게 함으로써 구멍부의 중심축을 어긋나게 하여, 도전성 접촉자의 휘어짐 방향을 일치시키려 하고 있었으나, 실제로는 그것으로도 불충분하기 때문에 상기한 바와 같이 양쪽 끝부가 삽입되는 2개의 플레이트의 구멍부를 어긋나게 하여 도전성 접촉자의 휘어짐 방향의 강제적인 제어를 행하고 있었다(도 24를 참조). 그러나 도 24에 나타내는 바와 같은 구조는, 각 플레이트에 설치된 구멍부의 중심축을 어긋나게 하는 가공을 행하기 때문에, 구멍 가공위치 설계가 복잡해져, 설계에 수고가 든다는 문제가 있었다. 또, 각각의 플레이트 구멍 가공에는 가공오차가 있어, 적층하였을 때에 정말로 구멍이 계단형상으로 어긋날지의 여부가 불확실하였다. 이 때문에 종래의 도전성 접촉자 유닛에서는 각 도전성 접촉자의 회로기판의 전극에 대한 하중을 균일화하여, 각 접촉부분에서의 접촉저항을 균일화하는 것이 곤란하고, 전기 특성검사 자체의 정밀도에 문제가 생길 염려가 있었다.
본 발명은 상기를 감안하여 이루어진 것으로, 외력이 가해졌을 때에 휘어지는 방향을 용이하게 제어할 수 있고, 더욱 고정밀도로 신뢰성이 높은 전기 특성검사를 실현하는 것이 가능한 도전성 접촉자 및 도전성 접촉자의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위하여 청구항 1에 기재된 발명은, 복수의 접속단자를 구비한 회로구조에 대하여, 상기 복수의 접속단자 중 어느 하나와 물리적으로 접촉함으로써 전기적인 접속을 확립하는 도전성 접촉자로서, 상기 도전성 접촉자의 본체부의 길이방향에 수직한 단면의 형상이 이방성을 가지는 것을 특징으로 한다.
청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 발명에서, 상기 본체부의 길이방향에 수직한 단면은, 상기 단면을 통과함과 동시에 서로 직교하는 2개의 축의 각각에 대하여 대칭인 형상을 이루는 것을 특징으로 한다.
청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 발명에서, 상기 본체부에 적층되고, 상기 본체부와는 다른 재료로 이루어지는 적층부를 더 구비한 것을 특징으로 한다.
청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 발명에서, 상기 본체부의 길이방향의 중심부근을 포함하는 영역으로서 상기 본체부의 양쪽 끝부를 포함하지 않는 영역의 표면을 피복하는 절연층을 더 구비한 것을 특징으로 한다.
청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 발명에서, 상기 본체부는 하나 또는 복수의 관통 구멍부가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 발명에서, 상기 본체부의 길이방향의 끝부 중 적어도 한쪽의 끝부는 첨예화되어 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 7에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 발명에서, 상기 본체부의 길이방향의 측면의 일부가 노치(notch)되어 이루어지는 잘록함부를 가지는 것을 특징으로 한다.
청구항 8에 기재된 발명은, 청구항 7에 기재된 발명에서, 상기 잘록함부는, 상기 본체부의 길이방향의 중심 부근에 설치된 것을 특징으로 한다.
청구항 9에 기재된 발명은, 복수의 접속단자를 구비한 회로구조에 대하여, 상기 복수의 접속단자 중의 어느 하나와 물리적으로 접촉함으로써 전기적인 접속을 확립하는 도전성 접촉자를 제조하는 도전성 접촉자의 제조방법으로서, 금속을 사용함으로써, 서로 동일한 형상을 이루는 복수의 도전성 접촉자의 본체부가 병진 대칭(Translation Symmetry)인 위치관계를 이루어 연결되는 본체부군(群)을 성형하는 성형공정과, 상기 성형공정에서 성형한 본체부군이 구비하는 각 본체부의 길이방향의 중심 부근을 포함하는 영역으로서, 각 본체부의 양쪽 끝부를 포함하지 않는 영역의 표면에 절연층을 형성하는 절연층 형성공정을 가지고, 상기 성형공정에서 성형된 상기 복수의 도전성 접촉자의 본체부의 각각은, 길이방향에 수직한 단면의 형상이 이방성을 가짐과 동시에, 상기 길이방향의 측면의 일부가 노치(notch)되어 이루어지는 잘록함부를 구비하고, 인접하는 상기 본체부의 잘록함부끼리가 연결되어 이루어지는 것을 특징으로 한다.
청구항 10에 기재된 발명은, 청구항 9에 기재된 발명에서, 서로 인접하는 상기 잘록함부를 연결하는 연결부의 길이방향에 수직한 단면의 면적은, 상기 잘록함부에서의 상기 본체부의 길이방향에 수직한 단면의 면적보다 작은 것을 특징으로 한다.
청구항 11에 기재된 발명은, 청구항 10에 기재된 발명에서, 상기 절연층 형성공정에서 절연층이 각각 형성된 복수의 도전성 접촉자에 대하여 각 도전성 접촉자에 연결된 상기 연결부를 회전함으로써 각 도전성 접촉자를 상기 본체부군으로부터 떼는 내는 떼어냄 공정을 더 가지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 도전성 접촉자 및 도전성 접촉자의 제조방법에 의하면, 상기 도전성 접촉자의 본체부의 길이방향에 수직한 단면의 형상에 이방성을 가지게 함으로싸, 외력이 가해졌을 때에 휘어지는 방향을 용이하게 제어할 수 있어, 더욱 고정밀도로 신뢰성이 높은 전기 특성검사를 실현하는 것이 가능하게 된다.
