TWI712802B - 探針卡裝置及其類頸式探針 - Google Patents

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TWI712802B
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Abstract

本發明公開一種探針卡裝置及其類頸式探針，所述類頸式探針呈長形且包含導電針體與環狀絕緣體。導電針體包含行程段及分別自行程段的兩端延伸的兩個末端段。行程段包含兩個寬側面及兩個窄側面、且於每個寬側面凹設形成有自兩個窄側面的其中之一延伸至其中另一的長溝槽。兩個長溝槽相鄰設置且相隔有最小距離，其為兩個寬側面之間的最大距離的95%～75%。環狀絕緣體包圍於導電針體形成有兩個長溝槽的部位，類頸式探針在設置於兩個長溝槽的環狀絕緣體的部位具有一厚度，其為最大距離的85%～115%。

Description

探針卡裝置及其類頸式探針
本發明涉及一種探針卡，尤其涉及一種探針卡裝置及其類頸式探針。
現有探針卡裝置的導電探針包含有一導電針體及形成在所述導電針體中央處的一絕緣層，而所述導電針體的寬度與厚度大致相同，所以上述絕緣層整體是呈突出狀。然而，現有導電探針的上述導電針體與絕緣層之間的配合構造已經行之有年，因而也無形中阻礙了現有探針卡裝置的進一步研發與進步。
於是，本發明人認為上述缺陷可改善，乃特潛心研究並配合科學原理的運用，終於提出一種設計合理且有效改善上述缺陷的本發明。
本發明實施例在於提供一種探針卡裝置及其類頸式探針，其能夠有效地改善現有導電探針所可能產生的缺陷。
本發明實施例公開一種探針卡裝置，其包括：一第一導板單元與一第二導板單元，彼此間隔地設置；以及多個類頸式探針，各呈長形且沿其長度方向具有一針長度，並且多個所述類頸式探針穿設於所述第一導板單元與所述第二導板單元；其中，每個所述類頸式探針包含有：一導電針體，包含有：一行程段，位於所述第一導板單元與所述第二導板單元之間且包含有兩個寬側面及兩個窄側面，並且所述行程段於每個所述寬側面凹設形成有自其中一個所述窄側面延伸至其中另一個所述窄側面的一長溝槽；其中，兩個所述長溝槽彼此相鄰設置且相隔有一最小距離，並且所述最小距離為兩個所述寬側面之間的一最大距離的95%～75%；及兩個末端段，分別自所述行程段的兩端延伸穿出所述第一導板單元與所述第二導板單元；及一環狀絕緣體，設置於所述導電針體的兩個所述長溝槽、並設置於位在兩個所述長溝槽之間的兩個所述窄側面的部位上；其中，所述類頸式探針在設置於兩個所述長溝槽的所述環狀絕緣體的部位具有一厚度，其為所述最大距離的85%～115%；其中，所述第一導板單元與所述第二導板單元能夠以介於所述針長度的12%～19%的一位移距離彼此斜向錯位，以使多個所述類頸式探針的所述行程段朝相同方向彎曲，並且每個所述行程段的兩個所述寬側面所分別對應形成的兩個反曲點分別位於兩個所述長溝槽。
本發明實施例也公開一種探針卡裝置的類頸式探針，其呈長形且包括：一導電針體，包含有：一行程段，包含有兩個寬側面及兩個窄側面，並且所述行程段於每個所述寬側面凹設形成有自其中一個所述窄側面延伸至其中另一個所述窄側面的一長溝槽；其中，兩個所述長溝槽彼此相鄰設置且相隔有一最小距離，並且所述最小距離為兩個所述寬側面之間的一最大距離的95%～75%；及兩個末端段，分別自所述行程段的兩端延伸所形成；以及一環狀絕緣體，包圍於所述導電針體形成有兩個所述長溝槽的部位；其中，所述類頸式探針在設置於兩個所述長溝槽的所述環狀絕緣體的部位具有一厚度，其為所述最大距離的85%～115%；其中，所述類頸式探針的兩個所述末端段能受力而使所述行程段呈彎曲狀、且使兩個所述寬側面所分別對應形成的兩個反曲點分別位於兩個所述長溝槽內。
綜上所述，本發明實施例所公開的探針卡裝置及其類頸式探針，導電針體通過形成有兩個所述長溝槽，以有效地控制其下壓力量，並可使得所述導電針體在頂抵於待測物時的力量能被維持在預設的條件下，進而令所述導電針體可以穩定地頂抵且不破壞上述待測物。
再者，所述類頸式探針可以通過調整所述導電針體的最小距離，以改變所述類頸式探針在受力時所能提供的反作用力，進而利於符合不同的需求。再者，所述類頸式探針通過控制所述最小距離與最大距離之間的比例，據以有效地維持其信號傳輸效果。
另，所述類頸式探針通過形成兩個所述長溝槽，以有效地降低所述環狀絕緣體突伸出寬側面的厚度，進而達到保護所述環狀絕緣體的效果（如：所述類頸式探針在穿過所述第一導板單元的植針過程中，能有效地避免所述環狀絕緣體被所述第一導板單元所刮傷）。
又，所述導電針體通過形成兩個所述長溝槽，使得所述類頸式探針能在作動時的彎曲部位集中在形成有兩個長溝槽的部位（如：反曲點位於長溝槽），進而有效地控制每個所述類頸式探針的作動方向一致性，並且令每個所述類頸式探針在測試的過程中（如：頂抵於待測物）能獨立作業且不互相干涉。
為能更進一步瞭解本發明的特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與附圖，但是此等說明與附圖僅用來說明本發明，而非對本發明的保護範圍作任何的限制。
以下是通過特定的具體實施例來說明本發明所公開有關“探針卡裝置及其類頸式探針”的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本發明的優點與效果。本發明可通過其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節也可基於不同觀點與應用，在不悖離本發明的構思下進行各種修改與變更。另外，本發明的附圖僅為簡單示意說明，並非依實際尺寸的描繪，事先聲明。以下的實施方式將進一步詳細說明本發明的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本發明的保護範圍。
應當可以理解的是，雖然本文中可能會使用到“第一”、“第二”、“第三”等術語來描述各種元件或者信號，但這些元件或者信號不應受這些術語的限制。這些術語主要是用以區分一元件與另一元件，或者一信號與另一信號。另外，本文中所使用的術語“或”，應視實際情況可能包括相關聯的列出項目中的任一個或者多個的組合。
[實施例一]
請參閱圖1至圖9所示，其為本發明的實施例一。如圖1至圖3所示，本實施例公開一種探針卡裝置100，其相反兩側能用來分別頂抵於一轉接板（space transformer）與一待測物（如：半導體晶圓）。其中，所述探針卡裝置100包含有一第一導板單元1、與所述第一導板單元1間隔地設置的一第二導板單元2、夾持於所述第一導板單元1與第二導板單元2之間的一間隔板（未繪示）、及穿設於所述第一導板單元1與第二導板單元2的多個類頸式探針3。
需說明的是，所述類頸式探針3於本實施例中是以搭配所述第一導板單元1、第二導板單元2、及間隔板來說明，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述類頸式探針3也可以是獨立地被應用（如：販賣）或搭配其他構件使用。
於本實施例中，所述第一導板單元1包含有多個第一導板11（及夾持於相鄰的兩個所述第一導板11之間的間隔片），並且所述第二導板單元2包含有多個第二導板21（及夾持於相鄰的兩個所述第二導板21之間的間隔片）。其中，多個所述第一導板11能夠彼此錯位設置，多個所述第二導板21也能夠彼此錯位設置，而所述第一導板單元1能夠相對於所述第二導板單元2彼此錯位設置。然而，在本發明未繪示的其他實施例中，所述第一導板單元1也可以包含有一個第一導板11，並且所述第二導板單元2可以包含有一個第二導板21。
再者，所述間隔板可以是一環形構造，並且間隔板夾持於所述第一導板單元1與第二導板單元2的相對應外圍部位，但本發明不受限於此。舉例來說，於本發明未繪示的其他實施例中，所述探針卡裝置100的間隔板也可以省略或是其他構件取代。
需先說明的是，由於多個所述類頸式探針3的構造於本實施例中大致相同，所以為了便於說明，以下僅介紹單個所述類頸式探針3的構造，但本發明不以此為限。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，多個所述類頸式探針3的構造也可以有所差異。