도 1은 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 사시도,
도 2는 도 1의 화살표 A 방향의 상면도,
도 3은 도 2의 B-B선 단면도,
도 4는 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자를 수용하는 도전성 접촉자 유닛의 구성을 나타내는 사시도,
도 5는 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자를 도전성 접촉자 유닛에 설치하여 옵셋하기 전의 상태를 나타내는 도,
도 6은 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자를 도전성 접촉자 유닛에 설치하여 옵셋한 후의 상태를 나타내는 도,
도 7은 옵셋 전후의 도전성 접촉자군의 각 선단부의 형태를 나타내는 도,
도 8은 본 발명의 실시형태 1의 제 1 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 사시도,
도 9는 본 발명의 실시형태 1의 제 2 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 사시도,
도 10은 본 발명의 실시형태 1의 제 3 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 사시도,
도 11은 본 발명의 실시형태 1의 제 4 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성 을 나타내는 사시도,
도 12는 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자의 선단부의 형상의 변형예(제 1 예)를 나타내는 사시도,
도 13은 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자의 선단부의 형상의 변형예(제 2 예)를 나타내는 사시도,
도 14는 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자의 선단부의 형상의 변형예(제 3 예)를 나타내는 사시도,
도 15는 본 발명의 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 사시도,
도 16은 본 발명의 실시형태 2의 제 1 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 사시도,
도 17은 본 발명의 실시형태 2의 제 2 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 사시도,
도 18은 본 발명의 실시형태 2의 제 3 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 단면도,
도 19는 본 발명의 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자의 제조방법의 성형공정에 의하여 성형된 본체부군의 구성을 나타내는 도,
도 20은 본체부군 중에서 인접하는 본체부를 확대하여 나타내는 부분확대 사시도,
도 21은 본 발명의 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자의 제조방법의 절연층 성형공정 후의 본체부군의 구성을 나타내는 도,
도 22는 도 21의 C-C선 단면도,
도 23은 본체부군의 다른 구성예를 나타내는 도,
도 24는 종래형의 도전성 접촉자의 도전성 접촉자 유닛에 대한 설치예를 나타내는 도,
도 25는 검사장치측에 접촉하는 도전성 접촉자의 설치구조를 나타내는 부분확대도이다.
※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 501 : 도전성 접촉자
11, 21, 61, 71, 81, 91, 101, 151, 511 : 본체부
12, 105, 512 : 절연층 22, 92 : 관통 구멍부
31, 41, 51 : 끝부 32, 42, 52 : 동체부
62, 72, 82, 93 : 적층부 100, 150 : 본체부군
102, 152 : 잘록함부 102a : 측면
103, 153 : 연결부 104, 154 : 유지 프레임부
111, 112, 113 : 선단부 200 : 도전성 접촉자 유닛
201, 600 : 제 1 플레이트 202, 700 : 제 2 플레이트
211, 212, 711, 712, 713 : 구멍부 301, 801 : 회로기판
302, 802 : 전극 401 : 반도체 집적회로
402 : 접속용 전극 601, 701 : 상층 플레이트
602, 703 : 하층 플레이트 702 : 중간층 플레이트
G : 도전성 접촉자군
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태(이후, 「실시형태」라 부른다)를 설명한다. 또한, 도면은 모식적인 것으로, 각 부분의 두께와 폭과의 관계, 각각의 부분의 두께의 비율 등은 현실의 것과는 다른 경우도 있는 것에 유의해야 하며, 도면 상호간에서도 서로의 치수의 관계나 비율이 다른 부분이 포함되는 경우가 있는 것은 물론이다.
(실시형태 1)
도 1은 본 발명의 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 사시도이다. 또, 도 2는 도 1의 화살표 A방향의 상면도이다. 또한 도 3은 도 2의 B-B 선 단면도이다. 이들 도면에 나타내는 도전성 접촉자(1)는 와이어 프로브라 불리우는 타입의 것으로, 평판형상이고, 양쪽 끝부가 V자 형상으로 첨예화된 본체부(11)와, 이 본체부(11)의 양쪽 끝부를 제외하는 중앙 부근의 본체부(11) 표면을 피복하도록 형성된 절연층(12)을 구비한다. 본체부(11)의 길이방향에 수직한 방향의 단면(횡단면)은, 도 3에도 나타내는 바와 같이 장방형을 하고 있다. 또, 절연층(12)을 가한 도전성 접촉자(1) 전체의 횡단면은 대략 타원형상을 하고 있다. 이 때문에 도전성 접촉자(1)는, 본체부(11)의 길이방향에 수직한 방향의 단면형상이 이방성을 가지고 있고, 특히 본 실시형태 1에서는 그 단면을 통과함과 동시에 서로 직교하는 2개의 축의 각각에 대하여 대칭인 형상을 하고 있다.
도 4는 상기한 구성을 가지는 도전성 접촉자(1)를 수용하는 도전성 접촉자 유닛의 개략 구성을 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자 유닛(200)은, 복수의 도전성 접촉자(1)를 수용하여, 전기 특성검사의 검사대상인 반도체 집적회로 등의 회로구조와 검사장치의 전기적인 접속을 확립하는 것이다. 도전성 접촉자 유닛(200)은, 각 도전성 접촉자(1)의 양쪽 끝부 부근에 설치되어 각 도전성 접촉자(1)를 수용 유지하는 제 1 플레이트(201)와 제 2 플레이트(202)를 구비하고, 이 2개의 플레이트 사이에 복수의 도전성 접촉자(1)가 규칙적으로 설치되어 있다. 도 4에 나타내는 경우, 도전성 접촉자군(G)은, 복수의 도전성 접촉자(1)가 일렬로 배치되는 것에 의하여 구성되어 있으나, 이것은 어디까지나 일례에 지나지 않고, 도전성 접촉자군(G)의 배치패턴은, 검사대상의 회로구조의 접속용 전극(접속단자)의 배치 패턴에 따라 정해진다.
도 5는 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자(1)를 도전성 접촉자 유닛(200)에 수용하여 설치하는 도중의 상태를 나타내는 도면이다[도면의 형편상, 도 4에 비하여 도전성 접촉자(1)의 길이방향을 짧게 하여 기재하고 있다]. 도 4 및 도 5에서 윗쪽에 위치하는 제 1 플레이트(201)의 구멍부(211)로부터 돌출하는 도전성 접촉자(1)의 선단부는, 검사대상의 회로구조에 설치된 접속용 전극에 접촉하는 한편, 도 4 및 도 5에서 아래쪽에 위치하는 제 2 플레이트(202)의 구멍부(212)로부터 돌출하는 도전성 접촉자(1)의 또 하나의 선단부는, 검사장치의 회로기판(301)의 전극에 접촉한다. 또한, 도전성 접촉자 유닛(200)을 사용한 전기 특성검사를 실시할 때에는, 통상의 경우, 도전성 접촉자 유닛(200)의 상하를 도 4와 반대로 하여 행하 나, 이후의 도면에서도, 편의상 도 4와 동일한 상하 위치관계 그대로 기재한다.
제 1 플레이트(201)의 구멍부(211)와 제 2 플레이트(202)의 구멍부(212)는, 도전성 접촉자(1)를 삽입 가능하고 동일한 지름을 가지는 원주형상을 하고 있다. 도전성 접촉자 유닛(200)에 대하여 도전성 접촉자(1)를 설치할 때에는, 도 5에 나타내는 상태로부터, 제 1 플레이트(201) 및 제 2 플레이트(202) 중 어느 한쪽의 플레이트를 다른쪽 플레이트에 대하여 도면의 수평방향으로 이동시킴으로써(이후, 이 조작을「옵셋」이라 부른다), 도 5에서 동축을 이루고 있던 구멍부(211, 212)의 서로의 중심축을 어긋나게 한다. 이 결과, 도전성 접촉자(1)는 외력을 받아 휘어지기 시작한다. 도전성 접촉자(1)는, 길이방향의 단면이 상기한 바와 같이 이방성을 가지는 형상을 하고 있기 때문에, 단면계수가 작은 방향, 즉 본체부(11)의 단면형상인 장방형의 긴 변과 수직한 방향(판 두께가 작은 방향)으로 휘어지기 시작한다.
도 6은 옵셋 후의 도전성 접촉자(1)의 설치상태를 나타내는 도면이다. 이 도면에 나타내는 바와 같이 도전성 접촉자(1)는, 구멍부(211, 212)의 끝부에 긴 변측의 본체부(11)의 표면이 맞닿도록 휘어진 상태에 있다. 이 상태에서 제 1 플레이트(201)의 구멍부(211)로부터 돌출하는 본체부(11)의 선단부분은, 검사대상의 반도체 집적회로(401)의 접속용 전극(402)에 접촉한다. 이것에 대하여 제 2 플레이트(202)의 구멍부(212)에 수용되어 있는 본체부(11)의 선단부분은, 회로기판(301)의 전극(302)에 접촉한다.
도 7은 본 실시형태 1에서, 옵셋 전후의 도전성 접촉자(1)의 선단부의 형태를 나타내는 도면으로, 도전성 접촉자 유닛(200)의 상면으로부터 도전성 접촉자 군(G)을 구성하는 구멍부(211)(의 일부)를 보았을 때의 상면도에 상당하고 있다. 이 도 7에 나타내는 바와 같이 상하의 구멍부(211, 212)의 중심축이 일치된 옵셋전의 상태 I(도 5를 참조)에서는, 각 도전성 접촉자(1)의 선단부분은 랜덤한 방향을 지향하고 있다. 이것에 대하여, 옵셋 후의 상태 II(도 6을 참조)에서는, 각 도전성 접촉자(1)가 동일하게 휘어지기 때문에, 각 구멍부(211)로부터 돌출되어 있는 도전성 접촉자(1)의 선단부분이 일치된 방향을 지향하고 있다.
종래의 원형 단면형상의 와이어 프로브의 경우, 본체부의 길이방향에 수직한 단면이 등방적이기 때문에, 상기와 마찬가지로 플레이트를 옵셋하였다 하여도 모든 와이어 프로브의 휘어짐상태를 똑같게 하는 것은 어려웠다. 이것에 대하여 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자는, 본체부의 길이방향에 수직한 단면이 비등방적으로서 이방성을 가지기 때문에, 상기한 바와 같이 옵셋하는 것만으로 휘어짐상태를 똑같게 하는 것이 가능하다.