再者，為便於理解所述類頸式探針3的構造，以下將先以多個所述第一導板11彼此錯位設置，多個所述第二導板21也彼此錯位設置，但所述第一導板單元1尚未相對於所述第二導板單元2錯位設置的情況來進行所述類頸式探針3的構造說明。
如圖1至圖4所示，所述類頸式探針3呈長形且沿其長度方向L具有一針長度L3，並且垂直於所述長度方向L的所述類頸式探針3的任一個截面於本實施例中是呈一矩形來說明，但本發明不以此為限。其中，所述類頸式探針3包含有一導電針體31及包覆於所述導電針體31大致中央處的一環狀絕緣體32；也就是說，如果包覆於導電針體的材質非為絕緣，則該材質不同於本實施例所指的環狀絕緣體32。
所述導電針體31的材質例如是銅合金或鎳合金，並且所述導電針體31於本實施例中呈直條狀且為一體成形的構造，但本發明不受限於此。其中，所述導電針體31包含有一行程段311以及分別自所述行程段311的兩端（一體地）延伸所形成的兩個末端段312，並且所述行程段311位於所述第一導板單元1與所述第二導板單元2之間，而兩個所述末端段312則是分別穿出所述第一導板單元1與所述第二導板單元2。
所述行程段311（的外表面）包含有分別位於相反兩側的兩個寬側面311a及分別位於相反兩側的兩個窄側面311b，並且所述行程段311於每個所述寬側面311a凹設形成有自其中一個所述窄側面311b延伸至其中另一個所述窄側面311b的一長溝槽311c，而所述行程段311於本實施例中未形成有凸出於兩個所述寬側面311a與兩個所述窄側面311b的任何突出狀結構。也就是說，設有突出狀結構（如：用來頂抵於第一導板單元1或第二導板單元2）的行程段則非為本實施例所指的行程段311。
據此，所述導電針體31通過形成有兩個所述長溝槽311c，以有效地控制其下壓力量，並可使得所述導電針體31在頂抵於待測物時的力量能被維持在預設的條件下，進而令所述導電針體31可以穩定地頂抵且不破壞上述待測物。
其中，每個所述長溝槽311c是沿著垂直所述長度方向L的一方向（如：圖2中的水平方向）自其中一個所述窄側面311b延伸至其中另一個所述窄側面311b。也就是說，每個所述長溝槽311c的延伸距離（或寬度）大致為兩個所述窄側面311b之間的距離。再者，任一個所述長溝槽311c在所述長度方向L上的一長度L311c，其為所述行程段311在所述長度方向L上的一長度L311的至少50%。舉例來說，如圖1所示，所述長溝槽311c的長度L311c為所述行程段311的長度L311的45%～60%；或者，如圖7所示，所述長溝槽311c的長度L311c為所述行程段311的長度L311的80%～95%。
更詳細地說，兩個所述長溝槽311c彼此相鄰設置且相隔有一最小距離Dmin（如：兩個所述長溝槽311c的槽底之間的距離），並且所述最小距離Dmin為兩個所述寬側面311a之間的一最大距離Dmax的95%～75%。據此，所述類頸式探針3可以通過調整所述導電針體31的最小距離Dmin，以改變所述類頸式探針3在受力時所能提供的反作用力，進而利於符合不同的需求。再者，所述類頸式探針3通過控制所述最小距離Dmin與最大距離Dmax之間的比例，據以有效地維持其信號傳輸效果。
再者，兩個所述長溝槽311c之間的距離於本實施例的圖4中是以沿著長度方向L漸縮而後在漸增來說明，但本發明不以此為限。舉例來說，如圖6所示，兩個所述長溝槽311c之間的距離也可以保持相等；或者，在本發明未繪示的其他實施例中，兩個所述長溝槽311c的具體構造可依據設計需求而加以調整變化。
此外，如圖3所示，所述行程段311的兩個所述長溝槽311c於本實施例中是呈鏡像對稱設置，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，兩個所述長溝槽311c也可以具有不同的深度；或者，兩個所述長溝槽311c可以具有不同的長度；又或者，兩個所述長溝槽311c的構造有所差異。
每個所述末端段312外表面的兩個寬側面與兩個窄側面於本實施例中是分別共平面於所述行程段311的兩個所述寬側面311a與兩個所述窄側面311b（也就是，所述末端段312於本實施例中未形成有凸出於其外表面的任何突出狀結構），並且兩個所述末端段312的構造皆呈相同的矩形柱體，但本發明不以此為限。舉例來說，任一個所述末端段312的構造也可以依據設計需求而形成有突出狀結構。