여기서, 도전성 접촉자(1)의 제조방법에 대하여 설명한다. 도전성 접촉자(1)는, 도금, 에칭(습식 에칭, 건식 에칭을 포함한다), 전기주조법, 리소그래피(X 선 리소그래피, 자외선 리소그래피를 포함한다), 방전가공(와이어 방전가공을 포함한다) 등의 가공기술을 사용함으로써, 본체부(11)를 형성한 후, 코팅(캘린더가공, 압출, 침지, 스프레이, 스프리드, 전착을 포함한다) 등의 기술에 의하여 본체부(11)의 표면에 절연층(12)을 형성함으로써 제조된다. 또한 절연층(12)은, 화학기상증착법(CVD : Chemical Vapor Deposition), 스퍼터링, 도금 등의 가공기술을 사용하여 형성하여도 된다.
본체부(11)를 이루는 금속으로서는, 예를 들면 철(Fe)계, 니켈(Ni)계, 텅스텐(W)계 등의 내마모성이 우수한 금속을 적용할 수 있다. 또, 절연층(12)으로서는 폴리우레탄이나 폴리파라크실렌 등의 절연성부재를 적용할 수 있다. 또한 알루마이트 등의 산화막에 의하여 형성한 절연피막을 절연층(12)으로 하여도 된다.
이상 설명한 본 발명의 실시형태 1에 의하면, 도전성 접촉자의 본체부의 길이방향에 수직한 단면의 형상에 이방성을 가지게 함으로써, 외력이 가해졌을 때에 휘어지는 방향을 용이하게 제어할 수 있다. 이 결과, 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자를 도전성 접촉자 유닛에 설치하여 전기 특성검사를 행하는 경우, 각 도전성 접촉자의 전극에 대한 하중이 균일화되고, 각 접촉부분에서의 접촉저항을 균일화할 수 있어, 더욱 고정밀도로 신뢰성이 높은 전기 특성검사를 실현하는 것이 가능하게 된다.
또, 본 실시형태 1에 의하면, 본체부의 길이방향의 중심부근을 포함하는 영역으로서 상기 본체부의 양쪽 끝부를 포함하지 않는 영역의 표면을 피복하는 절연층을 형성함으로써, 복수의 도전성 접촉자를 도전성 접촉자 유닛에 설치하였을 때에 인접하는 도전성 접촉자의 전기적인 단락을 방지함과 동시에, 도전성 접촉자의 접촉에 의한 손상 등을 방지할 수 있다.
또, 본 실시형태 1에 의하면, 도전성 접촉자의 본체부의 길이방향에 수직한 단면의 형상에 이방성을 가지게 함으로써, 그 도전성 접촉자를 유지하는 도전성 접촉자 유닛의 플레이트의 구조가 단순한 것이어도 된다(도 5 및 도 6을 참조). 따라서, 설계도 용이하고, 비용이 들지 않아도 된다.
(실시형태 1의 변형예)
도 8은 본 실시형태 1의 제 1 변형예에 관한 도전성 접촉자의 본체부분의 구성을 나타내는 사시도이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자(2)는, 평판 형상으로서 양쪽 끝부가 V자 형상으로 첨예화된 본체부(21)에, 동일 형상을 이루는 3개의 관통 구멍부(22)가 형성되어 있다. 이 관통 구멍부(22)는, 도전성 접촉자(2)의 스프링계수를 조정하기 위한 것으로, 그 수, 형상, 설치위치는 도 8에 나타내는 것에 한정되는 것은 아니다.
도 9는 본 실시형태 1의 제 2 변형예에 관한 도전성 접촉자의 본체부분의 구성을 나타내는 사시도이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자(3)는, V 자형의 첨예단을 가지는 2개의 끝부(31)와, 2개의 끝부(31) 사이에 개재하는 동체부(32)를 가진다. 이와 같은 형상을 이루는 도전성 접촉자(3)는, 상기한 도전성 접촉자(1)의 본체부(11)의 중앙부 부근을 노치함으로써 얻어진다. 이 경우에는 동체부(32)를 다른 부분에 비하여 잘록해진 형상으로 함으로써, 상기한 도전성 접촉자(1)의 본체부(11)와는 다른 스프링정수를 가지게 할 수 있다. 또한, 동체부(32)의 형상(폭, 길이 등)에서는 적절하게 변경 가능하다.
도 10은, 본 실시형태 1의 제 3 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 사시도이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자(4)는, 끝부(41)가 대략 타원뿔대 형상을 하는 한편, 동체부(42)는 평판형상을 하고 있다. 이와 같은 형상을 가지는 도전성 접촉자(4)는, 종래형의 와이어 프로브[도 24의 도전성 접촉자(501)를 참조]에 프레스가공을 실시함으로써 성형할 수 있기 때문에, 특히 제조비용을 낮게 억제할 수 있다.
도 11은 본 실시형태 1의 제 4 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 사시도이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자(5)는, 종래형의 와이어 프로브의 양쪽 끝부를 제외하는 중앙부분에 프레스가공을 실시함으로써 평판형상의 동체부(52)를 형성한 것이다. 이 결과, 양측의 끝부(51)는 첨예단을 가지는 한편, 동체부(52)는 이방성을 가지기 때문에 휘어짐 방향의 제어가 하기 쉬운 구조로 되어 있다. 이 경우에도 종래형의 와이어 프로브를 사용하여 제조할 수 있기 때문에, 상기한 도전성 접촉자(4)와 마찬가지로 제조비용을 낮게 억제할 수 있다.
또한, 이상 설명한 도전성 접촉자(2∼5)의 중앙부근에 대하여, 도전성 접촉자(1)와 동일하게 절연층을 형성하여도 되는 것은 물론이다.
도 12 내지 도 14는, 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자의 선단부 형상의 변형예를 나타내는 부분 사시도이고, 도전성 접촉자(1)의 본체부(11)의 선단부를 가공한 것에 상당하고 있다. 이 중, 도 12에 나타내는 선단부(111)는, 본체부(11)의 선단부를 더욱 예리하게 가공한 것이다. 또, 도 13에 나타내는 선단부(112)는, 도전성 접촉자(1)의 본체부의 선단부의 V자 곡면의 모따기를 행한 것이다. 또한 도 14에 나타내는 선단부(113)는 바늘형상으로 첨예화한 것이다. 이들 도면에 나타내는 선단부의 형상은, 검사대상의 회로구조나, 검사장치의 회로기판의 구조 등에 따라 최적의 것을 선택하면 되고, 도전성 접촉자의 양쪽 끝부의 형상이 다르게 형성하여도 상관없다.
또한, 상기한 선단부(111∼113)는, 방전가공(와이어 방전가공을 포함한다), 절삭, 선삭(旋削), 연삭 등의 기술을 적용함으로써 형성할 수 있다.
(실시형태 2)
도 15는, 본 발명의 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 사시도이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자(6)는, 평판 형상으로서, 양쪽 끝부가 V자 형상으로 첨예화된 본체부(61)와, 이 본체부(61)의 중앙부근에 적층되고, 본체부(61)보다 체적이 작은 직육면체 형상을 이루는 적층부(62)를 구비한다. 이 도전성 접촉자(6)도, 본체부(61)의 길이방향에 수직한 횡단면은 이방성을 가지고 있다. 따라서 복수의 도전성 접촉자(6)를 상기 실시형태 1과 마찬가지로 도전성 접촉자 유닛(200)에 설치하여 옵셋하면 그것들 복수의 도전성 접촉자(6)의 휘어지는 방향을 똑같게 일치시킬 수 있다.
본체부(61)와 적층부(62)는 다른 금속에 의하여 구성된다. 예를 들면 본체부(61)에는 내마모성에 우수한 철(Fe)계, 니켈(Ni)계, 또는 텅스텐(W)계의 금속을 사용하는 한편으로, 적층부(62)에는 전기저항이 낮은 구리(Cu)계, 은(Ag)계, 금(Au)계, 또는 팔라듐(Pd)계의 금속을 사용하면, 내마모성이 우수함과 동시에, 전기저항 특성에도 우수한 도전성 접촉자를 실현할 수 있다. 이것은 하나의 종류의 금속에 의하여 도전성 접촉자를 형성하는 경우에는 얻어지지 않는 효과로서, 본 실시형태 2에 특유의 효과이다.
도전성 접촉자의 특성에 영향을 미치는 요소로서는, 상기한 내마모성이나 전기저항 이외에도 스프링성(강성), 내식성, 저접촉 저항, 인덕턴스 등이 있다. 따라서 도전성 접촉자(6)를 형성할 때에는, 그 도전성 접촉자(6)에 부여해야 할 특성 을 실현할 수 있는 금속을 조합시켜 적층하면 된다. 이 의미에서는 도전성 접촉자를 구성하기 위하여 적층하는 금속은 2매일 필요는 없고, 3매 이상이어도 상관없다.
도전성 접촉자(6)를 제조하는 경우에는, 상기 실시형태 1과 마찬가지로 도금, 에칭(습식 에칭, 건식 에칭을 포함한다), 전기주조법, 리소그래피(X선 리소그래피, 자외선 리소그래피를 포함한다), 방전가공(와이어 방전가공을 포함한다) 등의 가공기술을 적용함으로써 본체부(61)와 적층부(62)를 적층하면 된다.
본 실시형태 2에서도 도전성 접촉자(6)의 본체부(61) 및 적층부(62)의 주위를 피복하도록 절연층을 형성할 수도 있다. 이와 같은 절연층을 형성할 때에는 상기 실시형태 1에서 설명한 것과 동일한 방법을 적용하면 된다.
이상 설명한 본 발명의 실시형태 2에 의하면, 도전성 접촉자의 본체부의 길이 방향에 수직한 단면의 형상에 이방성을 가지게 함으로써, 외력이 가해졌을 때에 휘어지는 방향을 용이하게 제어할 수 있다. 이 결과, 본 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자를 도전성 접촉자 유닛에 설치하여 전기 특성검사를 행하는 경우, 각 도전성 접촉자의 전극에 대한 하중이 균일화되어 각 접촉부분에서의 접촉저항을 균일화할 수 있어, 더욱 고정밀도로 신뢰성이 높은 전기 특성검사를 실현하는 것이 가능해진다.