再者，其中一個所述末端段312（如：位於圖1中上方的末端段312）的局部位於多個所述第一導板11的穿孔（未標示）內、而其餘部位穿出第一導板11，據以使其能通過多個所述第一導板11的錯位而被固定；而其中另一個所述末端段312（如：位於圖1中下方的末端段312）的局部位於多個所述第二導板21的穿孔（未標示）內、而其餘部位穿出第二導板21，據以使其能通過多個所述第二導板21的錯位而被固定。
所述環狀絕緣體32的材質例如是聚對二甲苯，並且所述環狀絕緣體32是（等厚度地）包圍於所述導電針體31形成有兩個所述長溝槽311c的部位；於本實施例中，所述環狀絕緣體32是設置於所述導電針體31的兩個所述長溝槽311c、並設置於位在兩個所述長溝槽311c之間的兩個所述窄側面311b的部位上，但本發明不受限於此。
據此，所述類頸式探針3通過形成兩個所述長溝槽311c，以有效地降低所述環狀絕緣體32突伸出寬側面311a的厚度，進而達到保護所述環狀絕緣體32的效果（如：所述類頸式探針3在穿過所述第一導板單元1的植針過程中，能有效地避免所述環狀絕緣體32被所述第一導板單元1所刮傷）。換個角度來說，所述環狀絕緣體32能夠填補所述導電針體31的兩個所述長溝槽311c，據以使所述類頸式探針3的針形能夠呈大致直條狀。
其中，所述類頸式探針3在設置於兩個所述長溝槽311c的所述環狀絕緣體32的部位具有一厚度T，其為所述最大距離Dmax的85%～115%。其中，所述厚度T較佳是所述最大距離Dmax的90%～110%；也就是說，設置於兩個所述長溝槽311c地所述環狀絕緣體32的部位可以略突伸出相對應的所述長溝槽311c、或完全置於相對應的所述長溝槽311c內，本發明在此不加以限制。
進一步地說，設置於任一個所述長溝槽311c的所述環狀絕緣體32的一部位，其包含有位於所述長溝槽311c內的一充填部321及分別位於所述充填部321相反兩側的兩個端部322，並且兩個所述端部322凸出於相對應的所述寬側面311a，用以作為定義所述厚度T的邊界。再者，設置於兩個所述窄側面311b的所述環狀絕緣體32的另一部位，其相對於所述導電針體31呈突出狀。
此外，上述雖是以本實施例的圖4來說明所述環狀絕緣體32的構造，但本發明不以此為限。舉例來說，如圖5所示，所述環狀絕緣體32可以自兩個所述端部322進一步延伸至任一個所述長溝槽311c旁的所述寬側面311a部位；又或者，如圖6所示，所述環狀絕緣體32可以不延伸出任一個所述長溝槽311c、並共平面於任一個所述寬側面311a。
以上為所述單個類頸式探針3在所述第一導板單元1尚未相對於所述第二導板單元2錯位設置的情況所進行的構造說明，以下接著在所述第一導板單元1相對於所述第二導板單元2錯位設置的情況來進行多個所述類頸式探針3的構造說明。
更詳細地說，如圖8和圖9所示，所述第一導板單元1與所述第二導板單元2能夠以介於所述針長度L3（如：圖1）的12%～19%的一位移距離D1彼此斜向錯位，以使多個所述類頸式探針3的所述行程段311朝相同方向彎曲，並且每個所述行程段311的兩個所述寬側面311a所分別對應形成的兩個反曲點P分別位於兩個所述長溝槽311c，而任兩個所述類頸式探針3位於同側的兩個所述反曲點P（如：位於圖9中兩個所述類頸式探針3上側的兩個所述反曲點P），其與所述第一導板單元1的距離DP1、DP2之一差值不大於所述針長度L3（如：圖1）的1%。
據此，所述導電針體31通過形成兩個所述長溝槽311c，使得所述類頸式探針3能在作動時的彎曲部位集中在形成有兩個長溝槽311c的部位（如：反曲點P位於長溝槽311c），進而有效地控制每個所述類頸式探針3的作動方向一致性，並且令每個所述類頸式探針3在測試的過程中（如：頂抵於待測物）能獨立作業且不互相干涉。
[實施例二]
請參閱圖10和圖11所示，其為本發明的實施例二，本實施例類似於上述實施例一，所以兩個實施例的相同處不再加以贅述，而本實施例與實施例一的差異大致說明如下：