또, 본 실시형태 2에 의하면, 본체부를 구성하는 금속과는 다른 종류의 금속을 본체부에 적층함으로써, 도전성 접촉자에 여러가지의 특성을 용이하게 부여하는 것이 가능해진다.
또한, 본 실시형태 2에 의하면, 본체부의 길이방향의 중심부근을 포함하는 영역으로서 상기 본체부의 양쪽 끝부를 포함하지 않는 영역의 표면을 피복하는 절연층을 형성함으로써, 복수의 도전성 접촉자를 도전성 접촉자 유닛에 설치하였을 때에 인접하는 도전성 접촉자의 전기적인 단락을 방지함과 동시에, 도전성 접촉자의 접촉에 의한 손상 등을 방지할 수 있다.
(실시형태 2의 변형예)
도 16은 본 실시형태 2의 제 1 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 사시도이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자(7)는, 상기한 도전성 접촉자(6)의 본체부(61)와 동일한 형상을 하는 본체부(71)에, 적층부(62)와는 달리 길이 방향의 선단부가 첨예화된 형상을 이루는 적층부(72)가 적층되어 있다. 이와 같이 적층부의 형상을 바꿈으로써 도전성 접촉자(7)가 가지는 특성을 도전성 접촉자(6)가 가지는 특성과는 다른 것으로 할 수 있다.
도 17은 본 실시형태 2의 제 2 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 사시도이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자(8)는, 동일한 표면적을 가지는 본체부(81)와 적층부(82)가 적층되어 있으나, 적층방향의 두께(판두께)는 본체부(81)쪽이 크다. 이와 같이 본체부(81)의 판두께와 적층부(82)의 판두께와의 비를 바꾸는 것에 의해서도 도전성 접촉자(8)가 가지는 특성을 조정하는 것이 가능하다.
도 18은 본 실시형태 2의 제 3 변형예에 관한 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 단면도이다. 상기 도면에 나타내는 도전성 접촉자(9)는, 평판 형상의 본체 부(91)에 3개의 관통 구멍부(92)가 형성되어 있고, 각 관통 구멍부(92)의 한 쪽의 개구면을 각각 피복하도록 3개의 적층부(93)가 적층되어 있다. 또한, 적층부(93)를 또 한쪽의 개구면에 더 적층하여도 되고, 관통 구멍부(92) 중의 일부에만 적층부(93)를 적층하 도록 하여도 된다.
또한, 이상 설명한 도전성 접촉자(6∼9)의 구성을 적절하게 조합시킴으로써 또 다른 변형예를 구성하는 것도 가능하다. 또, 본 실시형태 2에서도 상기 실시형태1과 마찬가지로, 도전성 접촉자의 본체부의 중심부근을 잘록하게 하거나(도 9를 참조), 선단부의 형상을 변경하는 가공(도 12 내지 도 14를 참조)을 실시하거나 하는 것이 가능하다. 또한 적층부를 금속 이외의 재료로 구성하여도 된다. 예를 들면 도 17과 같은 구조에서, 한쪽 면 또는 양면에 수지나 수지도료 등을 적층하면, 절연층을 코팅한 것과 동일한 작용효과가 얻어진다. 이중, 한쪽 면만 수지를 적층한 경우에도 도전성 접촉자(8)는 이방성을 가지고 있기 때문에, 그 휘어짐 방향은 똑같게 일치하고, 인접한 도전성 접촉자(8)끼리에서 단락을 발생하는 일은 없다.
(실시형태 3)
본 발명의 실시형태 3은, 길이방향에 직교하는 횡단면이 이방성을 가지는 본체부와, 이 본체부의 중앙부분을 피복하는 절연층을 구비한 도전성 접촉자를 동시에 또한 대량으로 제조하는 경우에 적합한 도전성 접촉자의 제조방법을 주는 것이다.
본 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자의 제조방법에서는, 먼저 도금, 에칭(습식 에칭, 건식 에칭을 포함한다), 전기주조법, 리소그래피(X선 리소그래피, 자외선 리소그래피를 포함한다), 방전가공(와이어 방전가공을 포함한다) 등의 가공기술을 적용함으로써, 복수의 도전성 접촉자의 본체부를 구비한 본체부군을 성형한다(성형공정). 도 19는 이 성형공정에 의하여 성형된 본체부군의 구성을 나타내는 도면이다. 또, 도 20은 본체부군 중에서 인접하는 본체부를 확대하여 나타내는 부분확대 사시도이다. 이들 도면에 나타내는 바와 같이 본체부군(100)은, 평판 형상이고 양쪽 끝부가 V자 형상으로 첨예화된 복수의 본체부(101)가 연결되어 이루어진다. 본체부(101)의 중심부분은, 본체부(101)의 길이방향과 직교하는 방향으로 노치된 잘록함부(102)가 형성되어 있다. 이 잘록함부(narrowed sections)(102)의 측면(102a)에는 인접하는 본체부(101)끼리를 연결하는 연결부(103)가 형성되어 있다.
가장 끝부에 형성된 본체부(101)는, 연결부(103)를 거쳐 일련의 본체부(101)를 유지하는 유지 프레임부(104)에 연결되어 있다. 유지 프레임부(104)는, 도 19에도 나타내는 바와 같이 복수의 본체부(101)를 각 본체부(101)의 길이방향이 서로 평행이고, 또한 각 본체부(101)의 대응하는 끝부의 선단위치가 일직선상에 있도록 유지되어 있다. 이 의미에서 각 본체부(101)는, 인접하는 본체부(101)와 연결되는 방향(도 19에서 연직방향)에 대하여 병진대칭인 위치관계에 있다고 할 수 있다.
그런데, 서로 인접하는 잘록함부(102)를 연결하는 연결부(103)의 길이방향에 수직한 단면(횡단면)의 면적은, 잘록함부(102)에서의 본체부(101)의 길이방향에 수직한 단면의 면적보다 작지 않으면 안된다. 이것에 의하여 개개의 본체부(101)를 손상하지 않고 본체부군(100)으로부터 용이하게 떼어 내는 것이 가능하게 된다.
이상 설명한 성형공정에 계속해서, 각 본체부(101)의 양쪽 끝부를 적절하게 마스킹한 후, 마스킹을 실시하고 있지 않은 본체부(101)의 중앙부분에 절연층을 형성한다(절연층 형성공정). 여기에서의 절연층은, 상기 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자(1)의 절연층(12)와 동일하게 형성할 수 있다. 도 21은 절연층 형성공정을 행한 후의 본체부군의 구성을 나타내는 도면이다. 또, 도 22는 도 21의 C-C선 단면도이다. 이들 도 21 및 도 22에 나타내는 바와 같이 잘록함부(102)와 연결부(103) 사이의 간극은 절연층(105)에 의하여 다 메워져 있다.
이후, 절연층(105)이 각각 형성된 도전성 접촉자(10)를 본체부군(100)으로부터 떼어낸다(떼어냄공정). 이 떼어냄 공정에서는 연결부(103)의 길이방향 중심축을 회전중심으로 하여 도전성 접촉자(10)를 회전시킴으로써 본체부군(100)으로부터의 떼어냄을 행한다. 상기 성형공정한 곳에서 설명한 바와 같이 연결부(103)는 본체부(101)보다 횡단면의 단면적이 작기 때문에, 도전성 접촉자(10)를 상기한 바와 같이 회전하면 연결부(103)의 쪽이 회전의 작용에 의하여 잘록함부(102)의 측면(102a)으로부터 이탈한다. 따라서 도전성 접촉자(10)를 단체로 유지 프레임부(104)으로부터 떼어 낼 수 있다. 이때, 연결부(103)는 잘록함부(102)와의 경계부근에서 꺾이기 때문에 절연층(105)의 표면으로부터 연결부(103)의 나머지를 용이하게 뽑아 내어 처분할 수 있다.
이와 같이, 본체부(101)의 잘록함부(102)의 측면(102a)에 연결부(103)를 연결시킴으로써, 떼어냄 공정 후에 절연층(105)으로부터 연결부(103)가 빠진 부분은 공동이 된다. 이 공동은 측면(102a)의 표면에 연결되어 있으나, 그 표면은 절연층(105)의 표면보다 충분히 안쪽의 절연층(105) 내부에 위치하기 때문에, 도전성 접촉자(10)를 도전성 접촉자 유닛(200)에 설치하였을 때에 인접하는 도전성 접촉자(10)가 만일 접촉하였다 하여도 단락하거나 하는 위험성은 없다.
이상 설명한 본 발명의 실시형태 3에 의하면 연결부를 거쳐 복수의 도전성 접촉자의 본체부를 똑같게 나열하여 성형함으로써, 각 본체부에 형성되는 절연층에 불균일이 생기지 않는다. 따라서 균일한 형상을 이루는 복수의 도전성 접촉자를 동시에 또한 대량으로 제조하는 것이 가능해져, 생산성의 향상을 실현할 수 있다.
또, 본 실시형태 3에 의하면, 본체부의 잘록함부에 연결부를 연결시킴으로써, 절연층으로부터 연결부가 빠진 부분은 공동이 되고, 도전성을 가지는 표면이 절연층 표면보다 충분히 안쪽의 절연층 내부에 위치하기 때문에, 도전성 접촉자 유닛에 설치한 도전성 접촉자 사이에서 단락을 일으키거나 할 염려도 없다.
본 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자의 제조방법에 의하여 제조된 도전성 접촉자는, 상기 실시형태 1 및 2와 마찬가지로 본체부의 길이방향에 수직한 단면의 형상에 이방성을 가지고 있기 때문에, 외력이 가해졌을 때에 휘어지는 방향을 용이하게 제어할 수 있다. 이 결과, 본 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자를 도전성 접촉자 유닛에 설치하여 전기 특성검사를 행하는 경우에도, 각 도전성 접촉자의 전극에 대한 하중이 균일화되고, 각 접촉부분에서의 접촉저항을 균일화할 수 있어, 더욱 고정밀도로 신뢰성이 높은 전기 특성검사를 실현하는 것이 가능해진다.
또, 본 실시형태 3의 경우도, 본체부의 길이방향의 중심부근을 포함하는 영역으로서, 상기 본체부의 양쪽 끝부를 포함하지 않는 영역의 표면을 피복하는 절연층을 형성함으로써, 복수의 도전성 접촉자를 도전성 접촉자 유닛에 설치하였을 때 에 인접하는 도전성 접촉자의 전기적인 단락을 방지함과 동시에, 도전성 접촉자의 접촉에 의한 손상 등을 방지할 수 있다.