於本實施例中，所述行程段311進一步於每個所述窄側面311b凹設形成有兩端分別連通於兩個所述長溝槽311c的一短溝槽311d；也就是說，兩個所述長溝槽311c與兩個所述短溝槽311d共同構成一矩形環狀溝槽。於本實施例中，所述行程段311的兩個所述長溝槽311c呈鏡像對稱設置，並且兩個所述短溝槽311d也呈鏡像對稱設置，但本發明不受限於此。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，兩個所述短溝槽311d也可以具有不同的深度；或者，兩個所述短溝槽311d可以具有不同的長度；又或者，兩個所述短溝槽311d的構造有所差異。
再者，並且所述環狀絕緣體32設置於所述導電針體31的兩個所述長溝槽311c以及兩個所述短溝槽311d。於本實施例中，所述環狀絕緣體32是以不延伸出任一個所述長溝槽311c、並共平面於任一個所述寬側面311a來說明，但本發明不以此為限。舉例來說，在本發明未繪示的其他實施例中，所述環狀絕緣體32可以形成有延伸出所述短溝槽311d的端部；又或者，所述環狀絕緣體32可以自所述端部進一步延伸至任一個所述短溝槽311d旁的所述窄側面311b部位。
[本發明實施例的技術效果]
綜上所述，本發明實施例公開的探針卡裝置及其類頸式探針，其導電針體31通過形成有兩個所述長溝槽311c，以有效地控制其下壓力量，並可使得所述導電針體31在頂抵於待測物時的力量能被維持在預設的條件下，進而令所述導電針體31可以穩定地頂抵且不破壞上述待測物。
再者，所述類頸式探針3可以通過調整所述導電針體31的最小距離Dmin，以改變所述類頸式探針3在受力時所能提供的反作用力，進而利於符合不同的需求。再者，所述類頸式探針3通過控制所述最小距離Dmin與最大距離Dmax之間的比例，據以有效地維持其信號傳輸效果。
另，所述類頸式探針3通過形成兩個所述長溝槽311c，以有效地降低所述環狀絕緣體32突伸出寬側面311a的厚度，進而達到保護所述環狀絕緣體32的效果（如：所述類頸式探針3在穿過所述第一導板單元1的植針過程中，能有效地避免所述環狀絕緣體32被所述第一導板單元1所刮傷）。
又，所述導電針體31通過形成兩個所述長溝槽311c，使得所述類頸式探針3能在作動時的彎曲部位集中在形成有兩個長溝槽311c的部位（如：反曲點P位於長溝槽311c），進而有效地控制每個所述類頸式探針3的作動方向一致性，並且令每個所述類頸式探針3在測試的過程中（如：頂抵於待測物）能獨立作業且不互相干涉。
以上所公開的內容僅為本發明的優選可行實施例，並非因此侷限本發明的專利範圍，所以凡是運用本發明說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本發明的專利範圍內。
100:探針卡裝置 1:第一導板單元 11:第一導板 2:第二導板單元 21:第二導板 3:類頸式探針 31:導電針體 311:行程段 311a:寬側面 311b:窄側面 311c:長溝槽 311d:短溝槽 312:末端段 32:環狀絕緣體 321:充填部 322:端部 L:長度方向 L3:針長度 L311c、L311:長度 Dmin:最小距離 Dmax:最大距離 T:厚度 D1:位移距離 DP1、DP2:距離 P:反曲點
圖1為本發明實施例一的探針卡裝置的剖視示意圖。
圖2為本發明實施例一的類頸式探針的立體示意圖。
圖3為圖2中的導電針體的立體示意圖。
圖4為圖2沿剖線IV-IV的局部剖視示意圖。
圖5為圖4另一態樣的剖視示意圖。
圖6為圖4又一態樣的剖視示意圖。
圖7為本發明實施例一的探針卡裝置的另一態樣的剖視示意圖。
圖8為圖1的探針卡裝置於第一導板單元與第二導板單元位在錯位設置時的上視示意圖。
圖9為圖1的探針卡裝置於第一導板單元與第二導板單元位在錯位設置時的剖視示意圖。
圖10為本發明實施例二的類頸式探針的立體示意圖。
圖11為圖10中的導電針體的立體示意圖。
100:探針卡裝置
1:第一導板單元
11:第一導板
2:第二導板單元
21:第二導板
3:類頸式探針
31:導電針體
311:行程段
311a:寬側面
311c:長溝槽
312:末端段
32:環狀絕緣體
321:充填部
322:端部
L:長度方向
DP1、DP2:距離
P:反曲點

Claims (10)