또한, 본체부군의 구성은, 도 19에 나타내는 것에 한정되는 것은 아니다. 도 23은 본체부군의 다른 구성예를 나타내는 도면이다. 상기 도면에 나타내는 본체부군(150)에 연결되는 본체부(151)는, 길이방향을 따라 2개의 잘록함부(152)를 구비하고 있다. 각 잘록함부(152)에는 상기한 잘록함부(102)의 경우와 마찬가지로 연결부(153)가 연결되어 있고, 유지 프레임부(154)에 의하여 복수의 본체부(151)가 병진대칭인 위치관계를 이루면서 유지되어 있다. 이 때문에, 도 23에 나타내는 경우에는 인접하는 본체부(151)끼리가 2개의 연결부(153)를 거쳐 연결되어 있다. 이와 같은 구성을 가지는 본체부군(150)으로부터 도전성 접촉자를 제조할 때에는, 상기와 마찬가지로 절연층을 형성한 후, 연결부(153)를 본체부(151)에 대하여 회전함으로써 본체부(151)와 연결부(153)를 떼어낸다. 이 결과, 본체부(151)는 자신에게 연결되어 있는 4개의 연결부(153)가 모두 떼어 내졌을 때, 본체부군(150)으로부터 떼어 내지게 된다.
(그 밖의 실시형태)
지금까지 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태로서, 실시형태 1 내지 실시형태 3을 상세하게 설명하여 왔으나, 본 발명은 그것들 3개의 실시형태에 의해서만 한정되어야 하는 것이 아니다. 즉, 본 발명은 이 명세서에서는 기재하고 있지 않은 여러가지 실시형태 등을 포함할 수 있는 것으로, 특허청구범위에 의하여 특정되는 기술적 사상을 일탈하지 않는 범위 내에서 여러가지의 설계변경 등을 실시하는 것이 가능하다.
본 발명은, 복수의 접속단자를 구비한 회로구조의 전기 특성검사를 행할 때, 그 회로구조와 검사장치 사이의 전기적인 접속을 확립하는 수단으로서 적합하다.

Claims (11)

  1. 복수의 접속단자를 구비한 회로구조에 대하여, 상기 복수의 접속단자 중의 어느 하나와 물리적으로 접촉함으로써 전기적인 접속을 확립하는 도전성 접촉자에 있어서,
    상기 도전성 접촉자의 본체부의 길이방향에 수직한 단면의 형상이 이방성을 가지는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 본체부의 길이방향에 수직한 단면은, 상기 단면을 통과함과 동시에 서로 직교하는 2개의 축의 각각에 대하여 대칭인 형상을 이루는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 본체부에 적층되고, 상기 본체부와는 다른 재료로 이루어지는 적층부를더 구비한 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 본체부의 길이방향의 중심 부근을 포함하는 영역으로서, 상기 본체부의 양쪽 끝부를 포함하지 않는 영역의 표면을 피복하는 절연층을 더 구비한 것을 특징 으로 하는 도전성 접촉자.
  5. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 본체부는, 하나 또는 복수의 관통 구멍부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자.
  6. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 본체부의 길이방향의 끝부 중 적어도 한쪽의 끝부는 첨예화되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자.
  7. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 본체부의 길이방향의 측면의 일부가 노치(notch)되어 이루어지는 잘록함부를 가지는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 잘록함부는, 상기 본체부의 길이방향의 중심 부근에 설치된 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자.
  9. 복수의 접속단자를 구비한 회로구조에 대하여, 상기 복수의 접속단자 중의 어느 하나와 물리적으로 접촉함으로써 전기적인 접속을 확립하는 도전성 접촉자를 제조하는 도전성 접촉자의 제조방법에 있어서,
    금속을 사용함으로써, 서로 동일한 형상을 이루는 복수의 도전성 접촉자의 본체부가 병진 대칭(Translation Symmetry)인 위치관계를 이루어 연결되는 본체부군(群)을 성형하는 성형공정과,
    상기 성형공정에서 성형한 본체부군이 구비하는 각 본체부의 길이방향의 중심 부근을 포함하는 영역으로서, 각 본체부의 양쪽 끝부를 포함하지 않는 영역의 표면에 절연층을 형성하는 절연층 형성공정을 가지고,
    상기 성형공정에서 성형된 상기 복수의 도전성 접촉자의 본체부의 각각은, 길이방향에 수직한 단면의 형상이 이방성을 가짐과 동시에, 상기 길이방향의 측면의 일부가 노치(notch)되어 이루어지는 잘록함부를 구비하고, 인접하는 상기 본체부의 잘록함부끼리가 연결되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자의 제조방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    서로 인접하는 상기 잘록함부를 연결하는 연결부의 길이방향에 수직한 단면의 면적은, 상기 잘록함부에서의 상기 본체부의 길이방향에 수직한 단면의 면적보다 작은 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자의 제조방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 절연층 형성공정에서 절연층이 각각 형성된 복수의 도전성 접촉자에 대 하여 각 도전성 접촉자에 연결된 상기 연결부를 회전하여, 각 도전성 접촉자를 상기 본체부군으로부터 떼는 내는 떼어냄공정을 더 가지는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자의 제조방법.
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