  1. 一種探針卡裝置，其包括： 一第一導板單元與一第二導板單元，彼此間隔地設置；以及 多個類頸式探針，各呈長形且沿其長度方向具有一針長度，並且多個所述類頸式探針穿設於所述第一導板單元與所述第二導板單元；其中，每個所述類頸式探針包含有： 一導電針體，包含有： 一行程段，位於所述第一導板單元與所述第二導板單元之間且包含有兩個寬側面及兩個窄側面，並且所述行程段於每個所述寬側面凹設形成有自其中一個所述窄側面延伸至其中另一個所述窄側面的一長溝槽；其中，兩個所述長溝槽彼此相鄰設置且相隔有一最小距離，並且所述最小距離為兩個所述寬側面之間的一最大距離的95%～75%；及 兩個末端段，分別自所述行程段的兩端延伸穿出所述第一導板單元與所述第二導板單元；及 一環狀絕緣體，設置於所述導電針體的兩個所述長溝槽、並設置於位在兩個所述長溝槽之間的兩個所述窄側面的部位上；其中，所述類頸式探針在設置於兩個所述長溝槽的所述環狀絕緣體的部位具有一厚度，其為所述最大距離的85%～115%； 其中，所述第一導板單元與所述第二導板單元能夠以介於所述針長度的12%～19%的一位移距離彼此斜向錯位，以使多個所述類頸式探針的所述行程段朝相同方向彎曲，並且每個所述行程段的兩個所述寬側面所分別對應形成的兩個反曲點分別位於兩個所述長溝槽。
  2. 如請求項1所述的探針卡裝置，其中，於每個所述類頸式探針中，所述行程段的兩個所述長溝槽呈鏡像對稱設置，並且每個所述長溝槽是沿著垂直所述長度方向的一方向自其中一個所述窄側面延伸至其中另一個所述窄側面。
  3. 如請求項1所述的探針卡裝置，其中，當所述第一導板單元與所述第二導板單元彼此斜向錯位時，任兩個所述類頸式探針位於同側的兩個所述反曲點，其與所述第一導板單元的距離之一差值不大於所述針長度的1%。
  4. 如請求項1所述的探針卡裝置，其中，於每個所述類頸式探針中，設置於任一個所述長溝槽的所述環狀絕緣體的一部位，其包含有位於所述長溝槽內的一充填部及分別位於所述充填部相反兩側的兩個端部，並且兩個所述端部凸出於相對應的所述寬側面，用以作為定義所述厚度的邊界。
  5. 如請求項1所述的探針卡裝置，其中，於每個所述類頸式探針中，任一個所述長溝槽在所述長度方向上的一長度，其為所述行程段在所述長度方向上的一長度的至少50%。
  6. 如請求項1所述的探針卡裝置，其中，於每個所述類頸式探針中，所述導電針體呈直條狀，並且所述行程段未形成有凸出於兩個所述寬側面與兩個所述窄側面的任何突出狀結構。
  7. 如請求項6所述的探針卡裝置，其中，所述第一導板單元包含有多個第一導板，並且所述第二導板單元包含有多個第二導板；於每個所述類頸式探針中，其中一個所述末端段能通過多個所述第一導板的錯位而被固定，而其中另一個所述末端段能通過多個所述第二導板的錯位而被固定。
  8. 一種探針卡裝置的類頸式探針，其呈長形且包括： 一導電針體，包含有： 一行程段，包含有兩個寬側面及兩個窄側面，並且所述行程段於每個所述寬側面凹設形成有自其中一個所述窄側面延伸至其中另一個所述窄側面的一長溝槽；其中，兩個所述長溝槽彼此相鄰設置且相隔有一最小距離，並且所述最小距離為兩個所述寬側面之間的一最大距離的95%～75%；及 兩個末端段，分別自所述行程段的兩端延伸所形成；以及 一環狀絕緣體，包圍於所述導電針體形成有兩個所述長溝槽的部位；其中，所述類頸式探針在設置於兩個所述長溝槽的所述環狀絕緣體的部位具有一厚度，其為所述最大距離的85%～115%； 其中，所述類頸式探針的兩個所述末端段能受力而使所述行程段呈彎曲狀、且使兩個所述寬側面所分別對應形成的兩個反曲點分別位於兩個所述長溝槽內。
  9. 如請求項8所述的類頸式探針，其中，所述行程段於每個所述窄側面凹設形成有兩端分別連通於兩個所述長溝槽的一短溝槽，並且所述環狀絕緣體設置於所述導電針體的兩個所述長溝槽以及兩個所述短溝槽。
  10. 如請求項9所述的類頸式探針，其中，所述導電針體呈直條狀，並且所述行程段未形成有凸出於兩個所述寬側面與兩個所述窄側面的任何突出狀結構；所述行程段的兩個所述長溝槽呈鏡像對稱設置，並且兩個所述短溝槽也呈鏡像對稱設置。
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